JP2013044683A - ハンドラー、及び部品検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搬送対象を基台に形成された開口部と開口部以外の任意の位置との間で搬送するハンドラーにおいて、搬送対象や基台が押圧により変形することを抑えることの可能なハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置を提供する。
【解決手段】供給用シャトルトレイ３２ａに載置された電子部品Ｔを吸着する吸着部５４と、吸着部５４を供給用シャトルトレイ３２ａから接続先へ搬送する第１搬送ユニット３４と、吸着部５４に連結され、吸着部５４を介して電子部品Ｔを押圧する押圧シリンダー５３とを備えるハンドラーであって、供給用シャトルトレイ３２ａでの押圧力が接続先での押圧力より小さくなるように押圧シリンダー５３の作動圧を切り替える切り替え部を備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、搬送対象を搬送するハンドラーに関し、特に搬送対象をトレイから該搬送対象の接続先にまで搬送するハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置に関する。

従来から、例えば特許文献１に記載のように、電子部品の電気的特性を検査する部品検査装置が知られている。この類の部品検査装置には、一般に、検査前の電子部品をトレイから検査用ソケットにまで搬送するハンドラーが用いられている。

上述したハンドラーには、電子部品を吸着するための吸着部と、該吸着部に吸着された電子部品を検査用ソケットに嵌め込むための押圧用のモーターとが搭載されている。そして、このようなハンドラーでは、電子部品がトレイから検査用ソケットに移載される際に、まず、トレイに載置された電子部品が吸着部によって吸着される。次いで、電子部品が吸着部に吸着された状態で、検査用ソケット上に電子部品が配置され、その後、上記モーターが駆動されることにより、電子部品の端子が検査用ソケットの端子に嵌め込まれる。これにより、電子部品の端子と検査用ソケットの端子とが接続されて電子部品の検査が行われることになる。

このとき、検査用ソケットの端子と電子部品の端子とが電気的に接続されるためには、電子部品に対して所定の押圧力が必要であって、こうした押圧力が、上記モーターによって加えられることになる。しかしながら、近年では、検査用ソケットに嵌め込まれる電子部品の個数が増える傾向にあるため、上記モーターの出力では、上記端子間の接続に十分な押圧力が、複数の電子部品の各々に加えることができなくなりつつある。そこで、上述したハンドラーには、押圧用の空圧シリンダーが搭載されるとともに、上記モーターよりも大きい押圧力が該空圧シリンダーから電子部品に加えられている。このような空圧シリンダーによる電子部品の押圧によれば、上述した端子間が確実に接続されるため、電子部品の検査が高い精度で行われることとなる。

特開２０１０−１０１７７６号公報

ところで、上述したように、ハンドラーは、検査前の電子部品を検査用ソケットに嵌め込む動作を行うばかりでなく、トレイに載置された検査前の電子部品を吸着部で吸着する動作も行う。この際、ハンドラーは、検査前の電子部品の上面に吸着部を押し当てた状態で該吸着部による電子部品の吸引を行い、これにより電子部品をトレイから持ち上げる。

一方、上述したシリンダーが電子部品に加える押圧力には、上記２つの端子の接続を確実なものとする程度に大きい力が必要とされている。そして、上記のように、検査前の電子部品の上面に吸着部が単に押し当てられる際にも、上記端子の接続に必要とされる大きな押圧力が、電子部品やトレイそのものに加えられることになる。その結果、吸着に必要とされる以上の押圧力が電子部品やトレイに加わることになるため、これら電子部品やトレイの変形を招くことも少なくない。

特に、検査用ソケットにて一度に検査される電子部品の個数が増えつつある近年では、上記端子間の接続に必要とされる押圧力が大きくなる一方である。それゆえに、トレイの全体に加えられる押圧力も自ずと大きくなることから、上述したような問題が一層顕在化してもいる。

なお、ハンドラーとは通常、上記検査用ソケットの他、組み立て処理用の装置等、搬送対象に対して所定の処理を行う外部装置が取り付けられる開口部を有するものである。そして、ハンドラーは、こうした開口部に対して、外部装置での所定の処理に応じた押圧力にて搬送対象を押圧する。また、ハンドラーは、上記トレイや搬送対象を運搬するコンベアー等の開口部以外の任意の位置において、搬送対象の吸引や載置のために該搬送対象の押圧を行う。そのため、上述したような問題とは、電子部品をトレイから検査用ソケットに移載するハンドラーに限らず、搬送対象を該ハンドラーの有する基台に形成された開口部と、基台における開口部以外の任意の位置との間で搬送するハンドラーに共通した問題でもある。

