JP3141724B2 - 基板移載用ハンド - Google Patents
基板移載用ハンドInfo
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- JP3141724B2 JP3141724B2 JP10342695A JP10342695A JP3141724B2 JP 3141724 B2 JP3141724 B2 JP 3141724B2 JP 10342695 A JP10342695 A JP 10342695A JP 10342695 A JP10342695 A JP 10342695A JP 3141724 B2 JP3141724 B2 JP 3141724B2
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- Japan
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- substrate
- hand
- transfer hand
- substrate transfer
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は基板をその下面で支持し
て移載する基板移載用ハンドに係り、特に、外形が大き
く板厚が薄い大形基板を移載する基板移載用ハンドに関
する。
て移載する基板移載用ハンドに係り、特に、外形が大き
く板厚が薄い大形基板を移載する基板移載用ハンドに関
する。
【０００２】
【従来の技術】基板をその下面両脇で支持し、垂直方向
に所定の間隔で複数枚積載したカセットや基板置き台か
ら、基板を１枚又は複数枚取り出しあるいは収納するた
めの移載装置は、両脇支持部以外の基板下面を支持する
基板移載用ハンドをロボット等に取り付けた構成となっ
ているが、基板の積載効率を高めるためにカセットある
いは基板置き台の垂直方向支持間隔ができるだけ小さく
なるように、図５のように基板移載用ハンド１５の基板
支持部を薄い平板状となしている。特に図６(ａ）に示
すように基板１の反りが大きい場合には、平板状のハン
ド１５を基板と基板の間に挿入するための等価的すき間
Ｈが小さくなるためハンド１５の厚さＴ２を基板の垂直
方向支持間隔Ｇよりもかなり薄くする必要がある。
に所定の間隔で複数枚積載したカセットや基板置き台か
ら、基板を１枚又は複数枚取り出しあるいは収納するた
めの移載装置は、両脇支持部以外の基板下面を支持する
基板移載用ハンドをロボット等に取り付けた構成となっ
ているが、基板の積載効率を高めるためにカセットある
いは基板置き台の垂直方向支持間隔ができるだけ小さく
なるように、図５のように基板移載用ハンド１５の基板
支持部を薄い平板状となしている。特に図６(ａ）に示
すように基板１の反りが大きい場合には、平板状のハン
ド１５を基板と基板の間に挿入するための等価的すき間
Ｈが小さくなるためハンド１５の厚さＴ２を基板の垂直
方向支持間隔Ｇよりもかなり薄くする必要がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】基板移載用ハンドの厚
さが薄いと剛性が低いため、基板を支持したときハンド
先端がたわみ、いわゆるおじぎをした格好になるため、
カセットあるいは基板置き台から基板を受け取るあるい
は収納する際のハンドの垂直方向移動量がその分だけ多
くなり、カセットあるいは基板置き台での基板の支持間
隔を大きくする必要があるとともに、移動時間が増える
ために移載時間が長くなるという問題がある。
さが薄いと剛性が低いため、基板を支持したときハンド
先端がたわみ、いわゆるおじぎをした格好になるため、
カセットあるいは基板置き台から基板を受け取るあるい
は収納する際のハンドの垂直方向移動量がその分だけ多
くなり、カセットあるいは基板置き台での基板の支持間
隔を大きくする必要があるとともに、移動時間が増える
ために移載時間が長くなるという問題がある。
【０００４】またハンドで基板を平板状に支持すると、
図６（ｂ)のようにカセットあるいは基板置き台２で支
持されているときに下方に反った基板１の反りの分だけ
ハンド１５の垂直方向移動量Ｓ２が多くなり、移載時間
が長くなる。また基板がガラス基板のように脆い材質の
場合には反りの急変を避けるためにハンドの垂直方向移
動速度を遅くしなければならず、移載時間が長くなる。
図６（ｂ)のようにカセットあるいは基板置き台２で支
持されているときに下方に反った基板１の反りの分だけ
ハンド１５の垂直方向移動量Ｓ２が多くなり、移載時間
が長くなる。また基板がガラス基板のように脆い材質の
場合には反りの急変を避けるためにハンドの垂直方向移
動速度を遅くしなければならず、移載時間が長くなる。
【０００５】また基板移載用ハンドを薄い中実平板で作
ると、その固有振動数が低下し、移載動作中に励振され
ると垂直方向の振動振巾が大きいとともに減衰が遅いた
めに、移載時間が長くなる。
ると、その固有振動数が低下し、移載動作中に励振され
ると垂直方向の振動振巾が大きいとともに減衰が遅いた
めに、移載時間が長くなる。
【０００６】本発明の目的は、外形が大きく板厚が薄く
反り易い大形基板を移載するための基板移載用ハンドに
おいて、カセットあるいは基板置き台の積載効率を低下
させずかつ移載時間が短くなる基板移載用ハンドを提供
することにある。
反り易い大形基板を移載するための基板移載用ハンドに
おいて、カセットあるいは基板置き台の積載効率を低下
させずかつ移載時間が短くなる基板移載用ハンドを提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そのため本発明では、基
板移載用ハンドの断面形状を、カセットあるいは基板置
き台で基板下面の両脇を支持した状態における基板の反
りと同一方向の円弧様となした。
板移載用ハンドの断面形状を、カセットあるいは基板置
き台で基板下面の両脇を支持した状態における基板の反
りと同一方向の円弧様となした。
【０００８】また基板移載用ハンドで支持したときの基
板の反りが、カセットあるいは基板置き台で基板下面の
両脇を支持した状態における基板の反りと同一になるよ
うになした。
板の反りが、カセットあるいは基板置き台で基板下面の
両脇を支持した状態における基板の反りと同一になるよ
うになした。
【０００９】また基板移載用ハンドを薄板部材を組み合
わせたリブ構造体もしくは中空体とした。
わせたリブ構造体もしくは中空体とした。
【００１０】
【作用】本発明によれば、基板移載用ハンドの断面形状
を円弧様としたことにより、平板状ハンドより剛性が高
くなり、基板を支持したときのハンド先端のたわみが少
なくなる。
を円弧様としたことにより、平板状ハンドより剛性が高
くなり、基板を支持したときのハンド先端のたわみが少
なくなる。
【００１１】またハンドに支持したときの基板の反り
を、カセットあるいは基板置き台で支持したときの基板
の反りと同一にしたことにより、基板受け取りあるいは
収納時におけるハンドの垂直方向移動量を少なくするこ
とができるとともに移載に伴なう基板の反りの変化を無
くすことができる。
を、カセットあるいは基板置き台で支持したときの基板
の反りと同一にしたことにより、基板受け取りあるいは
収納時におけるハンドの垂直方向移動量を少なくするこ
とができるとともに移載に伴なう基板の反りの変化を無
くすことができる。
【００１２】またハンドをリブ構造体もしくは中空体に
したことにより、固有振動数を高くすることができ、移
載動作時の垂直方向の振動振巾を小さくまた減衰を速く
することができる。
したことにより、固有振動数を高くすることができ、移
載動作時の垂直方向の振動振巾を小さくまた減衰を速く
することができる。
【００１３】したがって、カセットあるいは基板置き台
における基板間隔を小さくしたがって積載効率を高くで
き、かつ移載時間が短い基板移載用ハンドを得ることが
できる。
における基板間隔を小さくしたがって積載効率を高くで
き、かつ移載時間が短い基板移載用ハンドを得ることが
できる。
【００１４】
【実施例】本発明の一実施例を図１ないし図４により説
明する。
明する。
【００１５】図１は本発明の第１の実施例を示す斜視
図、図２は第１の実施例の基板移載用ハンドと基板置き
台及び基板との寸法関係を示す断面図、図３は第２の実
施例を示す斜視図、図４は第３の実施例を示す斜視図で
ある。
図、図２は第１の実施例の基板移載用ハンドと基板置き
台及び基板との寸法関係を示す断面図、図３は第２の実
施例を示す斜視図、図４は第３の実施例を示す斜視図で
ある。
【００１６】図１において基板移載用ハンド３はロボッ
トアーム７の先端にねじ８により固定されている。基板
移載用ハンド３の基板１を支持する部分は下方に反った
断面形状をなしている。この反りの曲線は、図２(ａ)に
おいて基板１が基板置き台２に下面両脇で支持されてい
るときの基板１のたわみ曲線と同一もしくはそれを近似
する円弧あるいは略円弧である。(以後これらを総称し
て円弧様の曲線と記す。)図２(ａ)において基板１は、
基板置き台２に所定の間隔Ｇで複数枚支持されている。
基板１は下面両脇で支持されているために、中央部が下
方に反っている。基板移載用ハンド３は基板１ｂを受け
取るため、基板１ａと１ｂの間に挿入されるが、その断
面が円弧様であるため、図６(ａ)に示す平板状の基板移
載用ハンド１５と比べると、支持間隔Ｇが同一の場合、
基板移載用ハンド３の板厚Ｔ１の方が基板移載用ハンド
１５の板厚Ｔ２より厚くすることができる。加えて基板
移載用ハンド３は円弧様のため、その垂直方向剛性は板
厚Ｔ１の平板よりも高い。（板厚Ｔ１の平板と円弧を包
含する厚さＴ１’の平板との中間の剛性となる。）した
がって支持間隔Ｇを大きくすることなく、ハンド剛性を
高くすることができる。
