CN111326439B - 一种推舟位置调节装置 - Google Patents
一种推舟位置调节装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111326439B CN111326439B CN201811533764.1A CN201811533764A CN111326439B CN 111326439 B CN111326439 B CN 111326439B CN 201811533764 A CN201811533764 A CN 201811533764A CN 111326439 B CN111326439 B CN 111326439B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- boat
- horizontal
- pushing
- driving piece
- push away
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 80
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 19
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 17
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims description 8
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000005012 migration Effects 0.000 claims description 5
- 238000013508 migration Methods 0.000 claims description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 10
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本发明公开了一种推舟位置调节装置，包括推舟背板、推舟桨、以及背板升降机构，所述推舟背板上设有滑动座，所述滑动座上设有用于驱动推舟桨的承载部绕推舟桨的柄部上下摆动的俯仰角度调节机构，所述俯仰角度调节机构上设有用于驱动推舟桨靠近或远离所述推舟背板的水平位置调节机构，所述水平位置调节机构上设有用于驱动所述承载部绕所述柄部水平摆动的水平角度调节机构，所述柄部安装于所述水平角度调节机构上。本发明具有结构简单、紧凑，有利于准确对位，减少碰撞等优点。
Description
技术领域
本发明涉及晶体硅太阳能电池生产工艺设备，尤其涉及一种推舟位置调节装置。
背景技术
随着电池片工艺水平的不断提升，对于电池片生产过程中的污染控制越来越严格，减少人员的参与，避免造成工艺的不可控因素的引入，是一项有效的措施，因此要求设备的自动化程度越来越高。以扩散炉为例，在扩散炉自动化生产的过程中，需要利用推舟桨(通常为碳化硅桨)将石英舟放入石英炉管内进行工艺过程，完成工艺过程后再将石英舟取出，若碳化硅桨空间对位不准确，或者石英舟在石英管内滑动，会导致碳化硅桨碰撞石英舟，进而导致设备出现故障，降低设备的使用效率，同时也造成了部分硅片可能出现返工报废的现象，增加了电池片的不良率和生产成本。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、紧凑，有利于准确对位，减少碰撞的推舟位置调节装置。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种推舟位置调节装置，包括推舟背板、推舟桨、以及背板升降机构，所述推舟背板上设有滑动座，所述滑动座上设有用于驱动推舟桨的承载部绕推舟桨的柄部上下摆动的俯仰角度调节机构，所述俯仰角度调节机构上设有用于驱动推舟桨靠近或远离所述推舟背板的水平位置调节机构，所述水平位置调节机构上设有用于驱动所述承载部绕所述柄部水平摆动的水平角度调节机构，所述柄部安装于所述水平角度调节机构上。
作为上述技术方案的进一步改进：所述背板升降机构包括具有两端输出轴的升降驱动电机，所述升降驱动电机的两端分别通过一连接轴连接一升降减速机，所述升降减速机与所述推舟背板相连，所述连接轴与所述推舟桨平行布置。
作为上述技术方案的进一步改进：所述俯仰角度调节机构包括第一安装座、连接销、第一支撑销、连接轴承以及升降驱动件，所述升降驱动件和所述第一支撑销设于所述滑动座上，且第一支撑销位于推舟桨的承载部和升降驱动件之间，所述第一安装座上设有销孔，所述第一支撑销贯穿所述销孔，所述连接轴承设于所述第一安装座上，所述连接销贯穿所述连接轴承并与所述升降驱动件相连，所述水平位置调节机构设于所述第一安装座上。
作为上述技术方案的进一步改进：所述销孔为腰型孔。
作为上述技术方案的进一步改进：所述水平位置调节机构包括第二安装座、第一水平移动驱动件以及移动导轨，所述第一水平移动驱动件和移动导轨设于所述第一安装座上，所述第二安装座滑设于所述移动导轨上并与所述第一水平移动驱动件相连，所述水平角度调节机构设于所述第二安装座上。
作为上述技术方案的进一步改进：所述水平角度调节机构包括第一推舟桨安装座、第二推舟桨安装座、第二水平移动驱动件以及第二支撑销，所述推舟桨的柄部安装于所述第一推舟桨安装座和第二推舟桨安装座上、且第一推舟桨安装座位于推舟桨的承载部和第二推舟桨安装座之间，所述第二支撑销下端设于所述第二安装座上，上端伸入所述第一推舟桨安装座内，所述第二推舟桨安装座通过所述第二水平移动驱动件安装于所述第二安装座上。
作为上述技术方案的进一步改进：所述升降驱动件、第一水平移动驱动件以及第二水平移动驱动件均为直线单元。
作为上述技术方案的进一步改进：推舟位置调节装置还包括用于确定推舟桨和石英舟位置的视觉定位相机，所述视觉定位相机安装于所述推舟背板上。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的推舟位置调节装置，通过背板升降机构带动推舟背板、滑动座、俯仰角度调节机构、水平位置调节机构、水平角度调节机构以及推舟桨整体上下升降，从而实现石英舟的抬起和放下，通过滑动座带动俯仰角度调节机构、水平位置调节机构、水平角度调节机构以及推舟桨整体沿推舟背板的移动，从而实现石英舟进出石英炉管，通过俯仰角度调节机构调节推舟桨的承载部上下摆动、通过水平位置调节机构调节推舟桨的水平位置、通过水平角度调节机构调节推舟桨的承载部水平摆动，可以全方位的调节推舟桨的空间位置，使得推舟桨对位准确，避免与推舟桨与石英管发生碰撞，且整体结构简单、紧凑。
附图说明
图1是本发明推舟位置调节装置的立体结构示意图。
图2是本发明推舟位置调节装置背面的结构示意图。
图3是本发明中的俯仰角度调节机构的立体结构示意图。
图中各标号表示：1、推舟背板；2、推舟桨；21、承载部；22、柄部；3、滑动座；4、背板升降机构；41、升降驱动电机；42、连接轴；43、升降减速机；44、连接板；5、俯仰角度调节机构；51、第一安装座；511、销孔；512、第一垂直安装板；513、第一水平安装板；52、连接销；53、第一支撑销；54、连接轴承；55、升降驱动件；6、水平位置调节机构；61、第二安装座；611、第二水平安装板；62、第一水平移动驱动件；63、移动导轨；7、水平角度调节机构；71、第一推舟桨安装座；72、第二推舟桨安装座；73、第二水平移动驱动件；74、第二支撑销；8、视觉定位相机。
具体实施方式
以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。
图1至图3示出了本发明推舟位置调节装置的一种实施例，本实施例的推舟位置调节装置，包括推舟背板1、推舟桨2、以及背板升降机构4，推舟背板1上设有滑动座3，滑动座3上设有用于驱动推舟桨2的承载部21绕推舟桨的柄部22上下摆动的俯仰角度调节机构5，俯仰角度调节机构5上设有用于驱动推舟桨2靠近或远离推舟背板1的水平位置调节机构6，水平位置调节机构6上设有用于驱动承载部21绕柄部22水平摆动的水平角度调节机构7，柄部22安装于水平角度调节机构7上。
该推舟位置调节装置，通过背板升降机构4带动推舟背板1、滑动座3、俯仰角度调节机构5、水平位置调节机构6、水平角度调节机构7以及推舟桨2整体上下升降，从而实现石英舟的抬起和放下，通过滑动座3带动俯仰角度调节机构5、水平位置调节机构6、水平角度调节机构7以及推舟桨2整体沿推舟背板1的移动，从而实现石英舟进出石英炉管，通过俯仰角度调节机构5调节推舟桨2的承载部21上下摆动、通过水平位置调节机构6调节推舟桨2的水平位置、通过水平角度调节机构7调节推舟桨2的承载部21水平摆动，可以全方位的调节推舟桨2的空间位置，使得推舟桨2对位准确，避免与推舟桨2与石英管发生碰撞，且整体结构简单、紧凑。
进一步地，本实施例中，背板升降机构4包括具有两端输出轴的升降驱动电机41，升降驱动电机41的两端分别通过一连接轴42连接一升降减速机43，升降减速机43通过一连接板44与推舟背板1相连，连接轴42与推舟桨2平行布置。通过连接轴42将升降驱动电机41的传动位移传递给升降减速机43，带动连接板44及推舟背板1上下升降运动，结构简单、可靠。
