CN208385434U - 一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构，包括支架、安装在所述支架上的升降组件和顶片部，所述升降组件可带动所述顶片部相对所述支架上升或下降，其中，所述支架包括竖直设置的前侧板、后侧板及连接在所述前侧板和后侧板之间的顶板和底板；所述升降组件包括伺服电机和由所述伺服电机驱动的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括螺杆和套设在所述螺杆上的滚珠螺母，所述螺杆的上端和下端分别连接在所述顶板和底板上；所述顶片部包括水平连接在所述滚珠螺母上的支撑座和对称安装在所述支撑座左右两侧的两组顶片组件。所述顶片机构，实现了硅片承载花篮上太阳能电池硅片的一步式顶出，缩短了顶出承载花篮上硅片所耗时间，提高了生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池领域，具体涉及一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构。
背景技术
在晶体硅太阳能电池的生产工艺中，扩散是核心工序之一。晶体硅太阳能电池扩散工艺的原理是在高温密闭的管式扩散炉内，通过液态磷源(或硼源)的挥发，在硅片表面沉积磷原子(或硼原子)，然后向硅片体内扩散，形成 p-n 结。目前，晶体硅太阳能电池的扩散工艺过程是先将硅片放置在载具中，再送入扩散炉腔内进行扩散，以在硅片表面形成均匀的高质量的 p-n 结，提升电池效率。行业内通常采用承载花篮作为硅片载具，硅片被插入至承载花篮的卡槽内，再送入扩散炉内进行扩散。完成扩散后，采用顶片机构将花篮内的硅片顶出，再由真空吸盘机构将顶出的硅片抓取并转移。
请参阅图1，现有技术中，由于制造工艺的限制，在承载花篮1的中部设有一条19.32mm的间隔2，该间隔2将花篮分隔成前承载区201和后承载区202两部分，现有的顶片机构先将该前承载区201上的硅片顶出，顶出的所述硅片由真空吸盘机构抓取并转移后，该顶片机构下降复位并向后平移半个花篮长度的距离后，再将该后承载区202上的硅片顶出，真空吸盘机构再次抓取顶出的硅片，故，现有的顶片机构无法实现承载花篮1上硅片的一步式顶出，耗时长，生产效率低下。
实用新型内容
鉴于以上现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构，提高了自硅片承载花篮上取出硅片的效率。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：提供一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构，所述顶片机构包括支架、安装在所述支架上的升降组件和顶片部，所述升降组件可带动所述顶片部相对所述支架上升或下降，其中，
所述支架包括竖直设置的前侧板、后侧板及连接在所述前侧板和后侧板之间的顶板和底板；
所述升降组件包括伺服电机和由所述伺服电机驱动的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括螺杆和套设在所述螺杆上的滚珠螺母，所述螺杆的上端和下端分别连接在所述顶板和底板上；
所述顶片部包括水平连接在所述滚珠螺母上的支撑座和对称安装在所述支撑座左右两侧的两组顶片组件；
所述顶片组件包括固定板和安装在所述固定板上的前顶片组件和后顶片组件；所述固定板安装在所述支撑座上，所述后顶片组件固定设置在所述固定板上，所述前顶片组件可相对所述固定板前后滑行；
所述前顶片组件包括第一基板及平行间隔安装在所述第一基板上的第一左托齿和第一右托齿，所述第一基板可相对所述固定板前后滑行；所述后顶片组件包括第二基板及平行间隔安装在所述第二基板上的第二左托齿和第二右托齿；所述第一左托齿和第一右托齿之间的距离大于所述第二左托齿和第二右托齿之间的距离，所述第一左托齿设在所述第二左托齿的左侧，所述第一右托齿设在所述第二右托齿的右侧。
作为对上述方案的改进，所述顶片部还包括与所述固定板相连的第一滑板和第二滑板，在所述前侧板、后侧板上设置有竖直导轨，所述竖直导轨上连接有升降滑块，所述第一滑板、第二滑板连接在所述升降滑块上。
作为对上述方案的改进，在所述固定板上设置有水平导轨，所述水平导轨上连接有平移滑块，所述第一基板连接在所述平移滑块上。
作为对上述方案的改进，所述第一基板由设置在所述固定板底部的第一气缸驱动相对所述固定板前后滑行。
作为对上述方案的改进，所述顶片组件还包括连接在所述固定板上前后延伸的托条，所述托条位于所述前顶片组件及所述后顶片组件的中部，所述托条由设置在所述固定板底部的第二气缸驱动相对所述固定板上升或下降。
作为对上述方案的改进，所述第一左托齿、第一右托齿、第二左托齿和第二右托齿包括托架及并排设置在所述托架上的多个顶齿，每相邻两个所述顶齿之间限定出一个凹槽。
本实用新型所提供的用于自花篮上取出硅片的顶片机构，实现了硅片承载花篮上太阳能电池硅片的一步式顶出，缩短了取出承载花篮上硅片所耗的时间，提高了生产效率。
附图说明
图1是现有技术中硅片承载花篮的结构示意图；
图2是本实用新型实施例中用于自花篮上取出硅片的顶片机构的结构示意图；
图3是本实用新型实施例中用于自花篮上取出硅片的顶片机构的正视图；
图4是本实用新型实施例中用于自花篮上取出硅片的顶片机构的俯视图；
图5是本实用新型实施例中用于自花篮上取出硅片的顶片机构的左视图；
图6是图1的A部放大图。
附图中各部件的标记如下：1-承载花篮；2-间隔；201-前承载区；202-后承载区；10-支架；11-前侧板；12-后侧板；110、120-竖直导轨；111、121-升降滑块；13-顶板；14-底板；20-伺服电机；21-滚珠丝杠；210-螺杆；211-滚珠螺母；30-顶片组件；31-支撑座；32-固定板；320-水平导轨；321-平移滑块；322-第一气缸；33-前顶片组件；330-第一基板；331-第一左托齿；332-第一右托齿；34-后顶片组件；340-第二基板；341-第二左托齿；342-第二右托齿；3310-托架；3311-顶齿；3312-凹槽；35-第一滑板；36-第二滑板；37-托条。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语 “上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。 在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
本实用新型提供了一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构，可置于硅片承载花篮的下方，将硅片承载花篮上装载的太阳能电池硅片进行一步式顶出，缩短了取出承载花篮上硅片所耗时间，提高了生产效率。
请参阅图2-图5，图2示出了本实用新型实施例中用于自花篮上取出硅片的顶片机构的立体结构，图3-图5分别示出了所述顶片机构的正视、俯视和左视结构，所述顶片机构包括支架10、安装在所述支架10上的升降组件和顶片部，所述升降组件可带动所述顶片部相对所述支架10上升或下降。当所述顶片部上升时，将置于其上方的硅片承载花篮上的硅片顶出，以便于真空吸盘机构抓取；而后所述顶片部下降复位。
需要说明的是，本文中，“前”指图3中垂直于纸面向外的方向，“后”指图3中垂直于纸面向内的方向，“左”、“右”指图3、图4中的左右方向。
所述支架10包括竖直设置的前侧板11、后侧板12及连接在所述前侧板11和后侧板12之间的顶板13和底板14。
所述升降组件包括伺服电机20和由所述伺服电机20驱动的滚珠丝杠21，所述滚珠丝杠21包括螺杆210和套设在所述螺杆210上的滚珠螺母211，所述螺杆210的上端和下端分别连接在所述顶板13和底板14上。
所述顶片部包括水平设置的支撑座31和对称安装在所述支撑座31左右两侧的两组顶片组件30，每组所述顶片组件30可对应顶出一个承载花篮上的硅片。
具体的，所述螺杆210由所述伺服电机20驱动转动，所述螺杆210的旋转运动可转化为所述滚珠螺母211的直线运动，所述支撑座31连接在所述滚珠螺母211上，当所述螺杆沿不同方向旋转时，所述支撑座31随所述滚珠螺母211竖直上升或下降，从而带动两组所述顶片组件30上升或下降。
本实施例中，所述顶片组件30包括固定板32和安装在所述固定板32上的前顶片组件33和后顶片组件34，所述固定板32安装在所述支撑座31上，其中，所述前顶片组件33用于对应顶起承载花篮前承载区上的硅片，所述后顶片组件34用于对应顶起承载花篮后承载区上的硅片。
进一步的，所述顶片部还包括与所述固定板32相连的第一滑板35和第二滑板36，在所述前侧板11、后侧板12上设置有竖直导轨110、120，所述竖直导轨110、120上连接有升降滑块111、121，所述第一滑板35、第二滑板36连接在所述升降滑块111、121上，当所述支撑座31带动所述顶片组件30上升或下降时，所述固定板32带动所述第一滑板35、第二滑板36沿所述竖直导轨110、120上升或下降。
所述前顶片组件33包括第一基板330及平行间隔安装在所述第一基板330上的第一左托齿331和第一右托齿332；所述后顶片组件34包括第二基板340及平行间隔安装在所述第二基板340上的第二左托齿341和第二右托齿342。
当所述顶片组件30上升时，所述第一左托齿331、第一右托齿332从左右两侧支撑承载花篮前承载区上的硅片并顶起，所述第二左托齿341和第二右托齿342从左右两侧支撑承载花篮后承载区上的硅片并顶起。进一步的，请参阅图6，所述第一左托齿331、第一右托齿332、第二左托齿341和第二右托齿342包括托架3310及并排设置在所述托架3310上的多个顶齿3311，每相邻两个所述顶齿3311之间限定出一个凹槽3312，所述顶片组件30顶起硅片时，所述承载花篮前承载区上的每片硅片位于所述第一左托齿331、第一右托齿332上相对的两个所述凹槽3312内，所述承载花篮后承载区上的每片硅片位于所述第二左托齿341、第二右托齿342相对的两个所述凹槽3312内。待真空吸盘机构抓取顶起的所述硅片后，所述顶片组件30下降复位。
请参阅图2和图4，本实施例中，所述顶片组件30还包括连接在所述固定板32上沿前后方向延伸的托条37，所述托条37位于所述前顶片组件33及所述后顶片组件34的中部，用于将承载花篮内的硅片自花篮的卡槽内顶出，可同时顶出所述承载花篮上前承载区和后承载区的硅片，所述托条37可相对所述固定板32上升或下降。初始状态时，所述托条37的顶面高于所述第一左托齿331、第一右托齿332、第二左托齿341和第二右托齿342的顶面，当所述顶片组件30上升时，所述托条37的顶面先接触花篮上的硅片底部，将硅片向上推离花篮的卡槽，而后所述托条37相对所述固定板32下降，使所述托条37的顶面低于所述第一左托齿331、第一右托齿332、第二左托齿341和第二右托齿342的顶面，所述硅片落入至所述前顶片组件33和后顶片组件34上的所述凹槽3312内，所述第一左托齿331、第一右托齿332、第二左托齿341和第二右托齿342支撑并顶起承载花篮上的硅片。进一步的，所述托条37由设置在所述固定板32底部的第二气缸（图中未示出）驱动相对所述固定板32上升或下降。
本实施例中，所述后顶片组件34固定设置在所述固定板32上，所述前顶片组件33可相对所述固定板32前后滑行，具体的，所述第一基板330可相对所述固定板32前后滑行，从而带动所述第一左托齿331、第一右托齿332前后滑行，进一步的，请继续参阅图5，在所述固定板32上设置有水平导轨320，所述水平导轨320上连接有平移滑块321，所述第一基板330连接在所述平移滑块321上，所述平移滑块321可在所述水平导轨上320前后滑行。
更进一步的，所述第一基板330由设置在所述固定板32底部的第一气缸322驱动相对所述固定板32前后滑行。所述气缸322包括固定在所述固定板32上的气缸主体和插装在所述气缸主体内的气缸杆，所述气缸杆的自由端固定连接在所述第一基板330底部，所述气缸主体驱动所述气缸杆伸出或缩回，以带动所述第一基板330前后移动。
请继续参阅图2和图4，需要强调的是，本实施例中，所述第一左托齿331和第一右托齿332之间的距离大于所述第二左托齿341和第二右托齿342之间的距离，所述第一左托齿331设在所述第二左托齿341的左侧，所述第一右托齿332设在所述第二右托齿342的右侧。由于现有硅片承载花篮的前承载区和后承载区之间19.32mm的间隔，由所述第一左托齿331、第一右托齿332顶起的所述前承载区最后端的硅片与所述第二左托齿341、第二右托齿342顶起的所述后承载区最前端的硅片之间存在19.32mm的距离，本实施例中，所述顶片组件30顶起硅片后，所述第一左托齿331和第一右托齿332在所述第一基板330的带动下，向后水平滑行19.32mm的距离，以消除所述硅片间19.32mm的距离，便于真空吸盘机构的一次性抓取所有的硅片。
相较现有的顶片机构，本实用新型所提供的自花篮上取出硅片的顶片机构，其一次顶出操作可将花篮上前承载区和后承载区的硅片全部顶出，无需下降复位及平移半个花篮长度的距离，且真空吸盘机构也只需抓取一次，提高了自花篮中取出硅片的效率。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构，其特征在于，所述顶片机构包括支架、安装在所述支架上的升降组件和顶片部，所述升降组件可带动所述顶片部相对所述支架上升或下降，其中，
所述支架包括竖直设置的前侧板、后侧板及连接在所述前侧板和后侧板之间的顶板和底板；
所述升降组件包括伺服电机和由所述伺服电机驱动的滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括螺杆和套设在所述螺杆上的滚珠螺母，所述螺杆的上端和下端分别连接在所述顶板和底板上；
所述顶片部包括水平连接在所述滚珠螺母上的支撑座和对称安装在所述支撑座左右两侧的两组顶片组件；
所述顶片组件包括固定板和安装在所述固定板上的前顶片组件和后顶片组件；所述固定板安装在所述支撑座上，所述后顶片组件固定设置在所述固定板上，所述前顶片组件可相对所述固定板前后滑行；
所述前顶片组件包括第一基板及平行间隔安装在所述第一基板上的第一左托齿和第一右托齿，所述第一基板可相对所述固定板前后滑行；所述后顶片组件包括第二基板及平行间隔安装在所述第二基板上的第二左托齿和第二右托齿；所述第一左托齿和第一右托齿之间的距离大于所述第二左托齿和第二右托齿之间的距离，所述第一左托齿设在所述第二左托齿的左侧，所述第一右托齿设在所述第二右托齿的右侧。
2.根据权利要求1所述的顶片机构，其特征在于，所述顶片部还包括与所述固定板相连的第一滑板和第二滑板，在所述前侧板、后侧板上设置有竖直导轨，所述竖直导轨上连接有升降滑块，所述第一滑板、第二滑板连接在所述升降滑块上。
3.根据权利要求1所述的顶片机构，其特征在于，在所述固定板上设置有水平导轨，所述水平导轨上连接有平移滑块，所述第一基板连接在所述平移滑块上。
4.根据权利要求1所述的顶片机构，其特征在于，所述第一基板由设置在所述固定板底部的第一气缸驱动相对所述固定板前后滑行。
5.根据权利要求1所述的顶片机构，其特征在于，所述顶片组件还包括连接在所述固定板上前后延伸的托条，所述托条位于所述前顶片组件及所述后顶片组件的中部，所述托条由设置在所述固定板底部的第二气缸驱动相对所述固定板上升或下降。
6.根据权利要求1所述的顶片机构，其特征在于，所述第一左托齿、第一右托齿、第二左托齿和第二右托齿包括托架及并排设置在所述托架上的多个顶齿，每相邻两个所述顶齿之间限定出一个凹槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821121736.4U CN208385434U (zh) | 2018-07-16 | 2018-07-16 | 一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821121736.4U CN208385434U (zh) | 2018-07-16 | 2018-07-16 | 一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208385434U true CN208385434U (zh) | 2019-01-15 |
Family
ID=64962464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821121736.4U Active CN208385434U (zh) | 2018-07-16 | 2018-07-16 | 一种用于自花篮上取出硅片的顶片机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208385434U (zh) |
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|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
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