JP2719718B2 - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
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- carrier
- base plate
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- heat treatment
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、熱処理装置に関する。
（従来の技術） 一般に、半導体製造工程では、半導体ウエハ等の基板
を搬送する場合、カセット或いはキャリア等と称される
搬送用基板保持具を用いることが多い。即ち、この搬送
用基板保持具は、軽量で安価な樹脂等から成り、半導体
ウエハを複数枚例えば25枚収納可能に構成されている。
を搬送する場合、カセット或いはキャリア等と称される
搬送用基板保持具を用いることが多い。即ち、この搬送
用基板保持具は、軽量で安価な樹脂等から成り、半導体
ウエハを複数枚例えば25枚収納可能に構成されている。
一方、熱処理装置によって多数の半導体ウエハをバッ
チ処理するような場合、上述したような樹脂製の搬送用
基板保持具をそのまま用いることができないため、化学
的安定性及び耐熱性に優れた石英ガラス等から成り、複
数枚例えば100〜150枚程度の半導体ウエハを収納可能に
構成された処理用基板保持具例えばボートを用いること
が多い。
チ処理するような場合、上述したような樹脂製の搬送用
基板保持具をそのまま用いることができないため、化学
的安定性及び耐熱性に優れた石英ガラス等から成り、複
数枚例えば100〜150枚程度の半導体ウエハを収納可能に
構成された処理用基板保持具例えばボートを用いること
が多い。
このため、上述したキャリアとボートとの間でウエハ
の移替えを行なう必要があり、従来からこのような移替
えの技術が、例えば特開昭60−231337号、特開昭61−54
639号公報で提案されている。このような移替えは、通
常ボートを水平に支持し、キャリア内に収納された複数
例えば25枚のウエハを下方からつき上げ、把持部材で一
括把持して移替えを行なう。
の移替えを行なう必要があり、従来からこのような移替
えの技術が、例えば特開昭60−231337号、特開昭61−54
639号公報で提案されている。このような移替えは、通
常ボートを水平に支持し、キャリア内に収納された複数
例えば25枚のウエハを下方からつき上げ、把持部材で一
括把持して移替えを行なう。
（発明が解決しようとする課題） 上述したように従来の移替え技術では、ボートをほぼ
平行に支持し、この状態で移替えを行なう。一方、近年
は、クリーンルームの有効利用、設置面積が小さく且つ
反応管内壁に非接触で容易にボートを搬入出できる等の
利点を有する縦型熱処理装置が多く用いられるようにな
ってきた。このため、縦型熱処理装置によって処理を行
なう場合は、ウエハの移替えを行なった後、ボートを水
平から垂直に変換するための装置及び空間が必要とな
り、装置が大型化する問題があった。
平行に支持し、この状態で移替えを行なう。一方、近年
は、クリーンルームの有効利用、設置面積が小さく且つ
反応管内壁に非接触で容易にボートを搬入出できる等の
利点を有する縦型熱処理装置が多く用いられるようにな
ってきた。このため、縦型熱処理装置によって処理を行
なう場合は、ウエハの移替えを行なった後、ボートを水
平から垂直に変換するための装置及び空間が必要とな
り、装置が大型化する問題があった。
本発明は上記点に対処してなされたもので、小空間で
基板の移替えを可能とし、且つ基板の移替えを行なう移
載機構の駆動範囲を縮小してスループットの向上を可能
とした熱処理装置を提供しようとするものである。
基板の移替えを可能とし、且つ基板の移替えを行なう移
載機構の駆動範囲を縮小してスループットの向上を可能
とした熱処理装置を提供しようとするものである。
（課題を解決するための手段） 本発明のうち、請求項１記載の熱処理装置は、複数枚
の基板が収納可能な垂直状態のキャリアと、基板移替え
位置に垂直状態に設定されたボートとの間で、上記基板
を移載機構により移替えるようにした熱処理装置におい
て、上記キャリアを垂直方向に所定の間隔で複数個載置
可能なキャリア置き台を有する一対のキャリア収納体を
同一方向へ臨ませた状態でベースプレート上に並設し、
上記キャリア収納体内のキャリアの向きがキャリア受渡
し方向から上記移載機構の方向に向くように上記ベース
プレートを垂直軸回りに回転可能に設け、更に上記各キ
ャリア収納体をベースプレート上に垂直軸回りに回転可
能に設け、上記キャリア収納体の回転軸がベースプレー
トの回転軸を中心とした円の同一円周上に設けられてお
り、両キャリア収納体の下端の対向辺側に突起を設ける
と共に、両突起に係合するアームを介して上記キャリア
収納体内のキャリアの向きが上記移載機構の方向から移
載機構の正面に向くように駆動するエアシリンダを設け
たことを特徴とする。
の基板が収納可能な垂直状態のキャリアと、基板移替え
