JP2021018494A - 状態管理システム及び状態管理方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】装置の状態を把握しやすくする状態管理システム及び状態管理方法を提供する。【解決手段】状態管理システムは、装置に蓄積されたデータを取得する取得部３０１と、取得されたデータのうち、予め選択された複数種類のデータを組み合わせ、前記装置の正常度合いを示す１の指標を算出する処理を、所定周期ごとに実行する実行部３０２と、算出された前記１の指標を表示する表示制御部３０４とを有する。【選択図】図３

Description

本発明は、状態管理システム及び状態管理方法に関する。
一般に、基板処理装置等の各種装置では、稼働中のデータを監視し、異常を検知した場合に、作業者等に報知を行う。また、報知を受けた作業者等は、必要に応じて装置の稼働を停止させ、当該装置に対してメンテナンス等を行う。
一方で、稼働中の装置を停止させるシーンを減らし、装置の生産性を向上させるには、例えば、作業者等が稼働中の装置の状態を把握し、異常が検知される前に適切な処置を施す（つまり、異常の発生を未然に防ぐ）ことが効果的である。
しかしながら、装置が管理するデータは多岐にわたっており、異常が検知される前のデータ全てを、作業者等が稼働中に監視し、装置の状態を把握することは容易ではない。
特開２０１７−１８３７０８号公報
本開示は、装置の状態を把握しやすくする状態管理システム及び状態管理方法を提供する。
一態様によれば、状態管理システムは、
装置に蓄積されたデータを取得する取得部と、
取得されたデータのうち、予め選択された複数種類のデータを組み合わせ、前記装置の正常度合いを示す１の指標を算出する処理を、所定周期ごとに実行する実行部と、
算出された前記１の指標を表示する表示制御部とを有する。
本開示によれば、装置の状態を把握しやすくする状態管理システム及び状態管理方法を提供することができる。
状態管理システムのシステム構成及び基板処理装置に蓄積されるデータ例を示す図である。 解析装置のハードウェア構成の一例を示す図である。 解析装置の機能構成の一例を示す図である。 解析装置による健康値算出処理の具体例を示す図である。 解析装置による健康値算出処理の流れを示すフローチャートである。 解析装置による稼働率算出処理の具体例を示す図である。 解析装置による稼働率算出処理の流れを示すフローチャートである。 解析装置に表示される管理画面及び詳細画面の一例を示す図である。 複数の基板処理装置について算出された健康値及び稼働率の具体例を示す図である。
以下、各実施形態について添付の図面を参照しながら説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。
［第１の実施形態］
＜状態管理システムのシステム構成及び基板処理装置に蓄積されるデータ例＞
はじめに、第１の実施形態に係る状態管理システムのシステム構成と、該状態管理システムを構成する各基板処理装置に蓄積されるデータ例について説明する。図１は、状態管理システムのシステム構成及び基板処理装置に蓄積されるデータ例を示す図である。
図１に示すように、状態管理システム１００は、基板処理装置１２０＿１〜１２０＿ｎと、解析装置１４０とを有する。基板処理装置１２０＿１〜１２０＿ｎと解析装置１４０とは、有線または無線により接続される。
基板処理装置１２０＿１〜１２０＿ｎは、ネットワーク１５０を介してホスト装置１１０と接続され、ホスト装置１１０からの指示に基づいて半導体製造プロセスを実行する。なお、基板処理装置１２０＿１〜１２０＿ｎは、それぞれが管理する多岐にわたるデータを自装置内に蓄積しているものとする。
図１において、蓄積データ１３０は、基板処理装置１２０＿１が管理するデータの一例を示している。図１に示すように、蓄積データ１３０には、データ項目とデータ内容とが含まれる。
図１の例は、データ項目として、"アラーム発生"、"ウェハ処理枚数"、"累積膜厚"、"ＲＩＳＫ品発生"、"メンテナンス履歴"、"パーツ管理（パーツＡの通電時間）"が含まれることを示している。なお、蓄積データ１３０に含まれるデータ項目は、これらに限定されるものではないことはいうまでもない。
解析装置１４０は、基板処理装置１２０＿１〜１２０＿ｎに接続されることで、基板処理装置１２０＿１〜１２０＿ｎに蓄積された蓄積データを継続的に取得する。図１の例は、解析装置１４０が基板処理装置１２０＿１に接続された様子を示している。以下、本実施形態では、解析装置１４０が基板処理装置１２０＿１に接続される場合の詳細について説明する。
解析装置１４０は、基板処理装置１２０＿１に接続されると、基板処理装置１２０＿１より蓄積データ１３０を継続的に取得し、取得した蓄積データ１３０に基づいて、所定周期ごとに、基板処理装置１２０＿１の状態を示す指標を算出し、作業者に表示する。具体的には、解析装置１４０は、基板処理装置１２０＿１の状態を示す指標として、基板処理装置１２０＿１の"健康値"と"稼働率"とを算出し、作業者に表示する。
