JP5441227B2 - 基板処理方法、基板処理装置、半導体装置の製造方法および基板移載方法 - Google Patents
基板処理方法、基板処理装置、半導体装置の製造方法および基板移載方法 Download PDFInfo
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Description
unified pod)等ポッド50と称す)を授受する授受ステージ8が設けられ、前記筐体1の内部で一側(前方より見て右側)に基板移載機41が前記授受ステージ8に対向する様に設けられ、前記基板移載機41の後方にはボートエレベータ20が筐体内右側に設けられている。前記縦型反応炉11の直下には熱処理ステージ4が設けられ、前記ボートエレベータ20はボート21を、前記熱処理ステージ4の位置から前記縦型反応炉11に装入、該縦型反応炉11から前記熱処理ステージ4へ引出しする様になっている。前記ボートエレベータ20に対向してボート移送装置30が設けられている。該ボート移送装置30は前後に待機ステージ5と冷却ステージ6とを具備し、該待機ステージ5、冷却ステージ6と前記熱処理ステージ4間で前記ボート21の移送を行う。
5 待機ステージ
6 冷却ステージ
7 ウェーハ
8 授受ステージ
11 縦型反応炉
19 キャップ
20 ボートエレベータ
21 ボート
30 ボート移送装置
33 待機台
34 冷却台
66 メインコントローラ
67 制御卓
68 記憶装置
71 ボート識別部
72 ボート検出装置
73 有無検出部
74 識別用検出部
81 位置合わせ溝
86 制御シーケンスプログラム
87 処理条件入力プログラム
88 表示プログラム
Claims (4)
- 基板をチャージするかディスチャージするかどうかを設定するコマンド入力部と、複数のボートのどのボートを指定して基板処理を実行するか、或は指定しないで基板処理を実行するかを設定するボート指定部を少なくとも有し、処理に必要な各種設定を行う編集画面上で設定される処理条件の内容に応じて基板処理を行う基板処理方法であって、
前記編集画面上で前記処理条件を設定する工程と、
前記コマンド入力部で設定された前記基板の移載準備を行う工程と、
空きボートの有無、および前記ボート指定部でのボートの指定の有無を判断する工程と、
対象の前記基板をボートへ移載する移載工程と、を有し、
前記移載工程では、
前記空きボートが、前記ボート指定部で設定された指定ボートの場合、または、前記ボート指定部で指定ボートが設定されていない場合、前記基板の移載を開始し、
前記空きボートが、前記指定ボートではない場合に、前記空きボートに前記基板の移載を行わない基板処理方法。
- 基板をチャージするかディスチャージするかどうかを設定するコマンド入力部と、複数のボートのどのボートを指定して基板処理を実行するか、或は指定しないで基板処理を実行するかを設定するボート指定部を少なくとも有し、処理に必要な各種設定を行う編集画面上で設定される処理条件の内容に応じて基板処理を行うよう制御する制御部を備えた基板処理装置であって、
前記制御部は、前記編集画面上で前記処理条件が設定されると、
前記コマンド入力部で設定された前記基板の移載準備を行う工程と、
空きボートの有無、および前記ボート指定部でのボートの指定の有無を判断する工程と、
対象の前記基板をボートへ移載する移載工程と、を実行し、
前記移載工程では、
前記空きボートが、前記ボート指定部で設定された指定ボートの場合、または、前記ボート指定部で指定ボートが設定されていない場合、前記基板の移載を開始し、
前記空きボートが、前記指定ボートではない場合に、前記空きボートに前記基板の移載を行わない基板処理装置。
- 処理対象の基板をチャージするかディスチャージするかどうかを設定するコマンド入力部と、複数あるボートのどのボートを指定して基板処理を実行するか、或は指定しないで基板処理を実行するかを設定するボート指定部を少なくとも有し、処理に必要な各種設定を行う編集画面上で設定される処理条件の内容に応じて基板処理を行う半導体装置の製造方法であって、
前記編集画面上で前記処理条件を設定する工程と、
前記コマンド入力部で設定された前記基板の移載準備を行う工程と、
空きボートの有無、および前記ボート指定部でのボートの指定の有無を判断する工程と、前記基板をボートへ移載する移載工程と、前記指定された前記ボートを反応炉内に搬入して成膜処理を行う工程を有し、
前記移載工程では、
前記空きボートが、前記ボート指定部で設定された指定ボートの場合、または、前記ボート指定部で指定ボートが設定されていない場合、前記基板の移載を開始し、
前記空きボートが、前記指定ボートではない場合に、前記空きボートに前記基板の移載を行わない半導体装置の製造方法。
- 処理対象の基板をチャージするかディスチャージするかどうかを設定するコマンド入力部と、複数のボートのどのボートを指定して基板処理を実行するか、或は指定しないで基板処理を実行するかを設定するボート指定部を少なくとも有し、処理に必要な各種設定を行う編集画面上で設定される処理条件を設定する工程と、
前記コマンド入力部で設定された前記基板の移載準備を行う工程と、
空きボートの有無、および前記ボート指定部でのボートの指定の有無を判断する工程と、前記基板をボートへ移載する移載工程と、を有し、
前記移載工程では、
前記空きボートが、前記ボート指定部で設定された指定ボートの場合、または、前記ボート指定部で指定ボートが設定されていない場合、前記基板の移載を開始し、
前記空きボートが、前記指定ボートではない場合に、前記空きボートに前記基板の移載を行わない基板移載方法。
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JP2011190662A JP5441227B2 (ja) | 2011-09-01 | 2011-09-01 | 基板処理方法、基板処理装置、半導体装置の製造方法および基板移載方法 |
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-
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