本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、搬送対象を基台に形成された開口部と開口部以外の任意の位置との間で搬送するハンドラーにおいて、搬送対象や基台が押圧により変形することを抑えることの可能なハンドラー、及び該ハンドラーを備える部品検査装置を提供することにある。

本発明の態様の一つでは、ハンドラーが、開口部が設けられた基台と、前記開口部の位置と前記基台の前記開口部以外の任意の位置とを搬送対象とともに移動する搬送部と、前記搬送部の駆動を制御する制御部と、を備え、前記搬送部には前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する押圧部が設けられ、前記制御部には前記押圧部の押圧力を少なくとも２段階に切り替える切り替え部が設けられ、前記搬送部が前記開口部以外の任意の位置にある時の前記押圧部の押圧力は、前記搬送部が前記開口部の位置にある時の前記押圧部の押圧力よりも小さい。

上記の態様によれば、搬送対象の受ける押圧力が、開口部と開口部以外の任意の位置とで少なくとも２段階に切り替えられ、しかも、開口部での押圧力と開口部以外の任意の位置での押圧力とでは、開口部以外の任意の位置での押圧力が相対的に低く、且つ開口部での押圧力が相対的に高くなる。それゆえに、基台における開口部以外の位置や該位置に載置された搬送対象に加わる押圧力が、開口部で加えられる押圧力よりも低くなる。そのため、ハンドラーの動作の一つである搬送対象の搬送動作によって、搬送対象や基台において押圧力の付与される位置が変形することを抑えることが可能である。

本発明の態様の一つは、前記押圧部が、圧縮空気により動作する押圧シリンダーを有し、前記切り替え部がバルブを有し、前記押圧シリンダーに供給する圧縮空気の空気圧が前記バルブによって切り替えられることが好ましい。

上記の態様によれば、押圧部が押圧シリンダーを有し、且つ、押圧シリンダーに供給される圧縮空気の空気圧がバルブによって切り替えられる。そのため、例えば電空レギュレーターを用いて押圧シリンダーに供給される圧縮空気の空気圧を切り替える場合と比較して、圧力の切り替え速度を高くすることができる。それゆえに、押圧力の切り替えにかかる時間が押圧シリンダーで短くなるため、開口部での押圧力とそれ以外の位置での押圧力とが切り替えられるようにしても、こうした動作に必要となる時間が、ハンドラーの処理時間に影響を及ぼし難くなる。

本発明の態様の一つは、前記押圧シリンダーを前記基台に向けて移動させるモーターを更に備え、前記制御部が、前記モーターの駆動を制御し、前記制御部は、前記押圧シリンダーが前記搬送対象に押圧力を加える状態で、前記モーターをトルク制御により駆動することが好ましい。

モーターを用いた搬送対象の押圧は、モーターの位置制御及びトルク制御の少なくとも一つにより行うことが可能である。なお、位置制御とは、押圧シリンダーの位置が所定の位置となるように、モーターの回転位置を制御するものである。他方、トルク制御とは、搬送対象に所定の押圧力が加わるように、モーターの発生トルクを制御するものである。

ここで、上記押圧シリンダーの押圧力が大きくなるほど、該押圧シリンダーの支持側に対する反力、すなわち上記モーターに対する負荷も大きくなる。このとき、上述した位置制御によりモーターが駆動されていると、モーターの出力が上記反力を上回らない限り、モーターの回転位置は目的とする回転位置に到達しないことになる。そして、モーターの駆動電流が増大し続けることとなり、モーターの内部に過剰な負荷が加わることとなる。

この点、上記の態様では、押圧シリンダーの押圧力が搬送対象に加わる状態で、モーターがトルク制御により駆動される。そのため、押圧シリンダーの伸長によって該押圧シリンダーの支持側が押し戻されたとしても、モーターが所定のトルクを出力する以上は、該モーターに過剰な負荷が加わることはない。