トアーム７の先端にねじ８により固定されている。基板
移載用ハンド３の基板１を支持する部分は下方に反った
断面形状をなしている。この反りの曲線は、図２(ａ)に
おいて基板１が基板置き台２に下面両脇で支持されてい
るときの基板１のたわみ曲線と同一もしくはそれを近似
する円弧あるいは略円弧である。(以後これらを総称し
て円弧様の曲線と記す。)図２(ａ)において基板１は、
基板置き台２に所定の間隔Ｇで複数枚支持されている。
基板１は下面両脇で支持されているために、中央部が下
方に反っている。基板移載用ハンド３は基板１ｂを受け
取るため、基板１ａと１ｂの間に挿入されるが、その断
面が円弧様であるため、図６(ａ)に示す平板状の基板移
載用ハンド１５と比べると、支持間隔Ｇが同一の場合、
基板移載用ハンド３の板厚Ｔ１の方が基板移載用ハンド
１５の板厚Ｔ２より厚くすることができる。加えて基板
移載用ハンド３は円弧様のため、その垂直方向剛性は板
厚Ｔ１の平板よりも高い。（板厚Ｔ１の平板と円弧を包
含する厚さＴ１’の平板との中間の剛性となる。）した
がって支持間隔Ｇを大きくすることなく、ハンド剛性を
高くすることができる。
【００１７】また基板１の反りと同一の円弧様であるた
めに、図２(ｂ)に示すように基板１ｂを受け取るために
基板移載用ハンド３を持ち上げる移動量Ｓ１は、図６
(ｂ)に示す平板状基板移載用ハンド１５を持ち上げる移
動量Ｓ２よりも小さい。加えて基板１がガラスのような
脆い材質であっても、基板１ｂの反りを変化させない
（もしくは変化が少ない）ために持ち上げの移動速度を
速くすることができる。
めに、図２(ｂ)に示すように基板１ｂを受け取るために
基板移載用ハンド３を持ち上げる移動量Ｓ１は、図６
(ｂ)に示す平板状基板移載用ハンド１５を持ち上げる移
動量Ｓ２よりも小さい。加えて基板１がガラスのような
脆い材質であっても、基板１ｂの反りを変化させない
（もしくは変化が少ない）ために持ち上げの移動速度を
速くすることができる。
【００１８】したがって基板移載時間を短くすることが
できる。
できる。
【００１９】図３の基板移載用ハンド４はロボットアー
ム７の先端にねじ８により固定されている。ハンドベー
ス５は基板１を支持する部分が下方に反った円弧様をな
しており、ハンドベース５の上面に複数の突起６が固着
されている。基板１は突起６により多点支持される。
ム７の先端にねじ８により固定されている。ハンドベー
ス５は基板１を支持する部分が下方に反った円弧様をな
しており、ハンドベース５の上面に複数の突起６が固着
されている。基板１は突起６により多点支持される。
【００２０】したがって各々の突起６の高さを加減する
ことによって、基板移載用ハンド４で支持したときの基
板１の反りを基板置き台２で支持したときの基板１の反
りに近づけるように調整することができる。また突起６
を摩擦係数の大きい材質で作ることにより、安定した支
持を得ることができる。
ことによって、基板移載用ハンド４で支持したときの基
板１の反りを基板置き台２で支持したときの基板１の反
りに近づけるように調整することができる。また突起６
を摩擦係数の大きい材質で作ることにより、安定した支
持を得ることができる。
【００２１】図４の基板移載用ハンド９はロボットアー
ム７の先端にねじ８により固定されている。ハンドベー
ス１０の基板１を支持する部分は下方に反った円弧様を
なしている。ハンドベース１０には縦リブ１１の一方が
溶接されており、縦リブ１１の他方には円弧様の横リブ
１２が溶接されている。横リブ１２の更に先端側に縦リ
ブ１３の一方が溶接されており、縦リブ１３の他方に円
弧様の横リブ１４が溶接されている。ハンドベース１０
の基板１を支持する部分の上面及び横リブ１２の上面及
び横リブ１４の上面の高さ位置は互いに等しく、かつ縦
リブ１１及び縦リブ１３の上面より上にある。したがっ
て基板１はハンドベース１０の基板１を支持する部分の
上面及び横リブ１２の上面及び横リブ１４の上面で支持
される。
ム７の先端にねじ８により固定されている。ハンドベー
ス１０の基板１を支持する部分は下方に反った円弧様を
なしている。ハンドベース１０には縦リブ１１の一方が
溶接されており、縦リブ１１の他方には円弧様の横リブ
１２が溶接されている。横リブ１２の更に先端側に縦リ
ブ１３の一方が溶接されており、縦リブ１３の他方に円
弧様の横リブ１４が溶接されている。ハンドベース１０
の基板１を支持する部分の上面及び横リブ１２の上面及
び横リブ１４の上面の高さ位置は互いに等しく、かつ縦
リブ１１及び縦リブ１３の上面より上にある。したがっ
て基板１はハンドベース１０の基板１を支持する部分の
上面及び横リブ１２の上面及び横リブ１４の上面で支持
される。
【００２２】このように基板移載用ハンド９をリブ構造
体としたことにより、軽量化がはかれるとともに、垂直
方向振動の固有振動を高くすることができる。したがっ
て移載動作時の垂直方向振動の振巾を小さくまた減衰を
速くすることができる。
体としたことにより、軽量化がはかれるとともに、垂直
方向振動の固有振動を高くすることができる。したがっ
て移載動作時の垂直方向振動の振巾を小さくまた減衰を
速くすることができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば外形が大きく板厚が薄く
反り易い大形基板を移載するための基板移載用ハンドに
おいて、カセットあるいは基板置き台の積載効率を低下
させずかつ移載時間が短くなる基板移載用ハンドを得る
ことができる。
反り易い大形基板を移載するための基板移載用ハンドに
おいて、カセットあるいは基板置き台の積載効率を低下
させずかつ移載時間が短くなる基板移載用ハンドを得る
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施例の基板移載用ハンドを示
す斜視図。
す斜視図。
【図２】本発明の第１の実施例の寸法関係を示す断面
図。
図。
【図３】本発明の第２の実施例の斜視図。
【図４】本発明の第３の実施例の斜視図。
【図５】従来の基板移載用ハンドを示す斜視図。
【図６】従来の基板移載用ハンドの寸法関係を示す断面
図。
図。
１…基板、 ３…基板移載用ハンド、 ７…ロボットアーム。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 1/00 537 B65G 49/07
Claims (3)
- 【請求項１】基板をその下面で支持して移載する基板移
載用ハンドにおいて、上記基板の支持部の断面を円弧様
断面としたことを特徴とする基板移載用ハンド。 - 【請求項２】基板をその下面両脇で支持した基板置き台
から受け取り、上記基板をその下面で支持して移載する
基板移載用ハンドにおいて、 上記基板移載用ハンドで支持したときの上記基板の反り
が、上記基板置き台で支持したときの上記基板の反りと
同一あるいはほぼ同一となるように支持することを特徴
とする基板移載用ハンド。 - 【請求項３】基板をその下面で支持して移載する基板移
載用ハンドにおいて、薄板部材を組み合わせたリブ構造
体もしくは中空体としたことを特徴とする基板移載用ハ
ンド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10342695A JP3141724B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 基板移載用ハンド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10342695A JP3141724B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 基板移載用ハンド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08298279A JPH08298279A (ja) | 1996-11-12 |
| JP3141724B2 true JP3141724B2 (ja) | 2001-03-05 |
Family
ID=14353715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10342695A Expired - Fee Related JP3141724B2 (ja) | 1995-04-27 | 1995-04-27 | 基板移載用ハンド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3141724B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101164058B1 (ko) * | 2011-11-16 | 2012-07-12 | 신명수 | 부력 방검조끼 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021082654A (ja) * | 2019-11-15 | 2021-05-27 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
-
1995
- 1995-04-27 JP JP10342695A patent/JP3141724B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101164058B1 (ko) * | 2011-11-16 | 2012-07-12 | 신명수 | 부력 방검조끼 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH08298279A (ja) | 1996-11-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |