CN111868536A - 元件检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种元件检查装置，包括：一个以上的测试部(100)，包括多个测试插座(111)和加压工具(120)，所述多个测试插座(111)以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置，所述加压工具(120)设置在所述多个测试插座(111)的上侧，对应于所述各个测试插座(111)，在检查时加压于测试插座(111)通过上下移动从测试插座(111)拾取元件(1)；一个以上的主往返运送部(200)，以装载待检查的元件(1)的状态移动到所述测试插座(111)及所述加压工具(120)之间的空间，从所述加压工具(120)接收完成检查的元件(1)，并且由所述加压工具(120)拾取待检查的元件(1)；一个以上的辅助往返运送部(300)，移动于装载/卸载位置(P1)和元件交换位置(P2)之间，其中所述装载/卸载位置(P1)为从装载有待检查的元件(1)的托盘(20)装载元件(1)并卸载完成检查的元件(1)，在所述元件交换位置(P2)与所述主往返运送部(200)交换元件(1)；装载部(410)，配置装载有待检查的元件(1)的托盘(20)；卸载部(420)，配置装载有完成检查的元件(1)的托盘(20)。

Description

元件检查装置

技术领域

本发明涉及元件检查装置，更详细地说涉及在检查多个元件之后根据检查结果进行分类的元件检查装置。

背景技术

半导体元件(以下，称为“元件”)经过半导体工艺、封装工艺等许多工艺的同时通过元件处理器之一的元件检查装置针对电气特性、热或者压力进行可靠性检查等各种检查。

另一方面，对于元件，随着市场竞争的加剧，处于迫切要求降低成本的实情。因此，元件检查装置也有必要通过提高单位时间的处理速度来提高生产力。

尤其是，与大量生产的存储器元件不同，需要一种元件检查装置适合于检查生产数量相对少并且种类多样的系统的诸如LSI的LSI元件。

发明内容

(要解决的问题)

本发明意识到如上所述的必要性提供一种元件检查装置，适合于检查生产数量相对少并且种类多样的系统的诸如LSI的LSI元件。

本发明的另一目的在于，提供一种可明显提高具有相对长的检查时间的元件的检查速度的元件检查装置及元件检查方法。

(解决问题的手段)

本发明是为了达到如上所述的本发明的目的而提出的，本发明公开了一种元件检查装置，包括：一个以上的测试部100，包括多个测试插座111和加压工具120，所述多个测试插座111以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置，所述加压工具120设置在所述多个测试插座111的上侧，对应于所述各个测试插座111，在检查时加压于测试插座111通过上下移动从测试插座111拾取元件1；一个以上的主往返运送部200，以装载待检查的元件1的状态移动到所述测试插座111及所述加压工具120之间的空间，从所述加压工具120接收完成检查的元件1，并且由所述加压工具120拾取待检查的元件1；一个以上的辅助往返运送部300，移动于装载/卸载位置P1和元件交换位置P2之间，其中所述装载/卸载位置P1为从装载有待检查的元件1的托盘20装载元件1并卸载完成检查的元件1，在所述元件交换位置P2与所述主往返运送部200交换元件1；装载部410，配置装载有待检查的元件1的托盘20；卸载部420，配置装载有完成检查的元件1的托盘20。

(发明的效果)

本发明的元件检查装置为将测试模块的数量及元件的物流运送路线最优化，以更加优化于相比于从托盘装载元件及从托盘卸载元件的速度元件检查速度相对更长的检查工艺，进而具有可将装置的元件检查效率最大化的优点。