本発明の態様の一つは、前記制御部が、前記押圧シリンダーが前記搬送対象に押圧力を加える前に、前記モーターをトルク制御により駆動することが好ましい。
上記の態様によれば、押圧シリンダーが搬送対象に押圧力を加えるときには、モーターがトルク制御によって駆動されている。そのため、モーターに過剰な負荷が加わることがないうえ、搬送対象に加えられる押圧力が安定することにもなる。

本発明の態様の一つは、前記制御部が、前記搬送対象が前記開口部以外の任意の位置にある状態で、前記モーターを位置制御により駆動し、前記搬送対象が前記開口部の位置にある状態で、前記モーターをトルク制御により駆動することが好ましい。

押圧シリンダーが開口部以外の任意の位置に加える押圧力は、上述したように、押圧シリンダーが開口部の位置に加える押圧力よりも小さい。そのため、押圧シリンダーが上記任意の位置上で受ける反力も、押圧シリンダーが開口部上で受ける反力よりも小さくなる。上記の態様によれば、こうした反力が相対的に小さい状態でモーターが位置制御により駆動される。そのため、モーターに過剰な負荷が加わることを抑え、且つモーターの可動する範囲をトレイ上では予め設定された範囲内に留めることが可能となる。

本発明の態様の一つは、前記制御部が、前記搬送対象を押圧する前に前記押圧シリンダーに供給する圧縮空気の空気圧を下げることが好ましい。
上記の態様によれば、押圧シリンダーが押圧力を加えることに先駆けて、押圧シリンダーに供給される圧縮空気の空気圧が下げられることになる。

押圧シリンダーにおける押圧力の切り替えにかかる時間は、通常、供給される圧縮空気の空気圧における時間的な変化が大きいほど短く、反対に、同空気圧の時間的な変化が小さいほど長くなる。この点、押圧シリンダーの駆動に先駆けて押圧シリンダーに供給される圧縮空気の空気圧が下げられる上記態様であれば、押圧シリンダーに対する供給開始時の空気圧が低くなる分、圧縮空気の空気圧における時間的な変化が大きくなることになる。すなわち、押圧力の切り替えにかかる時間が押圧シリンダーで短くなるため、開口部での押圧力とそれ以外の位置での押圧力とが切り替えられるようにしても、こうした動作に必要となる時間が、ハンドラーの処理時間に影響を及ぼし難くなる。

本発明の態様の一つは、前記制御部が、前記搬送対象を押圧する前に前記押圧シリンダーに供給する圧縮空気の空気圧を大気圧に戻すことが好ましい。
上記の態様によれば、押圧シリンダーの作動の開始圧が、圧縮空気に対して十分に低い大気圧となる。これにより、押圧力の切り替えにかかる時間が短くなることは当然のことながら、供給開始時の空気圧を生成するための圧縮空気を別途準備する必要もなくなる。

本発明の態様の一つは、前記搬送部が、複数の前記搬送対象を前記開口部と前記開口部以外の任意の位置との間で同時に搬送する状態を有し、前記開口部と前記開口部以外の任意の位置とで複数の前記搬送対象を同時に押圧する状態を有することが好ましい。

搬送部によって複数の搬送対象が搬送される状態を有する態様、すなわち搬送部によって複数の搬送対象が押圧される状態を有する態様では、開口部の全体に加えられる押圧力が自ずと大きくなる状態を有する。この際、開口部での押圧力と開口部以外の位置での押圧力とが切り替え部で切り替えられることのない態様では、開口部の全体に加えられる押圧力に合わせて、開口部以外の位置の全体に加えられる押圧力も自ずと大きくなる状態を有する。それゆえに、搬送対象や基台に対し、搬送対象の保持に必要とされる以上の押圧力が加わり、搬送対象や基台の変形を招く頻度も高くなる。この点、上記の態様によれば、搬送対象の受ける押圧力が開口部とそれ以外の位置とで切り替えられるため、搬送対象及び基台にて押圧力の付与される位置が変形することを抑えられるという効果が、より顕著なものとなる。

