KR101854935B1 - 핸들러 및 부품 검사 장치 - Google Patents

Abstract

개구부를 갖는 베이스와, 반송 대상물을 반송하는 제1 핸드와, 제1 핸드를 개구부의 상방에 반송하여 내리는 제1 반송부와, 반송 대상물을 반송하는 제2 핸드와, 제2 핸드를 개구부의 상방에 반송하여 내리는 제2 반송부와, 제1 반송부의 동작과 제2 반송부의 동작을 제어하는 제어부를 구비하는 핸들러이며, 제1 핸드와 제2 핸드가 개구부의 상방을 향하여 서로 근접시켜 개구부에 나란히 배치되는 상태를 갖는다.

Description

핸들러 및 부품 검사 장치{HANDLER AND PART INSPECTION APPARATUS}

본 발명은, 반송 대상물을 반송하는 핸들러 및 상기 핸들러를 구비하는 부품 검사 장치에 관한 것으로, 특히 베이스에 형성된 개구부에 반송 대상물을 반송하는 핸들러 및 상기 핸들러를 구비하는 부품 검사 장치에 관한 것이다.

종래부터, 반도체 칩 등의 전자 부품의 전기적 특성을 검사하는 부품 검사 장치가 알려져 있다. 이러한 부품 검사 장치는, 예를 들어 전자 부품이 장착되는 검사 소켓을 구비한 테스터와, 상기 테스터가 탑재되어 검사 전의 전자 부품을 테스터까지 반송하는 핸들러를 포함하여 구성되어 있다.

이러한 핸들러는, 공급 트레이에 수납된 복수의 전자 부품을 진공 흡착에 의해 보유 지지하는 핸드를 구비한 반송부를 갖고 있다. 반송부는, 전자 부품을 보유 지지한 핸드를 검사 소켓 상까지 이동시킨 뒤, 상기 핸드를 검사 소켓을 향하여 하강시켜 전자 부품을 검사 소켓에 압입한다. 이에 의해, 검사 소켓의 단자와 전자 부품의 단자가 전기적으로 접속되어, 전자 부품의 전기적 특성이 검사된다. 전자 부품의 검사가 종료되면, 반송부는, 핸드를 이동시켜 상기 핸드가 보유 지지하고 있는 검사 후의 전자 부품을 검사 소켓으로부터 이탈시킨 후, 상기 핸드를 회수 트레이까지 이동시켜 상기 핸드가 보유 지지하고 있는 전자 부품을 회수 트레이에 배출시킨다. 그리고, 반송부는, 공급 트레이에 수납된 새로운 전자 부품을 핸드에 흡착시켜, 다시 검사 소켓을 향하여 핸드를 이동시킨다.

그런데, 이러한 전자 부품의 검사를 효율적으로 행하기 위해서는, 검사 후의 전자 부품을 검사 소켓으로부터 이탈시키고 나서 다음의 전자 부품이 검사 소켓에 배치될 때까지의 시간은 짧은 편이 바람직하다. 따라서, 특허문헌 1에는, 이러한 시간을 단축하기 위해, 다음과 같은 핸들러가 개시되어 있다.

즉, 특허문헌 1에 기재된 핸들러는, 서로 독립하여 제어되는 한 쌍의 반송부를 갖고 있으며, 이들 한 쌍의 반송부에 의해 반송되는 전자 부품에 대한 검사가, 공통되는 검사 소켓에 있어서 교대로 행해진다. 한쪽의 반송부의 핸드에 보유 유지된 전자 부품의 검사가 행해지고 있는 동안, 다른 쪽의 반송부는, 검사 후의 전자 부품을 핸드로부터 배출시킴과 함께, 상기 핸드에 검사 전의 전자 부품을 새롭게 보유 지지시켜 검사 소켓의 근방에서 대기시킨다. 이러한 구성에 의하면, 한쪽의 반송부의 핸드에 보유 유지된 전자 부품이 검사 소켓으로부터 이탈된 후, 즉시, 다른 쪽의 반송부의 핸드에 보유 유지된 전자 부품이 검사 소켓에 배치되게 된다. 그로 인해, 전자 부품의 검사를 효율적으로 행하는 것이 가능하게 된다.

일본 특허 공개 제2002-148307호 공보

최근에는, 전자 부품의 검사 효율을 높이기 위해, 한번의 검사에 있어서, 검사 소켓에 끼워 넣어지는 전자 부품의 개수가 증가하고 있다. 그러나, 핸드에 의해 압입되는 전자 부품의 개수가 증가하게 되면, 핸드 그 자체의 대형화나 중량화가 진행되어, 전자 부품의 반송 속도의 저하나 전자 부품의 반송 거리의 증대가 부득이하다. 그로 인해, 상술한 핸들러에서는, 핸드를 대형화함으로써, 검사 소켓에 끼워 넣어지는 전자 부품을 증가시키는 것은 가능하기는 하지만, 핸드의 대형화에 수반하는 반송 속도의 저하나 반송 거리의 증대에 기인한 반송 효율의 저하를 억제하는 데 있어서는, 여전히 개선의 여지가 남겨진 것으로 되어 있다.

본 발명은, 상기 실정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은, 핸드가 보유 지지 가능한 반송 대상물의 수를 유지하면서, 베이스에 형성된 개구부에 배치되는 반송 대상물의 개수를 증가시킴과 함께 다수의 반송 대상물의 반송을 효율적으로 행하는 것이 가능한 핸들러 및 부품 검사 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 형태의 하나는, 개구부를 갖는 베이스와, 반송 대상물을 보유 지지하는 제1 핸드를 갖고, 상기 제1 핸드를 상기 개구부에 대치하는 위치까지 이동시킨 뒤, 상기 개구부를 향하여 이동시키는 제1 반송부와, 반송 대상물을 보유 지지하는 제2 핸드를 갖고, 상기 제2 핸드를 상기 개구부에 대치하는 위치까지 이동시킨 뒤, 상기 개구부를 향하여 이동시키는 제2 반송부와, 상기 제1 반송부의 동작과 상기 제2 반송부의 동작을 제어하는 제어부를 구비하는 핸들러이며, 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드가, 서로 이격한 위치부터 서로 상이한 방향에서 상기 개구부에 대치하는 위치까지 이동한 뒤, 상기 개구부를 향하여 이동함으로써, 당해 제1 핸드와 당해 제2 핸드가 인접하여 상기 개구부에 배치되는 상태를 갖는다.

또한, 본 발명의 형태의 하나는, 전자 부품을 검사하는 테스터와, 상기 테스터가 탑재되고 상기 테스터의 검사 소켓에 대하여 상기 전자 부품을 압입하는 핸들러를 구비하는 부품 검사 장치이며, 상기 핸들러는, 상기 검사 소켓을 노출시키는 개구부를 갖는 베이스와, 반송 대상물을 보유 지지하는 제1 핸드를 갖고, 상기 제1 핸드를 상기 개구부에 대치하는 위치까지 이동시킨 뒤, 상기 개구부를 향하여 이동시키는 제1 반송부와, 반송 대상물을 보유 지지하는 제2 핸드를 갖고, 상기 제2 핸드를 상기 개구부에 대치하는 위치까지 이동시킨 뒤, 상기 개구부를 향하여 이동시키는 제2 반송부와, 상기 제1 반송부의 동작과 상기 제2 반송부의 동작을 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드가, 서로 이격한 위치부터 서로 상이한 방향에서 상기 개구부에 대치하는 위치까지 이동한 뒤, 상기 개구부를 향하여 이동함으로써, 당해 제1 핸드와 당해 제2 핸드가 인접하여 상기 개구부에 배치되는 상태를 갖는다.

본 발명의 형태의 하나에 의하면, 제1 핸드와 제2 핸드가 개구부에 대치하는 위치를 향하여 서로 근접하도록 이동한 뒤, 개구부를 향하여 이동함으로써, 개구부에 나란히 배치되는 상태를 갖는다. 그로 인해, 제1 핸드에 의해서만 개구부에 반송 대상물이 반송되는 형태나 제2 핸드에 의해서만 개구부에 반송 대상물이 반송되는 형태에 비하여, 상기 핸드가 보유 지지 가능한 반송 대상물의 개수를 유지한 후, 개구부에 반송되는 반송 대상물의 수를 증가시킬 수 있다. 즉, 핸드를 대형화시키지 않고, 개구부에 반송되는 반송 대상물의 수를 증가시킬 수 있다. 그러므로, 핸드의 대형화에 수반하는 반송 속도의 저하나 반송 거리의 증대가 억제되는 점에서, 반송처인 개구부에 반송되는 반송 대상물의 개수를 증가시키면서, 다수의 반송 대상물의 반송을 효율적으로 행할 수 있다.

본 발명의 형태의 하나는, 상기 제1 반송부는, 상기 개구부에 있어서 상기 제1 핸드가 배치되는 제1 위치와 상기 제1 핸드에 의한 반송 대상물의 보유 지지 및 배출이 행하여지는 제1 전달 위치 사이에서 상기 제1 핸드를 이동시키고, 상기 제2 반송부는, 상기 개구부에 있어서 상기 제2 핸드가 배치되는 제2 위치와 상기 제2 핸드에 의한 반송 대상물의 보유 지지 및 배출이 행하여지는 제2 전달 위치 사이에서 상기 제2 핸드를 이동시키는 것이며, 상기 제1 위치에 배치된 상기 제1 핸드 및 상기 제2 위치에 배치된 상기 제2 핸드가, 상기 개구부로부터 이탈하도록 이동한 뒤, 각각의 전달 위치를 향하여 서로 다른 방향으로 이동하는 상태를 갖는다.

본 발명의 형태의 하나에 의하면, 제1 핸드와 제2 핸드가 개구부에 대치하는 위치로부터 서로 멀어지도록 이동하기 때문에, 후속하는 반송 대상물을 제1 핸드가 보유 지지하면서 이동하는 타이밍과, 후속하는 반송 대상물을 제2 핸드가 보유 지지하면서 이동하는 타이밍이 겹치기 쉬워진다. 그 결과, 제1 반송부에 의해 개구부에 이동되는 제1 핸드와 제2 반송부에 의해 개구부에 이동되는 제2 핸드가, 다시 개구부에 의해 서로 인접하기 쉬워진다. 그러므로, 상술한 효과가 보다 현저한 것으로 된다.

본 발명의 형태의 하나는, 상기 제1 핸드가 보유 지지하는 상기 반송 대상물을 상기 제1 핸드에 공급하는 제1 공급 트레이와 상기 제1 핸드가 배출하는 상기 반송 대상물을 상기 제1 핸드로부터 회수하는 제1 회수 트레이가 각각 별도로 설치된 제1 셔틀과, 상기 제2 핸드가 보유 지지하는 상기 반송 대상물을 상기 제2 핸드에 공급하는 제2 공급 트레이와 상기 제2 핸드가 보유 지지하는 상기 반송 대상물을 상기 제2 핸드로부터 회수하는 제2 회수 트레이가 각각 별도로 설치된 제2 셔틀을 구비하고, 상기 제어부는, 상기 제1 셔틀의 동작과 상기 제2 셔틀의 동작을 제어하여, 상기 제1 전달 위치에 배치되는 트레이를 상기 제1 공급 트레이와 상기 제1 회수 트레이로 교대로 바꿈과 함께, 상기 제2 전달 위치에 배치되는 트레이를 상기 제2 공급 트레이와 상기 제2 회수 트레이로 교대로 바꾼다.

여기서, 공급 트레이와 회수 트레이가 공통되는 트레이인 경우, 핸드가 상기 핸드가 보유 지지하고 있던 반송 대상물을 배출하고 나서 다음의 반송 대상물을 보유 지지할 때까지 사이에는, 상기 핸드로부터 배출된 반송 대상물을 트레이로부터 회수하는 것, 상기 트레이에 다음의 반송 대상물을 공급하는 것, 이들이 순서대로 실행된다. 즉, 다음의 반송 대상물이 트레이에 공급될 때까지 핸드는 대기해야 하며, 이에 의해 반송 대상물의 반송 효율이 현저하게 저하되어 버릴 우려가 있다.

이러한 점에서, 상술한 형태이면, 각 전달 위치에 배치되는 트레이가 공급 트레이와 회수 트레이로 교대로 행할 수 있다. 그로 인해, 전달 위치에서 공급 트레이로부터 반송 대상물의 공급을 받은 핸드가 다시 전달 위치로 복귀되어 올 때까지의 기간에, 전달 위치에 배치되는 트레이를 공급 트레이로부터 회수 트레이로 교체하는 것이 가능하다. 그리고, 전달 위치에 회수 트레이가 배치되어 있는 기간에는, 공급 트레이에 대하여 다음의 반송 대상물을 공급하는 것이 가능하다.

또한, 전달 위치에 배치된 회수 트레이에 대하여 핸드로부터 반송 대상물이 배출되면, 핸드에 새로운 반송 대상물을 공급하기 위해, 전달 위치에 배치되는 트레이가 공급 트레이로 교체된다. 공급 트레이가 전달 위치에 배치되어 있는 기간에는, 회수 트레이에 배출된 반송 대상물을 회수하는 것이 가능하다.