附图说明

图1是示出本发明的元件检查装置的配置图。

图2a至图2e是示出图1的元件检查装置中测试部中的元件交换过程的概念图。

图3是示出在图1的元件检查装置中测试部及主往返运送部的结构的主视图。

图4a至图4h是示出在图1的元件检查装置中从辅助往返运送部到测试部之间的元件运送过程的概念图。

图5a至图5g是示出在图1的元件检查装置中测试模块及加压工具的更换过程的概图。

图6是示出图1的元件检查装置中CCU单元的结构的一示例的概念图。

具体实施方式

以下，参照附图如下说明本发明的元件检查装置。

如图1至图3所示，本发明的元件检查装置包括：一个以上的测试部100，包括多个测试插座111和加压工具120，所述多个测试插座111以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置，所述加压工具120设置在多个测试插座111的上侧，对应于各个测试插座111，在检查时加压于测试插座111通过上下移动从测试插座111拾取元件1；一个以上的主往返运送部200，以装载待检查的元件1的状态移动到所述测试插座111及所述加压工具120之间的空间，从所述加压工具120接收完成检查的元件1，并且由所述加压工具120拾取待检查的元件1；一个以上的辅助往返运送部300，移动于装载/卸载位置P1和元件交换位置P2之间，其中所述装载/卸载位置P1为从装载有待检查的元件1的托盘20装载元件1并卸载完成检查的元件1，在所述元件交换位置P2与所述主往返运送部200交换元件1；装载部410，配置装载有待检查的元件1的托盘20；卸载部420，配置装载有完成检查的元件1的托盘20。

所述测试部100结构为包括多个测试插座111和加压工具120，所述多个测试插座111以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置，所述加压工具120设置在所述多个测试插座111的上侧，对应于所述各个测试插座111，在检查时加压于测试插座111通过上下移动从测试插座111拾取元件1，所述测试部100可具有各种结构。

作为一示例，所述测试部100可将测试模块110和加压工具120作为一个模块101构成，其中所述测试模块110以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置安装有元件1并且用于检查的测试插座111，所述加压工具120设置在多个测试插座111的上侧并对应于各个测试插座111，以在检查时加压于测试插座111并且通过上下移动从测试插座111拾取元件1。

所述测试模块110作为以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置安装有元件1并且用于检查的测试插座111的结构，作为对元件1提供检查环境的结构可具有各种结构。

所述加压工具120作为设置在多个测试插座111的上侧并对应于各个测试插座111以在检查时加压于测试插座111并且通过上下移动从测试插座111拾取元件1的结构，可具有各种结构。

作为一示例，所述加压工具120包括CCU单元121和上下驱动部，所述CCU单元121对应于测试插座111的排列以通过空气压拾取并解除拾取各个元件1，所述上下驱动部上下移动CCU单元121等，所述加压工具120可具有各种结构。

然后，所述加压工具120通过各个CCU单元121拾取元件1之后通过下降将元件加压于测试插座111，进而对元件1执行检查。

另一方面，对于由所述测试模块110及加压工具120构成的一个模块可具各种结构，例如，为了考虑相比于元件1的装载及卸载速度检查速度更慢的这一点而执行多量的元件检查，如图1至图3所示，在从前方观察时，以水平方向配置多个所述模块，而且向上侧配置多层所述模块等。

另外，对于由所述测试模块110及加压工具120构成的一个模块，由于作为检查对象的元件1的种类可能会改变，因此有必要对应于已改变元件1的种类来更换测试模块110及加压工具120。

据此，本发明的特征在于，关于测试模块110及加压工具120可包括在改变元件1的种类时可自动更换的结构。

为此，如图6所示，所述加压工具120可包括：执行元件1的拾取及加压的头部121a和将头部121a结合于主体的自动夹钳121b。

此时，所述加压部120还可具有：用于缓和头部121a和元件1接触时的冲击的阻尼部121e；针对测试插座111赋予头部121a微小的自由度以在测试插座111上的顺利接触的浮动部121d。

以下，参照图5a至图5g说明在作为检查对象的元件1的规格，尤其是外形尺寸发生变化的情况下的测试模块110及加压工具120的更换过程。

如图5a所示，加压工具120使加压工具120的头部121a对应于测试模块110的测试插座111进行下降。

如图5b及图5c所示，在所述加压工具120下降之后，在加压工具120中通过自动夹钳121b从主体分离分离头部121a来安装在测试插座111。

另一方面，若分离头部121a来安装在测试插座111，则如图5c所示上升分离头部121a的加压工具120。

然后，如图5d所示，分离头部121a安装在测试插座111的测试模块110可从测试部100向外部排出，以进行更换。

然后，如图5e所示，在更换为新的头部121a及/或者测试模块110之后重新导入到测试部100内部。

另一方面，若新的头部121a及/或者测试模块110导入到测试部100内部，则如图5f所示，加压工具120进行下降，进而在加压工具120结合新的头部121a。

最后，如图5g所示，结合新的头部121a的加压工具120向上侧上升之后可执行上述说明的测试动作。

所述主往返运送部200作为设置有一个以上以装载待检查的元件1的状态移动到测试插座111及加压工具120之间的空间从加压工具120接收完成检查的元件1并且通过加压工具120拾取待检查的元件1的结构，可具有各种结构。

尤其是，根据上述的测试部100的配置及结构，所述主往返运送部200可具有各种结构。

作为一示例，所述主往返运送部200可包括：主往返运送板210，设置有元件安装部211，所述元件安装部211按照以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置的加压工具120的CCU单元121的配置及数量安装元件；主往返运送移动驱动部230，向元件交换位置移动主往返运送板210。

主往返运送板210作为设置有按照以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置的加压工具120的CCU单元121的配置及数量安装元件的元件安装部211的结构，可具有各种结构。

在此，设置在所述主往返运送板210的元件安装部211优选以横向(X轴方向)及纵向(Y轴方向)中的至少一个方向配置2倍数量，进而接收被加压工具120的CCU单元121拾取的元件1之后直接传递待进行检查的元件1。

作为一示例，设置在所述主往返运送板210的元件安装部211能够以纵向(Y轴方向)配置2倍数量，进而可接收被加压工具120的CCU单元121拾取的元件1之后直接传递待检查的元件1。

在如上述构成元件安装部211的情况下，如图2a至图2e所示，若针对CCU单元121的排列数以纵向(Y轴方向)配置2倍的(8列)的元件安装部211，则单数列及双数列中的一列接收被CCU单元121拾取的元件1，而单数列及双数列中的剩余一列可装载待检查的元件1以被CCU单元121拾取。

在所述CCU单元121及元件安装部211之间可交替更改元件交换位置。

所述主往返运送移动驱动部230作为向元件交换位置移动主往返运送板210的结构，根据主往返运送板210的移动方式可具有各种结构。

作为一示例，所述主往返运送移动驱动部230可包括：第一水平移动方向移动部231，测试部100以X轴方向排列方向移动主往返运送板210；上下移动部232，测试部100以Z轴方向排列方向移动主往返运送板210；第二水平方向移动部，将主往返运送板210移动于加压工具120及测试模块110之间(即，Y轴方向)。

另一方面，考虑到针对测试部100交换元件的速度，设置一个以上的所述主往返运送板210，根据主往返运送板210的数量及移动结构主往返运送移动驱动部230可具有各种结构。

所述辅助往返运送部300结构为设置有一个以上以在装载/卸载位置P1和元件交换位置P2之间移动，所述装载/卸载位置P1从装载待检查的元件1的托盘20装载元件1并卸载完成检查的元件1，所述元件交换位置P2为与主往返运送部200交换元件1，所述辅助往返运送部300可具有各种结构。

作为一示例，所述辅助往返运送部300可包括：辅助往返运送板310，设置有元件安装部311，所述元件安装部311按照以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置的加压工具120的CCU单元121的配置及数量，更加优选为主往返运送板210上的元件安装部211的配置及数量安装元件；辅助往返运送移动驱动部(未示出)，向元件交换位置移动辅助往返运送板310。

所述辅助往返运送板310结构为设置有元件安装部311，所述元件安装部311按照以n×2m(n、m为2以上的自然数)的排列配置的主往返运送板210的元件安装部211的配置及数量安装元件1，所述所述辅助往返运送板310可具有各种结构。

在此，所述主往返运送板210及辅助往返运送板310之间的元件交换通过第一主运送工具510运送。

然后，设置在所述辅助往返运送板310的元件安装部311优选以横向(X轴方向)及纵向(Y轴方向)中的一个方向配置2倍数量，以通过从主往返运送板210的元件安装部211拾取元件1的第一主运送工具510接收元件1之后可通过第一主运送工具510可直接传递待检查的元件1。

作为一示例，设置在所述辅助往返运送板310的元件安装部311能够以纵向(Y轴方向)配置2倍数量，以接收被第一主运送工具510拾取的元件1之后直接通过第一主运送工具510拾取待检查的元件1。

所述辅助往返运送移动驱动部作为向元件交换位置移动辅助往返运送板310的结构，根据辅助往返运送板310的移动方式可具有各种结构。

另一方面，考虑到针对测试部100交换元件的速度，可设置一个以上的所述辅助往返运送板310，并且可对应于主往返运送板210的数量设置所述辅助往返运送板310。

另外，所述辅助往返运送板310优选配置为考虑到第一主运送工具510拾取及放置元件由元件安装部211构成的间距(具体地说，X轴方向间距)与由第一主运送工具510的拾取器511构成的间距相同。

然而，考虑到后述的辅助运送工具520、530拾取及放置元件，优选为尽可能将由元件安装部211构成的间距(具体地说，X轴方向间距)最小化。

为此，如图1所示，所述辅助往返运送板310优选为在与第一主运送工具510交换元件的位置中元件安装部211的X轴方向间距具有与由第一主运送工具510的拾取器511构成的间距相同的第一间距，在与辅助运送工具520、530交换元件的位置中具有比第一间距小的第二间距。

另一方面，所述辅助往返运送板310可具有用于调节元件安装部211的X轴方向间距的间距调节部。

所述间距调节部为气缸、连杆组件等可具有各种结构。

所述第一主运送工具510在主往返运送部200及辅助往返运送部300之间拾取安装在主往返运送板210的元件安装部211的完成检查的元件1之后向辅助往返运送板310上移动将元件1传递于空元件安装部311，之后直接拾取安装在元件安装部311的待检查的元件1。

在此，第一主运送工具510及辅助往返运送板310执行相对的水平移动，以装载及拾取元件1。

然后，所述第一主运送工具510向主往返运送板210上移动将待检查的元件1安装在空元件安装部211之后拾取安装在主往返运送板210的元件安装部211的完成检查的元件1。

为此，主往返运送板210及第一主运送工具510相互相对进行水平移动。

另一方面，所述第一主运送工具510可具有以上述的CCU单元120排列，即以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置的多个拾取器(未示出)。

所述多个拾取器作为拾取或者放置元件的结构，根据拾取方式可具有各种结构。

另一方面，所述第一主运送工具510以与CCU单元120的排列，即X轴及Y轴方向的间距对应的间距配置多个拾取器，或者可改变间距。

另外，如图4a至图4h所示，所述第一主运送工具510为了与主往返运送板210迅速交换元件具有与以n×2m排列的主往返运送板210的元件安装部211相同排列的拾取器511。

尤其是，若所述第一主运送工具510具有与以n×2m排列的主往返运送板210的元件安装部211相同排列的拾取器511，则能够更加迅速交换元件。

如上所述的所述第一主运送工具510如下在主往返运送板210及辅助往返运送板310之间交换元件1。

首先，如图4a所示，通过以与n×2m排列相同排列的拾取器511在以纵向跳过一列的同时拾取完成测试的元件1的状态下向辅助往返运送板310上移动。

此时，所述测试部100通过加压工具120加压安装在测试插座111上的元件1。

另外，所述辅助往返运送板310移动到纵向跳过一列的同时安装待执行测试的元件1的元件安装部311与第一主运送工具510的拾取器中未拾取元件1的位置相对应的位置。

另一方面，如图4b所示，所述第一主运送工具510从安装有待执行测试的元件1的元件安装部311拾取元件1，将完成测试的元件1放置于位于相邻的列的空元件安装部311。

然后，如图4c所示所述第一主运送工具510向上侧上升，之后如图4d所示向主往返运送板210的上侧移动。

此时，所述主往返运送板210处于完成测试的元件1纵向跳过一列的同时安装在元件安装部211的状态；第一主运送工具510为在纵向跳过一列的同时安装完成测试的元件1的元件安装部211配置未拾取元件1的拾取器511。

然后，如图4e所示，所述第一主运送工具510进行下降从安装有完成测试的元件1的元件安装部211拾取元件1，并且在位于相邻的列的空元件安装部211放置待执行测试的元件1，之后如图4f所示第一主运送工具510向上侧移动。

此时，所述辅助往返运送板310通过辅助运送工具520、530向卸载部420传递完成测试的元件1，之后从装载部410接收重新待检查的元件1。

另一方面，与所述第一主运送工具510完成元件交换的主往返运送板210向测试部100内部移动，通过图2a至图2e、图4g及图4h的过程与测试部100交换元件1。

此时，如图4a至图4h所示，为了流畅的移动，所述主往返运送板210可具有多级移动结构212。

所述多级移动结构412为了远距离移动具有多个导轨212a、212b、212c，进而可实现主往返运送板210的相对长距离移动。

所述装载部410作为配置装载有待检查的元件1的托盘20的结构，根据托盘20的装载及移动方式可具有各种结构。

然后，所述托盘20作为为了从外部供应元件1而被装载并运送的结构，根据元件的种类及相关制造厂商可具有各种结构。

所述卸载部420作为配置装载有完成检查的元件1的托盘20的结构，根据托盘20的装载及移动发方式可具有各种结构。

然后，所述托盘20作为为了能够从外部供应元件1而被装载并运送的结构，根据元件的种类及相关制造厂商可具有各种结构。

然后，根据待分类的元件1的等级数、分类基准在所述卸载部420中托盘20的配置方式及结构可具有各种结构。

另一方面，所述装载部410及卸载部420的配置及托盘移动结构为可灵活运用现有的技术等可进行各种配置，并且可配置用于临时供应、临时装载托盘20等的空托盘部(未示出)。

另外，考虑到装置UPH，如图1所示，在从前方观察时，所述装载部410及卸载部420在左侧及右侧配置成一对。

尤其是，如上所述，在从前方观察所述装载部410及卸载部420时，所述装载部410及卸载部420在左侧及右侧配置成一对的情况下，通过左侧及右侧执行供应及排出用于执行相同种类的元件1的检查的托盘，或者在左侧及右侧分别可执行供应及排出用于执行相互不同种类的元件1的检查的托盘。

然后，在所述装载部410及卸载部420的前方侧可设置用于与外部供应及排出托盘的托盘物流部600。

所述托盘物流部600设置在装载部410及卸载部420的前方侧从设置在上侧的物流线接收托盘来传递于装载部410及卸载部420，或者从装载部410及卸载部420结构托盘可向外部排出。

此时，所述托盘物流部600可设置在左侧及右侧与物流线连接的一对路径TR1、TR2。

然后，在所述元件检查装置检查一种的元件的情况下，利用一个路径TR1使托盘进出，在检查两种元件的情况下，根据种类可利用各个路径T R1、TR2使托盘进出。

此时，在对两种元件的检查中，以装置的平面配置为基准大致进行划分，左侧可执行第一种元件的检查，而右侧可执行第二种元件的检查。

在此，在根据元件的种类检查速度有所不同的情况下，当然可多样地设定测试部100的数量的检查分配。

在所述装载部410及卸载部420中的至少一个及辅助往返运送部300之间交换元件可通过一个以上的辅助运送工具520、530执行。

所述辅助运送工具520、530作为在装载部410及卸载部420中的至少一个及辅助往返运送部300之间交换元件的结构，可具有拾取元件1的多个拾取器。

所述拾取器根据元件1的拾取方式可具有各种结构，诸如8×2等可实现各种排列，可与第一主运送工具510的拾取器的数量及配置相同或者分开配置。

另外，所述拾取器可与托盘20上的元件安装槽的X轴方向及Y轴方向的间距及辅助往返运送板310上的元件安装部311的X轴方向及Y轴方向的间距相互不同，而且可改变X轴方向及Y轴方向中的至少一个方向的间距。

另一方，从外部供应托盘20及向外部排出托盘20可由自动供应并排出托盘20的托盘物流系统构成等，可具有各种结构。

以上，仅是可由本发明实现的优选实施例的一部分的相关说明，众所周知不得将本发明的范围限于上述的实施例进行解释，以上说明的本发明的技术思想及其根本的技术思想应全部包括在本发明的范围内。

Claims (1)

1.一种元件检查装置，其特征在于，包括：

一个以上的测试部(100)，包括多个测试插座(111)和加压工具(120)，所述多个测试插座(111)以n×m的排列配置，其中n、m为2以上的自然数，所述加压工具(120)设置在所述多个测试插座(111)的上侧，对应于所述各个测试插座(111)，在检查时加压于测试插座(111)通过上下移动从测试插座(111)拾取元件(1)；

一个以上的主往返运送部(200)，以装载待检查的元件(1)的状态移动到所述测试插座(111)及所述加压工具(120)之间的空间，从所述加压工具(120)接收完成检查的元件(1)，并且由所述加压工具(120)拾取待检查的元件(1)；

一个以上的辅助往返运送部(300)，移动于装载/卸载位置(P1)和元件交换位置(P2)之间，其中所述装载/卸载位置(P1)为从装载有待检查的元件(1)的托盘(20)装载元件(1)并卸载完成检查的元件(1)，在所述元件交换位置(P2)与所述主往返运送部(200)交换元件(1)；

装载部(410)，配置装载有待检查的元件(1)的托盘(20)；

卸载部(420)，配置装载有完成检查的元件(1)的托盘(20)。

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