DE112005003753T5

DE112005003753T5 - Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente und Verfahren zum Festlegen einer optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm einer Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente

Info

Publication number: DE112005003753T5
Application number: DE112005003753T
Authority: DE
Inventors: Shigeki Kaneko
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2005-11-09
Filing date: 2005-11-09
Publication date: 2008-08-28
Also published as: JPWO2007055004A1; KR20080074951A; WO2007055004A1; TWI314652B; US20090153175A1; US7859248B2; CN101305286A; KR100970715B1; JP4881316B2; TW200732679A

Abstract

Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente, um ein sich in der Prüfung befindendes Bauelement in elektrischen Kontakt mit einem Sockel zu bringen, um elektrische Eigenschaften des sich in der Prüfung befindenden Bauelements zu prüfen, aufweisend:
einen Kontaktarm, der das sich in der Prüfung befindende Bauelement in einer vertikalen Richtung relativ zu dem Sockel bewegt und das sich in der Prüfung befindende Bauelement gegen den Sockel drückt;
ein Steuermittel zum Steuern des Bewegungsvorgangs des Kontaktarms;
ein Unterrichtungsmittel, um das Steuermittel über das Drehmoment des Kontaktarms zu unterrichten, wenn das sich in der Prüfung befindende Bauelement gegen den Sockel gedrückt wird;
ein Erlangungsmittel, um von einer Prüfeinrichtung das Ergebnis der Prüfung des sich in der Prüfung befindenden Bauelements, die durchgeführt wird, wenn der Kontaktarm das sich in der Prüfung befindende Bauelement gemäß dem Drehmoment, über welches von dem Unterrichtungsmittel unterrichtet wurde, gegen den Sockel drückt, zu erlangen;
ein...

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente zum Prüfen der elektrischen Eigenschaften von integrierten Halbleiterschaltungsbauelementen oder verschiedener anderer elektronischer Bauelemente (im folgenden auch beispielhaft als "IC-Bauelemente" bezeichnet), und betrifft insbesondere eine Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente, die in der Lage ist, automatisch den optimalen Hub, das Andrückdrehmoment oder eine andere Andrückbedingung des Kontaktarms festzulegen, wenn die Art der IC-Bauelemente gewechselt wird usw.
TECHNISCHER HINTERGRUND
Im Herstellungsverfahren von IC-Bauelementen und anderen elektronischen Bauelementen wird eine Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente verwendet, um die Leistung und Funktionen der hergestellten elektronischen Bauelemente zu prüfen.
Ein herkömmliches Beispiel einer Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente umfaßt eine Prüfeinheit, die IC-Bauelemente prüft, eine Ladeeinheit, die IC-Bauelemente vor der Prüfung (englisch: "pre-test IC-devices") an die Prüfeinheit sendet, und eine Entladeeinheit, die die geprüften IC-Bauelemente aus der Prüfeinheit herausnimmt und sie klassifiziert. Weiter ist die Ladeeinheit mit einem Puffertisch versehen, der in der Lage ist, sich zwischen der Ladeeinheit und der Prüfeinheit vor und zurück zu bewegen, und mit einem Fördersystem der Ladeeinheit, welches eine Saugeinheit hat, die in der Lage ist, ein IC-Bauelement aufzunehmen und zu halten und in der Lage ist, sich von einem Kundentablar zu einer Heizplatte und von der Heizplatte zu dem Puffertisch zu bewegen. Weiter ist die Prüfeinheit mit einem Fördersystem der Prüfeinheit versehen, welches einen Kontaktarm hat, der in der Lage ist, ein IC-Bauelement aufzunehmen und zu halten und es gegen einen Prüfkopf zu drücken und in der Lage ist, sich in einem Bereich der Prüfeinheit zu bewegen.
Das Fördersystem der Ladeeinheit nimmt mittels der Saugeinheit ein auf einem Kundentablar getragenes IC-Bauelement auf und hält es und platziert es auf der Heizplatte, und nimmt dann wieder mittels der Saugeinheit ein auf der Heizplatte auf eine vorbestimmte Temperatur erhitztes IC-Bauelement auf und hält es und platziert es auf dem Puffertisch. Weiter bewegt sich der das IC-Bauelement tragende Puffertisch von der Ladeeinheit zu der Seite der Prüfeinheit. Als nächstes verwendet das Fördersystem der Prüfeinheit den Kontaktarm, um das IC-Bauelement auf dem Puffertisch aufzunehmen und zu halten und es gegen einen Sockel des Prüfkopfes zu drücken, um die externen Anschlüsse des IC-Bauelements (Bauelementanschlüsse) und die Verbindungsanschlüsse des Sockels (Sockelanschlüsse) in Kontakt zu bringen.
In diesem Zustand wird ein von dem Prüfeinrichtungshauptteil durch ein Kabel dem Prüfkopf zugeführtes Prüfsignal an das IC-Bauelement angelegt, und ein aus dem IC-Bauelement ausgelesenes Antwortsignal wird durch den Prüfkopf und das Kabel an das Prüfeinrichtunghauptteil gesendet, um die elektrischen Eigenschaften des IC-Bauelements zu messen.
Jedoch unterscheidet sich der Hub des Kontaktarms entlang der Z-Achsen-Richtung beim Andrücken eines aufgenommenen und gehaltenen IC-Bauelements gegen den Sockel in Abhängigkeit von der Art des IC-Bauelements, und muß somit jedes Mal, wenn die Art des zu prüfenden IC-Bauelements wechselt, neu festgelegt werden.
Dieser Hub des Kontaktarms wird im allgemeinen durch den folgenden Lernvorgang festgelegt. Zuerst wird das theoretische Drehmoment gefunden anhand der Anzahl der Kontaktstifte an dem Sockel, der notwendigen Last je Stift der Kontaktstifte, der Anzahl von Sockeln auf dem Prüfkopf, usw. Als nächstes wird der das IC-Bauelement aufnehmende und haltende Kontaktarm abwärts bewegt, um das IC-Bauelement in Kontakt mit dem Sockel zu bringen. Als nächstes wird, wenn das tatsächliche Drehmoment das theoretische Drehmoment erreicht, die Abwärtsbewegung des Kontaktarms gestoppt. Der Hub des Kontaktarms in diesem Zustand wird eingelernt/programmiert als endgültiger, in einer tatsächlichen Prüfung ausgeführter Hub.
Jedoch ist, wenn dieses Verfahren zum Lernen des Hubes verwendet wird, der Hub nicht notwendigerweise optimal, da es nicht möglich ist, zu beurteilen, ob das IC-Bauelement zuverlässig in elektrischen Kontakt mit dem Sockel zum Zeitpunkt des Prüfens ist oder nicht, solange nicht tatsächlich eine Prüfung durchgeführt wird.
Weiter kann, selbst wenn die Prüfung normal durchgeführt wird, mittels des Hubes, der durch das obige Verfahren gelernt wurde, die Lebensdauer des Sockels dadurch verkürzt werden, daß das IC-Bauelement stark gegen ihn gedrückt wird, wenn das theoretische Drehmoment unnötig stark ist.
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
Die vorliegende Erfindung hat zum Ziel das Zurverfügungstellen einer Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente, die in der Lage ist, automatisch die optimale Andrückbedingung eines Kontaktarms zum Zeitpunkt des Wechselns der Art eines IC-Bauelements usw. festzulegen.

(1) Um das obige Ziel zu erreichen, wird gemäß der vorliegenden Erfindung eine Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente zur Verfügung gestellt, um ein sich in der Prüfung befindendes Bauelement in elektrischen Kontakt mit einem Sockel zu bringen, um die elektrischen Eigenschaften des sich in der Prüfung befindenden Bauelements zu prüfen, aufweisend: einen Kontaktarm, der das sich in der Prüfung befindende Bauelement in einer vertikalen Richtung relativ zu dem Sockel bewegt und das sich in der Prüfung befindende Bauelement gegen den Sockel drückt; ein Steuermittel zum Steuern des Bewegungsvorgangs des Kontaktarms; ein Unterrichtungsmittel zum Unterrichten des Steuermittels über das Drehmoment des Kontaktarmes, wenn das sich in der Prüfung befindende Bauelement gegen den Sockel gedrückt wird; ein Erlangungsmittel, um von einer Prüfeinrichtung das Ergebnis der Prüfung des sich in der Prüfung befindenden Bauelements zu erlangen, die durchgeführt wird, wenn der Kontaktarm das sich in der Prüfung befindende Bauelement gegen den Sockel gemäß dem Drehmoment drückt, über das durch das Unterrichtungsmittel unterrichtet wurde; ein Abänderungsmittel zum Abän dern des Drehmoments, über welches das Unterrichtungsmittel das Steuermittel unterrichtet, auf der Basis des von dem Erlangungsmittel erlangten Prüfergebnisses; und ein Festlegungsmittel zum Festlegen der Andrückbedingung des Kontaktarms zum Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal ist, als eine optimale, bei einer tatsächlichen Prüfung verwendete Andrückbedingung, wenn das Drehmoment nicht durch das Abänderungsmittel abgeändert wurde (siehe Anspruch 1).

In der vorliegenden Erfindung sind an der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente ein Unterrichtungsmittel zum Unterrichten eines Steuermittels über ein Andrückdrehmoment, ein Erlangungsmittel zum Erlangen eines Prüfergebnisses, ein Abänderungsmittel zum Abändern eines Andrückdrehmoments, und ein Festlegungsmittel zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung vorgesehen.
Weiter drückt der Kontaktarm das sich in der Prüfung befindende Bauelement gegen einen Sockel mit dem Drehmoment, über das von dem Unterrichtungsmittel unterrichtet wurde, die Prüfeinrichtung führt eine Prüfung in diesem Zustand durch, das Erlangungsmittel erlangt das Prüfungsergebnis von der Prüfeinrichtung, das Abänderungsmittel ändert das Drehmoment auf der Basis dieses Prüfergebnisses ab, und das Festlegungsmittel legt die Andrückbedingung des Kontaktarmes, wenn die Prüfung normal ist, als die optimale Andrückbedingung fest, wenn das Drehmoment nicht durch das Abänderungsmittel abgeändert wurde.
Dadurch wird es möglich, automatisch die optimale Andrückbedingung des Kontaktarms beim Wechseln der Art des IC-Bauelements, Wechseln des Sockels usw., festzulegen.
In der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt die Andrückbedingung des Kontaktarms vorzugsweise einen Hub des Kontaktarms entlang der vertikalen Richtung, und wenn das Drehmoment nicht von dem Abänderungsmittel abgeändert wurde, legt das Festlegungsmittel den Hub des Kontaktarmes entlang der vertikalen Richtung zum Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal war, als einen optimalen, bei einer tatsächlichen Prüfung verwendeten Hub fest (siehe Anspruch 2).
Man beachte, daß der Hub des Kontaktarmes gemessen werden kann, indem erneut eine gewöhnliche Prüfung durchgeführt wird, wenn das Drehmoment nicht durch das Abänderungsmittel abgeändert wurde, oder durch das Festlegungsmittel jedes Mal gemessen werden kann, wenn eine Prüfung durch die Prüfeinrichtung durchgeführt wird.
In der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung führt vorzugsweise, wenn das von der Prüfeinrichtung durch das Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis unnormal anzeigt, das Abänderungsmittel eine Abänderung durch, um das Drehmoment zu erhöhen, über welches das Unterrichtungsmittel das Steuermittel unterrichtet (siehe Anspruch 3).
Indem das Drehmoment erhöht wird, wenn das Prüfergebnis unnormal anzeigt, ist es möglich, einen Kontaktfehler zwischen dem zu prüfenden Bauelement und dem Sockel aufgrund eines unzureichenden Hubes auszuschließen.
In der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung wiederholt vorzugsweise die Vorrichtung den Zyklus des Erhöhens des Drehmoments durch das Abänderungsmittel, des Unterrichtens des Steuermittels über das erhöhte Drehmoment durch das Unterrichtungsmittel und des Erlangens des Ergebnisses der Prüfung des zu prüfenden Bauelements, die durchgeführt wird, wenn der Kontaktarm das zu prüfende Bauelement mit dem erhöhten Drehmoment andrückt, durch das Erlangungsmittel, bis das von dem Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis normal anzeigt (siehe Anspruch 4).
In der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung wird vorzugsweise das Festlegen des Hubes gestoppt, wenn das Abänderungsmittel Abänderungen zum Erhöhen des Drehmoments eine vorbestimmte Anzahl von Malen oder häufiger durchgeführt hat (siehe Anspruch 5).
Dadurch kann, wenn ein Kontaktfehler zwischen dem zu prüfenden Bauelement und dem Sockel aufgrund eines anderen Grundes als dem eines unzureichenden Hubes vorliegt und ein elektrischer Kontakt zwischen dem zu prüfenden Bauelement und dem Sockel schließlich nicht sichergestellt werden kann, der Vorgang des Festlegens eines optimalen Hubes gestoppt werden.
In der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung ändert vorzugsweise, wenn das von dem Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis normal anzeigt, das Abänderungsmittel das Drehmoment nicht ab, und das Festlegungsmittel legt den Hub zu dem besagten Zeitpunkt der Prüfung als den optimalen Hub fest (siehe Anspruch 6).
In der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung führt vorzugsweise, wenn das von dem Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis normal ist, das Abänderungmittel eine Abänderung durch, um das Drehmoment zu verringern, über welches das Unterrichtungsmittel das Steuermittel unterrichtet (siehe Anspruch 7).
Durch Verringern des Drehmomentes, wenn ein elektrischer Kontakt zwischen dem zu prüfenden Bauelement und dem Sockel sichergestellt ist, ist es möglich, eine Verkürzung der Lebensdauer des Sockels aufgrund übermäßigen Drehmoments zu verhindern.
In der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung wiederholt die Vorrichtung vorzugsweise den Zyklus des Verringerns des Drehmoments durch das Abänderungsmittel, des Unterrichtens des Steuermittels über das verringerte Drehmoment durch das Unterrichtungsmittel, und des Erlangens des Ergebnisses der Prüfung des zu prüfenden Bauelements, die durchgeführt wird, wenn der Kontaktarm das zu prüfende Bauelement mit dem verringerten Drehmoment andrückt, durch das Erlangungsmittel, bis das vom dem Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis normal anzeigt (siehe Anspruch 8).
In der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung ändert vorzugsweise, wenn das (N + 1)te (wobei N eine natürliche Zahl ist) von dem Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis unnormal anzeigt, das Abänderungsmittel das Drehmoment nicht ab, und das Festlegungsmittel legt den Hub bei der N-ten Prüfung als den optimalen Hub fest (siehe Anspruch 9).
In der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung ist vorzugsweise der Drehmomentverringerungsbetrag je Mal, um den das Abänderungsmittel verringert, kleiner relativ zu dem Drehmomenter höhungsbetrag je Mal, um den das Abänderungsmittel erhöht (siehe Anspruch 10).
In der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt vorzugsweise die Andrückbedingung des Kontaktarmes ein Andrückdrehmoment des Kontaktarmes, und wenn das Drehmoment nicht von dem Abänderungsmittel abgeändert wurde, legt das Festlegungsmittel anstelle des optimalen Hubes oder zusätzlich zu dem optimalen Hub das Drehmoment zu dem Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal ist, als ein optimales, zum Zeitpunkt einer tatsächlichen Prüfung verwendetes Drehmoment fest (siehe Anspruch 11).

(2) Um das obige Ziel zu erreichen, wird gemäß der vorliegenden Erfindung zur Verfügung gestellt ein Verfahren zum Festlegen einer optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm, der ein sich in der Prüfung befindendes Bauelement gegen einen Sockel drückt, um das sich in der Prüfung befindende Bauelement in elektrischen Kontakt mit dem Sockel zu bringen und elektrische Eigenschaften des sich in der Prüfung befindenden Bauelements zu prüfen, umfassend: einen Unterrichtungsschritt des Unterrichtens eines Steuermittels zum Steuern einer Bewegung des Kontaktarmes über ein Drehmoment des Kontaktarmes, wenn das sich in der Prüfung befindende Bauelement gegen den Sockel gedrückt wird; einen Prüfschritt des Andrückens des sich in der Prüfung befindenden Bauelementes gegen den Sockel mittels des Kontaktarmes gemäß dem Drehmoment, über das in dem Unterrichtungsschritt unterrichtet wurde, und des Prüfens des sich in der Prüfung befindenden Bauelements durch eine Prüfeinrichtung; einen Erlangungsschritt des Erlangens eines Prüfergebnisses des sich in der Prüfung befindenden Bauelements von der Prüfeinrichtung, einen Abänderungsschritt des Abänderns des Drehmoments, über das das Steuermittel in dem Unterrichtungsschritt unterrichtet wird, auf der Basis des in dem Erlangungsschritt erlangten Prüfergebnisses; und einen Festlegungsschritt des Festlegens der Andrückbedingung des Kontaktarms zu dem Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal ist, als die tatsächliche, bei einer tatsächlichen Prüfung verwendete Andrückbedingung, wenn das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert wurde (siehe Anspruch 12).

Bei der vorliegenden Erfindung wird in dem Unterrichtungsschritt das Steuermittel über das Drehmoment unterrichtet, der Kontaktarm drückt das sich in der Prüfung befindende Bauelement mit diesem Drehmoment gegen den Sockel und die Prüfeinrichtung führt die Prüfung in diesem Zustand in dem Prüfschritt durch, das Prüfergebnis wird von der Prüfeinrichtung in den Erlangungsschritt erlangt, das Drehmoment wird auf der Basis des Prüfergebnisses in dem Abänderungsschritt abgeändert, und die Andrückbedingung des Kontaktarmes zu dem Zeitpunkt einer normalen Prüfung wird in dem Festlegungsschritt festgelegt als die optimale Andrückbedingung, wenn das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert wurde.
Dadurch ist es möglich, die optimale Andrückbedingung des Kontaktarms automatisch festzulegen, wenn die Art des IC-Bauelements gewechselt wird oder der Sockel gewechselt wird.
In dem Verfahren des Festlegens der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt vorzugsweise die Andrückbedingung des Kontaktarms einen Hub des Kontaktarms entlang der vertikalen Richtung, und wenn das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert wurde, wird der Hub des Kontaktarmes entlang der vertikalen Richtung zum Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal war, als ein optimaler, zum Zeitpunkt einer tatsächlichen Prüfung verwendeter Hub in dem Festlegungsschritt festgelegt (siehe Anspruch 13).
Man beachte, daß der Hub des Kontaktarms gemessen werden kann, indem erneut eine gewöhnliche Prüfung in dem Festlegungsschritt durchgeführt wird, wenn das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert wurde, oder jedes Mal gemessen werden kann, wenn in dem Prüfschritt eine Prüfung durch die Prüfeinrichtung durchgeführt wird.
In dem Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung gemäß der vorliegenden Erfindung wird vorzugsweise, wenn das in dem Erlangungsschritt erlangte Prüfergebnis unnormal anzeigt, in dem Abänderungsschritt eine Abänderung zum Erhöhen des Drehmoments, über welches das Steuermittel unterrichtet wird, durchgeführt (siehe Anspruch 14).
Durch Erhöhen des Drehmoments, wenn das Prüfergebnis unnormal anzeigt, ist es möglich, einen Kontaktfehler zwischen dem sich in der Prüfung befindenden Bauelement und dem Sockel aufgrund eines unzureichenden Hubes zu beseitigen.
In dem Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung gemäß der vorliegenden Erfindung werden vorzugsweise der Abänderungsschritt, der Unterrichtungsschritt, der Prüfschritt und der Erlangungsschritt wiederholt, bis das in dem Erlangungsschritt erlangte Prüfergebnis normal anzeigt (siehe Anspruch 15).
In dem Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung gemäß der vorliegenden Erfindung wird vorzugsweise das Festlegen des Hubes gestoppt, wenn der Abänderungsschritt eine vorbestimmte Anzahl von Malen oder häufiger durchgeführt wurde (siehe Anspruch 16).
Dadurch kann, wenn der Kontaktfehler des zu prüfenden Bauelements und des Sockels einen anderen Grund als einen unzureichend Hub hat und ein elektrischer Kontakt zwischen dem sich in der Prüfung befindenden Bauelement und dem Sockel schließlich nicht sichergestellt werden kann, der Vorgang zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung gestoppt werden.
In dem Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung gemäß der vorliegenden Erfindung wird vorzugsweise, wenn das in dem Erlangungsschritt erlangte Prüfergebnis normal anzeigt, das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert, und der Hub zum Zeitpunkt der Prüfung wird in dem Festlegungsschritt als der optimale Hub festgelegt (siehe Anspruch 17).
In dem Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung gemäß der vorliegenden Erfindung wird vorzugsweise, wenn das in dem Erlangungsschritt erlangte Prüfergebnis normal anzeigt, in dem Abänderungsschritt eine Abänderung durchgeführt, um das Drehmoment, über welches das Steuermittel unterrichtet wird, zu verringern (siehe Anspruch 18).
Durch Verringern des Drehmomentes, wenn ein elektrischer Kontakt zwischen dem sich in der Prüfung befindenden Bauelement und dem Sockel sicherge stellt ist, ist es möglich, eine Verkürzung der Lebensdauer des Sockels aufgrund übermäßigen Drehmoments zu verhindern.
In dem Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung gemäß der vorliegenden Erfindung werden vorzugsweise der Abänderungsschritt, der Unterrichtungsschritt, der Prüfschritt und der Erlangungsschritt wiederholt, bis das in dem Erlangungsschritt von der Prüfeinrichtung erlangte Prüfergebnis unnormal ist (siehe Anspruch 19).
In dem Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung gemäß der vorliegenden Erfindung wird vorzugsweise, wenn das (N + 1)te (wobei N eine natürliche Zahl ist) in dem Erlangungsschritt erlangte Prüfergebnis unnormal anzeigt, das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert, und der Hub zum Zeitpunkt der N-ten Prüfung wird in dem Festlegungsschritt als der optimale Hub festgelegt (siehe Anspruch 20).
In dem Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung gemäß der vorliegenden Erfindung ist vorzugsweise der Drehmomentverringerungsbetrag je Mal, um den in dem Abänderungsschritt verringert wird, kleiner relativ zu dem Drehmomenterhöhungsbetrag je Mal, um das in dem Abänderungsschritt erhöht wird (siehe Anspruch 21).
In dem Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt vorzugsweise die Andrückbedingung des Kontaktarmes ein Andrückdrehmoment des Kontaktarmes, und wenn das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert wird, wird in dem Festlegungsschritt anstelle des optimalen Hubes oder zusätzlich zu dem optimalen Hub das Drehmoment zu dem Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal ist, als ein optimales, bei einer tatsächlichen Prüfung verwendetes Drehmoment festgelegt (siehe Anspruch 22).
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine Draufsicht einer Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 ist eine seitliche Teilquerschnittsansicht einer in 1 gezeigten Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente (Querschnittsansicht entlang der Linie I-I in 1).
3 ist eine seitliche Schnittansicht eines Kontaktarms, der in der in 1 gezeigten Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente verwendet wird, wobei die durchgezogenen Linien den Zustand vor einer Abwärtsbewegung zeigen und die gestrichelten Linien den Zustand des Andrückens von IC-Bauelementen gegen den Sockel zeigen.
4 ist ein Blockdiagramm, das eine Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
5a ist ein Flußdiagramm, das das Verfahren zum Festlegen eines optimalen Hubes eines Kontaktarms gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt (Teil 1).
5b ist ein Flußdiagramm, das das Verfahren zum Festlegen eines optimalen Hubes eines Kontaktarms gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt (Teil 2).
BESTE WEISE ZUM AUSFÜHREN DER ERFINDUNG
Im folgenden wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen erläutert werden.
In dieser Ausführungsform ist als Art des IC-Bauelements (zu prüfendes Bauelement) als ein Beispiel ein BGA-Gehäuse, CSP (chip size package) usw. angegeben, welches mit Lötkugeln (englisch: "solder balls") als Bauelementanschlüsse versehen ist, aber die vorliegende Erfindung ist nicht darauf beschränkt. Beispielsweise gibt es ein QFP (quad flat package), SOP (small outline package), usw., welche mit Führungsstiften (englisch: "lead eins") als Bauelementanschlüsse versehen sind.
Wie in 1 bis 3 gezeigt ist, weist gemäß der vorliegenden Ausführungsform die Prüfvorrichtung 1 für elektronische Bauelemente einen Handler 10, einen Prüfkopf 300 und eine Prüfeinrichtung 20 auf. Der Prüfkopf 300 und die Prüfeinrichtung 20 sind über ein Kabel 21 verbunden. Weiter werden IC-Bauelemente vor der Prüfung auf einem Zufuhrtablar, das in einem Zufuhrtablarstapler 401 des Handlers 10 gespeichert ist, gefördert und gegen Sockel 301 des Prüfkopfes 300 gedrückt, die Prüfeinrichtung 20 überprüft das IC-Bauelement über diesen Prüfkopf 300 und das Kabel 21, und dann werden die Bauelemente, deren Prüfung abgeschlossen ist, gemäß dem Prüfergebnis auf einem Klassifizierungstablar platziert, welches in einem Klassifizierungstablarstapler 402 gespeichert ist.
Der Handler 10 umfaßt eine Prüfeinheit 30, eine IC-Bauelementespeichereinheit 40, eine Ladeeinheit 50 und eine Entladeeinheit 60. Im folgenden wird jede Einheit erläutert werden
Die IC-Bauelementespeichereinheit 40
Die IC-Bauelementespeichereinheit 40 ist ein Teil zum Speichern der IC-Bauelemente vor der Prüfung und IC-Bauelemente nach der Prüfung (englisch: "post-test IC devices"). Diese IC-Bauelementespeichereinheit 40 umfaßt Zu fuhrtablarstapler 401, Klassifizierungstablarstablar 402, Leertablarstapler 403 und ein Tablarfördersystem 404.
Die Zufuhrtablarstapler 401 speichern einen Stapel einer Mehrzahl von Zufuhrtablaren, auf denen eine Mehrzahl von IC-Bauelementen vor der Prüfung getragen werden. In der vorliegenden Ausführungsform sind, wie in 1 gezeigt ist, zwei Zufuhrtablarstapler 401 in der IC-Bauelementespeichereinheit 40 vorgesehen.
Die Klassifizierungstablarstapler 402 speichern einen Stapel einer Mehrzahl von Klassifizierungstablaren, auf welchen eine Mehrzahl von IC-Bauelementen nach der Prüfung getragen werden. In der vorliegenden Ausführungsform sind, wie dargestellt, vier Klassifizierungstablarstapler 402 in der IC-Bauelementespeichereinheit 40 vorgesehen. Durch Vorsehen dieser vier Klassifizierungstablarstapler 402 ist es möglich, die IC-Bauelemente in maximal vier Klassen gemäß der Prüfergebnisse zu sortieren und zu speichern.
Die Leertablarstapler 403 speichern leere Tablare von Zufuhrtablaren, von denen alle IC-Bauelemente vor der Prüfung, die getragen worden waren, der Prüfeinheit 30 zugeführt wurden. Man beachte, daß die Anzahlen der Stapler 401 bis 403 bedarfsgemäß geeignet festgelegt werden können.
Das Tablarfördersystem 404 ist ein Fördersystem, welches in der Lage ist, Tablare entlang der X-Z-Achsen-Richtung in 1 zu bewegen. Dieses Tablarfördersystem 404 umfaßt eine X-Achsen-Richtungsschiene 404a, einen bewegbaren Kopf 404b und vier Saugelemente 404c. Dieses Tablarfördersystem 404 hat einen Wirkungsbereich, der die Zufuhrtablarstapler 401, einen Teil der Klassifizierungstablarstabler 402 (die unteren zwei Klassifizierungstablarstabler in 1) und die Leertablarstapler 403 umfaßt.
Die X-Achsen-Richtungsschiene 404a ist an einer Grundplatte 12 des Handlers 10 befestigt. Diese X-Achsenschiene 404a trägt einen bewegbaren Kopf 404b, so daß er in der X-Achsen-Richtung bewegbar ist, in einer freitragenden Weise. Der bewegbare Kopf 404b ist über ein Z-Achsen-Richtungsstellglied (nicht gezeigt) mit vier Saugelementen 404c ausgestattet.
Wenn an dem Tablarstapler 401 die IC-Bauelemente vor der Prüfung von einem Zufuhrtablar geleert werden, nimmt das Tablarfördersystem 404 ein leeres Tablar mittels der Saugelemente 404 an dem Leertablarstapler 403 auf und hält es, hebt es mittels des Z-Achsen-Richtungsstellgliedes an, und bewegt den bewegbaren Kopf 404b an der X-Achsen-Richtungsschiene 404a, um das leere Tablar von dem Zufuhrtablarstapler 401 zu dem Leertablarstapler 403 zu transferieren.
Weiter nimmt dieses Tablarfördersystem 404 ein mit IC-Bauelementen nach der Prüfung gefülltes Klassifizierungstablar an dem Klassifizierungstablarstapler 402 durch den Leertablarstapler 403 auf und hält es, hebt es mittels eines Z-Achsen-Richtungsstellgliedes an und bewegt den bewegbaren Kopf 404b an der X-Achsen-Richtungsschiene 404a, um ein leeres Tablar von einem Leertablarstapler 403 zu dem Klassifizierungstablarstapler 402 zu transferieren.
Die Ladeeinheit 50
Die Ladeeinheit 50 ist ein Teil, welcher ein IC-Bauelement vor der Prüfung von dem Zufuhrtablarstapler 401 der IC-Bauelementespeichereinheit 40 der Prüfeinheit 30 zuführt. Diese Ladeeinheit 50 umfaßt ein Fördersystem 501 der Ladeeinheit, zwei Ladepuffereinheiten 502 (zwei auf der linken Seite in 1) und eine Heizplatte 503.
Das Fördersystem 501 der Ladeeinheit ist eine Einrichtung, die ein IC-Bauelement auf einem Zufuhrtablar, welches in dem Zufuhrtablarstapler 401 der IC-Bauelementespeichereinheit 40 gestapelt ist, auf die Heizplatte 503 bewegt und ein IC-Bauelement auf der Heizplatte 503 auf eine Ladepuffereinheit 502 bewegt. Dieses Fördersystem 501 der Ladeeinheit umfaßt Y-Achsen-Richtungsschienen 501a, eine X-Achsen-Richtungsschiene 501b, einen bewegbaren Kopf 501c und Saugeinheiten 501d. Dieses Fördersystem 501 der Ladeeinheit hat einen Wirkungsbereich, der die Zufuhrtablarstapler 401, die Heizplatte 503 und zwei Ladepuffereinheiten 502 umfaßt.
Wie in 1 gezeigt ist, sind zwei Y-Achsen-Richtungsschienen 501a auf einer Grundplatte 12 des Handlers 10 befestigt. Zwischen ihnen ist eine X-Achsen-Richtungsschiene 502b derart getragen, daß sie in der Y-Achsen-Rich tung bewegbar ist. Die X-Achsen-Richtungsschiene 502b ist mit einem bewegbaren Kopf 501c versehen, der ein Z-Achsen-Richtungsstellglied (nicht gezeigt) hat, so daß es in der X-Achsen-Richtung bewegbar ist.
Der bewegbare Kopf 501c hat vier Saugeinheiten 501d, die Saugelemente 501e an ihrem unteren Ende haben. Durch Ansteuern des obigen Z-Achsen-Richtungsstellgliedes können die vier Saugeinheiten 501d unabhängig voneinander dazu gebracht werden, in der Z-Achsen-Richtung aufzusteigen und abzusteigen.
Jedes der Saugelemente 501d ist mit einer Quelle negativen Drucks (nicht gezeigt) verbunden. Durch Ansaugen von Luft aus einem Saugelement 501e und Erzeugen eines negativen Drucks kann ein IC-Bauelement aufgenommen und gehalten werden. Weiter kann durch Stoppen des Ansaugens von Luft aus einem Saugelement 501e ein IC-Bauelement freigegeben werden.
Die Heizplatte 503 ist eine Wärmequelle zum Ausüben einer vorbestimmten thermischen Belastung auf ein IC-Bauelement, um eine Hochtemperaturprüfung durchzuführen. Sie besteht beispielsweise aus einer metallischen Wärmeübertragungsplatte mit einer Wärmeerzeugungsquelle (nicht gezeigt) am unteren Teil. An der oberen Oberflächenseite der Heizplatte 503 ist eine Mehrzahl von Vertiefungen 503a gebildet, um IC-Bauelemente dort hineinfallen zu lassen. Man beachte, daß beim Durchführen einer Niedrigtemperaturprüfung es ebenfalls möglich ist, eine Kältequelle anstelle einer Wärmequelle vorzusehen.
Jede Ladepuffereinheit 502 ist eine Einrichtung zum Bewegen eines IC-Bauelements zwischen dem Wirkungsbereich des Fördersystems 501 der Ladeeinheit und dem Wirkungsbereich des Fördersystems 310 der Prüfeinheit. Diese Ladepuffereinheit 502 umfaßt einen Puffertisch 502a und ein X-Achsen-Richtungsstellglied 502b.
Das X-Achsen-Richtungsstellglied 502b ist an der Grundplatte 12 des Handlers 10 befestigt und trägt einen Puffertisch 502a an einem Ende dieses X-Achsen-Richtungsstellglieds 502b. Wie in 1 gezeigt, ist die obere Oberfläche des Puffertisches 502a mit vier in in Flächenansicht rechteckigen Vertiefungen 502c gebildet, um IC-Bauelemente dort hinein fallenzulassen.
Ein IC-Bauelement vor der Prüfung wird von dem Fördersystem 501 der Ladeeinheit von einem Zufuhrtablarstapler 401 zu der Heizplatte 503 bewegt. Es wird von der Heizplatte 503 auf eine vorbestimmte Temperatur erhitzt, dann wieder von dem Fördersystem 501 der Ladeeinheit zu einer Ladepuffereinheit 502 bewegt und weiter der Prüfeinheit 30 zugeführt.
Die Prüfeinheit 30
Die Prüfeinheit 30 ist ein Teil, um externe Anschlüsse (Lotkugeln) eines zu prüfenden IC-Bauelements in elektrischen Kontakt mit den Kontaktstiften 302 eines Sockels 301 zum Durchführen einer Prüfung zu bringen. In der vorliegenden Ausführungsform umfaßt die Prüfeinheit 30 ein Fördersystem 310 der Prüfeinheit und eine Hubfestlegungseinrichtung 320.
Das Fördersystem 310 der Prüfeinheit ist eine Einrichtung, die ein IC-Bauelement vor der Prüfung, welches von einer Ladepuffereinheit 502 der Prüfeinheit 30 zugeführt wurde, gegen einen Sockel 301 drückt und weiter ein IC-Bauelement nach der Prüfung in die Endladepuffereinheit 602 entlädt. Dieses Fördersystem 310 der Prüfeinheit umfaßt Y-Achsen-Richtungsschienen 311s, X-Achsen-Richtungsschienen 311a und Kontaktarme 312.
Wie in 1 und 2 gezeigt ist, sind zwei Y-Achsen-Richtungsschienen 311 an der Grundplatte 12 des Handlers 10 befestigt. Zwischen diesen sind zwei X-Achsen-Richtungsschienen 311a derart getragen, daß sie in der Y-Achsen-Richtung bewegbar sind. An der ungefähren Mitte jeder X-Achsen-Richtungsschiene 311a ist ein Kontaktarm 312 vorgesehen.
Jeder Kontaktarm 312 hat einen Wirkungsbereich, der die Ladepuffereinheit 502, die Entladepuffereinheit 602 und den Prüfkopf 300 umfaßt. Man beachte, daß die zwei X-Achsen-Richtungsschienen 311a, die simultan auf dem Paar der Y-Achsen-Richtungsschienen 311 betrieben werden, von der Steuereinrichtung 316 derart gesteuert werden, daß ihre Arbeitsvorgänge sich nicht gegenseitig stören.
Wie in 3 gezeigt ist, umfaßt jeder Kontaktarm 312 ein Z-Achsen-Richtungsstellglied 313, welches an seinem oberen Ende an einer X-Achsen-Richtungsschiene 311a befestigt ist, eine Tragbasis 314, die an dem unteren Ende des Z-Achsen-Richtungsstellgliedes 313 befestigt ist, und vier Halteteile 315, die am oberen Ende an der Tragbasis 315 befestigt sind.
Die vier Halteteile 315 sind an der Tragbasis 314 derart vorgesehen, daß sie der regelmäßigen Anordnung der Sockel 301 entsprechen. Weiter sind die vorderen Enden der Halteteile 315 jeweils mit Saugeinheiten 317 versehen. Man beachte, daß die Halteteile 315, die für Hochtemperaturprüfungen/Niedrigtemperaturprüfungen verwendet werden, mit Heizmitteln/Kühlmitteln (nicht gezeigt) versehen sind. Jedes der Saugelemente 317d ist mit einer Quelle negativen Drucks (nicht gezeigt) verbunden. Durch Ansaugen von Luft aus einer Saugeinheit 317 und Erzeugen eines negativen Drucks kann ein IC-Bauelement aufgenommen und gehalten werden. Weiter kann durch Stoppen des Ansaugens von Luft aus einer Saugeinheit 317 ein IC-Bauelement freigegeben werden.
Wie in 3 gezeigt ist, umfaßt der Prüfkopf 300 in der vorliegenden Ausführungsform vier Sockel 301. Die vier Sockel 301 sind an dem oberen Teil des Prüfkopfes 300 derart angeordnet, daß sie im wesentlichen zu der regelmäßigen Anordnung der vier Halteteile 315 des Kontaktarms 312 passen. Jeder Sockel 301 hat eine Mehrzahl von Kontaktstiften 302, die derart angeordnet sind, daß sie im wesentlichen zu der regelmäßigen Anordnung von Lotkugeln eines IC-Bauelements passen.
Wie in 2 gezeigt ist, ist die Grundplatte 12 des Handlers 10 in der Prüfeinheit 30 mit einer Öffnung 11 versehen. Weiter ist ein Prüfkopf 300 unterhalb der Grundplatte 12 vorgesehen, so daß die Sockel 301 sich von der Öffnung 11 nähern, um zu ermöglichen, daß die IC-Bauelemente den Sockeln 301 durch die Öffnung 11 gegenüberstehen.
Die vier auf der Ladepuffereinheit 502 getragenen IC-Bauelemente vor der Prüfung werden von dem Fördersystem 310 der Prüfeinheit über die Sockel 301 des Prüfkopfes 300 bewegt. Weiter senken sich, wie in 3 gezeigt, die Z-Achsen-Richtungsstellglieder 313 der Kontaktarme 312 entlang der Z-Achsen-Richtung um den Hub L, wodurch die IC-Bauelemente gegen die Sockel 301 gedrückt werden. In dem Zustand, in dem die IC-Bauelemente und Sockel 301 in elektrischem Kontakt sind, prüft die Prüfeinrichtung 20 simultan die vier IC-Bauelemente. Danach werden sie von dem Fördersystem 310 der Prüf einheit zu der Entladepuffereinheit 602 bewegt und werden von der Entladepuffereinheit 602 aus der Entladeeinheit 60 ausgestoßen.
Weiter umfaßt in der vorliegenden Ausführungsform die Prüfeinheit 30 eine Hubfestlegungseinrichtung 320. Diese Hubfestlegungseinrichtung 320 ist eine Einrichtung zum automatischen Festlegen des optimalen Hubes der Z-Achsen-Richtungsstellglieder 313 der Kontaktarme 312, wenn die Art des IC-Bauelements wechselt, der Sockel 301 wechselt, usw. Diese Hubfestlegungseinrichtung 320 besteht aus einem Prozessor (CPU), einem Speicher, usw. Funktional umfaßt sie, wie in 4 gezeigt ist, eine Unterrichtungseinheit 321, eine Erlangungseinheit 322, eine Abänderungseinheit 323, eine Festlegungseinheit 324 und eine Alarmeinheit 325.
Die Unterrichtungseinheit 321 hat die Funktion, die Steuereinrichtung 316 über das Drehmoment der Z-Achsen-Richtungsstellglieder 313 zu unterrichten, wenn die Kontaktarme 312 verwendet werden, um die IC-Bauelemente gegen die Sockel 301 zu drücken. Diese Unterrichtungseinheit 321 unterrichtet die Steuereinrichtung 316 über das theoretische Drehmoment, welches von dem Bediener über eine Tastatur (nicht gezeigt) als anfängliches Drehmoment in dem automatischen Hubfestlegungsvorgang eingegeben wird. Im Gegensatz dazu unterrichtet es nach dem ersten Mal die Steuereinrichtung 316 über das von der Abänderungseinheit 323 abgeänderte Drehmoment.
Die Erlangungseinheit 322 ist, wie in 4 gezeigt ist, mit der Prüfeinrichtung 20 verbunden und hat die Funktion, von der Prüfeinrichtung 20 das Ergebnis einer Prüfung eines IC-Bauelements zu erlangen, die von der Prüfeinrichtung 20 durchgeführt wird, wenn ein Kontaktarm 312 tatsächlich ein IC-Bauelement gegen einen Sockel 301 gemäß dem Drehmoment drückt, über welches von der Unterrichtungseinheit 321 unterrichtet wurde.
Die Abänderungseinheit 323 hat die Funktion, das Drehmoment, über welches die Unterrichtungseinheit 321 die Steuereinrichtung 316 unterrichtet, gemäß dem von der Erlangungseinheit 322 erlangten Prüfergebnis abzuändern. Diese Abänderungseinheit 323 führt eine Abänderung durch, um das Drehmoment zu erhöhen, wenn das von der Erlangungseinheit 322 erlangte Prüfergebnis unnormal anzeigt. Im Gegensatz dazu führt diese Abänderungseinheit 323 eine Abänderung durch, um das Drehmoment zu verringern, wenn das von der Erlangungseinheit 323 erlangte Prüfergebnis normal anzeigt. Weiter hat diese Abänderungseinheit 323 einen Zähler zum Zählen der Anzahl von Malen von das Drehmoment erhöhenden Abänderungen und hat die Funktion, den automatischen Hubfestlegungsvorgang der Hubfestlegungseinrichtung 320 zu stoppen, wenn die Anzahl des Zählers die vorbestimmte Anzahl von Malen erreicht.
Die Festlegungseinheit 324 hat die Funktion, die Prüfeinrichtung erneut eine Prüfung mit dem Drehmomentwert einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal war, ausführen zu lassen, den Hub L bei dieser Prüfung zu messen, und den Hub L in der Steuereinrichtung 316 als den optimalen, zum Zeitpunkt einer tatsächlichen Prüfung verwendeten Hub festzulegen, wenn die Abänderungseinheit 323 das Drehmoment nicht korrigiert hat. Der von der Festlegungseinheit 324 gemessene Hub L ist, wie in 3 gezeigt ist, die Länge der Erstreckung eines Kontaktarmes 312 entlang der Z-Achsen-Richtung von dem Zustand, in dem er über den Sockeln 301 positioniert ist, bis zu dort, wo die IC-Bauelemente die Sockel 301 kontaktieren. Wenn beispielsweise das Z-Achsen-Richtungsstellglied 313 einen elektrischen Motor zum Antreiben eines Kugelumlaufspindelmechanismus usw. aufweist, verwendet diese Befestigungseinheit 324 die Ausgangspulse eines an dem Motor vorgesehenen Impulsgebers, um den Hub L zu berechnen.
Die Alarmeinheit 325 hat die Funktion, den Bediener warnend auf die Tatsache hinzuweisen, daß der Festlegungsvorgang des Hubes durch die Hubfestlegungseinrichtung 320 gestoppt wurde, wenn die Abwärtsabänderung durch die Abänderungseinheit 323 eine vorbestimmte Anzahl von Malen durchgeführt wurde.
Die Entladeeinheit 60
Die Entladeeinheit 60 ist ein Teil zum Ausstoßen eines IC-Bauelements nach der Prüfung aus der Prüfeinheit 30 an die IC-Bauelementspeichereinheit 40. Die Entladeeinheit 60 umfaßt ein Fördersystem 601 der Entladeeinheit und zwei Entladepuffereinheiten 602 (zwei auf der rechten Seite in 1).
Jede Entladepuffereinheit 602 ist eine Einrichtung zum Bewegen eines IC-Bauelements zwischen dem Wirkungsbereich des Fördersystems 310 der Prüf einheit und dem Wirkungsbereich des Fördersystems 601 der Entladeeinheit. Diese Entladepuffereinheit 602 umfaßt einen Puffertisch 602a und ein X-Achsen-Richtungsstellglied 602b.
Das X-Achsen-Richtungsstellglied 602b ist auf der Grundplatte 12 des Handlers 10 befestigt. Ein Puffertisch 602a ist an einem Ende dieses X-Achsen-Richtungsstellgliedes 602b getragen. An der oberen Oberfläche dieses Puffertisches 602a sind vier Vertiefungen 602c gebildet, um IC-Bauelemente dort hinein fallen zu lassen.
Das Fördersystem 601 der Entladeeinheit ist ein System zum Bewegen und Tragen von IC-Bauelementen auf einer Entladepuffereinheit 602 zu einem Klassifizierungstablar auf dem Klassifizierungstablarstapler 402. Dieses Fördersystem 601 der Entladeeinheit umfaßt eine Y-Achsen-Richtungsschiene 601a, eine X-Achsen-Richtungsschiene 601b, einen bewegbaren Kopf 601c und eine Saugeinheit 601d. Dieses Fördersystem 601 der Entladeeinheit hat einen Wirkungsbereich, der die zwei Entladepuffereinheiten 602 und den Klassifizierungstablarstapler 402 umfaßt.
Wie in 1 gezeigt ist, sind die zwei Y-Achsen-Richtungsschienen 601a auf der Grundplatte 12 des Handlers 10 befestigt. Zwischen diesen sind X-Achsen-Richtungsschienen 602b derart getragen, daß sie in der Y-Achsen-Richtung bewegbar sind. Jede X-Achsen-Richtungsschiene 602b ist mit einem bewegbaren Kopf 601c versehen, der ein Z-Achsen-Richtungsstellglied (nicht gezeigt) hat, welches in der X-Achsen-Richtung bewegbar ist.
Der bewegbare Kopf 601c ist an seinem unteren Ende mit vier Saugeinheiten 601d mit Saugelementen versehen. Indem die obigen Z-Achsen-Richtungsstellglieder angesteuert werden, können die vier Saugeinheiten 601d unabhängig voneinander dazu gebracht werden, in der Z-Achsen-Richtung aufzusteigen und abzusteigen.
Ein auf der Entladepuffereinheit 602 getragenes IC-Bauelement nach der Prüfung wird aus der Prüfeinheit 30 zu der Entladeeinheit 60 ausgestoßen und durch die Entladeeinheit 601 von der Entladepuffereinheit 602 zu dem Klassifizierungstablarstapler 402 platziert.
Als nächstes wird das Verfahren zum Festlegen des optimalen Hubes eines Kontaktarms gemäß der vorliegenden Ausführungsform, welches nach dem Wechseln der Art des IC-Bauelements oder nach dem Wechseln des Sockels 301 ausgeführt wird, mit Bezug auf 5A und 5B erläutert werden.
Zunächst verwendet, wie in dem Schritt S10 der 5A gezeigt ist. der Bediener eine Tastatur (nicht gezeigt), um ein theoretisches Drehmoment in einer Unterrichtungseinheit 321 der Hubfestlegungseinrichtung 320 einzugeben. Dieses "theoretische Drehmoment" wird berechnet aus der Last pro Stift der Kontaktstifte 302, der Anzahl von Kontaktstiften 302 auf dem Sockel 301, der Anzahl von Sockeln 301 auf dem Prüfkopf 300, usw.. Wenn beispielsweise die Last pro Stift der Kontaktstifte 302 log ist, die Anzahl von Stiften der Kontaktstifte 302 an einem Sockel 301 1000 Stifte sind und die Anzahl von Sockeln 301 an dem Prüfkopf 300 vier ist, wird eine Andrücklast von 40 kg benötigt (= 10[g] × 1000[Stifte] × 4).
Weiter verwendet in diesem Schritt S10, zusätzlich zu der Eingabe des theoretischen Drehmoments, der Bediener die Tastatur, um eine Kategorienummer einzugeben, die ein gutes Bauelement in dem von der Prüfeinrichtung 20 erlangten Prüfergebnis zeigt, oder er gibt eine maximal zulässige Hubgrenze ein, um eine Beschädigung der Kontaktarme 312 und der Sockel 301 zu verhindern.
Als nächstes drückt der Bediener den Prüfstartknopf (nicht gezeigt) des Handlers 10, um den Prüfvorgang elektronischer Bauelemente zu starten, um automatisch den Hub festzulegen (Schritt S20). Aufgrund dieses Bedienvorgangs des Bedieners fördert das Fördersystem 501 der Ladeeinheit ein IC-Bauelement von dem Zufuhrtablarstapler 401 der IC-Bauelementspeichereinheit 40 zu der Ladepuffereinheit 502, und die Ladepuffereinheit 502 führt das IC-Bauelement dem Prüfeinheits-Fördersystem 310 der Prüfeinheit 30 zu. Das Fördersystem 310 der Prüfeinheit bewegt das IC-Bauelement über einen Sockel 301 des Prüfkopfes 300, und der Kontaktarm 312 senkt das IC-Bauelement in Richtung auf den Sockel 301 ab und drückt das IC-Bauelement gegen den Sockel 301. Weiter stoppt, wenn das Andrückdrehmoment des Kontaktarms 312 das theoretische Drehmoment erreicht, über welches von der Unterrichtungseinheit 321 unterrichtet wurde, die Steuereinheit 316 den Absenkungsvorgang des Kontaktarms 312. In diesem Zustand prüft der Prüfer 200 das IC-Bauelement über den Prüfkopf 300 und den Sockel 301 (Schritt S30). Man beachte, daß das für die Prüfung zum Festlegen dieses optimalen Hubes verwendete IC-Bauelement eines ist, von welchem im voraus bestätigt wurde, daß es ein gutes Bauelement ist.
Zu dem Zeitpunkt dieser Prüfung erlangt die Erlangungseinheit 322 das Prüfergebnis von der Prüfeinrichtung 20 (Schritt S40 in 5). Hier wird das von der Prüfeinrichtung 20 erlangte Prüfergebnis ausgedrückt durch eine Kategorienummer von "1" für ein gutes Bauelement und eine andere Kategorienummer als "1" für ein defektes Bauelement (z. B. eine Kategorienummer von "2", "3", usw.). Man beachte, daß bei dem obigen Schritt S10 die Tatsache, daß ein gutes Bauelement durch die Kategorienummer "1" ausgedrückt wird, von einem Bediener in die Unterrichtungseinheit 321 der Hubfestlegungseinrichtung 320 eingegeben wurde.
Als nächstes beurteilt die Abänderungseinheit 323, ob das von der Erlangungseinheit 322 erlangte Prüfergebnis "1" ist oder nicht (Schritt S50).
Wenn in diesem Schritt S50 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis ein anderes als "1" ist (NEIN in Schritt S50), führt die Hubfestlegungseinrichtung 320 in den Schritten S110 bis S180 eine Abänderung zum Erhöhen des Drehmoments durch, um den Kontaktfehler zwischen dem IC-Bauelement und dem Sockel 301 aufgrund eines unzureichenden Hubes zu beheben. Man beachte, daß die Verarbeitung, wenn in Schritt S50 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis "1" ist (d. h., die Verarbeitung des Schritts S210 oder späterer) später erläutert werden wird.
Zunächst, in Schritt S110, setzt die Abänderungseinheit 323 den Zähler m zurück (m = 0), und dann führt die Steuereinrichtung 316 die Steuerung durch, um den Kontaktarm 321 anzuheben (Schritt S120).
Als nächstes führt die Abänderungseinheit 323 eine Abänderung durch, um das Drehmoment zu erhöhen. Die Unterrichtungseinheit 321 unterrichtet die Steuereinrichtung 316 über dieses abgeänderte Drehmoment (Schritt S130). Der Erhöhungsbetrag α des von der Abänderungseinheit 323 abgeänderten Drehmoments ist beispielsweise etwa 10% des Drehmoments vor der Abänderung. Man beachte, daß das Drehmoment, welches die Abänderungseinheit 323 in dem Schritt S130 erhöht, das theoretische Drehmoment ist, welches von dem Bediener in dem Schritt S10 angegeben wurde, wenn unmittelbar von dem Schritt S50 vorangeschritten wird, und das abgeänderte Drehmoment ist, welches in dem Schritt S130 des unmittelbar benachbarten Zyklus abgeändert wurde, wenn der Schritt S130 bereits durchlaufen wurde.
Als nächstes senkt der Kontaktarm 312 erneut das IC-Bauelement in Richtung auf den Sockel 301 und drückt das IC-Bauelement gegen den Sockel 301. Wenn das Andrückdrehmoment des Kontaktarms 312 das Abänderungsdrehmoment erreicht, über welches von der Unterrichtungseinheit 321 unterrichtet wurde, stoppt die Steuereinrichtung 316 den Absenkungsvorgang des Kontaktarms 312. In diesem Zustand prüft die Prüfeinrichtung 20 das IC-Bauelement (Schritt S140).
Als nächstes erlangt in dem Schritt S150 die Erlangungseinheit 322 das Prüfergebnis von der Prüfeinrichtung 20, und in dem Schritt S160 zählt das Abänderungsmittel 323 die Anzahl der Abänderungen des Zählers (m = m + 1).
Als nächstes beurteilt die Abänderungseinheit 323, ob das von der Erlangungseinheit 322 erlangte Prüfergebnis "1" ist oder nicht (Schritt S170).
Wenn in diesem Schritt S170 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis "1" ist (JA in Schritt S170), wurde der elektrische Kontakt zwischen dem IC-Bauelement und dem Sockel 301 sichergestellt, und somit wird eine Abänderung zum Verringern des Drehmoments in den Schritten S210 bis S250 der 5A ausgeführt. Die Verarbeitung dieses Schrittes S210 oder späterer wird später erläutert werden.
Wenn in diesem Schritt S170 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis ein anderes ist als "1" (NEIN in Schritt S170), wurde ein elektrischer Kontakt zwischen dem IC-Bauelement und dem Sockel 301 immer noch nicht sichergestellt, so daß zunächst in dem Schritt S180 die Abänderungseinheit 323 beurteilt, ob der Zähler m eine vorbestimmte Anzahl von Malen M oder weniger ist (m ≤ M). Als vorbestimmte Anzahl von Malen M können beispielsweise fünf Mal bis zehn Mal erwähnt werden.
Wenn in dem Schritt S170 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis ein anderes ist als "1" (NEIN in Schritt S170) und in dem Schritt S180 beurteilt wird, daß der Zähler m gleich der vorbestimmten Anzahl von Malen M oder weniger ist (JA in Schritt S180), wiederholt die Hubfestlegungseinrichtung 320 eine Abänderung in den Schritten S110 bis S160, um das Drehmoment zu erhöhen.
Im Gegensatz dazu stoppt, wenn in dem Schritt S180 beurteilt wird, daß der Zähler größer als die vorbestimmte Anzahl von Malen M ist, (NEIN in dem Schritt S180), die Abänderungseinheit 323 den Festlegungsvorgang für den optimalen Hub durch die Hubfestlegungseinrichtung 320, und die Alarmeinheit 325 warnt den Bediener, daß der Festlegungsvorgang für den optimalen Hub ausgesetzt wurde. Dadurch ist es möglich, wenn der Kontaktfehler des IC-Bauelements und des Sockels 301 einen anderen Grund hat als einen unzureichenden Hub und ein elektrischer Kontakt zwischen dem IC-Bauelement und dem Sockel 301 letztendlich nicht sichergestellt werden kann, automatisch den Vorgang des Festlegens des optimalen Hubes zu stoppen.
Wenn in dem Schritt S50 oder dem Schritt S170 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis "1" ist (JA in dem Schritt S50 oder JA in dem Schritt S170), führt, um eine Verkürzung der Lebensdauer des Sockels aufgrund übermäßigen Drehmoments zu vermeiden, die Hubfestlegungseinrichtung 320 in den Schritten S210 bis S250 eine Abänderung durch, um das Drehmoment zu verringern.
Zunächst führt in dem Schritt S210 die Steuereinrichtung 316 eine Steuerung durch, um den Kontaktarm 312 anzuheben.
Als nächstes führt die Abänderungseinheit 323 eine Steuerung durch, um das Drehmoment zu verringern (Schritt S220). Die Unterrichtungseinheit 321 unterrichtet die Steuereinrichtung 316 über dieses abgeänderte Drehmoment. Man beachte, daß das Drehmoment, welches die Abänderungseinheit 323 in dem Schritt S220 verringert, das theoretische Drehmoment ist, welches von dem Bediener in dem Schritt S10 angegeben wurde, wenn unmittelbar von dem Schritt S50 vorangeschritten wurde, und das abgeänderte Drehmoment ist, welches in dem Schritt S130 des unmittelbar benachbarten Zyklus abgeändert wurde, wenn von dem Schritt S170 vorangeschritten wurde. Weiter ist der Verringerungsbetrag β des Drehmoments, um den durch die Abände rungseinheit 323 abgeändert wird, beispielsweise 1 bis 2% des Drehmoments vor der Abänderung. Der Verringerungsbetrag β ist relativ kleiner als der Erhöhungsbetrag α(β < α).
Der Kontaktarm 312 senkt das IC-Bauelement erneut in Richtung auf den Sockel 301 ab und drückt das IC-Bauelement gegen den Sockel 301. Wenn das Drehmoment, mit dem der Kontaktarm 312 das Bauelement drückt, das Abänderungsdrehmoment erreicht, über welches von der Unterrichtungseinheit 321 unterrichtet wurde, stoppt die Steuerungseinrichtung 316 den Absenkungsvorgang des Kontaktarms 312. In diesem Zustand prüft die Prüfeinrichtung 20 das IC-Bauelement (Schritt S230).
Als nächstes erlangt die Erlangungseinheit 322 das Prüfergebnis von der Prüfeinrichtung (Schritt S240). Die Abänderungseinheit 323 beurteilt, ob das Prüfergebnis "1" ist oder nicht (Schritt S250).
Wenn in diesem Schritt S250 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis "1" ist (NEIN in Schritt S250), ist das Drehmoment immer noch übermäßig, so daß in den Schritten S210 bis S240 eine Abänderung zur Verringerung des Drehmoments durchgeführt wird.
Im Gegensatz dazu erfolgt, wenn in dem Schritt S250 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis ein anderes ist als "1" (NEIN in Schritt S250), keine Abänderung des Drehmoments durch die Abänderungseinheit 323, sondern die Abänderungseinheit 323 schreitet zu den Schritten S310 bis 360 voran, die in 5B gezeigt sind, um den optimalen Hubwert festzulegen.
Wie durch das Flußdiagramm der 5B gezeigt ist, führt die Steuereinrichtung 316 zunächst eine Steuerung durch, um den Kontaktarm 321 anzuheben (Schritt S310). Die Festlegungseinrichtung 324 unterrichtet die Steuereinrichtung 316 über den Drehmomentwert, über den in der Prüfung des N-ten Zyklus unterrichtet wurde (Schritt S320).
Man beachte, daß der "Drehmomentwert in der Prüfung des N-ten Zyklus" bedeutet: der Drehmomentwert in der Prüfung des unmittelbar vorangegangenen (N-ten) Zyklus, wenn der Zyklus, bei dem in dem Schritt S250 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis ein anderes ist als "1", als (N + 1)-ter Zyklus defi niert wird. Wenn beispielsweise der Zyklus des Erhöhens des Drehmoments in den Schritten S210 bis S250 eine Anzahl von Malen wiederholt wird und das sich in der Prüfung befindende Bauelement in der Prüfung des (N + 1)-ten Zyklus defekt wird, ist er der Drehmomentwert in der Prüfung des N-ten Zyklus. Weiter ist, wenn in der Prüfung des das Drehmoment erhöhenden Zyklus der Schritte S210 bis S250 unmittelbar nach dem das Drehmoment verringernden Zyklus der Schritte S110 bis S180 das Ergebnis unmittelbar ein gutes Produkt ist, er der Drehmomentwert bei der Prüfung des letzten Zyklus der Schritte S110 bis S180.
Als nächstes wird die Prüfung des IC-Bauelements mit dem Drehmomentwert in der Prüfung des N-ten Zyklus durchgeführt (Schritt S340). Die Abänderungseinheit 324 erlangt die Prüfergebnisse (Schritt S340) und beurteilt, ob das Prüfergebnis "1" ist oder nicht (Schritt S350).
Wenn in dem Schritt S350 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis ein anderes ist als "1" (NEIN in dem Schritt S350), wird der Festlegungsvorgang für den optimalen Hub durch die Hubfestlegungseinrichtung 320 gewaltsam gestoppt, und die Alarmeinheit 325 warnt den Bediener, daß der Festlegungsvorgang für den optimalen Hub gestoppt wurde.
Wenn in dem Schritt S350 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis "1" ist (JA in dem Schritt S350) berechnet die Festlegungseinheit 324 den Hub L des Kontaktarms 312 zum Zeitpunkt der Prüfung und legt diesen Hub L als den optimalen Hub zur Verwendung zum Zeitpunkt einer tatsächlichen Prüfung in der Steuereinrichtung 316 fest (Schritt S360).
Das heißt, wenn das Prüfergebnis zum Zeitpunkt der (N + 1)ten Prüfung (wobei N eine natürliche Zahl ist) in dem Schritt S250 ein anderes ist als "1" (unnormal), ändert die Abänderungseinheit 323 nicht länger das Drehmoment ab, sondern die Festlegungseinheit 324 prüft das IC-Bauelement mittels des Drehmomentwertes zum Zeitpunkt der N-ten Prüfung, mißt den Hub L und legt den Hub L als den optimalen Hub fest.
Nachdem der Hubfestlegungsvorgang abgeschlossen wurde, fördert das Fördersystem 310 der Prüfeinheit das IC-Bauelement zu der Entladepuffereinheit 602, wonach das IC-Bauelement durch die Entladepuffereinheit 602 und das Fördersystem 601 der Entladeeinheit zu dem Klassifizierungstablar 602 der IC-Bauelementespeichereinheit 40 entladen wird.
Auf die oben beschriebene Weise ist es gemäß der Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente der vorliegenden Erfindung möglich, zum Zeitpunkt des Wechselns der Art der IC-Bauelemente, zum Zeitpunkt des Wechselns der Sockel usw., automatisch den optimalen Hub der Kontaktarme festzulegen.
Man beachte, daß die oben erläuterte Ausführungsform beschrieben wurde, um das Verständnis der vorliegenden Erfindung zu erleichtern, und nicht beschrieben wurde, um die vorliegenden Erfindung zu beschränken. Daher schließen die in der obigen Ausführungsform offenbarten Elemente alle Änderungen des Aufbaus und Äquivalente ein, die in den technischen Umfang der vorliegenden Erfindung fallen.
Beispielsweise sind in dem in 5A gezeigten Flußdiagramm die Schritte des Erhöhens des Drehmoments von Schritt S210 bis S250 keine wesentlichen Erfordernisse der vorliegenden Erfindung. Wenn in dem Schritt S170 beurteilt wird, daß das Prüfergebnis "1" ist, ist es ebenfalls möglich, daß die Festlegungseinheit 324 den Hub L zum Zeitpunkt der Prüfung als den optimalen Hub in der Steuereinrichtung 316 festlegt.
Weiter wurde in den obigen Ausführungsformen erläutert, den optimalen Hub nach dem Wechsel der Art des zu prüfenden IC-Bauelements oder nach dem Wechsel des Sockels 301 festzulegen, aber es ist auch möglich, den optimalen Hub der Kontaktarme mittels des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung neu festzulegen, wenn das Los der zu prüfenden Bauelemente wechselt, oder wenn mitten beim Prüfen fortlaufend defekte Bauelemente gefunden werden.
Weiter mißt in der obigen Ausführungsform, wenn das Drehmoment von der Abänderungseinheit 323 nicht korrigiert wurde (NEIN in Schritt S250 der 5A), die Abänderungseinheit 324 den Hub L des Kontaktarms 312, indem erneut eine normale Prüfung durchgeführt wird (Schritte S310 bis S360 der 5B), aber die vorliegende Erfindung ist nicht besonders darauf beschränkt.
Beispielsweise wird jedes Mal, wenn die Prüfeinrichtung 20 eine Prüfung durchführt (jeder der Schritte S140 oder S230 der 5A), der Hub L gemessen und gespeichert. Die Festlegungseinheit 324 kann auch den Hub L zum Zeitpunkt einer normalen Prüfung entnehmen, wenn die Abänderungseinheit 323 das Drehmoment nicht abändert (NEIN in Schritt S250 der 5A).
Alternativ wird jedes Mal, wenn ein normales Prüfergebnis erhalten wird (jedes Mal, wenn das Prüfergebnis "1" ist in den Schritten S150 oder S240 der 5A), der Hub L gemessen und aktualisiert. Die Festlegungseinheit 324 kann auch den letzten Hub L aufrufen, wenn die Abänderungseinheit 323 das Drehmoment nicht abändert (NEIN in Schritt S250 der 5A).
Weiter wurde in der obigen Ausführungsform erläutert, daß nur der optimale Hub festgelegt wird, aber wenn das Andrücken des Kontaktarmes mittels Drehmomentsteuerung zum Zeitpunkt einer tatsächlichen Prüfung gesteuert wird, ist es möglich, statt den optimalen Hub des Kontaktarms festzulegen oder zusätzlich zum Festlegen des optimalen Hubes, das optimale, zum Zeitpunkt einer tatsächlichen Prüfung verwendete Drehmoment festzulegen.
ZUSAMMENFASSUNG
Eine Prüfvorrichtung (10) für elektronische Bauelemente weist auf: einen Kontaktarm (312), der ein IC-Bauelement bewegt und es gegen einen Sockel (301) drückt; eine Steuereinrichtung (316), die den Kontaktarm (312) steuert; eine Unterrichtungseinheit (321), die die Steuereinrichtung (316) über ein Andrückdrehmoment des Kontaktarms (312) unterrichtet; eine Erlangungseinheit (322), die von der Prüfeinrichtung (20) das Ergebnis einer Prüfung eines IC-Bauelements, die durchgeführt wird, wenn der Kontaktarm (312) das IC-Bauelement gegen den Sockel (301) gemäß dem Drehmoment drückt, über welches von der Unterrichtungseinheit (321) unterrichtet wurde, erlangt; eine Abänderungseinheit (323), die das Drehmoment abändert, über welches die Steuereinrichtung (316) unterrichtet wird, auf der Basis des von der Erlangungseinheit (322) erlangten Prüfergebnisses; und eine Festlegungseinheit (324), die den Hub zu dem Zeitpunkt, bei dem das Prüfergebnis normal ist, als einen optimalen Hub festlegt, wenn das Drehmoment von der Abänderungseinheit (323) nicht abgeändert wurde.

1: Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente
10: Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente (Handler)
20: Prüfeinrichtung
300: Prüfkopf
301: Sockel
312: Kontaktarm
313: Z-Achsen-Richtungsstellglied
316: Steuereinrichtung
320: Hubfestlegungseinrichtung
321: Unterrichtungseinheit
322: Erlangungseinheit
323: Abänderungseinheit
324: Festlegungseinheit
325: Alarmeinheit

Claims

Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente, um ein sich in der Prüfung befindendes Bauelement in elektrischen Kontakt mit einem Sockel zu bringen, um elektrische Eigenschaften des sich in der Prüfung befindenden Bauelements zu prüfen, aufweisend: einen Kontaktarm, der das sich in der Prüfung befindende Bauelement in einer vertikalen Richtung relativ zu dem Sockel bewegt und das sich in der Prüfung befindende Bauelement gegen den Sockel drückt; ein Steuermittel zum Steuern des Bewegungsvorgangs des Kontaktarms; ein Unterrichtungsmittel, um das Steuermittel über das Drehmoment des Kontaktarms zu unterrichten, wenn das sich in der Prüfung befindende Bauelement gegen den Sockel gedrückt wird; ein Erlangungsmittel, um von einer Prüfeinrichtung das Ergebnis der Prüfung des sich in der Prüfung befindenden Bauelements, die durchgeführt wird, wenn der Kontaktarm das sich in der Prüfung befindende Bauelement gemäß dem Drehmoment, über welches von dem Unterrichtungsmittel unterrichtet wurde, gegen den Sockel drückt, zu erlangen; ein Abänderungsmittel zum Abändern des Drehmoments, über welches das Unterrichtungsmitttel das Steuermittel unterrichtet, auf der Basis des von dem Erlangungsmittel erlangten Prüfergebnisses; und ein Festlegungsmittel zum Festlegen der Andrückbedingung des Kontaktarmes zum Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal ist, als eine optimale, bei einer tatsächlichen Prüfung verwendete Andrückbedingung, wenn das Drehmoment von dem Abänderungsmittel nicht abgeändert wurde.
Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente nach Anspruch 1, bei der die Andrückbedingung des Kontaktarms einen Hub des Kontaktarms entlang der vertikalen Richtung umfaßt, und, wenn das Drehmoment von dem Abänderungsmittel nicht abgeändert wurde, das Festlegungsmittel den Hub des Kontaktarmes entlang der vertikalen Richtung zum Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal war, als den optimalen, zum Zeitpunkt einer tatsächlichen Prüfung verwendeten Hub festlegt.
Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente nach Anspruch 2, bei der, wenn das durch das Erlangungsmittel von der Prüfeinrichtung erlangte Prüfergebnis unnormal anzeigt, das Abänderungsmittel eine Abänderung durchführt, um das Drehmoment zu erhöhen, über welches das Unterrichtungsmittel das Steuermittel unterrichtet.
Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente nach Anspruch 3, bei der die Vorrichtung den Zyklus des Erhöhens des Drehmoments durch das Abänderungsmittel, des Unterrichtens des Steuermittels über das erhöhte Drehmoment durch das Unterrichtungsmittel, und des Erlangens des Ergebnisses der Prüfung des sich in der Prüfung befindenden Bauelements, die ausgeführt wird, wenn der Kontaktarm das sich in der Prüfung befindende Bauelement mit den erhöhten Drehmoment andrückt, durch das Erlangungsmittel wiederholt, bis das von dem Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis normal anzeigt.
Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente nach Anspruch 4, bei der das Festlegen des Hubes gestoppt wird, wenn das Abänderungsmittel Abänderungen, die das Drehmoment erhöhen, eine vorbestimmte Anzahl von Malen oder häufiger ausführt.
Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente nach Anspruch 4 oder 5, bei der, wenn das von dem Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis normal anzeigt, das Abänderungsmittel das Drehmoment nicht abändert und das Festlegungsmittel den Hub zum Zeitpunkt der besagten Prüfung als den optimalen Hub festlegt.
Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente nach einem der Ansprüche 2 bis 5, bei der, wenn das von dem Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis normal ist, das Abänderungsmittel eine Abänderung durchführt, um das Drehmoment zu verringern, über welches das Unterrichtungsmittel das Steuermittel unterrichtet.
Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente nach Anspruch 7, bei der die Vorrichtung den Zyklus des Verringerns des Drehmomentes durch das Abänderungsmittel, des Unterrichtens des Steuermittels über das verringerte Drehmoment durch das Unterrichtungsmittel und des Erlangens des Ergebnisses der Prüfung des sich in der Prüfung befindenden Bauelements, die durchgeführt wird, wenn der Kontaktarm das sich in der Prüfung befindende Bauelement mit dem verringerten Drehmoment andrückt, durch das Erlangungsmittel wiederholt, bis das von dem Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis unnormal anzeigt.
Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente nach Anspruch 8, bei der, wenn das (N + 1)te (wobei N eine natürliche Zahl ist) von dem Erlangungsmittel erlangte Prüfergebnis unnormal anzeigt, das Abänderungsmittel das Drehmoment nicht abändert und das Festlegungsmittel den Hub bei der N-ten Prüfung als den optimalen Hub festlegt.
Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente nach einem der Ansprüche 7 bis 9, bei der der Drehmomentverringerungsbetrag, um den das Abänderungsmittel je Mal verringert, kleiner ist relativ zu dem Drehmomentvergrößerungsbetrag, um den das Abänderungsmittel je Mal erhöht.
Prüfvorrichtung für elektronische Bauelemente nach einem der Ansprüche 1 bis 10, bei der die Andrückbedingung des Kontaktarms ein Andrückdrehmoment des Kontaktarms umfaßt, und, wenn das Drehmoment von dem Abänderungsmittel nicht abgeändert wurde, das Abänderungsmittel anstelle des optimalen Hubes oder zusätzlich zu dem optimalen Hub das Drehmoment zum Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal ist, als ein optimales, zum Zeitpunkt einer tatsächlichen Prüfung verwendetes Drehmoment festlegt.
Verfahren zum Festlegen einer optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm, der ein sich in einer Prüfung befindendes Bauelement gegen einen Sockel drückt, um das sich in der Prüfung befindende Bauelement in elektrischen Kontakt mit dem Sockel zu bringen und elektrische Eigenschaften des sich in der Prüfung befindenden Bauelements zu prüfen, aufweisend: einen Unterrichtungsschritt des Unterrichtens eines Steuermittels zum Steuern einer Bewegung des Kontaktarmes über ein Drehmoment des Kontaktarmes, wenn das sich in der Prüfung befindende Bauelement gegen den Sockel gedrückt wird; einen Prüfschritt des Drückens des sich in der Prüfung befindenden Bauelements gegen den Sockel mittels des Kontaktarmes gemäß dem Drehmoment, über welches in dem Unterrichtungsschritt unterrichtet wurde, und des Prüfens des sich in der Prüfung befindenden Bauelements durch eine Prüfeinrichtung; einen Erlangungsschritt des Erlangens eines Prüfergebnisses des sich in der Prüfung befindenden Bauelements von der Prüfeinrichtung; einen Abänderungsschritt des Abänderns des Drehmoments, über welches das Steuermittel in dem Unterrichtungsschritt unterrichtet wird, auf der Basis des in dem Erlangungsschritt erlangten Prüfergebnisses; und einen Festlegungsschritt des Festlegens der Andrückbedingung des Kontaktarmes zu dem Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal ist, als die optimale, zum Zeitpunkt einer tatsächlichen Prüfung verwendete Andrückbedingung, wenn das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert wurde.
Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm nach Anspruch 12, bei dem die Andrückbedingung des Kontaktarms einen Hub des Kontaktarms entlang der vertikalen Richtung umfaßt, und, wenn das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert wurde, der Hub des Kontaktarmes entlang der vertikalen Richtung zu dem Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal war, als ein optimaler, zum Zeitpunkt einer tatsächlichen Prüfung verwendeter Hub in dem Festlegungsschritt festgelegt wird.
Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm nach Anspruch 13, bei dem, wenn das in dem Erlangungsschritt erlangte Prüfergebnis unnormal anzeigt, in dem Abänderungsschritt eine Abänderung zum Erhöhen des Drehmoments durchgeführt wird, über welches das Steuermittel unterrichtet wird.
Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm nach Anspruch 14, bei dem der Abänderungsschritt, der Unterrichtungsschritt, der Prüfschritt und der Erlangungsschritt wiederholt werden, bis das in dem Erlangungsschritt erlangte Prüfergebnis normal anzeigt.
Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm nach Anspruch 15, bei dem das Festlegen des Hubes gestoppt wird, wenn der Abänderungsschritt eine vorbestimmte Anzahl von Malen oder häufiger ausgeführt wurde.
Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm nach Anspruch 15 oder 16, bei dem, wenn das in dem Erlangungsschritt erlangte Prüfergebnis normal anzeigt, das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert wird und der Hub zum Zeitpunkt der Prüfung als der optimale Hub in dem Festlegungsschritt festgelegt wird.
Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm nach einem der Ansprüche 13 bis 16, bei dem, wenn das in dem Erlangungsschritt erlangte Prüfergebnis normal anzeigt, in dem Abänderungsschritt eine Abänderung ausgeführt wird, um das Drehmoment zu verringern, über welches das Steuermittel unterrichtet wird.
Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm nach Anspruch 18, bei dem der Abänderungsschritt, der Unterrichtungsschritt, der Prüfschritt und der Erlangungsschritt wiederholt werden, bis das in dem Erlangungsschritt von der Prüfeinrichtung erlangte Prüfergebnis unnormal ist.
Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm nach Anspruch 19, bei dem, wenn das (N + 1)te (wobei N eine natürliche Zahl ist) in dem Erlangungsschritt erlangte Prüfergebnis unnormal anzeigt, das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert wird und der Hub zum Zeitpunkt der N-ten Prüfung in dem Festlegungsschritt als der optimale Hub festgelegt wird.
Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm nach einem der Ansprüche 18 bis 20, bei dem der Drehmomentverringerungsbetrag, um den je Mal in dem Abänderungsschritt verringert wird, kleiner ist relativ zu dem Drehmomenterhöhungsbetrag, um den je Mal in dem Abänderungsschritt erhöht wird.
Verfahren zum Festlegen der optimalen Andrückbedingung für einen Kontaktarm nach einem der Ansprüche 12 bis 21, bei dem die Andrückbedingung des Kontaktarmes ein Andrückdrehmoment des Kontaktarms umfaßt, und, wenn das Drehmoment in dem Abänderungsschritt nicht abgeändert wird, anstelle des optimalen Hubes oder zusätzlich zu dem optimalen Hub das Drehmoment zu dem Zeitpunkt einer Prüfung, bei der das Prüfergebnis normal ist, als ein optimales, bei einer tatsächlichen Prüfung verwendetes Drehmoment in dem Festlegungsschritt festgelegt wird.