JP2651514B2

JP2651514B2 - 熱処理装置

Info

Publication number: JP2651514B2
Application number: JP63290466A
Authority: JP
Inventors: 中尾　　賢; 亘大加瀬; 征史郎佐藤
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1987-11-17
Filing date: 1988-11-17
Publication date: 1997-09-10
Anticipated expiration: 2012-09-10
Also published as: KR970008320B1; KR890008924A; US4938691A; JPH01243416A

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）この発明は熱処理装置に関する。

（従来の技術）例えば、半導体ウエハに酸化拡散等の熱処理を施す場
合、複数例えば150枚の半導体ウエハを石英ボートに搭
載し、このボートを熱処理炉に搬入して熱処理を行な
う。そして、熱処理終了後、半導体ウエハが搭載された
石英ボートを炉から搬出してウエハ移し換え位置に搬送
する。このような熱処理炉として、横型のものと縦型の
ものとが使用されているが、以下に示す理由から、縦型
炉が多用されている。

すなわち、熱処理工程において、炉の内部及びボート
自体に堆積物が付着するので、片持ち状のフォークによ
って水平方向にボートを搬入・搬出する横型炉の場合に
は、フォークがその自重によって炉内部に付着した堆積
物に接触して堆積物が炉から落下する恐れがある。この
ように堆積物が落下すると、落下物が不純物として半導
体ウエハに付着してしまい好ましくはない。

これに対し、縦型炉の場合には、フォークを用いずに
ボートを上下に移動してボートを搬入・搬出するので、
炉内部の堆積物にボートを接触させずに搬入・搬出する
ことができ、上述のような問題が生じない。

（発明が解決しようとする課題）ところで、縦型炉によってウエハを熱処理する際に、
熱処理すべきウエハの枚数に応じて種々の長さのボート
を使用するが、前述したようにボートの搬入・搬出を炉
体の下方から行なうため、少なくとも炉体、保温筒、及
びボートの長さを合せた長さが必要となり、設置場所に
高さ制限がある場合には、長いボートを使用することが
できないという問題点がある。

一方、熱処理の際に用いられるボートは、例えば夫々
所定間隔をおいて複数の溝が形成された４本の平行な支
持棒を備えており、これらの溝に複数の半導体ウエハが
垂直に支持される。縦型炉の場合には、これら支持棒を
鉛物にして（つまりウエハを水平にして）ボートを炉体
内に搬入する。ボートを炉体から搬出する場合も同様で
ある。

ところで、ウエハのボートへの搭載は、熱処理炉が設
けられている位置と異なる位置に設けられたウエハ移し
換え位置にて行われ、ウエハを搭載したボートがこの位
置から炉の設置位置まで搬送される。

前述したように支持棒を鉛直にしてボートが炉内に搬
入されるから、支持棒を鉛直にした状態でボートを搬送
している。

この発明の目的は、縦型の熱処理炉を有する熱処理装
置であって、熱処理炉の高さの制限があっても、炉内挿
入物の長さに拘らず被処理体を熱処理することができる
熱処理装置を提供することにある。

この発明の他の目的は、被処理体を安定して熱処理炉
へ又は熱処理炉から搬送することができ、被処理体への
ダスト付着を防止することができる熱処理装置を提供す
ることにある。

〔発明の構成〕

（課題を解決するための手段）本発明は、長手方向を鉛直にして設置され、下端に被
処理体を押入する開口部を有し、被処理体を熱処理する
ための炉と、前記被処理体が多数枚予め定められた間隔
を設けて載置されたボートと、このボートを支持して上
記炉内に挿入し、熱処理された時上記被処理体を保温す
るための保温装置と、前記被処理体及び前記保温装置上
に上記ボートを設けた状態で上昇させて炉内に挿入し、
又は下降させて炉から取出すための昇降手段と、前記保
温装置を前記ボートの下方から退避移動させるための移
動手段と、前記ボートを支持して前記昇降手段によるボ
ートの昇降領域において上下動させるためのハンドリン
グ手段と、を具備し、前記ハンドリング手段は、ボートをクランプするため
のクランプ部材と、クランプ部材を上下動可能に支持す
る支持部材と、支持部材を上下動させるための駆動手段
と、を有していることを特徴とする熱処理装置である。

他の発明は、長手方向を鉛直にして設置され、下端に
被処理体を押入する開口部を有し、被処理体を熱処理す
るための炉と、前記被処理体が多数枚予め定められた間
隔を設けて載置されたボートと、このボートを支持して
上記炉内に挿入し、熱処理された時上記被処理体を保温
するための保温装置と、前記被処理体及び前記保温装置
上に上記ボートを設けた状態で上昇させて炉内に挿入
し、又は下降させて炉から取出すための昇降手段と、前
記保温装置を前記ボートの下方から退避移動させるため
の移動手段と、前記ボートを支持して前記昇降手段によ
るボートの昇降領域において上下動させると共に当該ボ
ートを前記炉の下方位置と炉の下方からはずれた退避位
置との間で搬送するためのハンドリング手段と、を具備
した複数の熱処理ユニットと、これら熱処理ユニットに対して共通に設けられ、熱処
理前の被処理体をボートに移し替え、また熱処理後の被
処理体をボートから移し換えるための被処理体移し換え
ユニットと、各熱処理ユニットのボートを熱処理ユニットにおける
前記退避位置と前記被処理体移し換えユニットとの間で
搬送する搬送装置と、を備えたことを特徴とする熱処理
装置である。

（作用）上記発明によれば、縦型の熱処理炉を有する熱処理装
置であって、熱処理炉の高さの制限があっても、炉内挿
入物の長さに拘らず被処理体を熱処理することができ
る。

また、被処理体を安定して熱処理炉へ又は熱処理炉か
ら搬送することができ、被処理体へのダスト付着を防止
することができる。

（実施例）以下、本発明熱処理装置を縦型熱処理装置に適用した
一実施例を図面を参照して説明する。

第１図はこの発明の実施例に係る熱処理装置を示す構
成図である。この熱処理装置は、第１図に示すように、
ハウジング10と、ハウジング10内の上部に設けられ、後
述するボート１に搭載された被処理体例えば半導体ウエ
ハＷを熱処理する熱処理炉20と、炉20内にボート１を搬
入し、炉20からボート１を搬出するための昇降装置30
と、ボート１を受取り、ハウジング10外に搬出するため
のハンドラー装置40とを備えている。

熱処理炉20は、その軸を鉛直にして配設された円筒状
のプロセスチュープ21と、このチュープ21の周囲に設け
られたヒータ22とを具備している。プロセスチューブ21
の上端には、チュープ21内に雰囲気ガスを供給するため
の配管23が接続されている。熱処理に際しては、このプ
ロセスチューブ21内に下方からボート１が挿入される。

昇降装置30は、鉛直方向に延長するボールねじ31と、
このボールねじ31を回転させるためのモータ32と、ボー
ルねじ31を螺合され、ガイド部材51にガイドされて上下
動する移動部33と、移動部33の下端部に回動可能に設け
られ、後述する保温筒52を支持するための支持部材34と
を備えている。この支持部材34の上に支持された保温筒
52上に上述のボート１が載置される。保温筒52は、プロ
セスチューブ21内の均熱領域を確保し、プロセスチュー
ブ21の下端開口部よりガスの逃げを防止するためのもの
である。これら移動部33、支持部材34及び保温筒52は、
図中２点鎖線に示す位置に待機しており、モータ32によ
ってボールねじ31を回転させて移動部33を上昇させるこ
とにより、保温筒52及びボート１がプロセスチューブ21
内に搬入される。熱処理終了後は、これら移動部33、支
持部材34及び保温筒52はまた図中２点鎖線の位置に戻
る。移動部33は、ボールねじに支持される支持部331
と、支持部34に連結されるモータ332とを有しており、
支持部材34が２点鎖線で示す退避位置にある場合に、こ
のモータ332により支持部材34が水平方向に回動する。