本発明の態様の一つでは、部品検査装置が、検査用ソケットが取り付けられた開口部を有する基台と、前記開口部の位置と前記基台の前記開口部以外の任意の位置とを電子部品とともに移動する搬送部と、前記搬送部の駆動を制御する制御部と、を備え、前記搬送部には前記電子部品を前記基台に向けて押圧する押圧部が設けられ、前記制御部には前記押圧部の押圧力を少なくとも２段階に切り替える切り替え部が設けられ、前記搬送部が前記開口部以外の任意の位置にある時の前記押圧部の押圧力は、前記搬送部が前記開口部の位置にある時の前記押圧部の押圧力よりも小さい。

上記の態様によれば、電子部品の受ける押圧力が、検査用ソケットが取り付けられた開口部の位置と基台におけるそれ以外の位置とで切り替えられ、しかも、検査用ソケット以外の位置での押圧力と開口部での押圧力とでは、開口部以外の位置での押圧力が相対的に低く、且つ開口部での押圧力が相対的に高くなる。それゆえに、開口部以外の位置や該位置に載置された電子部品に加わる押圧力が、開口部で加えられる押圧力よりも低くなる。そのため、部品検査装置の動作の一つである電子部品の搬送動作によって、電子部品や基台において搬送動作により押圧力の付与される位置が変形することを抑えることが可能である。

本発明における部品検査装置の一実施形態の全体構成を示す概略平面図。 同部品検査装置が備えるハンドラーにおける搬送ユニットの周辺構造を該搬送ユニットに接続される空圧供給系とともに模式的に示す図。 同ハンドラーの電気的構成を示すブロック図。 同ハンドラーが備える押圧シリンダーの圧力の変更態様を示すタイミングチャート。 空圧供給系と搬送ユニットとの作動態様を示す図であって、（ａ）搬送ユニットの端面構造と（ｂ）空圧供給系の系統図とを対応付けて示す図。 空圧供給系と搬送ユニットとの作動態様を示す図であって、（ａ）搬送ユニットの端面構造と（ｂ）空圧供給系の系統図とを対応付けて示す図。 空圧供給系と搬送ユニットとの作動態様を示す図であって、（ａ）搬送ユニットの端面構造と（ｂ）空圧供給系の系統図とを対応付けて示す図。 空圧供給系と搬送ユニットとの作動態様を示す図であって、（ａ）搬送ユニットの端面構造と（ｂ）空圧供給系の系統図とを対応付けて示す図。 空圧供給系と搬送ユニットとの作動態様を示す図であって、（ａ）搬送ユニットの端面構造と（ｂ）空圧供給系の系統図とを対応付けて示す図。 空圧供給系と搬送ユニットとの作動態様を示す図であって、（ａ）搬送ユニットの端面構造と（ｂ）空圧供給系の系統図とを対応付けて示す図。 空圧供給系と搬送ユニットとの作動態様を示す図であって、（ａ）搬送ユニットの端面構造と（ｂ）空圧供給系の系統図とを対応付けて示す図。 空圧供給系と搬送ユニットとの作動態様を示す図であって、（ａ）搬送ユニットの端面構造と（ｂ）空圧供給系の系統図とを対応付けて示す図。

以下、本発明のハンドラー及び部品検査装置を具体化した一実施形態について、図１〜図１２を参照して説明する。まず、部品検査装置の構成について図１を参照して説明する。
［部品検査装置の構成］
図１に示されるように、部品検査装置の備えるハンドラー１０の基台１１には、各種ロボットの搭載される搭載面１１ａが上面として設けられ、該搭載面１１ａの大部分が、カバー部材１２によって覆われている。これらカバー部材１２と搭載面１１ａとにより囲まれた空間である搬送空間は、部品検査装置の外部から供給されるドライエアーにより湿度と温度とが所定の値に維持されている。

基台１１の搭載面１１ａには、一つの方向に延びる４つのコンベアーが、該コンベアーの搬送方向と直交する方向に配列されている。４つのコンベアーのうち、コンベアーの配列方向であるＸ方向の一方側には、２つの供給用コンベアーＣ１，Ｃ２が敷設され、他方、Ｘ方向の他方側には、２つの回収用コンベアーＣ３，Ｃ４が敷設されている。そして、供給用コンベアーＣ１，Ｃ２では、供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａが、カバー部材１２の外側から内側に向かって運ばれる。また、回収用コンベアーＣ３，Ｃ４では、回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａが、カバー部材１２の内側から外側に向かって運ばれる。なお、供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａには、搬送対象である検査前の複数の電子部品Ｔが収容され、また、回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａには、検査後の複数の電子部品Ｔが収容されている。