进一步地，本实施例中，俯仰角度调节机构5包括第一安装座51、连接销52、第一支撑销53、连接轴承54以及升降驱动件55，升降驱动件55和第一支撑销53设于滑动座3上，且第一支撑销53位于推舟桨2的承载部21和升降驱动件55之间，第一安装座51上设有销孔511，第一支撑销53贯穿销孔511，连接轴承54设于第一安装座51上，连接销52贯穿连接轴承54并与升降驱动件55相连，水平位置调节机构6设于第一安装座51上，其中第一安装座51包括第一垂直安装板512和第一水平安装板513、并于两者之间设置若干加强筋以保证第一安装座51的承重能力，销孔511、连接轴承54设于第一垂直安装板512上，水平位置调节机构6设于第一水平安装板513上。工作时，升降驱动件55带动连接销52上下移动，连接销52通过连接轴承54可以带动第一垂直安装板512一侧上下移动，由于第一支撑销53会限制第一垂直安装板512另一侧的上下移动，使得第一垂直安装板512绕第一支撑销53旋转一定角度，水平位置调节机构6、水平角度调节机构7及推舟桨2整体随第一垂直安装板512旋转一定角度，也即实现推舟桨2俯仰角度的调节，结构简单、可靠，调节范围大、灵活性好，连接销52与连接轴承54配合、第一支撑销53与销孔511配合，保证了俯仰角度调节机构5动作灵活、顺畅，避免卡死。
作为优选的技术方案，本实施例中，销孔511为腰型孔，使得第一垂直安装板512既可绕第一支撑销53旋转，又可相对移动，保证动作灵活顺畅，也便于消除加工误差。
更进一步地，本实施例中，水平位置调节机构6包括第二安装座61、第一水平移动驱动件62以及移动导轨63，第一水平移动驱动件62和移动导轨63设于第一安装座51上，第二安装座61滑设于移动导轨63上并与第一水平移动驱动件62相连，水平角度调节机构7设于第二安装座61上，其中，第二安装座61采用第二水平安装板611。工作时，第一水平移动驱动件62驱动第二水平安装板611沿移动导轨63移动，实现靠近或远离推舟背板1，移动导轨63保证第二水平安装板611移动顺畅、方向准确，水平角度调节机构7、推舟桨2整体随第二水平安装板611靠近或远离推舟背板1，也即实现推舟桨2水平位置的调节。
更进一步地，本实施例中，水平角度调节机构7包括第一推舟桨安装座71、第二推舟桨安装座72、第二水平移动驱动件73以及第二支撑销74，推舟桨2的柄部22安装于第一推舟桨安装座71和第二推舟桨安装座72上、且第一推舟桨安装座71位于推舟桨2的承载部21和第二推舟桨安装座72之间，第二支撑销74下端设于第二安装座61上，上端伸入第一推舟桨安装座71内，第二推舟桨安装座72通过第二水平移动驱动件73安装于第二安装座61上。水平角度调节机构7的调节原理与俯仰角度调节机构5的调节原理基本相同，通过第二水平移动驱动件73带动第二推舟桨安装座72移动，第一推舟桨安装座71则被第二支撑销74限制无法移动，使得推舟桨2绕第二支撑销74水平摆动。
作为优选的技术方案，本实施例中，升降驱动件55、第一水平移动驱动件62以及第二水平移动驱动件73均为直线单元。其中直线单元可市购，动作灵活，控制精度高，有利于保证调节精度。
进一步地，本实施例中，推舟位置调节装置还包括用于确定推舟桨2和石英舟位置的视觉定位相机8，视觉定位相机8安装于推舟背板1上，使得高清视觉定位相机8与推舟背板1的相对位置保持不变，可将视觉定位相机8作为整个装置的参考原点，所述视觉定位相机8推舟桨2的柄部22照向推舟桨2的承载部21，可将推舟桨2、石英管、石英舟等位置参数均采集至图像识别处理系统内，视觉定位相机8与背板升降机构4、俯仰角度调节机构5、水平位置调节机构6、水平角度调节机构7相互配合实现推舟桨2空间位置的精确调节。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。
Claims (7)
1.一种推舟位置调节装置，包括推舟背板(1)、推舟桨(2)、以及背板升降机构(4)，其特征在于：所述推舟背板(1)上设有滑动座(3)，所述滑动座(3)上设有用于驱动推舟桨(2)的承载部(21)绕推舟桨的柄部(22)上下摆动的俯仰角度调节机构(5)，所述俯仰角度调节机构(5)上设有用于驱动推舟桨(2)靠近或远离所述推舟背板(1)的水平位置调节机构(6)，所述水平位置调节机构(6)上设有用于驱动所述推舟桨(2)的承载部(21)绕所述柄部(22)水平摆动的水平角度调节机构(7)，所述柄部(22)安装于所述水平角度调节机构(7)上，所述俯仰角度调节机构(5)包括第一安装座(51)、连接销(52)、第一支撑销(53)、连接轴承(54)以及升降驱动件(55)，所述升降驱动件(55)和所述第一支撑销(53)设于所述滑动座(3)上，且第一支撑销(53)位于推舟桨(2)的承载部(21)和升降驱动件(55)之间，所述第一安装座(51)上设有销孔(511)，所述第一支撑销(53)贯穿所述销孔(511)，所述连接轴承(54)设于所述第一安装座(51)上，所述连接销(52)贯穿所述连接轴承(54)并与所述升降驱动件(55)相连，所述水平位置调节机构(6)设于所述第一安装座(51)上。
2.根据权利要求1所述的推舟位置调节装置，其特征在于：所述背板升降机构(4)包括具有两端输出轴的升降驱动电机(41)，所述升降驱动电机(41)的两端分别通过一连接轴(42)连接一升降减速机(43)，所述升降减速机(43)与所述推舟背板(1)相连，所述连接轴(42)与所述推舟桨(2)平行布置。
3.根据权利要求1所述的推舟位置调节装置，其特征在于：所述销孔(511)为腰型孔。
4.根据权利要求1所述的推舟位置调节装置，其特征在于：所述水平位置调节机构(6)包括第二安装座(61)、第一水平移动驱动件(62)以及移动导轨(63)，所述第一水平移动驱动件(62)和移动导轨(63)设于所述第一安装座(51)上，所述第二安装座(61)滑设于所述移动导轨(63)上并与所述第一水平移动驱动件(62)相连，所述水平角度调节机构(7)设于所述第二安装座(61)上。
5.根据权利要求4所述的推舟位置调节装置，其特征在于：所述水平角度调节机构(7)包括第一推舟桨安装座(71)、第二推舟桨安装座(72)、第二水平移动驱动件(73)以及第二支撑销(74)，所述柄部(22)安装于所述第一推舟桨安装座(71)和第二推舟桨安装座(72)上、且第一推舟桨安装座(71)位于承载部(21)和第二推舟桨安装座(72)之间，所述第二支撑销(74)下端设于所述第二安装座(61)上，上端伸入所述第一推舟桨安装座(71)内，所述第二推舟桨安装座(72)通过所述第二水平移动驱动件(73)安装于所述第二安装座(61)上。
6.根据权利要求5所述的推舟位置调节装置，其特征在于：所述升降驱动件(55)、第一水平移动驱动件(62)以及第二水平移动驱动件(73)均为直线单元。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的推舟位置调节装置，其特征在于：还包括用于确定推舟桨(2)和石英舟位置的视觉定位相机(8)，所述视觉定位相机(8)安装于所述推舟背板(1)上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811533764.1A CN111326439B (zh) | 2018-12-14 | 2018-12-14 | 一种推舟位置调节装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811533764.1A CN111326439B (zh) | 2018-12-14 | 2018-12-14 | 一种推舟位置调节装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111326439A CN111326439A (zh) | 2020-06-23 |
| CN111326439B true CN111326439B (zh) | 2022-11-11 |
Family
ID=71171071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811533764.1A Active CN111326439B (zh) | 2018-12-14 | 2018-12-14 | 一种推舟位置调节装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111326439B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112071791A (zh) * | 2020-08-31 | 2020-12-11 | 赛姆柯(苏州)智能科技有限公司 | 一种石英舟输送安装装置及使用方法 |
| CN113151808B (zh) * | 2021-04-29 | 2023-10-27 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 桨杆装置及镀膜设备 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102760675A (zh) * | 2011-04-25 | 2012-10-31 | 青岛赛瑞达电子科技有限公司 | 扩散炉软着陆推拉舟的角度调整机构 |
| CN102760674A (zh) * | 2012-07-10 | 2012-10-31 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置 |
| CN202576562U (zh) * | 2012-04-21 | 2012-12-05 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种多冗余安全保护的pecvd推舟自动控制系统 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN206076214U (zh) * | 2016-08-25 | 2017-04-05 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 一种用于扩散炉内的石英舟传送机构 |
-
2018
- 2018-12-14 CN CN201811533764.1A patent/CN111326439B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102760675A (zh) * | 2011-04-25 | 2012-10-31 | 青岛赛瑞达电子科技有限公司 | 扩散炉软着陆推拉舟的角度调整机构 |
| CN202576562U (zh) * | 2012-04-21 | 2012-12-05 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种多冗余安全保护的pecvd推舟自动控制系统 |
| CN102760674A (zh) * | 2012-07-10 | 2012-10-31 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种用于软着陆扩散炉的推舟运动执行装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN111326439A (zh) | 2020-06-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111326439B (zh) | 一种推舟位置调节装置 | |
| CN109894792B (zh) | 一种齿轮齿条升降机装置 | |
| CN111038946A (zh) | 一种贴片机的顶板运输装置 | |
| CN107472863A (zh) | 能够自动旋转工件的输送机构 | |
| CN214878160U (zh) | 一种桥壳抬起步进输送装置 | |
| CN114803423A (zh) | 一种输送机 | |
| CN113555819A (zh) | 一种可调节式电力输送线缆安装设备 | |
| CN209853307U (zh) | 一种无级自动变间距模组 | |
| CN215574737U (zh) | 一种aoi检测的图像采集装置 | |
| CN216272883U (zh) | 一种升降结构及清洗机 | |
| CN114324161B (zh) | 一种电子芯片视觉检测装置 | |
| CN211696233U (zh) | 电动调节翘曲检测装置 | |
| CN210743921U (zh) | 一种晶圆视觉检测机的晶圆移载机构 | |
| CN114779504A (zh) | 一种对位平台装置 | |
| CN209939854U (zh) | 一种自动送料机构 | |
| CN215617626U (zh) | 一种定位装置及具有其的坡口切割工作站 | |
| CN216426039U (zh) | 一种翅片垛卸料装置 | |
| CN207958136U (zh) | 大型玻璃基板的升降装置 | |
| CN114906584B (zh) | 一种风电主轴法兰盘自动化平转装置及方法 | |
| CN216026306U (zh) | 一种可根据产品重量进行批量分拣的传送机构 | |
| CN219489465U (zh) | 一种高度可调的物料输送升降机构 | |
| CN219445673U (zh) | 一种多线切割装置的输送结构 | |
| CN220945291U (zh) | 转向架构架横梁支撑装置 | |
| CN212291482U (zh) | 电路板输送设备 | |
| CN209241125U (zh) | 一种侧方加料位置调整装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |