JP3567935B2 - 部材の受け渡し装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は部材の受け渡し装置に係り、特に、ICデバイスの電気的特性検査を行う際の電子部品の受け渡しに好適な装置構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、集積回路(IC)の特性検査工程においては、多数のICデバイスを順次に検査位置に配置して検査を行うためのICハンドラが用いられている。このICハンドラには、ICデバイスを吸着保持するためのコンタクトハンドが備えられている。このコンタクトハンドは、給材位置からICデバイスを搬送して、検査位置に設置された検査用ソケットにICデバイスを供給し、ICデバイスの電気的な特性検査が完了すると、ICデバイスを検査用ソケットから取り出し、排材位置まで搬送するという動作を繰り返し行うようになっている。
【0003】
ICハンドラを用いた特性検査工程においては、多数のICデバイスを短時間に検査することが要求される。ここで、検査の終了したICデバイスを検査用ソケットから取り出してから、次に測定するICデバイスを検査用ソケットに装着し、このICデバイスの外部端子を検査用ソケットに対して安定したコンタクト状態にするまでの時間を「インデックスタイム」という。上記工程では、このインデックスタイムを短縮することが最も重要な事項であり、ICハンドラの性能は、インデックスタイムの長短によって評価される。
【0004】
インデックスタイムを短縮するための最も有効な方法の一つは、一つの検査位置に対してアクセスするコンタクトハンドを複数組、通常は2組設けることである。コンタクトハンドが2組存在することによって、一方のコンタクトハンドによって検査の終了したICデバイスを検査用ソケットから取り出し、すぐに、他方のコンタクトハンドによって未検査のICデバイスを検査用ソケットに装着することが可能となるため、ICハンドラのインデックスタイムを短縮することができる。
【0005】
図9には、上述のようにしてインデックスタイムを短縮したICハンドラの概略構造を示す。このICハンドラにおいては、検査位置に配置された2つの検査用ソケット11,11に対して、その片側に配置されたシャトル35上に固定され、2つのICデバイスを受け取るための除材ステージ33と、2つのICデバイスを供給するための給材ステージ34とが用意されている。シャトル35は、その延長方向に往復移動するように構成され、除材ステージ33と給材ステージ34とを交互に所定の給排位置(ICデバイスの受け渡し位置)に配置するようになっている。
【0006】
検査用ソケット11とシャトル35との間には、旋回軸Oの周りに相互に180度の間隔で設けられた2本の旋回アーム31,31が設けられている。この2本の旋回アーム31は、垂直軸Oを中心に水平面内において一体に旋回するように構成されている。旋回アーム31の先端部には移載機構32がそれぞれ固定され、この移載機構32の下端部にコンタクトハンド5が昇降可能に取り付けられている。コンタクトハンド5は、供給ステージ34に配置された2つのICデバイスを同時に把持することができるとともに、把持した状態で検査用ソケットにICデバイスを装着することができるように構成されている。旋回アーム31の先端に配置された一方の移載機構32が検査位置の直上に位置する場合には、他方の移載機構32はシャトル35の給排位置の直上に位置するように構成されている。2つの移載機構32は交互にICデバイスを供給ステージ34から検査用ソケット11へ、逆に、検査用ソケット11から除材ステージ33へと移載するようになっている。
【0007】
図9の状態においては、検査用ソケット11の直上にあるコンタクトハンド5に図示しないICデバイスが吸着保持され、このコンタクトハンド5を下降させることによって検査用ソケット11にICデバイスが装着される。一方、シャトル35の上方にあるコンタクトハンド5には、既に検査の終了したICデバイスが保持されており、このICデバイスは、コンタクトハンド5を下降させることによりシャトル35上の給排位置に配置された除材ステージ33に格納される。
【0008】
次に、シャトル35を移動させ、給排位置に給材ステージ34を配置させた後、コンタクトハンド5が下降して給材ステージ34から未検査のICデバイスを取り出し、再び上昇する。検査ソケット11に装着されたICデバイスの特性検査が終了すると、検査の終了したICデバイスを把持しているコンタクトハンド5は上昇する。
【0009】
この状態で、2本の旋回アーム31は180度旋回し、未検査のICデバイスを把持しているコンタクトハンド5が検査用ソケット11の上方に、検査の終了したICデバイスを把持しているコンタクトハンド5がシャトル35上の給排位置の上方にそれぞれ移動される。このとき、シャトル35上の給排位置には空の除材ステージ33が配置されている。
【0010】
このICハンドラにおいては、旋回アーム31を180度ずつ旋回させながら2つのコンタクトハンド5によって交互にICデバイスの供給及び排出を行っているため、インデックスタイムは、一方のコンタクトハンド5による検査用ソケット11からのICデバイスの取り出し時間、旋回アーム31の旋回時間及び他方のコンタクトハンド5によるICデバイスの装着時間を合計した時間となる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記のICハンドラにおいては、旋回アーム31を旋回することによってICデバイスを給排位置から検査位置まで搬送しているため、ICデバイスの搬送軌跡が円弧状になり、直線的に移動する場合に較べてπ/2倍の搬送距離となる。したがって、ICデバイスを直線的に移動させる場合に較べて、インデックスタイムを同等にしようとすると、ICデバイスの搬送時に必要な搬送速度及び加速度は共に大きくなり、より大きな動力を持つ駆動源及びより剛性の高い搬送機構が必要になるという問題点がある。特に、駆動シリンダやモータなどの重量の大きい構造部を備えた移載機構32及びコンタクトハンド5をより迅速に旋回させるには、加減速を大きくする必要があるために大きな駆動力が要求されることから、搬送位置の精度や構造的な精度を保持しつつ迅速化を図ることは非常に困難である。
【0012】
また、インデックスタイムをさらに短縮する方法としては、図10に示すように、旋回アームの数を増やしたものが考えられる。図10の構造においては、旋回軸の周りに3本の旋回アーム36が設けられ、旋回アーム36相互間の角度が120度になっているために、ICデバイスの移動距離を低減することが可能となり、インデックスタイムを短縮することができるものと思われる。しかしながら、この場合には3本の旋回アーム36の先端にそれぞれ移載装置32及びコンタクトハンド5を設ける必要があることから、装置の構成要素の数が多くなるとともに可動部の重量が増大し、駆動力も大きくする必要があることから、個々の可動部の動作速度の向上に困難が伴うとともに、ICハンドラの製造コストが増大するという問題点がある。
【0013】
さらに、図10に示すようなICハンドラにおいて、それぞれのコンタクトハンド5が把持することのできるICデバイスの数及び検査用ソケット11が一度に測定することのできるICデバイスの数を共に増加させることにより、インデックスタイムを短縮しなくても検査処理能力を向上させる方法も考えられる。しかしながら、この方法においては、その数に応じてコンタクトハンド5及び検査用ソケット11の製造コストが増大し、また、コンタクトハンド5の旋回方向の寸法が長くなることによるコンタクトハンド5同士の干渉を防止するために、旋回アーム36を長くして旋回半径を増大させる必要が生じ、その結果、ICデバイスの移動距離が増加し、却ってインデックスタイムが増大してしまう場合も考えられる。
【0014】
そこで本発明は上記問題点を解決するものであり、その課題は、受け渡し装置の構成要素の数を増加させなくても、インデックスタイムを短縮することができ、処理能力を増大させることができるとともに、製造コストの上昇を抑制することのできる新規の部材の受け渡し装置を提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明が講じた手段は、部材に所定の処理を施すように構成された処理部と、
前記処理部の両側に配置され、前記処理部の横に前記部材を搬入、または、前記処理部の横から前記部材を搬出するための除給材手段を有し、
前記除給材手段は前記部材を搬入するため前記部材を保持する給材ステージと、前記部材を搬出するため前記部材を保持する除材ステージを有し、
それぞれの前記除給材手段に対応したコンタクトハンドを有する部材の受け渡し装置であって、
前記コンタクトハンドをX方向に移動させるX駆動部を有し、
各々の前記コンタクトハンドをZ方向に移動させるため、前記X駆動部に設けられたZ軸方向に移動可能な複数の可動部を有し、
前記可動部をZ方向に移動させるための動力伝達手段は、それぞれの前記除給材手段に対応して設けられ、前記可動部及び前記X駆動部とは異なる支持体に支持されるとともに、それぞれの動力伝達手段は、対応する前記コンタクトハンドと、他方の前記コンタクトハンドが前記処理部に対応するときには、該他方の前記コンタクトハンドにもZ方向の動力を伝達することを特徴とする
【0016】
また、前記コンタクトハンドは、前記部材を保持する複数の吸着ヘッドを備えたことを特徴とする。
【0017】
また、前記動力伝達手段はサーボモータを動力源とし、Z方向に移動可能なX軸方向の摺動部材を介して、前記可動部をZ方向に移動させることを特徴とする。
【0018】
また、前記コンタクトハンドは調芯機構に取り付けられたことを特徴とする。
【0019】
また、前記部材が集積回路デバイス、前記処理が検査であることを特徴とする。
【0027】
【発明の実施の形態】
次に、添付図面を参照して本発明に係る実施形態について説明する。図1乃至図4は、本発明に係る部材の受け渡し装置の実施形態の主要機構を示すものである。ここで、図1から図4に進むに従って、実施形態の一連の動作工程が順次示されるようになっている。
【0028】
この実施形態においては、フレーム10に固定されたサーボモータ1は、図示左右方向(以下、「X方向」という。)に伸びるボールネジ2を回転駆動するように構成されている。フレーム10にはX方向に伸びる2本の案内レール10aが固定されており、この案内レール10aにX駆動部12がX方向に移動自在に案内されるように取り付けられている。X駆動部12はボールネジ2に係合して、ボールネジ2の回転によってX方向に移動するようになっている。
【0029】
X駆動部12には、図示垂直方向(以下、「Z方向」という。)に移動自在に左右一対の可動部7,7が取り付けられている。これらの可動部7には、それぞれ2つの保持部であるコンタクトハンド5,5が各々調芯機構8を介して取り付けられている。このコンタクトハンド5には、後述するICデバイスを吸着保持するための吸着機構及び後述する検査用ソケットにICデバイスの外部端子を押し付けるための構造が設けられている。調芯機構8は、検査用ソケットや給材ステージ及び除材ステージにコンタクトハンド5の姿勢を合致させるための公知の機構である。
【0030】
上記可動部7に対しては、X方向に摺動自在にZ駆動部6が取り付けられている。このZ駆動部6はボールネジ4に係合し、このボールネジ4は、フレーム10に固定されたサーボモータ3に接続されている。サーボモータ3によってボールネジ4が回転すると、Z駆動部6は図示上下に移動し、可動部7を昇降させるようになっている。
【0031】
以下の説明においては、図示左側にある可動部7、Z駆動部6、ボールネジ4及びサーボモータ3からなる機構をZ1軸(駆動系)、図示右側にある可動部7、Z駆動部6、ボールネジ4及びサーボモータ3からなる機構をZ2軸(駆動系)と呼ぶ。また、X駆動部12、ボールネジ2及びサーボモータ1からなる機構をX軸駆動系と呼ぶ。
【0032】
上述の各機構の下方には、中央部に処理部として2つの検査用ソケット11が配置されている。この検査用ソケット11は、ICデバイスの外部端子に対応した検査パッドを備えており、検査用ソケット11の検査パッドにICデバイスの外部端子が接触すると、ICデバイスの電気的特性を検査することができるように構成されている。
【0033】
一方、検査用ソケット11の図示左右(X方向)の両側には、それぞれシャトル21,22が配置され、それぞれ図示前後方向に往復移動できるように構成されている。検査用ソケット11は、シャトル21とシャトル22のちょうど中間位置に配置されている。シャトル21,22上には、それぞれ、給材ステージ23及び除材ステージ24が固定されている。給材ステージ23及び除材ステージ24のいずれにおいても、可動部7に取り付けられた2つのコンタクトハンド5に対応した2つのICデバイスを収容できるようになっている。給材ステージ23は、未検査のICデバイスを2つ収容し、コンタクトハンド5に2つのICデバイスを供給するためのものであり、除材ステージ24は、コンタクトハンド5から検査済みのICデバイスを受け取り、排出するためのものである。
【0034】
上記のZ1軸は、シャトル21と検査用ソケット11との間でICデバイスを移載するようになっており、Z2軸は、シャトル22と検査用ソケット11との間でICデバイスを移載するように構成されている。X方向にX駆動部12が移動し、たとえば、Z1軸がシャトル21から検査用ソケット11へと移動すると、Z2軸は検査用ソケット11からシャトル22へと移動する。なお、図示は省略しているが、シャトル21,22の前後には、ICデバイスを給材ステージ23へ供給するためのロードロボット及びICデバイスを除材ステージ24から取り出すためのアンロードロボットが配置されている。
【0035】
上記検査装置においては、以下のような動作が行われるようになっている。まず、図1に示すように、Z1軸のコンタクトハンド5が2つのICデバイスを検査用ソケット11に押し付けて検査を行う。このとき、Z2軸のコンタクトハンド5はシャトル22上に予め設定された給排位置の上方において、給材ステージ23から取り出した2つの未検査のICデバイスを保持した状態で待機している。一方、シャトル21上の給排位置には、既に空の除材ステージ24が待機している。
【0036】
次に、検査ソケット11におけるICデバイスの検査が終了すると、Z1軸のサーボモータ3が稼動し、ボールネジ4の回転によりZ駆動部6が上昇し、Z1軸のコンタクトハンド5が検査用ソケット11から検査済みのICデバイスを引き上げる。次に、サーボモータ1が稼動し、ボールネジ2の回転によってX駆動部12は左側に移動を始める。X駆動部12が移動すると、Z1軸及びZ2軸の双方のコンタクトハンド5は共に図示左側へと移動し、やがて、Z1軸のコンタクトハンド5はシャトル21の給排位置の上方に到達し、また、Z2軸のコンタクトハンド5は検査用ソケット11の上方に到達する。
【0037】
ここで、Z2軸のサーボモータ3が稼動し、ボールネジ4の回転によりZ駆動部6が下降して、図2に示すように、Z2軸のコンタクトハンド5は未検査のICデバイスを検査用ソケットに押し付ける。一方、Z1軸のコンタクトハンド5も下降し、除材ステージ24に検査済みのICデバイスを収容する。
【0038】
図3に示すように、Z2軸のコンタクトハンド5によって検査用ソケット11に押し付けられたICデバイスの検査が行われている間に、シャトル21は後方に移動して、除材ステージ24を後方へ移動させ、その代わりに、給材ステージ23を給排位置に配置する。一方、シャトル22は前方に移動して、除材ステージ24を給排位置に配置する。
【0039】
次に、ICデバイスの検査が終了すると、Z2軸のコンタクトハンド5は上昇して、図4に示すように、シャトル22上の給排位置の上方にまで移動し、一方、Z1軸のコンタクトハンド5は検査用ソケット11に未検査のICデバイスを押し付け、コンタクトを行う。Z2軸のコンタクトハンド5は下降してICデバイスを除材ステージ24に収容する。
【0040】
本装置は、上記のような図1から図4までに示す動作を繰り返し行い、Z1軸とZ2軸とが交互に検査用ソケット11にICデバイスを供給するように動作する。図5には、上述の動作をロードロボット及びアンロードロボットの動作をも含めて示すダイヤグラムである。各所におけるICデバイスの受け取り動作を凸状部で示し、各所におけるICデバイスの譲り渡し動作を凹状部で示している。シャトル21において、給材ステージ23と除材ステージ24の位置を表す2本の線が示されているが、下側にある線が給排位置にあるものを示すようになっている。同様に、シャトル22において、給材ステージ23と除材ステージ24の位置を表す2本の線が示されているが、上側にある線が給排位置にあるものを示すようになっている。さらに、インデックスユニットとして、上側の実線はZ1軸の動作を、下側の実線はZ2軸の動作を示している。図中の検査期間は、検査ユニット11においてICデバイスの検査が行われている期間を示している。
【0041】
ロードロボットは、シャトル21の給材ステージ23に2つの未検査のICデバイスを一度に譲り渡した後、ICデバイスの配列された給材トレイ等から2つの新たなICデバイスを順次受け取り、シャトル22の給材ステージ23に2つのICデバイスを一度に譲り渡し、再び給材トレイ等から2つのICデバイスを順次受け取るといった動作を繰り返し行う。
