JPH05291166A - 異径被処理体用ボート及びそれを用いた被処理体の移し換え方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 異径のウエハに共用できる縦型熱処理炉用の
ボートを提供すること。さらに、そのボートを用いるこ
とで、移し換えのための動作位置のティーチングを、異
径のウエハ毎に行う必要のない移し換え方法を提供する
こと。 【構成】 縦型処理装置にて被処理体をバッチ処理する
際に用いられるボート３０は、縦軸方向に伸びる例えば
４本のロッド１０を有する。この各ロッド１０は、縦軸
方向で所定間隔毎に形成され、かつ、５インチ及び６イ
ンチのウエハ２０，２２の外縁部を支持するに足る長さ
の水平に伸びる係止部１２を有する。ウエハを一枚また
は複数枚ずつ支持して搬送するアームを用いてボート３
０にウエハを移し換える際には、ボート３０の縦軸方向
で隣り合う２つの係止部１２，１２間に挿入するアーム
の高さ位置と、アームとボート３０とを縦軸方向で相対
的に移動させることによりウエハを移し換えた後のアー
ムの高さ位置とが、異径のウエハで同一となるように設
定して移し換えを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ等の被処
理体を配列支持するためのボート及びそのボートへの半
導体ウエハ等の移し換え方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体ウエハを熱処理炉に搬入
して熱処理するためのボートとしては、ロッドを側面板
に複数本固定し、各ロッドにウエハ支持用の係止部を形
成した石英ボートを使用するのが一般的である。

【０００３】さて、半導体ウエハの酸化、拡散、アニー
ル、ＣＶＤなどの各種の処理を行う熱処理炉として、現
在縦型炉が主流となりつつある。縦型炉は、横型炉に比
べて次の点で有利である。つまり、ウエハが大口径化し
てもウエハを水平状態に保持してロードできるため熱的
不均一性が少なくなる点、開口部からのエアーの巻き込
みを少なくできる点、ウエハとプロセスチューブが接触
せず出し入れできるためパーティクルの発生を少なくで
きる点、自動化に適している点などである。このような
多くの利点を持つ縦型炉において使用される、ボートを
構成するロッドの係止部の形状としては、従来は例えば
図９、図１０に示すものが用いられている。図１０はこ
の場合のロッド１００に設けられたウエハ支持用突起部
１０２の形状を示す斜視図であり、図９はこのロッドを
４本使用することによりウエハ２８を支持している様子
を示すものである。

【０００４】ところで、近年処理ウエハの大口径化に伴
い、６インチ等の大口径ウエハが使用されるに至ってい
る。しかし、スループットの面からは大口径ウエハが望
ましいが、大口径ウエハは特にその周縁でのガス分布，
均一温度分布の確保の面で劣っており、周縁１０〜１５
ｍｍ程度の領域で不良が発生することが多く、歩留まり
が向上しないという欠点を有する。従って依然として５
インチ，４インチウエハ等を使用する場合もあり、各種
サイズのウエハをプロセス等によって使い分けられてい
る。

【０００５】ここで、各種サイズのウエハを使用する場
合には、プロセスチューブの大きさを予め最大径のウエ
ハに対応する大きさに形成しておき、この共通のプロセ
スチューブを使用するようになっている。そして、この
共通のプロセスチューブ内に各種サイズのウエハをプロ
セス毎に搬入して支持するために、ウエハサイズに応じ
て固有の石英ボートを使用しているのが現状である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】石英ボートの製造は、
石英の切削加工、溶接等による組み立て、ウエハ
支持のための溝切りと、その製造が極めて煩雑であるの
で、異径ウエハ用に固有のボートをそれぞれ要する場合
には、ボート台数が増大し、価格も極めて高価となると
いう問題があった。

【０００７】また異径のウエハを収容するカセットを、
ウエハカセット収容部に混在させて、バッチ処理を行う
必要がある場合は、それぞれのウエハに固有のボートを
使用する必要がある。しかしボートの形状はそれぞれ異
なるため、アーム等によりウエハを、例えばウエハカセ
ットからボートに移し換える位置が、それぞれのボート
により異なる位置となることになる。従って処理装置に
対する、移し換え位置に関するティーチングも、それぞ
れのボートの形状に合わせてやり直さなければならない
という問題が生じていた。

【０００８】そこで、本発明の目的とするところは、特
に縦型熱処理炉などにおいて異径の被処理体を使い分け
て処理する場合であっても、異径の被処理体に対して共
通に使用可能なボートとすることで、所持すべきボート
台数を減少することができる異径被処理体用ボートを提
供することにある。

【０００９】更に本発明の他の目的とするところは、異
径のウエハをバッチ処理する際に、ウエハの移し換え位
置に関するティーチングを再度やり直す必要のない、汎
用性、操作性の高い被処理体の移し換え方法を提供する
ことにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明に係る異径被処理
体用ボートは、縦型処理装置にて被処理体をバッチ処理
する際に用いられ、かつ、異径の前記被処理体に共用さ
れるボートであって、縦軸方向に伸びる少なくとも３本
のロッドと、この各ロッドの縦軸方向で所定間隔毎に形
成され、かつ、最小径から最大径の各種被処理体の外縁
部を支持するに足る長さの係止部と、を有することを特
徴とする。

【００１１】本発明に係る移し換え方法は、複数枚の被
処理体を搭載した被処理体収納容器を複数個有し、少な
くとも一つの被処理体収納容器内に搭載された複数枚の
前記被処理体の外径が、他の被処理体収納容器内に搭載
された複数枚の前記被処理体の外径と異なる被処理体収
納容器を搭載したステージと、請求項１に記載の異径被
処理体用ボートと、前記被処理体を一枚または複数枚ず
つ支持して搬送するアームを有し、前記被処理体収納容
器と異径被処理体用ボートとの間で前記被処理体を移し
換える移載機と、を有する処理装置において前記被処理
体を移し換えるにあたり、前記ボートの縦軸方向で隣り
合う２つの係止部間に挿入する前記アームの高さ位置
と、前記アームとボートとを縦軸方向で相対的に移動さ
せることにより前記被処理体を移し換えた後の前記アー
ムの高さ位置とが、異径の被処理体で同一となるように
設定して、前記被処理体の移し換えを行うことを特徴と
する。

【００１２】

【作用】本発明に係るボートによれば、縦軸方向に伸び
る少なくとも３本のロッドの縦軸方向で所定間隔毎に形
成した係止部に、このボートに共用される各種サイズの
被処理体の外縁部が載置されて支持される。このよう
に、各種サイズの被処理体を同一ボートの同一の係止部
で支持することにより、被処理体サイズが変わった場合
にもボートを兼用することができる。しかも、本発明に
係るボートを使用した本発明に係る被処理体の移し換え
方法によれば、処理毎に被処理体のサイズが変わる場合
にも同一ボートを継続して使用でき、しかも、各種被処
理体を同一ボートの同一の係止部で支持することで、移
載機のアームをボートにアクセスする位置を各種被処理
体毎に変更する必要がない。

【００１３】

【実施例】以下、本発明を適用した一実施例について、
図面を参照して具体的に説明する。

【００１４】本実施例に係るボートは３０、対向して配
置される側面板（図示せず）の間に、少なくとも３本以
上例えば図１に示すように４本のロッド１０を固定する
事で構成されている。この場合のロッド１０の配列位置
としては、ウエハの半円以上の領域に亘る位置でウエハ
を支持できる図１に示すものが好ましい。このように配
置すれば、ウエハの下端を支持することでウエハを安定
して配列支持できるとともに、後述する移載機例えばア
ーム等による図１の矢印方向からのウエハの移し換えも
可能となる。

【００１５】図２はロッド１０の形状を示す斜視図であ
る。ロッド１０には、図２に示すように例えば半径方向
内側に向けて水平に伸びる支持用突起部１２が、縦軸方
向で等ピッチで設けられている。この支持用突起部１２
の途中には、例えば段差１８が設けられており、これに
より図２に示すように異径ウエハ用の載置面例えば５イ
ンチウエハ載置面１４、６インチウエハ載置面１６がそ
れぞれ形成される。そして異径のウエハを支持する場
合、例えば５インチウエハ２０を支持する場合は、それ
ぞれのロッド１０に設けられた５インチウエハ載置面１
４で、また６インチウエハを支持する場合は、それぞれ
のロッド１０に設けられた６インチウエハ載置面１６に
より支持する。ここで図１に示す距離ａは５インチウエ
ハ２０の半径であり、距離ｂは６インチウエハ２２の半
径であり、それぞれ例えばａ＝６２. ５ｍｍ，ｂ＝７５
ｍｍとなる。

【００１６】図３は、ロッド１０の支持用突起部１２の
各部の寸法を示した一例である。ここで距離ｃは、ボー
トの中心部から段差１８までの距離であり、距離ｄはボ
ートの中心部からロッド１０までの距離である。この場
合の距離ｃは、５インチウエハ２０の半径ａよりも少し
大きめ、例えばｃ＝６３. ８ｍｍに、また距離ｄは、６
インチウエハ２２の半径ｂよりも少し大きめ、例えばｄ
＝７６. ５ｍｍとすることが望ましい。この程度のクリ
アランスがあれば、後述するアームによるウエハの移し
換え精度に十分対応でき、またボートが衝撃により揺れ
た場合にもウエハが落下等しないよう防止でき、更に５
インチウエハ２０及び６インチウエハ２２の中心をボー
トのほぼ中心に位置させることができるからである。ま
た支持用突起部１２の最上面と、その上に配置される支
持用突起部１２の最下面との距離ｅは３ｍｍ程度、支持
用突起部１２の配置ピッチｇは４. ７６２５ｍｍ程度で
あることが望ましい。この程度の距離があればウエハの
厚み、ウエハの移し換え精度に十分対応できるからであ
る。また段差１８の段差距離ｆは、０. ６ｍｍ程度であ
ることが望ましい。この距離は例えばウエハの厚みとほ
ぼ同一であり、この程度の段差距離があれば、５インチ
ウエハ２０を載置した場合に、ボートに加わった衝撃等
によりウエハが段差１８に乗り上げてしまうのを防ぐこ
とができるからである。なお、このような段差１８を設
けたのは、この段差１８に合わせて５インチウエハ２０
を載置すれば、ウエハの中心を、後述する熱処理炉の中
心軸にほぼ一致させて配置できるため、ガス分布、温度
分布の均一化を図れ、所定の歩留まりを確保することが
できるからである。

【００１７】次に本実施例を用いた、異径のウエハを縦
型熱処理装置にてバッチ処理する場合の移し換え方法に
ついて、図４〜図７を参照して説明する。

【００１８】本実施例によるウエハの移し換え方法は、
ボート３０、ボートエレベータ４６カセットステージ４
８、移載機５０、熱処理炉６０を用いて実施される。図
４はこの場合の熱処理炉６０以外の部分を示す斜視図で
あり。図５はボート３０、ボートエレベータ４６、熱処
理炉６０、について示す断面図である。

【００１９】図４において、移載機５０における駆動ブ
ロック５２は、例えば５本のウエハ支持用アーム５４を
有し、これらウエハ支持用アーム５４を単独にあるいは
一体的に進退駆動可能に支持している。この駆動ブロッ
ク５２は、たとえば２００°以上の角度にわたって矢印
θ１方向に回転可能であり、エレベータ５６に支持され
ることによって上下動可能である。

【００２０】カセットステージ４８は、例えば２５枚の
半導体ウエハを複数収容可能に構成され、例えば８つの
ウエハカセット４８ａ〜４８ｈを載置可能である。この
場合、異径のウエハ、例えば５インチウエハのカセッ
ト、６インチウエハのカセットを混在して載置すること
が可能である。このカセットステージ４８は矢印θ４方
向に回動自在に構成され、このカセットステージ４８を
回動させ、ウエハカセット４８ａ〜４８ｈを前記移載機
５０の方向に向け、移載機５０における支持アーム５４
の進退及び昇降駆動により、ウエハの取出しを可能とし
ている。

【００２１】ボートエレベータ４６は、ボート３０等を
揺動するためのスイングアーム３８と、このスイングア
ーム３８を昇降させる昇降アーム４２とを有する。この
スイングアーム３８は、スイング軸４０及びスイング機
構により、昇降アーム４２に対して矢印θ２方向に回動
可能となっている。また昇降軸４４及び昇降機構により
昇降アーム４２を駆動して、これと一体的にスイングア
ーム３８及びその上のボート３０を昇降することが可能
である。これらの機能により熱処理炉６０の下方の位置
からボート３０をローディングし、あるいはアンローデ
ィングすることができる。なお、熱処理炉６０内での処
理中にあっては、図示しないモータによりボート３０を
矢印θ３の方向に回転可能とする機構を設けても良い。

【００２２】ボート３０は例えば石英などからなり、複
数例えば１００数十枚の半導体ウエハ２８を保持可能と
なるように構成される。このボート３０の下には例えば
石英ウールなどを内蔵した断熱のための保温筒３２が設
けられ、保温筒３２の下には熱処理炉６０の下端開口を
気密部材例えばＯリング３６等により密封するための蓋
体３４が配置される。

【００２３】図５に示す縦型の熱処理炉６０は垂直に配
設された反応管を有している。この反応管は、石英から
なるアウターチューブ７０、インナーチューブ７２によ
り構成される二重構造となっている。そしてこのアウタ
ーチューブ７０及びインナーチューブ７２はマニホール
ド７４により保持され、アウターチューブ７０とマニホ
ールド７４との接続部には、気密部材例えばＯリング７
８が設けられ、外部の大気から気密状態となっている。

【００２４】これらの反応管７０、７２の外側には、円
筒状のたとえばステンレス等よりなるアウターシェル６
２が設けられており、このアウターシェル６２はベース
プレート６８によって保持されている。そしてこのアウ
ターシェル６２の内側には、断熱材６４及び例えば抵抗
発熱体からなる円筒状の加熱用ヒータ６６が設けられて
おり、これにより反応管７０、７２内の熱処理が可能と
なる。必要に応じてシェルを二重管構造とし、インナ
ー，アウターシェルの間に冷却媒体の循環パイプなどを
配設しても良い。

【００２５】上記マニホールド７４には、ガス導入孔８
０及びガス排気孔８２が、外部の大気より反応管の内部
が気密になるように設けられている。ガス導入孔８０に
は、図示しないガス導入システムが接続され、これによ
り反応管７０、７２内でウエハの酸化、拡散、ＣＶＤ等
の処理を行うための、ガスの導入が可能となる。またガ
ス排気孔８２には図示しない排気システムが接続されて
いる。これにより前記したガスの排気、さらには減圧状
態で処理を行う場合にあっては反応管７０、７２の内部
を減圧雰囲気下に設定することが可能となる。

【００２６】次に異径の被処理体例えば５インチウエハ
と６インチウエハをバッチ処理する場合の作用について
説明する熱処理炉６０によって半導体ウエハの熱処理、
例えば酸化、拡散、ＣＶＤ等の処理を行う場合、移載機
５０に設けられた複数例えば５本のウエハ支持用アーム
５４を用いて、カセット収容部４８に設けられた例えば
５インチウエハ用のウエハカセットより５枚の５インチ
ウエハ２０を取出す。この際ボート３０は、スイングア
ーム３８とボートエレベータ４６によりあらかじめ定め
られた位置に設定されている。

【００２７】次に例えば移載機５０に設けられた回転機
構とエレベータ５６による昇降機能により、ウエハ支持
アーム５４に載置された５インチウエハ２０を、ボート
３０上に移し換える。この場合、ボート３０上のウエハ
の移し換え位置は、あらかじめ装置にティーチングして
おく必要がある。そして、このティーチングの方法とし
ては、例えば最初の５枚のウエハを移し換えるためのア
ーム５４の高さ位置のみをティーチングしておき、その
後は縦方向で一定間隔毎に移し換え位置を変更してゆく
という設定方法が考えられる。しかしボート３０は例え
ば１００数十枚のウエハを搭載可能としているため、例
えばピッチ誤差などによる累積誤差などが生ずる場合が
ある。従って装置の操作上は、ボートの縦軸方向方向で
の全ての移し換え位置をあらかじめティーチングしてお
くことが好ましい。以上述べたティーチングの設定値
は、ボートの固有形状により変動するものであり、従っ
てボート３０を異なるものに交換すれば、当然このティ
ーチングの設定値も変更する必要がある。

【００２８】図６、図７に、この場合の移し換え方法が
示される。まずウエハ支持用アーム５４を、あらかじめ
ティーチングされた位置に設定する。この場合の設定位
置としては、図３に示す距離ｅのほぼ中間の位置が望ま
しい。このように設定すればウエハを挿入する際に、設
定値と実際のボート３０の形状との間に誤差があった場
合に、ウエハの落下等の事故が生じるのを最小限に抑え
ることができるからである。次に図６に示すようにウエ
ハ支持用アーム５４をボート３０内に挿入する。その後
図７に示すようにウエハ支持用アーム５４を、例えば図
３に示す距離ｇ、つまり支持用突起部１２のピッチ程
度、下方に移動させる。これにより５インチウエハ２０
は支持用突起部１２上の５インチウエハ載置面１４に載
置されることになる。

【００２９】以上述べた方法によりウエハの移送をボー
ト３０の縦方向で位置を変えて所定回数行い、ボート３
０に所定枚数のウエハを搭載する。その後ボートエレベ
ータ４６が駆動され、保温筒３２及びボート３０を熱処
理炉６０内部にローディングし、酸化、拡散、ＣＶＤ等
の熱処理が行われる。熱処理炉６０内部での処理が終了
したら、ボートエレベータ４６を下降駆動し、保温筒３
２及びボート３４をアンローディング位置までアンロー
ディングする。そして前述した移し換え方法の逆の手
順、すなわち図７→図６の工程をふむことにより、処理
を完了したウエハをカセットステージの元の位置に戻
す。

【００３０】このようにして５インチウエハの処理を終
了した後、次に６インチウエハを処理する場合、従来で
はボート３０を５インチウエハ用のボートから６インチ
ウエハ用のボートに取り換えるという作業が必要であっ
た。また５インチウエハ用ボートと６インチウエハ用ボ
ートとでは形状は異なったものであり、またボート間で
の支持用突起部のピッチ等の累積誤差も異なるものとな
る。従って前述したティーチングの設定値も改めて設定
しなおす必要があった。ところで通常この種の熱処理を
行うのにバッチ処理を用いるのは、大量のウエハを人手
を介することなく、自動化してバッチ処理することによ
り、処理の効率化を図ることが主なる目的である。しか
し異径のウエハが混在するような場合、従来では、前述
したように、ボートの取り変え、ボートごとのティーチ
ングのやり直しなど、新たに人手を要する作業が必要に
なってくる。従ってバッチ処理の完全自動化が図れず、
処理の効率化が図れないという問題が生じていた。

【００３１】しかし本実施例では、このような問題が生
じない。例えば図６、図７において５インチウエハの移
し換えを終了した後、６インチウエハ２２を移し換える
場合について説明する。移し換えるウエハが６インチで
あっても図３に示す距離ｄは６インチウエハ２２の半径
よりも少し大きめに設定されているため、図６で６イン
チウエハ２２をボート３０に挿入することが可能であ
る。そしてこの場合、ボート３０を交換していないた
め、挿入前のウエハ支持用アーム５４の設定位置に関し
て新たにティーチングをやりなおす必要がない。そして
その後図７に示すようにウエハ支持用アーム５４を下方
に移動させ、６インチウエハ２２を支持用突起部１２上
の６インチウエハ載置面１６に載置する。この場合段差
１８の段差距離ｆは、ウエハ支持用アーム５４の下方移
動距離であるピッチ間距離ｇに比べて十分小さいため、
この下方移動距離に関するティーチング設定値も、５イ
ンチウエハ２０と６インチウエハ２２で共用することが
可能となる。またこのようにしてウエハを移し換えた
後、次のウエハをボート３０に移し換える場合にも、そ
の移し換え位置に関して改めてティーチングをやり直す
必要もない。

【００３２】なお本実施例のように異径のウエハでボー
トを共用できるものとして、図１１に示される形状のボ
ート、すなわち２種のウエハの係止溝９２，９６を同一
ピッチでかつ縦方向で交互に形成したボートが知られて
いる。この形状のボートを用いれば確かに、異径のウエ
ハを処理する場合にもボートを交換する必要がない。し
かし、５インチウエハと６インチウエハの係止位置が異
なるため、本実施例と異なり異径のウエハを処理する場
合に、改めてティーチングをやり直さなければならない
という欠点があり、バッチ処理の効率化という点で劣っ
ている。更に本実施例と異なり、各径のウエハで使用で
きるウエハの係止位置が交互になるため、スペース効率
の点で劣っており、ボートへのウエハの搭載枚数が増加
した場合、対応することが困難となる欠点を持ってい
る。

【００３３】以上述べたように本実施例によれば、縦型
熱処理炉などのおいて異径のウエハが混在し、バッチ処
理を行う場合であっても、ボート３０を交換する必要も
なく、またティーチングについても新たに設定する必要
がない。従ってこのようなバッチ処理の完全自動化を図
ることができ、バッチ処理の効率を最大限に高めること
ができる。更に、異径のウエハに対して共通に使用可能
なボートとすることで、所持すべきボート台数を減少す
ることができる。

【００３４】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が
可能である。

【００３５】例えば本発明に係るボートの係止部の形状
としては少なくとも異径のウエハを支持するに足りるも
のであればよく、例えば図３において段差１８がないも
の、例えば図８に示す変形例が考えられる。この形状の
ものを用いると、段差を設けなくてよいため、ボート製
作が簡易であるという点で有利である。

【００３６】また、本発明は２種以上の異径の被処理体
を搭載可能なボートであればよく、例えば６インチ，８
インチ等のウエハも好適に実施することができる。

【００３７】また、本発明は２種の被処理体に共通なボ
ートとして構成することが簡易に実施可能であるが、必
ずしも２種の異径の被処理体に適用されるものでない。
例えば図３において、３種の異径の被処理体を処理する
場合、新たに段差をもう一段、設ければよい。また図８
において、３種の異径の被処理体を処理する場合は、最
大径の被処理体と最小径の被処理体を支持できる長さの
係止部の形状となっていればよい。

【００３８】なお、この種のボートの材質としては、石
英が一般的であるが、少なくとも耐熱性があり、高温下
でコンタミネーションを発生しないものであればよく、
Ｓi Ｃ等で形成することもできる。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば異
径の被処理体を同一の係止部にて支持することで、異径
の被処理体に兼用できるボートを提供できる。このボー
トを用いれば、ボートに対する被処理体の移し換え時に
おいて、移載機のアームをボートにアクセスする位置を
各種被処理体で共通に設定でき、被処理体サイズが変わ
った際に移載位置に関するティーチングを行う必要がな
くなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るボートによる異径ウエハ支持形態
を説明するための概略説明図である。

【図２】異径ウエハを支持するための係止部を説明する
ための概略斜視図である。

【図３】異径ウエハを支持するための係止部を説明する
ための概略説明図である。

【図４】本発明に係る移し換え方法におけるアームの挿
入位置を説明するための概略斜視図である。

【図５】本発明に係る移し換え方法おけるアームの縦方
向移動後の位置を説明するための概略断面図である。

【図６】ウエハをボートに挿入した状態について説明す
るための概略説明図である。

【図７】ウエハをボートに載置した状態について説明す
るための概略説明図である。

【図８】本発明の一変形例について説明するための概略
説明図である。

【図９】従来技術でのウエハの支持形態を説明するため
の概略説明図である。

【図１０】従来技術でのウエハを支持するための係止部
を説明するための概略斜視図である。

【図１１】従来技術での異径ウエハを支持するための係
止部を説明するための概略斜視図である。

【符号の説明】

１０ ロッド １２ 支持用突起 １４ ５インチウエハ載置面 １６ ６インチウエハ載置面 ２０ ５インチウエハ ２２ ６インチウエハ ２８ ウエハ ３０ ボート ４８ カセットステージ ４８ａ〜４８ｈ カセット ５０ 移載機 ５４ アーム ６０ 縦型熱処理炉

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 縦型処理装置にて被処理体をバッチ処理
   する際に用いられ、かつ、異径の前記被処理体に共用さ
   れるボートであって、 縦軸方向に伸びる少なくとも３本のロッドと、 この各ロッドの縦軸方向で所定間隔毎に形成され、か
   つ、最小径から最大径の各種被処理体の外縁部を支持す
   るに足る長さの係止部と、 を有することを特徴とする異径被処理体用ボート。
2. 【請求項２】 複数枚の被処理体を搭載した被処理体収
   納容器を複数個有し、少なくとも一つの被処理体収納容
   器内に搭載された複数枚の前記被処理体の外径が、他の
   被処理体収納容器内に搭載された複数枚の前記被処理体
   の外径と異なる被処理体収納容器を搭載したステージ
   と、 請求項１に記載の異径被処理体用ボートと、 前記被処理体を一枚または複数枚ずつ支持して搬送する
   アームを有し、前記被処理体収納容器と異径被処理体用
   ボートとの間で前記被処理体を移し換える移載機と、 を有する処理装置において前記被処理体を移し換えるに
   あたり、 前記ボートの縦軸方向で隣り合う２つの係止部間に挿入
   する前記アームの高さ位置と、前記アームとボートとを
   縦軸方向で相対的に移動させることにより前記被処理体
   を移し換えた後の前記アームの高さ位置とが、異径の被
   処理体で同一となるように設定して、前記被処理体の移
   し換えを行うことを特徴とする被処理体の移し換え方
   法。