位置に垂直状態に設定されたボートとの間で、上記基板
を移載機構により移替えるようにした熱処理装置におい
て、上記キャリアを垂直方向に所定の間隔で複数個載置
可能なキャリア置き台を有する一対のキャリア収納体を
同一方向へ臨ませた状態でベースプレート上に並設し、
上記キャリア収納体内のキャリアの向きがキャリア受渡
し方向から上記移載機構の方向に向くように上記ベース
プレートを垂直軸回りに回転可能に設け、更に上記各キ
ャリア収納体をベースプレート上に垂直軸回りに回転可
能に設け、上記キャリア収納体の回転軸がベースプレー
トの回転軸を中心とした円の同一円周上に設けられてお
り、両キャリア収納体の下端の対向辺側に突起を設ける
と共に、両突起に係合するアームを介して上記キャリア
収納体内のキャリアの向きが上記移載機構の方向から移
載機構の正面に向くように駆動するエアシリンダを設け
たことを特徴とする。
請求項２記載の熱処理装置は、上記キャリア収納体に
おけるキャリア置き台が、基板移替え時及びキャリア受
渡し時にキャリアをベースプレートと平行にし、ベース
プレート及びキャリア収納体の回転時にキャリアをその
基板取出し側が上方に向くように傾斜させておくために
傾斜可能に構成されていることを特徴とする。
おけるキャリア置き台が、基板移替え時及びキャリア受
渡し時にキャリアをベースプレートと平行にし、ベース
プレート及びキャリア収納体の回転時にキャリアをその
基板取出し側が上方に向くように傾斜させておくために
傾斜可能に構成されていることを特徴とする。
（作用） 請求項１記載の熱処理装置によれば、キャリアとボー
トとの間で移載機構により基板の移替えを行なう場合、
一対のキャリア収納体における各キャリア置き台上に載
置されたキャリアの向きがキャリア受渡し方向から上記
移載機構の方向に向くようにベースプレートが垂直軸回
りに回転可能に設けられ、上記各キャリア収納体が垂直
軸回りに回転可能に設けられ、上記キャリア収納体の回
転軸がベースプレートの回転軸を中心とした円の同一円
周上に設けられているため、最小スペースでキャリアの
向きを変えることが可能となると共に小空間で基板の移
替えが可能となり、熱処理装置の小型化及びスループッ
トの向上が図れる。しかも、両キャリア収納体の下端の
対向辺側に突起を設け、両突起に係合するアームを介し
て上記キャリア収納体内のキャリアの向きが上記移載機
構の方向から移載機構の正面に向くように駆動するエア
シリンダを設けているため、簡単な構造で両キャリア収
納体を上記キャリアの向きが上記移載機構の方向から移
載機構の正面に向くように同時に回転駆動することが可
能となり、熱処理装置の更なる小型化が図れる。
トとの間で移載機構により基板の移替えを行なう場合、
一対のキャリア収納体における各キャリア置き台上に載
置されたキャリアの向きがキャリア受渡し方向から上記
移載機構の方向に向くようにベースプレートが垂直軸回
りに回転可能に設けられ、上記各キャリア収納体が垂直
軸回りに回転可能に設けられ、上記キャリア収納体の回
転軸がベースプレートの回転軸を中心とした円の同一円
周上に設けられているため、最小スペースでキャリアの
向きを変えることが可能となると共に小空間で基板の移
替えが可能となり、熱処理装置の小型化及びスループッ
トの向上が図れる。しかも、両キャリア収納体の下端の
対向辺側に突起を設け、両突起に係合するアームを介し
て上記キャリア収納体内のキャリアの向きが上記移載機
構の方向から移載機構の正面に向くように駆動するエア
シリンダを設けているため、簡単な構造で両キャリア収
納体を上記キャリアの向きが上記移載機構の方向から移
載機構の正面に向くように同時に回転駆動することが可
能となり、熱処理装置の更なる小型化が図れる。
請求項２記載の熱処理装置によれば、上記キャリア収
納体におけるキャリア置き台が、基板移替え時及びき受
渡し時にキャリアをベースプレートと平行にし、ベース
プレート及びキャリア収納体の回転時にキャリアをその
基板取出し側が上方に向くように傾斜させておくために
傾斜可能に構成されているため、基板の移替え及びキャ
リアの受渡しが容易に行なえることは勿論、ベースプレ
ート及びキャリア収納体の回転時に遠心力で基板がキャ
リア内から飛出したり、位置ずれを起こすことを防止す
ることができる。
納体におけるキャリア置き台が、基板移替え時及びき受
渡し時にキャリアをベースプレートと平行にし、ベース
プレート及びキャリア収納体の回転時にキャリアをその
基板取出し側が上方に向くように傾斜させておくために
傾斜可能に構成されているため、基板の移替え及びキャ
リアの受渡しが容易に行なえることは勿論、ベースプレ
ート及びキャリア収納体の回転時に遠心力で基板がキャ
リア内から飛出したり、位置ずれを起こすことを防止す
ることができる。
（実施例） 以下、本発明方法を縦型熱処理装置におけるカセット
及びボート間の移替えに適用した一実施例につき、図面
を参照して説明する。
及びボート間の移替えに適用した一実施例につき、図面
を参照して説明する。
まず、熱処理装置の構成を説明する。
この装置は、例えば第１図及び第２図に示すように、
