CN113151808B - 桨杆装置及镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种桨杆装置及镀膜设备，包括安装底座、桨杆组件、支撑件及调节组件，桨杆组件包括作为其纵长两端的调节端和承载端，调节端装配于安装底座上，承载端用于承载待承载件，支撑件与桨杆组件转动连接，且位于调节端和承载端之间，使得桨杆组件能够绕支撑件转动，调节件与调节端传动连接，且调节件被构造为用于带动调节端在第一方向运动以使得桨杆组件绕支撑件转动，第一方向与桨杆组件的纵长方向相交。如此，无论承载端是否承载了待承载件，都可以通过调节件的调节作用使得桨杆组件绕支撑件转动，进而使得承载端能够持续保持水平，避免了桨杆组件的频繁上扬和下垂现象的产生，从而对桨杆组件起到了一定的保护作用，延长了使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及光伏生产设备领域，特别涉及一种桨杆装置及镀膜设备。
背景技术
随着太阳能的不断发展，相关的光伏产品需求量也越来越大，对光伏设备的要求也越来越高。管式PECVD(等离子体增强化学气相沉积)设备是目前市场上应用非常普遍的一种光伏镀膜设备。
桨杆机构是管式PECVD设备的一个重要部件，桨杆机构的作用是将载有硅片的石墨舟送入并放置在炉管之中，然后将桨杆机构退出炉管，待石墨舟中的硅片在炉管之中完成镀膜等工艺后，再将桨杆机构伸入炉管将载有硅片的石墨舟取出。
而在桨杆机构的一端承载了石墨舟之后下垂变形，桨在承载石墨舟之后会承载石墨舟的一端容易产生下垂，卸去石墨舟之后由于失去重力压力会导致原先承载石墨舟的一端产生上扬，桨杆机构如此产生频繁上扬和下垂，增加了桨杆的故障率，使得桨杆使用寿命大大缩短。
发明内容
基于此，有必要针对传统桨杆机构产品故障率高、使用寿命短的问题，提供一种稳定效果较好、故障率小的桨杆装置及镀膜设备。
一种桨杆装置，包括：
安装底座；
桨杆组件，所述桨杆组件包括作为其纵长两端的调节端和承载端，所述调节端装配于所述安装底座上，所述承载端用于承载待承载件；
支撑件，所述支撑件与所述桨杆组件转动连接，且位于所述调节端和所述承载端之间；
调节组件，所述调节组件与所述调节端传动连接，所述调节组件被构造为用于带动所述调节端在第一方向上运动，以使得所述桨杆组件绕所述支撑件转动；
其中，所述第一方向与所述桨杆组件的纵长方向相交。
在其中一个实施例中，所述桨杆组件具有承载状态及卸载状态；
当所述桨杆组件处于承载状态，所述调节组件能够带动所述调节端运动，以使所述桨杆组件绕所述支撑件沿第一旋向转动，以抬高所述承载端；
当所述桨杆组件处于卸载状态，所述调节组件能够带动所述调节端运动，以使所述桨杆组件绕所述支撑件沿与所述第一旋向相反的第二旋向转动，以降低所述承载端。
在其中一个实施例中，所述调节组件包括调节件，所述调节件与所述调节端传动连接；
所述调节件被构造为能够带动所述调节端在所述第一方向上运动。
在其中一个实施例中，所述调节组件还包括驱动件，所述驱动件与所述调节件驱动连接，以驱动所述调节件带动所述调节端在所述第一方向上运动。
在其中一个实施例中，所述调节件包括主动齿轮和从动齿轮，所述驱动件与所述主动齿轮驱动连接，所述从动齿轮安装于所述调节端，且与所述主动齿轮啮合连接；
所述主动齿轮能够在所述驱动部的驱动下转动，并通过所述从动齿轮带动所述调节端在所述第一方向上运动，以使所述桨杆组件绕所述支撑件沿与所述主动齿轮转动方向相反的方向转动。
在其中一个实施例中，所述调节件包括调节部和活动部，所述驱动件与所述调节部驱动连接，所述活动部与所述调节端连接；
所述调节部能够带动所述活动部及所述调节端在所述第一方向上运动。
在其中一个实施例中，所述调节部包括螺杆，所述活动部包括活动板，所述活动板沿所述第一方向可移动地连接于所述安装底座，且与所述调节端连接；
所述活动板上具有一螺纹孔，所述螺杆的一端与所述驱动件的输出端固定连接，另一端螺纹连接于所述螺纹孔。
在其中一个实施例中，所述桨杆装置还包括平移组件，所述平移组件与所述安装底座连接；
所述平移组件能够带动所述桨杆组件整体沿第二方向平移；
其中，所述第二方向与所述第一方向相互垂直。
在其中一个实施例中，所述桨杆装置还包括升降组件，所述升降组件与所述安装底座连接；
所述升降组件能够带动所述桨杆组件整体沿所述第一方向平移。
根据本申请的另一个方面，提供一种镀膜设备，包括石墨舟及上述任意一实施例中提供的桨杆装置，所述石墨舟被承载于所述承载端。
上述桨杆装置，包括桨杆组件、支撑件及调节组件，桨杆包括作为其纵长两端的调节端和承载端，承载端用于承载待承载件，支撑件与桨杆组件转动连接且位于调节端和承载端之间，使得桨杆组件能够绕支撑件上转动；调节组件与调节端传动连接并被构造为用于带动调节端在第一方向上运动以使得桨杆组件绕支撑件转动，第一方向与桨杆组件的纵长方向相交，如此，无论承载端是否承载了待承载件，都可以通过调节件的调节作用使得桨杆组件绕支撑件转动从而使得承载端能够持续保持水平，避免了桨杆组件的频繁上扬和下垂现象的产生，从而对桨杆组件起到了一定的保护作用，延长了使用寿命。
附图说明
图1为本发明一实施例提供的桨杆装置的结构示意图；
图2为本发明另一实施例提供的桨杆装置的结构示意图。
附图标记：100、桨杆装置；10、底座；20、桨杆组件；21、调节端；22、承载端；30、支撑件；40、调节组件；41、调节件；411、主动齿轮；412、从动齿轮；50、平移组件；60、升降组件；200、待承载件。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
正如背景技术所述，桨杆装置100的一端是用于承载待承载件200的，比如待承载件200可为石墨舟；桨杆装置100承载石墨舟之后，将石墨舟放置于炉管，此时可将桨杆装置100退出炉管。承载石墨舟的桨杆装置100是相对脆弱的器件，由于石墨舟的本身重力，导致石墨舟在被放置到桨杆装置100一端上之后，会对桨杆装置100产生压力，从而使其产生下垂，当石墨舟被卸下，压力消失，承载石墨舟的一端又会在失去压力的瞬间上扬，从而导致桨杆装置100产生频繁的变形，容易对桨杆装置100造成破坏，从而使得桨杆装置100的使用寿命大大缩短。
结合附图1至图2所示，本实施提供的桨杆装置100包括安装底座10、桨杆组件20、支撑件30及调节组件40。桨杆组件20包括作为其纵长两端的调节端21和承载端22。调节端21装配于安装底座10上，承载端22用于承载待承载件200。支撑件30与桨杆组件20转动连接，且位于调节端21和承载端22之间，使得桨杆组件20能够绕支撑件30转动。调节件41与调节端21传动连接，且调节件41被构造为用于带动调节端21在第一方向上运动，以使得桨杆组件20绕支撑件30转动，第一方向与桨杆组件20的纵长方向相交。如此，无论承载端22是否承载了待承载件200，都可以通过调节件41的调节作用使得桨杆组件20绕支撑件30转动，进而使得承载端22能够持续保持水平，避免了桨杆组件20的频繁上扬和下垂现象的产生，从而对桨杆组件20起到了一定的保护作用，延长了使用寿命。
具体地，桨杆组件20具有承载状态和卸载状态，当桨杆组件20处于承载状态，待承载件200被装配于承载端22，由于待承载件200的重力作用会使得承载端22具有下垂趋势。此时，调节组件40能够调节端21运动以使得桨杆组件20绕支撑件30沿第一旋向转动，以抬高承载端22，同时降低调节端21。当桨杆组件20处于卸载状态，待承载件200对承载端22的压力消失，此时承载端22具有上扬趋势，调节组件40能够带动调节端21运动以使得桨杆组件20绕支撑件30沿与第一旋向相反的第二旋向转动，以降低承载端22，同时抬高调节端21。如此，保证了桨杆组件20的两个状态下，承载端22均能够保持水平，从而避免桨杆组件20频繁变形，提高了使用寿命。