즉, 상술한 형태의 하나에서는, 공급 트레이에의 반송 대상물의 공급과, 회수 트레이로부터의 반송 대상물의 회수가, 각 핸드가 이동하고 있는 사이에 행하는 것이 가능하다. 그 결과, 공급 트레이와 회수 트레이가 공통되는 트레이인 경우에 비하여, 반송 대상물의 보유 지지 및 배출 시에 핸드의 대기 시간을 짧게 하는 것이 가능하다. 그러므로, 핸드에 의한 반송 대상물의 공급 및 회수가 원활하게 행하여지게 된다.

본 발명의 형태의 하나는, 상기 제1 전달 위치에 상기 제1 공급 트레이가 배치되고, 또한 상기 제2 전달 위치에 상기 제2 공급 트레이가 배치되는 상태를 갖는다.

본 발명의 형태의 하나에 의하면, 제1 전달 위치에 제1 공급 트레이가 배치되고, 또한 제2 전달 위치에 제2 공급 트레이가 배치되기 때문에, 제1 핸드에 대하여 반송 대상물이 공급될 때에, 제2 핸드에 대하여 반송 대상물을 공급하는 것이 가능하게 된다. 그로 인해, 제1 핸드와 제2 핸드가 개구부에 대치하는 위치를 향하여 서로 근접하기 전에, 한쪽의 핸드에 대하여 반송 대상물의 공급이 완료되는 것을 다른 쪽의 핸드가 대기하는 기간을 짧게 하는 것이 가능하게 된다.

본 발명의 형태의 하나는, 상기 제1 전달 위치에 상기 제1 회수 트레이가 배치되고, 또한 상기 제2 전달 위치에 상기 제2 회수 트레이가 배치되는 상태를 갖는다.

본 발명의 형태의 하나에 의하면, 제1 전달 위치에 제1 회수 트레이가 배치되고, 또한 제2 전달 위치에 제2 회수 트레이가 배치되기 때문에, 제1 핸드가 보유 지지하고 있던 반송 대상물이 회수될 때에, 제2 핸드가 보유 지지하고 있던 반송 대상물을 회수하는 것이 가능하게 된다. 그로 인해, 제1 핸드와 제2 핸드가 개구부에 대치하는 위치로부터 서로 멀어진 후에, 한쪽의 핸드에 대한 반송 대상물의 회수가 완료되는 것을 다른 쪽의 핸드가 대기하는 기간을 짧게 하는 것이 가능하게 된다.

본 발명의 형태의 하나는, 상기 제어부가, 상기 제1 전달 위치로의 상기 제1 공급 트레이의 배치와 상기 제2 전달 위치로의 상기 제2 공급 트레이의 배치가 동일한 타이밍에 행해지도록 상기 제1 셔틀의 동작과 상기 제2 셔틀의 동작을 제어함과 함께, 상기 제1 전달 위치로의 상기 제1 회수 트레이의 배치와 상기 제2 전달 위치로의 상기 제2 공급 트레이의 배치가 동일한 타이밍에 행해지도록 상기 제1 셔틀의 동작과 상기 제2 셔틀의 동작을 제어한다.

본 발명의 형태의 하나에 의하면, 제1 셔틀과 제2 셔틀이 동일한 동작을 하는 것이기 때문에, 한쪽의 핸드에 대하여 반송 대상물의 공급이 완료되는 것을 다른 쪽의 핸드가 대기하는 기간을, 더 효과적으로 짧게 하는 것이 가능하게 된다. 또한, 한쪽의 핸드에 대한 반송 대상물의 회수가 완료되는 것을 다른 쪽의 핸드가 대기하는 기간을, 더 효과적으로 짧게 하는 것이 가능하게도 된다.

본 발명의 형태의 하나는, 상기 제어부가, 상기 제1 핸드에 의한 상기 반송 대상물의 보유 지지와 상기 제2 핸드에 의한 상기 반송 대상물의 보유 지지가 동일한 타이밍에 행해지도록 상기 제1 반송부의 동작과 상기 제2 반송부의 동작을 제어함과 함께, 상기 제1 핸드에 의한 상기 반송 대상물의 배출과 상기 제2 핸드에 의한 상기 반송 대상물의 보유 지지가 동일한 타이밍에 행해지도록 상기 제1 반송부의 동작과 상기 제2 반송부의 동작을 제어한다.

본 발명의 형태의 하나에 의하면, 제1 반송부와 제2 반송부가 동일한 동작을 하는 것이기 때문에, 한쪽의 핸드에 대하여 반송 대상물의 공급이 완료되는 것을 다른 쪽의 핸드가 대기하는 기간을, 더 효과적으로 짧게 하는 것이 가능하게 된다. 또한, 한쪽의 핸드에 대한 반송 대상물의 회수가 완료되는 것을 다른 쪽의 핸드가 대기하는 기간을, 더 효과적으로 짧게 하는 것이 가능하게도 된다.

도 1은 본 발명에 있어서의 일 실시 형태의 핸들러가 탑재된 부품 검사 장치의 전체 구성을 도시하는 구성도.
도 2는 상기 실시 형태의 핸들러의 단부면 구조를 모식적으로 도시하는 단면도.
도 3은 상기 실시 형태의 핸들러의 전기적 구성을 도시하는 블록도.
도 4는 상기 실시 형태의 핸들러에 있어서의 제1 작동 형태를 나타내는 타임챠트.
도 5의 (a) 내지 (d)는 제1 작동 형태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 6의 (a) 내지 (d)는 제1 작동 형태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 7은 상기 실시 형태의 핸들러에 있어서의 제2 작동 형태를 나타내는 타임챠트.
도 8의 (a) 내지 (d)는 제2 작동 형태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 9의 (a), (b)는 제2 작동 형태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 10은 상기 실시 형태의 핸들러에 있어서의 제3 작동 형태를 나타내는 타임챠트.
도 11의 (a) 내지 (d)는 제3 작동 형태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 12의 (a) 내지 (c)는 제3 작동 형태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.
도 13은 상기 실시 형태의 핸들러에 있어서의 제4 작동 형태를 나타내는 타임챠트.
도 14의 (a) 내지 (d)는 제4 작동 형태에 있어서의 반송 유닛의 배치를 도시하는 단면도.

이하, 본 발명의 핸들러를 구체화한 일 실시 형태에 대해서, 도 1 내지 도 14를 참조하여 설명한다. 우선, 핸들러가 사용된 부품 검사 장치의 구성에 대하여 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.

(부품 검사 장치의 구성)

도 1에 도시된 바와 같이, 핸들러(10)의 베이스(11)에는, 각종 로봇의 탑재되는 탑재면(11a)이 상면으로서 설치되고, 상기 탑재면(11a)의 대부분이, 커버 부재(12)에 의해 덮여 있다. 이들 커버 부재(12)와 탑재면(11a)에 의해 둘러싸인 공간인 반송 공간은, 부품 검사 장치의 외부로부터 공급되는 드라이 에어에 의해 습도와 온도가 소정의 값으로 유지되고 있다.

베이스(11)의 탑재면(11a)에는, 하나의 방향으로 연장되는 4개의 컨베이어가, 상기 컨베이어의 반송 방향과 직교하는 방향으로 배열되어 있다. 4개의 컨베이어 중, 컨베이어의 배열 방향인 X 방향의 일방측에는, 1개의 공급용 컨베이어(C1)가 부설되고, X 방향의 타방측에는, 3개의 회수용 컨베이어(C2, C3, C4)가 부설되어 있다. 그리고, 공급용 컨베이어(C1)에서는, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)가, 커버 부재(12)의 외측으로부터 내측을 향하여 운반된다. 또한, 회수용 컨베이어(C2, C3, C4)에서는, 회수용 컨베이어 트레이(C2a, C3a, C4a)가, 커버 부재(12)의 내측으로부터 외측을 향하여 운반된다. 또한, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)에는, 반송 대상물인 복수의 전자 부품(T)이 수용되고, 또한, 회수용 컨베이어 트레이(C2a, C3a, C4a)에는, 검사 후의 복수의 전자 부품(T)이 수용되어 있다. 또한, 본 실시 형태의 공급용 컨베이어 트레이(C1a) 및 회수용 컨베이어 트레이(C2a, C3a, C4a)에는, X 방향 및 Y 방향을 따라 복수의 전자 부품(T)이 매트릭스 형상으로 수용된다.

상기 베이스(11)의 탑재면(11a) 상에는, X 방향에 있어서 서로 대향하는 공급 로봇(20)과 회수 로봇(40)이 탑재되어 있다. 공급 로봇(20)은, 공급용 컨베이어(C1)의 Y 방향으로 배치되고, 또한, 회수 로봇(40)은, 회수용 컨베이어(C2, C3, C4)의 Y 방향으로 배치되어 있다.

공급 로봇(20)은, Y 방향으로 연장되는 고정축인 공급측 고정 가이드(21)와, 공급측 고정 가이드(21)에 연결된 가동축인 공급측 가동 가이드(22)와, 공급측 가동 가이드(22)에 연결되고, 또한 공급측 가동 가이드(22)를 따라 이동하는 공급용 핸드 유닛(23)을 갖고 있다.

공급측 가동 가이드(22)는, 공급측 고정 가이드(21)로부터 회수 로봇(40)측으로 연장하는 가동축이며, 공급측 고정 가이드(21)에 대하여, Y 방향으로 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급측 가동 가이드(22)의 탑재면(11a)측에 배치된 엔드 이펙터이며, 공급측 가동 가이드(22)에 대하여, X 방향으로 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급측 가동 가이드(22)로부터 탑재면(11a)을 향한 하강과, 탑재면(11a)측으로부터 공급측 가동 가이드(22)를 향한 상승이 가능하도록, 공급측 가동 가이드(22)에 연결되어 있다.

그리고, 공급측 가동 가이드(22)가, 공급측 고정 가이드(21)를 따라 공급용 컨베이어(C1)측으로 이동함과 함께, 공급용 핸드 유닛(23)이, 공급측 가동 가이드(22)를 따라 공급용 컨베이어 트레이(C1a)의 상방으로까지 이동한다. 이에 의해, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)에 적재된 전자 부품(T)이, 공급용 핸드 유닛(23)의 흡착 패드에 흡착되고, 그 후, 공급용 컨베이어 트레이로부터 들어 올려진다. 또한, 이 상태로부터, 공급측 가동 가이드(22)가, 공급측 고정 가이드(21)를 따라 공급용 컨베이어(C1) 상으로부터 이격됨으로써, 공급용 핸드 유닛(23)에 흡착된 전자 부품(T)이, 상술한 반송 공간 내의 소정의 위치에 공급된다. 또한, 본 실시 형태의 공급용 핸드 유닛(23)은, 복수의 전자 부품을 동시에 흡착 보유 지지한다.

회수 로봇(40)은, 공급 로봇(20)과 동일하게, Y 방향으로 연장되는 고정축인 회수측 고정 가이드(41)와, 회수측 고정 가이드(41)에 연결된 가동축인 회수측 가동 가이드(42)와, 회수측 가동 가이드(42)에 연결되고, 또한 회수측 가동 가이드(42)를 따라 X 방향으로 이동하는 회수용 핸드 유닛(43)을 갖고 있다.

회수측 가동 가이드(42)는, 회수측 고정 가이드(41)로부터 공급 로봇(20)측으로 연장하는 가동축이며, 회수측 고정 가이드(41)에 대하여, Y 방향으로 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수측 가동 가이드(42)의 탑재면(11a)측에 배치된 엔드 이펙터이며, 회수측 가동 가이드(42)에 대하여, X 방향으로 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수측 가동 가이드(42)로부터 탑재면(11a)을 향한 하강과 탑재면(11a)측으로부터 회수측 가동 가이드(42)를 향한 상승이 가능하도록, 회수측 가동 가이드(42)에 연결되어 있다.

그리고, 회수측 가동 가이드(42)가, 회수측 고정 가이드(41)를 따라 회수용 컨베이어(C2, C3, C4)측으로 이동함과 함께, 회수용 핸드 유닛(43)이, 회수측 가동 가이드(42)를 따라, 회수용 컨베이어 트레이(C2a, C3a, C4a)의 상방으로까지 이동한다. 이에 의해, 회수용 핸드 유닛(43)의 흡착 패드에 흡착된 전자 부품(T)이, 회수용 컨베이어 트레이(C2a, C3a, C4a)에 적재된다. 또한, 본 실시 형태의 회수용 핸드 유닛(43)은, 공급용 핸드 유닛(23)과 마찬가지로, 복수의 전자 부품을 동시에 흡착 보유 지지한다.

또한, 커버 부재(12)의 내측면에는, Y 방향으로 연장되는 반송 가이드(31)가, 상기 내측면에 있어서의 X 방향의 대략 중앙에 고정되어 있다. 이 반송 가이드(31)에 있어서의 양단부의 하방에는, X 방향으로 연장되는 제1 셔틀(32)과, 동일하게 X 방향으로 연장되는 제2 셔틀(35)이 배치되어 있다.

제1 셔틀(32)은, 탑재면(11a)에 고정 설치된 X 방향으로 연장되는 제1 셔틀 가이드(32c)에 연결되어 X 방향을 따라 진행 이동 및 복귀 이동한다. 제1 셔틀(32)에 있어서의 상기 공급 로봇(20)측에는, 제1 공급 트레이로서의 공급용 셔틀 트레이(32a)가 고정되고, 또한, 제1 셔틀(32)에 있어서의 상기 회수 로봇(40)측에는, 제1 회수 트레이로서의 회수용 셔틀 트레이(32b)가 고정되어 있다. 공급용 셔틀 트레이(32a)에는, 처리 대상인 검사 전의 복수의 전자 부품(T)이 수용되고, 또한, 회수용 셔틀 트레이(32b)에는, 검사 후의 복수의 전자 부품(T)이 수용된다.

그리고, 제1 셔틀(32)은, 공급용 셔틀 트레이(32a)가 공급측 가동 가이드(22) 하에 배치되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(32b)가 반송 가이드(31) 하에 배치되는 위치인 공급 위치에 배치된다. 또한, 제1 셔틀(32)은, 공급용 셔틀 트레이(32a)가 반송 가이드(31) 하에 배치되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(32b)가 회수측 가동 가이드(42) 하에 배치되는 위치인 회수 위치에도 배치된다. 그리고, 제1 셔틀(32)은, 공급 위치와 회수 위치 사이를 X 방향을 따라 진행 이동 및 복귀 이동한다. 즉, 제1 셔틀(32)은, 공급용 핸드 유닛(23)에 의해 공급용 셔틀 트레이(32a)에 전자 부품(T)의 공급이 가능한 공급 위치와, 회수용 핸드 유닛(43)에 의해 회수용 셔틀 트레이(32b)로부터 전자 부품의 회수가 가능한 회수 위치 사이를 왕복한다.

제2 셔틀(35)은, 이것도 또한, 탑재면(11a)에 고정 설치된 X 방향으로 연장되는 제2 셔틀 가이드(35c)에 연결되어 X 방향을 따라 진행 이동 및 복귀 이동한다. 제2 셔틀(35)에 있어서의 상기 공급 로봇(20)측에는, 제2 공급 트레이로서의 공급용 셔틀 트레이(35a)가 고정되고, 또한, 제2 셔틀(35)에 있어서의 상기 회수 로봇(40)측에는, 제2 회수 트레이로서의 회수용 셔틀 트레이(35b)가 고정되어 있다. 공급용 셔틀 트레이(35a)에는, 반송 대상인 검사 전의 복수의 전자 부품(T)이 수용되고, 또한, 회수용 셔틀 트레이(35b)에는, 검사 후의 복수의 전자 부품(T)이 수용된다.

그리고, 제2 셔틀(35)은, 공급용 셔틀 트레이(35a)가 공급측 가동 가이드(22) 하에 배치되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(35b)가 반송 가이드(31) 하에 배치되는 위치인 공급 위치에 배치된다. 또한, 제2 셔틀(35)은, 공급용 셔틀 트레이(35a)가 반송 가이드(31) 하에 배치되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(35b)가 회수측 가동 가이드(42) 하에 배치되는 위치인 회수 위치에도 배치된다. 그리고, 제2 셔틀(35)은, 공급 위치와 회수 위치 사이를 X 방향을 따라 진행 이동 및 복귀 이동한다. 즉, 제2 셔틀(35)은, 공급용 핸드 유닛(23)에 의해 공급용 셔틀 트레이(35a)에 전자 부품(T)의 공급이 가능한 공급 위치와, 회수용 핸드 유닛(43)에 의해 회수용 셔틀 트레이(35b)로부터 전자 부품(T)의 회수가 가능한 회수 위치 사이를 왕복한다.

또한, 본 실시 형태의 공급용 셔틀 트레이(32a, 35a) 및 회수용 셔틀 트레이(32b, 35b)에는, X 방향 및 Y 방향으로 복수의 전자 부품(T)이 매트릭스 형상으로 수용된다. 즉, 공급용 셔틀 트레이(32a, 35a)는, 공급용 핸드 유닛(23)에 의한 전자 부품(T)의 공급을 2회 받음으로써 전자 부품(T)으로 만재된다. 또한 회수용 셔틀 트레이(32b, 35b)는, 회수용 핸드 유닛(43)에 의한 전자 부품(T)의 회수를 2회 받음으로써 모든 전자 부품(T)이 회수된다.

또한, 탑재면(11a) 중, 반송 공간의 대략 중앙에는, 탑재면(11a)을 관통하는 직사각 형상의 개구부(45)가 형성되어 있다. 이 개구부(45)에는, 핸들러(10)와는 다른 장치인 테스터의 테스트 헤드(33)가 설치되어 있다. 테스트 헤드(33)는, 전자 부품(T)이 끼워 넣어지는 소켓이며, 상기 전자 부품(T)을 검사하기 위한 검사 회로에 전기적으로 접속되어 있다.

테스트 헤드(33)의 상면에는, 복수의 전자 부품(T)을 동시에 수용하는 것이 가능한 검사용 포켓(33a)이 오목 형성되고, 또한 검사용 포켓(33a)의 저면에는, 전자 부품(T)의 수형 단자와 끼워 맞춤 가능한 복수의 암형 단자가 오목 형성되어 있다. 그리고, 전자 부품(T)이 갖는 수형 단자가 검사용 포켓(33a)의 암형 단자에 끼워 넣어짐으로써, 전자 부품(T)의 전기적 특성이 테스터에 의해 검사 가능해진다. 테스터는, 핸들러로부터 검사 개시를 나타내는 전기적인 신호를 받아 전자 부품(T)의 검사를 개시하여, 그 검사 결과를 핸들러(10)에 출력한다.

또한, 상기 반송 가이드(31)에는, 제1 반송 유닛(34)과 제2 반송 유닛(36)이 Y 방향으로 나란히 연결되어 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 제1 반송 유닛(34)을 구성하는 수평 이동 아암(51)은, 반송 가이드(31)를 따라 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 수평 이동 아암(51)은, 내장된 반송 모터(MA)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 반송 가이드(31)를 따라 진행 이동 혹은 복귀 이동한다. 수평 이동 아암(51)의 하단부에는, 수평 이동 아암(51)에 대하여 상승 및 하강 가능한 수직 이동 아암(52)이 연결되어 있다. 수직 이동 아암(52)은, 수평 이동 아암(51)에 내장된 가압 모터(MB)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 수평 이동 아암(51)에 대하여 상승 혹은 하강한다.

또한, 수직 이동 아암(52)의 하단부에는, 예를 들어 진공 흡착에 의해 전자 부품(T)을 흡착하는 것이 가능한 엔드 이펙터인 복수의 흡착부(54)를 갖는 제1 핸드(53)가 연결되어 있다. 흡착부(54)는, 예를 들어 노즐, 상기 노즐에 접속된 흡인 펌프, 상기 노즐에 압축 공기를 공급하는 누설 밸브 등으로 구성되어 있다. 또한, 이들 반송 가이드(31), 수평 이동 아암(51), 반송 모터(MA), 수직 이동 아암(52), 가압 모터(MB) 및 제1 핸드(53)를 포함하여 제1 반송부가 구성되어 있다.

즉, 제1 반송 유닛(34)은, 제1 핸드(53)가 제1 셔틀(32)과 서로 대향하는 상태와 제1 핸드(53)가 개구부(45)와 서로 대향하는 상태를 갖는다. 또한, 제1 반송 유닛(34)은, 반송 가이드(31)와 탑재면(11a) 사이에서 Z 방향을 따라 제1 핸드(53)를 상승 및 하강시킨다.

그리고, 제1 반송 유닛(34)은, 제1 셔틀(32)의 공급용 셔틀 트레이(32a)에 수용된 검사 전의 전자 부품(T)을 제1 핸드(53)로 보유 지지하여, 반송원인 제1 셔틀(32)의 상방부터 테스트 헤드(33)의 상방까지 전자 부품(T)을 반송한다. 또한, 제1 반송 유닛(34)은, 테스트 헤드(33)에 있는 검사 후의 전자 부품(T)을 제1 핸드(53)로 보유 지지하여, 반송원인 제1 셔틀(32)의 상방으로 제1 핸드(53)를 복귀시킨다. 그리고, 제1 반송 유닛(34)은, 제1 핸드(53)가 보유 지지한 전자 부품(T)을 제1 셔틀(32)의 회수용 셔틀 트레이(32b)까지 반송한다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제1 핸드(53)가 이동하는 범위 중, 제1 핸드(53)가 제1 검사 위치에 배치되는 상태에서, 테스트 헤드(33)에 전자 부품(T)이 끼워 넣어진다. 또한, 제1 핸드(53)가 이동하는 범위 중, 제1 핸드(53)가 제1 전달 위치에 배치되는 상태에서, 제1 셔틀(32)에 있어서의 어느 한쪽의 트레이에 의해 전자 부품(T)의 전달이 행해진다.

도 2에 도시된 바와 같이, 제2 반송 유닛(36)을 구성하는 수평 이동 아암(56)은, 반송 가이드(31)를 따라 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 수평 이동 아암(56)은, 내장된 반송 모터(MA)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 반송 가이드(31)를 따라 진행 이동 혹은 복귀 이동한다. 수평 이동 아암(56)의 하단부에는, 수평 이동 아암(56)에 대하여 상승 및 하강 가능한 수직 이동 아암(57)이 연결되어 있다. 수직 이동 아암(57)은, 수평 이동 아암(51)에 내장된 가압 모터(MB)가 정회전 혹은 역회전됨으로써, 수평 이동 아암(51)에 대하여 상승 혹은 하강한다.

또한, 수직 이동 아암(57)의 하단부에는, 예를 들어 진공 흡착에 의해 전자 부품(T)을 흡착하는 것이 가능한 엔드 이펙터인 복수의 흡착부(59)를 갖는 제2 핸드(58)가 연결되어 있다. 흡착부(59)는, 예를 들어 흡착용의 노즐과, 상기 노즐에 접속된 흡인 펌프, 상기 노즐에 압축 공기를 공급하는 누설 밸브 등으로 구성되어 있다. 또한, 이들 반송 가이드(31), 수평 이동 아암(56), 반송 모터(MA), 수직 이동 아암(57), 가압 모터(MB) 및 제2 핸드(58)를 포함하여 제2 반송부가 구성되어 있다.

즉, 제2 반송 유닛(36)은, 제2 핸드(58)가 제2 셔틀(35)과 서로 대향하는 상태와 제2 핸드(58)가 개구부(45)와 서로 대향하는 상태를 갖는다. 또한, 제2 반송 유닛(36)은, 반송 가이드(31)와 탑재면(11a) 사이에서 Z 방향을 따라 제2 핸드(58)를 상승 및 하강시킨다.

그리고, 제2 반송 유닛(36)은, 제2 셔틀(35)의 공급용 셔틀 트레이(35a)에 수용된 검사 전의 전자 부품(T)을 제2 핸드(58)로 보유 지지하여, 반송원인 제2 셔틀(35)의 상방부터 테스트 헤드(33)의 상방까지 전자 부품(T)을 반송한다. 또한, 제2 반송 유닛(36)은, 테스트 헤드(33)에 있는 검사 후의 전자 부품(T)을 제2 핸드(58)로 보유 지지하여, 반송원인 제2 셔틀(35)의 상방으로 제2 핸드(58)를 복귀시킨다. 그리고, 제2 반송 유닛(36)은, 제2 핸드(58)가 보유 지지한 전자 부품(T)을 제2 셔틀(35)의 회수용 셔틀 트레이(35b)까지 반송한다.

또한, 본 실시 형태에서는, 제2 핸드(58)가 이동하는 범위 중, 제2 핸드(58)가 제2 검사 위치에 배치되는 상태에서, 테스트 헤드(33)에 전자 부품(T)이 끼워 넣어진다. 또한, 제2 핸드(58)가 이동하는 범위 중, 제2 핸드(58)가 제2 전달 위치에 배치되는 상태에서, 제2 셔틀(35)에 있어서의 어느 한쪽의 트레이에 의해 전자 부품(T)의 전달이 행해진다.

또한, 핸들러(10)의 개구부(45)는, 제1 핸드(53)와 제2 핸드(58)가 Y 방향으로 배열하여 삽입되는 것이 가능한 크기로 형성되어 있다. 즉, 개구부(45)는, 제1 핸드(53)가 보유 지지하고 있는 전자 부품(T)과 제2 핸드(58)가 보유 지지하고 있는 전자 부품(T)이 Y 방향으로 나란히 배치되고, 이들 전자 부품(T)이 테스트 헤드(33)에 장착 가능하게 되는 크기로 형성되어 있다.

(핸들러(10)의 전기적 구성)

상기 부품 검사 장치의 전기적 구성에 대하여 핸들러(10)의 전기적 구성을 중심으로 도 3을 참조하여 설명한다. 상기 핸들러(10)에 구비된 제어부를 구성하는 제어 장치(60)는, 중앙 처리 장치(CPU), 불휘발성 메모리(ROM) 및 휘발성 메모리(RAM)를 갖는 마이크로컴퓨터를 중심으로 구성되어 있다. 제어 장치(60)는, 상기 ROM 및 RAM에 저장된 각종 데이터 및 프로그램에 기초하여, 핸들러(10)의 동작에 관계되는 각종 제어를 행한다.

제어 장치(60)에는, 컨베이어 모터(MC)를 회전 구동시키는 컨베이어 구동부(61)가 전기적으로 접속되어 있다. 컨베이어 구동부(61)에는, 컨베이어 모터(MC)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMC)가 접속되어 있다. 컨베이어 구동부(61)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMC)로부터 입력된 컨베이어 모터(MC)의 회전 위치에 기초하여, 컨베이어 모터(MC)의 구동 전류를 생성함과 함께, 상기 구동 전류를 컨베이어 모터(MC)에 출력한다. 컨베이어 모터(MC)는, 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 컨베이어(C1 내지 C4)를 구동한다. 또한, 상기 컨베이어 구동부(61) 및 컨베이어 모터(MC)는, 컨베이어(C1 내지 C4)마다 설치되고, 또한, 인코더(EMC)는 각 컨베이어 모터(MC)에 대하여 설치되어 있다. 즉, 제어 장치(60)는, 각 컨베이어(C1 내지 C4)의 동작을 서로 독립시킨 형태로 제어한다.

또한, 제어 장치(60)에는, X축 모터(MX)를 회전 구동시키는 X축 가이드 구동부(62)가 전기적으로 접속되어 있다. X축 가이드 구동부(62)에는, X축 모터(MX)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMX)가 접속되어 있다. X축 가이드 구동부(62)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMX)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, X축 모터(MX)의 구동 전류를 생성함과 함께, 상기 구동 전류를 X축 모터(MX)에 출력한다. X축 모터(MX)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 핸드 유닛(23, 43)을 가동 가이드(22, 42)를 따라 진행 이동 및 복귀 이동시킨다. 또한, 상기 X축 가이드 구동부(62) 및 X축 모터(MX)는, 공급용 핸드 유닛(23) 및 회수용 핸드 유닛(43) 각각에 대하여 설치되고, 또한, 인코더(EMX)는, 각 X축 모터(MX)에 대하여 설치되어 있다.

제어 장치(60)에는, Y축 모터(MY)를 회전 구동시키는 Y축 가이드 구동부(63)가 접속되어 있다. Y축 가이드 구동부(63)에는, Y축 모터(MY)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMY)가 접속되어 있다. Y축 가이드 구동부(63)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMY)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, Y축 모터(MY)의 구동 전류를 생성함과 함께, 상기 구동 전류를 Y축 모터(MY)에 출력한다. Y축 모터(MY)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 가동 가이드(22, 42)를 고정 가이드(21, 41)를 따라 진행 이동 및 복귀 이동시킨다. 또한, 상기 Y축 가이드 구동부(63) 및 Y축 모터(MY)는, 공급측 가동 가이드(22) 및 회수측 가동 가이드(42) 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더(EMY)는, 각 Y축 모터(MY)에 대하여 설치되어 있다.

제어 장치(60)에는, 핸드 모터 구동부(64a)와 밸브 구동부(64b)를 갖는 핸드 유닛 구동부(64)가 접속되어 있다. 이 중, 핸드 모터 구동부(64a)에는, 핸드 모터(MZ)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMZ)가 접속되어 있다. 핸드 모터 구동부(64a)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMZ)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 핸드 모터(MZ)의 구동 전류를 생성함과 함께, 상기 구동 전류를 핸드 모터(MZ)에 출력한다. 핸드 모터(MZ)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 핸드 유닛(23, 43)을 상승 및 하강시킨다.

밸브 구동부(64b)에는, 핸드 유닛(23, 43)의 선단에 설치된 흡인 밸브(SV1)와 누설 밸브(DV1)가 접속되어 있다. 밸브 구동부(64b)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 흡인 밸브(SV1)의 개폐 명령에 기초하여, 흡인 밸브(SV1)의 구동 신호를 생성함과 함께, 상기 구동 신호를 흡인 밸브(SV1)에 출력한다. 흡인 밸브(SV1)는, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐 동작을 행함으로써, 소정의 흡인력에 의해 상기 전자 부품(T)을 흡인한다. 또한, 밸브 구동부(64b)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 누설 밸브(DV1)의 개폐 명령에 기초하여, 누설 밸브(DV1)의 구동 신호를 생성함과 함께, 상기 구동 신호를 누설 밸브(DV1)에 출력한다. 누설 밸브(DV1)는, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐 동작을 행함으로써, 흡착 패드로부터 압축 공기를 보낸다. 또한, 상기 핸드 유닛 구동부(64), 핸드 모터(MZ), 흡인 밸브(SV1) 및 누설 밸브(DV1)는, 공급용 핸드 유닛(23) 및 회수용 핸드 유닛(43) 각각에 대하여 설치되고, 또한, 인코더(EMZ)는, 핸드 모터(MZ) 각각에 대하여 설치되어 있다. 즉, 제어 장치(60)는, 공급용 핸드 유닛(23)의 동작과 회수용 핸드 유닛(43)의 동작을 서로 독립시킨 형태로 제어한다.

또한, 제어 장치(60)에는, 셔틀 모터(MS)를 회전 구동시키는 셔틀 구동부(65)가 접속되어 있다. 셔틀 구동부(65)에는, 셔틀 모터(MS)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMS)가 접속되어 있다. 셔틀 구동부(65)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMS)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 셔틀 모터(MS)의 구동 전류를 생성함과 함께, 상기 구동 전류를 셔틀 모터(MS)에 출력한다. 셔틀 모터(MS)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 가이드(32c, 35c)를 따라 셔틀(32, 35)을 슬라이드시킨다. 또한, 상기 셔틀 구동부(65) 및 셔틀 모터(MS)는, 제1 셔틀(32) 및 제2 셔틀(35) 각각에 대하여 설치되고, 또한, 인코더(EMS)는, 각 셔틀 모터(MS)에 대하여 설치되어 있다. 즉, 제어 장치(60)는, 제1 셔틀(32)의 동작과 제2 셔틀(35)의 동작을 서로 독립시킨 형태로 제어한다.

*또한, 제어 장치(60)에는, 반송 모터 구동부(66a), 가압 모터 구동부(66b) 및 흡인 밸브 구동부(66c)를 갖는 반송 유닛 구동부(66)가 접속되어 있다.

반송 모터 구동부(66a)에는, 반송 모터(MA)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMA)가 접속되어 있다. 반송 모터 구동부(66a)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMA)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 반송 모터(MA)의 구동 전류를 생성함과 함께, 상기 구동 전류를 반송 모터(MA)에 출력한다. 반송 모터(MA)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 수평 이동 아암을 상기 반송 가이드(31)를 따라 진행 이동 및 복귀 이동시킨다. 또한, 상기 반송 모터 구동부(66a)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36) 각각에 대하여 설치되고, 또한, 인코더(EMA)도, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36) 각각에 대하여 설치되어 있다.

가압 모터 구동부(66b)에는, 가압 모터(MB)의 회전 위치를 검출하는 인코더(EMB)가 접속되어 있다. 가압 모터 구동부(66b)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더(EMB)로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 가압 모터(MB)의 구동 전류를 생성함과 함께, 상기 구동 전류를 가압 모터(MB)에 출력한다. 가압 모터(MB)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 수직 이동 아암을 상승 및 하강시킨다. 또한, 상기 가압 모터 구동부(66b)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36) 각각에 대하여 설치되고, 또한, 인코더(EMB)도, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36) 각각에 대하여 설치되어 있다.

밸브 구동부(66c)에는, 제1 핸드(53) 및 제2 핸드(58) 각각에 설치된 흡인 밸브(SV2)와 누설 밸브(DV2)가 접속되어 있다. 밸브 구동부(66c)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 흡인 밸브(SV2)의 개폐 명령에 기초하여, 흡인 밸브(SV2)의 구동 신호를 생성함과 함께, 상기 구동 신호를 흡인 밸브(SV2)에 출력한다. 그리고, 흡인 밸브(SV2)는, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐 동작을 행함으로써, 소정의 흡인력에 의해 상기 전자 부품(T)을 흡인한다. 또한, 밸브 구동부(66c)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 누설 밸브(DV2)의 개폐 명령에 기초하여, 누설 밸브(DV2)의 구동 신호를 생성함과 함께, 상기 구동 신호를 누설 밸브(DV2)에 출력한다. 그리고, 누설 밸브(DV2)는, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐 동작을 행함으로써, 핸드의 흡착부로부터 압축 공기를 보낸다. 또한, 흡인 밸브(SV2) 및 누설 밸브(DV2)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36) 각각에 대하여 설치되어 있고, 또한, 밸브 구동부(66c)도, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(36) 각각에 대하여 설치되어 있다. 즉, 제어 장치(60)는, 제1 반송 유닛(34)의 동작과 제2 반송 유닛(36)의 동작을 서로 독립시킨 형태로 제어한다.

또한, 제어 장치(60)에는, 핸들러(10)에 수납되는 테스터(69)가 전기적으로 접속된다. 제어 장치(60)는, 제1 핸드(53)가 제1 검사 위치에 배치되고, 또한 제2 핸드(58)가 제2 검사 위치에 배치되었을 때에, 테스터(69)에 대하여 검사를 개시하는 것을 나타내는 신호를 출력한다. 테스터(69)는, 검사 개시 신호를 받음으로써 전자 부품(T)의 검사를 개시하고, 검사가 종료되면 그 검사 결과와 함께 검사의 종료를 나타내는 신호를 제어 장치(60)에 출력한다.

(핸들러(10)의 작동 형태)

이어서, 상술한 구성의 핸들러(10)의 작동 형태에 대하여 도 4 내지 도 14를 참조하여 설명한다. 또한, 이하에서는, 서로 다른 4개의 작동 형태에 대하여 설명하지만, 각 작동 형태에 있어서는, 전자 부품(T)의 검사가 테스터(69)로 실시되는 기간인 인덱스 사이클 타임이 최소가 되는 경우에 대하여 설명한다. 도 4, 도 7, 도 10, 도 13 각각은, 서로 다른 4개의 작동 형태를 나타내는 타임챠트이며, 횡축의 1눈금은 0.2초를 나타내고 있다. 우선, 핸들러(10)가 행하는 동작 중, 하기 동작 A 내지 동작 J에 대하여 설명한다.

<공급 동작 A>

공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 컨베이어 트레이에 수용된 전자 부품(T)을 흡착한 뒤, 공급 대상인 공급용 셔틀 트레이의 상방으로 이동한다. 그리고, 핸드를 Z 방향으로 왕복 이동한 뒤, 상기 공급용 셔틀 트레이에 전자 부품(T)을 공급한다. 이들 일련의 동작인 공급 동작 A에는, 2.2초를 필요로 한다. 즉, 1회의 공급 동작 A에 의해 8개의 전자 부품(T)을 반송하면, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 컨베이어 트레이의 전자 부품(T)을 공급용 셔틀 트레이에 대하여, 1시간당 최대 13090개의 전자 부품(T)을 제공 반송 가능하다.

<공급 승강 동작 B>

상기 공급 동작 A 중, 공급용 핸드 유닛(23)은, Z 방향으로 하강 및 상승하여 공급용 컨베이어 트레이의 전자 부품(T)을 흡착하는 동작, 또한 Z 방향으로 하강 및 상승하여 공급용 셔틀 트레이에 전자 부품(T)을 적재하는 동작, 이들 각각의 동작인 공급 승강 동작 B에 0.4초를 필요로 한다.

<반송 동작 C>

반송 유닛(34, 36)은, 전달 위치의 상방부터 검사 위치의 상방까지 핸드(53, 58)를 이동하는 동작, 또한, 검사 위치의 상방부터 전달 위치의 상방까지 핸드(53, 58)를 이동하는 동작, 이들 각각의 동작인 반송 동작 C에, 0.5초를 필요로 한다. 이때, 반송 유닛(34, 36)은, 검사 위치의 상방인 개구부(45)의 상방을 향하여 2개의 핸드(53, 58)를 서로 근접시킴과 함께, 2개의 핸드(53, 58)를 배열한 상태에서 각각의 검사 위치에 배치한다. 또한, 반송 유닛(34, 36)은, 각각의 검사 위치에서 배열된 상태로부터 개구부(45)로부터 상승한 뒤, 2개의 핸드(53, 58)가 서로 멀어지도록, 2개의 핸드(53, 58)를 이동시킨다.

<핸드 승강 동작 D>

반송 유닛(34, 36)은, 전달 위치의 상방에서 핸드를 하강 및 상승시켜 공급용 셔틀 트레이의 전자 부품(T)을 핸드에 흡착하는 동작, 또한, 전달 위치의 상방에서 핸드를 하강 및 상승시켜 회수용 셔틀 트레이에 전자 부품을 배출하는 동작, 이들 각각의 동작인 승강 동작에 0.3초를 필요로 한다.

<셔틀 동작 F>

각 셔틀(32, 35)은, 공급 위치와 회수 위치 사이의 이동에 0.4초를 필요로 한다.