縦型熱処理炉で、軸方向から垂直軸とする反応管（１）
から成る処理部（２）と、この処理部（２）に設定可能
な基板例えば半導体ウエハ（３）を板厚方向に複数枚例
えば100〜150枚所定間隔を設けて収納可能なボート
（４）と、このボート（４）を上記反応管（１）内に搬
入出する如く昇降可能で、且つ上記反応管（１）直下及
びウエハ移替え位置（基板移替え位置）に移動可能なボ
ート載置台（５）と、キャリア受渡し位置に設置され上
記ウエハ（３）を複数枚例えば25枚単位に収納可能なキ
ャリア（６）を複数個設置可能なキャリア設置台（７）
と、このキャリア設置台（７）に設置されたキャリア
（６）及び上記ボート（４）間でウエハ（３）の移替え
を行なう移載機構（８）とから構成されている。
縦型熱処理炉で、軸方向から垂直軸とする反応管（１）
から成る処理部（２）と、この処理部（２）に設定可能
な基板例えば半導体ウエハ（３）を板厚方向に複数枚例
えば100〜150枚所定間隔を設けて収納可能なボート
（４）と、このボート（４）を上記反応管（１）内に搬
入出する如く昇降可能で、且つ上記反応管（１）直下及
びウエハ移替え位置（基板移替え位置）に移動可能なボ
ート載置台（５）と、キャリア受渡し位置に設置され上
記ウエハ（３）を複数枚例えば25枚単位に収納可能なキ
ャリア（６）を複数個設置可能なキャリア設置台（７）
と、このキャリア設置台（７）に設置されたキャリア
（６）及び上記ボート（４）間でウエハ（３）の移替え
を行なう移載機構（８）とから構成されている。
上記処理部（２）には、耐熱性で処理ガスに対して反
応しにくい材質例えば石英ガラスから成る上面が封止さ
れた筒状反応管（１）が設けられ、この反応管（１）内
に上記ボート（４）を設置可能な如くボート（４）より
大口径で縦長に形成されている。このような反応管
（１）の周囲には、この反応管（１）内部を所望する温
度例えば900〜1200℃程度に加熱可能な加熱機構例えば
コイル状のヒータ（９）が上記反応管（１）と所定の間
隔を設けて非接触状態で巻回されている。そして、上記
反応管（１）とヒータ（９）との間には、反応管（１）
内の温度分布を均一とするための例えばSiC製の均熱管
（10）が設けられている。このような反応管（１）に
は、図示はしないが反応管（１）内壁に沿って下部から
上方に延びたガス供給管が配設されており、図示しない
マスフローコントローラ等を介してガス供給源に接続さ
れている。そして、上記反応管（１）の下部には排気管
（11）が接続され、この排気管（11）には、上記反応管
（１）内を所望の圧力に減圧及び処理ガスを排出可能な
真空ポンプ（図示せず）に接続されている。
応しにくい材質例えば石英ガラスから成る上面が封止さ
れた筒状反応管（１）が設けられ、この反応管（１）内
に上記ボート（４）を設置可能な如くボート（４）より
大口径で縦長に形成されている。このような反応管
（１）の周囲には、この反応管（１）内部を所望する温
度例えば900〜1200℃程度に加熱可能な加熱機構例えば
コイル状のヒータ（９）が上記反応管（１）と所定の間
隔を設けて非接触状態で巻回されている。そして、上記
反応管（１）とヒータ（９）との間には、反応管（１）
内の温度分布を均一とするための例えばSiC製の均熱管
（10）が設けられている。このような反応管（１）に
は、図示はしないが反応管（１）内壁に沿って下部から
上方に延びたガス供給管が配設されており、図示しない
マスフローコントローラ等を介してガス供給源に接続さ
れている。そして、上記反応管（１）の下部には排気管
（11）が接続され、この排気管（11）には、上記反応管
（１）内を所望の圧力に減圧及び処理ガスを排出可能な
真空ポンプ（図示せず）に接続されている。
上記のように構成された処理部（２）の反応管（１）
内を気密に設定する如く、反応管（１）下端部と当接可
能な蓋体（12）が設けられている。この蓋体（12）は、
上記ボート載置台（５）上に載置され、このボート載置
台（５）の昇降により、上記反応管（１）下端部との当
接が可能とされている。この蓋体（12）の上部には、保
温筒（13）が載置され、更にこの保温筒（13）上に耐熱
性及び耐腐食性材質例えば石英ガラス製のボート（４）
がほぼ垂直状態で載置可能とされている。
内を気密に設定する如く、反応管（１）下端部と当接可
能な蓋体（12）が設けられている。この蓋体（12）は、
上記ボート載置台（５）上に載置され、このボート載置
台（５）の昇降により、上記反応管（１）下端部との当
接が可能とされている。この蓋体（12）の上部には、保
温筒（13）が載置され、更にこの保温筒（13）上に耐熱
性及び耐腐食性材質例えば石英ガラス製のボート（４）
がほぼ垂直状態で載置可能とされている。
上記ボート載置台（５）では、昇降機構（14）例えば
回転駆動するボールネジ（15）に軸着して昇降が可能で
あり、更に、ボート載置台（５）を反応管（１）直下及
びウエハ移替え位置（16）に移動可能な如く、上記ボー
ルネジ（15）と平行な回転軸を有する回転機構（17）が
設けられている。
回転駆動するボールネジ（15）に軸着して昇降が可能で
あり、更に、ボート載置台（５）を反応管（１）直下及