"健康値"とは、基板処理装置１２０＿１の正常度合いを示す１の指標（第１の指標）である。解析装置１４０は、取得した蓄積データ１３０のうち、予め選択された複数種類のデータ項目（例えば、異常の発生に関わるデータ項目）に対応するデータ内容であって、予め指定された対象区間のデータ内容を組み合わせることで健康値を算出する。
このように、解析装置１４０では、蓄積データ１３０における複数種類のデータ項目に対応するデータ内容を組み合わせることで１の指標を算出し、作業者に表示する。これにより、基板処理装置１２０＿１に蓄積された多岐にわたる蓄積データ全てを作業者が監視する場合と比較して、作業者の監視負荷を減らすことができる。また、解析装置１４０では、１の指標として、基板処理装置１２０＿１の健康値を算出して、作業者に表示する。これにより、作業者は、基板処理装置１２０＿１の現在の状態を直接把握することができる。
一方、"稼働率"とは、基板処理装置１２０＿１が稼働できる状態にあった割合を示す１の指標（第２の指標）である。解析装置１４０は、基板処理装置１２０＿１より取得した蓄積データ１３０から、基板処理装置１２０＿１が稼働できる状態にあったか否かを示すデータ項目に対応するデータ内容であって、予め指定された対象区間のデータ内容を抽出することで稼働率を算出する。
このように、解析装置１４０では、基板処理装置１２０＿１が稼働できる状態にあったか否かを示すデータ項目に対応するデータ内容を用いて１の指標を算出し、作業者に表示する。これにより、基板処理装置１２０＿１に蓄積された多岐にわたる蓄積データ全てを作業者が監視する場合と比較して、作業者の監視負荷を減らすことができる。また、解析装置１４０では、１の指標として、基板処理装置１２０＿１の稼働率を算出して、作業者に表示する。これにより、作業者は、基板処理装置１２０＿１の過去（直近）の状態を直接把握することができる。
なお、作業者は解析装置１４０に表示された健康値及び稼働率を監視し、これらが低下した場合に（異常が検知される前に）、低下の原因に応じた処置を施す。これにより、作業者は、基板処理装置１２０＿１における異常の発生を未然に防ぐことができる。
＜解析装置のハードウェア構成＞
次に、解析装置１４０のハードウェア構成について説明する。図２は、解析装置のハードウェア構成の一例を示す図である。図２に示すように、解析装置１４０は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）２０１、ＲＯＭ（Read Only Memory）２０２、ＲＡＭ（Random Access Memory）２０３を有する。ＣＰＵ２０１、ＲＯＭ２０２、ＲＡＭ２０３は、いわゆるコンピュータを形成する。
また、解析装置１４０は、補助記憶部２０４、表示部２０５、入力部２０６、ネットワークＩ／Ｆ（Interface）部２０７、接続部２０８を有する。なお、解析装置１４０の各ハードウェアは、バス２０９を介して相互に接続されている。
ＣＰＵ２０１は、補助記憶部２０４にインストールされている各種プログラム（例えば、後述する解析プログラム等）を実行するデバイスである。ＲＯＭ２０２は、不揮発性メモリである。ＲＯＭ２０２は、補助記憶部２０４にインストールされている各種プログラムをＣＰＵ２０１が実行するために必要な各種プログラムやデータ等を格納する、主記憶デバイスとして機能する。具体的には、ＲＯＭ２０２はＢＩＯＳ（Basic Input/Output System）やＥＦＩ（Extensible Firmware Interface）等のブートプログラム等を格納する。
ＲＡＭ２０３は、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）やＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）等の揮発性メモリである。ＲＡＭ２０３は、補助記憶部２０４にインストールされている各種プログラムがＣＰＵ２０１によって実行される際に展開される作業領域を提供する、主記憶デバイスとして機能する。
補助記憶部２０４は、各種プログラムや、各種プログラムが実行される際に用いられる情報を格納する補助記憶デバイスである。後述するデータ格納部は、補助記憶部２０４において実現される。
表示部２０５は、各種画面（例えば、後述するカスタマイズ画面、管理画面、詳細画面等）を表示する、表示デバイスである。入力部２０６は、解析装置１４０に対して、作業者が各種指示を入力するための入力デバイスである。
ネットワークＩ／Ｆ部２０７は、不図示の外部ネットワークと接続する通信デバイスである。接続部２０８は、基板処理装置１２０＿１に接続する接続デバイスである。