可以理解的是，当承载端22保持水平，被装配于承载端22的待承载件200也能够保持水平稳定，不会在桨杆组件20上产生滑移，进而避免搬运待承载件200时产生倾覆，也使得待承载件200在桨杆组件20上的定位更加精确。
在其中一个实施例中，支撑件30设于承载端22和调节端21之间且转动连接桨杆组件20背离待承载件200的一侧，从而形成支撑点，桨杆组件20能够在支撑点的支撑作用下绕支撑点沿第一旋向(即1中的顺时针)或第二旋向(即图1中的逆时针)转动，从而调节承载端22上升或下降。
进一步地，支撑件30与桨杆组件20之间互为铰接，使得桨杆组件20绕支撑件30转动时能量损耗较低，使得转动更加的顺畅、灵活，承载端22的水平调节也更加的快捷。
在其中一个实施例中，调节组件40包括调节件41和驱动件(图未示)，驱动件与调节件41驱动连接，调节件41传动连接于调节端21，驱动件被构造为能够带动调节端21在第一方向上运动，从而抬高或降低调节端21的同时，降低或抬高承载端22，此时桨杆组件20绕支撑件30沿第一旋向或与第一旋向相反的第二旋向转动，从而实现了承载端22的水平调节。
具体地，驱动件可为气缸或伺服电机，气缸和伺服电机的输出端与调节端21连接，伺服电机能够实现正向转动或反向转动，从而将调节端21在第一方向运动以被抬高或被降低。
值得注意的是，第一方向并不是严谨的直线方向，调节端21的运动轨迹为一弧线，由于桨杆组件20的纵长长度远远大于调节端21在第一方向上的运动距离，所以在本案中可以近似的将调节端21的运动归结为直线运动。
可以理解地，由于调节组件40的调节作用，使得桨杆组件20的承载端22能够始终保持接近于水平状态，这也减小了承载端22的升降行程。桨杆装置100将待承载件200送到炉管的预设位置，在卸去待承载件200之后，承载端22压力消失会上扬现象，则桨杆组件20本身则需要下降更多的距离，使得待承载件200与桨杆装置100彻底分离才能退出。桨杆装置100在退出过程中可能与待承载件200或者炉管的内壁发生干涉从而造成破坏。而采用本实施例提供的桨杆装置100，在未装配待承载件200时也能接近于水平，与待承载件200下侧形成平行关系，不需要自身下降很多空间，也极大的减少了桨杆装置100与待承载件200和炉管接触产生破坏的可能，从而便于安全的将待承载件200搬运到预设位置以及安全的将桨杆装置100从炉管中撤出。
在其中一个实施例中，调节件41包括主动齿轮411和从动齿轮412，驱动件与主动齿轮411驱动连接，主动齿轮411能够在驱动件的驱动下转动.从动齿轮412安装于调节端21且与主动齿轮411啮合连接，当主动齿轮411转动时，通过从动齿轮412带动调节端21在第一方向上运动以使得桨杆组件20绕支撑件30沿与主动齿轮411转动方向相反的方向转动。通过主动齿轮411和从动齿轮412之间的啮合传动，使得调节件的传动平稳且能够缓冲吸振，进而使得桨杆组件20工作平稳性较高，保证了待承载件200在承载端22上的稳定性，同时结构简单、成本低、使用维护方便，提高了经济性。
具体地，可以直接将主动齿轮411设置为完全齿轮，完全齿轮的外轮廓呈完整的圆形状，从动齿轮412设置为不完全齿轮，不完全齿轮的外轮廓呈圆弧状。不完全齿轮一端与调节端21连接，且与完全齿轮互相啮合，当驱动件带动完全齿轮顺时针旋转的时候，能够带动不完全齿轮逆时针旋转。调节端21在不完全齿轮的带动下在第一方向向靠近安装底座10的一侧被降低，使得桨杆组件20绕支撑件30逆时针旋转，从而抬高承载端22。当驱动件带动完全齿轮逆时针旋转的时候，能够带动不完全齿轮顺时针旋转，调节端21在不完全齿轮的带动下在第一方向运动以向远离安装底座10的一侧被抬高，使得桨杆组件20绕支撑件30顺时针旋转，从而降低承载端22。
在其他一些实施例中，调节件41还可以设置为包括调节部(图未示)和活动部(图未示)，驱动件与调节部驱动连接，活动部与调节端21连接，调节件41能够带动活动部在第一方向运动，活动部带动调节端21在第一方向运动，使得桨杆组件20绕支撑件30转动从而将承载端22调节至水平。当调节部被降低，则承载部22则被抬高，降低了桨杆组件20承载端22下垂导致的撞舟、撞桨、刮擦等风险，提高桨杆装置100的使用寿命，且结构简单、成本低、使用维护方便，提高了经济性。
具体地，调节部包括螺杆，活动部包括活动板，活动板沿第一方向可移动的连接于安装底座上且与所述调节端连接，活动板面向螺杆的一侧开设有螺纹孔，螺纹一端与驱动件的输出轴固定连接，一端螺纹连接于螺纹孔内。驱动件能够驱动螺杆在螺纹孔内转动，从而将活动板沿第一方向下压，活动板带动调节端21降低，从而将另一侧的承载端22抬起，使得在桨杆组件20处于承载状态时保持承载端22水平。驱动件还能够驱动螺杆在螺纹孔内转动，从而将活动板沿第一方向抬高，活动板带动调节端21被抬高，从而将另一侧的承载端21降低，使得桨杆组件20处于卸载状态时保持承载端22水平，使得待承载件200的承载端22始终保持平稳状态，使用寿命更长。
在其中一个实施例中，桨杆装置100还包括平移构件50，平移构件50与安装底座10连接，平移构件50能够带动安装底座10及桨杆组件20整体沿第二方向移动，第一方向与第二方向垂直，从而带动桨杆组件20上的待承载件200实现第二方向上的平移。
在其中一个实施例中，桨杆装置100还包括升降构件60，升降构件60与安装底座10连接，升降构件60能够带动桨杆组件20沿第一方向移动，第一方向与第二方向垂直，从而带动桨杆组件20上的待承载件200实现第一方向上的平移。在待承载件200被稳定的装配于桨杆装置100上之后，可以通过平移构件50和升降构件60的调节，使得待承载件200被送到预设位置。
根据上述描述，本申请的另一方面，提供一种镀膜设备，用于进行PECVD镀膜，包括石墨舟及上述任一实施例提出的桨杆装置100，石墨舟可以稳定水平的被装配于承载端22并在桨杆装置100的带动下，被放置于加工炉管内进行加工，从而提高了石墨舟的良率，延长了桨杆装置100的使用寿命，提高了经济性，同时使得镀膜设备结构简单、占用空间减少。
本实施例提供的镀膜装置用于进行PECVD镀膜，PECVD为等离子增强化学气相沉积，等离子体作为物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物，其沉积温度低是其最突出的优点。故采用PECVD镀膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性。
上述桨杆装置100及镀膜装置，具有以下优点：
(1)通过桨杆组件20包括作为其纵长两端的调节端21和承载端22，调节端21装配于安装底座10上，承载端22用于承载待承载件200，支撑件30与桨杆组件20转动连接，且位于调节端21和承载端22之间，使得桨杆组件20能够绕支撑件30转动。调节件41与调节端21传动连接，且调节件41被构造为用于带动调节端21在第一方向运动以使得桨杆组件20绕支撑件30转动。第一方向与桨杆组件20的纵长方向相交。如此，无论承载端22是否承载了待承载件200，都可以通过调节件41的调节作用使得桨杆组件20绕支撑件30转动，进而使得承载端22能够持续保持水平，避免了桨杆组件20的频繁上扬和下垂现象的产生，从而对桨杆组件20起到了一定的保护作用，延长了使用寿命；
(2)由于当承载端22保持水平，被装配于承载端22的待承载件200也能够保持水平稳定，不会在桨杆组件20上产生滑移，进而避免搬运待承载件200时产生倾覆，也使得待承载件200在桨杆组件20上的定位更加精确；