びウエハ移替え位置（16）に移動可能な如く、上記ボー
ルネジ（15）と平行な回転軸を有する回転機構（17）が
設けられている。
この移替え位置（16）に設定したボート（４）と上記
キャリア（６）との間で、上記ウエハ（３）の移替えを
行なう移載機構（８）は、第３図に示すように下部に接
続した回転軸（18）により回転可能で、昇降機構（図示
せず）により昇降が可能とされている。また、この移載
機構（８）の上面には、前後に移動が可能な支持アーム
（19）が設けられている。この支持アーム（19）は複数
段例えば５段構造で、この支持アーム（19）により５枚
のウエハ（３）を支持可能に構成されている。即ち、５
段構造の支持アーム（19）は、上記キャリア（６）及び
ボート（４）のウエハピッチに応じて上下方向に所定の
間隔を設けて配列されている。この５段構造の支持アー
ム（19）に並設されて前後に移動可能な１段構造の支持
アーム（20）が設けられている。これら１段及び５段の
支持アーム（19）（20）を、移替え枚数の必要に応じて
適宜使用される。
キャリア（６）との間で、上記ウエハ（３）の移替えを
行なう移載機構（８）は、第３図に示すように下部に接
続した回転軸（18）により回転可能で、昇降機構（図示
せず）により昇降が可能とされている。また、この移載
機構（８）の上面には、前後に移動が可能な支持アーム
（19）が設けられている。この支持アーム（19）は複数
段例えば５段構造で、この支持アーム（19）により５枚
のウエハ（３）を支持可能に構成されている。即ち、５
段構造の支持アーム（19）は、上記キャリア（６）及び
ボート（４）のウエハピッチに応じて上下方向に所定の
間隔を設けて配列されている。この５段構造の支持アー
ム（19）に並設されて前後に移動可能な１段構造の支持
アーム（20）が設けられている。これら１段及び５段の
支持アーム（19）（20）を、移替え枚数の必要に応じて
適宜使用される。
上記キャリア設置台（７）は、第４図及び第５図に示
すように、回転駆動機構例えばモータ（図示せず）等に
連設した回転軸（21）に接続し、回転可能とされた平板
状のベースプレート（22）と、このベースプレート（2
2）に対して回転可能とされた複数例えば２個のキャリ
ア収納体（23a）（23b）とから成っている。このキャリ
ア収納体（23a）（23b）は同一構造で、上記ベースプレ
ート（22）に接続した回転軸（24a）（24b）により回転
可能とされている。この回転軸（24a）（24b）は、上記
ベースプレート（22）の回転軸（21）を挟んで対照的な
位置、即ち回転軸（21）を中心とした円の同一円周上に
設けられている。このように配設されたキャリア収納体
（23a）（23b）には、夫々鉛直方向に所定の間隔を開け
て複数個例えば３個設けられたキャリア置き台（25a）
（25b）（25c）が設けられ、シャフト（26）により固定
されている。このキャリア置き台（25a）（25b）（25
c）のキャリア（６）を設置する上板（27a）（27b）（2
7c）は、設置するキャリア（６）の底部が下方、ウエハ
（３）取出し側が上方に位置するような傾斜可能に構成
されており、このキャリア収納体（23a）（23b）或いは
ベースプレート（22）を回転させる時等は、キャリア
（６）を傾斜させておき、移替え時及びキャリア受渡し
時等にのみキャリア（６）を平行とすることにより、ウ
エハ（３）がキャリア（６）内から飛び出したり、位置
ずれを起こすことを防止可能に構成されている。また、
上記キャリア収納体（23a）（23b）の下端例えばキャリ
ア置き台（25c）の下面の、キャリア収納体（23a）（23
b）の対向辺側には、棒状の突起（28a）（28b）が設け
られており、この突起（28a）（28b）に係合し、一軸移
動機構例えばエアシリンダー（29）の駆動により上記突
起（28a）（28b）を前後方向に移動させるアーム（30）
が設けられている。このアーム（30）の前後移動で上記
突起（28a）（28b）を前後することにより、上記キャリ
ア収納体（23a）（23b）を、回転軸（24a）（24b）を中
心として回転駆動が可能とされている。このようにして
熱処理装置が構成されている。
すように、回転駆動機構例えばモータ（図示せず）等に
連設した回転軸（21）に接続し、回転可能とされた平板
状のベースプレート（22）と、このベースプレート（2
2）に対して回転可能とされた複数例えば２個のキャリ
ア収納体（23a）（23b）とから成っている。このキャリ
ア収納体（23a）（23b）は同一構造で、上記ベースプレ
ート（22）に接続した回転軸（24a）（24b）により回転
可能とされている。この回転軸（24a）（24b）は、上記
ベースプレート（22）の回転軸（21）を挟んで対照的な
位置、即ち回転軸（21）を中心とした円の同一円周上に
設けられている。このように配設されたキャリア収納体
（23a）（23b）には、夫々鉛直方向に所定の間隔を開け
て複数個例えば３個設けられたキャリア置き台（25a）
（25b）（25c）が設けられ、シャフト（26）により固定
されている。このキャリア置き台（25a）（25b）（25
