CN110900182B - 可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，包括晶圆导片模组，所述晶圆导片模组包括用于夹持晶圆片的夹持组件，还包括设置于所述晶圆导片模组正下方的升降模组、设置于所述晶圆导片模组一侧的联杆装置模组以及设置在所述晶圆导片模组下方的用于将晶圆托篮进行水平传递的水平传递模组，所述联杆装置模组包括用于驱动所述夹持组件进行夹紧或张开的第一驱动气缸，所述升降模组包括与晶圆片适配的晶圆支撑座以及用于驱动所述晶圆支撑座进行升降的第二驱动气缸。本发明通过设置晶圆片导片模组、升降模组、联杆装置模组和水平传递模组这一套稳定的机构，避免了在进行晶圆导片过程中会对晶圆产生撞击、磨耗、挤压等情形而产生破片的问题。
Description
技术领域
本发明涉及半导体工艺设备技术领域，具体为可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置。
背景技术
在半导体工艺设备中，以湿法设备为例。在晶圆装载区(Loading)与晶圆卸载区(Unloading)有进行晶圆托篮交换的需求，会在相关模组内将晶圆托篮内的晶圆片取出然后将其置入工艺用的晶圆托篮内，而进行导片动作的装置或是模组需要一套稳定的运动机构来完成，现有的导片装置常常采用夹取的方式，在进行晶圆导片过程交换托篮之时经常会对晶圆产生撞击，磨耗，挤压等情形而产生破片的问题，故在晶圆装载区(Loading)与晶圆卸载区(Unloading)建立一个具良好稳定性和可应用性的导片机构装置是极其重要的。
发明内容
本发明的目的在于提供了可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，通过设置晶圆导片模组、升降模组、联杆装置模组和水平传递模组
这一套稳定的运动机构，避免了在进行晶圆导片过程中会对晶圆产生撞击、磨耗、挤压等情形而产生破片的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，包括晶圆导片模组，所述晶圆导片模组包括用于夹持晶圆片的夹持组件，还包括设置于所述晶圆导片模组正下方的升降模组、设置于所述晶圆导片模组一侧的联杆装置模组以及设置在所述晶圆导片模组下方的用于将晶圆托篮进行水平传递的水平传递模组，所述联杆装置模组包括用于驱动所述夹持组件进行夹紧或张开的第一驱动气缸，所述升降模组包括与晶圆片适配的晶圆支撑座以及用于驱动所述晶圆支撑座进行升降的第二驱动气缸；所述水平传递模组包括用于夹持晶圆托篮且对称设置的第一托篮托架和第二托篮托架以及用于驱动第一托篮托架和第二托篮托架进行水平移动的水平驱动机构；所述第一托篮托架和第二托篮托架均为E字型结构且其上端面均安装有用于在水平移动时对相对位置进行锚定的托篮脚座传感器，所述夹持组件包括结构相同且对称设置的第一夹持座与第二夹持座，所述第一夹持座上开设有与晶圆片相适配的第二弧形复位槽；所述晶圆支撑座上开设有与晶圆片适配的第一弧形复位槽，所述第一弧形复位槽包括迫使晶圆片向对侧移动的倾斜面以及使晶圆片贴齐固定的垂直面。
优选的，所述水平驱动机构包括用于将第一托篮托架向远离第二托篮托架一侧驱动的第一磁式无杆气缸组件，以及用于将第二托篮托架向远离第一托篮托架一侧驱动的第二磁式无杆气缸组件；所述第一磁式无杆气缸组件和第二磁式无杆气缸组件的结构相同，所述第一磁式无杆气缸组件包括第一滑轨以及与第一滑轨相匹配的第一滑块，所述第一滑轨固定安装在第一支架安装板上，且所述第一滑块与第一托篮托架固定连接。
优选的，所述第一支架安装板上开设有用于使晶圆支撑座在升降模组的驱动下顺利穿过第一支架安装板的第一通孔。
优选的，所述升降模组还包括设置在支撑晶圆支撑座下方且用于支撑晶圆支撑座的支撑导杆组件，所述支撑导杆组件包括与支撑晶圆支撑座固定连接的支撑导杆，以及固定在支撑导杆下方的顶片安装板。
优选的，所述晶圆支撑座包括结构相同的第一支撑座和第二支撑座，第二驱动气缸包括升降导杆以及通过第二驱动气缸的控制与升降导杆上下滑动连接的升降连接块，所述升降连接块与顶片安装板固定连接。
优选的，所述升降导杆的顶端通过第一固定导杆夹组与第一支架安装板的下端面固定连接，升降导杆的底端通过第二固定导杆夹组与第二支架安装板的上端面固定连接。
优选的，所述第一驱动气缸通过L型调整板与水平设置的联动安装杆固定连接，所述联动安装杆的两端均转动连接有转动曲柄，所述转动曲柄包括上部曲柄和下部曲柄。
优选的，所述夹持组件放松状态下形成第一让位开口以使所述晶圆片可以从所述第一让位开口通过，所述夹持组件夹紧状态下形成第二让位开口以使所述晶圆支撑座可以从所述第二让位开口通过，且所述夹持组件夹紧状态下提供用于承接所述晶圆片的承接面。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、本发明的模组化导片装置通过设置晶圆导片模组、升降模组、联杆装、置模组和水平传递模组这一套稳定的运动机构，采用升降托举导片的方式代替夹取导片的方式，避免了在进行晶圆导片过程中会对晶圆产生撞击、磨耗、挤压等情形而产生破片的问题。
2、通过设置第一弧形复位槽和第二弧形复位槽，使得每个晶圆片都有独立的安装槽，互相不产生挤压；并且通过通过设置倾斜面和垂直面，使得晶圆片即使在微小偏差的情况下，也能够自动复位，减少了发生撞击和磨耗而破片的情况。
3、晶圆导片模组、升降模组、联杆装置模组和水平传递模组之间衔接配合紧密，不仅增加了导片的效率，而且减少了因导片过程衔接不紧密产生的晶圆片磨耗的情况。
4、通过设置托篮脚座传感器，使得导片过程衔接的更加精准，进一步减少了晶圆片磨损的情况。
附图说明
图1为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的结构示意图；
图2为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的水平传递模组的俯视图；
图3为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置中图1的A部放大结构示意图；
图4为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的升降模组的结构示意图；
图5为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的升降模组的正视图；
图6为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的升降模组的左视图；
图7为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置中图5的B步放大图；
图8为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置中第一支撑座和第二支撑座与顶片安装板连接的结构示意图；
图9为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的夹持组件的结构示意图；
图10为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的联杆装置模组的结构示意图；
图11为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的转动曲柄的结构示意图；
图12为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的联杆装置模组与夹持组件连接的结构示意图；
图13为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的升降模组举升晶圆的第一状态结构示意图；
图14为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的夹持组件夹持晶圆的第二状态结构示意图。
图中：1、夹持组件；101、第一夹持座；102、第二夹持座；1011、第二弧形复位槽；1012、第一侧挡板；1013、第二侧挡板；2、升降模组；201、第二驱动气缸；202、第一支撑座；203、第二支撑座；204、第一通孔；205、支撑导杆；206、顶片安装板；207、升降连接块；208、升降导杆；209、第一固定导杆夹组；210、第二固定导杆夹组；211、第一弧形复位槽；2111、倾斜面；2112、垂直面；3、水平传递模组；301、第一托篮托架；302、第二托篮托架；303、托篮脚座传感器；304、第一磁式无杆气缸组件；3041、第一滑轨；3042、第一滑块；305、第二磁式无杆气缸组件；4、联杆装置模组；401、第一驱动气缸；402、L型调整板；403、联动安装杆；404、转动曲柄； 4041、上部曲柄；4042、下部曲柄、405、第一轴杆；406、第二轴杆；407、转轴安装板；5、第一支架安装板；6、第二支架安装板；7、晶圆片；8、支撑架。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，本发明提供的一种实施例：一种可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，包括晶圆导片模组，所述晶圆导片模组包括用于夹持晶圆片7的夹持组件1，还包括设置于所述晶圆导片模组正下方的升降模组2、设置于所述晶圆导片模组一侧的联杆装置模组4以及设置在所述晶圆导片模组下方的用于将晶圆托篮进行水平传递的水平传递模组3，所述联杆装置模组4包括用于驱动所述夹持组件1进行夹紧或张开的第一驱动气缸401，所述升降模组2包括与晶圆片7适配的晶圆支撑座以及用于驱动所述晶圆支撑座进行升降的第二驱动气缸201；所述水平传递模组3包括用于夹持晶圆托篮且对称设置的第一托篮托架301和第二托篮托架302以及用于驱动第一托篮托架301和第二托篮托架302进行水平移动的水平驱动机构。
本发明的模组化导片装置通过设置晶圆导片模组、升降模组2、联杆装置模组4和水平传递模组3这一套稳定的运动机构，采用升降托举导片的方式代替夹取导片的方式，避免了在进行晶圆片7导片过程中会对晶圆片7产生撞击、磨耗、挤压等情形而产生破片的问题。晶圆片7导片过程的各个模组之间衔接配合紧密，不仅增加了导片的效率，而且减少了因导片过程衔接不紧密产生的晶圆片7磨耗的情况。
因为夹取导片的夹持力会对晶圆片7的侧边产生一个相互作用力，进而对晶圆片7产生挤压磨损，然而托举力对晶圆的侧边没有侧向相互作用力的作用，不会对晶圆片7产生挤压磨损，进而降低了晶圆片7产生挤压磨损的情况，具良好的稳定性和可应用性。
如图2所示，为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的水平传递模组3的俯视图，再该实施例中，所述第一托篮托架301和第二托篮托架302均为E字型结构且其上端面均安装有用于在水平移动时对相对位置进行锚定的托篮脚座传感器303。E字型结构的第一托篮托架301和第二托篮托架302的开口处用于夹持托篮（包括客户端托篮和工艺托篮）；在该实施例中，托篮脚座传感器303的数量设置为8个，对称设置在E字型开口处的两边，定位更精准，以使得导片过程衔接的更加精准，进一步减少了晶圆片7磨损的情况
本发明提供的一种实施例，所述水平驱动机构包括用于将第一托篮托架301向远离第二托篮托架302一侧驱动的第一磁式无杆气缸组件304，以及用于将第二托篮托架302向远离第一托篮托架301一侧驱动的第二磁式无杆气缸组件305。
如图3所示，为第一磁式无杆气缸组件304的放大结构示意图，第一磁式无杆气缸组件304和第二磁式无杆气缸组件305的结构相同，第一磁式无杆气缸组件304包括第一滑轨3041以及与第一滑轨3041相匹配的第一滑块3042，所述第一滑轨3041固定安装在第一支架安装板5上，且所述第一滑块3042与第一托篮托架301固定连接。第一磁式无杆气缸组件304带动滑块在第一滑轨3041上滑动，进而迫使第一滑块3042带动第一托篮托架301沿着第一滑轨3041滑动。
本发明提供的一种实施例，所述第一支架安装板5上开设有用于使晶圆支撑座在升降模组2的驱动下顺利穿过第一支架安装板5的第一通孔204。第一通孔204能够使第一支撑座202和第一支撑座202在承载晶圆片7时也可以顺利通过，但是客户端托篮和工艺托篮不能通过。
如图4所示，本发明提供的一种实施例，所述升降导杆208的顶端通过第一固定导杆夹组209与第一支架安装板5的下端面固定连接，升降导杆208的底端通过第二固定导杆夹组210与第二支架安装板6的上端面固定连接。由此增强了升降模组2的结构稳定性，避免在移动过程或承受应力同时造成偏转的情形。
如图5-图6所示，本发明提供的一种实施例，所述升降模组2还包括设置在支撑晶圆支撑座下方且用于支撑晶圆支撑座的支撑导杆205组件，所述支撑导杆205组件包括与支撑晶圆支撑座固定连接的支撑导杆205，以及固定在支撑导杆205下方的顶片安装板206。顶片安装板206由第二驱动气缸201进行驱动，进而带动支撑导杆205支撑晶圆支撑座上下运动。
本发明提供的一种实施例，所述晶圆支撑座包括结构相同的第一支撑座202和第二支撑座203，第二驱动气缸201包括升降导杆208以及通过第二驱动气缸201的控制与升降导杆208上下滑动连接的升降连接块207，所述升降连接块207与顶片安装板206固定连接。
如图7-图9所示，本发明提供的一种实施例，所述夹持组件1包括结构相同且对称设置的第一夹持座101与第二夹持座102，所述第一夹持座101上开设有与晶圆片7相适配的第二弧形复位槽1011。所述晶圆支撑座上开设有与晶圆片7适配的第一弧形复位槽211，所述第一弧形复位槽211包括迫使晶圆片7向对侧移动的倾斜面2111以及使晶圆片7贴齐固定的垂直面2112，由此可以保证晶圆片7整齐排列。通过设置第一弧形复位槽211和第二弧形复位槽1011，使得每个晶圆片7都有独立的安装槽，互相不产生挤压；并且通过通过设置倾斜面2111和垂直面2112，使得晶圆片7即使在微小偏差的情况下，也能够自动复位，减少了发生撞击和磨耗而破片的情况。
如图9所示，第一夹持座101安装在第一侧挡板1012上，第二夹持座102安装在第二侧挡板1013上，且第一侧挡板1012和第二侧挡板1013的结构相同。
如图10-图11所示，本发明提供的一种实施例，所述第一驱动气缸401通过L型调整板402与水平设置的联动安装杆403固定连接，所述联动安装杆403的两端均转动连接有转动曲柄404，所述转动曲柄404包括上部曲柄4041和下部曲柄4042；上部曲柄4041与联动安装杆403转动连接，下部曲柄4042与第一轴杆405转动连接，第一轴杆405与第一侧挡板1012固定连接，第二轴杆406贯穿第一侧挡板1012与两侧的转轴安装板407分别转动连接；转轴安装板407通过第一连接架固定安装在第一支架安装板5上；以上部曲柄4041与联动安装杆403的连接处作为第一连接点，下部曲柄4042与第一轴杆405的连接处作为第二连接点，上部曲柄4041和下部曲柄4042在第一驱动气缸401的作用下可沿着第一连接点与第二连接点的连线方向做伸缩运动。
本发明提供的一种实施例，所述夹持组件1放松状态下形成第一让位开口以使所述晶圆片7可以从所述第一让位开口通过，所述夹持组件1夹紧状态下形成第二让位开口以使所述晶圆支撑座可以从所述第二让位开口通过，且所述夹持组件1夹紧状态下提供用于承接所述晶圆片7的承接面。
如图12所示，为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的联杆装置模组4与夹持组件1连接的结构示意图；夹持组件1包括第一支撑座202和第二支撑座203，第一支撑座202和第二支撑座203的宽度小于晶圆片7的直径，且第一支撑座202和第二支撑座203的宽度小于夹持组件1夹紧时第一夹持座101与第二夹持座102之间的最小距离（第一夹持座101与第二夹持座102为了与晶圆片7相匹配，形状为弧形），以使得第一支撑座202和第二支撑座203无论在夹持组件1处于夹紧状态还是放松状态时，均能顺利从第一夹持座101和第二夹持座102之间顺利通过。
图13所示，为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的升降模组2举升晶圆片7的第一状态结构示意图；第一磁式无杆气缸组件304驱动第一托篮托架301向靠近第二托篮托架302一侧移动，移动至E型的第一托篮托架301的两个矩形开口与第一安装板上开设的第一通孔204相配合的时候停止。然后由升降模组2驱动第一支撑座202和第二支撑座203向上运动，运动至第一安装板上开设的第一通孔204处时，此时为第一状态，在该第一状态下，第一支撑座202和第二支撑座203穿过第一托篮托架301上两个矩形开口处夹持的客户端托篮，仅带动晶圆片7将要继续向上运动，但晶圆片7还未脱离客户端托篮。
图14所示，为本发明可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置的夹持组件1夹持晶圆片7的第二状态结构示意图。在第一状态下第一支撑座202和第二支撑座203穿过第一托篮托架301上两个矩形开口处夹持的客户端托篮，仅带动晶圆片7继续向上运动，直至运动到夹持组件1的上方后停止向上运动；然后启动驱动夹持组件1的第二驱动气缸201，使第二驱动气缸201收缩带动L型调整板402向下运动，进而带动上部曲柄4041与下部曲柄4042进行相对滑动使转动曲柄404拉长，并通过转动曲柄404带动第一轴杆405以第二轴杆406为中心向对侧转动90度，此时为第二状态，在该第二状态下，晶圆片7被第一支撑座202和第二支撑座203稳固夹持。
本发明提供的一种实施例，第一支架安装板5和第二支架安装板6之间通过支撑架8进行稳固连接。
具体实施：第一托篮托架301用于衔接客户端托篮，第二托篮托架302用于衔接工艺托篮。
第一步：首先将待装载晶圆片7装载到第一托篮托架301上的客户端托篮内，然后通过第一磁式无杆气缸组件304驱动第一托篮托架301向靠近第二托篮托架302一侧移动，移动至E型的第一托篮托架301的两个矩形开口与第一安装板上开设的第一通孔204相配合的时候停止。然后由升降模组2驱动第一支撑座202和第二支撑座203向上运动，运动至第一安装板上开设的第一通孔204处时，第一支撑座202和第二支撑座203将会穿过第一托篮托架301上两个矩形开口处夹持的客户端托篮，仅带动晶圆片7继续向上运动，直至运动到夹持组件1的上方后停止向上运动；然后启动驱动夹持组件1的第二驱动气缸201，使第二驱动气缸201收缩带动L型调整板402向下运动，进而带动上部曲柄4041与下部曲柄4042进行相对滑动使转动曲柄404拉长，并通过转动曲柄404带动第一轴杆405以第二轴杆406为中心向对侧旋转90度（其中，第一支撑座202和第二支撑座203的宽度小于晶圆片7的直径，且第一支撑座202和第二支撑座203的宽度小于夹持组件1夹紧时第一夹持座101与第二夹持座102之间的最小距离，以使得第一支撑座202和第二支撑座203无论在夹持组件1处于夹紧状态还是放松状态时，均能顺利从第一夹持座101和第二夹持座102之间顺利通过）。接着由升降模组2驱动第一支撑座202和第二支撑座203向下运动，运动至第一支撑座202和第二支撑座203处于夹持组件1的下方且第一支撑座202和第二支撑座203上的晶圆片7被夹持在第一夹持座101和第二夹持座102之间时，晶圆片7与第一支撑座202和第二支撑座203分离，升降模组2驱动第一支撑座202和第二支撑座203继续向下运动，运动至位于第一安装板上开设的第一通孔204之下时停止运动（为了避免影响第一托篮托架301和第二托篮托架302的运动）。
第二步：通过第一磁式无杆气缸组件304驱动第一托篮托架301载着客户端托篮向远离第二托篮托架302一侧移动，移动至不影响升降模组2驱动第一支撑座202和第二支撑座203上下运动为止。
第三步：将工艺托篮装载到第二托篮托架302上的E型开口处，然后通过第二磁式无杆气缸组件305驱动第二托篮托架302向靠近第一托篮托架301一侧移动，移动至E型的第二托篮托架302的两个矩形开口与第一安装板上开设的第一通孔204相配合的时候停止。然后由升降模组2驱动第一支撑座202和第二支撑座203向上运动，运动至第一安装板上开设的第一通孔204处时，第一支撑座202和第二支撑座203将会穿过第二托篮托架302上的两个矩形开口处夹持的工艺托篮继续向上运动，直至运动到与晶圆片7相接触时停止向上运动；然后启动驱动夹持组件1的第二驱动气缸201，使第二驱动气缸201收缩带动L型调整板402向上运动，进而带动上部曲柄4041与下部曲柄4042进行相对滑动使转动曲柄404缩短，并通过转动曲柄404带动第一轴杆405以第二轴杆406为中心向远离对侧第一轴杆405的方向转动90度，此时，晶圆片7与第一夹持座101和第二夹持座102相脱离落入到第一支撑座202和第二支撑座203上；接着由升降模组2驱动第一支撑座202和第二支撑座203向下运动，运动至第一支撑座202和第二支撑座203上的晶圆片7被夹持在工艺托篮内部时且第一支撑座202和第二支撑座203位于第一安装板上开设的第一通孔204之下时停止运动（为了避免影响第一托篮托架301和第二托篮托架302的运动）。
第四步：通过第二磁式无杆气缸组件305驱动第二托篮托架302载着工艺托篮向远离第一托篮托架301一侧移动，工艺区机械手模组将完成导片置换后的装载有晶圆片7的工艺托篮，夹取传送至工艺区进行后续操作。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (7)
1.可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，包括晶圆导片模组，所述晶圆导片模组包括用于夹持晶圆片(7)的夹持组件(1)，其特征在于：还包括设置于所述晶圆导片模组正下方的升降模组(2)、设置于所述晶圆导片模组一侧的联杆装置模组(4)以及设置在所述晶圆导片模组下方的用于将晶圆托篮进行水平传递的水平传递模组(3)，所述联杆装置模组(4)包括用于驱动所述夹持组件(1)进行夹紧或张开的第一驱动气缸(401)，所述第一驱动气缸(401)通过L型调整板(402)与水平设置的联动安装杆(403)固定连接，所述联动安装杆(403)的两端均转动连接有转动曲柄(404)，所述转动曲柄(404)包括上部曲柄(4041)和下部曲柄(4042)；所述升降模组(2)包括与晶圆片(7)适配的晶圆支撑座以及用于驱动所述晶圆支撑座进行升降的第二驱动气缸(201)；所述水平传递模组(3)包括用于夹持晶圆托篮且对称设置的第一托篮托架(301)和第二托篮托架(302)以及用于驱动第一托篮托架(301)和第二托篮托架(302)进行水平移动的水平驱动机构；所述第一托篮托架(301)和第二托篮托架(302)均为E字型结构且其上端面均安装有用于在水平移动时对相对位置进行锚定的托篮脚座传感器(303)；所述夹持组件(1)包括结构相同且对称设置的第一夹持座(101)与第二夹持座(102)，所述第一夹持座(101)上开设有与晶圆片(7)相适配的第二弧形复位槽(1011)；所述晶圆支撑座上开设有与晶圆片(7)适配的第一弧形复位槽(211)，所述第一弧形复位槽(211)包括迫使晶圆片(7)向对侧移动的倾斜面(2111)以及使晶圆片(7)贴齐固定的垂直面(2112)。
2.根据权利要求1所述的可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，其特征在于：所述水平驱动机构包括用于将第一托篮托架(301)向远离第二托篮托架(302)一侧驱动的第一磁式无杆气缸组件(304)，以及用于将第二托篮托架(302)向远离第一托篮托架(301)一侧驱动的第二磁式无杆气缸组件(305)；所述第一磁式无杆气缸组件(304)和第二磁式无杆气缸组件(305)的结构相同，所述第一磁式无杆气缸组件(304)包括第一滑轨(3041)以及与第一滑轨(3041)相匹配的第一滑块(3042)，所述第一滑轨(3041)固定安装在第一支架安装板(5)上，且所述第一滑块(3042)与第一托篮托架(301)固定连接。
3.根据权利要求2所述的可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，其特征在于：所述第一支架安装板(5)上开设有用于使晶圆支撑座在升降模组(2)的驱动下顺利穿过第一支架安装板(5)的第一通孔(204)。
4.根据权利要求1所述的可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，其特征在于：所述升降模组(2)还包括设置在支撑晶圆支撑座下方且用于支撑晶圆支撑座的支撑导杆组件，所述支撑导杆组件包括与支撑晶圆支撑座固定连接的支撑导杆(205)，以及固定在支撑导杆(205)下方的顶片安装板(206)。
5.根据权利要求4所述的可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，其特征在于：所述晶圆支撑座包括结构相同的第一支撑座(202)和第二支撑座(203)，第二驱动气缸(201)包括升降导杆(208)以及通过第二驱动气缸(201)的控制与升降导杆(208)上下滑动连接的升降连接块(207)，所述升降连接块(207)与顶片安装板(206)固定连接。
6.根据权利要求5所述的可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，其特征在于：所述升降导杆(208)的顶端通过第一固定导杆夹组(209)与第一支架安装板(5)的下端面固定连接，升降导杆(208)的底端通过第二固定导杆夹组(210)与第二支架安装板(6)的上端面固定连接。
7.根据权利要求1所述的可自由安装于湿法设备内的模组化导片装置，其特征在于：所述夹持组件（1）放松状态下形成第一让位开口以使所述晶圆片（7）可以从所述第一让位开口通过，所述夹持组件（1）夹紧状态下形成第二让位开口以使所述晶圆支撑座可以从所述第二让位开口通过，且所述夹持组件（1）夹紧状态下提供用于承接所述晶圆片（7）的承接面。
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