JP2003295930A - 工程管理装置 - Google Patents
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q10/00—Administration; Management
- G06Q10/06—Resources, workflows, human or project management; Enterprise or organisation planning; Enterprise or organisation modelling
-
- G—PHYSICS
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- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
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- G—PHYSICS
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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- G05B2219/30—Nc systems
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 過剰生産に陥ることなく生産工程の安定稼動
を実現する。 【解決手段】 工程管理方法は、生産工程における生産
変動工程および計画良品率とを記憶するステップ（Ｓ１
００）と、ロット毎に仕掛り工程および仕掛り数を検知
するステップ（Ｓ１１２）と、生産変動工程前のロット
についてはロットごとの投入数と計画良品率とは別の比
率とに基づいてロット毎の良品数を算出し、生産変動工
程後のロットについてはロット毎の投入数と計画良品率
とに基づいてロット毎の良品数を算出して、それらの良
品数を合算した予測良品数を算出するステップ（Ｓ１２
４）と、算出された予測良品数に基づいて、生産工程に
追加して投入する投入数を算出するステップ（Ｓ１３
０）とを含む。
を実現する。 【解決手段】 工程管理方法は、生産工程における生産
変動工程および計画良品率とを記憶するステップ（Ｓ１
００）と、ロット毎に仕掛り工程および仕掛り数を検知
するステップ（Ｓ１１２）と、生産変動工程前のロット
についてはロットごとの投入数と計画良品率とは別の比
率とに基づいてロット毎の良品数を算出し、生産変動工
程後のロットについてはロット毎の投入数と計画良品率
とに基づいてロット毎の良品数を算出して、それらの良
品数を合算した予測良品数を算出するステップ（Ｓ１２
４）と、算出された予測良品数に基づいて、生産工程に
追加して投入する投入数を算出するステップ（Ｓ１３
０）とを含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、物品を製造する工
程を管理する装置に関し、特に、歩留まり変動などの要
因を含む複数の工程からなる半導体製造工程などにおい
て、工程投入数を管理する装置に関する。
程を管理する装置に関し、特に、歩留まり変動などの要
因を含む複数の工程からなる半導体製造工程などにおい
て、工程投入数を管理する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工程には、設計工程、マスク
製作工程、ウェハ製造工程、ウェハ処理工程、組立工
程、検査工程などから構成される。ウェハ処理工程は、
さらに、薄膜形成工程、酸化工程、ドーピング工程、ア
ニール工程、レジスト工程、露光工程、エッチング工
程、洗浄工程などに細分化される。
製作工程、ウェハ製造工程、ウェハ処理工程、組立工
程、検査工程などから構成される。ウェハ処理工程は、
さらに、薄膜形成工程、酸化工程、ドーピング工程、ア
ニール工程、レジスト工程、露光工程、エッチング工
程、洗浄工程などに細分化される。
【０００３】これら多くの工程を経由して製造される半
導体においては、予め工程毎や製品毎に、経験値などに
基づいて算出された生産変動分（たとえば、不良品率、
良品率、歩留まりなどとして表わされる）を考慮して、
全工程を完了した後の良品数が注文数を上回るように投
入数が算出される。そのようにして算出された投入数の
仕掛りが、生産管理上、複数のロットに分割されて工程
に投入される。
導体においては、予め工程毎や製品毎に、経験値などに
基づいて算出された生産変動分（たとえば、不良品率、
良品率、歩留まりなどとして表わされる）を考慮して、
全工程を完了した後の良品数が注文数を上回るように投
入数が算出される。そのようにして算出された投入数の
仕掛りが、生産管理上、複数のロットに分割されて工程
に投入される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この生産変動分の不良
品の発生は、工程投入前に見込まれているため、実際に
生産変動が発生する工程をロットが通過するまでは、そ
のロットに何個の不良品が発生したのかはわからない。
そのため、実際にそのロットに経験値などに基づいて算
出された良品率を、生産変動工程における実際の良品率
が上回ると、過剰生産となり、生産変動工程における実
際の良品率が下回ると、生産不足となる。これに応答し
て生産工程のスケジューリングを行なっていたのでは安
定生産を実現できない。
品の発生は、工程投入前に見込まれているため、実際に
