TWI798049B - 料盤移載裝置以及具料盤移載裝置之作業設備 - Google Patents

Abstract

本發明係有關於一種料盤移載裝置以及具料盤移載裝置之作業設備，料盤移載裝置包括有一主架體、一推桿機構以及一運載結構。推桿機構包括一連接桿以及一第一搖桿，可藉由第一搖桿之第一接觸部朝料盤的側面施力而推動料盤，進而將料盤推送至生產機台。運載結構包括一基座、複數驅動輪、一運載動力模組以及複數料盤位置感測器，可透過複數驅動輪帶動料盤移動，並利用其上之料盤位置感測器判斷料盤目前的所在位置，以提供更為準確的定位。藉此，本發明可達成料盤的自動化輸送作業，有效取代傳統人工搬運，大幅降低人力成本，較傳統人工搬運節省時間。

Description

料盤移載裝置以及具料盤移載裝置之作業設備

本發明係關於一種料盤移載裝置以及具料盤移載裝置之作業設備，尤指一種適用於半導體元件生產作業之料盤移載裝置以及具料盤移載裝置之作業設備。

現行大部分半導體封裝與測試之生產機台設備及其相關生產線，皆須使用大量人力進行料盤，用於儲放半導體元件，以利後續半導體元件運送及上下貨作業，因上述流程重複性高且耗費時間及精力，故人力成本高。其次，若以人力處理上述流程，常因人為因素延遲耽擱，將無法有效控管料盤之上貨時間，故無法精確安排後續的生產及後續封裝與測試時程。再者，若以人力處理上述流程，將難以掌控每一料盤之運送進度，無法快速查詢料盤目前所在的位置，故無法系統化地對料盤進行控管。

發明人緣因於此，本於積極發明之精神，亟思一種可以解決上述問題之料盤移載裝置以及具料盤移載裝置之作業設備，幾經研究實驗終至完成本發明。

本發明之主要目的係在提供一種料盤移載裝置，該裝置藉由整合推桿機構及運載結構，可達成料盤的自動化輸送作業，有效取代傳統人工搬運，大幅降低人力成本。此外，本發明之料盤移載裝置可提供快速的上下貨速度，較傳統人工搬運節省時間。

為達成上述目的，本發明之料盤移載裝置包括有一主架體、一推桿機構以及一運載結構。主架體設置有一滑軌。推桿機構包括一連接桿以及一第一搖桿，連接桿滑設於滑軌上，連接桿可驅動第一搖桿樞轉作動。運載結構包括一基座、複數驅動輪以及複數料盤位置感測器，基座包括二側板，分別設置於主架體之兩側，複數驅動輪分別樞設於二側板上，用以承載並移載料盤，複數料盤位置感測器分別設置於二側板上。

藉由上述設計，上述推桿機構可藉由第一搖桿之第一接觸部朝料盤的側面施力而推動料盤，進而將料盤推送至生產機台。上述運載結構可透過複數驅動輪帶動料盤移動，並利用其上之料盤位置感測器判斷料盤目前的所在位置，以提供更為準確的定位。

上述料盤移載裝置可更包括一下壓機構，該下壓機構包括一蓋板及一蓋板位置感測器。藉此，下壓機構可施力下壓使蓋板覆蓋於料盤，並透過蓋板位置感測器偵測蓋板所在位置。

上述下壓機構可更包括複數蓋板滾輪，蓋板位置感測器設置於蓋板上，複數蓋板滾輪樞設於蓋板。藉此，當料盤運送時將受蓋板滾輪之滾動輔助，俾能有效減少運送時之震顫跳動，避免料盤內之半導體元件受到損傷。

上述下壓機構更包括一下壓件，該下壓件可以一緩衝模組連接蓋板。藉此，透過緩衝模組的設置，可有效吸收料盤接觸蓋板滾輪時之支撐力，減少不必要的震顫晃動，維持蓋板的穩定性。

上述料盤移載裝置可更包括一控制單元，分別電連接該推桿機構、該下壓機構以及該運載結構，藉以控制推桿機構、下壓機構及運載結構之作動時機，達成料盤的自動化輸送作業。

上述第一搖桿可包括一第一桿件以及一第一接觸部，第一搖桿樞設於連接桿上。藉此，當連接桿滑動時，可驅動位於連接桿上之第一搖桿樞轉作動。

上述第一搖桿可包括一第一桿件以及一第一接觸部，第一搖桿樞設於主架體上。藉此，當連接桿滑動時，可驅動位於主架體上之第一搖桿樞轉作動。

上述主架體可包括一旋轉機構及一滾輪，連接桿包括一扣合部，旋轉機構包括一第一滑動部及一第二滑動部，且第二滑動部樞設一旋轉臂，當連接桿帶動第二滑動部通過滾輪時，該轉臂抵接滾輪並旋轉，使旋轉臂與扣合部扣合或脫離。藉此，連接桿可與後段滑動部產生連動關係或不產生連動關係，俾能使連接桿與後段滑動部同步滑移或使連接桿單獨滑移。

上述主架體可更設置有一擋板，該擋板具有一第一延伸部，第一搖桿更包括一第一引導輪，該第一引導輪可沿著擋板滾動，引導第一搖桿進行作動。藉此，當第一引導輪滾動至第一延伸部時，第一搖桿可順勢上旋，使第一接觸部可朝料盤的側面施力而推動料盤，進而將料盤運送至生產機台；當第 一引導輪滾動離開第一延伸部時，第一搖桿可順勢下旋，使第一接觸部無法接觸到料盤，使料盤可在運載結構上移載作動。

上述基座與主架體可形成一第一開口，複數料盤位置感測器可包括鄰近第一開口之一第一位置感測器以及一遠離第一開口之第二位置感測器。藉此，當料盤由第一開口進入被第一位置感測器偵測到時，將觸發複數驅動輪作動而使料盤移動，當料盤繼續移動被第二位置感測器偵測到時，複數驅動輪將停止作動而使料盤不移動，此時下壓機構下壓作動覆蓋料盤，故運載結構可藉由料盤位置感測器判斷料盤當前的位置，達到更精準的定位。

上述推桿機構可更包括一第二搖桿，連接桿可驅動第二搖桿樞轉作動。藉此，透過第一搖桿及第二搖桿的設置，使推桿機構可視需求選擇式地朝料盤移載裝置之兩側方向將料盤推送至生產機台，以減少料盤移載裝置轉向移動至兩側生產機台的時間，達到雙向移載料盤之效果。

上述基座與主架體可形成一第一開口以及一第二開口，複數料盤位置感測器包括一鄰近第一開口之第一位置感測器、一遠離第一開口之第二位置感測器、一遠離第二開口之第三位置感測器以及一鄰近第二開口之第四位置感測器。藉此，當料盤由第一開口進入被第一位置感測器偵測到時，將觸發複數驅動輪作動而使料盤移動，當料盤繼續移動被第二位置感測器偵測到時，複數驅動輪將停止作動而使料盤不移動，此時下壓件下壓作動使蓋板覆蓋料盤。當料盤持續移動被第四位置感測器偵測到時，複數驅動輪將停止作動而使料盤不移動，此時下壓件上移作動遠離料盤，待下壓件上移完成後可驅動推桿機構之第二搖桿作動，將料盤推送至生產機台。反之亦然，當料盤由第二開口進入被第四位置感測器偵測到時，將觸發複數驅動輪作動而使料盤移動，當料盤繼 續移動被第三位置感測器偵測到時，複數驅動輪將停止作動而使料盤不移動，此時下壓件下壓作動使蓋板覆蓋料盤。當料盤持續移動被第一位置感測器偵測到時，複數驅動輪將停止作動而使料盤不移動，此時下壓件上移作動遠離料盤，待下壓件上移完成後可驅動推桿機構之第一搖桿作動，將料盤推送至生產機台之輸出入模組。因此，運載結構可藉由料盤位置感測器判斷料盤當前的位置，達到更精準的定位。

本發明之另一目的係在提供一種具料盤移載裝置之作業設備，包括有一生產機台、一自動導引車以及至少一料盤移載裝置。生產機台包括一料盤輸出入機構，該料盤輸出入機構具有一容置空間。自動導引車用以運載料盤至生產機台，至少一料盤移載裝置承載於自動導引車上，可選擇式地對接料盤輸出入機構或不對接料盤輸出入機構，包括有一主架體、一推桿機構以及一運載結構，主架體設置有一滑軌；推桿機構包括一連接桿以及一第一搖桿，連接桿滑設於滑軌上，連接桿可驅動第一搖桿樞轉作動；運載結構包括一基座、一複數驅動輪以及複數料盤位置感測器，基座包括二側板，分別設置於該主架體之兩側，複數驅動輪分別樞設於二側板上，用以承載並移載料盤，複數料盤位置感測器分別設置於二側板上。

藉由上述設計，料盤移載裝置可搭配生產機台及自動導引車來使用，俾能快速掌控料盤之所在位置，並可擴展料盤移載裝置之應用層面，例如後續可搭配自動導引車之派車系統，執行遠端操作貨批排程。藉此，本發明之具料盤移載裝置之作業設備可將料盤批次由料盤儲放處或相關應用於使用料盤的相關生產站點，如封裝與測試站點，經自動導引車移載至特定的生產機台之輸出入模組，有效取代傳統人工搬運，大幅降低人力成本及上下貨的時間。

上述料盤輸出入機構可設置有一引導件，用以輔助料盤進入料盤輸出入機構之容置空間內。

上述引導件可包括一斜面結構，故當推桿機構推送料盤進入料盤輸出入機構之容置空間時，可透過引導件之斜面結構輔助引導料盤進入，有效避免因生產機台與料盤移載裝置間之銜接誤差而讓料盤輸送受阻的情事發生。

上述自動導引車可更承載一移動平台，至少一料盤移載裝置設置於移動平台上。藉此，除了可透過自動導引車調整生產機台與料盤移載裝置間之Y軸方向之距離外，亦可透過移動平台調整生產機台與料盤移載裝置間之X軸方向及Z軸方向之距離，使料盤的裝卸能夠與生產機台準確配合。

該移動平台可包括一垂直升降機構及一水平移動機構。藉此，使設置於移動平台上之至少一料盤移載裝置可同步產生垂直方向(Z軸方向)及水平方向(X軸方向)之位移。

以上概述與接下來的詳細說明皆為示範性質是為了進一步說明本發明的申請專利範圍。而有關本發明的其他目的與優點，將在後續的說明與圖示加以闡述。

1:料盤移載裝置

1A,1B:樞轉部

10:作業設備

11:料盤

2,2’:主架體

201:第一旋轉機構

2011:導桿

202:第二旋轉機構

2021:導桿

21:滑軌

22:擋板

221:第一延伸部

222:第二延伸部

23:第一旋轉機構

230:連桿

231:第一前段滑動部

2311:前段滑桿

232:第一後段滑動部

2321:後段滑桿

233:第一旋轉臂

25:第二旋轉機構

250:連桿

251:第二前段滑動部

2511:前段滑桿

252:第二後段滑動部

2521:後段滑桿

253:第二旋轉臂

26:第二滾輪

3,3’:推桿機構

31,31’:連接桿

310,310’:滑塊

311,312:扣合部

32,32’:第一搖桿

321,321’:第一桿件

322,322’:第一接觸部

323:第一引導輪

33,33’:第二搖桿

331,331’:第二桿件

332,332’:第二接觸部

333:第二引導輪

34,34’:推桿動力模組

341:推桿動力輸送帶

342:連接件

343:動力源

4:下壓機構

41:下壓動力模組

410:承架

411:馬達

412:螺桿

413:導桿

414:下壓動力輸送帶

42:下壓件

421:緩衝模組

43:蓋板

44:蓋板位置感測器

45:蓋板滾輪

46:遮斷器

47:阻擋件

5:運載結構

51:基座

510:側板

511:第一開口

512:第二開口

52:驅動輪

520:驅動輔助輪

53:運載動力模組

54:料盤位置感測器

54a:第一位置感測器

54b:第二位置感測器

54c:第三位置感測器

54d:第四位置感測器

6:控制單元

7:生產機台

71:料盤輸出入機構

710:容置空間

711:引導件

711a:斜面結構

8:自動導引車

9:移動平台

91:垂直升降機構

911,921:螺桿

912:導桿

92:水平移動機構

921:螺桿

9211:連接件

922:馬達

923:滑塊

924:滑軌

93:承載板

94:底板

95:平台

X:X軸

Y:Y軸

Z:Z軸

圖1係本發明一較佳實施例之料盤移載裝置之立體圖。

圖2係圖1之局部放大圖。

圖3係本發明一較佳實施例之料盤移載裝置之內部結構之立體圖。

圖4係本發明一較佳實施例之料盤移載裝置之另一視角之立體圖。

圖5係本發明一較佳實施例之下壓機構下壓接觸料盤之示意圖。

圖6係本發明另一較佳實施例之料盤移載裝置之內部結構之立體圖。

圖7A係本發明另一較佳實施例之料盤移載裝置之第二旋轉臂脫離扣合部之示意圖。

圖7B係本發明另一較佳實施例之料盤移載裝置之第二旋轉臂扣合扣合部之示意圖。

圖8A至圖8G係本發明一較佳實施例之料盤移載裝置之移載料盤之作動示意圖。

圖9係本發明一較佳實施例之具料盤移載裝置之作業設備之側視圖。

圖10係本發明一較佳實施例之具料盤移載裝置之作業設備之立體圖。

圖11係本發明一較佳實施例之具料盤移載裝置之作業設備之部分透視圖。

圖12係圖10之局部放大圖。

請參閱圖1至圖4，其分別為本發明一較佳實施例之料盤移載裝置之立體圖、圖1之局部放大圖、料盤移載裝置之內部結構之立體圖以及料盤移載裝置之另一視角之立體圖。圖中出示一種料盤移載裝置1，主要包括有一主架體2、一推桿機構3、一下壓機構4、一運載結構5以及一控制單元6，其中控制單元6分別電連接推桿機構3、下壓機構4以及運載結構5。

請一併參閱圖1、圖2、圖3、圖4及圖8A，在本實施例中，主架體2設置有一滑軌21及一擋板22，擋板22具有一第一延伸部221及一第二延伸部222，第一延伸部221及第二延伸部222分別設置於擋板22的兩端。推桿機構3包 括一連接桿31、一第一搖桿32、一第二搖桿33及一推桿動力模組34，連接桿31係以一滑塊310滑設於滑軌21上。第一搖桿32包括一第一桿件321、一第一接觸部322以及一第一引導輪323。第一搖桿32樞設於連接桿31上，第一接觸部322固設於第一桿件321上，連接桿31與第一桿件321相互連接之樞轉部1A內建一彈性件(圖中未示)，第一引導輪323彈性接觸擋板22。當第一接觸部322接觸並推送料盤11，致使第一桿件321一端的第一引導輪323係沿著擋板22滾動，引導第一搖桿32進行作動，本實施例之彈性件係為一扭簧，用以提供第一桿件321一彈簧回復力。同樣地，第二搖桿33包括一第二桿件331、一第二接觸部332及一第二引導輪333。第二搖桿33樞設於連接桿31上，第二接觸部332固設於第二桿件331上，連接桿31與第二桿件331相互連接之樞轉部1B內建一彈性件(圖中未示)，第二引導輪333彈性接觸擋板22。當第二接觸部332接觸並推送料盤11，致使第二桿件331一端的第二引導輪333係沿著擋板22滾動，引導第二搖桿33進行作動，本實施例之彈性件係為一扭簧，用以提供第二桿件331一彈簧回復力。推桿動力模組34包括一推桿動力輸送帶341、一連接件342及一動力源343，係將動力源343所提供之動力透過輸送帶341帶動連接件342，致使驅動固設於連接件342上的連接桿31，使推桿機構3可沿著滑軌21往復滑移作動。動力源343可為馬達或旋轉汽缸等驅動元件。藉此，上述推桿機構3可藉由第一接觸部332或第二接觸部333朝料盤11的側面施力而推動料盤11，使推桿機構3可視需求選擇式地朝料盤移載裝置1之兩側方向將料盤11推送至生產機台或相關的製程機台，以減少料盤移載裝置1轉向移動特定方向至生產機台的時間，達到雙向移載料盤11之效果。

