KR20060074815A - 트레이 반송 시스템 - Google Patents

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KR20060074815A
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KR1020050079191A
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히로시 후카자와
료수케 타하라
Original Assignee
무라타 기카이 가부시키가이샤
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Abstract

판형상 공작물의 반송 시스템에 있어서, 카세트를 이용하는 경우에는 다량 반송이 가능하지만, 개별 반송에의 대응에 있어서 반송효율을 저하시키게 되고, 한편, 판형상 공작물 자체, 혹은 트레이로 보호해서 반송하는 경우에는, 전체의 반송효율을 올릴 수 없다.
1개의 스토커(4)와, 이 스토커(4)에 대응해서 설치되는 복수의 처리장치(3)와, 각 처리장치(3)마다 대응해서 설치되는 버퍼 스테이션(5Aㆍ5B)을 구비하고, 스토커(4)와 각 버퍼 스테이션(5Aㆍ5B) 사이는, 트레이(2)의 적층체(10)가 반송되는 벌크 반송구간으로 하고, 각 버퍼 스테이션(5Aㆍ5B)과 각 처리장치(3) 사이는, 트레이(2)가 반송되는 매엽 반송구간으로 하고, 버퍼 스테이션(5A)에는 단분리장치(8A)를 설치하고, 버퍼 스테이션(5B)에는 단적층장치(8B)를 설치했다.

Description

트레이 반송 시스템{TRAY CARRYING SYSTEM}
도 1은 판형상 공작물이나 트레이의 구성을 나타내는 사시도이며, (a)는 판형상 공작물을 나타내는 도면, (b)는 트레이를 나타내는 도면, (c)는 판형상 공작물이 적재된 트레이를 나타내는 도면이다.
도 2는 판형상 공작물이 적재된 트레이가 겹쳐져서 이루어지는 적층체를 나타내는 사시도이다.
도 3은 트레이 반송 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 트레이 반송 시스템의 일실시예를 나타내는 개략도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
1 … 판형상 공작물 2 … 트레이
3 … 처리장치 4 … 스토커
5 … 버퍼 스테이션 8A … 단분리장치
8B … 단적재장치 10 … 적층체
본 발명은, 반도체 웨이퍼나 액정 디스플레이용 판유리 등의 판형상 공작물 을 반송하는 반송 시스템의 기술에 관한 것이다.
종래부터, 반도체 웨이퍼나 액정 디스플레이용 유리판 등의 판형상 공작물을 반송하는 반송 시스템의 기술은 이미 알려져 있다. 이러한 반송 시스템에 있어서, 판형상 공작물의 반송은, 판형상 공작물을 다수 동시에 수용할 수 있는 카세트에 수용한 상태에서 행해지고 있다. 그리고, 반송효율의 향상을 실현하고 있다.
한편, 판형상 공작물 자체를 반송경로를 따라 반송하는 기술도 알려져 있다.
[특허문헌1] 일본 특허공개 2004-168484호 공보
판형상 공작물이 다수단 수용되는 카세트를 이용하는 경우, 판형상 공작물의 다량 반송에는 적합하지만, 반송경로 도중에 개개의 판형상 공작물의 반송처가 다른 경우 등, 개별 반송이 필요하게 될 경우에는, 오히려 비효율적으로 된다. 예컨대, 동일한 반송처의 판형상 공작물이 카세트의 수용수에 일치할 때까지, 반송을 대기시키거나, 판형상 공작물을 수용하는 수에 만족하지 않은 카세트를 반송경로 상에 공급하는 것 등으로 인하여, 여분의 카세트가 필요하게 되거나 한다. 이러한 문제는, 특허문헌1에 개시되는 기술과 같이, 판형상 공작물 자체 혹은 판형상 공작물을 수용하는 트레이만을 반송하는 시스템으로 하면 해결되지만, 이 경우, 다량 반송을 할 수 없으므로, 반송효율의 저하를 초래해 버린다.
즉, 해결하고자 하는 문제점은, 판형상 공작물의 반송 시스템에 있어서, 카세트를 이용하는 경우에는 다량 반송이 가능하지만, 개별 반송에의 대응에 있어서 반송효율을 저하시키게 되고, 한편, 판형상 공작물 자체, 혹은 트레이로 보호하여 반송하는 경우에는, 전체의 반송효율을 올릴 수 없는 점이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상과 같으며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.
즉, 청구항1에 있어서는, 판형상 공작물을 적재해서 반송하는 트레이를 1개씩 반송하는 매엽 반송구간과, 트레이가 복수단 겹쳐 쌓여서 이루어지는 적층체를 반송하는 벌크 반송구간을 설치하는 것이다.
