KR890004419A - 웨이퍼 형상 캐리어 지그를 사용한 생산 시스템 - Google Patents

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Abstract

요약 없음

Description

웨이퍼 형상 캐리어 지그를 사용한 생산 시스템
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 1 도는 본 발명이 적용된 생산 시스템의 제 1 실시예를 도시한 개념도, 제 2 도는 로트의 처리 공정 순서를 도시한 도면, 제 4 도는 각 작업장의 멀티스테이션과 그 주위의 부재관계를 도시한 확대 사시도.

Claims (9)

  1. 반도체 제품의 제조공정에서 사용되는 웨이퍼 형상 소재의 반송에 사용하는 지그로써 웨이퍼 형상 소재를 유지하는 유지수단과 그 유지수단을 수납하는 상자를 사용해서 구성하고, 상기 지그에서의 웨이퍼 형상 소재의 인출, 격납을 행하는 장치를 이용해서 생산을 행하는 생산 시스템.
  2. 특허청구의 범위 제 1 항에 있어서, 상기 지그에서의 웨이퍼의 인출, 격납을 행하는 장치로써 상기 지그의 수수기구, 생산라인을 구성하는 장치로의 웨이퍼 로드, 언로드를 행하기 위한 열림구멍부, 상기 지그에서의 웨이퍼의 인출, 격납을 행하는 웨이퍼 수수기구 및 이들의 기구를 가지며 또한 청결도를 유지하는 클린상자로 구성되는 웨이퍼 수수 유니트를 사용하는 생산 시스템.
  3. 특허청구의 범위 제 1 항에 있어서, 열림구멍부를 마련함과 동시에 상기 열림구멍부의 둘레벽에 여러 매수의 웨이퍼를 서로 빈틈을 두고 격납하는 웨이퍼 격납 홈을 마련한 캐리어와 오목부를 마련한 받침대를 구비하고, 상기 캐리어와 받침대를 서로 겹쳐맞춤이 가능하게 구성한 지그를 사용해서 반도체제품의 생산을 행하는 생산 시스템.
  4. 특허청구의 범위 제 3 항에 있어서, 여러개의 캐리어와 이것을 겹쳐맞추어서 결합한 캐리어 결합체의 수납상자를 구비하고, 각 캐리어의 내부측벽에 여러매수의 웨이퍼를 서로 빈틈을 두고 격납하는 웨이퍼 격납 홈을 마련하여 각 캐리어의 외형을 세척통의 내벽에 훅이 가능한 형상으로 형성하고, 각 캐리어에 서로 겹쳐 맞추어서 결합하는 결합부를 마련함과 동시에 각 캐리어의 내부를 세척하는 동안 웨이퍼의 표면에서의 세척액의 난류 발생을 억제할 수 있는 구조로한 생산 시스템.
  5. 피가공물 처리의 흐름이 복잡하고 같은 처리 공정을 반복해서 피가공물이 처리 완료하는 생산에 있어서, 여러개 또는 하나의 피가공물을 넣은 캐리어마다 피가공물을 처리하는 처리설비, 일련의 처리공정을 이루도록 처리설비를 연결하며 또는 일체화해서 처리가 다른 것에 의해 구분한 여러개의 설비 모듈, 그에 앞서 장치의 가동을 향상을 도모하여 원활한 흐름을 만들기 위해 피가공물의 처리 공정이 유사한 품종을 그룹화한 품종 계열, 처리공정마다 관리하는 착수선반, 후에 임의의 일련의 처리 종료후에 데이타를 라이트하는 데이타 라이트장치를 마련하고 이들의 구성 장치를 어떤 계통인가로 종합한 설비군에 앞서 분기 및 합류 설비를 구비한 피가공물의 종류와 공정을 식별하는 식별장치, 설비군과 설비군사이에 생산 동기를 취하기 위해 피가공물을 일시 보관하는 스토커, 피가공물을 이동시키는 반송설비를 마련하고, 각각의 구성장치에 필요한 데이타를 갖게 하기 위한 통신 모듈, 데이타를 일시 보존하는 버퍼를 마련한 생산 시스템.
  6. 특허청구의 범위 제 5 항에 있어서, 반송설비에 피가공물의 품종 마다 공정 흐름 데이타와 공정에 대한 착수선반의 위치 데이타를 착수선반에 착수선반 자신이 착수해야할 피가공물의 품종마다 공정데이타를 갖게하여 착수 선반이 공정사이의 평균 리이드 타임과 설비의 처리시간에서 네크 공정으로 되지 않도록 가장 적합한 착수량을 자신이 산출하고, 샘플링 시간마다 가장 적합한 착수량에 대해서 가장 적은 품종의 공정을 추출하여 그 데이타를 반송설비로 보내 그 품종의 앞의 공정을 반송설비가 우선적으로 반송하는 자립 판단 독립제어에 의해 전체를 호스트 컴퓨터가 관리하고 있도록 전체의 보조를 맞추면서 원활하게 흐르게 하는 생산 시스템.
  7. 특허청구의 범위 제 5 항에 있어서, 피가공물을 유지, 격납하는 유지기구와 그들을 수납할 수 있는 상자로 되는 캐리어를 구성하여 상기 캐리어에서의 피가공물의 인출, 격납을 행하는 설비를 사용해서 생산을 행하는 생산 시스템.
  8. 특허청구의 범위 제 7 항에 있어서, 상기 캐리어에서의 피가공물의 인출, 격납을 행하는 설비로써, 캐리어의 수수기구와 생산라인을 구성하는 설비로의 로드, 언로드를 행하기 위한 열림구멍부, 캐리어에서의 피가공물의 인출, 격납을 행하는 피가공물 수수기구, 이들의 기구를 마련해서 세척도를 유지하는 클린상자로 구성되는 피강공물 수수 유니트를 사용하는 생산 시스템.
  9. 여러개의 웨이퍼로 구성된 로트의 처리설비, 로트의 세척설비, 로트의 검사설비 및 이들 설비사이에 로트를 반송하는 작업장내 컨베이어를 가지며, 또한 상기 로트 반송로의 주위에 설치된 여러개의 작업장, 로트를 일시 보관하는 여러개의 스테이션을 가지며, 또한 상기 각 작업장에 대응시켜서 설치된 멀티스테이션, 상기 로트 반송로와 각 멀티스테이션과 상기 작업장에 걸쳐서 로트를 반송하는 로트 반송설비, 각 멀티스테이션에 마련되어 상기 로트 반송설비와의 사이에서 로트의 수수를 행하는 여러개의 분기 및 합류설비, 각 멀티스테이션의 스테이션에 대응시켜 배치되며, 또한 로트의 종류 및 처리상태를 인식하는 여러개의 인식장치, 상기 인식장치의 인식한도의 전후 관계에 있는 작업장에서의 로트의 착수량이 적정하게 되도록 전처리공정의 작업장의 멀티스테이션에서의 로트 출하량을 조정하는 제어장치를 구비해서 되는 반도체 생산 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원내용에 의하여 공개하는 것임.
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