然不限於此，如圖6所示，係本發明另一較佳實施例之推桿機構之立體圖。如圖所示，推桿機構3’與圖3的推桿機構3作動之態樣不同，本實施例 之推桿機構3’設置於主架體2’，該主架體2’更包括一第一旋轉機構23、一第一滾輪(圖未示)、一第二旋轉機構25以及一第二滾輪26(參閱圖7A)。第一旋轉機構23包括一第一前段滑動部231及一第一後段滑動部232，第一前段滑動部231係沿著一前段滑桿2311進行線性滑移，第一後段滑動部232係沿著一後段滑桿2321進行線性滑移，且第一後段滑動部232樞設有一第一旋轉臂233。推桿機構3’包括一連接桿31’、一第一搖桿32’、一第二搖桿33’及一推桿動力模組34’，連接桿31’係以一滑塊310’滑設於滑軌21上，本實施例之連接桿31’之兩端分別開設有一扣合部311,312，扣合部311可用於扣合第一旋轉臂233，使連接桿31’可與第一後段滑動部232產生連動關係。第一搖桿32’包括一第一桿件321’以及一第一接觸部322’，樞設於主架體2’之第一前段滑動部231上，另以一連桿230樞接第一桿件321’及第一後段滑動部232，使第一搖桿32’得以樞轉作動，進而使第一接觸部322’接觸並推送料盤11。同樣地，第二旋轉機構25包括一第二前段滑動部251及一第二後段滑動部252，第二前段滑動部251係沿著一前段滑桿2511進行線性滑移，第二後段滑動部252係沿著一後段滑桿2521進行線性滑移，且第二後段滑動部252樞設有一第二旋轉臂253(參閱圖7A)。本實施例之連接桿31’之另一扣合部312可用於扣合第二旋轉臂253，使連接桿31’可與第二後段滑動部252產生連動關係。第二搖桿33’包括一第二桿件331’以及一第二接觸部332’，樞設於主架體2’之第二前段滑動部251上，另以一連桿250樞接第二桿件331’及第二後段滑動部252，使第二搖桿33’得以樞轉作動，進而使第二接觸部332’接觸並推送料盤11。推桿動力模組34’包括一推桿動力輸送帶341、一連接件342及一動力源343，係將動力源343所提供之動力透過輸送帶341帶動連接件342，致使驅動固設於連接件342上的連 接桿31’，使連接桿31’可沿著滑軌21往復滑移作動。動力源343可為馬達或旋轉汽缸等驅動元件。

請參閱圖7A及圖7B，其分別為本發明另一較佳實施例之料盤移載裝置之第二旋轉臂脫離及扣合扣合部之示意圖。如圖7A所示，當連接桿31’尚未推動第二後段滑動部252向第二前段滑動部251移動時，此時第二搖桿33’處於收折狀態，連接桿31’的扣合部312脫離第二旋轉臂253，故無法與第二後段滑動部252產生連動關係。如圖7B所示，當連接桿31’朝第二後段滑動部252側推出，且連接桿31’推動第二後段滑動部252向第二前段滑動部251移動時，樞設於第二後段滑動部252的第二旋轉臂253因接觸第二滾輪26而樞轉，且當連接桿31’帶動第二後段滑動部252通過第二滾輪26後，第二旋轉臂253抵接第二滾輪26並旋轉，使第二旋轉臂253扣合連接桿31’的扣合部312，進而使第二後段滑動部252與連接桿31’產生連動關係。當連接桿31’持續推動第二後段滑動部252向第二前段滑動部251移動時，將使第二搖桿33’旋轉並處於直立狀態，且進一步透過第二前段滑動部251沿著前段滑桿2511(請參閱圖6)推出主架體2’，使第二接觸部332’推動料盤11。相對地，當連接桿31’朝反向移動時，依照上述動作反向運動，而回到圖7A之狀態，此時連接桿31’的扣合部312將脫離第二旋轉臂253，將無法與第二後段滑動部252產生連動關係，使得連接桿31’可單獨朝向第一搖桿32’側移動，而達到往復滑移作動之效果。藉此，上述推桿機構3’可藉由第一接觸部322’或第二接觸部332’朝料盤11的側面施力而推動料盤11，使推桿機構3’可視需求選擇式地朝料盤移載裝置1之兩側方向將料盤11推送至生產機台，以減少料盤移載裝置1轉向移動特定方向至生產機台的時間，達到雙向移載料盤11之效果。

