CN116946687A - 料盘移载装置以及具有料盘移载装置的作业设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种料盘移载装置以及具有料盘移载装置的作业设备，料盘移载装置包括有一主架体、一推杆机构以及一运载结构。推杆机构包括一连接杆以及一第一摇杆，可通过第一摇杆的第一接触部朝料盘的侧面施力而推动料盘，进而将料盘推送至生产机台。运载结构包括一基座、多个驱动轮、一运载动力模块以及多个料盘位置感测器，可通过多个驱动轮带动料盘移动，并利用其上的料盘位置感测器判断料盘目前的所在位置，以提供更为准确的定位。因此，本发明可达成料盘的自动化输送作业，有效取代传统人工搬运，大幅降低人力成本，较传统人工搬运节省时间。

Description

料盘移载装置以及具有料盘移载装置的作业设备

技术领域

本发明涉及一种料盘移载装置以及具有料盘移载装置的作业设备，涉及一种适用于半导体元件生产作业的料盘移载装置以及具有料盘移载装置的作业设备。

背景技术

现行大部分半导体封装与测试的生产机台设备及其相关生产线，皆须使用大量人力运送料盘，用于储放半导体元件，以利后续半导体元件运送及上下货作业，因上述流程重复性高且耗费时间及精力，故人力成本高。其次，若以人力处理上述流程，常因人为因素延迟耽搁，将无法有效控管料盘的上货时间，故无法精确安排后续的生产及后续封装与测试时程。此外，若以人力处理上述流程，将难以掌控每一料盘的运送进度，无法快速查询料盘目前所在的位置，故无法系统化地对料盘进行控管。

发明人缘因于此，本在积极发明的精神，亟思一种可以解决上述问题的料盘移载装置以及具有料盘移载装置的作业设备，几经研究实验终至完成本发明。

发明内容

本发明的主要目的是在提供一种料盘移载装置，该装置通过整合推杆机构及运载结构，可达成料盘的自动化输送作业，有效取代传统人工搬运，大幅降低人力成本。此外，本发明的料盘移载装置可提供快速的上下货速度，较传统人工搬运节省时间。

为达成上述目的，本发明的料盘移载装置包括有一主架体、一推杆机构以及一运载结构。主架体设置有一滑轨。推杆机构包括一连接杆以及一第一摇杆，连接杆滑设于滑轨上，连接杆可驱动第一摇杆枢转作动。运载结构包括一基座、多个驱动轮以及多个料盘位置感测器，基座包括两个侧板，分别设置于主架体的两侧，多个驱动轮分别枢设于两个侧板上，用于承载并移载料盘，多个料盘位置感测器分别设置于两个侧板上。

通过上述设计，上述推杆机构可通过第一摇杆的第一接触部朝料盘的侧面施力而推动料盘，进而将料盘推送至生产机台。上述运载结构可通过多个驱动轮带动料盘移动，并利用其上的料盘位置感测器判断料盘目前的所在位置，以提供更为准确的定位。

上述料盘移载机构可还包括一下压机构，该下压机构包括一盖板及一盖板位置感测器。因此，下压机构可施力下压使盖板覆盖于料盘，并通过盖板位置感测器侦测盖板所在位置。

上述下压机构可还包括多个盖板滚轮，盖板位置感测器设置于盖板上，多个盖板滚轮枢设于盖板。因此，当料盘运送时将受盖板滚轮的滚动辅助，以能有效减少运送时的震颤跳动，避免料盘内的半导体元件受到损伤。

上述下压机构还包括一下压件，该下压件可以一缓冲模块连接盖板。因此，通过缓冲模块的设置，可有效吸收料盘接触盖板滚轮时的支撑力，减少不必要的震颤晃动，维持盖板的稳定性。

上述料盘移载机构可还包括一控制单元，分别电连接该推杆机构、该下压机构以及该运载结构，从而控制推杆机构、下压机构及运载结构的作动时机，达成料盘的自动化输送作业。

上述第一摇杆可包括一第一杆件以及一第一接触部，第一摇杆枢设于连接杆上。因此，当连接杆滑动时，可驱动位于连接杆上的第一摇杆枢转作动。

上述第一摇杆可包括一第一杆件以及一第一接触部，第一摇杆枢设于主架体上。藉此，当连接杆滑动时，可驱动位于主架体上之第一摇杆枢转作动。

上述主架体可包括一旋转机构及一滚轮，连接杆包括一扣合部，旋转机构包括一第一滑动部及一第二滑动部，且第二滑动部枢设一旋转臂，当连接杆带动第二滑动部通过滚轮时，该转臂抵接滚轮并旋转，使旋转臂与扣合部扣合或脱离。因此，连接杆可与后段滑动部产生连动关系或不产生连动关系，以能使连接杆与后段滑动部同步滑移或使连接杆单独滑移。

上述主架体可还设置有一挡板，该挡板具有一第一延伸部，第一摇杆还包括一第一引导轮，该第一引导轮可沿着挡板滚动，引导第一摇杆进行作动。因此，当第一引导轮滚动至第一延伸部时，第一摇杆可顺势上旋，使第一接触部可朝料盘的侧面施力而推动料盘，进而将料盘运送至生产机台；当第一引导轮滚动离开第一延伸部时，第一摇杆可顺势下旋，使第一接触部无法接触到料盘，使料盘可在运载结构上移载作动。

上述基座与主架体可形成一第一开口，多个料盘位置感测器可包括邻近第一开口的一第一位置感测器以及一远离第一开口的第二位置感测器。因此，当料盘由第一开口进入被第一位置感测器侦测到时，将触发多个驱动轮作动而使料盘移动，当料盘继续移动被第二位置感测器侦测到时，多个驱动轮将停止作动而使料盘不移动，此时下压机构下压作动覆盖料盘，故运载结构可通过料盘位置感测器判断料盘当前的位置，达到更精准的定位。

上述推杆机构可还包括一第二摇杆，连接杆可驱动第二摇杆枢转作动。因此，通过第一摇杆及第二摇杆的设置，使推杆机构可视需求选择式地朝料盘移载装置的两侧方向将料盘推送至生产机台，以减少料盘移载装置转向移动至两侧生产机台的时间，达到双向移载料盘的效果。

上述基座与主架体可形成一第一开口以及一第二开口，多个料盘位置感测器包括一邻近第一开口的第一位置感测器、一远离第一开口的第二位置感测器、一远离第二开口的第三位置感测器以及一邻近第二开口的第四位置感测器。因此，当料盘由第一开口进入被第一位置感测器侦测到时，将触发多个驱动轮而使料盘移动，当料盘继续移动被第二位置感测器侦测到时，多个驱动轮将停止作动而使料盘不移动，此时下压件下压作动使盖板覆盖料盘。当料盘持续移动被第四位置感测器侦测到时，多个驱动轮将停止作动而使料盘不移动，此时下压件上移作动远离料盘，待下压件上移完成后可驱动推杆机构的第二摇杆作动，将料盘推送至生产机台。反之亦然，当料盘由第二开口进入被第四位置感测器侦测到时，将触发多个驱动轮作动而使料盘移动，当料盘继续移动被第三位置感测器侦测到时，多个驱动轮将停止作动而使料盘不移动，此时下压件下压作动使盖板覆盖料盘。当料盘持续移动被第一位置感测器侦测到时，多个驱动轮将停止作动而使料盘不移动，此时下压件上移作动远离料盘，待下压件上移完成后可驱动推杆机构之第一摇杆作动，将料盘推送至生产机台的输出入模块。因此，运载结构可通过料盘位置感测器判断料盘当前的位置，达到更精准的定位。

本发明的另一目的是在提供一种具有料盘移载装置的作业设备，包括有一生产机台、一自动导引车以及至少一料盘移载装置。生产机台包括一料盘输出入机构，该料盘输出入机构具有一容置空间。自动导引车用于运载料盘至生产机台，至少一料盘移载装置承载于自动导引车上，可选择式地对接料盘输出入机构或不对接料盘输出入机构，包括有一主架体、一推杆机构以及一运载结构，主架体设置有一滑轨；推杆机构包括一连接杆以及一第一摇杆，连接杆滑设于滑轨上，连接杆可驱动第一摇杆枢转作动；运载结构包括一基座、一多个驱动轮以及多个料盘位置感测器，基座包括两个侧板，分别设置于该主架体的两侧，多个驱动轮分别枢设于两个侧板上，用于承载并移载料盘，多个料盘位置感测器分别设置于两个侧板上。

通过上述设计，料盘移载装置可搭配生产机台及自动导引车来使用，以能快速掌控料盘的所在位置，并可扩展料盘移载装置的应用层面，例如后续可搭配自动导引车的派车系统，执行远端操作货批排程。因此，本发明的具有料盘移载装置的作业设备可将料盘批次由料盘储放处或相关应用于使用料盘的相关生产站点，如封装与测试站点，经自动导引车移载至特定的生产机台的输出入模块，有效取代传统人工搬运，大幅降低人力成本及上下货的时间。

上述料盘输出入机构可设置有一引导件，用于辅助料盘进入料盘输出入机构的容置空间内。

上述引导件可包括一斜面结构，故当推杆机构推送料盘进入料盘输出入机构的容置空间时，可通过引导件的斜面结构辅助引导料盘进入，有效避免因生产机台与料盘移载装置间的衔接误差而让料盘输送受阻的情况发生。

上述自动导引车可更承载一移动平台，至少一料盘移载装置设置于移动平台上。因此，除了可通过自动导引车调整生产机台与料盘移载装置间之Y轴方向的距离外，也可通过移动平台调整生产机台与料盘移载装置间的X轴方向及Z轴方向的距离，使料盘的装卸能够与生产机台准确配合。

该移动平台可包括一垂直升降机构及一水平移动机构。因此，使设置于移动平台上的至少一料盘移载装置可同步产生垂直方向(Z轴方向)及水平方向（X轴方向)的位移。

以上概述与接下来的详细说明皆为示范性质是为了进一步说明本发明的权利要求。而有关本发明的其他目的与优点，将在后续的说明与附图加以阐述。

附图说明

图1是本发明一较佳实施例的料盘移载装置的立体图。

图2是图1的局部放大图。

图3是本发明一较佳实施例的料盘移载装置的内部结构的立体图。

图4是本发明一较佳实施例的料盘移载装置的另一视角的立体图。

图5是本发明一较佳实施例的下压机构下压接触料盘的示意图。

图6是本发明另一较佳实施例的料盘移载装置的内部结构的立体图。

图7A是本发明另一较佳实施例的料盘移载装置的第二旋转臂脱离扣合部的示意图。

图7B是本发明另一较佳实施例的料盘移载装置的第二旋转臂扣合扣合部的示意图。

图8A至图8G是本发明一较佳实施例的料盘移载装置的移载料盘的作动示意图。

图9是本发明一较佳实施例的具有料盘移载装置的作业设备的侧视图。

图10是本发明一较佳实施例的具有料盘移载装置的作业设备的立体图。

图11是本发明一较佳实施例的具有料盘移载装置的作业设备的部分透视图。

图12是图10的局部放大图。

【附图标记说明】

1：料盘移载装置

1A，1B：枢转部

10：作业设备

11：料盘

2，2’：主架体

201：第一旋转机构

2011：导杆

202：第二旋转机构

2021：导杆

21：滑轨

22：挡板

221：第一延伸部

222：第二延伸部

23：第一旋转机构

230：连杆

231：第一前段滑动部

2311：前段滑杆

232：第一后段滑动部

2321：后段滑杆

233：第一旋转臂

25：第二旋转机构

250：连杆

251：第二前段滑动部

2511：前段滑杆

252：第二后段滑动部

2521：后段滑杆

253：第二旋转臂

26：第二滚轮

3，3’：推杆机构

31，31’：连接杆

310，310’：滑块

311，312：扣合部

32，32’：第一摇杆

321，321’：第一杆件

322，322’：第一接触部

323：第一引导轮

33，33’：第二摇杆

331，331’：第二杆件

332，332’：第二接触部

333：第二引导轮

34，34’：推杆动力模块

341：推杆动力输送带

342：连接件

343：动力源

4：下压机构

41：下压动力模块

410：承架

411：马达

412：螺杆

413：导杆

414：下压动力输送带

42：下压件

421：缓冲模块

43：盖板

44：盖板位置感测器

45：盖板滚轮

46：遮断器

47：阻挡件

5：运载结构

51：基座

510：侧板

511：第一开口

512：第二开口

52：驱动轮

520：驱动辅助轮

53：运载动力模块

54：料盘位置感测器

54a：第一位置感测器

54b：第二位置感测器

54c：第三位置感测器

54d：第四位置感测器

6：控制单元

7：生产机台

71：料盘输出入机构

710：容置空间

711：引导件

711a：斜面结构

8：自动导引车

9：移动平台

91：垂直升降机构

911，921：螺杆

912：导杆

92：水平移动机构

921：螺杆

9211：连接件

922：马达

923：滑块

924：滑轨

93：承载板

94：底板

95：平台

X：X轴

Y：Y轴

Z：Z轴

具体实施方式

请参阅图1至图4，其分别为本发明一较佳实施例的料盘移载装置的立体图、图1的局部放大图、料盘移载装置的内部结构的立体图以及料盘移载装置的另一视角的立体图。图中出示一种料盘移载装置1，主要包括有一主架体2、一推杆机构3、一下压机构4、一运载结构5以及一控制单元6，其中控制单元6分别电连接推杆机构3、下压机构4以及运载结构5。

请一并参阅图1、图2、图3、图4及图8A，在本实施例中，主架体2设置有一滑轨21及一挡板22，挡板22具有一第一延伸部221及一第二延伸部222，第一延伸部221及第二延伸部222分别设置于挡板22的两端。推杆机构3包括一连接杆31、一第一摇杆32、一第二摇杆33及一推杆动力模块34，连接杆31是以一滑块310滑设于滑轨21上。第一摇杆32包括一第一杆件321、一第一接触部322以及一第一引导轮323。第一摇杆32枢设于连接杆31上，第一接触部322固设于第一杆件321上，连接杆31与第一杆件321相互连接的枢转部1A内建一弹性件(图中未示)，第一引导轮323弹性接触挡板22。当第一接触部322接触并推送料盘11，致使第一杆件321一端的第一引导轮323沿着挡板22滚动，引导第一摇杆32进行作动，本实施例的弹性件系为一扭簧，用于提供第一杆件321一弹簧恢复力。同样地，第二摇杆33包括一第二杆件331、一第二接触部332及一第二引导轮333。第二摇杆33枢设于连接杆31上，第二接触部332固设于第二杆件331上，连接杆31与第二杆件331相互连接的枢转部1B内建一弹性件(图中未示)，第二引导轮333弹性接触挡板22。当第二接触部332接触并推送料盘11，致使第二杆件331一端的第二引导轮333沿着挡板22滚动，引导第二摇杆33进行作动，本实施例的弹性件系为一扭簧，用于提供第二杆件331一弹簧恢复力。推杆动力模块34包括一推杆动力输送带341、一连接件342及一动力源343，是将动力源343所提供的动力通过输送带341带动连接件342，致使驱动固设于连接件342上的连接杆31，使推杆机构3可沿着滑轨21往复滑移作动。动力源343可为马达或旋转汽缸等驱动元件。因此，上述推杆机构3可通过第一接触部332或第二接触部333朝料盘11的侧面施力而推动料盘11，使推杆机构3可视需求选择式地朝料盘移载装置1的两侧方向将料盘11推送至生产机台或相关的制程机台，以减少料盘移载装置1转向移动特定方向至生产机台的时间，达到双向移载料盘11的效果。

然不限于此，如图6所示，本发明另一较佳实施例的推杆机构的立体图。如图所示，推杆机构3’与图3的推杆机构3作动的形式不同，本实施例的推杆机构3’设置于主架体2’，该主架体2’还包括一第一旋转机构23、一第一滚轮(图未示)、一第二旋转机构25以及一第二滚轮26(参阅图7A)。第一旋转机构23包括一第一前段滑动部231及一第一后段滑动部232，第一前段滑动部231沿着一前段滑杆2311进行线性滑移，第一后段滑动部232沿着一后段滑杆2321进行线性滑移，且第一后段滑动部232枢设有一第一旋转臂233。推杆机构3’包括一连接杆31’、一第一摇杆32’、一第二摇杆33’及一推杆动力模块34’，连接杆31’是以一滑块310’滑设于滑轨21上，本实施例的连接杆31’的两端分别开设有一扣合部311，312，扣合部311可用于扣合第一旋转臂233，使连接杆31’可与第一后段滑动部232产生连动关系。第一摇杆32’包括一第一杆件321’以及一第一接触部322’，枢设于主架体2’的第一前段滑动部231上，另以一连杆230枢接第一杆件321’及第一后段滑动部232，使第一摇杆32’得以枢转作动，进而使第一接触部322’接触并推送料盘11。同样地，第二旋转机构25包括一第二前段滑动部251及一第二后段滑动部252，第二前段滑动部251沿着一前段滑杆2511进行线性滑移，第二后段滑动部252沿着一后段滑杆2521进行线性滑移，且第二后段滑动部252枢设有一第二旋转臂253(参阅图7A)。本实施例的连接杆31’的另一扣合部312可用于扣合第二旋转臂253，使连接杆31’可与第二后段滑动部252产生连动关系。第二摇杆33’包括一第二杆件331’以及一第二接触部332’，枢设于主架体2’的第二前段滑动部251上，另以一连杆250枢接第二杆件331’及第二后段滑动部252，使第二摇杆33’得以枢转作动，进而使第二接触部332’接触并推送料盘11。推杆动力模块34’包括一推杆动力输送带341、一连接件342及一动力源343，是将动力源343所提供之动力通过输送带341带动连接件342，致使驱动固设于连接件342上的连接杆31’，使连接杆31’可沿着滑轨21往复滑移作动。动力源343可为马达或旋转汽缸等驱动元件。

请参阅图7A及图7B，其分别为本发明另一较佳实施例的料盘移载装置的第二旋转臂脱离及扣合扣合部的示意图。如图7A所示，当连接杆31’尚未推动第二后段滑动部252向第二前段滑动部251移动时，此时第二摇杆33’处于收折状态，连接杆31’的扣合部312脱离第二旋转臂253，故无法与第二后段滑动部252产生连动关系。如图7B所示，当连接杆31’朝第二后段滑动部252侧推出，且连接杆31’推动第二后段滑动部252向第二前段滑动部251移动时，枢设于第二后段滑动部252的第二旋转臂253因接触第二滚轮26而枢转，且当连接杆31’带动第二后段滑动部252通过第二滚轮26后，第二旋转臂253抵接第二滚轮26并旋转，使第二旋转臂253扣合连接杆31’的扣合部312，进而使第二后段滑动部252与连接杆31’产生连动关系。当连接杆31’持续推动第二后段滑动部252向第二前段滑动部251移动时，将使第二摇杆33’旋转并处于直立状态，且进一步通过第二前段滑动部251沿着前段滑杆2511(请参阅图6)推出主架体2’，使第二接触部332’推动料盘11。相对地，当连接杆31’朝反向移动时，依照上述动作反向运动，而回到图7A的状态，此时连接杆31’的扣合部312将脱离第二旋转臂253，将无法与第二后段滑动部252产生连动关系，使得连接杆31’可单独朝向第一摇杆32’侧移动，而达到往复滑移作动的效果。因此，上述推杆机构3’可通过第一接触部322’或第二接触部332’朝料盘11的侧面施力而推动料盘11，使推杆机构3’可视需求选择式地朝料盘移载装置1的两侧方向将料盘11推送至生产机台，以减少料盘移载装置1转向移动特定方向至生产机台的时间，达到双向移载料盘11的效果。

在本实施例中，如图4与图5所示，下压机构4包括一下压动力模块41、一下压件42、一盖板43、两个盖板位置感测器44、多个盖板滚轮45以及一遮断器46。下压动力模块41包括有一承架410、一马达411、一螺杆412、两个导杆413以及一下压动力输送带414，承架410设置于主架体2上，马达411是以下压动力输送带414将动力传输至螺杆412。螺杆412及两个导杆413穿设于下压件42中，螺杆412可带动下压件42上移或下压，两个导杆413则可辅助引导下压件42上移或下压。此外，下压件42是以多个缓冲模块421连接盖板43，故盖板43可与下压件42同步上移或下压，并可利用多个缓冲模块421吸收料盘11接触盖板滚轮45时的支撑力，减少不必要的震颤晃动，维持多个堆叠的料盘11的稳定性。在本实施例中，盖板43的长边两侧分别枢设有多个盖板滚轮45，其用于滚动接触料盘11，使料盘11得以平顺的被传递运送，其中多个盖板滚轮45同侧之间的间距例如不大于料盘11长边的长度，或是不大于料盘11长边长度的一半，以确保料盘11在运送时能够稳定与多个盖板滚轮45衔接，而盖板43的短边两端则分别设置有盖板位置感测器44，用于侦测料盘11的所在位置及厚度，以掌握盖板43下压的幅度，此外，请一并参阅图2及图5，本实施例在下压件42中间位置处还设置有一遮断器46，在下压件42相对盖板43的中间位置处也设置有一阻挡件47，如图2所示，当下压机构4的下压件42尚未下压接触料盘11时，遮断器46与阻挡件47之间将存在一高度差，故此时遮断器46所发出之信号源无法经由阻挡件47反射至遮断器46，故可判断出缓冲模块421尚未受力压缩，下压机构4尚未下压接触料盘11；相对地，如图5所示，当下压机构4的下压件42已下压接触料盘11且持续下压使缓冲模块421受力压缩时，遮断器46与阻挡件47之间将不存在高度差，故此时遮断器46所发出的信号源可经由阻挡件47反射至遮断器46，故可判断出缓冲模块421已受力压缩，下压机构4已下压接触料盘11且已达下压上限值，必须停止下压。综上所述，盖板位置感测器44可侦测料盘11的所在位置及厚度，以掌握盖板43下压的幅度，且当盖板位置感测器44未能精准判断盖板43下压幅度时，可通过缓冲模块421给予适当的缓冲，并利用遮断器46及阻挡件47判断盖板43是否已覆盖住料盘11表面，而停止盖板43过度下压，使盖板43下压的幅度能受精准控制。因此，上述下压机构4可施力下压使盖板43覆盖于料盘11，而当料盘11运送时将受盖板滚轮45的滚动辅助，以能减少运送时的震颤跳动，有效避免料盘11内的半导体元件受到损伤。

请再次参阅图1、图3及图8A，在本实施例中，运载结构5包括一基座51、一多个驱动轮52、一运载动力模块53及多个料盘位置感测器54，基座51包括两个侧板510，分别设置于该主架体2的两侧，多个驱动轮52分别枢设于两个侧板510上，用于承载并移载料盘11，同侧驱动轮52之间的间距例如不大于料盘11长边的长度，或是不大于料盘11长边长度的一半，以确保料盘11在运送时能够稳定与驱动轮52衔接，每一驱动轮52的相邻处也可设置有驱动辅助轮520，驱动辅助轮520分别枢设于两个侧板510上，用于辅助承载并移载料盘11，强化料盘11移载时的稳定性。如图3所示，两个侧板510所枢设的驱动轮52及驱动辅助轮520是对称排列，可让滚轮集中施力，提高料盘11的输送效率，但不以此为限，也可让两个侧板510所枢设的驱动轮52及驱动辅助轮520是交错排列或部分交错排列，以达到不须每个驱动轮52或驱动辅助轮520都要有动力输出，仍能维持料盘11稳定移动的功效。

接续上述，运载动力模块53包括一运载动力输送带以及一动力源(图未示)，是将动力源所提供的动力传输至驱动轮52及驱动辅助轮520，使承载于驱动轮52及驱动辅助轮520上的料盘11可沿转动方向滑移作动。此外，上述基座51与主架体2形成一第一开口511及一第二开口512，本实施例的料盘位置感测器54分别设置于两个侧板510上，每一侧板510的料盘位置感测器54包含设置有一邻近第一开口511的第一位置感测器54a、一远离第一开口511的第二位置感测器54b、一远离第二开口512的第三位置感测器54c以及一邻近第二开口512的第四位置感测器54d。因此，运载结构5可通过料盘位置感测器54侦测料盘11当前的位置，达到更精准的定位。

请参阅图1、图2、图3、图5及图8A，控制单元6分别电连接推杆机构3的推杆动力模块34、下压机构4的下压动力模块41以及运载结构5的运载动力模块53，控制单元6分别通过下压机构4的盖板位置感测器44、遮断器46、运载结构5的第一位置感测器54a、第二位置感测器54b、第三位置感测器54c以及第四位置感测器54d的信号回传，进而侦测料盘11的位置及高度。因此，控制单元6可发出推杆控制信号至推杆动力模块34，使第一摇杆32或第二摇杆33推送料盘11至后续的生产机台或者在待命状态时，使第一摇杆32或第二摇杆33不推送料盘11；控制单元6可发出下压控制信号至下压动力模块41，使下压件42带动盖板43下压覆盖料盘11，或者使下压件42带动盖板43上移远离料盘11；控制单元6可发出运载控制信号至运载动力模块53，使驱动轮52及驱动辅助轮520作动以移载料盘11，或者使驱动轮52及驱动辅助轮520不作动以停止料盘11移动。

请参阅图8A至图8G，是本发明一较佳实施例的料盘移载装置的移载料盘的作动示意图。如图8A所示，在本实施例中，料盘11欲从第二开口512进入料盘移载装置1的承载空间，且当料盘11被第四位置感测器54d侦测到时，将触发多个驱动轮52及驱动辅助轮520作动而使料盘11移动。如图8B所示，当料盘11继续移动被第三位置感测器54c侦测到时，多个驱动轮52及驱动辅助轮520将停止作动而使料盘11不移动，此时盖板位置感测器44侦测料盘11的所在位置及厚度，以掌握盖板43下压的幅度。如图8C所示，下压件42确认完成下压作动，使盖板43下压料盘11，料盘11一侧与盖板滚轮45接触后，料盘11持续前进与接续的多个驱动轮52及驱动辅助轮520接触，使料盘11在料盘移载装置1的承载空间移动时，通过盖板滚轮45与多个驱动轮52及驱动辅助轮的夹持，具有较佳的移动稳定性。如图8D所示，在盖板43覆盖料盘11的状态下，多个驱动轮52及驱动辅助轮520将持续作动，将料盘11移往第一开口511方向推送，料盘11继续移动直到被第二位置感测器54b侦测到时，多个驱动轮52及驱动辅助轮520停止做动，使料盘11稳定设置在料盘移载装置1的承载空间中。如图8E所示，当料盘11欲从第一开口511移出，触发多个驱动轮52及驱动辅助轮520作动而使料盘11移动，当料盘11持续移动到无法被第一位置感测器54a侦测时，多个驱动轮52及驱动辅助轮520将停止作动而使料盘11不移动，此时下压件42将上移作动使盖板43远离料盘11。如图8F所示，待下压件42上移完成使盖板43远离料盘11后，将可驱动推杆机构3作动，连接杆31在滑轨21上往第一开口511移动时，第一引导轮323沿着挡板22滚动，由于第一延伸部221为档板22的一端朝向盖板43方向的弯折，当第一引导轮323滚动离开至第一延伸部221时，此时第一引导轮323不与第一延伸部221接触，通过弹性件使第一摇杆32可平稳地上旋，同时连接杆31在滑轨21上往第一开口511移动，带动第一摇杆32的第一接触部322可朝料盘11的侧面施力而推动料盘11，进而将料盘11推离料盘移载装置1，将料盘11推入至特定的生产机台内。

相同地，如图8G所示，料盘11也可反方向从第一开口511进入料盘移载装置1的承载空间，通过推杆机构3、运载结构5及下压机构4的作动下，料盘11由第二开口512离开料盘移载装置1，相关作动方式如前述实施例的说明，故不在此赘述。此外，若连接杆31往第二开口512方向移动时，第一引导轮323与第二引导轮333分别接触第一延伸部221及第二延伸部222后，第一摇杆32与第二摇杆33分别也受到第一延伸部221与第二延伸部222的限制，沿着第一延伸部221与第二延伸部222的形状向下旋转，进而使第一摇杆32与第二摇杆33通过档板22限制在一特定高度以下，第一摇杆32与第二摇杆33被挡板22限制的特定高度例如不高于驱动轮52或驱动辅助轮520与料盘11接触的表面，使第一摇杆32与与第二摇杆33在常态设置时，不会与进入料盘移载装置1的承载空间的料盘11互相干涉。

总上说明，料盘11可自由地从料盘移载装置1的第一开口511或第二开口512进入或离开承载空间，减少料盘移载装置1转向移动的时间，达到双向移载料盘11的效果。

请参阅图9至图12，其分别为本发明一较佳实施例的具有料盘移载装置的作业设备的侧视图、立体图、部分透视图以及图10的局部放大图。请参阅图9所示的具有料盘移载装置1的作业设备10，包括有一生产机台7、一自动导引车8、一移动平台9以及多个料盘移载装置1，料盘移载装置1设置于移动平台9，移动平台9设置于自动导引车8，自动导引车8用于运载移动平台9及多个料盘移载装置1，其中通过多个料盘移载装置1的设置，载运相同批次或不同批次的产品，使自动引导车8增加料盘11运载的数量，自动引导车8也可通过单一的料盘移载装置1运载单一种类的产品或是单一等级的产品，达到同时载运多种不同种类的产品。在一较佳实施例中，半导体元件经电性测试分类后，放置于不同的料盘内，可利用不同的料盘移载装置1运载，可有效避免产品混料的状况发生，使多个料盘移载装置1的设置兼具有料盘运输数量的优势及同时运载不同种类或不同等级产品的功能。所述料盘移载装置1之基本结构及作动方式可参考前述说明，在此便不再赘述。

在本实施例中，生产机台7是为半导体封装或测试设备或相关工艺机台，其需通过料盘移载装置1用于与生产机台7对接后，料盘移载装置1将料盘11载入生产机台7等机台中以便进行后续的半导体封装或测试作业或相关后续工艺作业。在一较佳实施例中，如图10所示，该生产机台7包括一具有一容置空间710的料盘输出入机构71，容置空间710是用于存放料盘11。如图12所示，料盘输出入机构71设置有一引导件711，用于辅助料盘11进入料盘输出入机构71的容置空间710。引导件711包括一斜面结构711a，故当推杆机构3推送料盘11进入料盘输出入机构71之容置空间710时，可通过引导件711的斜面结构711a辅助引导料盘11进入，有效避免因生产机台7与料盘移载装置1间的衔接误差而让料盘11输送受阻的情况发生。

此外，请一并参阅图10与图11，自动导引车8是用于运载料盘11至生产机台7，因料盘移载装置1设置于自动导引车8上的特定位置，故通过自动导引车8与生产机台7做水平方向(X轴及Y轴方向)的定位，进而使移动平台9上的料盘移载装置1与料盘输出入机构71的容置空间710在水平方向(X轴及Y轴方向)也能同步定位，本实施例的自动导引车8承载一移动平台9，多个料盘移载装置1设置于移动平台9上且可选择式地对接料盘载入机构71或不对接料盘输出入机构71，当料盘移载装置1在与生产机台7定位时，自动导引车8可带动移动平台9在水平方向（X轴及Y轴方向)的移动，故使料盘移载装置1可同步产生水平方向(X轴及Y轴方向)的位移。

接续上述，移动平台9包括两个垂直升降机构91、一水平移动机构92、一用于承载料盘移载装置1的承载板93以及一底板94。承载板93设置于两个垂直升降机构91之间并与两个垂直升降机构91互相连接。底板94与水平移动机构92连接且设置于水平移动机构92上方。垂直升降机构91设置于底板94，且垂直升降机构91分别位于底板94的两侧，每一垂直升降机构91包括一螺杆911及两个导杆912，螺杆911可带动承载板93上移或下移，两个导杆912则可辅助引导承载板93上移或下移，故使料盘移载装置1可同步产生垂直方向(Z轴方向)的位移。请参阅图11，水平移动机构92设置于自动导引车8上，水平移动机构92设置于平台95上，其中水平移动机构92包括一螺杆921、连接件9211、与该螺杆921连接的马达922、滑块923及滑轨924，螺杆921可通过连接件9211带动底板94下方的滑块923于平台95上的滑轨924左移或右移，故使料盘移载装置1可同步产生水平方向(X轴方向)的位移。然不限于此，水平移动机构92可选用传动皮带、齿轮等传动元件搭配马达或气缸等动力元件驱动水平移动机构92位移。此外当要变换承载板93上不同的料盘移载装置1与生产机台7对接时，可通过水平移动机构92对底板94产生水平方向(X轴方向)的移动，变换不同料盘移载装置1可与生产机台7的对接，其中设置于承载板93上的多个料盘移载装置1之间的距离为预定的距离，可对水平移动机构92设定预定的距离的参数后，水平移动机构92带动料盘移载装置1准确的与生产机台7对接。因此，除了可通过自动导引车8调整生产机台7与料盘移载装置1间的Y轴方向的距离外，也可通过移动平台9调整生产机台7与料盘移载装置1间的X轴方向及Z轴方向的距离，使料盘11的装卸能够与生产机台7准确配合。

通过上述设计，料盘移载装置1可搭配生产机台7及自动导引车8来使用，以能扩展料盘移载装置1之应用层面，例如后续可搭配自动导引车8的派车系统，执行远端操作货批排程。因此，本发明的具有料盘移载装置1的作业设备10可将料盘11批次由料盘上下货站点或其他生产机台，经自动导引车8移载至特定的生产机台，或可将料盘11批次由生产机台经自动导引车8移载至料盘上下货站点或其他生产机台，有效取代传统人工搬运，大幅降低人力成本及上下货的时间。

上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本发明所主张的保护范围自应以权利要求所述为准，而非仅限于上述实施例。

Claims (17)

1.一种料盘移载装置，包括有：

主架体，设置有滑轨；

推杆机构，包括连接杆以及第一摇杆，该连接杆滑设于该滑轨上，该连接杆可驱动该第一摇杆枢转作动；以及

运载结构，包括基座、多个驱动轮以及多个料盘位置感测器，该基座包括两个侧板，分别设置于该主架体的两侧，该多个驱动轮分别枢设于该两个侧板上，用于承载并移载料盘，该多个料盘位置感测器分别设置于该两个侧板上。

2.根据权利要求1所述的料盘移载装置，其中，还包括下压机构，该下压机构包括盖板及盖板位置感测器。

3.根据权利要求2所述的料盘移载装置，其中，该下压机构还包括多个盖板滚轮，该盖板位置感测器设置于该盖板上，该多个盖板滚轮枢设于该盖板。

4.根据权利要求3所述的料盘移载装置，其中，该下压机构还包括下压件，该下压件系以缓冲模块连接该盖板。

5.根据权利要求2所述的料盘移载装置，其中，还包括控制单元，分别电连接该推杆机构、该下压机构以及该运载结构。

6.根据权利要求1所述的料盘移载装置，其中，该第一摇杆包括第一杆件以及第一接触部，该第一摇杆枢设于该连接杆上。

7.根据权利要求1所述的料盘移载装置，其中，该第一摇杆包括第一杆件以及第一接触部，该第一摇杆枢设于该主架体上。

8.根据权利要求7所述的料盘移载装置，其中，该主架体包括旋转机构及滚轮，该连接杆包括扣合部，该旋转机构包括前段滑动部及后段滑动部，且该后段滑动部枢设旋转臂，当该连接杆带动该后段滑动部通过该滚轮时，该旋转臂抵接该滚轮并旋转，使该旋转臂与该扣合部扣合或脱离。

9.根据权利要求1所述的料盘移载装置，其中，该主架体还设置有挡板，该挡板具有第一延伸部，该第一摇杆还包括第一引导轮，该第一引导轮沿着该挡板滚动，引导该第一摇杆进行作动。

10.根据权利要求1所述的料盘移载装置，其中，该基座与该主架体形成第一开口，该多个料盘位置感测器包括邻近该第一开口的第一位置感测器以及远离该第一开口的第二位置感测器。

11.根据权利要求1所述的料盘移载装置，其中，该推杆机构还包括第二摇杆，该连接杆可驱动该第二摇杆枢转作动。

12.根据权利要求1所述的料盘移载装置，其中，该基座与该主架体形成第一开口以及第二开口，多个料盘位置感测器包括邻近该第一开口的第一位置感测器、远离该第一开口的第二位置感测器、远离该第二开口的第三位置感测器以及邻近该第二开口的第四位置感测器。

13.一种具有料盘移载装置的作业设备，包括有：

生产机台，包括料盘输出入机构，该料盘输出入机构具有容置空间；

自动导引车，用于运载料盘至该生产机台；以及

至少一料盘移载装置，承载于该自动导引车上，可选择式地对接该料盘输出入机构或不对接该料盘输出入机构，该至少一料盘移载装置包括有主架体、推杆机构以及运载结构，该主架体设置有滑轨；该推杆机构包括连接杆以及第一摇杆，该连接杆滑设于该滑轨上，该连接杆可驱动该第一摇杆枢转作动；该运载结构包括基座、多个驱动轮以及多个料盘位置感测器，该基座包括两个侧板，分别设置于该主架体的两侧，该多个驱动轮分别枢设于该两个侧板上，用于承载并移载料盘，该多个料盘位置感测器分别设置于该两个侧板上。

14.根据权利要求13所述的具有料盘移载装置的作业设备，其中，该料盘输出入机构设置有引导件，用于辅助料盘进入该容置空间。

15.根据权利要求14所述的具有料盘移载装置的作业设备，其中，该引导件包括斜面结构。

16.根据权利要求13所述的具有料盘移载装置的作业设备，其中，该自动导引车还承载移动平台，该至少一料盘移载装置是设置于该移动平台上。

17.根据权利要求16所述的具有料盘移载装置的作业设备，其中，该移动平台包括垂直升降机构及水平移动机构，致使设置于该移动平台上的该至少一料盘移载装置，可同步产生垂直方向(Z轴方向)及水平方向(X轴方向)的位移。