청구항2에 있어서는, 매엽 반송구간에서 벌크 반송구간으로의 접속부에, 트레이의 단적층장치를 설치하고, 벌크 반송구간에서 매엽 반송구간으로의 접속부에, 적층체의 단분리장치를 설치하는 것이다.
청구항3에 있어서는, 1개의 스토커와, 이 스토커에 대응해서 설치되는 복수의 처리장치와, 각 처리장치마다 대응해서 설치되는 버퍼 스테이션을 구비하고, 스토커와 각 버퍼 스테이션 사이는 벌크 반송구간으로 하고, 각 버퍼 스테이션과 상기 각 처리장치 사이는 매엽 반송구간으로 하는 것이다.
본 발명의 트레이 반송 시스템의 실시형태를, 도면을 이용하여 설명한다. 이 트레이 반송 시스템은, 예컨대, 판형상 공작물에 가공처리를 실시하는 공장 내에 있어서, 공장 내에 구비하는 처리장치 간이나, 처리장치와 일시 보관장치 사이에서, 판형상 공작물을 반송하는 시스템이다. 반송대상이 되는 판형상 공작물은, 액정 디스플레이용 판유리나 유기EL용 수지판, 반도체 웨이퍼 등, 판형상의 피가공물이면, 특별히 한정되는 것은 아니다.
도 1, 도 2를 이용하여, 본 실시형태에 적용되는 판형상 공작물(1) 및 트레이(2)를 설명한다. 우선, 도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 가공 대상이 되는 판형상 공작물(1)은, 두께가 얇은 판형상부재이다. 이러한 판형상 공작물은, 액정 디스플레이용 판유리의 경우, 종횡이 1~2m정도이며, 두께가 1㎜ 정도이다.
도 1(b)에 나타내는 트레이(2)는, 판형상 공작물(1)을 적재해서 반송하고, 판형상 공작물(1)과 반송수단의 직접 접촉을 방지하기 위한, 판형상 공작물(1)의 반송 보호수단이다. 도 1(c)에 나타내는 바와 같이, 판형상 공작물(1)의 판면(면적 최대의 면)이 수평방향으로 되는 자세에서, 트레이(2) 상에 판형상 공작물(1)이 적재된다. 또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 트레이(2)는 겹쳐 쌓여짐으로써, 일체적인 적층체(10)를 구성하는 것이 가능하게 구성되어 있다.
이 때문에, 트레이(2)에는, 판형상 공작물(1)의 적재에 관련하여, 판형상 공작물(1)의 적재부와, 적재된 판형상 공작물(1)의 수평방향의 탈락 방지부와, 트레이(2)로부터 이동용 포크에 의해 판형상 공작물(1)을 취출할 수 있게 하는 구성이 구비되어 있다. 또한, 트레이(2)에는, 적층체(10)의 형성에 관련하여, 적층된 트레이(2)끼리의 수평방향의 탈락 방지부와, 적층체(10)의 내부에 이동용 포크를 삽입하여, 그 포크로 상층의 트레이(2) 군을 퍼올릴 수 있게 하는 구성과, 트레이(2)의 양측면을 척 장치에 의해 끼움 지지가능하게 하는 결합부가 구비되어 있다.
트레이(2)는, 개략적으로는, 6면을 갖는 상자체의 일면을 개방한 형상을 하고 있고, 상기 개방된 면에 대항하는 위치의 1개의 판형상 부분과, 이 판형상 부분의 주위를 둘러싸는 4개의 판형상 부분으로 이루어지고 있다. 1개의 판형상 부분 은, 적재부가 되는 적재판부(2a)이다. 4개의 판형상 부분은, 탈락 방지부가 되는 부위이며, 서로 대향하는 1쌍의 제 1 가이드(2bㆍ2b)와, 동일하게 서로 대향하는 1쌍의 제 2 가이드(2cㆍ2c)로 이루어진다. 또한, 판형상 공작물(1)은, 적재판부(2a) 상에 직접은 아니고, 적재판부(2a) 상에 세워 설치된 다수의 지지체(2d) 상에 지지된다. 한편, 제 2 가이드(2c)에는, 이송적재장치의 포크를, 지지체(2d) 상의 판형상 공작물(1)의 하방으로 삽입가능하게 하는 세로폭 및 가로폭의 개구(2e)가 형성되어 있다. 이들 지지체(2d) 및 개구(2e)에 의해, 판형상 공작물(1)이 취출가능하게 된다.