(3)通过支撑件30与桨杆组件20之间互为铰接，使得桨杆组件20绕支撑件30转动时能量损耗较低，使得转动更加的顺畅、灵活，承载端22的水平调节也更加的快捷。
(4)由于调节组件40的调节作用，使得桨杆组件20的承载端22能够始终保持接近于水平状态，这也减小了承载端22的升降行程。桨杆装置100将待承载件200送到炉管的预设位置，在卸去待承载件200之后，承载端22压力消失会上扬现象，则桨杆组件20本身则需要下降更多的距离，使得待承载件200与桨杆装置100彻底分离才能退出，桨杆装置100在退出过程中可能与待承载件200或者炉管的内壁发生干涉从而造成破坏。而采用本实施例提供的桨杆装置100，在未装配待承载件200时也能接近于水平，与待承载件200下侧形成平行关系，不需要自身下降很多空间，也极大的减少了桨杆装置100与待承载件200和炉管接触产生破坏的可能，从而便于安全的将待承载件200搬运到预设位置以及安全的将桨杆装置100从炉管中撤出。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (7)
1.一种桨杆装置，其特征在于，包括：
安装底座；
桨杆组件，所述桨杆组件包括作为其纵长两端的调节端和承载端，所述调节端装配于所述安装底座上，所述承载端用于承载待承载件；
支撑件，所述支撑件与所述桨杆组件转动连接，且位于所述调节端和所述承载端之间；
调节组件，所述调节组件与所述调节端传动连接，所述调节组件包括调节件、驱动件，所述调节件与所述调节端传动连接，所述驱动件与所述调节件驱动连接，以驱动所述调节件带动所述调节端在第一方向上运动，以使得所述桨杆组件绕所述支撑件转动；
所述调节件包括主动齿轮和从动齿轮，所述驱动件与所述主动齿轮驱动连接，所述从动齿轮安装于所述调节端，且与所述主动齿轮啮合连接；所述主动齿轮能够在所述驱动件的驱动下转动，并通过所述从动齿轮带动所述调节端在所述第一方向上运动，以使所述桨杆组件绕所述支撑件沿与所述主动齿轮转动方向相反的方向转动；
其中，所述调节组件设置于所述桨杆组件纵长方向的一端且所述第一方向与所述桨杆组件的纵长方向相交。
2.根据权利要求1所述的桨杆装置，其特征在于，所述桨杆组件具有承载状态及卸载状态；
当所述桨杆组件处于承载状态，所述调节组件能够带动所述调节端运动，以使所述桨杆组件绕所述支撑件沿第一旋向转动，以抬高所述承载端；
当所述桨杆组件处于卸载状态，所述调节组件能够带动所述调节端运动，以使所述桨杆组件绕所述支撑件沿与所述第一旋向相反的第二旋向转动，以降低所述承载端。
3.根据权利要求1所述的桨杆装置，其特征在于，所述调节件包括调节部和活动部，所述驱动件与所述调节部驱动连接，所述活动部与所述调节端连接；
所述调节部能够带动所述活动部及所述调节端在所述第一方向上运动。
4.根据权利要求3所述的桨杆装置，其特征在于，所述调节部包括螺杆，所述活动部包括活动板，所述活动板沿所述第一方向可移动地连接于所述安装底座，且与所述调节端连接；
所述活动板上具有一螺纹孔，所述螺杆的一端与所述驱动件的输出端固定连接，另一端螺纹连接于所述螺纹孔。
5.根据权利要求1所述的桨杆装置，其特征在于，所述桨杆装置还包括平移组件，所述平移组件与所述安装底座连接；
所述平移组件能够带动所述桨杆组件整体沿第二方向平移；
其中，所述第二方向与所述第一方向相互垂直。
6.根据权利要求1所述的桨杆装置，其特征在于，所述桨杆装置还包括升降组件，所述升降组件与所述安装底座连接；
所述升降组件能够带动所述桨杆组件整体沿所述第一方向平移。
7.一种镀膜设备，其特征在于，包括石墨舟及如权利要求1～6中任意一项所述的桨杆装置，所述石墨舟被装配于所述承载端。
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