＜解析装置の機能構成＞
次に、解析装置１４０の機能構成について説明する。図３は、解析装置の機能構成の一例を示す図である。上述したように、解析装置１４０には解析プログラムがインストールされており、当該解析プログラムを実行することで、解析装置１４０は、データ取得部３０１、健康値算出部３０２、稼働率算出部３０３、表示制御部３０４として機能する。
データ取得部３０１は、解析装置１４０が基板処理装置１２０＿１に接続されることで、基板処理装置１２０＿１が蓄積した蓄積データ１３０を継続的に取得し、データ格納部３１０に格納する。
健康値算出部３０２は第１の実行部の一例である。健康値算出部３０２は、表示制御部３０４からの指示に基づいて、データ格納部３１０に格納された蓄積データから、予め選択されたデータ項目に対応するデータ内容であって、予め指定された対象区間のデータ内容を読み出す。また、健康値算出部３０２は、読み出したデータ内容に予め指定された重み係数をかけることで、各データ項目の"減点値"を算出する。
また、健康値算出部３０２は、各データ項目の減点値を、満点値（例えば、１００）から差し引くことで、健康値を算出する。更に、健康値算出部３０２は、算出した健康値を表示制御部３０４に通知する。
稼働率算出部３０３は第２の実行部の一例である。稼働率算出部３０３は、表示制御部３０４からの指示に基づいて、データ格納部３１０に格納された蓄積データから、基板処理装置が稼働できる状態にあったか否かを示すデータ項目に対応するデータ内容であって、予め指定された対象区間のデータ内容を読み出す。
また、稼働率算出部３０３は、読み出したデータ内容に基づいて、基板処理装置が稼働できる状態にあった時間長を算出する。更に、稼働率算出部３０３は、予め指定された対象区間に占める、算出した時間長の割合を稼働率として算出し、表示制御部３０４に通知する。
表示制御部３０４は、健康値の算出に用いる、データ項目及び重み係数の選択または指定を受け付け、健康値算出部３０２に通知する。また、表示制御部３０４は、健康値及び稼働率の算出に用いる対象区間の指定を受け付け、健康値算出部３０２、稼働率算出部３０３に通知する。
また、表示制御部３０４は、所定の周期ごとに、健康値算出部３０２及び稼働率算出部３０３に対して、健康値及び稼働率の算出を指示する。また、表示制御部３０４は、算出を指示したことに応じて、健康値算出部３０２及び稼働率算出部３０３から通知された健康値及び稼働率を、管理画面に表示する。
なお、表示制御部３０４では、過去に健康値算出部３０２及び稼働率算出部３０３から通知された健康値及び稼働率も合わせて管理画面に表示する。これにより、作業者は、健康値及び稼働率の、現在に至るまでの遷移を把握することができる。
また、表示制御部３０４は、管理画面に健康値を表示したことに応じて、作業者より詳細表示の指示が入力された場合に、健康値算出部３０２に対して、減点値が算出されたデータ項目に対応するデータ内容を通知するよう指示する。更に、表示制御部３０４では、健康値算出部３０２より、減点値が算出されたデータ項目に対応するデータ内容が通知されると、当該データ内容を、詳細画面に表示する。
＜健康値算出処理の具体例＞
次に、解析装置１４０による健康値算出処理の具体例について説明する。図４は、健康値算出処理の具体例を示す図である。図４に示すように、解析装置１４０が健康値算出処理を行うにあたっては、はじめに、表示制御部３０４が、表示部２０５にカスタマイズ画面４００を表示し、健康値の算出に用いるデータ項目の選択を受け付ける。
図４に示すように、カスタマイズ画面４００には、基板処理装置１２０＿１に蓄積された蓄積データ１３０に含まれるデータ項目の一覧が表示される。作業者は、カスタマイズ画面４００に一覧表示されたデータ項目の中から、健康値の算出に用いるデータ項目を選択する。図４のカスタマイズ画面４００の例は、一覧表示されたデータ項目の中から、健康値の算出に用いるデータ項目として、"ウェハ処理枚数"、"アラーム発生頻度"、"累積膜厚"、"ＲＩＳＫ品発生割合"が選択された様子を示している。
なお、図４に示すように、カスタマイズ画面４００には、更に、健康値の算出に用いる重み係数を指定する重み係数指定欄が含まれる。作業者は、データ項目を選択するごとに、重み係数指定欄に重み係数を入力し、設定ボタン４１０を押圧することで、各データ項目の重み係数を指定することができる。
また、図４に示すように、カスタマイズ画面４００には、更に、健康値の算出に用いる対象区間を指定する対象区間指定欄が含まれる。作業者は、対象区間指定欄に対象区間を入力し、設定ボタン４１０を押圧することで、健康値の算出に用いる対象区間を指定することができる。
図４の例の場合、健康値算出部３０２は、蓄積データ１３０のうち、点線４２０で囲まれた対象区間のデータ内容を用いて、下式に基づいて健康値の算出を行う。