生産変動が発生する工程をロットが通過するまでは、そ
のロットに何個の不良品が発生したのかはわからない。
そのため、実際にそのロットに経験値などに基づいて算
出された良品率を、生産変動工程における実際の良品率
が上回ると、過剰生産となり、生産変動工程における実
際の良品率が下回ると、生産不足となる。これに応答し
て生産工程のスケジューリングを行なっていたのでは安
定生産を実現できない。
【０００５】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたものであって、生産変動が発生する工程を含む生
産工程の安定稼動を実現する、工程管理装を提供するこ
とである。
されたものであって、生産変動が発生する工程を含む生
産工程の安定稼動を実現する、工程管理装を提供するこ
とである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】第１の発明に係る工程管
理装置は、生産変動工程前の投入数に対する、生産変動
工程後の良品数の比率を予め記憶するための記憶手段
と、生産工程におけるロット毎の投入数を検知するため
の検知手段と、生産変動工程前のロットについては、ロ
ット毎の投入数と比率とは別の比率とに基づいてロット
毎の良品数を算出し、生産変動工程後のロットについて
は、ロット毎の投入数と比率とに基づいて、ロット毎の
良品数を算出して、予測良品数を算出するための算出手
段と、算出された予測良品数に基づいて、生産工程に追
加投入する投入数を算出するための追加投入数算出手段
とを含む。
理装置は、生産変動工程前の投入数に対する、生産変動
工程後の良品数の比率を予め記憶するための記憶手段
と、生産工程におけるロット毎の投入数を検知するため
の検知手段と、生産変動工程前のロットについては、ロ
ット毎の投入数と比率とは別の比率とに基づいてロット
毎の良品数を算出し、生産変動工程後のロットについて
は、ロット毎の投入数と比率とに基づいて、ロット毎の
良品数を算出して、予測良品数を算出するための算出手
段と、算出された予測良品数に基づいて、生産工程に追
加投入する投入数を算出するための追加投入数算出手段
とを含む。
【０００７】第１の発明によると、工程管理装置は、複
数の工程を含む生産工程を管理するために用いられ、こ
の生産工程は少なくとも１つの生産変動工程を含む。こ
の生産工程には、同じ製品が複数のロットに分割されて
投入される。工程管理装置は、生産変動工程における良
品率を記憶し、各工程におけるロット毎の投入数を検知
する。算出手段は、生産変動工程前のロットについて
は、良品率よりも高い率や１００％の率を用いて良品数
を算出し、生産変動工程後のロットについては、良品率
を用いて良品数を算出し、それらの良品率を合算した予
測良品数を算出する。追加投入数算出手段は、予測良品
数と注文数との差に基づいて、生産工程に追加投入する
数を算出する。これにより、生産変動工程前のロットに
ついては、どのように生産変動が発生するのかが未確定
の状態であるので、予め定められた良品率とは別の高め
の良品率を用いて、良品数を多めに算出して、追加投入
される投入数を低めに算出することができる。その結
果、過剰生産に陥ることがなく、生産工程の安定稼動を
実現する工程管理装置を提供することができる。
数の工程を含む生産工程を管理するために用いられ、こ
の生産工程は少なくとも１つの生産変動工程を含む。こ
の生産工程には、同じ製品が複数のロットに分割されて
投入される。工程管理装置は、生産変動工程における良
品率を記憶し、各工程におけるロット毎の投入数を検知
する。算出手段は、生産変動工程前のロットについて
は、良品率よりも高い率や１００％の率を用いて良品数
を算出し、生産変動工程後のロットについては、良品率
を用いて良品数を算出し、それらの良品率を合算した予
測良品数を算出する。追加投入数算出手段は、予測良品
数と注文数との差に基づいて、生産工程に追加投入する
数を算出する。これにより、生産変動工程前のロットに
ついては、どのように生産変動が発生するのかが未確定
の状態であるので、予め定められた良品率とは別の高め
の良品率を用いて、良品数を多めに算出して、追加投入
される投入数を低めに算出することができる。その結
果、過剰生産に陥ることがなく、生産工程の安定稼動を
実現する工程管理装置を提供することができる。
【０００８】第２の発明に係る工程管理装置は、第１の
発明の構成に加えて、追加投入数算出手段により算出さ
れた投入数を追加投入するように、生産工程への指示を
出力するための出力手段をさらに含む。
発明の構成に加えて、追加投入数算出手段により算出さ
れた投入数を追加投入するように、生産工程への指示を
出力するための出力手段をさらに含む。
【０００９】第２の発明によると、出力手段により追加
投入を指示することができる。第３の発明に係る工程管
理装置は、第１または第２の発明の構成に加えて、別の
比率は、比率よりも高いものである。
投入を指示することができる。第３の発明に係る工程管
理装置は、第１または第２の発明の構成に加えて、別の
比率は、比率よりも高いものである。
【００１０】第３の発明によると、生産変動工程前のロ
ットについては、予め定められた良品率とは別の高い良
品率を用いて、良品数を多く算出して、追加投入される
投入数を低く算出することができる。その結果、過剰生
産に陥ることがなく、生産工程の安定稼動を実現する工
程管理装置を提供することができる。
ットについては、予め定められた良品率とは別の高い良