【0042】
シャトル21では、給材ステージ23がロードロボットから2つの未検査のICデバイスを受け取り、その後、除材ステージ24がZ1軸のコンタクトハンド5から検査済みのICデバイスを受け取り、その後、給材ステージ23を給排位置に移動させてから、給材ステージ23に収容されたICデバイスはZ1軸のコンタクトハンド5に譲り渡される。これと同時に、除材ステージ24に収容された検査済みのICデバイスは、アンロードロボットによって取り出される。
【0043】
インデックスユニットに示されるものはZ1軸及びZ2軸のコンタクトハンド5の位置及び動作である。上述と同様に、Z1軸のコンタクトハンド5は、検査用ソケット11に対してICデバイスを押し付け固定して検査を行い、検査が終了するとシャトル21に向けて移動する。このとき、Z2軸のコンタクトハンド5は、シャトル22の除材ステージ24に検査済みのICデバイスを譲り渡し、次に、給材ステージ23から新たなICデバイスを受け取って、検査位置に向けて移動する。その後、シャトル21の除材ステージ24に対して検査済みのICデバイスを譲り渡す。一方、Z1軸のコンタクトハンド5は、シャトル21の除材ステージ24に検査済みのICデバイスを譲り渡し、Z2軸のコンタクトハンド5はICデバイスを検査用ソケットに押し付けて検査を行う。
【0044】
シャトル22は、上記シャトルAとまったく同様の動作を繰り返す。また、アンロードロボットは、検査済みのICデバイスをシャトル21及びシャトル22の除材ステージ24から2つずつ受け取った後、図示しない検査済みトレイの所定の位置に順次収容していく。
【0045】
図6は、Z1軸のコンタクトハンドとZ2軸のコンタクトハンドの動作を示すものである。Z1軸のコンタクトハンド5は、シャトル21と検査用ソケット11との間を往復移動し、Z2軸のコンタクトハンド5は、シャトル22と検査用ソケット11との間を往復移動する。図6においては、Z1軸のコンタクトハンド5が検査用ソケット11からシャトル21上の除材ステージ24まで検査済みのICデバイスを搬送(除材動作)し、Z2軸のコンタクトハンド5がシャトル22上の給材ステージ23から未検査のICデバイスを搬送(給材動作)する場合について示してある。Z1軸の給材動作及びZ2軸の除材動作は、それぞれZ2軸の給材動作及びZ1軸の除材動作と対称に動作する。
【0046】
まず、最も基本的な動作態様について説明する。この態様においては、Z1軸のコンタクトハンド5が検査用ソケット11にて検査中のICデバイスを押圧しているとき、インデックスタイムを短縮するために、Z2軸のコンタクトハンド5は、シャトル22上の給材ステージ23から未検査のICデバイスを取り出した後、Z駆動部6を上昇させて、コンタクトハンド5を給材ステージ23から所定の高さにある待機点Pにて待機させる。
【0047】
次に、検査用ソケット11にて検査が終了すると、Z1軸のコンタクトハンド5は、上昇して取出点Sを通過して、図示一点鎖線に示すように、検査用ソケット11の上方にある中央点Qに到達する。次に、X駆動部12を左側に移動させることにより、Z1軸のコンタクトハンド及びZ2軸のコンタクトハンドを共に図示一点鎖線に沿って水平に左方向へ移動させる。そして、Z1軸のコンタクトハンド5は待機点Rに到達し、Z2軸のコンタクトハンド5は中央点Qに到達する。その後、Z2軸のコンタクトハンド5は、Z駆動部6とともに中央点Qから垂直に降下して、検査用ソケット11に押し付けられる。以上のように、この基本的な動作態様では、Z1軸のコンタクトハンドが検査用ソケット11から中央点Qに到達し、さらに、Z2軸のコンタクトハンドが待機点Pから中央点Qを経て検査用ソケット11に到達するまでの時間がインデックスタイムとなる。
【0048】
しかしながら、このような動作態様では、図示一点鎖線に示すように、コンタクトハンドの動作経路に無駄があり、インデックスタイムはまだ充分に低減されていない。そこで、検査用ソケット11から中央点Qまでの昇降時間を節約するために、検査用ソケット11の上方に取出点Sを設け、Z1軸のコンタクトハンドを取出点Sに到達した時点からX駆動部12を移動させて待機点Rまで移動させ、Z2軸のコンタクトハンドを待機点Pからこの取出点Sまで移動させるように、X駆動部12とZ駆動部6との動作期間を修正した。概略経路を図示点線で示した。
【0049】
この場合、取出点Sは、コンタクトハンド5が水平方向に移動しても検査用ソケット11周辺の機構部と干渉しない範囲でなるべく低く設定される。取出点Sが低ければ低いほど、インデックスタイムが短縮可能であるからである。
【0050】
Z1軸のコンタクトハンドをZ駆動部6とともに検査用ソケット11から上昇させ、取出点Sに到達すると、X駆動部12の左方向への移動を開始し、Z駆動部6の上昇とX駆動部12の左移動とを並行して行うことによって、図6のU1に示す経路に従って待機点Rに向かって移動する。一方、Z2軸のコンタクトハンドは、X駆動部12の移動の開始とほぼ同時にZ駆動部6の下降を開始し、図6のU2に示す経路に従って取出点Sに向かって移動する。
【0051】
Z1軸のコンタクトハンドが待機点Rに到達すると、Z2軸のコンタクトハンドは取出点Sに到達し、その後、Z2軸のZ駆動部6が降下して、ICデバイスを検査用ソケット11にセットする。この場合のインデックスタイムは、Z1軸のコンタクトハンドが検査位置から取出点Sに移動した後に、Z2軸のコンタクトハンドが待機点Pから取出点Sに到達し、さらに、取出点Sから検査用ソケット11に到達するまでの時間である。
【0052】
ここで、待機点Pから取出点Sまでの移動時間は、移動距離の長いX駆動部12の移動時間によって決定されるため、待機点Pから中央点Qまでの移動時間とほぼ同様である。これに対して、Z1軸のコンタクトハンドが検査位置から中央点Qまで移動する時間は、検査位置から取出点Sまでにかかる時間よりも長く、また、Z2軸のコンタクトハンドが中央点Qから検査位置まで移動する時間は、取出点Sから検査位置まで移動する時間に比べて長い。したがって、取出点Sを経由して移動するこのような動作態様により、インデックスタイムを短縮することができる。
【0053】
X駆動部12の移動距離とZ駆動部6の移動距離との差が少ない場合、若しくは、Z駆動部6の移動距離の方がX駆動部12の移動距離よりも長い場合には、待機点P,Rの高さもシャトル22周辺の機構に干渉されない範囲内でなるべく低くすることがインデックスタイムを短縮する上で好ましい。この場合、待機点Pの高さが低く、X駆動部12の移動によってコンタクトハンドの移動軌跡がシャトル22周辺の機構に干渉されるような場合には、X駆動部12の移動開始時点よりZ駆動部6の移動開始時点をある程度遅らせ、待機点Pから水平に移動した修正点TからZ方向の降下を開始することも可能である。
【0054】
図6に実線で示すコンタクトハンドの移動軌跡を実現するために、図7に示すように、Z1軸の上昇動作を開始してからZ1軸のコンタクトハンドが取出点Sに到達した時点まで待って、X駆動部12の左方向への移動動作及びZ2軸の降下動作をほぼ同時に開始し、Z1軸の上昇動作とX駆動部の移動動作をほぼ同時に停止した後、Z2軸をコンタクトハンドに保持されたICデバイスが検査用ソケット11に押し付けられるまで降下させるという動作態様を採用した。このように、X方向の動作期間とZ方向の動作期間とを相互に重なるように設定することによって、X方向及びZ方向それぞれの駆動系の加速度や最高速度を変えることなく、インデックスタイムの短縮を図ることができた。本実施形態では、図6の一点鎖線で示す動作態様に比べて、約30%以上のインデックスタイムの短縮を実現することができた。
【0055】
図8は、本実施形態におけるコンタクトハンド5の主要部分の構造を一部を断面として示すものである。コンタクトハンド5は、調芯機構8に対して角度自在かつ中心位置を所定範囲で調節可能に取り付けられている。図8(a)に示すように、コンタクトハンド5の下端側には、位置決め板50が水平に設置されている。この位置決め板50の上面に、調芯機構8に取り付けられた本体部51が設けられている。位置決め板50の周縁部には、複数個のガイド孔50aが形成されている。このガイド孔50aは、コンタクトハンド5が検査用ソケット11、給材ステージ23及び除材ステージ24に接近した場合、これらの検査用ソケット11、給材ステージ23及び除材ステージ24の上面部に設けられたガイドピン60に嵌合することによって、コンタクトハンド5が正確に位置決めされるようになっている。
【0056】
位置決め板50の下面上には、ICデバイス61の外部端子61aを検査用ソケット11の図示しない検査用パッドに押し付けるための押圧面52aを備えた合成樹脂製の押圧部材52が下方に突出した状態に設けられている。また、この押圧部材52の内側にはICデバイス61の姿勢を保持する保持枠53が配置される。コンタクトハンド5の内部には中央貫通孔が形成され、ここに、ガイドブロック54が昇降自在に嵌合し、このガイドブロック54に合成ゴム製の吸着ヘッド55が取り付けられている。
【0057】
ガイドブロック54の上部には、コイルスプリング等からなる弾性部材56が収容され、ガイドブロック54を下方に付勢している。コンタクトハンド5に形成された中央貫通孔は図示しない排気装置に接続されており、ICデバイス61は吸着ヘッド55によって吸着保持されるようになっている。
【0058】
ICデバイス61が吸着保持される前であって、特に外部から負荷が加わっていない場合には、弾性部材56によって吸着ヘッド55及びICデバイス61は下方に押し下げられており、図8(a)に示す状態となっている。
【0059】
一方、ICデバイス61が吸着ヘッド55に吸着保持されると、コンタクトハンド5の中央貫通孔内が負圧になることによって、図8(b)に示すように、ICデバイス61のパッケージ部は保持枠53に当接して位置決めされ、また、ICデバイス61の外部端子61aは押圧部材52の押圧面52aに当接する。
【0060】
この図8(b)に示す状態で、ICデバイス61は正確な姿勢で受け渡しが行われ、また、正確かつ確実に、ICデバイス61の外部端子61aが検査用ソケット11に押し付けられる。
【0061】
本実施形態によれば、検査用ソケット11の左右両側にシャトル21,22を配置し、シャトル21,22の給材ステージ23から未検査のICデバイスを検査用ソケット11に向けて搬送するとともに除材ステージ24に検査済みのICデバイスを回収するように構成したことにより、左右のコンタクトハンドによって交互に検査位置にICデバイスを供給することができ、直線的で自由な移載経路をとることができることから、製造コストの増加を招くことなく、比較的容易にインデックスタイムを短縮することができる。
【0062】
本実施形態では特に、2つのコンタクトハンドをX方向へ移動させるのに一つのX駆動部によって駆動しているため、単一の駆動源や駆動機構を備えた単一の駆動系によって足りることとなり、装置構成が簡略化され、製造コストを低減することができる。
【0063】
本実施形態では、X駆動部12によって支持されるのは可動部7、調芯機構8及びコンタクトハンド5のみであり、サーボモータ3、ボールネジ4及びZ駆動部6からなるZ軸駆動系はフレーム10に支持されているため、X軸駆動系の重量負担を軽減することができることから、X軸駆動系の加減速性能を高めることができるとともに、駆動系の駆動精度も高めることができる。このため、同様の駆動能力であっても高速化してインデックスタイムをさらに向上させることができる。
【0064】
上記実施形態では、ICデバイスの電気的な検査装置として構成したが、本発明は、検査装置に限らず、種々の加工装置や組み立て装置において各種部材を受け渡しする場合にも同様に適用できるものである。
【0065】
また、上記実施形態では、単一のX軸駆動系により2つのコンタクトハンドを動作させているが、コンタクトハンド毎に別々に制御された駆動系を設けてもよい。この場合には、インデックスタイムをさらに短縮させるために、2つのコンタクトハンドの左右の動きを異なる速度、異なるタイミングで動作させることも可能である。
【0066】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば以下の効果を奏する。
【0067】
請求項1によれば、処理部の両側に第1受渡部及び第2受渡部を配置し、第1保持部及び第2保持部によって両側から交互に部材を供給、排出するように構成したので、部材の搬送経路も自由になり、搬送経路の短路化によってインデックスタイムの短縮を図ることができる。
【0068】
請求項2によれば、主駆動手段によって処理部と第1受渡部及び第2受渡部との間を第1方向に直線的に移動させ、第1保持部及び第2保持部を処理部並びに第1受渡部及び第2受渡部に対して直線的に接離させるように構成したので、主駆動手段並びに第1補助駆動手段及び第2補助駆動手段を簡易に構成することができ、装置の製造コストを低減することができる。
【0069】
請求項3によれば、第1補助駆動手段及び第2補助駆動手段は、第1駆動源及び第2駆動源により第1連結部材及び第2連結部材を移動させて第1保持部及び第2保持部を動作させるようにしているが、第1連結部材及び第2連結部材が第1方向に移動自在に構成されていることにより、第1補助駆動手段及び第2補助駆動手段が主駆動手段による動作を妨げることがなく、主駆動手段の駆動負荷を軽減することができるため、第1保持部及び第2保持部の駆動速度を高めることが容易になり、駆動精度も維持し易くなる。
【0070】
請求項4によれば、主駆動手段による移動期間と第1補助駆動手段及び第2補助駆動手段による移動期間とが重なるように構成されていることによって、第1保持部及び第2保持部の移動経路を最適化することが可能になり、移動経路の設定を変えることによってインデックスタイムの更なる短縮を図ることが可能となる。
【0071】
請求項5によれば、単一の駆動系によって第1保持部及び第2保持部を同一方向及び同一速度で動作させるように構成することによって、駆動系の構成を簡略化することができ、装置の製造コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る部材の受け渡し装置の実施形態の主要構造の第1の動作状態を示す概略斜視図である。
【図2】同実施形態の第2の動作状態を示す概略斜視図である。
【図3】同実施形態の第3の動作状態を示す概略斜視図である。
【図4】同実施形態の第4の動作状態を示す概略斜視図である。
【図5】同実施形態の各部の動作態様を示すダイヤグラムである。
【図6】同実施形態の一対のコンタクトハンドの移動態様を示す説明図である。
【図7】同実施形態のX駆動系、Z1軸及びZ2軸の動作状態を示すグラフ図である。
【図8】同実施形態におけるコンタクトハンドの構造を示す拡大一部断面図である。
【図9】従来のICハンドラの構造を示す概略斜視図である。
【図10】従来のICハンドラを改良した場合の構成を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
1,3 サーボモータ
2,4 ボールネジ
5 コンタクトハンド(第1保持部、第2保持部)
6 Z駆動部
7 可動部
10 フレーム
10a 案内レール
11 検査用ソケット(処理部)
12 X駆動部
21,22 シャトル
23 給材ステージ
24 除材ステージ
給排位置(第1受渡部、第2受渡部)
Claims (5)
- 部材に所定の処理を施すように構成された処理部と、
前記処理部の両側に配置され、前記処理部の横に前記部材を搬入、または、前記処理部の横から前記部材を搬出するための除給材手段を有し、
前記除給材手段は前記部材を搬入するため前記部材を保持する給材ステージと、前記部材を搬出するため前記部材を保持する除材ステージを有し、
それぞれの前記除給材手段に対応したコンタクトハンドを有する部材の受け渡し装置であって、
前記コンタクトハンドをX方向に移動させるX駆動部を有し、
各々の前記コンタクトハンドをZ方向に移動させるため、前記X駆動部に設けられたZ軸方向に移動可能な複数の可動部を有し、
前記可動部をZ方向に移動させるための動力伝達手段は、それぞれの前記除給材手段に対応して設けられ、前記可動部及び前記X駆動部とは異なる支持体に支持されるとともに、それぞれの動力伝達手段は、対応する前記コンタクトハンドと、他方の前記コンタクトハンドが前記処理部に対応するときには、該他方の前記コンタクトハンドにもZ方向の動力を伝達することを特徴とする部材の受け渡し装置。 - 前記コンタクトハンドは、前記部材を保持する複数の吸着ヘッドを備えたことを特徴とする請求項1記載の部材の受け渡し装置。
- 前記動力伝達手段はサーボモータを動力源とし、Z方向に移動可能なX軸方向の摺動部材を介して、前記可動部をZ方向に移動させることを特徴とする請求項1記載の部材の受け渡し装置。
- 前記コンタクトハンドは調芯機構に取り付けられたことを特徴とする請求項1記載の部材の受け渡し装置。
- 請求項1ないし請求項4において、前記部材が集積回路デバイス、前記処理が検査であることを特徴とする部材の受け渡し装置。
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