（式１）
（健康値）＝１００−ａ１×（ウェハ処理枚数）−ａ２×（アラーム発生頻度）−ａ３×（累積膜厚）−ａ４×（ＲＩＳＫ品発生割合）
なお、"ａ１"〜"ａ４"は、選択されたデータ項目ごとに指定された重み係数を表す。また、"１００"は満点値であり、ａ１×（ウェハ処理枚数）は、データ項目＝"ウェハ処理枚数"の減点値を表す。同様に、ａ２×（アラーム発生頻度）は、データ項目＝"アラーム発生頻度"の減点値を、ａ３×（累積膜厚）は、データ項目＝"累積膜厚"の減点値を、ａ４×（ＲＩＳＫ品発生割合）は、データ項目＝"ＲＩＳＫ品発生割合"の減点値をそれぞれ表す。ただし、健康値算出部３０２では、減点値を算出するにあたり、選択されたデータ項目に対応するデータ内容に対して、例えば正規化処理を行うものとする。
＜健康値算出処理の流れ＞
次に、解析装置１４０による健康値算出処理の流れについて説明する。図５は、解析装置による健康値算出処理の流れを示すフローチャートである。なお、健康値算出処理の実行中、データ取得部３０１では、基板処理装置１２０＿１から継続的に蓄積データ１３０を取得し、データ格納部３１０に格納するものとする。
ステップＳ５０１において、表示制御部３０４はカスタマイズ画面４００を表示し、対象区間の指定を受け付ける。また、表示制御部３０４は、受け付けた対象区間を健康値算出部３０２に通知する。
ステップＳ５０２において、表示制御部３０４はカスタマイズ画面４００において、データ項目の選択を受け付けるとともに、選択を受け付けたデータ項目について重み係数の指定を受け付ける。また、表示制御部３０４は、受け付けたデータ項目及び重み係数を健康値算出部３０２に通知する。
ステップＳ５０３において、表示制御部３０４は、所定の周期が経過したか否かを判定する。ステップＳ５０３において、所定の周期が経過していないと判定した場合には（ステップＳ５０３においてＮｏの場合には）、ステップＳ５０６に進む。
一方、ステップＳ５０３において、所定の周期が経過したと判定した場合には（ステップＳ５０３においてＹｅｓの場合には）、ステップＳ５０４に進む。ステップＳ５０４において、表示制御部３０４は、健康値算出部３０２に対して健康値の算出を指示する。また、健康値算出部３０２は、表示制御部３０４より通知されたデータ項目に対応するデータ内容であって、通知された対象区間のデータ内容を、データ格納部３１０から読み出す。
ステップＳ５０５において、健康値算出部３０２は、読み出したデータ内容に、表示制御部３０４より通知された重み係数をかけることで、選択された各データ項目の減点値を算出する。また、健康値算出部３０２は、算出した減点値を満点値から減算することで、健康値を算出する。また、表示制御部３０４は、健康値算出部３０２により算出された健康値を管理画面に表示するとともに、過去に算出された健康値をあわせて管理画面に表示する。
ステップＳ５０６において、表示制御部３０４は、健康値について詳細表示の指示を受け付けたか否かを判定する。ステップＳ５０６において、詳細表示の指示を受け付けていないと判定した場合には（ステップＳ５０６においてＮｏの場合には）、ステップＳ５０８に進む。
一方、ステップＳ５０６において、詳細表示の指示を受け付けたと判定した場合には（ステップＳ５０６においてＹｅｓの場合には）、ステップＳ５０７に進む。ステップＳ５０７において、表示制御部３０４は、健康値算出部３０２に対して、減点値が算出されたデータ項目に対応するデータ内容を通知するよう指示する。また、表示制御部３０４は、指示に応じて健康値算出部３０２から通知された、減点値が算出されたデータ項目に対応するデータ内容を、詳細画面に表示する。
ステップＳ５０８において、表示制御部３０４は、健康値算出処理を終了するか否かを判定する。ステップＳ５０８において、健康値算出処理を継続すると判定した場合には（ステップＳ５０８においてＮｏの場合には）、ステップＳ５０３に戻る。一方、ステップＳ５０８において、健康値算出処理を終了すると判定した場合には（ステップＳ５０８においてＹｅｓの場合には）、健康値算出処理を終了する。
このように、解析装置１４０では、所定周期ごとに、基板処理装置１２０＿１の現在の状態を示す指標として、健康値を算出する。これにより、作業者は、健康値を監視し、健康値が低下した場合に（異常が検知される前に）、低下の原因に応じた処置を施すことができる。この結果、作業者は、基板処理装置１２０＿１における異常の発生を未然に防ぐことができる。
＜稼働率算出処理の具体例＞
次に、解析装置１４０による稼働率算出処理の具体例について説明する。図６は、稼働率算出処理の具体例を示す図である。解析装置１４０の稼働率算出部３０３では、カスタマイズ画面４００（図４参照）において指定された対象区間（点線４２０で囲まれた対象区間）について、稼働率を算出する。
図６において、蓄積データ１３０は、基板処理装置１２０＿１が管理するデータの一例であり、ここでは、特に基板処理装置１２０＿１の稼働に関連するデータを示している。図６に示すように、基板処理装置１２０＿１の稼働に関連するデータには、例えば、データ項目として、"レシピ実行中／レシピ非実行中"、"ノーマルモード／メンテナンスモード"が含まれる。
このうち、"レシピ実行中／レシピ非実行中"には、基板処理装置１２０＿１がレシピに基づいて実際に基板を処理していたか否か（稼働中であったか否か）を示すデータ内容が対応付けられる。図６において、実線６１１〜６１５は、基板処理装置１２０＿１がレシピに基づいて実際に基板を処理していた（稼働中であった）ことを示している。一方、図６において、点線６０１〜６０５は、基板処理装置１２０＿１が基板を処理していなかった（非稼働中であった）ことを示している。図６の例の場合、点線４２０で囲まれた対象区間において、基板処理装置１２０＿１がレシピに基づいて実際に基板を処理していた時間長（稼働中の時間長）は、"Ｔｒ"となる。
なお、点線６０１〜６０５のうち、点線６０１、６０３、６０４は、それぞれ、製造工程において、基板処理装置１２０＿１が目標枚数の基板について処理を完了し、直ちに処理すべき基板がない状態（待機状態）を示している。また、点線６０２は、基板処理装置１２０＿１に対するメンテナンスのために、基板を処理していない状態を示している。更に、点線６０５は、基板処理装置１２０＿１の計画休止区間に該当するために、基板を処理していない状態を示している。
一方、"ノーマルモード／メンテナンスモード"には、基板処理装置１２０＿１が実際に基板を処理することができる状態にあったか否か（稼働できる状態にあったか否か）を示すデータ内容が対応付けられている。図６において、実線６１６、６１７はノーマルモードであり、基板処理装置１２０＿１が実際に基板を処理することができる状態にあった（稼働できる状態にあった）ことを示している。一方、点線６０６はメンテナンスモードであり、基板処理装置１２０＿１が実際に基板を処理することができる状態になかった（稼働できる状態になかった）ことを示している。図６の例の場合、点線４２０で囲まれた対象区間において、基板処理装置１２０＿１が実際に基板を処理することができる状態にあった時間長（稼働できる状態にあった時間長）は、"Ｔｎ"となる。
ここで、図６の符号６１０は、蓄積データ１３０の各時間における、基板処理装置１２０＿１のスケジュールを示したものである。符号６１０との対比からわかるように、基板処理装置１２０＿１がレシピに基づいて実際に基板を処理した時間長（稼働中の時間長）は、基板処理装置１２０＿１のスケジュールにも依存する。
つまり、基板処理装置１２０＿１に対するメンテナンスや、稼働中の異常発生等、基板処理装置１２０＿１側の原因で基板を処理していない時間だけでなく、待機状態や計画休止のようにスケジュールが原因で、基板を処理していない時間も含まれる。
一方で、基板処理装置１２０＿１の稼働率を算出するにあたっては、基板を処理していない時間のうち、実際には基板を処理することができる状態にあった時間を、稼働中の時間に含めることが適切である。このようにして稼働率を算出することで、作業者は、基板処理装置１２０＿１の過去の状態を適切に把握することができるからである。
図６において、"比較例の稼働率の算出方法"は、蓄積データ１３０の"レシピ実行中／レシピ非実行中"に対応付けられたデータ内容に基づいて、点線４２０で囲まれた対象区間の稼働率を算出した様子を示している。比較例の稼働率の算出方法によれば、稼働率＝Ｔｒ／Ｔｔｏｔａｌとなる。なお、"Ｔｔｏｔａｌ"とは、基板処理装置１２０＿１を立上げた後の時間６２０のうち、点線４２０で囲まれた対象区間に含まれる時間を指す（立上げ直後を除けば、Ｔｔｏｔａｌは対象区間と等しくなる）。
一方、図６において、"今回例の稼働率の算出方法"は、蓄積データ１３０の"ノーマルモード／メンテナンスモード"に対応付けられたデータ内容に基づいて、点線４２０で囲まれた対象区間の稼働率を算出した様子を示している。今回例の稼働率の算出方法によれば、稼働率＝Ｔｎ／Ｔｔｏｔａｌとなる。
このように、第１の実施形態では、基板処理装置１２０＿１のスケジュールに依存しないデータ項目に対応するデータ内容を用いて稼働率を算出する。これにより、第１の実施形態によれば、作業者は、基板処理装置１２０＿１の過去の状態を把握することができる。
なお、図６の例は、基板処理装置１２０＿１のスケジュールに依存しないデータ項目として、"ノーマルモード／メンテナンスモード"を用いる場合について示した。
しかしながら、今回例の稼働率の算出においては、"ノーマルモード／メンテナンスモード"以外のデータ項目を用いてもよい。"ノーマルモード／メンテナンスモード"以外のデータ項目としては、例えば、"オンライン／オフライン"等が挙げられる（図６において不図示）。
なお、蓄積データ１３０において"オンライン／オフライン"には、基板処理装置１２０＿１がホスト装置１１０に接続された状態にあったか否かを示すデータ内容が対応付けられる。オンラインの場合、基板処理装置１２０＿１がホスト装置１１０に接続された（つまり、実際に基板を処理することができる状態にあった）ことを示す。一方、オフラインの場合、基板処理装置１２０＿１がホスト装置１１０に接続されていなかった（つまり、実際に基板を処理することができる状態になかった）ことを示す。
＜稼働率算出処理の流れ＞
次に、解析装置１４０による稼働率算出処理の流れについて説明する。図７は、解析装置による稼働率算出処理の流れを示すフローチャートである。なお、稼働率算出処理の実行中、データ取得部３０１では、基板処理装置１２０＿１から継続的に蓄積データを取得し、データ格納部３１０に格納するものとする。
ステップＳ７０１において、表示制御部３０４はカスタマイズ画面４００において受け付けた対象区間を稼働率算出部３０３に通知する。
ステップＳ７０２において、表示制御部３０４は、所定の周期が経過したか否かを判定する。ステップＳ７０２において、所定の周期が経過していないと判定した場合には（ステップＳ７０２においてＮｏの場合には）、ステップＳ７０６に進む。
一方、ステップＳ７０２において、所定の周期が経過したと判定した場合には（ステップＳ７０２においてＹｅｓの場合には）、ステップＳ７０３に進む。ステップＳ７０３において、表示制御部３０４は、稼働率算出部３０３に対して稼働率の算出を指示する。また、稼働率算出部３０３は、基板を処理することができる状態にあったか否かを示すデータ項目に対応するデータ内容であって、表示制御部３０４より通知された対象区間のデータ内容を、データ格納部３１０から読み出す。
ステップＳ７０４において、稼働率算出部３０３は、読み出したデータ内容に基づいて、基板を処理することができる状態にあった時間長を算出する。
ステップＳ７０５において、稼働率算出部３０３は、対象区間のうち、基板を処理することができる状態にあった時間長の占める割合を、稼働率として算出する。また、表示制御部３０４は、稼働率算出部３０３より算出された稼働率を管理画面に表示するとともに、過去に算出された稼働率をあわせて管理画面に表示する。
ステップＳ７０６において、表示制御部３０４は、稼働率算出処理を終了するか否かを判定する。ステップＳ７０６において、稼働率算出処理を継続すると判定した場合には（ステップＳ７０６においてＮｏの場合には）、ステップＳ７０２に戻る。一方、ステップＳ７０６において、稼働率算出処理を終了すると判定した場合には（ステップＳ７０６においてＹｅｓの場合には）、稼働率算出処理を終了する。
このように、解析装置１４０では、所定周期ごとに、基板処理装置１２０＿１の過去の状態を示す指標として、稼働率を算出する。これにより、作業者は、稼働率を監視し、稼働率が低下した場合に（異常が検知される前に）、低下の原因に応じた処置を施すことができる。この結果、作業者は、基板処理装置１２０＿１における異常の発生を未然に防ぐことができる。
＜管理画面及び詳細画面の表示例＞
次に、表示制御部３０４により解析装置１４０の表示部２０５に表示される管理画面及び詳細画面の表示例について説明する。図８は、解析装置に表示される管理画面及び詳細画面の一例を示す図である。
図８に示すように、管理画面８００には、対象区間＝"直近１週間"について算出した、健康値と稼働率とが並列に表示される。また、管理画面８００には、過去の健康値の遷移及び過去の稼働率の遷移が表示される。
これにより、作業者は基板処理装置１２０＿１の現在及び過去の状態、及び、それらの遷移を一目で把握することができる。
また、図８に示すように、作業者が管理画面８００上で"健康値"を指定すると、解析装置１４０の表示部２０５は、詳細画面８１０が表示される。詳細画面８１０には、健康値の算出に用いられたデータ項目のうち、減点値が算出されたデータ項目が表示されるとともに、対応するデータ内容（ただし、対象区間のデータ内容）が表示される。図８の詳細画面８１０の例は、"アラーム発生"に対応するデータ内容と"累積膜厚"に対応するデータ内容とに基づいて算出された減点値が"３７"（＝１００−６３）であった場合を示している。
このように、健康値の低下の原因となったデータ内容を参照できるように構成することで、作業者は、健康値が低下した場合に、データ内容を参照したうえで、処置を施すか否か（あるいは、どのような処置を施すか）を判断することができる。
＜まとめ＞
以上の説明から明らかなように、第１の実施形態に係る状態管理システムは、
・基板処理装置に蓄積された蓄積データから、選択された複数種類のデータ項目に対応するデータ内容であって、指定された対象区間のデータ内容を読み出す。
・読み出したデータ内容に、指定された重み係数をかけ合わせることで、データ項目ごとに減点値を算出し、満点値から差し引くことで、基板処理装置の現在の状態を示す１の指標である"健康値"を算出する。
・算出した健康値を管理画面に表示する。
このように、蓄積データから健康値を算出して表示することで、作業者は、基板処理装置の現在の状態を容易に把握することができる。また、作業者は、健康値が低下した場合に（異常が検知される前に）、低下の原因に応じた処置を施すことができる。この結果、作業者は、基板処理装置における異常の発生を未然に防ぐことができる。
また、第１の実施形態に係る状態管理システムは、
・基板処理装置に蓄積された蓄積データから、基板を処理することができる状態にあったか否かを示すデータ項目に対応するデータ内容であって、指定された対象区間のデータ内容を読み出す。
・読み出したデータ内容に基づいて、基板処理装置の過去の状態を示す１の指標である"稼働率"を算出する。
・算出した稼働率を管理画面に表示する。
このように、蓄積データから稼働率を算出して表示することで、作業者は、基板処理装置の過去の状態を容易に把握することができる。また、作業者は、稼働率が低下した場合に（異常が検知される前に）、低下の原因に応じた処置を施すことができる。この結果、作業者は、基板処理装置における異常の発生を未然に防ぐことができる。
この結果、第１の実施形態によれば、基板処理装置の状態を把握しやすくする状態管理システム及び状態管理方法を提供することができる。
［第２の実施形態］
上記第１の実施形態では、解析装置１４０を基板処理装置１２０＿１に接続し、基板処理装置１２０＿１に蓄積された蓄積データを取得することで、健康値及び稼働率を算出する場合について説明した。しかしながら、解析装置１４０の接続先は、基板処理装置１２０＿１に限定されず、複数の基板処理装置に同時に接続してもよい。これにより、複数の基板処理装置の状態を、共通の指標を用いて対比することが可能となる。以下、第２の実施形態について、上記第１の実施形態との相違点を中心に説明する。
＜各基板処理装置の管理画面の表示例＞
はじめに、基板処理装置１２０＿１〜１２０＿ｎそれぞれの蓄積データに基づいて、基板処理装置ごとに健康値と稼働率とを算出し、管理画面に表示した場合の表示例について説明する。図９は、複数の基板処理装置について算出された健康値及び稼働率の具体例を示す図である。
図９において、管理画面８００は、基板処理装置１２０＿１に蓄積された蓄積データに基づいて算出された健康値と稼働率とを並列に表示した様子を示している。同様に、管理画面９１０は、基板処理装置１２０＿２に蓄積された蓄積データに基づいて算出された健康値と稼働率とを並列に表示した様子を示している。同様に、管理画面９２０は、基板処理装置１２０＿ｎに蓄積された蓄積データに基づいて算出された健康値と稼働率とを並列に表示した様子を示している。
なお、いずれの管理画面９１０に表示された健康値も、同じデータ項目、同じ重み係数、同じ対象区間に基づいて算出されているものとする。また、いずれの管理画面９１０に表示された稼働率も、同じデータ項目、同じ対象区間に基づいて算出されているものとする。
このように、複数の基板処理装置の現在及び過去の状態を、共通の指標を用いて表示することで、解析装置１４０によれば、作業者は、複数の基板処理装置の現在及び過去の状態を一目で把握することができる。
また、複数の基板処理装置それぞれについて、健康値と稼働率とを並列に表示することで、早期に処置を施すべき基板処理装置を、健康値の高低、稼働率の高低の組み合わせに基づいて、適切に判断することができる。
＜まとめ＞
以上の説明から明らかなように、第２の実施形態に係る状態管理システムは、
・複数の基板処理装置の蓄積データを取得し、同じデータ項目、同じ重み係数、同じ対象区間に基づいて、健康値を算出するとともに、同じデータ項目、同じ対象区間に基づいて、稼働率を算出する。
・複数の基板処理装置の蓄積データに基づいて算出した、健康値及び稼働率とを並列に表示する。
これにより、作業者は、複数の基板処理装置の現在及び過去の状態を一目で把握することができる。また、作業者は、早期に処置を施すべき基板処理装置を、適切に判断することができる。
［その他の実施形態］
上記第１及び第２の実施形態において、解析装置１４０は、基板処理装置の現在及び過去の状態を示す指標として、健康値と稼働率の両方を算出して表示するものとして説明した。しかしながら、解析装置１４０は、いずれか一方のみを算出して表示するように構成してもよい。
また、上記第１及び第２の実施形態では、基板処理装置と解析装置とを別体として構成したが、基板処理装置と解析装置とは一体的に構成してもよい。
また、上記第１及び第２の実施形態では、解析装置が、データ取得部、健康値算出部、稼働率算出部、表示制御部を有するものとして説明したが、解析装置が有する各部のうちの一部の機能は、基板処理装置が有していてもよい。
また、上記第１及び第２の実施形態では、処理装置が基板処理装置である場合について説明したが、健康値及び稼働率を算出する処理装置は、基板処理装置に限定されず、基板処理装置以外の処理装置であってもよい。
なお、上記実施形態に挙げた構成等に、その他の要素との組み合わせ等、ここで示した構成に本発明が限定されるものではない。これらの点に関しては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更することが可能であり、その応用形態に応じて適切に定めることができる。
１００ ：状態管理システム
１１０ ：ホスト装置
１２０＿１〜１２０＿ｎ ：基板処理装置
１４０ ：解析装置
３０１ ：データ取得部
３０２ ：健康値算出部
３０３ ：稼働率算出部
３０４ ：表示制御部
４００ ：カスタマイズ画面
８００ ：管理画面
８１０ ：詳細画面
９１０、９２０ ：管理画面

Claims (10)

  1. 装置に蓄積されたデータを取得する取得部と、
    取得されたデータのうち、予め選択された複数種類のデータを組み合わせ、前記装置の正常度合いを示す１の指標を算出する処理を、所定周期ごとに実行する実行部と、
    算出された前記１の指標を表示する表示制御部と
    を有する状態管理システム。
  2. 装置に蓄積されたデータを取得する取得部と、
    取得されたデータのうち、前記装置が稼働できる状態にあったか否かを示すデータを抽出し、前記装置が稼働できる状態にあった割合を示す１の指標を算出する処理を、所定周期ごとに実行する実行部と、
    算出された前記１の指標を表示する表示制御部と
    を有する状態管理システム。
  3. 前記実行部は、前記取得されたデータのうち、予め指定された対象区間のデータについて、前記処理を実行する、請求項１または２に記載の状態管理システム。
  4. 前記実行部は、予め指定された重み係数を、前記予め選択された複数種類のデータにかけ合わせることで減点値を算出し、算出した減点値を満点値から減算することで、前記１の指標を算出する、請求項１に記載の状態管理システム。
  5. 装置に蓄積されたデータを取得する取得部と、
    取得されたデータのうち、予め選択された複数種類のデータを組み合わせ、前記装置の正常度合いを示す第１の指標を算出する処理を、所定周期ごとに実行する第１の実行部と、
    取得されたデータのうち、前記装置が稼働できる状態にあったか否かを示すデータを抽出し、前記装置が稼働できる状態にあった割合を示す第２の指標を算出する処理を、前記所定周期ごとに実行する第２の実行部と、
    算出された前記第１の指標と前記第２の指標とを、並列に表示する表示制御部と
    を有する状態管理システム。
  6. 前記取得部が、複数の前記装置に蓄積されたデータを取得し、前記第１の実行部が、複数の前記装置それぞれについて、前記第１の指標を算出する際、前記第１の実行部は、予め選択された共通の複数種類のデータを組み合わせて、前記第１の指標を算出する、請求項５に記載の状態管理システム。
  7. 前記第１の実行部は、予め指定された共通の重み係数を、前記予め選択された共通の複数種類のデータにかけ合わせることで減点値を算出し、算出した減点値を満点値から減算することで、前記第１の指標を算出する、請求項６に記載の状態管理システム。
  8. 装置に蓄積されたデータを取得する取得工程と、
    取得されたデータのうち、予め選択された複数種類のデータを組み合わせ、前記装置の正常度合いを示す１の指標を算出する処理を、所定周期ごとに実行する実行工程と、
    算出された前記１の指標を表示する表示制御工程と
    を有する状態管理方法。
  9. 装置に蓄積されたデータを取得する取得工程と、
    取得されたデータのうち、前記装置が稼働できる状態にあったか否かを示すデータを抽出し、前記装置が稼働できる状態にあった割合を示す１の指標を算出する処理を、所定周期ごとに実行する実行工程と、
    算出された前記１の指標を表示する表示制御工程と
    を有する状態管理方法。
  10. 装置に蓄積されたデータを取得する取得工程と、
    取得されたデータのうち、予め選択された複数種類のデータを組み合わせ、前記装置の正常度合いを示す第１の指標を算出する処理を、所定周期ごとに実行する第１の実行工程と、
    取得されたデータのうち、前記装置が稼働できる状態にあったか否かを示すデータを抽出し、前記装置が稼働できる状態にあった割合を示す第２の指標を算出する処理を、前記所定周期ごとに実行する第２の実行工程と、
    算出された前記第１の指標と前記第２の指標とを、並列に表示する表示制御工程と
    を有する状態管理方法。
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