c）のキャリア（６）を設置する上板（27a）（27b）（2
7c）は、設置するキャリア（６）の底部が下方、ウエハ
（３）取出し側が上方に位置するような傾斜可能に構成
されており、このキャリア収納体（23a）（23b）或いは
ベースプレート（22）を回転させる時等は、キャリア
（６）を傾斜させておき、移替え時及びキャリア受渡し
時等にのみキャリア（６）を平行とすることにより、ウ
エハ（３）がキャリア（６）内から飛び出したり、位置
ずれを起こすことを防止可能に構成されている。また、
上記キャリア収納体（23a）（23b）の下端例えばキャリ
ア置き台（25c）の下面の、キャリア収納体（23a）（23
b）の対向辺側には、棒状の突起（28a）（28b）が設け
られており、この突起（28a）（28b）に係合し、一軸移
動機構例えばエアシリンダー（29）の駆動により上記突
起（28a）（28b）を前後方向に移動させるアーム（30）
が設けられている。このアーム（30）の前後移動で上記
突起（28a）（28b）を前後することにより、上記キャリ
ア収納体（23a）（23b）を、回転軸（24a）（24b）を中
心として回転駆動が可能とされている。このようにして
熱処理装置が構成されている。
次に、上述した熱処理装置の動作作用、及びウエハの
移替え方法を説明する。
移替え方法を説明する。
まず、ロボット或いは人手により、基板例えば半導体
ウエハ（３）が複数枚例えば25枚収納されたキャリア
（６）を、複数個例えば６個搬送し、キャリア設置台
（７）のキャリア収納体（23a）（23b）にウエハ（３）
が水平に収納された状態に設置する。この設置するキャ
リア（６）に収納された基板は、モニタ用基板やダミー
基板等を必要に応じて収納させても良い。このキャリア
（６）設置時、即ちキャリア（６）受渡し時は、この受
渡しを容易とするために、キャリア設置台（７）のベー
スプレート（22）を回転させることで、上記キャリア
（６）の向きが装置正面即ちキャリア受渡し方向に向く
ように設定する。
ウエハ（３）が複数枚例えば25枚収納されたキャリア
（６）を、複数個例えば６個搬送し、キャリア設置台
（７）のキャリア収納体（23a）（23b）にウエハ（３）
が水平に収納された状態に設置する。この設置するキャ
リア（６）に収納された基板は、モニタ用基板やダミー
基板等を必要に応じて収納させても良い。このキャリア
（６）設置時、即ちキャリア（６）受渡し時は、この受
渡しを容易とするために、キャリア設置台（７）のベー
スプレート（22）を回転させることで、上記キャリア
（６）の向きが装置正面即ちキャリア受渡し方向に向く
ように設定する。
そして、キャリア（６）の受渡し後、第６図に示すよ
うに、ベースプレート（22）を移載機構（８）方向に向
くように回転させ、更に、この移載機構（８）正面に上
記キャリア（６）が向くように、エアシリンダー（29）
の駆動によりキャリア収納体（23a）（23b）を回転さ
せ、これと共にキャリア（６）も一体的に垂直状態で回
転させる。更に、回転機構（17）によりボート載置台
（５）を回転移動させ、ボート（４）を移替え位置に設
定する。
うに、ベースプレート（22）を移載機構（８）方向に向
くように回転させ、更に、この移載機構（８）正面に上
記キャリア（６）が向くように、エアシリンダー（29）
の駆動によりキャリア収納体（23a）（23b）を回転さ
せ、これと共にキャリア（６）も一体的に垂直状態で回
転させる。更に、回転機構（17）によりボート載置台
（５）を回転移動させ、ボート（４）を移替え位置に設
定する。
次に、この状態で移載機構（８）の支持アーム（19）
（20）により、キャリア（６）内に収納されているウエ
ハ（３）を５枚づつ或いは１枚ずつ上記ボート（４）に
移替える。この時、必要に応じてモニタ用ウエハ或いは
ダミーウエハを移替えても良い。この移替に際して、上
記キャリア（６）は総て移載機構（８）の方向を向いて
いるため、この移載機構（８）は、昇降，回転，支持ア
ーム（19）（20）の進退の駆動のみで、XY方向に移動す
る機構を必要としない。また、キャリア収納体（23a）
（23b）の回転軸（24a）（24b）がベースプレート（2
2）の回転軸（21）を中心とした円の同一円周上に設け
られていることにより、この同一円周上にキャリア
（６）がセットされ、上記ベースプレート（22）の回転
時にも、上記円周上を回転し、この円周上から外れるこ
とはない。このため、最小スペースでキャリア（６）を
回転させることができ、小スペースで且つ容易な移替え
を可能としている。
（20）により、キャリア（６）内に収納されているウエ
ハ（３）を５枚づつ或いは１枚ずつ上記ボート（４）に
移替える。この時、必要に応じてモニタ用ウエハ或いは
ダミーウエハを移替えても良い。この移替に際して、上
記キャリア（６）は総て移載機構（８）の方向を向いて
いるため、この移載機構（８）は、昇降，回転，支持ア
ーム（19）（20）の進退の駆動のみで、XY方向に移動す
る機構を必要としない。また、キャリア収納体（23a）
（23b）の回転軸（24a）（24b）がベースプレート（2
2）の回転軸（21）を中心とした円の同一円周上に設け
られていることにより、この同一円周上にキャリア
（６）がセットされ、上記ベースプレート（22）の回転
時にも、上記円周上を回転し、この円周上から外れるこ
とはない。このため、最小スペースでキャリア（６）を
回転させることができ、小スペースで且つ容易な移替え
を可能としている。
そして、上記移替えが終了すると、ウエハ（３）等が
収納されたボート（４）を、ボート載置台（５）の移動
により反応管（１）直下へ移動設定する。更に、上記ボ
ート載置台（５）を上昇させて、ボート（４）を反応管
（１）内に設定する、この時、ボート載置台（５）に載
置されている蓋体（12）を上記反応管（１）下端部に当
接させ、反応管（１）内部を気密に設定する。そして、
ヒータ（９）により反応管（１）内を所望する温度及び
温度分布で加熱制御し、この状態で所定の処理ガスをガ
ス供給管（図示せず）から反応管（１）内に供給し、所
定の酸化，拡散,CVD処理等を施す。
収納されたボート（４）を、ボート載置台（５）の移動
により反応管（１）直下へ移動設定する。更に、上記ボ
ート載置台（５）を上昇させて、ボート（４）を反応管
（１）内に設定する、この時、ボート載置台（５）に載
置されている蓋体（12）を上記反応管（１）下端部に当
接させ、反応管（１）内部を気密に設定する。そして、
ヒータ（９）により反応管（１）内を所望する温度及び
温度分布で加熱制御し、この状態で所定の処理ガスをガ
ス供給管（図示せず）から反応管（１）内に供給し、所
定の酸化，拡散,CVD処理等を施す。
この処理終了後、処理ガスの供給を停止し、必要に応
じて上記反応管（１）内を不活性ガス例えばN2ガスに置
換した後、上記ボート載置台（５）の駆動でボート
（４）を下降させる。そして、ボート載置台（５）の移
動により上記ボート（４）をウエハ移替え位置に設定
し、このボート（４）に収納されている処理済みのウエ
ハ（３）等を、移載機構（８）の動作によりキャリア
（６）内に移替えられる。この時のキャリア（６）も、
上述した処理前の移替えと同様の移載機構（８）方向に
向くように、ベースプレート（22）及びキャリア収納体
（23a）（23b）を回転させる。そして、このベースプレ
ート（22）及びキャリア収納体（23a）（23b）をキャリ
ア受渡し方向に向くように回転させ、ロボット或いは人
手によりキャリア（６）の受渡しが行なわれて処理が終
了する。
じて上記反応管（１）内を不活性ガス例えばN2ガスに置
換した後、上記ボート載置台（５）の駆動でボート
（４）を下降させる。そして、ボート載置台（５）の移
動により上記ボート（４）をウエハ移替え位置に設定
し、このボート（４）に収納されている処理済みのウエ
ハ（３）等を、移載機構（８）の動作によりキャリア
（６）内に移替えられる。この時のキャリア（６）も、
上述した処理前の移替えと同様の移載機構（８）方向に
向くように、ベースプレート（22）及びキャリア収納体
（23a）（23b）を回転させる。そして、このベースプレ
ート（22）及びキャリア収納体（23a）（23b）をキャリ
ア受渡し方向に向くように回転させ、ロボット或いは人
手によりキャリア（６）の受渡しが行なわれて処理が終
了する。
なお、上記実施例では、キャリア（６）を６個使用し
た例について説明したが、これに限定するものではな
く、鉛直方向に配列したキャリア置き台（25）の数を増
減することで、所望の個数を設置することができる。こ
の時、キャリア置き台（25）を鉛直方向で増減すること
で、スペースを広く使用することはない。
た例について説明したが、これに限定するものではな
く、鉛直方向に配列したキャリア置き台（25）の数を増
減することで、所望の個数を設置することができる。こ
の時、キャリア置き台（25）を鉛直方向で増減すること
で、スペースを広く使用することはない。
以上述べたようにこの実施例によれば、複数枚の基板
が収納可能に構成され、ほぼ垂直状態に設置されたキャ
リア及びボート間で、上記基板を移載機構により移替え
るに際し、上記キャリアの向きが、キャリア受渡し方向
から上記移載機構の方向に向くように、上記垂直状態で
回転させることにより、上記移載機構は前後方向及び上
下方向の駆動，回転駆動のみで、XY方向への駆動の必要
はなく、また、キャリアの向きの変換においても、垂直
状態での回転であるため、小スペースで移替えを行なう
ことが可能となる。更に、上記移載機構の駆動範囲が小
さいため、スループットの向上が可能となる。
が収納可能に構成され、ほぼ垂直状態に設置されたキャ
リア及びボート間で、上記基板を移載機構により移替え
るに際し、上記キャリアの向きが、キャリア受渡し方向
から上記移載機構の方向に向くように、上記垂直状態で
回転させることにより、上記移載機構は前後方向及び上
下方向の駆動，回転駆動のみで、XY方向への駆動の必要
はなく、また、キャリアの向きの変換においても、垂直
状態での回転であるため、小スペースで移替えを行なう
ことが可能となる。更に、上記移載機構の駆動範囲が小
さいため、スループットの向上が可能となる。
また、ウエハ移替え時に、キャリアを移載機構正面に
