CN113911695A - 一种变节距机构 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种变节距机构。该机构包括机架，机架包括间隔设置的第一支撑臂和第二支撑臂，第一支撑臂上设置有第一变节距组件，第二支撑臂上设置有第二变节距组件，还包括驱动组件，驱动组件分别与第一变节距组件和第二变节距组件相连，驱动组件通过驱动第一变节距组件和第二变节距组件进而使得各个硅片相互靠拢或相互分散。本申请的机构通过第一支撑臂上的硅片定位件和第二支撑臂的硅片定位件可对花篮内硅片拾取，通过驱动组件可驱动第一变节距组件和第二变节距组件运动，实现硅片相互靠拢或相互分散，这样就可实现对硅片的节距进行调整。整个过程运行平稳。

Description

一种变节距机构
技术领域
本发明涉及硅片制造领域，特别是涉及变节距机构。
背景技术
硅片在制造生产过程中，有些工序需要将硅片与硅片之间的距离进行调节，也就是硅片变节距操作。
传统的硅片变节距装置整体结构比较笨重，结构比较复杂，运行不够平稳。
发明内容
基于此，提供一种变节距机构。该机构结构比较简单且运行平稳。
一种变节距机构，包括机架，所述机架包括间隔设置的第一支撑臂和第二支撑臂，所述第一支撑臂上设置有第一变节距组件，所述第二支撑臂上设置有第二变节距组件，
所述第一变节距组件包括第一调节板以及多个硅片定位组件，所述第二变节距组件包括第二调节板以及多个硅片定位组件，
所述第一支撑臂上由上到下依次间隔设置有多个横向导轨，每个横向导轨上设置有多个滑块，每个滑块上安装有一个硅片定位组件，所述硅片定位组件包括导向件、支撑件以及硅片定位件，导向件和硅片定位件都安装在支撑件上，所述第一调节板由上到下间隔设置有多个导向长孔，多个导向件与多个导向长孔一一对应，且导向件由对应的导向长孔导向，
所述第二支撑臂上由上到下依次间隔设置有多个横向导轨，每个横向导轨上设置有多个滑块，每个滑块上安装有一个硅片定位组件，所述硅片定位组件包括导向件、支撑件以及硅片定位件，导向件和硅片定位件都安装在支撑件上，所述第二调节板由上到下间隔设置有多个导向长孔，多个导向件与多个导向长孔一一对应，且导向件由对应的导向长孔导向，
还包括驱动组件，所述驱动组件分别与第一调节板和第二调节板相连，所述驱动组件通过驱动第一调节板和第二调节板直线移动，促使第一调节板的导向长孔驱动对应的导向件移动，进而使得第一调节板对应的各个硅片定位组件沿横向导轨相互靠拢或相互分散，同时，促使第二调节板的导向长孔驱动对应的导向件移动，进而使得第二调节板对应的各个硅片定位组件沿横向导轨相互靠拢或相互分散。
本申请的机构通过第一支撑臂上的硅片定位件和第二支撑臂的硅片定位件可对花篮内硅片拾取，通过驱动组件可驱动第一调节板和第二调节板运动，进而促使第一支撑臂上的硅片定位件和第二支撑臂的硅片定位件相互靠拢或相互分散，这样就可实现对硅片的节距进行调整。整个过程运行平稳。
在其中一个实施例中，所述硅片定位件包括主体部以及设置在主体部一端的硅片夹持槽。
在其中一个实施例中，所述主体部上位于硅片夹持槽的外侧设置有V形导向口，所述V形导向口与所述硅片夹持槽连通。
在其中一个实施例中，所述硅片夹持槽远离V形导向口的一端设置有垫片。
在其中一个实施例中，一个主体部上设置有两个硅片夹持槽。
在其中一个实施例中，所述机架上还设置有位置传感器，所述位置传感器用于检测驱动组件的运行位置。
在其中一个实施例中，所述导向条孔倾斜设置。
在其中一个实施例中，所述驱动组件设置在机架上，还包括用于驱动机架直线移动的机架驱动机构。
在其中一个实施例中，所述驱动组件包括驱动架以及与驱动架相连的电机组件，所述驱动架分别与所述第一调节板和第二调节板相连。
在其中一个实施例中，所述第一支撑臂和第二支撑臂上分别设置有竖向导轨，所述竖向导轨上设置有滑块，所述驱动架的两端分别与第一支撑臂上的竖向导轨上的滑块以及第二支撑臂上的竖向导轨上的滑块相连。
附图说明
图1为本申请的实施例的变节距机构的装配图。
图2为本申请的实施例的变节距机构的第一调节板与硅片定位组件配合的示意图。
图3为本申请的实施例的变节距机构的安装在滑块上的硅片定位组件的示意图。
图4为本申请的实施例的变节距机构的横向导轨以及竖向导轨的布置方式示意图。
图5为本申请的实施例的变节距机构的位置传感器的布置方式示意图。
其中：
110、机架 111、第一支撑臂 112、第二支撑臂
120、第一变节距组件 121、第一调节板 121a、导向长孔
130、第二变节距组件 131、第二调节板 140、驱动组件
141、驱动架 142、伺服电机 143、丝杠机构 150、机架驱动机构
161、导向件 162、支撑件 163、硅片定位件 164、垫片
171、横向导轨 172、滑块 173、竖向导轨 174、滑块
181、检测机构 182、感应片。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。
如图1至图4所示，本申请的实施例提供了一种变节距机构，该机构包括机架110，所述机架110包括间隔设置的第一支撑臂111和第二支撑臂112。所述第一支撑臂111上设置有第一变节距组件120，所述第二支撑臂112上设置有第二变节距组件130。
所述第一变节距组件120包括第一调节板121以及多个硅片定位组件，所述第二变节距组件130包括第二调节板131以及多个硅片定位组件。
所述第一支撑臂111上由上到下依次间隔设置有多个横向导轨171，每个横向导轨171上设置有多个滑块172，每个滑块172上安装有一个硅片定位组件。所述硅片定位组件包括导向件161、支撑件162以及硅片定位件163，导向件161和硅片定位件163都安装在支撑件162上，所述第一调节板121由上到下间隔设置有多个导向长孔121a，多个导向件161与多个导向长孔121a一一对应，且导向件161由对应的导向长孔121a导向。
所述第二支撑臂112上由上到下依次间隔设置有多个横向导轨171，每个横向导轨171上设置有多个滑块172，每个滑块172上安装有一个硅片定位组件。所述硅片定位组件包括导向件161、支撑件162以及硅片定位件163，导向件161和硅片定位件163都安装在支撑件162上，所述第二调节板131由上到下间隔设置有多个导向长孔，多个导向件161与多个导向长孔一一对应，且导向件161由对应的导向长孔导向。
在上述基础上，还包括驱动组件140，所述驱动组件140分别与第一调节板121和第二调节板131相连。所述驱动组件140通过驱动第一调节板121和第二调节板131直线移动，促使第一调节板121的导向长孔121a驱动对应的导向件161移动，进而使得第一调节板121对应的各个硅片定位组件沿横向导轨171相互靠拢或相互分散。同时，还促使第二调节板131的导向长孔121a驱动对应的导向件161移动，进而使得第二调节板131对应的各个硅片定位组件沿横向导轨171相互靠拢或相互分散。
上述变节距机构在应用时，先将上述变节距机构安装在一个机械手上或者安装在一个竖直驱动机构上。
然后，将装载有硅片的花篮移动至本申请的变节距机构上方。接着将变节距机构整体向上移动，通过第一变节距组件120上的硅片定位组件和第二变节距组件130上的硅片定位组件将花篮内的各个硅片拾取并顶出花篮。此时，各个硅片由对应的硅片定位组件定位支撑。
接着，通过驱动组件140来驱动第一调节板121和第二调节板131上升或下降，相应的调节板上的导向长孔121a会促使导向件161运动，导向件161会带动对应的硅片定位组件运动，这样就可使各个硅片定位组件沿横向导轨171相互靠拢或相互分散，从而实现对硅片节距的调节。
例如，如图2所示，第一调节板121上各个导向长孔121a倾斜设置，各个导向长孔121a的上端相互聚拢。这样设置后，当第一调节板121向上移动时，各个硅片定位组件沿横向导轨171相互分散，硅片节距变大。硅片节距调整完毕后，可由其它带有载具的机械手将各个硅片拾取后转移至下道工序进行处理。对硅片处理完毕后，可再将各个硅片放回至本申请的变节距机构上，并由对应的硅片定位组件支撑。接着，第一调节板121向下移动，各个硅片定位组件沿横向导轨171相互靠拢，硅片节距变小，然后将上述变节距机构整体下降，使硅片重新由花篮内的结构支撑定位。
可以理解，上述只是举出了一个具体的应用方式。本申请的上述变节距机构不局限于上述的应用方式。
在其中一个实施例中，所述硅片定位件163包括主体部以及设置在主体部一端的硅片夹持槽。上述硅片夹持槽用于夹持硅片。
在其中一个实施例中，所述主体部上位于硅片夹持槽的外侧设置有V形导向口，所述V形导向口与所述硅片夹持槽连通。
使用时，硅片先进入V形导向口，然后再进入硅片夹持槽内。上述V形导向口有利于硅片顺利进入硅片夹持槽内。
在其中一个实施例中，所述硅片夹持槽远离V形导向口的一端设置有垫片164。上述垫片164可防止硅片夹持槽崩边。
在其中一个实施例中，一个主体部上设置有两个硅片夹持槽。可以理解，一个主体部上也可以设置1个硅片夹持槽。
在其中一个实施例中，所述导向条孔倾斜设置。如图2所示，在调节板上的导向条孔倾斜设置，导向条孔的上端相互靠拢，导向条孔的下端相互分散。
上述设置方式，可使调节板在上升或下降后，促使导向条孔驱动对应的导向件161运动，进而使导向件161带动对应的硅片定位组件沿横向导轨171移动。