品率を用いて、良品数を多く算出して、追加投入される
投入数を低く算出することができる。その結果、過剰生
産に陥ることがなく、生産工程の安定稼動を実現する工
程管理装置を提供することができる。
【００１１】第４の発明に係る工程管理装置は、第１ま
たは第２の発明の構成に加えて、別の比率は、１００％
であるものである。
たは第２の発明の構成に加えて、別の比率は、１００％
であるものである。
【００１２】第４の発明によると、生産変動工程前のロ
ットについては、予め定められた良品率とは別の１００
％の良品率を用いて、良品数を投入数と同じ数として算
出して、そのロットに関して追加投入される投入数を０
にすることができる。その結果、過剰生産に陥ることが
なく、生産工程の安定稼動を実現する工程管理装置を提
供することができる。
ットについては、予め定められた良品率とは別の１００
％の良品率を用いて、良品数を投入数と同じ数として算
出して、そのロットに関して追加投入される投入数を０
にすることができる。その結果、過剰生産に陥ることが
なく、生産工程の安定稼動を実現する工程管理装置を提
供することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一
の部品には同一の符号を付してある。それらの名称およ
び機能も同じである。したがってそれらについての詳細
な説明は繰返さない。
の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一
の部品には同一の符号を付してある。それらの名称およ
び機能も同じである。したがってそれらについての詳細
な説明は繰返さない。
【００１４】図１を参照して、本実施の形態に係る工程
管理システムは、半導体を製造する工程に適用される。
この工程の一部として、製膜工程と成型工程とを例とし
てシステム構成を説明する。この工程管理システムは、
工程管理コンピュータ１００と、製膜工程コンピュータ
２００と、成型工程コンピュータ３００と、これらのコ
ンピュータを接続してデータ通信を可能にするネットワ
ーク４００とを含む。なお、図１に示したシステム構成
は一例であって、本発明の工程管理システムの適用を限
定するものではない。これ以外の工程、コンピュータを
含んでも良い。
管理システムは、半導体を製造する工程に適用される。
この工程の一部として、製膜工程と成型工程とを例とし
てシステム構成を説明する。この工程管理システムは、
工程管理コンピュータ１００と、製膜工程コンピュータ
２００と、成型工程コンピュータ３００と、これらのコ
ンピュータを接続してデータ通信を可能にするネットワ
ーク４００とを含む。なお、図１に示したシステム構成
は一例であって、本発明の工程管理システムの適用を限
定するものではない。これ以外の工程、コンピュータを
含んでも良い。
【００１５】工程管理コンピュータ１００は、半導体の
製品番号毎に生産変動工程および計画良品率を記憶す
る。工程管理コンピュータ１００は、注文番号毎に、製
品番号と注文数とを記憶する。工程管理コンピュータ１
００は、製膜工程コンピュータ２００および成型工程コ
ンピュータ３００から、各工程における各ロットの仕掛
り数を表わす進捗管理データを受信する。
製品番号毎に生産変動工程および計画良品率を記憶す
る。工程管理コンピュータ１００は、注文番号毎に、製
品番号と注文数とを記憶する。工程管理コンピュータ１
００は、製膜工程コンピュータ２００および成型工程コ
ンピュータ３００から、各工程における各ロットの仕掛
り数を表わす進捗管理データを受信する。
【００１６】製膜工程コンピュータ２００は、複数の製
膜装置２０２、２０４、２０６、２０８に接続され、そ
れらの装置から各装置におけるロットの仕掛り数を表わ
す進捗管理データを受信する。成型工程コンピュータ３
００は、複数の成型装置３０２、３０４、３０６、３０
８に接続され、それらの装置から各装置におけるロット
の仕掛り数を表わす進捗管理データを受信する。
膜装置２０２、２０４、２０６、２０８に接続され、そ
れらの装置から各装置におけるロットの仕掛り数を表わ
す進捗管理データを受信する。成型工程コンピュータ３
００は、複数の成型装置３０２、３０４、３０６、３０
８に接続され、それらの装置から各装置におけるロット
の仕掛り数を表わす進捗管理データを受信する。
【００１７】工程管理コンピュータは、ロット毎に生産
変動工程前後に応じて、良品数を算出して、１つの製品
番号に対して設定された複数のロットの良品数を合算し
て、予測良品数を算出する。このとき、生産変動工程前
のロットについては良品率を１００％として、生産変動
工程後のロットについては良品率を予め定められた良品
率として、予測良品数を算出する。工程管理コンピュー
タ１００は、算出された予測良品数に基づいて、工程に
追加投入する投入数を決定して、投入指示を出力すると
いう工程管理機能を実現する。
変動工程前後に応じて、良品数を算出して、１つの製品
番号に対して設定された複数のロットの良品数を合算し
て、予測良品数を算出する。このとき、生産変動工程前
のロットについては良品率を１００％として、生産変動
工程後のロットについては良品率を予め定められた良品
率として、予測良品数を算出する。工程管理コンピュー
タ１００は、算出された予測良品数に基づいて、工程に
追加投入する投入数を決定して、投入指示を出力すると
いう工程管理機能を実現する。
【００１８】本実施の形態に係る工程管理システムの工
程管理コンピュータ１００における工程管理機能は、コ
ンピュータにおいて、ＣＰＵ（Central Processing Uni
t）により所定のプログラムを実行することにより実現
される。
程管理コンピュータ１００における工程管理機能は、コ
ンピュータにおいて、ＣＰＵ（Central Processing Uni
t）により所定のプログラムを実行することにより実現
される。
【００１９】図２に、工程管理機能を実現する工程管理
コンピュータ１００の一例であるコンピュータシステム
の外観を示す。図２を参照してこのコンピュータシステ
ムは、ＦＤ（Flexible Disk）駆動装置１０６およびＣ
Ｄ−ＲＯＭ（Compact Disc-Read Only Memory)駆動装置
１０８を備えたコンピュータ１０２と、モニタ１０４
と、キーボード１１０と、マウス１１２とを含む。
コンピュータ１００の一例であるコンピュータシステム
の外観を示す。図２を参照してこのコンピュータシステ
ムは、ＦＤ（Flexible Disk）駆動装置１０６およびＣ
Ｄ−ＲＯＭ（Compact Disc-Read Only Memory)駆動装置
１０８を備えたコンピュータ１０２と、モニタ１０４
と、キーボード１１０と、マウス１１２とを含む。
【００２０】図３に、このコンピュータシステムの構成
をブロック図形式で示す。図３に示すように、コンピュ
ータ１０２は、上記したＦＤ駆動装置１０６およびＣＤ
−ＲＯＭ駆動装置１０８に加えて、相互にバスで接続さ
れたＣＰＵ（Central Processing Unit）１２０と、メ
モリ１２２と、固定ディスク１２４と、他のコンピュー
タと通信するための通信インターフェイス１２８とを含
む。ＦＤ駆動装置１０６にはＦＤ１１６が装着される。
ＣＤ−ＲＯＭ駆動装置１０８にはＣＤ−ＲＯＭ１１８が
装着される。これらのＦＤ１１６およびＣＤ−ＲＯＭ１
１８には、ソフトウェアに対応した所定のプログラムが
格納されている。
をブロック図形式で示す。図３に示すように、コンピュ
ータ１０２は、上記したＦＤ駆動装置１０６およびＣＤ
−ＲＯＭ駆動装置１０８に加えて、相互にバスで接続さ
れたＣＰＵ（Central Processing Unit）１２０と、メ
モリ１２２と、固定ディスク１２４と、他のコンピュー
タと通信するための通信インターフェイス１２８とを含
む。ＦＤ駆動装置１０６にはＦＤ１１６が装着される。
ＣＤ−ＲＯＭ駆動装置１０８にはＣＤ−ＲＯＭ１１８が
装着される。これらのＦＤ１１６およびＣＤ−ＲＯＭ１
１８には、ソフトウェアに対応した所定のプログラムが
格納されている。
【００２１】既に述べたように、工程管理機能を有する
工程管理コンピュータ１００は、コンピュータハードウ
ェアとＣＰＵ１２０により実行されるソフトウェアとに
より実現される。一般的にこうしたソフトウェアは、Ｆ
Ｄ１１６、ＣＤ−ＲＯＭ１１８などの記録媒体にプログ
ラムとして格納されて流通し、ＦＤ駆動装置１０６また
はＣＤ−ＲＯＭ駆動装置１０８などにより記録媒体から
読取られて固定ディスク１２４に一旦格納される。さら
に固定ディスク１２４からメモリ１２２に読出されて、
ＣＰＵ１２０により実行される。
工程管理コンピュータ１００は、コンピュータハードウ
ェアとＣＰＵ１２０により実行されるソフトウェアとに
より実現される。一般的にこうしたソフトウェアは、Ｆ
Ｄ１１６、ＣＤ−ＲＯＭ１１８などの記録媒体にプログ
ラムとして格納されて流通し、ＦＤ駆動装置１０６また
はＣＤ−ＲＯＭ駆動装置１０８などにより記録媒体から
読取られて固定ディスク１２４に一旦格納される。さら
に固定ディスク１２４からメモリ１２２に読出されて、
ＣＰＵ１２０により実行される。
【００２２】これらのコンピュータのハードウェア自体
は一般的なものである。コンピュータは、ＣＰＵを含む
制御回路、記憶回路、入力回路、出力回路およびＯＳ
（Operating System）を含み、プログラムを実行する環
境を備えたものである。本発明のプログラムは、このよ
うなコンピュータを、工程管理装置として機能させるプ
ログラムである。したがって本発明の最も本質的な部分
は、ＦＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、メモリカード、固定ディスク
などの記録媒体に記録されたプログラムである。
は一般的なものである。コンピュータは、ＣＰＵを含む
制御回路、記憶回路、入力回路、出力回路およびＯＳ
（Operating System）を含み、プログラムを実行する環
境を備えたものである。本発明のプログラムは、このよ
うなコンピュータを、工程管理装置として機能させるプ
ログラムである。したがって本発明の最も本質的な部分
は、ＦＤ、ＣＤ−ＲＯＭ、メモリカード、固定ディスク
などの記録媒体に記録されたプログラムである。
【００２３】なお、図２および図３に示したコンピュー
タ自体の動作は周知であるので、ここではその詳細な説
明は繰返さない。
タ自体の動作は周知であるので、ここではその詳細な説
明は繰返さない。
【００２４】図４を参照して、本実施の形態に係る工程
管理コンピュータ１００の固定ディスク１２４に記憶さ
れる生産変動工程データを説明する。図４に示すよう
に、この生産変動工程データは、製品番号毎に、歩留ま
り、良品率、不良品率などが変動する生産変動工程を記
憶する。たとえば、製品番号が「Ｍ３４００１」の場合
には、生産変動工程として「Ｋ８９９」が記憶されてい
る。
管理コンピュータ１００の固定ディスク１２４に記憶さ
れる生産変動工程データを説明する。図４に示すよう
に、この生産変動工程データは、製品番号毎に、歩留ま
り、良品率、不良品率などが変動する生産変動工程を記
憶する。たとえば、製品番号が「Ｍ３４００１」の場合
には、生産変動工程として「Ｋ８９９」が記憶されてい
る。
【００２５】図５を参照して、本実施の形態に係る工程
管理コンピュータ１００の固定ディスク１２４に記憶さ
れる注文データについて説明する。図５に示すように、
この注文データは、注文番号毎に、その注文番号に対応
する製品番号および注文数とを記憶する。たとえば、注
文番号が「ＳＲ００１」、「ＳＲ００２」および「ＳＲ
００３」の注文番号に対しては、すべて製品番号が「Ｍ
３４００１」の製品であり、注文数はそれぞれ１０００
個、１５００個、２０００個であることが記憶されてい
る。
管理コンピュータ１００の固定ディスク１２４に記憶さ
れる注文データについて説明する。図５に示すように、
この注文データは、注文番号毎に、その注文番号に対応
する製品番号および注文数とを記憶する。たとえば、注
文番号が「ＳＲ００１」、「ＳＲ００２」および「ＳＲ
００３」の注文番号に対しては、すべて製品番号が「Ｍ
３４００１」の製品であり、注文数はそれぞれ１０００
個、１５００個、２０００個であることが記憶されてい
る。
【００２６】図６を参照して、本実施の形態に係る工程
管理コンピュータ１００で実行されるプログラムの制御
構造について説明する。
管理コンピュータ１００で実行されるプログラムの制御
構造について説明する。
【００２７】ステップ（以下、ステップをＳと略す。）
１００にて、工程管理コンピュータ１００のＣＰＵ１２
０は、モニタ１０４に、生産変動工程の入力を要求する
画面を表示する。Ｓ１０２にて、ＣＰＵ１２０は、製品
番号毎に製品変動工程が入力されたか否かを判断する。
製品番号毎に生産変動工程が入力されると（Ｓ１０２に
てＹＥＳ）、処理はＳ１０４へ移される。もしそうでな
いと（Ｓ１０２にてＮＯ）、処理はＳ１００へ戻され
る。
１００にて、工程管理コンピュータ１００のＣＰＵ１２
０は、モニタ１０４に、生産変動工程の入力を要求する
画面を表示する。Ｓ１０２にて、ＣＰＵ１２０は、製品
番号毎に製品変動工程が入力されたか否かを判断する。
製品番号毎に生産変動工程が入力されると（Ｓ１０２に
てＹＥＳ）、処理はＳ１０４へ移される。もしそうでな
いと（Ｓ１０２にてＮＯ）、処理はＳ１００へ戻され
る。
【００２８】Ｓ１０４にて、ＣＰＵ１２０は、モニタ１
０４に、注文番号毎に、製品番号および注文数の入力を
要求する画面を表示する。Ｓ１０６にて、ＣＰＵ１２０
は、注文番号毎に、製品番号および注文数が入力された
か否かを判断する。注文番号毎に、製品番号および注文
数が入力されると（Ｓ１０６にてＹＥＳ）、処理はＳ１
０８へ移される。もしそうでないと（Ｓ１０６にてＮ
Ｏ）、処理はＳ１０４へ戻される。
０４に、注文番号毎に、製品番号および注文数の入力を
要求する画面を表示する。Ｓ１０６にて、ＣＰＵ１２０
は、注文番号毎に、製品番号および注文数が入力された
か否かを判断する。注文番号毎に、製品番号および注文
数が入力されると（Ｓ１０６にてＹＥＳ）、処理はＳ１
０８へ移される。もしそうでないと（Ｓ１０６にてＮ
Ｏ）、処理はＳ１０４へ戻される。
【００２９】Ｓ１０８にて、ＣＰＵ１２０は、１の製品
番号に対して２以上のロット番号を付与する。Ｓ１１０
にて、ＣＰＵ１２０は、ロット番号毎の仕掛り数および
計画良品率に基づいて予測良品数を算出する。この計画
良品率は、予めロット番号毎に固定ディスク１２４に記
憶されている。Ｓ１１２にて、ＣＰＵ１２０は、各工程
の工程管理コンピュータから受信した進捗管理データに
基づいて、ロット番号毎に仕掛り工程および仕掛り数を
検知して、固定ディスク１２４に記憶する。
番号に対して２以上のロット番号を付与する。Ｓ１１０
にて、ＣＰＵ１２０は、ロット番号毎の仕掛り数および
計画良品率に基づいて予測良品数を算出する。この計画
良品率は、予めロット番号毎に固定ディスク１２４に記
憶されている。Ｓ１１２にて、ＣＰＵ１２０は、各工程
の工程管理コンピュータから受信した進捗管理データに
基づいて、ロット番号毎に仕掛り工程および仕掛り数を
検知して、固定ディスク１２４に記憶する。
【００３０】Ｓ１１４にて、ＣＰＵ１２０は、変数Ｌと
変数Ｔとを初期化（Ｌ＝１、Ｔ＝０）する。Ｓ１１６に
て、ＣＰＵ１２０は、Ｌ番目のロット番号の仕掛り工程
Ｌ１（Ｌ）とＬ番目のロット番号に対応する製品番号の
生産変動工程Ｌ２（Ｌ）とを読出す。Ｓ１１８にて、Ｃ
ＰＵ１２０は、Ｌ１（Ｌ）はＬ２（Ｌ）の後工程である
か否かを判断する。Ｌ１（Ｌ）はＬ２（Ｌ）の後工程で
あると（Ｓ１１８にてＹＥＳ）、処理はＳ１２０へ移さ
れる。もしそうでないと（Ｓ１１８にてＮＯ）、処理は
Ｓ１２２へ移される。
変数Ｔとを初期化（Ｌ＝１、Ｔ＝０）する。Ｓ１１６に
て、ＣＰＵ１２０は、Ｌ番目のロット番号の仕掛り工程
Ｌ１（Ｌ）とＬ番目のロット番号に対応する製品番号の
生産変動工程Ｌ２（Ｌ）とを読出す。Ｓ１１８にて、Ｃ
ＰＵ１２０は、Ｌ１（Ｌ）はＬ２（Ｌ）の後工程である
か否かを判断する。Ｌ１（Ｌ）はＬ２（Ｌ）の後工程で
あると（Ｓ１１８にてＹＥＳ）、処理はＳ１２０へ移さ
れる。もしそうでないと（Ｓ１１８にてＮＯ）、処理は
Ｓ１２２へ移される。
【００３１】Ｓ１２０にて、ＣＰＵ１２０は、Ｔ（Ｌ）
に、Ｌ番目のロットに対する予測良品数を代入する。Ｓ
１２２にて、ＣＰＵ１２０は、Ｔ（Ｌ）にＬ番目のロッ
トに対する仕掛り数を代入する。Ｓ１２０およびＳ１２
２における処理の後、処理はＳ１２４へ移される。
に、Ｌ番目のロットに対する予測良品数を代入する。Ｓ
１２２にて、ＣＰＵ１２０は、Ｔ（Ｌ）にＬ番目のロッ
トに対する仕掛り数を代入する。Ｓ１２０およびＳ１２
２における処理の後、処理はＳ１２４へ移される。
【００３２】Ｓ１２４にて、ＣＰＵ１２０は、Ｔ＝Ｔ＋
Ｔ（Ｌ）の演算を行なう。Ｓ１２６にて、ＣＰＵ１２０
は、変数Ｌに１を加算する。Ｓ１２８にて、ＣＰＵ１２
０は、変数Ｌがその製品番号に対応するロット数よりも
大きいか否かを判断する。変数Ｌがその製品番号に対応
するロット数よりも大きい場合には（Ｓ１２８にてＹＥ
Ｓ）、処理はＳ１３０へ移される。もしそうでないと
（Ｓ１２８にてＮＯ）、処理はＳ１１６へ戻される。
Ｔ（Ｌ）の演算を行なう。Ｓ１２６にて、ＣＰＵ１２０
は、変数Ｌに１を加算する。Ｓ１２８にて、ＣＰＵ１２
０は、変数Ｌがその製品番号に対応するロット数よりも
大きいか否かを判断する。変数Ｌがその製品番号に対応
するロット数よりも大きい場合には（Ｓ１２８にてＹＥ
Ｓ）、処理はＳ１３０へ移される。もしそうでないと
（Ｓ１２８にてＮＯ）、処理はＳ１１６へ戻される。
【００３３】Ｓ１３０にて、ＣＰＵ１２０は、追加投入
数＝製造番号毎の注文数−Ｔとして算出する。Ｓ１３２
にて、ＣＰＵ１２０は、さらに別の製品番号があるか否
かを判断する。さらに別の製品番号がある場合には（Ｓ
１３２にてＹＥＳ）、処理はＳ１１４へ戻される。もし
そうでないと（Ｓ１３２にてＮＯ）、この処理は終了す
る。なお、Ｓ１３２における処理の後、Ｓ１３０にて算
出された追加投入数に基づいて、ＣＰＵ１２０は生産工
程に投入指示を出力するようにしてもよい。
数＝製造番号毎の注文数−Ｔとして算出する。Ｓ１３２
にて、ＣＰＵ１２０は、さらに別の製品番号があるか否
かを判断する。さらに別の製品番号がある場合には（Ｓ
１３２にてＹＥＳ）、処理はＳ１１４へ戻される。もし
そうでないと（Ｓ１３２にてＮＯ）、この処理は終了す
る。なお、Ｓ１３２における処理の後、Ｓ１３０にて算
出された追加投入数に基づいて、ＣＰＵ１２０は生産工
程に投入指示を出力するようにしてもよい。
【００３４】以上のような構造およびフローチャートに
基づく、本実施の形態に係る工程管理コンピュータの動
作について説明する。
基づく、本実施の形態に係る工程管理コンピュータの動
作について説明する。
【００３５】工程管理コンピュータ１００のモニタに生
産変動工程の入力を要求する画面が表示され（Ｓ１０
０）、工程管理者が製品番号毎に生産変動工程を入力す
ると（Ｓ１０２にてＹＥＳ）、生産変動工程データ（図
４）が作成され、固定ディスク１２０に記憶される。
産変動工程の入力を要求する画面が表示され（Ｓ１０
０）、工程管理者が製品番号毎に生産変動工程を入力す
ると（Ｓ１０２にてＹＥＳ）、生産変動工程データ（図
４）が作成され、固定ディスク１２０に記憶される。
【００３６】モニタ１０４に、注文番号毎に製品番号お
よび注文数の入力を要求する画面が表示され（Ｓ１０
４）、工程管理者が注文番号毎に製品番号および注文数
を入力すると（Ｓ１０６にてＹＥＳ）、注文データ（図
５）が作成され、固定ディスク１２０に記憶される。
よび注文数の入力を要求する画面が表示され（Ｓ１０
４）、工程管理者が注文番号毎に製品番号および注文数
を入力すると（Ｓ１０６にてＹＥＳ）、注文データ（図
５）が作成され、固定ディスク１２０に記憶される。
【００３７】１の製品番号に対して２以上のロット番号
が付与され（Ｓ１０８）、ロット番号毎の仕掛り数およ
び計画良品率に基づいて、予測良品数が算出される（Ｓ
１１０）。このとき、図７に示すように、予測良品数が
算出され、算出された予測良品数は固定ディスク１２４
に記憶される。
が付与され（Ｓ１０８）、ロット番号毎の仕掛り数およ
び計画良品率に基づいて、予測良品数が算出される（Ｓ
１１０）。このとき、図７に示すように、予測良品数が
算出され、算出された予測良品数は固定ディスク１２４
に記憶される。
【００３８】本実施の形態に係る工程管理コンピュータ
が管理する工程に、ロット毎に投入が進み、各工程にお
いて生産が進捗すると、各工程の工程管理コンピュータ
から受信した進捗管理データに基づいて、ロット番号毎
に仕掛り工程および仕掛り数が検知される（Ｓ１１
２）。変数が初期化され（Ｌ＝１、Ｔ＝０）（Ｓ１１
４）、１番目のロット番号の仕掛り工程Ｌ１（１）とＬ
番目のロット番号に対応する製品番号の生産変動工程Ｌ
２（１）とが固定ディスク１２４から読出される（Ｓ１
１６）。Ｌ１（１）がＬ２（１）の後工程である場合に
は（Ｓ１１８にてＹＥＳ）、そのロットは既に生産変動
工程を終了しているため、Ｔ（１）にＬ番目のロットに
対する予測良品数が代入される（Ｓ１２０）。一方、Ｌ
１（１）がＬ２（１）の前工程であると（Ｓ１１８にて
ＮＯ）、そのロットは生産変動工程の前工程であるた
め、Ｔ（１）にＬ番目のロットに対する仕掛り数が代入
される。このような処理が１つの製品番号に対して含ま
れるすべてのロットに対して繰返し行なわれ、予測良品
数または仕掛り数のいずれかを合算して良品数の合計が
算出される。この良品数の合計と注文数との差を追加投
入数として算出する（Ｓ１３０）。このとき、図８に示
すように、各製品番号のロット番号毎に、生産変動工程
の前後判定が行なわれ、予測良品数を、予測良品数およ
び仕掛り数のいずれかにして、良品数の合計が算出され
る。
が管理する工程に、ロット毎に投入が進み、各工程にお
いて生産が進捗すると、各工程の工程管理コンピュータ
から受信した進捗管理データに基づいて、ロット番号毎
に仕掛り工程および仕掛り数が検知される（Ｓ１１
２）。変数が初期化され（Ｌ＝１、Ｔ＝０）（Ｓ１１
４）、１番目のロット番号の仕掛り工程Ｌ１（１）とＬ
番目のロット番号に対応する製品番号の生産変動工程Ｌ
２（１）とが固定ディスク１２４から読出される（Ｓ１
１６）。Ｌ１（１）がＬ２（１）の後工程である場合に
は（Ｓ１１８にてＹＥＳ）、そのロットは既に生産変動
工程を終了しているため、Ｔ（１）にＬ番目のロットに
対する予測良品数が代入される（Ｓ１２０）。一方、Ｌ
１（１）がＬ２（１）の前工程であると（Ｓ１１８にて
ＮＯ）、そのロットは生産変動工程の前工程であるた
め、Ｔ（１）にＬ番目のロットに対する仕掛り数が代入
される。このような処理が１つの製品番号に対して含ま
れるすべてのロットに対して繰返し行なわれ、予測良品
数または仕掛り数のいずれかを合算して良品数の合計が
算出される。この良品数の合計と注文数との差を追加投
入数として算出する（Ｓ１３０）。このとき、図８に示
すように、各製品番号のロット番号毎に、生産変動工程
の前後判定が行なわれ、予測良品数を、予測良品数およ
び仕掛り数のいずれかにして、良品数の合計が算出され
る。
【００３９】以上のようにして、本実施の形態に係る工
程管理システムは、１つの製品番号を複数のロットに分
けて生産工程に投入する場合において、それらのロット
が生産変動工程前である場合には良品率を１００％とし
て、生産変動工程の後工程である場合には予め定められ
た良品率に基づいて良品数を算出して、１つの製品番号
に対応するすべてのロット番号における予測良品数を合
算することにより製品番号毎の追加投入数を算出する。
これにより、生産変動工程前のロットについては、どの
ように生産変動が発生するのかが未確定の状態であるの
で、良品率を１００％として良品数を多めに算出して、
追加投入される投入数を低めに算出することができる。
その結果、過剰生産に陥ることがなく、生産工程の安定
稼動を実現することができる。
程管理システムは、１つの製品番号を複数のロットに分
けて生産工程に投入する場合において、それらのロット
が生産変動工程前である場合には良品率を１００％とし
て、生産変動工程の後工程である場合には予め定められ
た良品率に基づいて良品数を算出して、１つの製品番号
に対応するすべてのロット番号における予測良品数を合
算することにより製品番号毎の追加投入数を算出する。
これにより、生産変動工程前のロットについては、どの
ように生産変動が発生するのかが未確定の状態であるの
で、良品率を１００％として良品数を多めに算出して、
追加投入される投入数を低めに算出することができる。
その結果、過剰生産に陥ることがなく、生産工程の安定
稼動を実現することができる。
【００４０】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。
【図１】 本発明の実施の形態に係る工程管理システム
の全体構成図である。
の全体構成図である。
【図２】 図１に示すサーバを実現するコンピュータの
外観図である。
外観図である。
【図３】 図２に示すコンピュータの制御ブロック図で
ある。
ある。
【図４】 工程管理コンピュータの固定ディスクに記憶
される生産変動工程データを示す図である。
される生産変動工程データを示す図である。
【図５】 工程管理コンピュータの固定ディスクに記憶
される注文データを示す図である。
される注文データを示す図である。
【図６】 本発明の実施の形態に係る工程管理コンピュ
ータで実行されるプログラムの制御構造を示すフローチ
ャートである。
ータで実行されるプログラムの制御構造を示すフローチ
ャートである。
【図７】 工程管理コンピュータの固定ディスクに記憶
される工程管理データ（その１）を示す図である。
される工程管理データ（その１）を示す図である。
【図８】 工程管理コンピュータの固定ディスクに記憶
される工程管理データ（その２）を示す図である。
される工程管理データ（その２）を示す図である。
１００ サーバ、１０２ コンピュータ、１０４ モニ
タ、１０６ ＦＤ駆動装置、１０８ ＣＤ−ＲＯＭ駆動
装置、１１０ キーボード、１１２ マウス、１１６
ＦＤ、１１８ ＣＤ−ＲＯＭ、１２０ ＣＰＵ、１２２
メモリ、１２４ 固定ディスク、１２８ 通信インタ
ーフェイス、２００ 製膜工程管理コンピュータ、３０
０ 成型工程管理コンピュータ、４００ ネットワー
ク。
タ、１０６ ＦＤ駆動装置、１０８ ＣＤ−ＲＯＭ駆動
装置、１１０ キーボード、１１２ マウス、１１６
ＦＤ、１１８ ＣＤ−ＲＯＭ、１２０ ＣＰＵ、１２２
メモリ、１２４ 固定ディスク、１２８ 通信インタ
ーフェイス、２００ 製膜工程管理コンピュータ、３０
０ 成型工程管理コンピュータ、４００ ネットワー
ク。
Claims (4)
- 【請求項１】 複数の工程を含む生産工程を管理する工
程管理装置であって、前記生産工程は少なくとも１つの
生産変動工程を含み、同じ製品が複数のロットに分割さ
れて前記生産工程に投入され、前記工程管理装置は、 前記生産変動工程前の投入数に対する、前記生産変動工
程後の良品数の比率を予め記憶するための記憶手段と、 前記生産工程におけるロット毎の投入数を検知するため
の検知手段と、 前記生産変動工程前のロットについては、前記ロット毎
の投入数と前記比率とは別の比率とに基づいて前記ロッ
ト毎の良品数を算出し、前記生産変動工程後のロットに
ついては、前記ロット毎の投入数と前記比率とに基づい
て、前記ロット毎の良品数を算出して、予測良品数を算
出するための算出手段と、 前記算出された予測良品数に基づいて、前記生産工程に
追加投入する投入数を算出するための追加投入数算出手
段とを含む、工程管理装置。 - 【請求項２】 前記工程管理装置は、前記追加投入数算
出手段により算出された投入数を追加投入するように、
前記生産工程への指示を出力するための出力手段をさら
に含む、請求項１に記載の工程管理装置。 - 【請求項３】 前記別の比率は、前記比率よりも高い、
請求項１または２に記載の工程管理装置。 - 【請求項４】 前記別の比率は、１００％である、請求
項１または２に記載の工程管理装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002098883A JP2003295930A (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | 工程管理装置 |
| US10/267,752 US20030187533A1 (en) | 2002-04-01 | 2002-10-10 | Process managing apparatus for managing production process including production fluctuation process |
| KR1020020080185A KR20030079665A (ko) | 2002-04-01 | 2002-12-16 | 생산변동공정을 포함하는 생산공정을 관리하는 공정관리장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002098883A JP2003295930A (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | 工程管理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003295930A true JP2003295930A (ja) | 2003-10-17 |
Family
ID=28449835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002098883A Withdrawn JP2003295930A (ja) | 2002-04-01 | 2002-04-01 | 工程管理装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20030187533A1 (ja) |
| JP (1) | JP2003295930A (ja) |
| KR (1) | KR20030079665A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007193525A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Hitachi Ltd | トレーサビリティ情報収集方法、トレーサビリティ情報収集システム、購入部品情報入力端末および製作品情報入力端末 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4058038B2 (ja) * | 2004-12-22 | 2008-03-05 | 株式会社日立製作所 | 負荷監視装置および負荷監視方法 |
| JP5710435B2 (ja) * | 2011-09-16 | 2015-04-30 | 株式会社日立製作所 | 製造ライン設計装置および製造ライン設計方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2539447B2 (ja) * | 1987-08-12 | 1996-10-02 | 株式会社日立製作所 | 枚葉キャリアによる生産方法 |
| JP3847568B2 (ja) * | 2001-03-01 | 2006-11-22 | ファブソリューション株式会社 | 半導体装置製造方法 |
-
2002
- 2002-04-01 JP JP2002098883A patent/JP2003295930A/ja not_active Withdrawn
- 2002-10-10 US US10/267,752 patent/US20030187533A1/en not_active Abandoned
- 2002-12-16 KR KR1020020080185A patent/KR20030079665A/ko active IP Right Grant
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007193525A (ja) * | 2006-01-18 | 2007-08-02 | Hitachi Ltd | トレーサビリティ情報収集方法、トレーサビリティ情報収集システム、購入部品情報入力端末および製作品情報入力端末 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20030187533A1 (en) | 2003-10-02 |
| KR20030079665A (ko) | 2003-10-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050607 |