向かせることで、総てのウエハに対して正面からハンド
リングすることができ、オリエンテーション・フラット
の位置をずらすことなく、位置を精度良く保った状態で
ボートに移替えることが可能となる。
向かせることで、総てのウエハに対して正面からハンド
リングすることができ、オリエンテーション・フラット
の位置をずらすことなく、位置を精度良く保った状態で
ボートに移替えることが可能となる。
（発明の効果） 以上要するに本発明によれば、次のような効果が得ら
れる。
れる。
（１）請求項１記載の熱処理装置によれば、キャリアと
ボートとの間で移載機構により基板の移替えを行なう場
合、一対のキャリア収納体における各キャリア置き台上
に載置されたキャリアの向きがキャリア受渡し方向から
上記移載機構の方向に向くようにベースプレートが垂直
軸回りに回転可能に設けられ、上記各キャリア収納体が
垂直軸回りに回転可能に設けられ、上記キャリア収納体
の回転軸がベースプレートの回転軸を中心とした円の同
一円周上に設けられているため、最小スペースでキャリ
アの向きを変えることが可能となると共に小空間で基板
の移替えが可能となり、熱処理装置の小型化及びスルー
プットの向上が図れる。しかも、両キャリア収納体の下
端の対向辺側に突起を設け、両突起に係合するアームを
介して前記キャリア収納体内のキャリアの向きが上記移
載機構の方向から移載機構の正面に向くように駆動する
エアシリンダを設けているため、簡単な構造で両キャリ
ア収納体を上記キャリアの向きが上記移載機構の方向か
ら移載機構の正面に向くように同時に回転駆動すること
が可能となり、熱処理装置の更なる小型化が図れる。
ボートとの間で移載機構により基板の移替えを行なう場
合、一対のキャリア収納体における各キャリア置き台上
に載置されたキャリアの向きがキャリア受渡し方向から
上記移載機構の方向に向くようにベースプレートが垂直
軸回りに回転可能に設けられ、上記各キャリア収納体が
垂直軸回りに回転可能に設けられ、上記キャリア収納体
の回転軸がベースプレートの回転軸を中心とした円の同
一円周上に設けられているため、最小スペースでキャリ
アの向きを変えることが可能となると共に小空間で基板
の移替えが可能となり、熱処理装置の小型化及びスルー
プットの向上が図れる。しかも、両キャリア収納体の下
端の対向辺側に突起を設け、両突起に係合するアームを
介して前記キャリア収納体内のキャリアの向きが上記移
載機構の方向から移載機構の正面に向くように駆動する
エアシリンダを設けているため、簡単な構造で両キャリ
ア収納体を上記キャリアの向きが上記移載機構の方向か
ら移載機構の正面に向くように同時に回転駆動すること
が可能となり、熱処理装置の更なる小型化が図れる。
（２）請求項２記載の熱処理装置によれば、上記キャリ
ア収納体におけるキャリア置き台が、基板移替え時及び
キャリア受渡し時にキャリアをベースプレートと平行に
し、ベースプレート及びキャリア収納体の回転時にキャ
リアをその基板取出し側が上方に向くように傾斜させて
おくために傾斜可能に構成されているため、基板の移替
え及びキャリアの受渡しが容易に行なえることは勿論、
ベースプレート及びキャリア収納体の回転時に遠心力で
基板がキャリア内から飛出したり、位置ずれを起こすこ
とを防止することができる。
ア収納体におけるキャリア置き台が、基板移替え時及び
キャリア受渡し時にキャリアをベースプレートと平行に
し、ベースプレート及びキャリア収納体の回転時にキャ
リアをその基板取出し側が上方に向くように傾斜させて
おくために傾斜可能に構成されているため、基板の移替
え及びキャリアの受渡しが容易に行なえることは勿論、
ベースプレート及びキャリア収納体の回転時に遠心力で
基板がキャリア内から飛出したり、位置ずれを起こすこ
とを防止することができる。
第１図は本発明の一実施例を説明するための熱処理装置
の構成図、第２図は第１図の処理部説明図、第３図は第
１図の移載機構説明図、第４図及び第５図は第１図のキ
ャリア設置台説明図、第６図は第１図熱処理装置の移替
え説明図である。 ３……ウエハ、４……ボート ５……ボート載置台、６……キャリア ７……キャリア設置台、８……移載機構 23……キャリア収納体、25……キャリア置き台
の構成図、第２図は第１図の処理部説明図、第３図は第
１図の移載機構説明図、第４図及び第５図は第１図のキ
ャリア設置台説明図、第６図は第１図熱処理装置の移替
え説明図である。 ３……ウエハ、４……ボート ５……ボート載置台、６……キャリア ７……キャリア設置台、８……移載機構 23……キャリア収納体、25……キャリア置き台
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−291335（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−143883（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−310429（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−290616（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−26235（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−29945（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−79646（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】複数枚の基板が収納可能な垂直状態のキャ
リアと、基板移替え位置に垂直状態に設定されたボート
との間で、上記基板を移載機構により移替えるようにし
た熱処理装置において、上記キャリアを垂直方向に所定
の間隔で複数個載置可能なキャリア置き台を有する一対
のキャリア収納体を同一方向へ臨ませた状態でベースプ
レート上に並設し、上記キャリア収納体内のキャリアの
向きがキャリア受渡し方向から上記移載機構の方向に向
くように上記ベースプレートを垂直軸回りに回転可能に
設け、更に上記各キャリア収納体をベースプレート上に
垂直軸回りに回転可能に設け、上記キャリア収納体の回
転軸がベースプレートの回転軸を中心とした円の同一円
周上に設けられており、両キャリア収納体の下端の対向
辺側に突起を設けると共に、両突起に係合するアームを
介して上記キャリア収納体内のキャリアの向きが上記移
載機構の方向から移載機構の正面に向くように駆動する
エアシリンダを設けたことを特徴とする熱処理装置。 - 【請求項２】上記キャリア収納体におけるキャリア置き
台が、基板移替え時及びキャリア受渡し時にキャリアを
ベースプレートと平行にし、ベースプレート及びキャリ
ア収納体の回転時にキャリアをその基板取出し側が上方
に向くように傾斜させておくために傾斜可能に構成され
ていることを特徴とする請求項１記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6907689A JP2719718B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6907689A JP2719718B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02263454A JPH02263454A (ja) | 1990-10-26 |
| JP2719718B2 true JP2719718B2 (ja) | 1998-02-25 |
Family
ID=13392128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6907689A Expired - Fee Related JP2719718B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2719718B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020019414A (ko) * | 2000-09-05 | 2002-03-12 | 엔도 마코토 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 장치를 이용한 반도체디바이스 제조 방법 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6126235A (ja) * | 1984-07-16 | 1986-02-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ウエハの移し替え装置 |
| JPS61291335A (ja) * | 1985-06-19 | 1986-12-22 | Denkoo:Kk | 半導体移換え装置 |
| JPS6379646U (ja) * | 1985-12-04 | 1988-05-26 | ||
| JPS62290616A (ja) * | 1986-06-05 | 1987-12-17 | Tokyo Electron Ltd | ウエハ搬送機構 |
| JPS6329945U (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-27 | ||
| US4806899A (en) * | 1987-04-20 | 1989-02-21 | Airpax Corporation | Thermal circuit breaker |
| JPS63310429A (ja) * | 1987-06-11 | 1988-12-19 | Metsukusu:Kk | 搬送装置 |
-
1989
- 1989-03-20 JP JP6907689A patent/JP2719718B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02263454A (ja) | 1990-10-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |