KR20090002950U - 소잉소터 시스템용 점검장치 - Google Patents

소잉소터 시스템용 점검장치 Download PDF

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허희무
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Abstract

본 고안은 몰딩된 반도체소자를 공급/절단/세척/건조/이송/검사/분류/수납 공정을 순차적으로 진행하는 소잉소터 시스템을 점검하는 장치에 관한 것으로, 전원공급부가 구비된 본체와, 상기 본체에 설치되고 상기한 각 공정에 구비된 센서 및 구동모듈과 전기적으로 연결되는 입ㆍ출력부, 상기 입ㆍ출력부를 통해 각 공정에 해당되는 센서 및 구동모듈의 전기적 연결 상태를 표시하는 램프, 및 상기 전원공급부와 상기 입ㆍ출력부 사이에 설치되어 전기적 연결을 제어하는 스위치를 포함하는 것이 특징이다.
본 고안에 의하면, 소잉소터 시스템의 각 공정에 구비된 센서 및 구동모듈의 동작 상태를 한 명의 작업자가 매우 편리하고 신속하게 점검할 수 있는 효과가 있다.
Figure P2020070015692
소잉소터, 반도체소자

Description

소잉소터 시스템용 점검장치{Inspection device for sawing sorter system}
본 고안은 반도체소자를 제조하는 소잉소터 시스템(Sawing-Sorter System)에 구비된 센서 및 구동모듈의 동작 상태를 점검할 수 있는 소잉소터 시스템용 점검장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자의 제조공정은 크게 웨이퍼(Wafer)의 불량을 체크하는 원자재 검사, 웨이퍼를 절단하여 반도체 칩을 낱개로 분리하여 검사하는 소잉소터(Sawing-Sorter)공정, 낱개로 분리된 반도체 칩을 리드 프레임(Lead frame)의 탑재판에 부착시키는 다이본딩(Die Bonding)공정, 반도체 칩 상에 구비된 칩 패드와 리드 프레임의 리드를 와이어로 연결시켜주는 와이어본딩(Wire Bonding)공정, 반도체 칩의 내부회로와 그 외의 구성부품을 보호하기 위하여 봉지재로 외부를 감싸는 몰딩(Molding)공정, 리드와 리드를 연결하고 있는 댐바를 커팅하는 트림(Trim)공정 및 리드를 원하는 형태로 구부리는 포밍(Foaming)공정, 상기 공정을 거쳐 완성된 패키지의 불량을 검사하는 공정으로 이루어진다.
여기서, 상기 소잉소터 공정은 몰딩된 반도체소자를 절단, 이송 검사, 분류하는 공정을 진행하는 장치이다. 즉, 상기 소잉소터 공정을 수행하는 소잉소터 시 스템은 반제품 형태의 반도체소자가 로딩부에 적재되고, 상기 로딩부에 위치된 반도체소자를 픽업하여 절삭부로 공급한다. 그리고, 상기 절삭부에 구비된 절삭날이 일정한 크기로 반도체소자를 절삭한다.
절삭이 완료된 후 세정공정과 건조공정을 거친 반도체소자는 이송레일을 따라 왕복운동되는 리버스테이블에 개별적으로 안착된다. 볼 업 상태로 안착된 상기 리버스테이블을 180°회전시켜 볼 다운 상태로 전환한 후, 턴테이블로 이송되어 반도체소자의 마킹면이 검사된다.
이와 같이 마킹검사가 완료된 반도체소자는 칩 피커에 진공흡착되어 볼비젼인스펙션에 의해서 반도체소자의 양ㆍ부가 판별되고 적재 트레이에 분류되어 적재된다.
즉, 종래의 소잉소터 시스템은 몰딩된 반도체소자가 공급→절삭→세정→건조→이송→검사→분류→수납의 공정으로 진행된다.
이러한 소잉소터 시스템은 각 공정마다 매우 많은 센서 및 구동모듈이 구비된다. 따라서, 상기 소잉소터 시스템을 설치할 때 각 공정마다 구비된 센서 및 구동모듈이 오동작 상태를 체크해야만 한다.
그런데, 종래에는 복수개의 센서 및 구동모듈을 컴퓨터에 연결하여 체크하고 있으며, 하나의 센서 또는 하나의 구동모듈을 측정기에 의해 메뉴얼로 작업자가 일일이 체크하고 있다.
특히, 센서와 연계되어 구동모듈이 동작되는 공정을 체크하고자 할 경우 다수의 작업자가 각각 센서, 구동모듈, 컴퓨터에 배치된 상태에서 상호간의 연결을 체크해야만 하는 매우 복잡하고도 비효율적인 방법으로 소잉소터 시스템의 동작 상태를 체크하고 있다.
때문에, 하나의 소잉소터 시스템을 제조하여 설치하고자 할 때 리드 타임의 증가를 초래하는 문제점이 있었으며, 작업자의 수동 검사에 따른 오류가 발생될 수도 있었다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 고안의 목적은, 소잉소터 시스템에 구비된 다수개의 센서와 구동모듈을 전기적으로 연결하여 각 공정의 동작 상태를 전원의 공급으로 점검할 수 있는 소잉소터 시스템용 점검장치를 제공하는 데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 소잉소터 시스템용 점검장치는, 몰딩된 반도체소자를 공급/절단/세척/건조/이송/검사/분류/수납 공정을 순차적으로 진행하는 소잉소터 시스템을 점검하는 장치에 있어서, 전원공급부가 구비된 본체; 상기 본체에 설치되고, 상기한 각 공정에 구비된 센서 및 구동모듈과 전기적으로 연결되는 입ㆍ출력부; 및 상기 입ㆍ출력부를 통해 각 공정에 해당되는 센서 및 구동모듈의 전기적 연결 상태를 표시하는 램프;를 포함하는 것이 특징이다.
본 고안의 소잉소터 시스템용 점검장치에 있어서, 상기 본체는 상기 전원공급부와 상기 입ㆍ출력부 사이에 설치되어 전기적 연결을 제어하는 스위치;를 포함하되, 상기 스위치가 온 상태일 때 상기 입ㆍ출력부를 통해 연결된 각 공정의 센서에 전원이 공급된다.
본 고안의 소잉소터 시스템용 점검장치에 있어서, 상기 램프는 상기한 각 공정에 연결된 센서가 정상적으로 동작되는 경우, 이에 해당되는 상기 센서와 연결된 램프가 점등된다.
본 고안의 소잉소터 시스템용 점검장치에 있어서, 상기 점검장치는 상기 램프의 점등 유무에 따라 상기 센서, 또는 상기 구동모듈과 연결된 배선의 연결 상태를 점검한다.
본 고안의 소잉소터 시스템용 점검장치는, 소잉소터 시스템의 각 공정에 구비된 센서 및 구동모듈의 동작 상태를 한 명의 작업자가 매우 편리하고 신속하게 점검할 수 있는 효과가 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 소잉소터 시스템용 점검장치의 구성 및 작용을 설명하도록 한다.
도시된 도 1에서 보는 바와 같이, 상기 소잉소터 시스템용 점검장치(100)는 본체(110)에 구비된 입ㆍ출력부(120), 램프(130), 스위치(140), 전원공급부(150)로 이루어진다.
상기 본체(110)는 내부에 수용부(111)가 구비되고, 일면에는 상기 수용부(111)와 연통되는 개구부(112)가 구비된 하우징으로 이루어진다. 또한, 상기 개구부(112)에는 커버(113)가 나사로 체결된다. 도시된 도면에서는 상기 커버(113)를 두 개로 도시하였으나, 하나로 이루어질 수도 있다. 그리고, 상기 수용부(102)에는 다수개의 회로가 구비된 기판(114)이 설치된다.
한편, 상기 입ㆍ출력부(120)는 IN/OUT 보드와 연결된 커넥터(121)가 상기 본체(110)에 결합된다. 상기 커넥터(121)는 수십 개의 핀이 구비되어 있으며, 이 핀 은 각각 수십 개의 센서와 구동모듈에 배선으로 연결되는 것이다.
즉, 상기 입ㆍ출력부(120)는 상기 센서와 연결된 배선, 그리고 상기 구동모듈과 연결된 배선을 상기 소잉소터 시스템(200)에 용이하게 연결하기 위한 것이다.
또한, 상기 램프(130)는 상기 커버(113)의 상면에 위치되는 것으로, 다수개의 점등램프로 구비된다. 이 램프(130)는 각각 수용부(102)에 설치된 기판(114)에 전기적으로 연결된다. 그리고, 상기 램프(130)는 하나의 입력핀과 하나의 출력핀에 각각 연결된다.
그리고, 상기 기판(114)은 앞서 언급한 입ㆍ출력부(120)에 구비된 핀들과 상기 램프(130)를 각각 개별적으로 연결되는 것이다.
상기 전원공급부(150)는 220V로 입력되는 교류 전원을 24V의 직류전원으로 변환하며, 상기 전원공급부(150)와 상기 입ㆍ출력부(120) 사이에 스위치(140)가 구비되어 상기 교류 전원의 공급을 차단하게 된다. 즉, 상기 전원공급부(150)는 상기 램프(130)가 점등될 수 있는 24V의 DC전원으로 변환시키는 것이다.
이상과 같이 이루어진 본 고안의 반도체제조 설비용 점검장치의 사용상태 및 점검방법을 설명하면 다음과 같다.
첨부된 도 2에서 보는 바와 같이, 소잉소터 시스템(200)은 수지금형부에서 몰딩된 반도체소자를 단위 패키지로 절단하여 검사를 수행한 후 트레이에 적재시키는 공정까지 담당을 하게 된다.
즉, 상기 소잉소터 시스템(200)은 반도체소자의 공급/절단/세척/건조/이송/ 검사/분류/수납 등의 공정을 수행하게 된다.
그리고, 본 고안의 소잉소터 시스템용 점검장치(100)는 하기와 같은 동작을 수행할 때 각각의 센서와 구동모듈의 동작 상태를 점검하게 되는 것이다.
- 수지금형부에서 몰딩된 반도체소자가 소잉소터 시스템으로 공급될 때,
- 상기 소잉소터 시스템에 설치된 공급부에서 몰딩된 반도체소자의 방향을 회전시킬 때,
- 상기 공급부에 위치된 몰딩된 반도체소자를 푸셔가 절단부로 이동시킬 때,
- 상기 절단부에 위치된 몰딩된 반도체소자를 X축과 Y축으로 절단시킬 때,
- 상기 절단부에서 절단이 완료된 반도체소자를 픽업할 때,
- 단위 패키지로 절단된 반도체소자를 세척할 때,
- 상기 반도체소자를 건조할 때,
- 건조가 완료된 반도체소자를 이송할 때,
- 반도체소자의 볼을 검사할 때,
- 검사된 등급에 따라 반도체소자를 분류할 때,
- 등급에 따라 분류된 반도체소자를 적재할 때,
- 각각의 공정으로 반도체소자를 이송할 때,
상기한 바와 같은 동작은 소잉소터 시스템(200)이 동작되는 매우 개략적인 상태를 기재한 것이다. 이러한 일련의 동작들은 각각 수십 개의 센서와 구동모듈에 의해 동작 된다.
따라서, 소잉소터 시스템용 점검장치(100)는 각각의 공정에서 독립된 공정을 수행하거나, 전 공정 및 후속공정과 인계된 공정을 수행할 때, 즉 소잉소터 시스템(200)에서 센서와 구동모듈로 행해지는 모든 공정의 동작 상태를 점검하게 되는 것이다.
상기한 센서 및 구동모듈은 입ㆍ출력부(120)를 통해 본 고안의 점검장치(100)에 전기적으로 연결된다.
만약, 상기 센서의 동작 상태를 점검하고자 할 경우, 상기 점검장치(100)에 구비된 스위치(140)를 동작시키게 되면 220V로 공급되는 AC전원이 변환기에 의해 24V의 DC전원으로 변환된다.
이렇게 변환된 전원이 상기 입ㆍ출력부(120)의 출력부를 통해 상기 센서로 공급되고, 상기 센서가 구동되면 상기 입ㆍ출력부(120)의 입력부로 신호가 전달되는 것이다.
이때, 상기 센서와 구동모듈의 정상적인 동작을 수행하게 되면 상기 전원공급부(150)는 상기 센서를 통해 대응하는 램프(130)와 전기적으로 연결되고, 반면에 동작을 수행하지 못하는 비정상적인 상태인 경우 상기 램프(130)는 전원공급부(150)와 전기적으로 연결되지 않아 점등되지 않게 되는 것이다.
따라서, 상기 램프(130)가 점등되면 상기 센서 및 구동모듈의 구동이 정상적인 동작을 수행하는 것이고, 상기 램프(130)가 점등되지 않을 경우 이 센서를 작업자가 점검하면서 설치 작업을 재수행하게 되는 것이다.
그러므로, 소잉소터 시스템(200)을 설비하는 동안 센서 및 구동모듈의 동작 상태 및 이에 연결되는 배선들의 연결 상태를 일괄적으로, 또는 선택적으로 점검할 수 있는 것이다.
도 1은 본 고안의 소잉소터 시스템용 점검장치의 개략적인 평면도,
도 2는 본 고안의 소잉소터 시스템용 점검장치를 소잉소터 시스템에 연결한 상태의 사용 상태도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
100 : 점검장치 110 : 본체
120 : 입ㆍ출력부 130 : 램프
140 : 스위치 150 : 전원공급부
200 : 소잉소터 시스템

Claims (4)

  1. 몰딩된 반도체소자를 공급/절단/세척/건조/이송/검사/분류/수납 공정을 순차적으로 진행하는 소잉소터 시스템을 점검하는 장치에 있어서,
    전원공급부가 구비된 본체;
    상기 본체에 설치되고, 상기한 각 공정에 구비된 센서 및 구동모듈과 전기적으로 연결되는 입ㆍ출력부;
    상기 입ㆍ출력부를 통해 각 공정에 해당되는 센서 및 구동모듈의 전기적 연결 상태를 표시하는 램프; 및
    상기 전원공급부와 상기 입ㆍ출력부 사이에 설치되어 전기적 연결을 제어하는 스위치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 소잉소터 시스템용 점검장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 본체는,
    상기 스위치가 온 상태일 때 상기 입ㆍ출력부를 통해 연결된 각 공정의 센서에 전원이 공급되는 것을 특징으로 하는 상기 소잉소터 시스템용 점검장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 램프는,
    상기한 각 공정에 연결된 센서가 정상적으로 동작되는 경우, 이에 해당되는 상기 센서와 연결된 램프가 점등되는 것을 특징으로 하는 상기 소잉소터 시스템용 점검장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 점검장치는,
    상기 램프의 점등 유무에 따라 상기 센서, 또는 상기 구동모듈과 연결된 배선의 연결 상태를 점검하는 것을 특징으로 하는 상기 소잉소터 시스템용 점검장치.
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