<회수 동작 G>

회수용 핸드 유닛(43)은, 회수용 셔틀 트레이의 전자 부품(T)을 흡착한 뒤, 회수용 컨베이어 트레이 위로 이동한다. 그리고, 핸드를 Z 방향으로 왕복 이동한 뒤, 다음의 회수 대상으로 되는 전자 부품(T)을 수용하는 회수용 셔틀 트레이 위로 이동한다. 이들 일련의 동작인 회수 동작 G에 대하여, 회수용 핸드 유닛(43)은 2.2초를 필요로 한다. 즉, 1회의 회수 동작 G에 의해 회수되는 전자 부품(T)이 8개이면, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수용 셔틀 트레이의 전자 부품(T)을 회수용 컨베이어 트레이에 대하여, 1시간당 최대 13090개의 전자 부품(T)을 반송 가능하다.

<회수 승강 동작 H>

상기 회수 동작 G 중, 회수용 핸드 유닛(43)은, Z 방향으로 하강 및 상승하여 회수용 셔틀 트레이의 전자 부품(T)을 흡착하는 동작, 또한, Z 방향으로 하강 및 상승하여 회수용 컨베이어 트레이에 전자 부품(T)을 적재하는 동작, 이들 각각의 동작인 회수 승강 동작 H에 0.4초를 필요로 한다.

<대기 동작 J>

회수용 핸드 유닛(43)은, 공급용 셔틀 트레이(32a)의 전자 부품(T)을 흡착하기 위하여 제1 핸드(53)가 Z 방향의 왕복 이동하고 있는 동안은, 회수용 셔틀 트레이(32b)로부터 전자 부품(T)을 회수하지 않고, 대기한다. 또한, 회수용 핸드 유닛(43)은, 공급용 셔틀 트레이(35a)의 전자 부품(T)을 흡착하기 위하여 제2 핸드(58)가 Z 방향의 왕복 이동하고 있는 동안은, 이것도 또한 회수용 셔틀 트레이(35b)로부터 전자 부품(T)을 회수하지 않고, 대기한다.

(제1 작동 형태)

이어서, 핸들러(10)에 있어서의 제1 작동 형태에 대해서, 도 4 내지 도 6을 참조하여 설명한다. 제1 작동 형태에 있어서는, 하기 조건 1 내지 조건 5가 만족되도록, 각 셔틀(32, 35)과 각 반송 유닛(34, 36)이 동작한다.

<조건 1> 각 반송 유닛(34, 36)의 반송 동작 C가 서로 동조한다.

<조건 2> 각 반송 유닛(34, 36)의 핸드 승강 동작 D 중, 회수용 셔틀 트레이에 대한 핸드 승강 동작 D가 서로 동조한다.

<조건 3> 각 반송 유닛(34, 36)의 핸드 승강 동작 D 중, 공급용 셔틀 트레이에 대한 핸드 승강 동작 D가 서로 동조한다.

<조건 4> 각 셔틀(32, 35)의 공급 위치로의 셔틀 동작 F가 서로 동조한다.

<조건 5> 각 셔틀(32, 35)의 회수 위치로의 셔틀 동작 F가 서로 동조한다.

우선, 도 4에 도시되는 타이밍 t0에서는, 각 셔틀(32, 35)이 모두 공급 위치에 배치되고, 각 핸드(53, 58)가 검사 위치에 배치되고, 각 핸드(53, 58)에 흡착된 전자 부품(T)의 검사가 행해지고 있다(도 5의 (a) 참조). 그리고, 타이밍 t0부터 0.8초가 경과하면, 타이밍 t1에서, 전자 부품(T)의 검사가 종료된다. 전자 부품(T)의 검사가 종료되면, 각 핸드(53, 58)는, 검사 위치로부터 상방으로 이동하고, 계속해서, 전달 위치의 상방을 향하여 서로 멀어지도록 반송 동작 C를 행한 후, 또한 회수 셔틀 트레이에 대하여 상기 핸드 승강 동작 D를 행한다(도 5의 (b) 참조).

각 핸드(53, 58)에 의해 핸드 승강 동작 D가 종료되면, 타이밍 t2에서, 각 셔틀(32, 35)이, 회수 위치로의 셔틀 동작 F를 개시한다(도 5의 (c) 참조). 계속해서, 각 셔틀(32, 35)이 회수 위치에 도달하면, 타이밍 t3에서, 각 핸드(53, 58)가, 공급용 셔틀 트레이에 대하여 핸드 승강 동작 D를 개시한다. 그리고, 공급용 셔틀 트레이(32a, 35a)의 전자 부품(T)이, 각 핸드(53, 58)에 흡착되면, 각 핸드(53, 58)는, 타이밍 t4에서, 검사 위치의 상방을 향하여 서로 근접하도록 반송 동작 C를 개시한다.

또한, 타이밍 t3부터 타이밍 t4까지의 기간에서는, 각 셔틀(32, 35)이 회수 위치에 배치되고, 회수용 핸드 유닛(43)이 회수용 셔틀 트레이(32b)의 상방에서 상기 대기 동작 J를 행한다. 이 대기 동작 J가 종료되면, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수용 셔틀 트레이(32b)에 대하여 상기 회수 동작 G를 개시한다.

이때, 타이밍 t3부터 0.8초가 경과한 타이밍 t5에서는, 도 5의 (d)에 도시된 바와 같이, 우선, 회수용 셔틀 트레이(32b)로부터 일부 전자 부품(T)이 회수된다. 계속해서, 타이밍 t4부터 4.4초가 경과한 타이밍 t6에서는, 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 회수용 셔틀 트레이(32b)의 모든 전자 부품(T)이 회수된다.

회수용 셔틀 트레이(32b)의 전자 부품(T)이 회수되면, 회수용 핸드 유닛(43)은, 타이밍 t6에서, 계속하여 회수용 셔틀 트레이(35b)에 대하여 상기 회수 동작 G를 개시한다.

이때, 회수용 핸드 유닛(43)은, 우선 회수용 셔틀 트레이(35b)와 회수용 컨베이어 트레이(C4a) 사이를 1회 왕복하여, 회수용 셔틀 트레이(35b)의 일부 전자 부품(T)을 회수용 컨베이어 트레이(C4a)로 회수한다. 계속해서, 회수용 셔틀 트레이(35b)에 있는 나머지의 전자 부품(T)을 흡착하기 위해, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수 승강 동작 H를 행한다. 그리고, 타이밍 t6부터 2.6초 경과한 타이밍 t7에서는, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 회수용 셔틀 트레이(32b)의 모든 전자 부품(T)이 회수된다.

제2 셔틀(35)의 전자 부품(T)이 회수되면, 각 셔틀(32, 35)은, 타이밍 t7부터, 공급 위치로의 셔틀 동작 F를 행한다(도 6의 (c) 참조). 그리고, 셔틀 동작 F가 종료되면, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 대하여 타이밍 t8부터 상기 공급 동작 A를 개시한다.

이때, 제1 셔틀(32)이 공급 위치에 배치되는 타이밍 t8에 맞추어 전자 부품(T)의 공급이 개시되도록, 타이밍 t8의 1.8초 전부터, 공급용 핸드 유닛(23)은, 검사 전의 전자 부품(T)을 흡착하여 제1 셔틀(32)의 상방에서 대기한다. 그리고, 타이밍 t8에서, 공급용 핸드 유닛(23)이 공급 승강 동작 B를 개시한다. 계속해서, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)와 공급용 셔틀 트레이(32a) 사이를 다시 왕복하여, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 나머지의 전자 부품(T)을 공급하는 공급 동작 A를 행한다(도 6의 (d) 참조).

제1 셔틀(32)에 전자 부품(T)이 공급되면, 공급용 핸드 유닛(23)은, 타이밍 t9에서, 계속하여 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대하여 상기 공급 동작 A를 개시한다.

이때, 공급용 핸드 유닛(23)은, 제2 셔틀(35)의 공급용 셔틀 트레이(35a)와 공급용 컨베이어 트레이(C1a) 사이를 2회 왕복하여, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)의 전자 부품(T)을 공급용 셔틀 트레이(35a)에 공급한다. 그리고, 제2 셔틀(35)에 전자 부품(T)이 공급되면, 각 셔틀(32, 35)은, 타이밍 t11에서, 앞선 타이밍 t2에 있어서의 상태와 동등한 상태로 된다.

여기서, 앞선 타이밍 t2에 대한 타이밍 t1에 상당하는 타이밍이, 타이밍 t11에 대해서는 타이밍 t10이다. 제1 작동 형태에서는, 이 타이밍 t10이 검사 종료의 타이밍으로서 설정되면, 타이밍 t1부터 타이밍 t10까지의 15.2초가 인덱스 사이클 타임, 타이밍 t5부터 타이밍 t10까지의 13.2초가 테스트 시간이 된다. 바꿔 말하면, 제1 작동 형태에서는, 전자 부품(T)의 테스트 시간이 13.2초 이하이면 인덱스 사이클 타임 15.2초가 유지된다. 이때의 1시간당 전자 부품(T)의 처리수는,

3600초÷15.2초×32개

=236.8…×32≒236×32=7552개

로 된다.

한편, 제1 핸드(53)가 보유 지지하는 전자 부품(T)과 제2 핸드(58)가 보유 지지하는 전자 부품(T)이 교대로 개구부(45)에 배치되는 구성의 핸들러에 있어서, 각 핸드(53, 58)의 교체 시간을 0.4초, 테스트 시간을 7.3초로 하면, 1시간당 처리수는,

3600초÷7.7초×16개

=467.5…×16≒467×16=7472개

로 된다. 즉, 전자 부품(T)의 테스트 시간이 7.3초 이상이면, 제1 작동 형태의 핸들러(10)가 더 많은 전자 부품(T)을 검사하는 것이 가능하다.

(제2 작동 형태)

이어서, 핸들러(10)에 있어서의 제2 작동 형태에 대해서, 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명한다. 제2 작동 형태에 있어서는, 상술한 조건 중, 조건 1 내지 4만이 만족되도록, 각 셔틀(32, 35)과 각 반송 유닛(34, 36)이 동작한다.

또한, 제2 작동 형태에 있어서, 도 7에 있어서의 타이밍 t1부터 타이밍 t5까지의 기간은, 제1 작동 형태에 있어서의 타이밍 t1부터 타이밍 t5까지의 기간과 동일한 동작을 행한다. 그로 인해, 제2 작동 형태에서는, 제1 작동 형태와 상이한 부분에 대하여 상세하게 설명한다.

제1 작동 형태와 마찬가지로, 회수용 핸드 유닛(43)은, 타이밍 t4에서, 회수용 셔틀 트레이(32b)에 대하여 상기 회수 동작 G를 개시한다.

이때, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수용 셔틀 트레이(32b)와 회수용 컨베이어 트레이(C3a)의 사이를 1회 왕복하여, 회수용 셔틀 트레이(32b)의 전자 부품(T)을 회수용 컨베이어 트레이(C3a)로 회수한다. 계속해서, 회수용 셔틀 트레이(35b)에 있는 나머지의 전자 부품(T)을 흡착하기 위해, 회수용 핸드 유닛(43)이 회수 승강 동작 H를 행하고, 그 후, 제1 셔틀(32)이 공급 위치로 이동한다. 이에 의해, 타이밍 t4의 2.6초 후의 타이밍 t6에서는, 도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 회수용 셔틀 트레이(32b)의 모든 전자 부품(T)이 회수된다. 그리고, 타이밍 t6의 0.4초 후의 타이밍 t7에서는, 도 8의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 셔틀(32)이 공급 위치에 배치된다.

제1 셔틀(32)이 공급 위치에 배치되면, 공급용 핸드 유닛(23)은, 타이밍 t7에서, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 대하여 상기 공급 동작 A를 개시한다.

이때, 제1 셔틀(32)이 공급 위치에 배치되는 타이밍 t7에 맞추어 전자 부품(T)이 공급되도록, 타이밍 t7의 1.8초 전부터, 공급용 핸드 유닛(23)은, 미리 공급용 핸드 유닛(23)에 검사 전의 전자 부품(T)을 흡착시켜 제1 셔틀(32)의 상방에서 대기한다. 그리고, 타이밍 t7에서, 공급용 핸드 유닛(23)이 공급 승강 동작 B를 개시한다. 또한, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)와 공급용 셔틀 트레이(32a) 사이를 다시 왕복하여, 전자 부품(T)을 공급용 셔틀 트레이(32a)에 공급한다. 이에 의해, 타이밍 t7의 2.6초 후의 타이밍 t9에 있어서, 제1 셔틀(32)의 공급용 셔틀 트레이(32a)에 전자 부품(T)이 만재된다.

한편, 타이밍 t7과 타이밍 t9 사이인 타이밍 t8에서, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수용 셔틀 트레이(35b)에 대하여 상기 회수 동작 G를 개시한다.

이때, 타이밍 t8은, 회수용 셔틀 트레이(32b)로부터 전자 부품(T)이 회수된 타이밍 t6부터 1.8초 경과하고 있다. 따라서, 회수용 핸드 유닛(43)은, 타이밍 t8에 앞서, 회수용 셔틀 트레이(35b)의 상방까지 이동한다(도 8의 (c) 참조). 그리고, 회수용 핸드 유닛(43)은, 타이밍 t8부터, 제2 셔틀(35)의 회수용 셔틀 트레이(35b)와 회수용 컨베이어 트레이(C4a)의 사이를 1회 왕복하여, 회수용 셔틀 트레이(35b)의 전자 부품(T)을 회수용 컨베이어 트레이(C4a)로 회수한다(도 8의 (d) 참조). 계속해서, 회수용 셔틀 트레이(35b)에 있는 나머지의 전자 부품(T)을 흡착하기 위해, 회수용 핸드 유닛(43)이 회수 승강 동작 H를 개시하고, 도 9의 (a)에 도시된 바와 같이, 타이밍 t8부터 2.6초 후의 타이밍 t10에서는, 회수용 셔틀 트레이(35b)의 모든 전자 부품(T)이 회수된다.

회수용 셔틀 트레이(35b)로부터 전자 부품(T)이 회수되면, 제2 셔틀(35)은, 타이밍 t10부터, 공급 위치로의 셔틀 동작 F를 행한다(도 9의 (b) 참조). 그리고, 셔틀 동작 F가 종료되면, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대하여 타이밍 t11부터 상기 공급 동작 A를 개시한다.

이때, 제2 셔틀(35)이 공급 위치에 배치되는 타이밍 t11에 맞추어 전자 부품(T)의 공급이 개시되도록, 공급용 핸드 유닛(23)은, 검사 전의 전자 부품(T)을 흡착하여 제1 셔틀(32)의 상방에서 대기한다. 또한, 타이밍 t10의 1.8초 전인 타이밍 t9에서, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 전자 부품(T)이 만재된다. 따라서, 공급용 핸드 유닛(23)은, 제1 셔틀(32)에 대한 전자 부품(T)의 공급과 제2 셔틀(35)에 대한 전자 부품(T)의 공급을 연속하여 행한다. 그리고, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대하여 공급 승강 동작 B를 행한 후, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대한 공급 동작 A를 행하여, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 나머지의 전자 부품(T)을 공급한다. 이에 의해, 각 셔틀(32, 35)은, 타이밍 t13에서, 앞선 타이밍 t2에 있어서의 상태와 동등한 상태로 된다.

여기서, 앞선 타이밍 t2에 대한 타이밍 t1에 상당하는 타이밍이, 타이밍 t13에 대해서는 타이밍 t12이다. 제2 작동 형태에서는, 이 타이밍 t12가 검사 종료의 타이밍으로서 설정되면, 타이밍 t1부터 타이밍 t12까지의 10.8초가 인덱스 사이클 타임, 타이밍 t5부터 타이밍 t12까지의 8.8초가 테스트 시간으로 된다. 바꿔 말하면, 제2 작동 형태에서는, 전자 부품(T)의 테스트 시간이 8.8초 이하이면 인덱스 사이클 타임 10.8초가 유지된다. 이때의 1시간당 전자 부품(T)의 처리수는,

3600초÷10.8초×32개

=333.3…×32≒333×32=10656개

로 된다.

한편, 제1 핸드(53)가 보유 지지하는 전자 부품(T)과 제2 핸드(58)가 보유 지지하는 전자 부품(T)이 교대로 개구부(45)에 배치되는 구성의 핸들러에 있어서, 각 핸드(53, 58)의 교체 시간을 0.4초, 테스트 시간을 5.0초로 하면, 1시간당의 처리수는,

3600초÷5.4초×16개

=666.6…×16≒666×16=10656개

로 된다. 즉, 전자 부품(T)의 테스트 시간이 5.0초를 초과하면, 제2 작동 형태의 핸들러(10)가 더 많은 전자 부품(T)을 검사 처리하는 것이 가능하다.

(제3 작동 형태)

이어서, 핸들러(10)에 있어서의 제3 작동 형태에 대해서, 도 10 내지 도 12를 참조하여 설명한다. 제3 작동 형태에 있어서는, 상술한 조건 중, 조건 1 및 조건 2만이 만족되도록, 각 셔틀(32, 35)과 각 반송 유닛(34, 36)이 동작한다.

우선, 도 10에 도시되는 타이밍 t0에서는, 제1 셔틀(32)이 공급 위치에 배치되고, 제2 셔틀(35)이 회수 위치에 배치되고, 또한, 각 핸드(53, 58)가 검사 위치에 배치되고, 각 핸드(53, 58)에 흡착된 전자 부품(T)의 검사가 행해지고 있다(도 11의 (a) 참조). 그리고, 타이밍 t0부터 0.6초가 경과하면, 타이밍 t1에서, 제2 셔틀(35)이 공급 위치로의 셔틀 동작 F를 개시한다.

제2 셔틀(35)이 공급 위치에 도달하면, 타이밍 t3에서, 공급용 핸드 유닛(23)이 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대하여 공급 동작 A를 개시한다. 이때, 제2 셔틀(35)이 공급 위치에 배치되는 타이밍 t3에 맞추어 전자 부품(T)의 공급이 개시되도록, 타이밍 t3의 1.8초 전부터, 공급용 핸드 유닛(23)은 검사 전의 전자 부품(T)을 흡착하여 제1 셔틀(32)의 상방에서 대기한다. 그리고, 타이밍 t3이 되면, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급 승강 동작 B를 행한 후, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)와 공급용 셔틀 트레이(35a) 사이를 왕복하여 공급 동작 A를 행한다.

한편, 타이밍 t1부터 0.2초 후가 경과하면, 타이밍 t2에서, 전자 부품(T)의 검사가 종료된다. 전자 부품(T)의 검사가 종료되면, 각 핸드(53, 58)는, 검사 위치로부터 상방으로 이동하고, 계속해서, 각 전달 위치의 상방을 향하여 서로 멀어지도록 반송 동작 C를 행하고, 그 후, 회수 셔틀 트레이에 대하여 핸드 승강 동작 D를 행한다(도 11의 (b) 참조). 그리고, 타이밍 t2부터 0.8초가 경과하면, 제1 셔틀(32)은, 타이밍 t4부터 회수 위치로의 셔틀 동작 F를 행한다(도 11의 (c) 참조).

*제1 셔틀(32)의 회수 위치로의 셔틀 동작 F가 종료되면, 제1 핸드(53)는, 타이밍 t5에서, 공급용 셔틀 트레이에 대하여 핸드 승강 동작 D를 개시한다. 그리고, 제1 핸드(53)가 핸드 승강 동작 D를 종료함으로써, 제1 핸드(53)는, 타이밍 t6에서, 공급용 셔틀 트레이(32a)의 전자 부품(T)을 흡착한다(도 11의 (d) 참조). 한편, 회수용 핸드 유닛(43)은, 타이밍 t6에서, 회수용 셔틀 트레이(32b)에 대하여 상기 회수 동작 G를 개시한다. 또한, 타이밍 t5부터 타이밍 t6까지 사이, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수용 셔틀 트레이(32b)의 상방에서 상기 대기 동작 J를 행한다.

이때, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수용 셔틀 트레이(32b)와 회수용 컨베이어 트레이(C3a) 사이를 1회 왕복하여, 회수용 셔틀 트레이(32b)의 일부 전자 부품(T)을 회수용 컨베이어 트레이(C3a)로 회수한다. 계속해서, 회수용 셔틀 트레이(32b)에 있는 나머지의 전자 부품(T)을 흡착하기 위해, 회수용 핸드 유닛(43)이 회수 승강 동작 H를 행한다.

한편, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대하여 공급 동작 A가 종료되면, 제2 셔틀(35)은, 타이밍 t7에서, 회수 위치로의 셔틀 동작 F를 개시한다. 이에 의해, 타이밍 t7부터 0.4초가 경과한 타이밍 t8에서는, 도 12의 (a)에 도시된 바와 같이, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 전자 부품(T)이 만재된 상태에서 제2 셔틀(35)이 회수 위치에 배치되고, 또한 제1 셔틀(32)의 회수용 셔틀 트레이(32b)로부터 일부 전자 부품(T)이 회수된다. 또한, 제2 핸드(58)는, 타이밍 t8에서, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대하여 핸드 승강 동작 D를 행한다. 그리고, 제2 핸드(58)와, 이미 전자 부품(T)을 흡착하고 있는 제1 핸드(53)가, 각각의 검사 위치의 상방을 향하여 서로 근접하도록 반송 동작 C를 개시한다. 이에 의해, 타이밍 t8부터 0.8초가 경과한 타이밍 t9에서, 전자 부품(T)의 검사가 개시된다.

전자 부품(T)의 검사가 개시되면, 각 핸드(53, 58)는, 타이밍 t10에서, 검사 위치에 배치되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(32b)로부터 모든 전자 부품(T)이 회수된다(도 12의 (b) 참조). 또한, 제1 셔틀(32)은, 타이밍 t10에서, 공급 위치로의 셔틀 동작 F를 개시한다. 그리고, 타이밍 t10부터 0.4초가 경과하면, 제1 셔틀(32)은, 타이밍 t11에서 공급 위치에 배치된다(도 12의 (c) 참조).

제1 셔틀(32)이 공급 위치에 배치되면, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 대하여 공급 동작 A를 개시한다. 이때, 제1 셔틀(32)이 공급 위치에 배치되는 타이밍 t11에 맞추어 전자 부품(T)이 공급되도록, 타이밍 t11의 1.8초 전부터, 공급용 핸드 유닛(23)은, 검사 전의 전자 부품(T)을 흡착하여 제1 셔틀(32)의 상방에서 대기한다. 그리고, 타이밍 t11에서, 공급용 핸드 유닛(23)이 공급 승강 동작 B를 개시한다. 계속해서, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 셔틀 트레이(32a)와 공급용 컨베이어 트레이(C1a) 사이를 다시 왕복하여, 타이밍 t13까지, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 나머지의 전자 부품(T)을 공급하는 공급 동작 A를 행한다.

또한, 타이밍 t11과 타이밍 t13 사이에 있는 타이밍 t12에서, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수용 셔틀 트레이(35b)에 대하여 회수 동작 G를 개시한다. 또한, 타이밍 t10부터 타이밍 t12까지, 회수용 핸드 유닛(43)은, 전자 부품(T)을 회수용 컨베이어 트레이(C3a)에 배출하고, 회수용 셔틀 트레이(35b)의 상방까지 이동한다.

회수용 핸드 유닛(43)은, 타이밍 t12에서, 회수용 셔틀 트레이(35b)와 회수용 컨베이어 트레이(C4a) 사이를 왕복하여, 회수용 셔틀 트레이(35b)의 전자 부품(T)을 회수한다. 그리고, 회수용 셔틀 트레이(35b)에 있는 나머지의 전자 부품(T)을 흡착하기 위해, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수 승강 동작 H를 행한다. 즉, 타이밍 t12의 2.6초 후의 타이밍 t14에서는, 도 11의 (a)에 도시한 타이밍 t1과 동일하게, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 대한 전자 부품(T)의 공급이 종료된 제1 셔틀(32)이 공급 위치에 배치되어 있다. 또한, 공급용 셔틀 트레이(35a) 및 회수용 셔틀 트레이(35b)가 빈 상태에서 제2 셔틀(35)이 회수 위치에 배치되어 있다.

제2 셔틀(35)은, 타이밍 t14에서, 공급 위치로의 셔틀 동작 F를 개시한다. 그리고, 공급용 핸드 유닛(23)은, 타이밍 t14의 0.4초 후의 타이밍 t16에서, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대하여 공급 동작 A를 개시한다.

이때, 제2 셔틀(35)이 공급 위치에 배치되는 타이밍 t16에 맞추어 전자 부품(T)의 공급이 개시되도록, 공급용 핸드 유닛(23)은, 검사 전의 전자 부품(T)을 흡착하여 제1 셔틀(32)의 상방에서 대기한다. 또한, 타이밍 t16의 1.8초 전인 타이밍 t13에서, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 전자 부품(T)이 만재된다. 따라서, 공급용 핸드 유닛(23)은, 제1 셔틀(32)에 전자 부품(T)의 공급과 제2 셔틀(35)에 대한 전자 부품(T)의 공급을 연속하여 행한다. 그리고, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대하여 공급 승강 동작 B를 행한 후, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대한 공급 동작 A를 행하여, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 나머지의 전자 부품(T)을 공급한다. 이에 의해, 각 셔틀(32, 35)은, 타이밍 t16에서, 앞선 타이밍 t3에 있어서의 상태와 동등한 상태로 된다.

여기서, 앞선 타이밍 t3에 대한 타이밍 t2에 상당하는 타이밍이, 타이밍 t16에 대해서는 타이밍 t15이다. 이 타이밍 t15가 검사 종료의 타이밍으로서 설정되면, 타이밍 t2부터 타이밍 t15까지의 8.8초가 인덱스 사이클 타임, 타이밍 t9부터 타이밍 t15까지의 4.8초가 테스트 시간으로 된다. 바꿔 말하면, 제3 작동 형태에서는, 전자 부품(T)의 테스트 시간이 4.8초 이하이면 인덱스 사이클 타임 8.8초가 유지된다. 이때의 1시간당 전자 부품(T)의 처리수는,

3600초÷8.8초×32개

=409.0…×32≒409×32=13088개

로 된다.

한편, 제1 핸드(53)가 보유 지지하는 전자 부품(T)과 제2 핸드(58)가 보유 지지하는 전자 부품(T)이 교대로 개구부(45)에 배치되는 구성의 핸들러에 있어서, 각 핸드(53, 58)의 교체 시간을 0.4초, 테스트 시간을 4.0초로 하면, 1시간당의 처리수는,

3600초÷4.4초×16개

=818.1…×16≒818×16=13088개

로 된다. 즉, 전자 부품(T)의 테스트 시간이 4.0초를 초과하면, 제3 작동 형태의 핸들러(10)가 더 많은 전자 부품(T)을 검사 처리하는 것이 가능하다.

(제4 작동 형태)

이어서, 핸들러(10)에 있어서의 제4 작동 형태에 대해서, 도 13 내지 도 14를 참조하여 설명한다. 제4 작동 형태에 있어서는, 다른 작동 형태와 비하여, 공급 동작 A 및 회수 동작 G에 필요로 하는 시간이 상이하다. 즉, 공급 동작 A 및 회수 동작 G 각각에 1.4초 필요로 한다. 또한, 제4 작동 형태에 있어서는, 상술한 조건 중, 조건 1만이 만족되도록, 각 셔틀(32, 35)과 각 반송 유닛(34, 36)이 동작한다.

또한, 제4 작동 형태에 있어서는 타이밍 t1에 있어서 전자 부품(T)의 검사가 종료된다. 이 타이밍 t1에 있어서의 핸들러(10)는, 각 셔틀(32, 35)에 관해서는 제3 작동 형태에 있어서의 타이밍 t0과 동일한 상태이다. 그로 인해, 제4 작동 형태의 타이밍 t1에 대해서는, 도 14의 (a)에 도시함으로써 그 상세한 설명은 생략한다.

타이밍 t1에 있어서 전자 부품(T)의 검사가 종료되면, 각 핸드(53, 58)는, 검사 위치로부터 상방으로 이동하고, 계속해서, 각 전달 위치의 상방을 향하여 서로 멀어지도록 반송 동작 C를 행하고, 그 후, 제1 핸드(53)만이 회수용 셔틀 트레이(32b)에 대하여 핸드 승강 동작 D를 행한다.

제2 셔틀(35)은, 타이밍 t1부터 0.6초가 경과한 타이밍 t2에서, 공급 위치로의 셔틀 동작 F를 개시한다. 그리고, 타이밍 t2부터 0.4초가 경과한 타이밍 t4에서, 제2 핸드(58)가 회수용 셔틀 트레이(35b)에 대하여 핸드 승강 동작 D를 행한다. 또한, 타이밍 t4에서, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대하여 공급 동작 A를 개시한다.

이때, 제2 셔틀(35)이 공급 위치에 배치되는 타이밍 t4에 맞추어 전자 부품(T)이 공급되도록, 타이밍 t4의 1.0초 전인 타이밍 t1부터, 공급용 핸드 유닛(23)은, 검사 전의 전자 부품(T)을 흡착하여 제2 셔틀(35)의 상방에서 대기한다. 그리고, 타이밍 t4가 되면, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급 승강 동작 B를 행한 후, 공급용 컨베이어 트레이(C1a)와 공급용 셔틀 트레이(35a) 사이를 왕복하여 공급 동작 A를 행한다.

한편, 제1 셔틀(32)은, 타이밍 t1부터 0.8초가 경과한 타이밍 t3에서, 회수 위치로의 셔틀 동작 F를 개시한다. 그리고, 타이밍 t3의 0.4초 후의 타이밍 t5에서, 제1 핸드(53)는, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 대하여 핸드 승강 동작 D를 행한다.

또한, 회수용 핸드 유닛(43)은, 타이밍 t5부터 0.4초 후의 타이밍 t6에서, 회수용 셔틀 트레이(32b)에 대하여 회수 동작 G를 개시한다. 또한, 타이밍 t5부터 타이밍 t6까지 사이는, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수용 셔틀 트레이(32b)의 상방에서 대기 동작 J를 행한다. 그리고, 회수용 핸드 유닛(43)은, 타이밍 t6에서, 회수용 셔틀 트레이(32b)와 회수용 컨베이어 트레이(C3a) 사이를 1회 왕복하여 회수 동작 G를 행한다(도 14의 (b) 참조). 계속해서, 회수용 셔틀 트레이(32b)에 있는 나머지의 전자 부품(T)을 흡착하기 위해, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수 승강 동작 H를 행한다. 즉, 타이밍 t6부터 1.8초 후의 타이밍 t9에서, 회수용 셔틀 트레이(32b)로부터 모든 전자 부품(T)이 회수된다.

제1 셔틀(32)은, 상기 타이밍 t9에서, 공급 위치로의 셔틀 동작 F를 개시한다. 공급용 핸드 유닛(23)은, 타이밍 t9부터 0.4초 후의 타이밍 t10에서, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 대하여 공급 동작 A를 개시한다.

이때, 제1 셔틀(32)이 공급 위치에 배치되는 타이밍 t10에 맞추어 전자 부품(T)이 공급되도록, 타이밍 t10의 1.0초 전의 타이밍 t7부터, 공급용 핸드 유닛(23)은, 검사 전의 전자 부품(T)을 흡착하여 제1 셔틀(32)의 상방에서 대기한다. 그리고, 타이밍 t10이 되면, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 대하여 공급 승강 동작 B를 개시한다. 계속해서, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급용 셔틀 트레이(32a)와 공급용 컨베이어 트레이(C1a) 사이를 다시 왕복하여, 나머지의 전자 부품(T)을 공급용 셔틀 트레이(32a)에 공급하는 공급 동작 A를 행한다. 즉, 타이밍 t10의 1.8초 후인 타이밍 t13에서, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 전자 부품(T)이 만재된다.

한편, 제2 셔틀(35)은, 상기 타이밍 t7에서, 회수 위치로의 셔틀 동작 F를 개시한다. 즉, 제2 셔틀(35)은, 도 14의 (c)에 도시된 바와 같이, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 전자 부품(T)이 공급된 상태에서, 회수 위치로의 셔틀 동작 F를 개시한다. 그리고, 타이밍 t7부터 0.4초가 경과한 타이밍 t8에서, 제2 핸드(58)는, 공급용 셔틀 트레이(35a)에 대한 공급 승강 동작 B를 행하고, 그 후, 각 핸드(53, 58)는, 각각의 검사 위치의 상방을 향하여 서로 근접하도록 반송 동작 C를 행한다. 즉, 도 14의 (d)에 도시된 바와 같이, 타이밍 t8의 0.8초 후의 타이밍 t11에서는, 각 핸드(53, 58)가 검사 위치에 배치되어 있고, 또한 제1 셔틀(32)의 공급용 셔틀 트레이(32a)에 일부 전자 부품(T)이 공급되어 있다.

회수용 핸드 유닛(43)은, 상기 타이밍 t11부터 0.4초 후의 타이밍 t12에서, 회수용 셔틀 트레이(35b)에 대하여 회수 동작 G를 개시한다. 또한, 회수용 핸드 유닛(43)은, 타이밍 t9부터 타이밍 t12까지, 회수한 전자 부품(T)을 회수용 컨베이어 트레이(C3a)에 배출하고, 회수용 셔틀 트레이(35b)의 상방까지 이동한다. 그리고, 회수용 핸드 유닛(43)은, 타이밍 t12에서, 회수용 셔틀 트레이(35b)와 회수용 컨베이어 트레이(C4a) 사이를 왕복하여 회수 동작 G를 행한다. 계속해서, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수용 셔틀 트레이(35b)에 있는 나머지의 전자 부품(T)을 흡착하기 위하여 회수 승강 동작 H를 행한다. 즉, 타이밍 t12부터 1.8초가 경과한 타이밍 t14에서는, 제2 셔틀(35)의 회수용 셔틀 트레이(35b)로부터 모든 전자 부품(T)이 회수된다. 이에 의해, 각 셔틀(32, 35)은, 타이밍 t14에서, 앞선 타이밍 t2에 있어서의 상태와 동등한 상태로 된다.

여기서, 앞선 타이밍 t2에 대한 타이밍 t1에 상당하는 타이밍이, 타이밍 t14에 대해서는 타이밍 t13이다. 이 타이밍 t13이 검사 종료의 타이밍으로서 설정되면, 타이밍 t1부터 타이밍 t13까지의 5.6초가 인덱스 사이클 타임, 타이밍 t11부터 타이밍 t13까지의 1.6초가 테스트 시간으로 된다. 바꿔 말하면, 전자 부품(T)의 테스트 시간이 1.6초 이하이면 인덱스 사이클 타임 5.6초가 유지된다. 이때의 1시간당 전자 부품(T)의 처리수는,

3600초÷5.6초×32개

=642.8…×32≒642×32=20544개

로 된다.

한편, 제1 핸드(53)가 보유 지지하는 전자 부품(T)과 제2 핸드(58)가 보유 지지하는 전자 부품(T)이 교대로 개구부(45)에 배치되는 구성의 핸들러에 있어서, 테스트 시간을 1.6초로 하면, 테스트 시간이 지나치게 짧기 때문에 공급용 및 회수용 핸드 유닛(23, 43)의 반송 능력에 따른 만큼이 처리된다. 즉, 전자 부품(T)의 테스트 시간이 1.6초 이하이면 제4 작동 형태의 핸들러(10)가 더 많은 전자 부품(T)을 검사 처리하는 것이 가능하다.

*이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 따르면, 이하에 열거하는 효과가 얻어지게 된다.

(1) 베이스(11)에는, 제1 핸드(53)와 제2 핸드(58)를 나란히 배치할 수 있는 개구부(45)가 형성되어 있다. 그로 인해, 테스트 헤드(33)에 대하여, 제1 핸드(53)의 전자 부품(T)과 제2 핸드의 전자 부품(T)이 나란히 끼워 넣어지게 된다. 즉, 이러한 2개의 핸드로 구성되는 핸들러(10)에 있어서, 가장 많은 전자 부품(T)을 동일 시기에 검사하는 것이 가능하다. 그 결과, 각 핸드(53, 58)의 한쪽이 보유 지지하고 있는 전자 부품(T)만이 테스트 헤드(33)에 끼워 넣어지는 구성의 핸들러와 같이, 개구부(45)에 동일 시기에 배치되는 전자 부품(T)의 수를 증가시키는 데 있어서 각 핸드(53, 58)를 대형화시킬 필요가 없다. 즉, 장치의 대형화가 억제됨과 함께, 각 핸드(53, 58)가 보유 지지 가능한 전자 부품(T)의 수를 유지한 다음, 개구부(45)에 배치되는 전자 부품(T)의 수를 증가시킬 수 있다. 그러므로, 핸드의 대형화에 수반하는 반송 속도의 저하나 반송 거리의 증대가 억제되는 점에서, 개구부(45)에 반송되는 전자 부품(T)의 개수를 증가시키면서, 전자 부품(T)의 반송을 효율적으로 행할 수 있다.

(2) 제1 핸드(53)에 의한 전자 부품(T)의 흡착과 배출이 동일한 제1 전달 위치에서 행해지는 점에서, 이들이 상이한 위치에서 행해지는 구성에 비하여, 제1 핸드(53)의 이동 경로 및 제1 핸드(53)를 이동시키는 기구의 복잡화를 억제하는 것이 가능하다. 마찬가지로, 제2 핸드(58)에 의한 전자 부품(T)의 흡착과 배출이 동일한 제2 전달 위치에서 행해지는 점에서, 이들이 상이한 위치에서 행해지는 구성에 비하여, 제2 핸드(58)의 이동 경로 및 제2 핸드(58)를 이동시키는 기구의 복잡화를 억제하는 것이 가능하다. 이러한 점에서, 핸들러(10)의 대형화를 억제하는 것이 가능하다.

(3) 반송 가이드(31)를 따라 제1 핸드(53) 및 제2 핸드(58)를 이동시키는 반송 모터가 서로 상이한 점에서, Z 방향에서 개구부(45)에 대치하는 위치에 각 핸드(53, 58) 각각을 동일한 타이밍에 배치하는 것, 다른 타이밍에서 배치하는 것, 그것들이 가능하다.

(4) 제1 셔틀(32)에 있어서, 검사 전의 전자 부품(T)이 수납되는 공급용 셔틀 트레이(32a)와 검사 후의 전자 부품(T)이 수용되는 회수용 셔틀 트레이(35b)가 상이함과 함께 어느 한쪽이 제1 전달 위치에 배치된다. 그로 인해, 회수용 셔틀 트레이(32b)가 제1 전달 위치에 배치되어 있는 경우에는, 공급용 셔틀 트레이(32a)에 대하여 전자 부품(T)을 공급하는 것이 가능하다. 한편, 공급용 셔틀 트레이(32a)가 제1 전달 위치에 배치되어 있는 경우에는, 회수용 셔틀 트레이(32b)에 배출된 전자 부품(T)을 회수하는 것이 가능하다. 제2 셔틀(35)에 대해서도 마찬가지이다. 즉, 각 핸드(53, 58)에 의한 전자 부품(T)의 흡착 및 배출을 원활하게 행할 수 있다.

