JP2541935Y2 - 半導体ウエハのクリーンストック棚 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、半導体装置の製造工程
において、各工程の間に一時ウエハをクリーンな状態で
保管するクリーンストック棚の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造、特にウエハ処理工程
は、基本的には膜形成，パターン形成，および不純物付
加などからなるが、主要工程だけでも約２０の工程、さ
らに各々の工程内でも約１５工程といわれるほどに幾多
の工程を経過して製品が作られる。

【０００３】したがって、完了した工程から次工程に処
理済ウエハを移す場合に、無塵化したクリーンストック
棚に一時保管する必要があり、ウエハ処理工程での必須
の設備となっている。

【０００４】従来のクリーンストック棚10は、図５の斜
視図に示すようにストック棚本体11に取付けられた複数
の棚板12とこの棚板に載置されたキャリア受け台13が設
けられている。

【０００５】前工程で処理されたウエハはウエハキャリ
アに収納され、例えばロボットによってキャリア受け台
13に受け渡され、ウエハキャリアの底部外面とウエハ受
け台13の上面とに棚の左右横方向に向け線状に数カ所設
けられた凹凸の嵌合により相互の位置固定がなされてい
た。また、キャリア受け台13の上面にはウエハキャリア
の内に上下に間隔を置いて収納されたウエハがウエハキ
ャリアの前面開口部から振動などで落下することを防ぐ
ためストック棚の背面（後方）へ向けて下降するように
若干傾斜されている。

【０００６】このストック棚には、その内部を周囲より
も高いクリーン度に維持するためにストック棚の背面か
らハンドリングのため開放されている前方に向けてフィ
ルタを経たクリーンエアが供給される。それゆえ、この
エアによりポリプロピレン等の合成樹脂製のウエハキャ
リアに静電気が生じウエハ上の半導体素子にダメージを
与えていた。ウエハキャリアをアースすべくストック棚
の全体を金属またはカーボン系の導電材でもって構成
し、アース線14と接続していた。そして、製造能力，工
程数の増加などからキャリア受け台13の数が多くなる場
合、棚板12に及ぼす重量とそれに対する強度対策および
コストアップの問題が無視できなくなってきた。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】このようなことから、
本考案の目的は、ストック棚の負荷を軽減し合わせてウ
エハキャリアの保持位置固定と帯電防止を効果的に実施
する半導体ウエハ用クリーンストック棚を提供すること
である。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本考案は、ストック棚本体に取付けられる導電性棚板
と、該棚板上に載置され前記棚板の背面へ向けて下降す
る傾斜面にウエハキャリアを保持する合成樹脂製キャリ
ア受け台と、前記棚板に取付けられて前記ウエハキャリ
アと接触してこれを所定位置に支持する支持部材と、前
記棚板と電気的に導電するアース線とを設けたものであ
る。

【０００９】また、棚板および支持部材の導電材は、ス
テンレスなどの金属その他常用されている材質であり、
キャリア受け台の合成樹脂としては軽量性および加工の
容易性を考慮してポリプロピレン，スチレンなどを使用
することができる。

【００１０】

【作用】クリーンストック棚の背面から前方に向けて供
給されたクリーンエアとの流体摩擦によりウエハキャリ
アに静電気が生じようとするが、本考案によれば、ウエ
ハキャリアに接触してこれを支持する支持部材および支
持部材を固定する棚板は、棚板を取付けたストック棚本
体を介して間接的に、またはストック棚本体を介さずに
直接的にアースされているので、キャリア受け台が軽量
な合成樹脂材であってもウエハキャリアのしたがってウ
エハの帯電防止を完全に行うことができる。

【００１１】また、支持部材はロボットにより受け渡さ
れたウエハキャリアと、少なくともその側面から支持す
るようにすれば、位置ずれの恐れは全くない。

【００１２】

【実施例】本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
図１は図５に示す従来のクリーンストック棚を変更した
キャリア受け台の周辺部分を示す側面図で、ウエハキャ
リアの支持状態を示している。図２はキャリア受け台の
平面図である。

【００１３】図１において、本考案のクリーンストック
棚１はその棚板２上にポリプロピレン製のキャリア受け
台３を備えている。キャリア受け台３はその上面ほぼ中
央に棚板２の横方向に向け１本の凹溝４が配設され、ウ
エハキャリア５の底部に突出した１本の凸状線体６と緩
やかに嵌合し、ウエハキャリア５の前後方向の位置ずれ
を微小な移動を許しながら抑えており、更に棚板２の背
面へ向けて下降する傾斜面3aとなって内部に収納するウ
エハ７に仰角を持たせて前方への移動落下を防いでい
る。

【００１４】さらに、キャリア受け台３の後端両側に
は、一対の支持部材８を棚板２に接続させ、かつキャリ
ア受け台３の両側を挾持するように接触させている。ま
た、ウエハキャリア５の後方で横幅を小さくしている縦
方向段部の下端に当接するように斜辺縁8aを形成してい
る。

【００１５】図２には、キャリア受け台３に載置された
ウエハキャリア５を一点鎖線で示し相互の関係を明らか
にしている。また、凹溝４と凸状線体６の嵌合は密に行
われずその間にクリアランスを形成するようにしてお
り、ロボットの手で載置されたウエハキャリア５はその
手を離れたとき、キャリア受け台３の傾斜面3aを後方に
向け若干移動し、支持部材８の斜辺縁8aに常に当接され
る。また支持部材８はウエハキャリア５の横方向の移動
を規制するので載置の位置決め効果を有している。

【００１６】本実施例では、キャリア受け台３の傾斜に
よりウエハキャリア５が後方に自由移動することを利用
して支持部材８の接点を確保したが、この変形例として
は、例えば、図３に示すようにキャリア受け台３の上面
両端部にそれぞれ端部に受けて下降する傾斜面3b,3b を
形成して断面を台形状にし、ウエハキャリア５の底部外
面をこれと嵌合する形式とすることもできる。この場
合、キャリア受け台３自体でもってウエハキャリア５を
その位置に支持することができるので、ウエハキャリア
５と接触する支持部材８をキャリア受け台３の上面に貼
り合わせたステンレスの平板で構成し、これとウエハキ
ャリア５の底面を接触させるようにしても良い。

【００１７】本実施例では、支持部材８，棚板２，スト
ック棚本体11は全てステンレス製であって、特に各棚板
２とストック棚本体11とは各々アース線14で接続され、
全体がアース線14により電気的に導通している。したが
ってウエハキャリア５は完全にアースされ静電気の帯電
が完全に防止されている。

【００１８】また、支持部材８の位置および形状として
はキャリア受け台３の両側に一対設ける場合には後端位
置に限られるものではなく、形状もキャリア受け台３の
上方に突出してウエハキャリア５の側面と接するように
してもよい。

【００１９】

【考案の効果】本考案によれば、キャリア受け台を合成
樹脂製としてもウエハキャリアに静電気が発生すること
を防止でき、しかもキャリア受け台が軽量となるので棚
板に対する負荷を軽減してクリーンストック棚の軽量化
とコスト低下をもたらすことができる。

【００２０】またキャリア受け台の支持部材を設けるこ
とでウエハキャリアのずれを防止し、ロボットによる取
り扱いに適合するものとすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例のストック棚のうちキャリア受
け台とウエハキャリアの周辺部分を示す側面図である。

【図２】本考案の実施例におけるウエハキャリアを載置
した状態を示すキャリア受け台の平面図である。

【図３】本考案におけるキャリア受け台の他の実施例を
示す斜視図である。

【図４】図３のＡ−Ａ’線に沿って見た場合において、
ウエハキャリアを載置した状態を示すキャリア受け台の
断面図である。

【図５】従来のクリーンストック棚全体を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

1 クリーンストック棚 2 棚板 3 キャリア受け台 4 凹溝 5 ウエハキャリア 6 凸状線体 7 ウエハ 8 支持部材 11 ストック棚本体 14 アース線

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ストック棚本体に取付けられる導電性棚
   板と、 該棚板上に載置され、前記棚板の背面へ向けて下降する
   傾斜面にウエハキャリアを保持する合成樹脂製キャリア
   受け台と、 前記棚板に取付けられて前記ウエハキャリアと接触して
   これを所定位置に支持する支持部材と、 前記棚板と電気的に導電するアース線とを設けたことを
   特徴とする半導体ウエハのクリーンストック棚。