在本實施例中，如圖4與圖5所示，下壓機構4包括一下壓動力模組41、一下壓件42、一蓋板43、二蓋板位置感測器44、複數蓋板滾輪45以及一遮斷器46。下壓動力模組41包括有一承架410、一馬達411、一螺桿412、二導桿413以及一下壓動力輸送帶414，承架410設置於主架體2上，馬達411係以下壓動力輸送帶414將動力傳輸至螺桿412。螺桿412及二導桿413穿設於下壓件42中，螺桿412可帶動下壓件42上移或下壓，二導桿413則可輔助引導下壓件42上移或下壓。此外，下壓件42係以多個緩衝模組421連接蓋板43，故蓋板43可與下壓件42同步上移或下壓，並可利用多個緩衝模組421吸收料盤11接觸蓋板滾輪45時之支撐力，減少不必要的震顫晃動，維持多個堆疊的料盤11之穩定性。在本實施例中，蓋板43之長邊兩側分別樞設有複數蓋板滾輪45，其用以滾動接觸料盤11，使料盤11得以平順的被傳遞運送，其中複數蓋板滾輪45同側之間的間距例如不大於料盤11長邊的長度，或是不大於料盤11長邊長度的一半，以確保料盤11在運送時能夠穩定與複數蓋板滾輪45銜接，而蓋板43之短邊兩端則分別設置有蓋板位置感測器44，用以偵測料盤11的所在位置及厚度，以掌握蓋板43下壓的幅度，再者，請一併參閱圖2及圖5，本實施例於下壓件42中間位置處更設置有一遮斷器46，於下壓件42相對蓋板43之中間位置處亦設置有一阻擋件47，如圖2所示，當下壓機構4之下壓件42尚未下壓接觸料盤11時，遮斷器46與阻擋件47之間將存在一高度差，故此時遮斷器46所發出之訊號源無法經由阻擋件47反射至遮斷器46，故可判斷出緩衝模組421尚未受力壓縮，下壓機構4尚未下壓接觸料盤11；相對地，如圖5所示，當下壓機構4之下壓件42已下壓接觸料盤11且持續下壓使緩衝模組421受力壓縮時，遮斷器46與阻擋件47之間將不存在高度差，故此時遮斷器46所發出之訊號源可經由阻擋件47反射至遮斷器46，故可判斷出緩衝 模組421已受力壓縮，下壓機構4已下壓接觸料盤11且已達下壓上限值，必須停止下壓。綜上所述，蓋板位置感測器44可偵測料盤11的所在位置及厚度，以掌握蓋板43下壓的幅度，且當蓋板位置感測器44未能精準判斷蓋板43下壓幅度時，可透過緩衝模組421給予適當的緩衝，並利用遮斷器46及阻擋件47判斷蓋板43是否已覆蓋住料盤11表面，而停止蓋板43過度下壓，使蓋板43下壓的幅度能受精準控制。藉此，上述下壓機構4可施力下壓使蓋板43覆蓋於料盤11，而當料盤11運送時將受蓋板滾輪45之滾動輔助，俾能減少運送時之震顫跳動，有效避免料盤11內之半導體元件受到損傷。

請再次參閱圖1、圖3及圖8A，在本實施例中，運載結構5包括一基座51、一複數驅動輪52、一運載動力模組53及複數料盤位置感測器54，基座51包括二側板510，分別設置於該主架體2之兩側，複數驅動輪52分別樞設於二側板510上，用以承載並移載料盤11，同側驅動輪52之間的間距例如不大於料盤11長邊的長度，或是不大於料盤11長邊長度的一半，以確保料盤11在運送時能夠穩定與驅動輪52銜接，每一驅動輪52之相鄰處亦可設置有驅動輔助輪520，驅動輔助輪520分別樞設於二側板510上，用以輔助承載並移載料盤11，強化料盤11移載時之穩定性。如圖3所示，二側板510所樞設之驅動輪52及驅動輔助輪520係對稱排列，可讓滾輪集中施力，提高料盤11之輸送效率，但不以此為限，亦可讓二側板510所樞設之驅動輪52及驅動輔助輪520係交錯排列或部分交錯排列，以達到不須每個驅動輪52或驅動輔助輪520都要有動力輸出，仍能維持料盤11穩定移動的功效。

接續上述，運載動力模組53包括一運載動力輸送帶以及一動力源(圖未示)，係將動力源所提供之動力傳輸至驅動輪52及驅動輔助輪520，使承載 於驅動輪52及驅動輔助輪520上之料盤11可沿轉動方向滑移作動。此外，上述基座51與主架體2形成一第一開口511及一第二開口512，本實施例之料盤位置感測器54分別設置於二側板510上，每一側板510的料盤位置感測器54包含設置有一鄰近第一開口511之第一位置感測器54a、一遠離第一開口511之第二位置感測器54b、一遠離第二開口512之第三位置感測器54c以及一鄰近第二開口512之第四位置感測器54d。藉此，運載結構5可藉由料盤位置感測器54偵測料盤11當前的位置，達到更精準的定位。