또한, 제 1 가이드(2b)의 상면에 결합 볼록부(2fㆍ2f)가 형성됨과 아울러, 이들 결합 볼록부(2f)에 대응하는 위치(평면으로 봐서 중복하는 위치)에, 적재판부(2a)의 하면보다 내측을 향해 결합 오목부(2gㆍ2g)가 형성되어 있다. 이들 결합 볼록부(2f) 및 결합 오목부(2g)에 의해, 탈락 방지부가 구성된다. 또한, 제 1 가이드(2b)의 상면[즉 바로 위에 있는 트레이(2)의 하면]과, 지지체(2d) 상의 판형상 공작물(1)의 상면의 높이방향의 간격은, 이송적재장치의 포크를 삽입가능하게 하는 간격으로 설정되어 있다. 즉, 적절하게 설정된 지지체(2d) 및 제 1 가이드(2b)에 의해, 포크로 상층의 트레이(2) 군을 퍼올릴 수 있게 하는 구성이 되어 있다. 그리고, 적층체 내에 포크를 삽입하여 퍼올림으로써, 적층체가, 이 포크에 지지되는 상층의 트레이 군과, 이 포크보다 아래로 위치하는 하층의 트레이 군으로 분리된다. 또한, 개구(2e)는, 트레이(2)를 측면으로 바라볼 때에 있어서, 판형상 공작물(1)의 하면보다 하방까지 형성되어 있기 때문에, 당연 판형상 공작물(1)의 상면도 개방된 다. 또한, 각 제 1 가이드(2b)의 외측면에는, 결합부로서, 결합 오목부(2hㆍ2h)가 형성되어 있다.
도 3을 이용하여, 트레이 반송 시스템을 설명한다. 판형상 공작물(1)의 가공공장 등, 판형상 공작물(1)이 반송 대상물로 되는 설비에는, 판형상 공작물(1)의 반송 시스템이 구비되어 있다. 본 발명의 트레이 반송 시스템은, 판형상 공작물(1)의 반송 시스템에 있어서, 판형상 공작물의 반송의 일부를, 트레이(2)를 이용하여 행하는 것으로 한 시스템이다. 특히, 트레이 반송 시스템에는, 3가지의 반송 형태가 있고, 판형상 공작물(1) 자체를 반송하는 공작물 반송과, 판형상 공작물(1)을 트레이(2)에 적재한 상태에서 반송하는 매엽 반송 및 벌크 반송이 있다.
도 1(a)에 나타내는 바와 같이, 판형상 공작물(1) 자체를, 컨베이어 등의 반송수단에 의해 반송할 경우가, 공작물 반송이다. 도 1(c)에 나타내는 바와 같이, 판형상 공작물(1)이 적재된 트레이(2)를 단체(單體)로, 컨베이어 등의 반송수단에 의해 반송할 경우가, 매엽 반송이다. 또한, 도 2에 나타내는 바와 같이, 판형상 공작물(1)이 적재된 트레이(2)를 겹쳐 쌓아 이루어지는 적층체(10)를, 컨베이어 등의 반송수단에 의해 반송할 경우가, 벌크반송이다.
트레이 반송 시스템은, 판형상 공작물(1)의 적재된 트레이(2)(적재 트레이)와, 판형상 공작물(1)이 적재되지 않은 트레이(2)(빈 트레이)를, 함께 반송할 수 있게 하는 것이지만, 이하에 있어서는, 설명에 있어서 필요한 경우를 제외하고, 적재 트레이와 빈 트레이를 구별하는 일없이 이용하는 것으로 한다.
도 3으로 돌아와서, 상기 3가지의 반송의 역할을 설명한다. 트레이 반송 시 스템에 있어서, 판형상 공작물(1)의 반송은, 주로, 트레이(2)를 이용한 반송인 매엽 반송 및 벌크 반송에 의해, 행해진다. 여기서, 공작물 반송은, 주로, 판형상 공작물(1)의 처리장치(3)의 내부나, 이 처리장치(3)에의 판형상 공작물(1)의 주기 및 받기부에 있어서, 행해지는 것이다. 즉, 단체의 판형상 공작물(1)이 필요로 되는 처리장치(3) 내 및 그 주변부를 별도로 하여, 판형상 공작물(1)의 반송은, 트레이(2)에 보호된 상태에서 행해지는 것이다.
한편, 매엽 반송 및 벌크 반송의 적절한 사용은, 판형상 공작물(1)의 반송처의 상황에 따라서, 행해지는 것이다. 벌크 반송은, 한번에 다량[적층하고 있는 단수(段數)만큼]의 판형상 공작물(1)을 반송할 수 있고, 매엽 반송에 비교해서 반송효율상 유리하다. 그래서, 반송원으로부터 동일한 반송처를 향해서 판형상 공작물(1)의 반송을 행할 경우, 벌크 반송이 이용된다. 그런데, 벌크 반송으로 송출해도, 판형상 공작물(1)의 반송원과 반송처 사이에서, 체류가 발생하는 경우나, 일부의 판형상 공작물(1)의 반송처가, 주된 반송처로부터 분기되는 경우 등, 벌크 반송이 비효율적으로 되는 경우가 있다. 이러한 경우에는, 매엽 반송이 이용된다.
예컨대, 적층체(10)가 수용되는 스토커(보관장치)(4)로, 처리장치(3)를 향해 판형상 공작물(1)을 반송할 경우, 처리장치(3)에 있어서는 1장씩 판형상 공작물(1)의 처리가 행해지기 때문에, 체류가 발생한다. 그래서, 스토커(4)로부터 처리장치(3)에 이르는 반송경로의 도중에, 벌크 반송이 매엽 반송으로 변경되고, 처리장치(3)의 전방에서 공작물 반송으로 변경되게 된다. 또한, 처리장치(3)에서 불량품이 발생한 경우 등에는, 그 불량품의 판형상 공작물(1)은, 정상품의 판형상 공작물(1) 의 반송경로와는 다른 경로에서, 검사장치 등에 반송되게 된다. 이 경우, 정상품의 판형상 공작물(1)의 반송경로가 주된 반송경로이며, 불량품의 반송경로는, 예외적인 반송경로이다. 이러한 예외적인 반송경로를 더듬어 가는 판형상 공작물(1)은 상대적으로 적기 때문에, 벌크 반송으로 반송하면 도리어 비효율적이므로, 이 판형상 공작물(1)만이 매엽 반송으로 개별적으로 반송되게 된다.
트레이(2)나 적층체(10)의 반송은, 컨베이어, 반송대차, 스태커 크레인(특히 적층체) 등의 반송장치에 의해 행해진다. 이들 반송장치는, 트레이의 반송과, 적층체의 반송 사이에 있어서, 하중제한 등의 제한을 별도로 하여, 기본적으로 공용가능하다. 이들 반송장치 간에 있어서의 트레이(2)나 적층체(10)의 주고 받기는, 반송장치 간에서 직접 주고받기할 수 없는 경우에는, 이송적재장치에 의해 행해진다.
반송대차에는, 포크식의 이송적재장치가 구비되어 있고, 이 포크식의 이동장치는, 트레이나 적층체를 퍼올리는 포크를 상하방향 및 수평방향으로 구동가능하게 하는 것이다. 또한, 스태커 크레인은, 트레이나 적층체를 퍼올리는 포크를, 상하방향 및 수평방향으로 이동가능하게 구성한 장치이며, 포크식의 이송적재장치를 구비하는 구성이다. 따라서, 반송대차나 스태커 크레인과, 다른 반송장치의 사이에 있어서는, 트레이나 적층체의 주고 받기는, 이송적재장치를 별도 설치하는 일없이 가능하다. 또한, 1쌍의 컨베이어 사이 등에 있어서는, 양 컨베이어의 접속부에서, 트레이나 적층체의 주고 받기를 할 수 없는 경우에는, 이송적재장치를 별도 설치해서 행하는 것으로 한다.
판형상 공작물(1) 자체의 반송에 관해서도, 트레이(2)나 적층체(10)의 반송 장치와 마찬가지로, 컨베이어, 반송대차, 스태커 크레인을 이용할 수 있지만, 컨베이어에 의한 반송이 바람직하다. 컨베이어는, 다수의 판형상 공작물을 동시에 다수 반송하는 것이 가능하므로, 처리장치(3)의 내부에 있어서, 순차 연속적으로 판형상 공작물(1)에 처리를 실시할 수 있다. 이러한 이유로, 판형상 공작물(1) 자체의 반송장치는 컨베이어가 바람직하다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 트레이 반송 시스템이 대상으로 삼는 반송영역은, 3개로 크게 나누어지는 반송영역과, 이들 반송영역의 접속부로 이루어진다. 3개로 크게 나누어지는 반송영역은, 벌크 반송이 행해지는 벌크 반송영역, 매엽 반송이 행해지는 매엽 반송영역, 공작물 반송이 행해지는 공작물 반송영역이다. 또한, 반송영역의 접속부는, 매엽 반송과 벌크 반송의 접속부인 벌크 매엽접속부와, 공작물 반송과 매엽 반송의 접속부인 트레이 공작물 접속부이다.
트레이 공작물 접속부에서는, 적재 트레이로부터의 판형상 공작물(1)의 취출이나, 빈 트레이에의 판형상 공작물(1)의 도입이 행해진다. 동일하게, 벌크 매엽접속부에서는, 트레이(2)를 겹쳐 쌓아 적층체(10)를 형성하거나(단적층), 적층체(10)로부터 트레이(2)를 꺼내서 적층체(10)의 일부 혹은 전부를 무너뜨리거나(분리) 하는 것이 행해진다. 또한, 본 실시형태에서는, 도 1, 도 2에 나타내는 트레이(2)의 구조상, 적층체(10) 중의 각 트레이(2)로부터 판형상 공작물(1)을 취출할 수 없으므로, 공작물 반송과 벌크 반송이, 직접 접속되는 것은 아니다.
벌크 매엽접속부에는, 적층체를 일시 보관하기 위한 버퍼 스테이션(5)이 구비되어 있다. 이 버퍼 스테이션(5)에는, 트레이(2)를 겹쳐 쌓아 적층체(10)를 형성 하는 단적층장치 또는, 적층체(10)로부터 트레이(2)를 꺼내서 적층체(10)를 무너뜨리는 단분리장치가 구비되어 있다. 도 1, 도 2에 나타내는 트레이(2)나 적층체(10)의 구조에 의해, 범용의 단적층장치나 단분리장치를 이용하여, 이 버퍼 스테이션(5)에 구비하는 단적층장치나 단분리장치를 구성하는 것이 가능하다. 그리고, 버퍼 스테이션(5)에 있어서, 벌크 반송에 의해 반입된 적층체로부터 트레이(2)를 취출하여 매엽 반송으로 반출하거나, 매엽 반송으로 반입된 트레이(2)를 벌크 반송으로 반출하는 기층체의 일부에 더해지거나 한다.
트레이 공작물 접속부에는, 트레이(2)를 일시 보관하기 위한 출입 스테이션(6)이 구비되어 있다. 이 출입 스테이션(6)에는, 적재 트레이로부터 판형상 공작물(1)을 취출하거나, 빈 트레이에 판형상 공작물(1)을 받아들이기 위한 이송적재장치가 구비되어 있다. 이 이송적재장치는, 포크식의 이송적재장치에서도, 베르누이 효과를 이용한 공기 압력식 비접촉의 이송적재장치로 된다.
벌크 반송영역 내에는, 벌크 반송이 행해지는 벌크 반송구간이, 적어도 1개 설치되어 있다. 이 벌크 반송구간은, 적층체의 반송원과 반송처를 연결하는 구간으로서 설정되는 것이다. 적층체(10)의 반송원이나 반송처에 상당하는 것은, 벌크반송영역 내에 배치되는 스토커(4)나, 벌크 매엽접속부에 배치되는 버퍼 스테이션(5)이다. 즉, 이들 스토커(4ㆍ4) 사이나, 스토커(4)와 버퍼 스테이션(5)을 연결하는 구간은, 벌크 반송구간이다. 또한, 2개의 버퍼 스테이션(5ㆍ5) 사이가, 적층체(10)의 반송장치에 의해 접속되는 경우에는, 이들 버퍼 스테이션(5ㆍ5) 사이를 연결하는 구간도, 벌크 반송구간으로 된다.
매엽 반송영역 내에는, 매엽 반송이 행해지는 매엽 반송구간이, 적어도 하나 설치되어 있다. 이 매엽 반송구간은, 트레이(2)의 반송원과 반송처를 연결하는 구간으로서 설정되는 것이다. 트레이(2)의 반송원이나 반송처에 상당하는 것은, 벌크 매엽접속부에 배치되는 버퍼 스테이션(5)이나, 트레이 공작물 접속부에 배치되는 출입 스테이션(6)이다. 즉, 버퍼 스테이션(5)과 출입 스테이션(6)을 연결하는 구간은, 매엽 반송구간이다. 또한, 2개의 출입 스테이션(6ㆍ6) 사이가, 트레이(2)의 반송장치에 의해 접속되는 경우에는, 이들 출입 스테이션(6ㆍ6) 사이를 연결하는 구간도, 매엽 반송구간이다. 특히, 어떤 출입 스테이션(6)에 있어서 적재 트레이로부터 취출된 판형상 공작물(1)의 이동처(공작물 반송에 의한 이동처)가, 별도의 출입 스테이션(6)일 경우, 양 출입 스테이션(6ㆍ6)을 접속하여, 그 접속 경로를 따라 빈 트레이를 반송하면, 트레이(2)를 효율적으로 활용하는 것이 가능하다.
공작물 반송영역 내에는, 공작물 반송이 행해지는 공작물 반송구간이, 적어도 1개 설치되어 있다. 이 공작물 반송구간은, 판형상 공작물(1)의 반송원과 반송처를 연결하는 구간으로서 설정되는 것이다. 판형상 공작물(1)의 반송원이나 반송처에 상당하는 것은, 공작물 반송영역 내에 배치되는 처리장치(3)나, 트레이 공작물 접속부에 배치되는 출입 스테이션(6)이다. 즉, 출입 스테이션(6)과 처리장치(3)를 연결하는 구간이나, 처리장치(3ㆍ3) 사이를 연결하는 구간은, 공작물 반송구간이다.
다음에, 도 4를 이용하여, 트레이 반송 시스템의 1실시예인 영역 반송 시스템(21)을 설명한다. 도 4에는, 판형상 공작물(1)의 가공처리가 행해지는 공장 내의 일부, 1개의 스토커(4)를 중심으로 설정되는 단위 영역(20)을 나타내고 있다. 이 단위 영역(20) 내에는, 1개의 스토커(4)와, 2개의 처리장치(3)가 구비되어 있다.
각 처리장치(3)에는, 트레이의 반입측과 반출측에 각각 대응하도록, 버퍼 스테이션(5)과, 출입 스테이션(6)이 1쌍씩 설치되어 있다. 특히, 반입측과 반출측을 구별할 필요가 있을 경우에는, 반입측의 버퍼 스테이션의 부호를 5A로 하고, 반출 측의 버퍼 스테이션의 부호를 5B로 한다. 동일하게, 반입측의 출입 스테이션의 부호를 6A로 하고, 반출측의 출입 스테이션의 부호를 6B로 한다.
단위 영역(20) 내에는, 다음과 같은 반송경로가 구성되어 있다. 우선, 스토커(4)의 출고구(出庫口)(4a)로부터 나와서, 동일 스토커(4)의 입고구(入庫口)(4b)로 돌아오는 반송경로이며, 이 반송경로를 따라 적층체(10)를 반송하는 장치가 컨베이어(11)이다. 또한, 컨베이어(11)의 반송경로 상에는, 각 처리장치(3)마다, 1대의 버퍼 스테이션(5ㆍ5)이 직렬로 접속되어 있다. 그리고, 각 처리장치(3)마다에 있어서, 버퍼 스테이션(5A)으로부터 출입 스테이션(6A)에 이르는 적재 트레이의 반송경로{컨베이어(12A)}와, 출입 스테이션(6A)으로부터, 그 처리장치(3)의 내부를 경유하여 출입 스테이션(6B)에 이르는 판형상 공작물의 반송경로{컨베이어(13)}와, 출입 스테이션(6B)으로부터 버퍼 스테이션(5B)에 이르는 적재 트레이의 반송경로{컨베이어(12B)}와, 출입 스테이션(6A)으로부터 출입 스테이션(6B)에 이르는 빈 트레이의 반송경로{컨베이어(12C)}가 형성되어 있다. 또한, 상기 "{}" 부분은, 각 반송경로에 대응하는 반송장치를 나타내는 것이다.
스토커(4)에는, 적층체(10)를 다수 수용가능하게 하는 래크(rack)부(41)와, 출고구(4a)나 입고구(4b)와 래크부(41)의 사이에서 적층체(10)를 이송 적재하는 스태커 크레인(42)이 구비되어 있다.
반입측의 버퍼 스테이션(5A)에는, 적층체(10)로부터 트레이(2)를 취출하는 단분리장치(8A)가 구비되어 있다. 또한, 반출측의 버퍼 스테이션(5B)에는, 트레이(2)를 겹쳐 쌓아서 적층체(10)를 형성하는 단적층장치(8B)가 구비되어 있다.
반입측의 출입 스테이션(6A)에는, 적재 트레이(2)로부터 판형상 공작물(1)을 취출하는 공작물 이송적재장치(9)가 구비되어 있다. 반출측의 출입 스테이션(6B)에는, 빈 트레이(2)에 판형상 공작물(1)을 적재하는 공작물 이송적재장치(9)가 구비되어 있다.
여기서, 스토커(4)로부터 반출된 적층체(10)가, 1개의 처리장치(3)에 있어서, 적층체(10) 내의 각 판형상 공작물(1)이 가공처리를 받은 후, 다시 스토커(4)로 돌아올 때까지의 형태에 대해서 설명한다. 적층체(10)는, 스토커(4)의 출고구(4a)로부터, 컨베이어(11)에 의해, 원하는 처리장치(3)에 대응하는, 반입측의 버퍼 스테이션(5A)에 반송된다. 이 버퍼 스테이션(5A)에 있어서, 단분리장치(8A)에 의해 적층체(10)로부터 취출된 트레이(2)는, 컨베이어(12A)에 의해, 동일하게 반입측의 출입 스테이션(6A)에 반송된다.
이 출입 스테이션(6A)에 있어서, 공작물 이송적재장치(9)로부터 취출된 판형상 공작물(1)은, 컨베이어(13)에 의해 처리장치(3)의 내부를 통과하여, 반출측의 출입 스테이션(6B)에 반송된다. 판형상 공작물(1)은, 처리장치(3)의 내부에 반송될 때에, 그 처리장치(3)에 의해 가공처리를 받는다. 한편, 반입측의 출입 스테이션 (6A)에서, 판형상 공작물(1)이 취출되어 잔류한 빈 트레이(2)는, 컨베이어(12C)에 의해, 반출측의 출입 스테이션(6B)에 반송된다. 그리고, 이 출입 스테이션(6B)에 있어서, 컨베이어(12C)에 의해 반송된 빈 트레이(2)에, 컨베이어(13)에 의해 반송된 판형상 공작물(1)이, 이 출입 스테이션(6B)에 구비하는 공작물 이송적재장치(9)에 의해, 적재된다.
반출측의 출입 스테이션(6B)에 있는 트레이(2)는, 컨베이어(12B)에 의해, 동일하게 반출측의 버퍼 스테이션(5B)에 반송된다. 이 버퍼 스테이션(5B)에 있어서, 단적층장치(8B)에 의해, 먼저 반송된 트레이(2)로 이루어지는 적층체 상에, 이번에 반송된 트레이(2)가 겹쳐 쌓여져서, 적층체가 형성된다. 최종적으로는, 스토커(4)로부터 반출된 적층체(10)와 동일한 단수의 적층체가, 이 버퍼 스테이션(5B)에서 형성된다. 또한, 단분리장치(8A)나 단적층장치(8B)의 구성에 의해, 동일한 트레이(2)로 이루어지는 적층체이여도, 스토커(4)로부터의 반출시와, 스토커(4)로의 반입시에, 적재하는 방법이 반드시 동일한 것은 아니다. 그리고, 이 버퍼 스테이션(5B)에 있어서, 반입시와 동일한 단수의 적층체가 형성되면, 이 적층체가, 다시 컨베이어(11)에 의해, 스토커(4)의 입고구(4b)에 반송된다.
이상과 같이 하여, 스토커(4)로부터 반출된 적층체(10)가, 1개의 처리장치(3)에 있어서, 적층체(10) 내의 각 판형상 공작물(1)이 가공처리를 받은 후, 다시 스토커(4)에 반입된다. 또한, 이상의 예에서는, 스토커(4)로부터 반출된 적층체(10)가, 1개의 처리장치(3)에 의해 가공처리를 받은 뒤에, 다른 처리장치(3)를 경유하는 일없이, 그대로 동일한 스토커(4)에 반입되는 것으로 하고 있지만, 계속해 서 다른 처리장치(3)에서의 처리를 거친 후, 스토커(4)로 돌아오는 것으로 해도 된다.
이상의 예에 있어서의 영역 내 반송 시스템(21)의 반송경로는, 다음과 같이, 벌크 반송구간, 매엽 반송구간, 공작물 반송구간으로 분류된다. 벌크 반송경로는, 스토커(4)로부터 반입측의 버퍼 스테이션(5A)에 이르는 적층체(10)의 반송경로{컨베이어(11)}, 반출측의 버퍼 스테이션(5B)으로부터 스토커(4)에 이르는 적층체(10)의 반송경로{컨베이어(11)}이다. 매엽 반송구간은, 반입측의 버퍼 스테이션(5A)으로부터 동일하게 반입측의 출입 스테이션(6A)에 이르는 트레이(2)(적재 트레이)의 반송경로{컨베이어(12A)}, 반출측의 출입 스테이션(6B)으로부터 동일하게 반출측의 버퍼 스테이션(5B)에 이르는 트레이(2)(적재 트레이)의 반송경로{컨베이어(12B)}, 반입측의 출입 스테이션(6A)으로부터 반출측의 출입 스테이션(6B)에 이르는 트레이(2)(빈 트레이)의 반송경로{컨베이어(12C)}이다. 공작물 반송구간은, 반입측의 출입 스테이션(6A)으로부터 반출측의 출입 스테이션(6B)에 이르는 트레이(2)(빈 트레이)의 반송경로{컨베이어(12C)}이다.
이상에서 설명한 반송의 상황은, 기본적인 반송의 상황이다. 이것에 대해서, 각 판형상 공작물(1)의 작업 공정이 부분적으로 다른 경우나, 다른 종류의 판형상 공작물이 뒤섞여 있는 경우 등에는, 동일한 적층체(10)에 수용되어 있는 판형상 공작물(1) 군이여도, 개개의 판형상 공작물(1)의 반송처가 다른 경우가 있다.
예컨대, 스토커(4)로부터 반출되어 1개의 처리장치(3)로 향하는, 소정 적층체(10)에 있어서, 그 적층체(10)에 수용되는 대부분의 판형상 공작물(1)은, 그 처 리장치(3)에서의 처리 후에 스토커(4)에 수용되는 것에 대해서, 일부의 판형상 공작물(1)은 또한, 별도의 처리장치(3)로 처리를 행할 필요가 있는 경우이다. 이 경우, 반송처가 다른 일부의 판형상 공작물(1)은, 1개의 처리장치(3)에서의 처리가 종료한 후, 컨베이어(12) 등을 경유하는 일반적인 반송경로를 경유하는 일없이, 그 처리장치(3)에 대응하는 출입 스테이션(6B)에서, 예컨대 반송대차(7)에 이송적재되어서, 직접, 다른 처리장치(3)에 대응하는 출입 스테이션(6A)에 반송된다. 다수의 판형상 공작물을 수용가능하게 하는 일체물의 카세트인 경우에는, 이러한 개별 반송에의 대응성이 낮지만, 트레이(2)에 의한 개별 반송(매엽 반송)과, 적층체(10)에 의한 다량 반송(벌크 반송)을 동시에 가능하게 함으로써, 개별 반송에도 대응하면서 반송효율의 저하를 초래할 일이 없다.
또한, 공장에 있어서, 단위 영역(20) 사이에서의 판형상 공작물(1)의 반송은, 예컨대, 다른 단위 영역(20) 각각에 구비하는 스토커(4ㆍ4)끼리를, 컨베이어(22) 등의 적층체(10)의 반송장치에 의해 접속함으로써 행해진다. 이 반송은, 적층체(10)의 반송이므로, 벌크 반송이다. 또한, 처리장치(3)에 있어서, 불량품의 판형상 공작물(1)이 발생한 경우에는, 그 불량의 판형상 공작물(1)만을 개별적으로, 검사장치(19)(도 4에 도시)에 반송한다. 이 경우, 출고측의 출입 스테이션(6B)에 있어서, 불량의 판형상 공작물(1)을 트레이(2)에 적재한 후, 그 트레이(2)를, 컨베이어(12) 등을 경유하는 통상의 반송경로를 경유하는 일없이, 예컨대 반송대차(7)에 이송적재하여, 직접 검사장치(19)에 반송한다. 이 반송대차(7)에는, 출입 스테이션(6B)과의 사이에서 트레이(2)의 이송적재를 가능하게 하는 포크식의 이송적재장치 (7a)가 탑재되어 있다. 이 반송대차(7)에 의한 트레이(2)의 반송도 매엽 반송이다.
본 발명의 효과로서, 이하에 나타나 있는 바와 같은 효과를 거둔다.
청구항1에 있어서는, 판형상 공작물의 다량 반송을 할 수 있어서 반송효율을 높일 수 있음과 아울러, 판형상 공작물의 개별 반송에도 반송효율을 손상시키는 일없이 대응할 수 있어, 전체의 반송효율을 높일 수 있다.
청구항2에 있어서는, 매엽 반송구간과 벌크 반송구간의 반송의 접속이 양호하므로, 판형상 공작물의 반송효율이 높은 반송 시스템이 실현된다.
청구항3에 있어서는, 복수의 처리장치에 대해서 서비스하는 스토커의 반송을 효율적으로 행할 수 있다.

Claims (3)

  1. 판형상 공작물을 적재해서 반송하는 트레이를 1개씩 반송하는 매엽 반송구간과, 상기 트레이를 복수단 겹쳐 쌓아서 이루어지는 적층체를 반송하는 벌크 반송구간을 설치하는 것을 특징으로 하는 트레이 반송 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 매엽 반송구간에서 상기 벌크 반송구간으로의 접속부에 상기 트레이의 단적층장치를 설치하고, 상기 벌크 반송구간에서 상기 매엽 반송구간으로의 접속부에 상기 적층체의 단분리장치를 설치하는 것을 특징으로 하는 트레이 반송 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 1개의 스토커, 이 스토커에 대응해서 설치되는 복수의 처리장치, 및 상기 각 처리장치마다 대응해서 설치되는 버퍼 스테이션을 구비하고; 상기 스토커와 상기 각 버퍼 스테이션 사이는 상기 벌크 반송구간으로 하고, 상기 각 버퍼 스테이션과 상기 각 처리장치 사이는 상기 매엽 반송구간으로 하는 것을 특징으로 하는 트레이 반송 시스템.
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