在其中一个实施例中，所述驱动组件140设置在机架110上，还包括用于驱动机架110直线移动的机架驱动机构150。
具体的，上述机架驱动机构150可应用现有的直线驱动组件140即可。只要能实现将机架110进行升降即可。
在其中一个实施例中，所述驱动组件140包括驱动架141以及与驱动架141相连的电机组件，所述驱动架141分别与所述第一调节板121和第二调节板131相连。
具体的，电机组件可由伺服电机142和丝杠机构143组成。伺服电机142与丝杠机构143相连，驱动架141安装在丝杠机构143上。通过伺服电机142驱动丝杠机构143运转，进而促使驱动架141进行直线移动。
在其中一个实施例中，如图5所示，所述机架110上还设置有位置传感器，所述位置传感器用于检测驱动组件140的运行位置。
上述位置传感器包括检测机构181和感应片182，感应片182可安装在驱动组件140的驱动架141上，检测机构181安装在机架110上，检测机构181上设置两个检测位置，感应片182移动至两个检测位置处后，位置传感器可产生相应的位置信号。
上述位置传感器的设置，可使第一调节板121和第二调节板131的运动轨迹更加精确可控。
在其中一个实施例中，所述第一支撑臂111和第二支撑臂112上分别设置有竖向导轨173，所述竖向导轨173上设置有滑块174，所述驱动架141的两端分别与第一支撑臂111上的竖向导轨173上的滑块174以及第二支撑臂112上的竖向导轨173上的滑块174相连。
这样设置，驱动架141的两端可分别沿对应的竖向导轨173移动。使得驱动架141的移动更加平稳顺畅。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种变节距机构，其特征在于，包括机架，所述机架包括间隔设置的第一支撑臂和第二支撑臂，所述第一支撑臂上设置有第一变节距组件，所述第二支撑臂上设置有第二变节距组件，
所述第一变节距组件包括第一调节板以及多个硅片定位组件，所述第二变节距组件包括第二调节板以及多个硅片定位组件，
所述第一支撑臂上由上到下依次间隔设置有多个横向导轨，每个横向导轨上设置有多个滑块，每个滑块上安装有一个硅片定位组件，所述硅片定位组件包括导向件、支撑件以及硅片定位件，导向件和硅片定位件都安装在支撑件上，所述第一调节板由上到下间隔设置有多个导向长孔，多个导向件与多个导向长孔一一对应，且导向件由对应的导向长孔导向，
所述第二支撑臂上由上到下依次间隔设置有多个横向导轨，每个横向导轨上设置有多个滑块，每个滑块上安装有一个硅片定位组件，所述硅片定位组件包括导向件、支撑件以及硅片定位件，导向件和硅片定位件都安装在支撑件上，所述第二调节板由上到下间隔设置有多个导向长孔，多个导向件与多个导向长孔一一对应，且导向件由对应的导向长孔导向，
还包括驱动组件，所述驱动组件分别与第一调节板和第二调节板相连，所述驱动组件通过驱动第一调节板和第二调节板直线移动，促使第一调节板的导向长孔驱动对应的导向件移动，进而使得第一调节板对应的各个硅片定位组件沿横向导轨相互靠拢或相互分散，同时，促使第二调节板的导向长孔驱动对应的导向件移动，进而使得第二调节板对应的各个硅片定位组件沿横向导轨相互靠拢或相互分散。
2.根据权利要求1所述的变节距机构，其特征在于，所述硅片定位件包括主体部以及设置在主体部一端的硅片夹持槽。
3.根据权利要求2所述的变节距机构，其特征在于，所述主体部上位于硅片夹持槽的外侧设置有V形导向口，所述V形导向口与所述硅片夹持槽连通。
4.根据权利要求3所述的变节距机构，其特征在于，所述硅片夹持槽远离V形导向口的一端设置有垫片。
5.根据权利要求2所述的变节距机构，其特征在于，一个主体部上设置有两个硅片夹持槽。
6.根据权利要求1所述的变节距机构，其特征在于，所述机架上还设置有位置传感器，所述位置传感器用于检测驱动组件的运行位置。
7.根据权利要求1所述的变节距机构，其特征在于，所述导向条孔倾斜设置。
8.根据权利要求1所述的变节距机构，其特征在于，所述驱动组件设置在机架上，还包括用于驱动机架直线移动的机架驱动机构。
9.根据权利要求1所述的变节距机构，其特征在于，所述驱动组件包括驱动架以及与驱动架相连的电机组件，所述驱动架分别与所述第一调节板和第二调节板相连。
10.根据权利要求9所述的变节距机构，其特征在于，所述第一支撑臂和第二支撑臂上分别设置有竖向导轨，所述竖向导轨上设置有滑块，所述驱动架的两端分别与第一支撑臂上的竖向导轨上的滑块以及第二支撑臂上的竖向导轨上的滑块相连。
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