請參閱圖1、圖2、圖3、圖5及圖8A，控制單元6分別電連接推桿機構3的推桿動力模組34、下壓機構4的下壓動力模組41以及運載結構5的運載動力模組53，控制單元6分別透過下壓機構4的蓋板位置感測器44、遮斷器46、運載結構5的第一位置感測器54a、第二位置感測器54b、第三位置感測器54c以及第四位置感測器54d的訊號回傳，進而偵測料盤11的位置及高度。藉此，控制單元6可發出推桿控制訊號至推桿動力模組34，使第一搖桿32或第二搖桿33推送料盤11至後續的生產機台或者在待命狀態時，使第一搖桿32或第二搖桿33不推送料盤11；控制單元6可發出下壓控制訊號至下壓動力模組41，使下壓件42帶動蓋板43下壓覆蓋料盤11，或者使下壓件42帶動蓋板43上移遠離料盤11；控制單元6可發出運載控制訊號至運載動力模組53，使驅動輪52及驅動輔助輪520作動以移載料盤11，或者使驅動輪52及驅動輔助輪520不作動以停止料盤11移動。

請參閱圖8A至圖8G，係本發明一較佳實施例之料盤移載裝置之移載料盤之作動示意圖。如圖8A所示，在本實施例中，料盤11欲從第二開口512進入料盤移載裝置1之承載空間，且當料盤11被第四位置感測器54d偵測到時，將觸發複數驅動輪52及驅動輔助輪520作動而使料盤11移動。如圖8B所示，當料 盤11繼續移動被第三位置感測器54c偵測到時，複數驅動輪52及驅動輔助輪520將停止作動而使料盤11不移動，此時蓋板位置感測器44偵測料盤11的所在位置及厚度，以掌握蓋板43下壓的幅度。如圖8C所示，下壓件42確認完成下壓作動，使蓋板43下壓料盤11，料盤11一側與蓋板滾輪45接觸後，料盤11持續前進與接續的複數驅動輪52及驅動輔助輪520接觸，使料盤11在料盤移載裝置1之承載空間移動時，透過蓋板滾輪45與複數驅動輪52及驅動輔助輪的夾持，具有較佳的移動穩定性。如圖8D所示，在蓋板43覆蓋料盤11的狀態下，複數驅動輪52及驅動輔助輪520將持續作動，將料盤11移往第一開口511方向推送，料盤11繼續移動直到被第二位置感測器54b偵測到時，複數驅動輪52及驅動輔助輪520停止做動，使料盤11穩定設置在料盤移載裝置1之承載空間中。如圖8E所示，當料盤11欲從第一開口511移出，觸發複數驅動輪52及驅動輔助輪520作動而使料盤11移動，當料盤11持續移動到無法被第一位置感測器54a偵測時，複數驅動輪52及驅動輔助輪520將停止作動而使料盤11不移動，此時下壓件42將上移作動使蓋板43遠離料盤11。如圖8F所示，待下壓件42上移完成使蓋板43遠離料盤11後，將可驅動推桿機構3作動，連接桿31在滑軌21上往第一開口511移動時，第一引導輪323係沿著擋板22滾動，由於第一延伸部221為檔板22的一端朝向蓋板43方向的彎折，當第一引導輪323滾動離開至第一延伸部221時，此時第一引導輪323不與第一延伸部221接觸，透過彈性件使第一搖桿32可平穩地上旋，同時連接桿31在滑軌21上往第一開口511移動，帶動第一搖桿32之第一接觸部322可朝料盤11的側面施力而推動料盤11，進而將料盤11推離料盤移載裝置1，將料盤11推入至特定的生產機台內。

相同地，如圖8G所示，料盤11亦可反方向從第一開口511進入料盤移載裝置1之承載空間，藉由推桿機構3、運載結構5及下壓機構4的作動下，料盤11由第二開口512離開料盤移載裝置1，相關作動方式如前述實施例之說明，故不在此贅述。此外，若連接桿31往第二開口512方向移動時，第一引導輪323與第二引導輪333分別接觸第一延伸部221及第二延伸部222後，第一搖桿32與第二搖桿33分別亦受到第一延伸部221與第二延伸部222的限制，沿著第一延伸部221與第二延伸部222的形狀向下旋轉，進而使第一搖桿32與第二搖桿33透過檔板22限制在一特定高度以下，第一搖桿32與第二搖桿33被擋板22限制的特定高度例如不高於驅動輪52或驅動輔助輪520與料盤11接觸的表面，使第一搖桿32與與第二搖桿33在常態設置時，不會與進入料盤移載裝置1之承載空間的載盤11互相干涉。

總上說明，料盤11可自由地從料盤移載裝置1的第一開口511或第二開口512進入或離開承載空間，減少料盤移載裝置1轉向移動的時間，達到雙向移載料盤11之效果。

請參閱圖9至圖12，其分別為本發明一較佳實施例之具料盤移載裝置之作業設備之側視圖、立體圖、部分透視圖以及圖10之局部放大圖。請參閱圖9所示之具料盤移載裝置1之作業設備10，包括有一生產機台7、一自動導引車8、一移動平台9以及複數料盤移載裝置1，料盤移載裝置1設置於移動平台9，移動平台9設置於自動導引車8，自動導引車8用以運載移動平台9及複數料盤移載裝置1，其中透過多個料盤移載裝置1的設置，載運相同批次或不同批次的產品，使自動引導車8增加料盤11運載的數量，自動引導車8也可透過單一的料盤移載裝置1運載單一種類的產品或是單一等級的產品，達到同時載運多種不同種 類的產品。於一較佳實施例中，半導體元件經電性測試分類後，置放於不同的料盤內，可利用不同的料盤移載裝置1運載，可有效避免產品混料的狀況發生，使複數個料盤移載裝置1的設置兼具料盤運輸數量的優勢及同時運載不同種類或不同等級產品的功能。所述料盤移載裝置1之基本結構及作動方式可參考前述說明，在此便不再贅述。

在本實施例中，生產機台7係為半導體封裝或測試設備或相關製程機台，其需透過料盤移載裝置1用於與生產機台7對接後，料盤移載裝置1將料盤11載入生產機台7等機台中以便進行後續的半導體封裝或測試作業或相關後續製程作業。於一較佳實施例中，如圖10所示，該生產機台7包括一具有一容置空間710之料盤輸出入機構71，容置空間710係用以存放料盤11。如圖12所示，料盤輸出入機構71設置有一引導件711，用以輔助料盤11進入料盤輸出入機構71之容置空間710。引導件711包括一斜面結構711a，故當推桿機構3推送料盤11進入料盤輸出入機構71之容置空間710時，可透過引導件711之斜面結構711a輔助引導料盤11進入，有效避免因生產機台7與料盤移載裝置1間之銜接誤差而讓料盤11輸送受阻的情事發生。

此外，請一併參閱圖10與圖11，自動導引車8係用以運載料盤11至生產機台7，因料盤移載裝置1設置於自動導引車8上的特定位置，故透過自動導引車8與生產機台7做水平方向(X軸及Y軸方向)的定位，進而使移動平台9上的料盤移載裝置1與料盤輸出入機構71的容置空間710在水平方向(X軸及Y軸方向)也能同步定位，本實施例之自動導引車8承載一移動平台9，複數料盤移載裝置1設置於移動平台9上且可選擇式地對接料盤載入機構71或不對接料盤輸出入機構71，當料盤移載裝置1在與生產機台7定位時，自動導引車8可帶動移動平台9 在水平方向(X軸及Y軸方向)的移動，故使料盤移載裝置1可同步產生水平方向(X軸及Y軸方向)之位移。

接續上述，移動平台9包括二垂直升降機構91、一水平移動機構92、一用以承載料盤移載裝置1之承載板93以及一底板94。承載板93設置於二垂直升降機構91之間並與二垂直升降機構91互相連接。底板94與水平移動機構92連接且設置於水平移動機構92上方。垂直升降機構91設置於底板94，且垂直升降機構91分別位於底板94之兩側，每一垂直升降機構91包括一螺桿911及二導桿912，螺桿911可帶動承載板93上移或下移，二導桿912則可輔助引導承載板93上移或下移，故使料盤移載裝置1可同步產生垂直方向(Z軸方向)之位移。請參閱圖11，水平移動機構92設置於自動導引車8上，水平移動機構92設置於平台95上，其中水平移動機構92包括一螺桿921、連接件9211、與該螺桿921連接之馬達922、滑塊923及滑軌924，螺桿921可透過連接件9211帶動底板94下方的滑塊923於平台95上的滑軌924左移或右移，故使料盤移載裝置1可同步產生水平方向(X軸方向)之位移。然不限於此，水平移動機構92可選用傳動皮帶、齒輪等傳動元件搭配馬達或氣缸等動力元件驅動水平移動機構92位移。再者當要變換承載板93上不同的料盤移載裝置1與生產機台7對接時，可透過水平移動機構92對底板94產生水平方向(X軸方向)之移動，變換不同料盤移載裝置1可與生產機台7的對接，其中設置於承載板93上的複數個料盤移載裝置1之間的距離為預定的距離，可對水平移動機構92設定預定的距離的參數後，水平移動機構92帶動料盤移載裝置1準確的與生產機台7對接。藉此，除了可透過自動導引車8調整生產機台7與料盤移載裝置1間之Y軸方向之距離外，亦可透過移動平台9調整生產機台7與 料盤移載裝置1間之X軸方向及Z軸方向之距離，使料盤11的裝卸能夠與生產機台7準確配合。

藉由上述設計，料盤移載裝置1可搭配生產機台7及自動導引車8來使用，俾能擴展料盤移載裝置1之應用層面，例如後續可搭配自動導引車8之派車系統，執行遠端操作貨批排程。因此，本發明之具料盤移載裝置1之作業設備10可將料盤11批次由料盤上下貨站點或其他生產機台，經自動導引車8移載至特定的生產機台，或可將料盤11批次由生產機台經自動導引車8移載至料盤上下貨站點或其他生產機台，有效取代傳統人工搬運，大幅降低人力成本及上下貨的時間。

上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已，本發明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限於上述實施例。

1:料盤移載裝置

1A,1B:樞轉部

11:料盤

2:主架體

21:滑軌

22:擋板

221:第一延伸部

222:第二延伸部

3:推桿機構

31:連接桿

310:滑塊

32:第一搖桿

321:第一桿件

322:第一接觸部

323:第一引導輪

33:第二搖桿

331:第二桿件

332:第二接觸部

333:第二引導輪

4:下壓機構

41:下壓動力模組

42:下壓件

43:蓋板

44:蓋板位置感測器

45:蓋板滾輪

46:遮斷器

5:運載結構

510:側板

511:第一開口

512:第二開口

52:驅動輪

520:驅動輔助輪

54:料盤位置感測器

54a:第一位置感測器

54b:第二位置感測器

54c:第三位置感測器

54d:第四位置感測器

Claims (17)

1. 一種料盤移載裝置，包括有：一主架體，設置有一滑軌；一推桿機構，包括一連接桿以及一第一搖桿，該連接桿滑設於該滑軌上，該連接桿可驅動該第一搖桿樞轉作動；以及一運載結構，包括一基座、複數驅動輪以及複數料盤位置感測器，該基座包括二側板，分別設置於該主架體之兩側，該複數驅動輪分別樞設於該二側板上，用以承載並移載料盤，該複數料盤位置感測器分別設置於該二側板上。
2. 如請求項1所述之料盤移載裝置，其中，更包括一下壓機構，該下壓機構包括一蓋板及一蓋板位置感測器。
3. 如請求項2所述之料盤移載裝置，其中，該下壓機構更包括複數蓋板滾輪，該蓋板位置感測器設置於該蓋板上，該複數蓋板滾輪樞設於該蓋板。
4. 如請求項3所述之料盤移載裝置，其中，該下壓機構更包括一下壓件，該下壓件係以一緩衝模組連接該蓋板。
5. 如請求項2所述之料盤移載裝置，其中，更包括一控制單元，分別電連接該推桿機構、該下壓機構以及該運載結構。
6. 如請求項1所述之料盤移載裝置，其中，該第一搖桿包括一第一桿件以及一第一接觸部，該第一搖桿樞設於該連接桿上。
7. 如請求項1所述之料盤移載裝置，其中，該第一搖桿包括一第一桿件以及一第一接觸部，該第一搖桿樞設於該主架體上。
8. 如請求項7所述之料盤移載裝置，其中，該主架體包括一旋轉機構及一滾輪，該連接桿包括一扣合部，該旋轉機構包括一前段滑動部及一後段 滑動部，且該後段滑動部樞設一旋轉臂，當該連接桿帶動該後段滑動部通過該滾輪時，該旋轉臂抵接該滾輪並旋轉，使該旋轉臂與該扣合部扣合或脫離。
9. 如請求項1所述之料盤移載裝置，其中，該主架體更設置有一擋板，該擋板具有一第一延伸部，該第一搖桿更包括一第一引導輪，該第一引導輪係沿著該擋板滾動，引導該第一搖桿進行作動。
10. 如請求項1所述之料盤移載裝置，其中，該基座與該主架體形成一第一開口，該複數料盤位置感測器包括鄰近該第一開口之一第一位置感測器以及一遠離該第一開口之一第二位置感測器。
11. 如請求項1所述之料盤移載裝置，其中，該推桿機構更包括一第二搖桿，該連接桿可驅動該第二搖桿樞轉作動。
12. 如請求項1所述之料盤移載裝置，其中，該基座與該主架體形成一第一開口以及一第二開口，複數料盤位置感測器包括一鄰近該第一開口之第一位置感測器、一遠離該第一開口之第二位置感測器、一遠離該第二開口之第三位置感測器以及一鄰近該第二開口之第四位置感測器。
13. 一種具料盤移載裝置之作業設備，包括有：一生產機台，包括一料盤輸出入機構，該料盤輸出入機構具有一容置空間；一自動導引車，用以運載料盤至該生產機台；以及至少一料盤移載裝置，承載於該自動導引車上，可選擇式地對接該料盤輸出入機構或不對接該料盤輸出入機構，該至少一料盤移載裝置包括有一主架體、一推桿機構以及一運載結構，該主架體設置有一滑軌；該推桿機構包括一連接桿以及一第一搖桿，該連接桿滑設於該滑軌上，該連接桿可驅動該第一搖桿樞轉作動；該運載結構包括一基座、一複數驅動輪以及複數料盤位置感測器，該 基座包括二側板，分別設置於該主架體之兩側，該複數驅動輪分別樞設於該二側板上，用以承載並移載料盤，該複數料盤位置感測器分別設置於該二側板上。
14. 如請求項13所述之具料盤移載裝置之作業設備，其中，該料盤輸出入機構設置有一引導件，用以輔助料盤進入該容置空間。
15. 如請求項14所述之具料盤移載裝置之作業設備，其中，該引導件包括一斜面結構。
16. 如請求項13所述之具料盤移載裝置之作業設備，其中，該自動導引車更承載一移動平台，該至少一料盤移載裝置係設置於該移動平台上。
17. 如請求項16所述之具料盤移載裝置之作業設備，其中，該移動平台包括一垂直升降機構及一水平移動機構，致使設置於該移動平台上之該至少一料盤移載裝置，可同步產生垂直方向(Z軸方向)及水平方向(X軸方向)之位移。

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