ボート１は石英ガラス製であり、第２図に示すよう
に、両端部に設けられた端板2a,2bと、これら端板2a及
び2bを連結する４本の支持棒３とを備えている。これら
支持棒３には、夫々、複数のウエハを配列支持するため
の複数の溝（図示せず）が等間隔で形成されている。ボ
ート１がプロセスチューブ21内に搬入される際に、上端
となるボート１の端板2aには、後述するハンドラーによ
ってチャックされる上部ピン４が設けられている。ま
た、端板2bの外側にはこれと離隔してフランジ５が形成
されており、このフランジ５の外面にはピン６が設けら
れている。このピン６は、保温筒52の上端面に形成され
た孔53に嵌合され、これによりボート１が保温筒52に垂
直に支持される。

ハンドラー装置40は、熱処理炉20を挟んで昇降装置30
と反対側に設けられており、鉛直方向に延長するボール
ねじ41とこのボールねじ41を回転させるためのモータ42
と、ボールねじ41に螺合され、ガイド部材61にガイドさ
れて上下動する移動部43と、移動部43に水平方向に回動
可能に設けられた水平回動部44と、水平回動部44を回動
させるためのモータ45と、水平回動部44の先端部に鉛直
方向に回動可能に設けられ、ボート１を炉20からボート
１をアンロードする際にボート１を保持し移動させるた
めのハンドラー46と、ハンドラー46を回動させるための
モータ47とを備えている。なお、モータ46の回転は、は
すば歯車（ヘルカルギャー）機構48によりハンドラー46
の回転軸49に伝達される。

このようなハンドラー装置40により、ハンドラー46が
上下動され、鉛直方向に回転され、及びモータ45の軸の
回りを回動させることができる。

ハンドラー46は第３図に示すように、本体461と、本
体461の上端に設けられ、方向Ｇに伸縮自在の伸縮部462
と、伸縮部462の上に設けられ、ボート１を掴むための
ボートクランプアーム463と、本体の下端に設けられ、
ボート１を載置するためのボート載置台464とを備えて
いる。本体461は、矢印Ｅ方向に移動可能に回転軸49に
取付けられており、回転軸49から取外すことができる。

ボート載置台464には、ボート１を載置させた場合に
端板2bに当接する突起部464aが設けられており、この突
起部464aはボート１と同様に石英ガラスでつくられてい
る。

ボートクランプアーム463は、図示しない駆動系によ
り開閉自在に構成されている。クランプアーム463の内
側には前述したボート１のピン４をクランプするための
４個のクランプ爪463aが設けられている。そして、ボー
ト１が前述した載置台463に載置された際にクランプア
ーム463が閉じられ、クランプ爪463aがピン４をクラン
プする。これらクランプ爪463aが石英ガラスでつくられ
ている。

次に、このように構成された熱処理装置の動作につい
て、第２図及び第4A図乃至第4C図を参照しながら説明す
る。

先ず、第１図中２点鎖線の位置にある保温筒52の上に
多数のウエハを搭載したボート１を載置する。この状態
でモータ32を駆動させて、移動部33を上昇させ、ボート
１及び保温筒52を熱処理炉20のプロセスチューブ21内に
挿入する。次いで、ヒータ22に電力を供給して熱処理を
開始する。

熱処理終了後、モータ32を駆動させてボールねじ31を
回転させ、移動部33、支持部材３、及び保温筒52を２点
鎖線の位置まで降下させる。

この場合に、ボート１は収納する半導体ウエハの枚数
によって長さが異なり、長いボートでは第4A図で示すよ
うに、移動部33を２点鎖線で示す最下端降下させても、
ボート１の上端部がプロセスチューブ21の内側にあり、
従来の装置ではボート１をプロセスチューブ21内から搬
出することができない。

しかし、本実施例では、以下に示すようにボート１の
搬出が可能となる。すなわち、第4A図に示すように、昇
降装置30の移動部33が２点鎖線で示す最下端にある状態
で、モータ45により水平回動部44を回動させて、ハンド
ラーのボート載置台464をボート１の端板2bとフランジ
５との間に挿入する。この際に、ハンドラー46の伸縮部
462を駆動させてハンドラー46の長さが最短になるよう
にすることにより、クランプアーム463が熱処理炉20に
衝突することを回避することができる。

次に、ハンドラー装置40のモータ42を駆動させること
により載置台464を僅かに上昇させ、又は、昇降装置の
モータ32を駆動させることにより保温筒52を僅かに降下
させることにより、石英ボート１の下端のピン６が保温
筒52の孔53から抜かれる。その後、移動部33のモータ33
2を駆動させて支持部材34を水平方向に回動させること
により、保温筒52がボート１の真下から離隔される（第
4B図）。従って、石英ボート１の下方には何等の障害物
も存在しない状態となる。

この状態でモータ43を駆動させてハンドラー46を下降
させ、ボート１を完全にプロセスチューブ21外に搬出す
る。次いで、ハンドラー46の伸縮部462を上方に移動さ
せ、クランプアーム463によりボート１のピン４をクラ
ンプする（第4C図）。

その後、モータ45により水平回動部44を回動させて、
ハンドラー46に保持されたボート１を熱処理炉20の真下
から離隔させる。そして、モータ47によりハンドラー46
を回転させてボート１を水平状態にする。次いで、水平
回動部44を更に回動させてボート１をハウジング10の外
に搬出し、搬送装置（図示せず）に受け渡す。その後、
この搬送装置を次工程の位置まで搬送する。なお、この
際にボートクランプアーム463によりボート１がクラン
プされているので、ボート１がハンドラー46に確実に保
持され、上述のようなボートの回動動作によってもボー
ト１がハンドラー46から外れる恐れが極めて少ない。

以上のように、この実施例によれば、ボートの長さが
長く、支持台34を最下端まで降下させてもボートの一部
がプロセスチューブ内に残っている場合でも、保温筒を
ボート１の下から容易に除去することができるので、ボ
ート１を熱処理炉20から容易に搬出させることができ
る。従って、ハウジング10の高さを低くせざるを得ない
場合にも、長いボートを使用することが可能である。

なお、ハンドラー装置40は、上述のようにボート１を
熱処理炉20から取出すばかりでなく、全く逆の手順でボ
ート１を炉内に搬入することができる。

次に、この発明の他の実施例について説明する。この
実施例は、ハンドラー装置がボートを搬送するための搬
送装置に設けられた熱処理装置について示す。第５図
は、この発明の他の実施例に係る熱処理装置を示す断面
図である。第５図中、第１図と同じものには同じ符号を
付して説明を省略する。この熱処理装置のハンドラー装
置70は、第１図におけるハンドラー装置40と同様に、熱
処理炉20を挟んで昇降装置30と反対側に設けられてお
り、鉛直方向に延長するボールねじ71と、このボールね
じ71を回転させるためのモータ72と、ボールねじ71に螺
合され、ガイド部材81にガイドされて上下動する移動部
73と、移動部73に固定され水平方向に延長する水平部74
と、水平部74に沿って水平方向に移動可能に設けられた
移動部75と、前述のハンドラー46と同様の構造を有する
ハンドラー76と、移動部75及びハンドラー76を駆動する
ためのモータ77と、ボールねじ71及びガイド部材81を支
持し、後述する搬送装置のガイド301に沿って移動する
搬送部78とを備えている。モータ77には図示しないクラ
ッチ装置が設けられており、移動部75を移動させる場合
にはモータ77を例えばラックアンドピニオン機構に接続
させ、ハンドラー76を回転させる場合にはモータ77を前
述のようなはすば歯車機構に接続させる。

この熱処理装置においても、基本的に第１図の装置と
同様の動作でボート１を炉20から搬出し、また炉20に搬
入することができる。すなわち、第１図の装置において
は、ボート１を炉20から取出した後、ハンドラー46を回
動させることにより、ボート１を炉20の真下から回避さ
せるが、この実施例の装置では、ハンドラー76を直線移
動させて回避させるということのみの差である。

次に、ボートの搬送動作について説明する。この実施
例における熱処理装置は、例えば第６図に示されるよう
なシステムに組込まれている。このシステムは、第６図
に示すように、４基の熱処理装置100と、ウエハをボー
トに搭載し、又はウエハをボートから取外すウエハ移し
換え装置200と、熱処理装置100とウエハ移し換え装置20
0との間でボートを搬送するための搬送装置300とを備え
ている。

搬送装置300は、各熱処理装置100の搬送部78が移動す
る４本のガイドを備えている。そして、図示しないモー
タ及びベルトにて各搬送部78がガイド301に沿ってウエ
ハ移し換え装置200まで搬送され、移し換え作業が終了
した後、装置200から各熱処理装置100まで搬送される。

このボート１の搬送に際しては、先ず、ボート１をハ
ンドラー76によりクランプして熱処理炉20から取出し、
モータ77により移動部75を搬送部78に向けて直線移動さ
せ、第7A図に示すように、ボート１を炉20の真下の位置
から移動させる。次いで、モータ77によりハンドラー76
を回転させて、第7B図に示すように、ボート１を水平状
態にする。このようにボートを水平状態にすることによ
り、ボート１に収容されたウエハは、鉛直の状態でボー
ト１の溝に係止される。

このような状態で、搬送装置300を駆動させることに
より、搬送部78がガイド301に沿って移動し、これによ
りボート１がウエハ移し換え装置200まで搬送される。

このように、ボート１が水平状態で搬送されるので、
従来のようにボート１を鉛直にして搬送するものと比較
して、ウエハの自重がボート１の溝により確実に作用す
るので、ボートを搬送する間にウエハを安定して支持す
ることができる。従って、ウエハがボートから落下する
ことを確実に防止でき、また、ウエハのチッピングを著
しく低減することができる。

ボート１がウエハ移し換え装置200に到着すると、搬
送装置300のモータが停止され、ボート１を保持した搬
送部78が停止する。そして、この装置200にて、ボート
１に搭載されたウエハが図示しないキャリアケースに移
し換えられ、別のキャリアケース内のウエハがボート１
に搭載される。その後、再び搬送装置300によりボート
１が搬送部78に保持されて熱処理装置100まで搬送され
る。この場合にも、ボート１を水平にして搬送すること
により、前述と同様の効果を得ることができる。

４基の熱処理装置100について、このような動作を時
間をずらして実施することにより、１つの搬送装置300
を４基の熱処理装置100が兼用することになる。これに
より、システムの小型化を達成することができる。

以上の例においては、ボート１を水平にして搬送する
場合について示したが、必ずしもこれに限らず、第８図
に示すように、ボート１を搬送方向に対し斜めになるよ
うに支持して搬送しても大きな効果を得ることができ
る。すなわち、ボート１を鉛直にして搬送する場合より
もウエハの移動を著しく小さくすることができ、特にチ
ッピングを防止する効果が大きくなる。また、このよう
にボートを傾斜させることにより、ポートを搬送する際
のウエハに対する力が、ウエハをボート１の溝に押しつ
ける方向に作用するので、ウエハが溝に密着した状態で
搬送される。従って、ウエハの落下及びチッピングを防
止することができる。この場合、ボート１を熱処理装置
100からウエハ移し換え装置200まで搬送する場合と、そ
の逆の場合とでは、ウエハ搬送方向が逆になるので、い
ずれの場合でも搬送方向に対して第８図に示す傾斜にな
るように、搬送方向に応じてボート１の傾斜方向を逆転
することが好ましい。いずれにしても、ボート１の搬送
に際し、ボート１が鉛直でなければ上述した効果を得る
ことができる。

なお、この発明は、上記２つの実施例に限定されるこ
となく、この発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形が
可能である。

例えば、保温筒52を退避移動させる機構として回動機
構を用いたが、これに限らず、直線移動等、他の退避移
動機構を採用することができる。

ハンドラー装置は、ボート１を保持して上下動させる
ことができるものであれば構わないが、上記実施例のよ
うにボートの向きを変化させることができることが好ま
しい。

このようなハンドラー装置の変形例として第９図に示
すものを適用することができる。第９図のハンドラー装
置500は、ボート１の中間部を支持するクランプアーム5
08を有し、ボート１を保持するハンドラー501と、ハン
ドラー501を矢印Ｉ方向に移動可能に支持する第１の支
持部材502と、支持部材502を支軸503を中心にして回動
可能に支持する第２の支持部材504と、ハンドラー501の
端部に取付けられ、ボート１を載置する載置台505とを
備えている。そして、図示しない駆動装置によりハンド
ラー501を第１の支持部材502に沿って直線移動させ、第
１の支持部材502を支軸503を中心にして回動させてい
る。従って、この装置によっても、第１図のハンドラー
装置40と同様に、保温筒を退避移動させた後に、ハンド
ラー501を下降させてボート１を完全にプロセスチュー
ブから搬出し、その後、ボート１を支軸503を中心とし
て回動させることにより、ボート１を水平状態で搬送台
600に載置することができる。なお、第９図においては
ボートの昇降装置を省略しているが、昇降装置は第１図
と同様に構成することができる。

第６図には複数の熱処理装置を有するシステムを示し
たが、これに限らず、１基の熱処理装置を備えたシステ
ムにも適用できることは勿論である。また、第６図に示
した搬送機構は、ここで示したようなハンドラー装置と
併用する場合に限らず用いることができる。従って、従
来の縦型炉及び横型炉にも適用することができる。

更に、上記実施例では被処理体としてウエハを搭載し
たボートを用いた場合について示したが、これに限るも
のではない。

〔発明の効果〕

以上のように本発明によれば、縦型の熱処理炉を有す
る熱処理装置であって、熱処理炉の高さの制限があって
も、炉内挿入物の長さに拘らず被処理体を熱処理するこ
とができ、また、被処理体を安定して熱処理炉へ又は熱
処理炉から搬送することができ、被処理体へのダスト付
着を防止することができる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明熱処理装置の一実施例を示す縦型熱処理
装置を示す構成図、第２図はプロセスチューブ、ボート
及び保温装置を示す模式図、第３図はハンドラーを示す
斜視図、第4A図乃至第4C図はボートの取出し動作を示す
模式図、第５図は本発明の他の実施例を示す熱処理装置
を示す構成図、第６図は第５図に示す熱処理炉が適用さ
れるシステムを示す概略構成図、第7A図及び第7B図はボ
ートを搬送する際の動作を示す図、第８図はボート搬送
の際の、好ましい傾斜したボートを示す模式図、第９図
はハンドラー装置の変形例を示す概略構成図である。１……ボート、21……プロセスチューブ 22……ヒータ、30……昇降装置 33……移動部、34……支持部材 40,70……ハンドラー装置 46,76……ハンドラー、52……保温筒 100……熱処理装置、200……ウエハ移し換え装置 300……搬送装置

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】長手方向を鉛直にして設置され、下端に被
処理体を押入する開口部を有し、被処理体を熱処理する
ための炉と、前記被処理体が多数枚予め定められた間隔
を設けて載置されたボートと、このボートを支持して上
記炉内に挿入し、熱処理された時上記被処理体を保温す
るための保温装置と、前記被処理体及び前記保温装置上
に上記ボートを設けた状態で上昇させて炉内に挿入し、
又は下降させて炉から取出すための昇降手段と、前記保
温装置を前記ボートの下方から退避移動させるための移
動手段と、前記ボートを支持して前記昇降手段によるボ
ートの昇降領域において上下動させるためのハンドリン
グ手段と、を具備し、前記ハンドリング手段は、ボートをクランプするための
クランプ部材と、クランプ部材を上下動可能に支持する
支持部材と、支持部材を上下動させるための駆動手段
と、を有していることを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】移動手段は、保温手段を水平面内で回動可
能に支持する支持部と、支持部を回動させる回動手段と
を有していることを特徴とする請求項１記載の熱処理装
置。
【請求項３】ハンドリング手段は、更にクランプ部材に
クランプされたボートを炉の下方から移動させ、又は炉
の下方へ移動させるためのボート移動手段を有している
ことを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項４】ボート移動手段は、前記クランプ部材を水
平面内で回動可能に支持する回動支持部と、回動支持部
を回動させる駆動手段とを有していることを特徴とする
請求項３記載の熱処理装置。
【請求項５】ボート移動手段は、前記クランプ部を水平
方向に移動可能にガイドするガイド部材と、クランプ部
材をガイド部材に沿って駆動させる駆動手段とを有して
いることを特徴とする請求項３記載の熱処理装置。
【請求項６】ハンドリング手段は、更に前記クランプ部
材を鉛直面内で回転させる回転手段を有していることを
特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項７】ボートがハンドリング装置に支持された状
態で熱処理装置へ又は熱処理装置から搬送される搬送手
段を有していることを特徴とする請求項１記載の熱処理
装置。
【請求項８】被処理体は、ボートの長手方向に対し垂直
に配置されていることを特徴とする請求項１記載の熱処
理装置。
【請求項９】搬送手段は、前記ボートを搬送する際に前
記ボートを鉛直以外の角度に支持可能なボート支持部材
を有していることを特徴とする請求項８記載の熱処理装
置。
【請求項１０】搬送手段は、前記ボート支持手段を回転
させる回転手段を有しており、これにより前記ボートが
鉛直以外の任意の角度で支持されることを特徴とする請
求項９記載の熱処理装置。
【請求項１１】炉は、被処理体が挿入されるプロセスチ
ューブと、プロセスチューブの外周部に設けられ、被処
理体を加熱するためのヒータとを有していることを特徴
とする請求項１記載の熱処理装置。
【請求項１２】ハンドリング装置は、前記ボートを上下
動させると共に、前記ボートを鉛直状態と水平状態との
間で回動させる移動手段を有していることを特徴とする
請求項１記載の熱処理装置。
【請求項１３】ボートの長手方向に対し垂直の状態でボ
ートに配置されたウエハを熱処理する熱処理装置に於い
て、前記ボートが挿入され、前記ウエハを熱処理するた
めの炉と、前記ボートを前記炉内に挿入し、又は炉から
取出すための着脱手段と、前記ボートを保持すると共
に、前記ボートを前記炉の下方から移動させ、又は炉の
下方へ移動させるボート移動手段と、前記ボート移動手
段が取付けられ、ボートを鉛直以外の角度で保持した状
態の前記ボート移動手段を熱処理装置へ、又は熱処理装
置から搬送する搬送手段と、を具備していることを特徴
とする熱処理装置。
【請求項１４】搬送手段は、前記ボート移動手段を回転
可能に支持するボート支持手段と、ボート支持手段を回
転させる回転手段を有しており、これにより前記ボート
が鉛直以外の任意の角度で支持されることを特徴とする
請求項13記載の熱処理装置。
【請求項１５】搬送手段は、前記ボートを水平状態にし
て搬送することを特徴とする請求項13記載の熱処理装
置。
【請求項１６】搬送手段は、前記ボートを、その下端が
搬送方向に突出するように傾斜させて搬送することを特
徴とする請求項13記載の熱処理装置。
【請求項１７】長手方向を鉛直にして設置され、下端に
被処理体を装入する開口部を有し、被処理体を熱処理す
るための炉と、前記被処理体が多数枚予め定められた間
隔を設けて載置されたボートと、このボートを支持して
上記炉内に挿入し、熱処理された時上記被処理体を保温
するための保温装置と、前記被処理体及び前記保温装置
上に上記ボートを設けた状態で上昇させて炉内に挿入
し、又は下降させて炉から取出すための昇降手段と、前
記保温装置を前記ボートの下方から退避移動させるため
の移動手段と、前記ボートを支持して前記昇降手段によ
るボートの昇降領域において上下動させると共に当該ボ
ートを前記炉の下方位置と炉の下方からはずれた退避位
置との間で搬送するためのハンドリング手段と、を具備
した複数の熱処理ユニットと、これら熱処理ユニットに対して共通に設けられ、熱処理
前の被処理体をボートに移し替え、また熱処理後の被処
理体をボートから移し換えるための被処理体移し換えユ
ニットと、各熱処理ユニットのボートを熱処理ユニットにおける前
記退避位置と前記被処理体移し換えユニットとの間で搬
送する搬送装置と、を備えたことを特徴とする熱処理装
置。