JPWO2007055004A1 - 電子部品試験装置、及び、電子部品試験装置のコンタクトアームの最適押付条件設定方法 - Google Patents

Abstract

電子部品試験装置（１０）は、ＩＣデバイスを移動させてソケット３０１に押し付けるコンタクトアーム（３１２）と、コンタクトアーム（３１２）を制御する制御装置（３１６）と、コンタクトアーム（３１２）の押付トルクを制御装置（３１６）に指示する指示部（３２１）と、指示部（３２１）により指示されたトルクでコンタクトアーム（３１２）がＩＣデバイスをソケット（３０１）に押し付けた際に実行したＩＣデバイスの試験の結果をテスタ（２０）から取得する取得部（３２２）と、取得部（３２２）により取得された試験結果に応じて、制御装置（３１６）に指示するトルクを修正する修正部（３２３）と、修正部（３２３）によりトルクが修正されなかった場合に、試験結果が正常であった試験時におけるストロークを最適ストロークとして設定する設定部（３２４）と、を備えている。

Description

本発明は、半導体集積回路素子等の各種電子部品（以下、代表的にＩＣデバイスとも称する。）の電気的特性を試験するための電子部品試験装置に関し、特に、ＩＣデバイスの品種交換時等にコンタクトアームの最適なストロークや押付トルク等の押付条件を自動で設定することが可能な電子部品試験装置に関する。

ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、製造された電子部品の性能や機能を試験するために電子部品試験装置が用いられている。

従来の一例としての電子部品試験装置は、ＩＣデバイスの試験を行うテスト部と、試験前のＩＣデバイスをテスト部に送り込むローダ部と、試験済のＩＣデバイスをテスト部から取り出して分類するアンローダ部と、を備えている。そして、ローダ部には、ローダ部とテスト部との間で往復移動可能なバッファステージと、ＩＣデバイスを吸着保持し得る吸着部を有し、カスタマトレイからヒートプレート及びヒートプレートからバッファステージまでの領域で移動可能なローダ部搬送装置と、が設けられている。また、テスト部には、ＩＣデバイスを吸着保持してテストヘッドに押し付けることのできるコンタクトアームを有し、テスト部の領域で移動可能なテスト部搬送装置が設けられている。

ローダ部搬送装置は、カスタマトレイに収容されているＩＣデバイスを吸着部によって吸着保持してヒートプレート上に載置した後、所定の温度まで加熱されたヒートプレート上のＩＣデバイスを再度吸着部によって吸着保持してバッファステージ上に載置する。そして、ＩＣデバイスを載せたバッファステージは、ローダ部からテスト部側に移動する。次に、テスト部搬送装置は、コンタクトアームによってバッファステージ上のＩＣデバイスを吸着保持してテストヘッドのソケットに押し付け、ＩＣデバイスの外部端子（デバイス端子）とソケットの接続端子（ソケット端子）とを接触させる。

その状態で、テスタ本体からケーブルを通じてテストヘッドに供給されるテスト信号をＩＣデバイスに印加し、ＩＣデバイスから読み出される応答信号をテストヘッド及びケーブルを通じてテスタ本体に送ることにより、ＩＣデバイスの電気的特性を測定する。

ところで、吸着保持したＩＣデバイスをソケットに押し付ける際のコンタクトアームのＺ軸方向に沿ったストロークは、ＩＣデバイスの品種により異なるため、テスト対象であるＩＣデバイスの品種を交換する度に設定し直す必要がある。

このコンタクトアームのストロークの設定は、一般的に次のようなティーチング作業に行われている。先ず、ソケット上のコンタクトピンの本数、コンタクトピン１ピン当たりに必要な荷重、テストヘッド上のソケットの数等から理論トルクを求める。次に、ＩＣデバイスを吸着保持しているコンタクトアームを下方に移動させてＩＣデバイスをソケットに接触させる。次に、実際のトルクが理論トルクに達したらコンタクトアームの下方移動を停止させ、この状態におけるコンタクトアームのストロークを、実際の試験で行う最終ストロークとして教示する。

しかしながら、このような方法によりストロークを教示した場合、試験時にＩＣデバイスがソケットに確実に電気的に接触するか否かは、実際に試験を実行してみなければ判断できないので、必ずしも最適なストロークであるとは限らない。

また、上記の方法により教示されたストロークで試験が正常に実行されたとしても、理論トルクが必要以上に大きい場合には、ＩＣデバイスが強く押し付けることによりソケットの短命化を招くこととなる。

本発明は、ＩＣデバイスの品種交換時等にコンタクトアームの最適な押付条件を自動で設定することが可能な電子部品試験装置を提供することを目的とする。

（１）上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品の電気的特性を試験するために、前記被試験電子部品をソケットに電気的に接触させる電子部品試験装置であって、前記被試験電子部品を前記ソケットに対して垂直方向に沿って移動させ、前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付けるコンタクトアームと、前記コンタクトアームの移動動作を制御する制御手段と、前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付ける際の前記コンタクトアームのトルクを前記制御手段に指示する指示手段と、前記指示手段により指示されたトルクで前記コンタクトアームが前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付けた際に実行した前記被試験電子部品の試験の結果をテスタから取得する取得手段と、前記取得手段により取得された試験結果に基づいて、前記指示手段が制御手段に指示するトルクを修正する修正手段と、前記修正手段によりトルクが修正されなかった場合に、試験結果が正常であった試験時における前記コンタクトアームの押付条件を、実際の試験時に用いる最適押付条件として設定する設定手段と、を備えた電子部品試験装置が提供される（請求項１参照）。

本発明では、押付トルクを制御手段に指示する指示手段、試験結果を取得する取得手段、押付トルクを修正する修正手段、及び、最適押付条件を設定する設定手段、を電子部品試験装置に設ける。

そして、指示手段により指示されたトルクでコンタクトアームが被試験電子部品をソケットに押し付け、その状態でテスタが試験を実行し、取得手段がテスタから試験結果を取得し、この試験結果に基づいて修正手段がトルクを修正し、修正手段によりトルクが修正されない場合に設定手段が正常試験時におけるコンタクトアームの押付条件を最適押付条件として設定する。

これにより、ＩＣデバイスの品種交換時やソケットの交換時等にコンタクトアームの最適な押付条件を自動で設定することが可能となる。

本発明に係る電子部品試験装置において、前記コンタクトアークの押付条件には、前記コンタクトアームの垂直方向に沿ったストロークを含み、前記修正手段によりトルクが修正されなかった場合に、前記設定手段は、試験結果が正常であった試験時における前記コンタクトアームの垂直方向に沿ったストロークを、実際の試験時に用いる最適ストロークとして設定することが好ましい（請求項２参照）。

なお、コンタクトアームのストロークは、修正手段によりトルクが修正されなかった場合に正常な試験を再度実行し、その際に設定手段が測定しても良く、或いは、テスタにより実行される試験の度に設定手段が測定しても良い。

本発明に係る電子部品試験装置において、前記取得手段により前記テスタから取得された試験結果が異常を示す場合に、前記修正手段は、前記指示手段が前記制御手段に指示するトルクを増加させる修正を行うことが好ましい（請求項３参照）。

試験結果が異常を示す場合にトルクを増加させることにより、ストローク不足による被試験電子部品とソケットとの非接触を解消することができる。

本発明に係る電子部品試験装置において、前記取得手段により取得される試験結果が正常を示すまで、前記修正手段がトルクを増加させ、当該増加されたトルクを前記指示手段が前記制御手段に指示し、当該増加されたトルクで前記コンタクトアームが前記被試験電子部品を押し付けた際に実行した前記被試験電子部品の試験の結果を前記取得手段が取得するサイクルを繰り返すことが好ましい（請求項４参照）。

本発明に係る電子部品試験装置において、前記修正手段がトルクを増加させる修正を所定回数以上行った場合にストロークの設定を中止することが好ましい（請求項５参照）。

これにより、被試験電子部品とソケットとの非接触がストローク不足以外の要因に起因し、被試験電子品とソケットとの電気的な接触を到底確保し得ないような場合に、最適ストローク設定作業を中止することができる。

本発明に係る電子部品試験装置において、前記取得手段により取得された試験結果が正常を示す場合に、前記修正手段はトルクを修正せずに、前記設定手段は当該試験時におけるストロークを最適ストロークとして設定することが好ましい（請求項６参照）。

本発明に係る電子部品試験装置において、前記取得手段により取得される試験結果が正常を示す場合に、前記修正手段は、前記指示手段が前記制御手段に指示するトルクを減少させる修正を行うことが好ましい（請求項７参照）。

被試験電子部品とソケットとの電気的な接触が確保されている場合に、トルクを減少させることにより、過剰なトルクによるソケットの短命化を防止することができる。

本発明に係る電子部品試験装置において、前記取得手段により取得される試験結果が異常を示すまで、前記修正手段がトルクを減少させ、当該減少されたトルクを前記指示手段が前記制御手段に指示し、当該減少されたトルクで前記コンタクトアームが前記被試験電子部品を押し付けた際に実行した前記被試験電子部品の試験の結果を前記取得手段が取得するサイクルを繰り返すことが好ましい（請求項８参照）。

本発明に係る電子部品試験装置において、前記取得手段により取得されたＮ＋１回目（但し、Ｎは自然数である。）の試験結果が異常を示す場合に、前記修正手段はトルクを修正せずに、前記設定手段はＮ回目の試験時におけるストロークを最適ストロークとして設定することが好ましい（請求項９参照）。

本発明に係る電子部品試験装置において、前記修正手段が減少させる一回当たりのトルク減少率は、前記修正手段が増加させる一回当たりのトルク増加率に対して相対的に小さいことが好ましい（請求項１０参照）。

本発明に係る電子部品試験装置において、前記コンタクトアームの押付条件には、前記コンタクトアームの押付トルクを含み、前記修正手段によりトルクが修正されなかった場合に、前記設定手段は、最適ストロークに代えて、又は、最適ストロークに加えて、試験結果が正常であった試験時におけるトルクを、実際の試験時に用いる最適トルクとして設定することが好ましい（請求項１１参照）。

（２）上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品をソケットに電気的に接触させて前記被試験電子部品の電気的特性を試験するために前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付けるコンタクトアームの最適な押付条件を設定する方法であって、前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付ける際の前記コンタクトアームのトルクを、前記コンタクトアームの移動を制御する制御手段に指示する指示ステップと、前記指示ステップで指示されたトルクで前記コンタクトアームにより前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付け、テスタにより前記被試験電子部品を試験する試験ステップと、前記テスタから前記被試験電子部品の試験結果を取得する取得ステップと、前記取得ステップで取得された試験結果に基づいて、前記指示ステップで前記制御手段に指示するトルクを修正する修正ステップと、前記修正ステップでトルクが修正されなかった場合に、試験結果が正常であった試験時における前記コンタクトアームの押付条件を、実際の試験時に用いる最適押付条件として設定する設定ステップと、を備えたコンタクトアームの最適押付条件設定方法が提供される（請求項１２参照）。

本発明では、指示ステップにて制御手段にトルクを指示し、試験ステップにてそのトルクでコンタクトアームが被試験電子部品をソケットに押し付け、その状態でテスタが試験を行い、取得ステップにてテスタから当該試験結果を取得し、修正ステップにて当該試験結果に基づいてトルクを修正し、修正ステップでトルクが修正されなかった場合に設定ステップにて正常試験時におけるコンタクトアームの押付条件を最適押付条件として設定する。

これにより、ＩＣデバイスの品種交換時やソケットの交換時等にコンタクトアームの最適な押付条件を自動で設定することができる。

本発明に係るコンタクトアームの最適押付条件設定方法では、前記コンタクトアームの押付条件には、前記コンタクトアームの垂直方向に沿ったストロークを含み、前記修正ステップでトルクが修正されなかった場合に、前記設定ステップにおいて、試験結果が正常であった試験時における前記コンタクトアームの垂直方向に沿ったストロークを、実際の試験時に用いる最適ストロークとして設定することが好ましい（請求項１３参照）。

なお、コンタクトアームのストロークは、修正ステップでトルクが修正されなかった場合に設定ステップで正常な試験を再度実行することにより測定しても良く、或いは、試験ステップにてテスタにより試験が実行される度に測定されても良い。

本発明に係る最適押付条件設定方法では、前記取得ステップで取得された試験結果が異常を示す場合に、前記修正ステップにおいて、前記制御手段に指示するトルクを増加させる修正を行うことが好ましい（請求項１４参照）。

試験結果が異常を示す場合にトルクを増加させることにより、ストローク不足による被試験電子部品とソケットとの非接触を解消することができる。

本発明に係る最適押付条件設定方法では、前記取得ステップにおいて取得される試験結果が正常を示すまで、前記修正ステップ、前記指示ステップ、前記試験ステップ及び前記取得ステップを繰り返すことが好ましい（請求項１５参照）。

本発明に係る最適押付条件設定方法では、前記修正ステップを所定回数以上行った場合にストロークの設定を中止することが好ましい（請求項１６参照）。

これにより、被試験電子部品とソケットとの非接触がストローク不足以外の要因に起因し、被試験電子部品とソケットとの電気的な接触を到底確保し得ないような場合、最適押付条件設定作業を中止することができる。

本発明に係る最適押付条件設定方法では、前記取得ステップにて取得された試験結果が正常を示す場合に、前記修正ステップにおいてトルクを修正せずに、前記設定ステップにおいて当該試験時におけるストロークを最適ストロークとして設定することが好ましい（請求項１７参照）。

本発明に係る最適押付条件設定方法では、前記取得ステップにて取得された試験結果が正常を示す場合に、前記修正ステップにおいて前記制御手段に指示するトルクを減少させる修正を行うことが好ましい（請求項１８参照）。

被試験電子部品とソケットとの電気的な接触が確保されている場合に、トルクを減少させることにより、過剰なトルクによるソケットの短命化を防止することができる。

本発明に係る最適押付条件設定方法では、前記取得ステップにおいて前記テスタから取得される試験結果が異常を示すまで、前記修正ステップ、前記指示ステップ、前記試験ステップ及び前記取得ステップを繰り返すことが好ましい（請求項１９参照）。

本発明に係る最適押付条件設定方法では、前記取得ステップで取得されたＮ＋１回目（但し、Ｎは自然数である。）の試験結果が異常を示す場合に、前記修正ステップにおいてトルクを修正せずに、前記設定ステップにおいてＮ回目の試験時におけるストロークを最適ストロークとして設定することが好ましい（請求項２０参照）。

本発明に係る最適押付条件設定方法では、前記修正ステップにおいて減少される一回当たりのトルク減少率は、前記修正ステップにおいて増加される一回当たりのトルク増加率に対して相対的に小さいことが好ましい（請求項２１参照）。

本発明に係る最適押付条件設定方法では、前記コンタクトアームの押付条件には、前記コンタクトアームの押付トルクを含み、前記修正ステップでトルクが修正されなかった場合に、前記設定ステップにおいて、最適ストロークに代えて、又は、最適ストロークに加えて、試験結果が正常であって試験時におけるトルクを、実際の試験の試験時に用いる最適トルクとして設定することが好ましい（請求項２２参照）

図１は、本発明の実施形態に係る電子部品試験装置の平面図である。 図２は、図１に示す電子部品試験装置の部分断面側面図（図１におけるI-I断面図）である。 図３は、図１に示す電子部品試験装置に用いられるコンタクトアームの側面図であり、実線が下方移動前の状態を示し、破線がＩＣデバイスをソケットに押し付けた状態を示す。 図４は、本発明の実施形態に係る電子部品試験装置を示すブロック図である。 図５Ａは、本発明の実施形態に係るコンタクトアームの最適ストローク設定方法を示すフローチャート（その１）である。 図５Ｂは、本発明の実施形態に係るコンタクトアームの最適ストローク設定方法を示すフローチャート（その２）である。

符号の説明

１…電子部品試験装置
１０…電子部品試験装置（ハンドラ）
２０…テスタ
３００…テストヘッド
３０１…ソケット
３１２…コンタクトアーム
３１３…Ｚ軸方向アクチュエータ
３１６…制御装置
３２０…ストローク設定装置
３２１…指示部
３２２…取得部
３２３…修正部
３２４…設定部
３２５…警報部

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

本実施形態におけるＩＣデバイス（被試験電子部品）の形態は、一例として、デバイス端子として半田ボールを備えるＢＧＡパッケージやＣＳＰ（Chip Size Package）パッケージ等とするが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、デバイス端子としてリードピンを備えるＱＦＰ（Quad Flat Package）パッケージやＳＯＰ（Small Outline Package）パッケージ等であってもよい。

図１〜図３に示すように、本実施形態に係る電子部品試験装置１は、ハンドラ１０と、テストヘッド３００と、テスタ２０とを備え、テストヘッド３００とテスタ２０とはケーブル２１を介して接続されている。そして、ハンドラ１０の供給トレイ用ストッカ４０１に格納された供給トレイ上の試験前のＩＣデバイスを搬送してテストヘッド３００のソケット３０１に押し当て、このテストヘッド３００及びケーブル２１を介してテスタ２０がＩＣデバイスの試験を実行した後、試験が終了したＩＣデバイスを試験結果に従って分類トレイ用ストッカ４０２に格納された分類トレイ上に搭載する。

ハンドラ１０は、テスト部３０と、ＩＣデバイス格納部４０と、ローダ部５０と、アンローダ部６０と、を備えている。以下、各部について説明する。

《ＩＣデバイス格納部４０》
ＩＣデバイス格納部４０は、試験前及び試験後のＩＣデバイスを格納する部分である。このＩＣデバイス格納部４０は、供給トレイ用ストッカ４０１と、分類トレイ用ストッカ４０２と、空トレイ用ストッカ４０３と、トレイ搬送装置４０４と、を備えている。

供給トレイ用ストッカ４０１には、試験前の複数のＩＣデバイスが搭載された複数の供給トレイが積載されて収容されている。本実施形態では、図１に示すように、２つの供給トレイ用ストッカ４０１がＩＣデバイス格納部４０に設けられている。

分類トレイ用ストッカ４０２には、試験後の複数のＩＣデバイスが搭載された複数の分類トレイが積載されて収容されている。本実施形態では、同図に示すように、４つの分類トレイ用ストッカ４０２がＩＣデバイス格納部４０に設けられている。これら４つの分類トレイ用ストッカ４０２を設けることにより、試験結果に応じて、最大４つの分類にＩＣデバイスを仕分けして格納することができる。

空トレイ用ストッカ４０３は、供給トレイに搭載されていた全ての試験前のＩＣデバイスがテスト部３０に供給された後の空トレイを格納する。なお、各ストッカ４０１〜４０３の数は、必要に応じて適宜設定することが可能である。

トレイ搬送装置４０４は、図１において、トレイをＸ−Ｚ軸方向に沿って移動させることが可能な搬送装置である。このトレイ搬送装置４０４は、Ｘ軸方向レール４０４ａと、可動ヘッド４０４ｂと、４つの吸着パッド４０４ｃと、を備えている。このトレイ搬送装置４０４は、供給トレイ用ストッカ４０１と、一部の分類トレイ用ストッカ４０２（図１において下側の２つの分類トレイ用ストッカ）と、空トレイ用ストッカ４０３と、を包含する動作範囲を有している。

Ｘ軸方向レール４０４ａはハンドラ１０の基台１２に固定され、このＸ軸方向レール４０４ａに可動ヘッド４０４ｂがＸ軸方向に移動可能に片持ち支持されている。可動ヘッド４０４ｂには、Ｚ軸方向アクチュエータ（図示せず）を介して、４つの吸着パッド４０４ｃが設けられている。

トレイ搬送装置４０４は、供給トレイ用ストッカ４０１にて供給トレイ上の試験前のＩＣデバイスが空となった場合に、この空トレイを吸着パッド４０４ｃにより吸着保持し、Ｚ軸方向アクチュエータにより上昇させ、Ｘ軸方向レール４０４ａ上で可動ヘッド４０４ｂを移動させることにより、空トレイを供給用トレイストッカ４０１から空トレイ用ストッカ４０３に移送する。

また、このトレイ搬送装置４０４は、分類トレイ用ストッカ４０２において分類トレイ上に試験後のＩＣデバイスが満載された場合に、空トレイ用ストッカ４０３にある空トレイを吸着保持し、Ｚ軸方向アクチュエータにより上昇させ、Ｘ軸方向レール４０４ａ上にて可動ヘッド４０４ｂを移動させることにより、空トレイを空トレイストッカ４０３から分類トレイ用ストッカ４０２に移送する。

《ローダ部５０》
ローダ部５０は、試験前のＩＣデバイスをＩＣデバイス格納部４０の供給トレイ用ストッカ４０１からテスト部３０に供給する部分である。このローダ部５０は、ローダ部搬送装置５０１と、２つのローダ用バッファ部５０２（図１において左側の２つ）と、ヒートプレート５０３と、を備えている。

ローダ部搬送装置５０１は、ＩＣデバイス格納部４０の供給トレイ用ストッカ４０１に積み重ねられた供給トレイ上のＩＣデバイスをヒートプレート５０３上に移動させると共に、ヒートプレート５０３上のＩＣデバイスをローダ用バッファ部５０２上に移動させる装置である。このローダ部搬送装置５０１は、Ｙ軸方向レール５０１ａと、Ｘ軸方向レール５０１ｂと、可動ヘッド５０１ｃと、吸着部５０１ｄと、を備えている。このローダ部搬送装置５０１は、供給トレイ用ストッカ４０１と、ヒートプレート５０３と、２つのローダ用バッファ部５０２と、を包含する動作範囲を有している。

図１に示すように、２つのＹ軸方向レール５０１ａは、ハンドラ１０の基台１２上に固定されており、それらの間にＸ軸方向レール５０２ｂがＹ軸方向に移動可能に支持されている。Ｘ軸方向レール５０２ｂには、Ｚ軸方向アクチュエータ（図示せず）を有する可動ヘッド５０１ｃがＸ軸方向に移動可能に設けられている。

可動ヘッド５０１ｃは、下端部に吸着パッド５０１ｅを有する吸着部５０１ｄを４つ備えており、上記のＺ軸方向アクチュエータを駆動させることにより、４つの吸着部５０１ｄをそれぞれ独立してＺ軸方向に昇降させることが可能となっている。

各吸着パッド５０１ｄは、負圧源（図示せず）に接続されており、吸着パッド５０１ｅからエアを吸引して負圧を発生させることにより、ＩＣデバイスを吸着保持することができ、また、吸着パッド５０１ｅからのエアの吸引を停止することにより、ＩＣデバイスを解放することができる。

ヒートプレート５０３は、ＩＣデバイスに所定の熱ストレスを印加して高温試験を実施するための加熱源であり、例えば下部に発熱源（図示せず）を有する金属製の伝熱プレートで構成されている。ヒートプレート５０３の上面側には、ＩＣデバイスを落とし込むための凹部５０３ａが複数形成されている。なお、低温試験を実施する場合は、加熱源に代えて冷却源を設けても良い。

ローダ用バッファ部５０２は、ＩＣデバイスをローダ部搬送装置５０１の動作範囲と、テスト部搬送装置３１０の動作範囲との間で移動させる装置である。このローダ用バッファ部５０２は、バッファステージ５０２ａと、Ｘ軸方向アクチュエータ５０２ｂと、を備えている。

Ｘ軸方向アクチュエータ５０２ｂはハンドラ１０の基台１２上に固定されており、このＸ軸方向アクチュエータ５０２ｂの片側端部にバッファステージ５０２ａが支持されている。図１に示すように、バッファステージ５０２ａの上面には、ＩＣデバイスを落とし込むための平面視矩形の凹部５０２ｃが４つ形成されている。

試験前のＩＣデバイスは、ローダ部搬送装置５０１により供給トレイ用ストッカ４０１からヒートプレート５０３に移動され、ヒートプレート５０３にて所定の温度に加熱された後、再びローダ部搬送装置５０１によりローダ用バッファ部５０２に移動され、そして、ローダ用バッファ部５０２によりテスト部３０に搬入される。

《テスト部３０》
テスト部３０は、被試験ＩＣデバイスの外部端子（半田ボール）をソケット３０１のコンタクトピン３０２に電気的に接触させることにより試験を行う部分である。本実施形態におけるテスト部３０は、テスト部搬送装置３１０と、ストローク設定装置３２０と、を備えている。

テスト部搬送装置３１０は、ローダ用バッファ部５０２によりテスト部３０に搬入された試験前のＩＣデバイスをソケット３０１に押し付け、また、試験後のＩＣデバイスをアンローダ用バッファ部６０２に搬出する装置である。このテスト部搬送装置３１０は、Ｙ軸方向レール３１１と、Ｘ軸方向レール３１１ａと、コンタクトアーム３１２と、を備えている。

図１及び図２に示すように、２つのＹ軸方向レール３１１は、ハンドラ１０の基台１２上に固定されており、それらの間に２つのＸ軸方向レール３１１ａがＹ軸方向に移動可能に支持されている。各Ｘ軸方向レール３１１ａの略中央部にはコンタクトアーム３１２がそれぞれ設けられている。

各コンタクトアーム３１２は、ローダ用バッファ部５０２及びアンローダ用バッファ部６０２とテストヘッド３００とを包含する動作範囲を有している。なお、一組のＹ軸方向レール３１１上で同時に動作する２つのＸ軸方向レール３１１ａは、相互に動作が干渉しないように制御装置３１６により制御されている。

図３に示すように、各コンタクトアーム３１２は、上端でＸ軸方向レール３１１ａに固定されたＺ軸方向アクチュエータ３１３と、Ｚ軸方向アクチュエータ３１３の下端に固定された支持基体３１４と、上端で支持基体３１４に固定された４つの保持部３１５と、を備えている。

４つの保持部３１５は、ソケット３０１の配列に対応するように支持基体３１４に設けられている。また、各保持部３１５の先端には吸着部３１７がそれぞれ設けられている。なお、高温試験／低温試験に適用する保持部３１５には加熱手段／冷却手段（図示せず）を備えている
各吸着部３１７は、負圧源（図示せず）に接続されており、吸着部３１７からエアを吸引して負圧を発生させることにより、ＩＣデバイスを吸着保持することができ、また、吸着部３１７からのエアの吸引を停止することにより、ＩＣデバイスを解放することができる。

図３に示すように、テストヘッド３００は、本実施形態においては４つのソケット３０１を備えている。この４つのソケット３０１は、コンタクトアーム３１２が有する４つの保持部３１５の配列に実質的に一致するようにテストヘッド３００の上部に配置されている。さらに、各ソケット３０１には、ＩＣデバイスが有する半田ボールの配列に実質的に一致するように配置された複数のコンタクトピン３０２を有している。

図２に示すように、テスト部３０において、ハンドラ１０の基台１２に開口部１１が形成されている。そして、その開口部１１からソケット３０１が臨むように、基台１２の下側にテストヘッド３００が設けられており、開口部１１を介してソケット３０１にＩＣデバイスが対向することが可能となっている。

ローダ用バッファ部５０２に載置された試験前の４つのＩＣデバイスは、テスト部搬送装置３１０によりテストヘッド３００のソケット３０１の上方まで移動される。そして、図３に示すように、コンタクトアーム３１２のＺ軸方向アクチュエータ３１３が、Ｚ軸方向に沿ってストロークＬ下降することにより、各ＩＣデバイスがソケット３０１にそれぞれ押し付けられ、ＩＣデバイスとソケット３０１がそれぞれ電気的に接触した状態で、テスタ２０により当該４つのＩＣデバイスが同時に試験される。その後、テスト部搬送装置３１０によりアンローダ用バッファ部６０２に移動され、アンローダ用バッファ部６０２によりアンローダ部６０に払い出される。

さらに本実施形態では、テスト部３０にストローク設定装置３２０が設けられている。このストローク設定装置３２０は、ＩＣデバイスの品種交換時やソケット３０１の交換時等にコンタクトアーム３１２のＺ軸方向アクチュエータ３１３の最適なストロークを自動的に設定するための装置である。このストローク設定装置３２０は、ＣＰＵやメモリ等から構成されており、機能的には、図４に示すように、指示部３２１と、取得部３２２と、修正部３２３と、設定部３２４と、警報部３２５と、を備えている。

指示部３２１は、コンタクトアーム３１２によりＩＣデバイスをソケット３０１に押し付ける際のＺ軸方向アクチュエータ３１３のトルクを、制御装置３１６に指示する機能を有している。この指示部３２１は、キーボード（図示せず）を介してオペレータにより入力された理論トルクを、ストローク自動設定作業における初回のトルクとして制御装置３１６に指示する。これに対し、初回以降は、修正部３２３により修正されたトルクを制御装置３１６に指示する。

取得部３２２は、図４に示すように、テスタ２０に接続されており、指示部３２１により指示されたトルクで実際にコンタクトアーム３１２がＩＣデバイスをソケット３０１に押し付けた際にテスタ２０が行ったＩＣデバイスの試験の結果を、テスタ２０から取得する機能を有している。

修正部３２３は、取得部３２２が取得した試験結果に応じて、指示部３２１から制御装置３１６に指示するトルクを修正する機能を有する。この修正部３２３は、取得部３２２により取得された試験結果が異常を示す場合に、トルクを増加させる修正を行う。これに対し、この修正部３２３は、取得部３２３により取得された試験結果が正常を示す場合に、トルクを減少させる修正を行う。また、この修正部３２３は、トルクを増加させる修正をした回数を数えるカウンタを有しており、このカウンタの数が所定回数に達したらストローク設定装置３２０によるストローク自動設定作業を中止する機能も備えている。

設定部３２４は、修正部３２３がトルクの修正を行わなかった場合に、試験結果が正常であった試験のトルク値で試験を再度実行させ、当該試験におけるストロークＬを測定し、当該ストロークＬを実際の試験時に用いる最適ストロークとして制御装置３１６に設定する機能を有している。設定部３２４により測定されるストロークＬは、図３に示すように、ソケット３０１上方に位置している状態から、ＩＣデバイスが当該ソケット３０１に接触するまでのコンタクトアーム３１２のＺ軸方向に沿って伸長する長さである。例えば、Ｚ軸方向アクチュエータ３１３がボールネジ機構等を駆動させる電動モータで構成される場合には、この設定部３２４は、当該モータに設けられたエンコーダからの出力パルスを利用してストロークＬを算出する。

警報部３２５は、修正部３２３による減少修正が所定回数以上行われた場合に、ストローク設定装置３２０によるストロークの設定作業が中止された旨の喚起を行う機能を有している。

《アンローダ部６０》
アンローダ部６０は、試験後のＩＣデバイスをテスト部３０からＩＣデバイス格納部４０に払い出す部分である。アンローダ部６０は、アンローダ部搬送装置６０１と、２つのアンローダ用バッファ部６０２（図１において右側の２つ）と、を備えている。

アンローダ用バッファ部６０２は、テスト部搬送装置３１０の動作範囲とアンローダ部搬送装置６０１の動作範囲の間でＩＣデバイスを移動させる装置である。このアンローダ用バッファ部６０２は、バッファステージ６０２ａと、Ｘ軸方向アクチュエータ６０２ｂと、を備えている。

Ｘ軸方向アクチュエータ６０２ｂは、ハンドラ１０の基台１２上に固定されており、このＸ軸方向アクチュエータ６０２ｂの片側端部にバッファステージ６０２ａが支持されている。このバッファステージ６０２ａの上面には、ＩＣデバイスを落とし込むための凹部６０２ｃが４つ形成されている。

アンローダ部搬送装置６０１は、アンローダ用バッファ部６０２上のＩＣデバイスを分類トレイ用ストッカ４０２の分類トレイに移動させ搭載する装置である。このアンローダ部搬送装置６０１は、Ｙ軸方向レール６０１ａと、Ｘ軸方向レール６０１ｂと、可動ヘッド６０１ｃと、吸着部６０１ｄと、から構成されている。このアンローダ部搬送装置６０１は、２つのアンローダ用バッファ部６０２と、分類トレイ用ストッカ４０２と、を包含する動作範囲を有している。

図１に示すように、２つのＹ軸方向レール６０１ａは、ハンドラ１０の基台１２上に固定されており、それらの間にＸ軸方向レール６０２ｂがＹ軸方向に移動可能に支持されている。Ｘ軸方向レール６０２ｂには、Ｚ軸方向アクチュエータ（図示せず）を有する可動ヘッド６０１ｃがＸ軸方向に移動可能に設けられている。

可動ヘッド６０１ｃは、下端部に吸着パッドを有する吸着部６０１ｄを４つ備えており、上記のＺ軸方向アクチュエータを駆動させることにより、４つの吸着部６０１ｄをそれぞれ独立してＺ軸方向に昇降させることが可能となっている。

アンローダ用バッファ部６０２に載置された試験後のＩＣデバイスは、テスト部３０からアンローダ部６０に排出され、アンローダ部６０１によりアンローダ用バッファ部６０２から分類トレイ用ストッカ４０２に搭載される。

次に、ＩＣデバイスを品種交換した後やソケット３０１を交換した後に行う、本実施形態に係るコンタクトアームの最適ストローク設定方法について、図５Ａ及び図５Ｂを参照しながら説明する。

先ず、図５ＡのステップＳ１０に示すように、オペレータがキーボード（図示せず）を介してストローク設定装置３２０の指示部３２１に理論トルクを入力する。この理論トルクとは、コンタクトピン３０２の１ピン当たりに対する荷重、ソケット３０１上のコンタクトピン３０２の本数、及び、テストヘッド３００上のソケット３０１の数等から算出される。例えば、コンタクトピン３０２の１ピン当たりの荷重が１０［ｇ］であり、ソケット３０１上のコンタクトピン３０２のピン数が１０００［ピン］であり、テストヘッド３００上のソケット３０１の数が４つである場合、必要が押圧荷重は４０［ｋｇ］（＝１０［ｇ］×１０００［ピン］×４［個］）となる。

また、オペレータは、このステップＳ１０において、理論トルクの入力に加えて、キーボードを介して、テスタ２０から取得した試験結果において良品を示すカテゴリナンバーを入力したり、コンタクトアーム３１２とソケット３０１の損傷を防止するために、最大限許容することができる限界ストロークを入力する。

次いで、オペレータはハンドラ１０の試験スタートボタン（不図示）を押し、ストローク自動設定のためのＩＣデバイス試験動作を開始する（ステップＳ２０）。このオペレータの操作により、ローダ部搬送装置５０１がＩＣデバイスをＩＣデバイス格納部４０の供給トレイ用ストッカ４０１からローダ用バッファ部５０２に搬送し、当該ＩＣデバイスをローダ用バッファ部５０２がテスト部３０のテスト部搬送装置３１０に供給する。テスト部搬送装置３１０はＩＣデバイスをテストヘッド３００のソケット３０１の上方に移動させ、コンタクトアーム３１２がソケット３０１に向かってＩＣデバイスを下降させ、ＩＣデバイスをソケット３０１に押し付ける。そして、コンタクトアーム３１２の押付トルクが、指示部３２１により指示された理論トルクに達したら、制御装置３１６はコンタクトアーム３１２の下降動作を停止させ、この状態でテスタ２０が、テストヘッド３００及びソケット３０１を介して、ＩＣデバイスの試験を行う（ステップＳ３０）。なお、この最適ストローク設定のための試験に用いられるＩＣデバイスは、予め良品であることが確認されているものを使用する。

この試験時において取得部３２２が試験結果をテスタ２０から取得する（図５のステップＳ４０）。ここで、テスタ２０から取得される試験結果は、良品が「１」のカテゴリナンバーで表現され、不良品は「１」以外（例えば、「２」や「３」の等カテゴリナンバー）のカテゴリナンバーで表現されている。因みに、上記のステップＳ１０では、良品のカテゴリナンバーが「１」で表現されていることをオペレータがストローク設定装置３２０の指示部３２１に入力する。

次いで、修正部３２３が、取得部３２２により取得された試験結果が「１」であるか否かを判断する（ステップＳ５０）。

このステップＳ５０において試験結果が「１」以外であると判断された場合（ステップＳ５０にてＮＯ）には、ストローク不足によるＩＣデバイスとソケット３０１との非接触を解消させるために、ストローク設定装置３２０はステップＳ１１０〜ステップＳ１８０までのトルクを増加させる修正を行う。なお、ステップＳ５０において試験結果が「１」であると判断された場合の処理（すなわち、ステップＳ２１０以降の処理）については後述する。

先ず、ステップＳ１１０において修正部３２３がカウンタｍをリセットし（ｍ＝０）、制御装置３１６がコンタクトアーム３２１を上昇させる制御を行う（ステップＳ１２０）。

次いで、修正部３２３がトルクを増加させる修正を行い、指示部３２１がこの修正されたトルクを制御装置３１６に指示する（ステップＳ１３０）。修正部３２３により修正されるトルクの増加率αは、例えば、修正前のトルクに対して１０％程度である。なお、ステップＳ１３０において修正部３２３が増加させるトルクは、ステップＳ５０から直接移行してきた場合にはステップＳ１０でオペレータにより入力された理論トルクであり、既にステップＳ１３０を経ている場合には直近のサイクルのステップＳ１３０において修正された修正トルクである。

次いで、コンタクトアーム３１２は、ソケット３０１に向かってＩＣデバイスを再び下降させ、ＩＣデバイスをソケット３０１に押し付ける。コンタクトアーム３１２の押付トルクが、指示部３２１から指示された修正トルクに達したら、制御装置３１６はコンタクトアーム３１２の下降動作を停止させ、この状態でテスタ２０がＩＣデバイスの試験を行う（ステップＳ１４０）。

次いで、ステップＳ１５０において取得部３２２が試験結果をテスタ２０から取得し、ステップＳ１６０において修正手段３２３がカウンタにより修正回数をカウントする（ｍ＝ｍ＋１）。

次いで、修正部３２３が、取得部３２２により取得された試験結果が「１」であるか否かを判断する（ステップＳ１７０）。

このステップＳ１７０において試験結果が「１」であると判断された場合（ステップＳ１７０にてＹＥＳ）には、ＩＣデバイスとソケット３０１との電気的な接触が確保されたことになるので、図５ＡのステップＳ２１０〜ステップＳ２５０までのトルクを減少させる修正を行う。このステップＳ２１０以降の処理については後述する。

このステップＳ１７０において試験結果が「１」以外であると判断された場合（ステップＳ１７０にてＮＯ）には、未だＩＣデバイスとソケット３０１との電気的な接触が確保されていないことになるので、先ず、ステップＳ１８０において、修正部３２３は、カウンタｍが所定回数Ｍ以下であるか否かを判断する（ｍ≦Ｍ）。所定回数Ｍとしては、例えば５回〜１０回を挙げることができる。

ステップＳ１７０にて試験結果が「１」以外であると判断され（ステップＳ１７０にてＮＯ）、且つ、ステップＳ１８０にてカウンタｍが所定回数Ｍ以下であると判断される限り（ステップＳ１８０にてＹＥＳ）、ストローク設定装置３２０はステップＳ１１０〜Ｓ１６０までのトルクを増加させる修正を繰り返す。

これに対し、ステップＳ１８０にてカウンタｍが所定回数Ｍより大きいと判断された場合（ステップＳ１８０にてＮＯ）には、修正部３２３がストローク設定装置３２０による最適ストローク設定作業を中止させると共に、警報部３２５がオペレータに対して最適ストローク設定作業が中止された旨を喚起する。これにより、ＩＣデバイスとソケット３０１との非接触がストローク不足以外の要因に起因し、ＩＣデバイスとソケット３０１との電気的な接触を到底確保し得ないような場合に、最適ストロークの設定作業を自動的に中止させることができる。

ステップＳ５０又はステップＳ１７０において、試験結果が「１」であると判断された場合（ステップＳ５０にてＹＥＳ又はステップＳ１７０にてＹＥＳ）には、過剰なトルクによるソケットの短命化を防止するために、ストローク設定装置３２０はステップＳ２１０〜Ｓ２５０までのトルクを減少させる修正を行う。

先ず、ステップＳ２１０において、制御装置３１６がコンタクトアーム３１２を上昇させる制御を行う。

次いで、修正部３２３がトルクを減少させる修正を行い（ステップＳ２２０）、指示部３２１がこの修正されたトルクを制御装置３１６に指示する。なお、ステップＳ２２０において修正部３２３が減少させるトルクは、ステップＳ５０から直接移行してきた場合にはステップＳ１０でオペレータにより入力された理論トルクであり、ステップＳ１７０から移行してきた場合には直近のサイクルのステップＳ１３０において修正された修正トルクである。また、修正部３２３により修正されるトルクの減少率βは、例えば、修正前のトルクに対して１〜２％程度であり、減少率βは増加率αに対して相対的に小さくなっている（β＜α）。

コンタクトアーム３１２は、ソケット３０１に向かってＩＣデバイスを再び下降させ、ＩＣデバイスをソケット３０１に押し付ける。コンタクトアーム３１２が押し付けるトルクが、指示部３２１により指示された修正トルクに達したら、制御装置３１６は、コンタクトアーム３１２の下降動作を停止させ、この状態でテスタ２０がＩＣデバイスの試験を行う（ステップＳ２３０）。

次いで、取得部３２２がテスタからこの試験結果を取得し（ステップＳ２４０）、当該試験結果が「１」であるか否かを修正部３２３が判断する（ステップＳ２５０）。

このステップＳ２５０において試験結果が「１」であると判断される場合（ステップＳ２５０にてＮＯ）には、未だトルクが過剰であるので、ステップＳ２１０〜ステップＳ２４０までのトルクを減少させる修正を行う。

これに対し、ステップＳ２５０において試験結果が「１」以外であると判断された場合（ステップＳ２５０にてＮＯ）には、修正部３２３によるトルクの修正を行わずに、最適ストローク値を設定するために図５Ｂに示すステップＳ３１０〜Ｓ３６０に移行する。

図５Ｂのフローチャートに示すように、先ず、制御装置３１６がコンタクトアーム３２１を上昇させる制御を行い（ステップＳ３１０）、Ｎサイクル目の試験において指示されたトルク値を設定部３２４が制御装置３１６に指示する（ステップＳ３２０）。

なお、Ｎサイクル目の試験におけるトルク値とは、ステップＳ２５０で試験結果が「１」以外であると判断されたサイクルをＮ＋１回目とした場合に、その直前（Ｎ回目）のサイクルの試験におけるトルク値である。例えば、Ｓ２１０〜Ｓ２５０までのトルクを増加させるサイクルを複数回繰り返し、Ｎ＋１回目のサイクルの試験で不良となった場合には、Ｎ回目のサイクルの試験におけるトルク値のことである。また、Ｓ１１０〜Ｓ１８０までのトルクを減ずるサイクルを経た直後にＳ２１０〜Ｓ２５０のトルクを増加させるサイクルの試験で直ぐに良品となった場合には、直近のＳ１１０〜Ｓ１８０のサイクルの試験におけるトルク値のことである。

次いで、Ｎサイクル目の試験におけるトルク値でＩＣデバイスの試験を行い（ステップＳ３４０）、設定部３２４が試験結果を取得し（ステップＳ３４０）、当該試験結果が「１」であるか否かを判断する（ステップＳ３５０）。

ステップＳ３５０において試験結果が「１」以外であると判断された場合（ステップＳ３５０にてＮＯ）には、ストローク設定装置３２０による最適ストローク設定作業を強制的に中止させると共に、警報部３２５がオペレータに対して最適ストローク設定作業が中止された旨を喚起する。

ステップＳ３５０において、試験結果が「１」であると判断した場合（ステップＳ３５０にてＹＥＳ）には、設定部３２４が、当該試験時におけるコンタクトアーム３１２のストロークＬを算出し、当該ストロークＬを、実際の試験時に用いるのに最適なストロークとして制御装置３１６に設定する（ステップＳ３６０）。

すなわち、Ｎ＋１回目（但し、Ｎは自然数である。）の試験時の試験結果が「１」以外（異常）であった場合に、ステップＳ２５０にて修正部３２３はもはやトルクの修正を行わず、設定部３２４がＮ回目の試験時におけるトルク値でＩＣデバイスの試験を実行してストロークＬを測定し、そのストロークＬを最適ストロークとして設定する。

ストロークの設定作業が完了したら、テスト部搬送装置３１０はＩＣデバイスをアンローダ用バッファ部６０２に搬送し、当該ＩＣデバイスをアンローダ用バッファ部６０２及びアンローダ部搬送装置６０１を介して、ＩＣデバイス格納部４０の分類トレイ用ストッカ４０２に払い出される。

以上のように本実施形態に係る電子部品試験装置では、ＩＣデバイスの品種交換時やソケットの交換時等に、コンタクトアームの最適なストロークを自動で設定することができる。

なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、図５Ａに示すフローチャートにおいてステップＳ２１０〜Ｓ２５０までのトルクを増加させるステップは本発明の必須の要件ではなく、ステップＳ１７０にて試験結果が「１」であると判断されたら、当該試験時におけるストロークＬを設定部３２４が最適なストロークとして制御装置３１６に設定しても良い。

また、上述の実施形態では、被試験ＩＣデバイスを品種交換した後やソケット３０１を交換した後に最適なストロークを設定するように説明したが、被試験デバイスのロットが変わった場合や、試験中であっても不良品が続出する等の場合に、本実施形態に係る方法により、コンタクトアームの最適ストロークを再設定しても良い。

また、上述の実施形態では、修正部３２３によりトルクの修正が行われなかった場合（図５ＡのＳ２５０にてＮＯ）に、正常な試験を再度実施することにより設定部３２４がコンタクトアーム３１２のストロークＬを測定している（図５ＢのステップＳ３１０〜Ｓ３６０）が、本発明においては特にこれに限定されない。

例えば、テスタ２０により試験が実行される度（図５ＡのステップＳ１４０やＳ２３０の度）に、ストロークＬを測定して記憶しておき、修正部３２３によりトルクの修正が行われなかった場合（図５ＡのＳ２５０にてＮＯ）に、正常試験時におけるストロークＬを設定部３２４が抽出しても良い。

或いは、正常な試験結果が得られる度（図５ＡのステップＳ１５０やＳ２４０にて試験結果が「１」である度）に、ストロークＬを測定・更新し、修正部３２３によりトルクの修正が行われなかった場合（図５ＡにてＳ２５０にてＮＯ）に、最新のストロークＬを設定部３２４が呼び出しても良い。

さらに、上述の実施形態では、最適なストロークのみを設定するように説明したが、実際の試験時においてコンタクトアームの押圧制御をトルク管理している場合には、コンタクトアームの最適ストロークの設定に代えて又は最適ストロークの設定に加えて、実際の試験時に用いられる最適なトルクの設定を行っても良い。

Claims (22)

1. 被試験電子部品の電気的特性を試験するために、前記被試験電子部品をソケットに電気的に接触させる電子部品試験装置であって、
   前記被試験電子部品を前記ソケットに対して垂直方向に沿って移動させ、前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付けるコンタクトアームと、
   前記コンタクトアームの移動動作を制御する制御手段と、
   前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付ける際の前記コンタクトアームのトルクを前記制御手段に指示する指示手段と、
   前記指示手段により指示されたトルクで前記コンタクトアームが前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付けた際に実行した前記被試験電子部品の試験の結果をテスタから取得する取得手段と、
   前記取得手段により取得された試験結果に基づいて、前記指示手段が制御手段に指示するトルクを修正する修正手段と、
   前記修正手段によりトルクが修正されなかった場合に、試験結果が正常であった試験時における前記コンタクトアームの押付条件を、実際の試験時に用いる最適押付条件として設定する設定手段と、を備えた電子部品試験装置。
2. 前記コンタクトアークの押付条件には、前記コンタクトアームの垂直方向に沿ったストロークを含み、
   前記修正手段によりトルクが修正されなかった場合に、前記設定手段は、試験結果が正常であった試験時における前記コンタクトアームの垂直方向に沿ったストロークを、実際の試験時に用いる最適ストロークとして設定する請求項１記載の電子部品試験装置。
3. 前記取得手段により前記テスタから取得された試験結果が異常を示す場合に、前記修正手段は、前記指示手段が前記制御手段に指示するトルクを増加させる修正を行う請求項２記載の電子部品試験装置。
4. 前記取得手段により取得される試験結果が正常を示すまで、前記修正手段がトルクを増加させ、当該増加されたトルクを前記指示手段が前記制御手段に指示し、当該増加されたトルクで前記コンタクトアームが前記被試験電子部品を押し付けた際に実行した前記被試験電子部品の試験の結果を前記取得手段が取得するサイクルを繰り返す請求項３記載の電子部品試験装置。
5. 前記修正手段がトルクを増加させる修正を所定回数以上行った場合にストロークの設定を中止する請求項４記載の電子部品試験装置。
6. 前記取得手段により取得された試験結果が正常を示す場合に、前記修正手段はトルクを修正せずに、前記設定手段は当該試験時におけるストロークを最適ストロークとして設定する請求項４又は５記載の電子部品試験装置。
7. 前記取得手段により取得される試験結果が正常を示す場合に、前記修正手段は、前記指示手段が前記制御手段に指示するトルクを減少させる修正を行う請求項２〜５の何れかに記載の電子部品試験装置。
8. 前記取得手段により取得される試験結果が異常を示すまで、前記修正手段がトルクを減少させ、当該減少されたトルクを前記指示手段が前記制御手段に指示し、当該減少されたトルクで前記コンタクトアームが前記被試験電子部品を押し付けた際に実行した前記被試験電子部品の試験の結果を前記取得手段が取得するサイクルを繰り返す請求項７記載の電子部品試験装置。
9. 前記取得手段により取得されたＮ＋１回目（但し、Ｎは自然数である。）の試験結果が異常を示す場合に、前記修正手段はトルクを修正せずに、前記設定手段はＮ回目の試験時におけるストロークを最適ストロークとして設定する請求項８記載の電子部品試験装置。
10. 前記修正手段が減少させる一回当たりのトルク減少率は、前記修正手段が増加させる一回当たりのトルク増加率に対して相対的に小さい請求項７〜９の何れかに記載の電子部品試験装置。
11. 前記コンタクトアームの押付条件には、前記コンタクトアームの押付トルクを含み、
    前記修正手段によりトルクが修正されなかった場合に、前記設定手段は、最適ストロークに代えて、又は、最適ストロークに加えて、試験結果が正常であった試験時におけるトルクを、実際の試験時に用いる最適トルクとして設定する請求項１〜１０の何れかに記載の電子部品試験装置。
12. 被試験電子部品をソケットに電気的に接触させて前記被試験電子部品の電気的特性を試験するために前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付けるコンタクトアームの最適な押付条件を設定する方法であって、
    前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付ける際の前記コンタクトアームのトルクを、前記コンタクトアームの移動を制御する制御手段に指示する指示ステップと、
    前記指示ステップで指示されたトルクで前記コンタクトアームにより前記被試験電子部品を前記ソケットに押し付け、テスタにより前記被試験電子部品を試験する試験ステップと、
    前記テスタから前記被試験電子部品の試験結果を取得する取得ステップと、
    前記取得ステップで取得された試験結果に基づいて、前記指示ステップで前記制御手段に指示するトルクを修正する修正ステップと、
    前記修正ステップでトルクが修正されなかった場合に、試験結果が正常であった試験時における前記コンタクトアームの押付条件を、実際の試験時に用いる最適押付条件として設定する設定ステップと、を備えたコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
13. 前記コンタクトアームの押付条件には、前記コンタクトアームの垂直方向に沿ったストロークを含み、
    前記修正ステップでトルクが修正されなかった場合に、前記設定ステップにおいて、試験結果が正常であった試験時における前記コンタクトアームの垂直方向に沿ったストロークを、実際の試験時に用いる最適ストロークとして設定する請求項１２記載のコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
14. 前記取得ステップで取得された試験結果が異常を示す場合に、前記修正ステップにおいて、前記制御手段に指示するトルクを増加させる修正を行う請求項１３記載のコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
15. 前記取得ステップにおいて取得される試験結果が正常を示すまで、前記修正ステップ、前記指示ステップ、前記試験ステップ及び前記取得ステップを繰り返す請求項１４記載のコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
16. 前記修正ステップを所定回数以上行った場合にストロークの設定を中止する請求項１５記載のコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
17. 前記取得ステップにて取得された試験結果が正常を示す場合に、前記修正ステップにおいてトルクを修正せずに、前記設定ステップにおいて当該試験時におけるストロークを最適ストロークとして設定する請求項１５又は１６記載のコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
18. 前記取得ステップにて取得された試験結果が正常を示す場合に、前記修正ステップにおいて前記制御手段に指示するトルクを減少させる修正を行う請求項１３〜１６の何れかに記載のコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
19. 前記取得ステップにおいて前記テスタから取得される試験結果が異常を示すまで、前記修正ステップ、前記指示ステップ、前記試験ステップ及び前記取得ステップを繰り返す請求項１８記載のコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
20. 前記取得ステップで取得されたＮ＋１回目（但し、Ｎは自然数である。）の試験結果が異常を示す場合に、前記修正ステップにおいてトルクを修正せずに、前記設定ステップにおいてＮ回目の試験時におけるストロークを最適ストロークとして設定する請求項１９記載のコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
21. 前記修正ステップにおいて減少される一回当たりのトルク減少率は、前記修正ステップにおいて増加される一回当たりのトルク増加率に対して相対的に小さい請求項１８〜２０の何れかに記載のコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
22. 前記コンタクトアームの押付条件には、前記コンタクトアームの押付トルクを含み、
    前記修正ステップでトルクが修正されなかった場合に、前記設定ステップにおいて、最適ストロークに代えて、又は、最適ストロークに加えて、試験結果が正常であって試験時におけるトルクを、実際の試験の試験時に用いる最適トルクとして設定する請求項１２〜２１の何れかに記載のコンタクトアームの最適押付条件設定方法。
    
    

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