(5) 검사 전의 전자 부품(T)은, 공급용 핸드 유닛(23)에 의해 각 셔틀(32, 35)의 공급용 셔틀 트레이(32a, 35a)에 공급된다. 또한, 검사 후의 전자 부품(T)은, 회수용 핸드 유닛(43)에 의해 각 셔틀(32, 35)의 회수용 셔틀 트레이(32b, 35b)로부터 회수된다. 이러한 구성에 의하면, 각 셔틀(32, 35) 각각에 대응하도록 공급용 핸드 유닛(23) 및 회수용 핸드 유닛(43)이 설치되는 구성에 비하여, 핸들러가 대형화되는 것을 억제하는 것이 가능하다.

(6) 제1 작동 형태 및 제2 작동 형태에서는, 각 핸드(53, 58)에 의한 검사 후의 전자 부품(T)의 배출과 검사 전의 전자 부품(T)의 흡착을 짧은 기간에서 행할 수 있는 점에서, 다른 작동 형태에 비하여 테스트 시간이 긴 전자 부품(T)이어도 인덱스 사이클 타임을 유지하는 것이 가능하다.

(7) 제2 작동 형태, 제3 작동 형태 및 제4 작동 형태에서는, 공급 위치에 각 셔틀(32, 35)이 배치되는 타이밍 및 회수 위치에 각 셔틀(32, 35)이 배치되는 타이밍 중에서 적어도 1개가 상이한 타이밍에 행해지고 있다. 이러한 구성에 의하면, 예를 들어 공급용 핸드 유닛(23)을 사용한 제1 셔틀(32)에 대한 전자 부품(T)의 공급과, 회수용 핸드 유닛(43)을 사용한 제2 셔틀(35)에 대한 전자 부품(T)의 회수를 동일 시기에 행할 수 있다. 그러므로, 인덱스 사이클 타임을 제1 작동 형태보다도 짧게 할 수 있다.

(8) 제3 작동 형태 및 제4 작동 형태에서는, 각 핸드(53, 58)가 전자 부품(T)을 흡착하는 타이밍 및 각 핸드(53, 58)가 전자 부품(T)을 배출하는 타이밍 중에서 적어도 1개가 상이한 타이밍에 행해지고 있다. 이러한 구성에 의하면, 예를 들어 각 셔틀에 전자 부품(T)을 공급하는 타이밍, 각 셔틀로부터 전자 부품(T)을 회수하는 타이밍에 관한 자유도를 향상시킬 수 있다. 그러므로, 인덱스 사이클 타임의 한층 더한 단축화가 예상된다.

또한, 상기 실시 형태는, 이하와 같이 적절히 변경하여 실시할 수도 있다.

·반송 대상물은, 복수개 공급용 핸드 유닛에 의해 복수개 공급용 트레이 각각에 공급되는 구성이어도 좋다. 이와 같은 구성에 의하면, 복수개 공급용 트레이 각각에 대하여 동일한 타이밍에 반송 대상물을 공급하는 것이 가능하게도 된다.

·반송 대상물은, 복수의 회수용 핸드 유닛에 의해 복수의 회수용 트레이 각각으로부터 회수되는 구성이어도 좋다. 이와 같은 구성에 의하면, 복수의 회수용 트레이 각각에 대하여 동일한 타이밍에 반송 대상물의 회수를 행하는 것이 가능하게도 된다.

·1개의 핸드에 대하여 반송 대상물이 공급되는 위치와, 상기 1개의 핸드로부터 반송 대상물이 회수되는 위치가, 서로 다른 구성이어도 좋다.

·2개의 핸드를 이동시키는 반송 모터는, 공통되는 1개의 모터이어도 좋다. 이와 같은 구성에 의하면, 2개의 핸드의 동작을 동조시키는 것이 용이한 것이 된다.

·개구부로부터 올려진 2개의 핸드가 서로 다른 타이밍에서 반송원으로 돌아가는 형태이어도 좋다.

·부품 검사 장치는, 테스터와 핸들러가 각각 별도로 설치되는 형태에 한하지 않고, 테스터와 핸들러가 일체적으로 설치되는 형태이어도 좋다.

T: 전자 부품
C1: 공급용 컨베이어
C2, C3, C4: 회수용 컨베이어
C1a: 공급용 컨베이어 트레이
C2a, C3a, C4a: 회수용 컨베이어 트레이
MA: 반송 모터
MC: 컨베이어 모터
MS: 셔틀 모터
MX: X축 모터
MY: Y축 모터
MZ: 핸드 모터
EMA, EMC, EMS, EMX, EMY, EMZ: 인코더
SV1, SV2: 흡인 밸브
DV1, DV2: 누설 밸브
10: 핸들러
11: 베이스
11a: 탑재면
12: 커버 부재
20: 공급 로봇
21: 공급측 고정 가이드
22: 공급측 가동 가이드
23: 공급용 핸드 유닛
31: 반송 가이드
32: 제1 셔틀
32a: 공급용 셔틀 트레이
32b: 회수용 셔틀 트레이
32c: 제1 셔틀 가이드
33: 테스트 헤드
32a: 검사용 포켓
34: 제1 반송 유닛
35: 제2 셔틀
35a: 공급용 셔틀 트레이
35b: 회수용 셔틀 트레이
35c: 제2 셔틀 가이드
36: 제2 반송 유닛
40: 회수 로봇
41: 회수측 고정 가이드
42: 회수측 가동 가이드
43: 회수용 핸드 유닛
45: 개구부
51: 수평 이동 아암
52: 수직 이동 아암
53: 제1 핸드
54: 흡착부
56: 수평 이동 아암
57: 수직 이동 아암
58: 제2 핸드
59: 흡착부
60: 제어 장치
61: 컨베이어 구동부
62: X축 가이드 구동부
63: Y축 가이드 구동부
64: 핸드 유닛 구동부
64a: 핸드 모터 구동부
64b: 흡인 밸브 구동부
65: 셔틀 구동부
66: 반송 유닛 구동부
66a: 반송 모터 구동부
66b: 가압 모터 구동부
66c: 흡인 밸브 구동부
69: 테스터

Claims (9)

1. 반송 대상물을 배치하는 테스트 헤드를 설치 가능한 개구부를 갖는 베이스와,
   상기 반송 대상물을 보유 지지하는 제1 핸드를 갖고, 상기 제1 핸드를 상기 개구부를 향하여 이동시키는 제1 반송부와,
   상기 반송 대상물을 보유 지지하는 제2 핸드를 갖고, 상기 제2 핸드를 상기 개구부를 향하여 이동시키는 제2 반송부
   를 구비하고,
   상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드는, 서로 이격한 위치부터 서로 상이한 방향에서 상기 개구부로 이동 가능하고,
   상기 개구부의 상기 테스트 헤드는, 상기 제1 핸드가 보유 지지하는 상기 반송 대상물이 적재되는 제1 포켓과, 상기 제2 핸드가 보유 지지하는 상기 반송 대상물이 적재되는 제2 포켓이 배열되어 설치 가능하고,
   상기 제1 반송부는, 상기 개구부에 있어서 상기 제1 핸드가 배치되는 제1 위치와 상기 제1 핸드에 의한 상기 반송 대상물의 보유 지지 및 배출이 행하여지는 제1 전달 위치 사이에서 상기 제1 핸드를 이동 가능하고,
   상기 제2 반송부는, 상기 개구부에 있어서 상기 제2 핸드가 배치되는 제2 위치와 상기 제2 핸드에 의한 상기 반송 대상물의 보유 지지 및 배출이 행하여지는 제2 전달 위치 사이에서 상기 제2 핸드를 이동 가능하고,
   상기 제1 위치에 배치된 상기 제1 핸드 및 상기 제2 위치에 배치된 상기 제2 핸드는, 상기 개구부로부터 이격되는 방향으로 이동한 뒤, 상기 제1 핸드는 상기 제1 전달 위치를 향하고 상기 제2 핸드는 상기 제2 전달 위치를 향하여 서로 상이한 방향으로 이동 가능하고,
   상기 제1 핸드가 보유 지지하는 상기 반송 대상물이 적재되는 제1 공급 트레이와 상기 제1 핸드가 배출하는 상기 반송 대상물이 적재되는 제1 회수 트레이가 설치된 제1 셔틀과,
   상기 제2 핸드가 보유 지지하는 상기 반송 대상물이 적재되는 제2 공급 트레이와 상기 제2 핸드가 보유 지지하는 상기 반송 대상물이 적재되는 제2 회수 트레이가 설치된 제2 셔틀
   을 구비하고,
   상기 제1 공급 트레이와 상기 제1 회수 트레이는, 상기 제1 전달 위치에 교대로 배치 가능하고,
   상기 제2 공급 트레이와 상기 제2 회수 트레이는, 상기 제2 전달 위치에 교대로 배치 가능한 것을 특징으로 하는 핸들러.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1 전달 위치에 상기 제1 공급 트레이가 배치되었을 때, 상기 제2 전달 위치에 상기 제2 공급 트레이가 배치되는 핸들러.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1 전달 위치에 상기 제1 회수 트레이가 배치되었을 때, 상기 제2 전달 위치에 상기 제2 회수 트레이가 배치되는 핸들러.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 제1 전달 위치로의 상기 제1 공급 트레이의 배치와 상기 제2 전달 위치로의 상기 제2 공급 트레이의 배치가 동시에 행해지고,
   상기 제1 전달 위치로의 상기 제1 회수 트레이의 배치와 상기 제2 전달 위치로의 상기 제2 공급 트레이의 배치가 동시에 행해지는 핸들러.
5. 제3항에 있어서,
   상기 제1 전달 위치로의 상기 제1 공급 트레이의 배치와 상기 제2 전달 위치로의 상기 제2 공급 트레이의 배치가 동시에 행해지고,
   상기 제1 전달 위치로의 상기 제1 회수 트레이의 배치와 상기 제2 전달 위치로의 상기 제2 공급 트레이의 배치가 동시에 행해지는 핸들러.
6. 제5항에 있어서,
   상기 제1 핸드에 의한 상기 반송 대상물의 보유 지지와 상기 제2 핸드에 의한 상기 반송 대상물의 보유 지지가 동시에 행해지고,
   상기 제1 핸드에 의한 상기 반송 대상물의 배출과 상기 제2 핸드에 의한 상기 반송 대상물의 보유 지지가 동시에 행해지는 핸들러.
7. 전자 부품을 검사하는 테스터와,
   상기 전자 부품을 배치하는 테스트 헤드를 설치 가능한 개구부를 갖는 베이스와,
   상기 전자 부품을 보유 지지하는 제1 핸드를 갖고, 상기 제1 핸드를 상기 개구부를 향하여 이동시키는 제1 반송부와,
   상기 전자 부품을 보유 지지하는 제2 핸드를 갖고, 상기 제2 핸드를 상기 개구부를 향하여 이동시키는 제2 반송부
   를 구비하고,
   상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드는, 서로 이격한 위치부터 서로 상이한 방향에서 상기 개구부로 이동 가능하고,
   상기 개구부의 상기 테스트 헤드는, 상기 제1 핸드가 보유 지지하는 상기 전자 부품이 적재되는 제1 포켓과, 상기 제2 핸드가 보유 지지하는 상기 전자 부품이 적재되는 제2 포켓이 배열되어 설치 가능하고,
   상기 제1 반송부는, 상기 개구부에 있어서 상기 제1 핸드가 배치되는 제1 위치와 상기 제1 핸드에 의한 상기 전자 부품의 보유 지지 및 배출이 행하여지는 제1 전달 위치 사이에서 상기 제1 핸드를 이동 가능하고,
   상기 제2 반송부는, 상기 개구부에 있어서 상기 제2 핸드가 배치되는 제2 위치와 상기 제2 핸드에 의한 상기 전자 부품의 보유 지지 및 배출이 행하여지는 제2 전달 위치 사이에서 상기 제2 핸드를 이동 가능하고,
   상기 제1 위치에 배치된 상기 제1 핸드 및 상기 제2 위치에 배치된 상기 제2 핸드는, 상기 개구부로부터 이격되는 방향으로 이동한 뒤, 상기 제1 핸드는 상기 제1 전달 위치를 향하고 상기 제2 핸드는 상기 제2 전달 위치를 향하여 서로 상이한 방향으로 이동 가능하고,
   상기 제1 핸드가 보유 지지하는 상기 전자 부품이 적재되는 제1 공급 트레이와 상기 제1 핸드가 배출하는 상기 전자 부품이 적재되는 제1 회수 트레이가 설치된 제1 셔틀과,
   상기 제2 핸드가 보유 지지하는 상기 전자 부품이 적재되는 제2 공급 트레이와 상기 제2 핸드가 보유 지지하는 상기 전자 부품이 적재되는 제2 회수 트레이가 설치된 제2 셔틀
   을 구비하고,
   상기 제1 공급 트레이와 상기 제1 회수 트레이는, 상기 제1 전달 위치에 교대로 배치 가능하고,
   상기 제2 공급 트레이와 상기 제2 회수 트레이는, 상기 제2 전달 위치에 교대로 배치 가능한 것을 특징으로 하는 부품 검사 장치.
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