上記基台１１の搭載面１１ａ上には、Ｘ方向において互いに向かい合う供給ロボット２０と回収ロボット４０とが搭載されている。供給ロボット２０は、供給用コンベアーＣ１，Ｃ２のＹ方向に配置され、また、回収ロボット４０は、回収用コンベアーＣ３，Ｃ４のＹ方向に配置されている。

供給ロボット２０は、Ｙ方向に延びる固定軸である供給側固定ガイド２１と、供給側固定ガイド２１に連結された可動軸である供給側可動ガイド２２と、供給側可動ガイド２２に連結され、且つ供給側可動ガイド２２に沿って移動する供給用ハンドユニット２３とを有している。

供給側可動ガイド２２は、供給側固定ガイド２１から回収ロボット４０側へ延びる可動軸であって、供給側固定ガイド２１に対し、Ｙ方向に往動及び復動可能に連結されている。供給用ハンドユニット２３は、供給側可動ガイド２２の搭載面１１ａ側に配置されたエンドエフェクターであって、供給側可動ガイド２２に対し、Ｘ方向に往動及び復動可能に連結されている。また、供給用ハンドユニット２３は、供給側可動ガイド２２から搭載面１１ａに向けた下降と、搭載面１１ａ側から供給側可動ガイド２２に向けた上昇とが可能に、供給側可動ガイド２２に連結されている。

そして、供給側可動ガイド２２が、供給側固定ガイド２１に沿って供給用コンベアーＣ１，Ｃ２側へ移動するとともに、供給用ハンドユニット２３が、供給側可動ガイド２２に沿って供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａの直上にまで移動する。これにより、供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａに載置された電子部品Ｔが、供給用ハンドユニット２３に吸着され、その後、供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａから持ち上げられる。また、この状態から、供給側可動ガイド２２が、供給側固定ガイド２１に沿って供給用コンベアーＣ１，Ｃ２上から離れることによって、供給用ハンドユニット２３に吸着された電子部品Ｔが、上述した搬送空間内の所定の位置へ供給される。

回収ロボット４０は、供給ロボット２０と同じく、Ｙ方向に延びる固定軸である回収側固定ガイド４１と、回収側固定ガイド４１に連結された可動軸である回収側可動ガイド４２と、回収側可動ガイド４２に連結され、且つ回収側可動ガイド４２に沿ってＸ方向に移動する回収用ハンドユニット４３とを有している。

回収側可動ガイド４２は、回収側固定ガイド４１から供給ロボット２０側へ延びる可動軸であって、回収側固定ガイド４１に対し、Ｙ方向に往動及び復動可能に連結されている。回収用ハンドユニット４３は、回収側可動ガイド４２の搭載面１１ａ側に配置されたエンドエフェクターであって、回収側可動ガイド４２に対し、Ｘ方向に往動及び復動可能に連結されている。また、回収用ハンドユニット４３は、回収側可動ガイド４２から搭載面１１ａに向けた下降と搭載面１１ａ側から回収側可動ガイド４２に向けた上昇とが可能に、回収側可動ガイド４２に連結されている。

そして、回収側可動ガイド４２が、回収側固定ガイド４１に沿って回収用コンベアーＣ３，Ｃ４側へ移動するとともに、回収用ハンドユニット４３が、回収側可動ガイド４２に沿って、回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａの直上にまで移動する。これにより、回収用ハンドユニット４３に吸着された電子部品Ｔが、回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａに載置される。

カバー部材１２の内側面には、Ｙ方向に延びる搬送ガイド３１が、該内側面におけるＸ方向の略中央に固定されている。この搬送ガイド３１における両端部の下方には、Ｘ方向に延びる第１シャトル３２と、同じくＸ方向に延びる第２シャトル３５とが配設されている。

第１シャトル３２は、搭載面１１ａに固設されたＸ方向に延びる第１シャトルガイド３２ｃに連結され、Ｘ方向において、供給側可動ガイド２２及び回収側可動ガイド４２のいずれか一方と重なるように、Ｘ方向にスライドする。第１シャトル３２における上記供給ロボット２０側には、供給用シャトルトレイ３２ａが固定され、また、第１シャトル３２における上記回収ロボット４０側には、回収用シャトルトレイ３２ｂが固定されている。供給用シャトルトレイ３２ａには、搬送対象である検査前の複数の電子部品Ｔが収容され、また、回収用シャトルトレイ３２ｂには、検査後の複数の電子部品Ｔが収容されている。

第２シャトル３５は、これもまた、搭載面１１ａに固設されたＸ方向に延びる第２シャトルガイド３５ｃに連結され、Ｘ方向において、供給側可動ガイド２２及び回収側可動ガイド４２のいずれか一方と重なるように、Ｘ方向にスライドする。第２シャトル３５における上記供給ロボット２０側には、供給用シャトルトレイ３５ａが固定され、また、第２シャトル３５における上記回収ロボット４０側には、回収用シャトルトレイ３５ｂが固定されている。供給用シャトルトレイ３５ａには、搬送対象である検査前の複数の電子部品Ｔが収容され、また、回収用シャトルトレイ３５ｂには、検査後の複数の電子部品Ｔが収容されている。

搭載面１１ａのうち、搬送空間の略中央には、搭載面１１ａを貫通する開口部としての矩形開口１１ｂが設けられるとともに、複数の電子部品Ｔの検査を同時に行う接続先としての検査用ソケット３３が該矩形開口１１ｂに埋設されている。本実施形態では、矩形開口１１ｂの内形と検査用ソケット３３の外形とは一致した形状になっているが、必ずしも、これに限定されるものではなく、開口部の中に検査用ソケット３３が入る形状であればよい。検査用ソケット３３は、電子部品Ｔが嵌め込まれるソケットであって、該電子部品Ｔを検査するための図示されない検査ユニットに連結されている。検査ユニットは、基台１１の内部に収容されたハンドラー１０とは別体の装置であって、ハンドラー１０とともに部品検査装置を構成している。

検査用ソケット３３の上面には、複数の電子部品Ｔを同時に収容することの可能な検査用ポケット３３ａが凹設され、また、検査用ポケット３３ａの底面には、電子部品Ｔの雄端子と嵌合可能な複数の雌端子が凹設されている。そして、電子部品Ｔの有する雄端子が検査用ポケット３３ａの雌端子に嵌め込まれることによって、該電子部品Ｔの電気的特性が検査可能になる。なお、検査用ポケット３３ａの有する端子は、基台１１内に搭載された別体である検査ユニットに接続され、電子部品Ｔの有する端子は、検査用ポケット３３ａの有する端子を介し、検査ユニット内の検査回路に接続される。そして、検査用ソケット３３による検査の結果は、該検査ユニットからハンドラー１０に出力される。

上記搬送ガイド３１には、搬送部を構成する第１搬送ユニット３４と第２搬送ユニット３６とがＹ方向に並んで連結されている。
第１搬送ユニット３４は、第１シャトル３２と検査用ソケット３３との間を、Ｙ方向に沿って往動及び復動する。第１搬送ユニット３４の下端部は、搬送ガイド３１と搭載面１１ａとの間を、Ｚ方向に沿って下降及び上昇する。そして、第１搬送ユニット３４は、基台１１における開口部以外の任意の位置の一例である供給用シャトルトレイ３２ａに収容された電子部品Ｔを該第１搬送ユニット３４の下端部で保持したり、保持した電子部品Ｔを検査用ソケット３３にまで搬送したり、該電子部品Ｔを検査用ソケット３３に嵌め込んだりする。また、第１搬送ユニット３４は、検査用ソケット３３に嵌め込まれた電子部品Ｔを該第１搬送ユニット３４の下端部で取り出したり、取り出した電子部品Ｔを回収用シャトルトレイ３２ｂに載置したりする。

第２搬送ユニット３６は、第２シャトル３５と検査用ソケット３３との間を、Ｙ方向に沿って往動及び復動する。第２搬送ユニット３６の下端部は、搬送ガイド３１と搭載面１１ａとの間を、Ｚ方向に沿って下降及び上昇する。そして、第２搬送ユニット３６は、供給用シャトルトレイ３５ａに載置された電子部品Ｔを該第２搬送ユニット３６の下端部で保持したり、保持した電子部品Ｔを検査用ソケット３３にまで搬送したり、該電子部品Ｔを検査用ソケット３３に嵌め込んだりする。また、第２搬送ユニット３６は、検査用ソケット３３に嵌め込まれた電子部品Ｔを該第２搬送ユニット３６の下端部で取り出したり、取り出した電子部品Ｔを回収用シャトルトレイ３５ｂに載置したりする。
［部品検査装置の作用］
上記ハンドラー１０では、まず、検査前の電子部品Ｔが、外部装置から供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａに移載される。次いで、供給用コンベアーＣ１，Ｃ２が駆動されることによって、検査前の電子部品Ｔが搬送空間内にまで運ばれる。そして、検査前の電子部品Ｔが搬送空間内にまで運ばれると、供給側可動ガイド２２が、供給側固定ガイド２１に沿って供給用コンベアーＣ１，Ｃ２上にまで移動する。続いて、供給用ハンドユニット２３が、供給用コンベアートレイＣ１ａ，Ｃ２ａの直上にまで移動して電子部品Ｔを保持すると、供給側可動ガイド２２が、供給側固定ガイド２１に沿って第１シャトル３２上まで移動する。

次いで、供給側可動ガイド２２が第１シャトル３２上に到達すると、供給用ハンドユニット２３が第１シャトル３２上まで移動するとともに、供給用シャトルトレイ３２ａの直上に供給用ハンドユニット２３が位置するように、第１シャトル３２もスライドする。そして、供給用ハンドユニット２３の保持した検査前の電子部品Ｔが、供給用ハンドユニット２３から供給用シャトルトレイ３２ａに移載される。

検査前の電子部品Ｔが供給用シャトルトレイ３２ａに移載されると、第１搬送ユニット３４が第１シャトル３２上にまで移動するとともに、供給用シャトルトレイ３２ａの直上に第１搬送ユニット３４の下端部が位置するように、第１シャトル３２もスライドする。次いで、第１搬送ユニット３４の下端部が、供給用シャトルトレイ３２ａに向けて下降し、供給用シャトルトレイ３２ａに移載された検査前の電子部品Ｔが、第１搬送ユニット３４の下端部に保持される。続いて、第１搬送ユニット３４が検査用ソケット３３上にまで移動し、検査前の電子部品Ｔが、検査用ソケット３３の直上にまで搬送される。そして、検査前の電子部品Ｔが、第１搬送ユニット３４の下端部とともに下降することによって、検査用ポケット３３ａ内の雌端子に対し、電子部品Ｔの雄端子が嵌め込まれる。

このようにして検査用ソケット３３に検査前の電子部品Ｔが嵌め込まれると、電子部品Ｔの検査を開始するための検査開始信号が、ハンドラー１０から検査ユニットに出力され、これにより、電子部品Ｔの検査が検査ユニットにて開始される。

その後、電子部品Ｔの検査が終了したことを示す検査終了信号が、検査ユニットからハンドラー１０に出力されると、検査後の電子部品Ｔが第１搬送ユニット３４に保持された状態で、第１搬送ユニット３４の下端部が上昇し、これにより検査後の電子部品Ｔが検査用ソケット３３から取り出される。続いて、第１搬送ユニット３４が、検査用ソケット３３上から第１シャトル３２上にまで移動するとともに、回収用シャトルトレイ３２ｂの直上に第１搬送ユニット３４が位置するように、第１シャトル３２がスライドする。そして、第１搬送ユニット３４の下端部が下降して電子部品Ｔの保持が解除されると、検査後の電子部品Ｔが第１搬送ユニット３４から回収用シャトルトレイ３２ｂに移載される。

検査後の電子部品Ｔが回収用シャトルトレイ３２ｂに移載されると、回収側可動ガイド４２が回収側固定ガイド４１に沿って第１シャトル３２上にまで移動する。さらに、回収側可動ガイド４２が第１シャトル３２上に移動すると、回収用ハンドユニット４３が第１シャトル３２上にまで移動するとともに、回収用シャトルトレイ３２ｂの直上に回収用ハンドユニット４３が位置するように、第１シャトル３２もスライドする。そして、回収用シャトルトレイ３２ｂに移載された検査後の電子部品Ｔが、回収用ハンドユニット４３に保持される。

検査後の電子部品Ｔが回収用ハンドユニット４３に保持されると、回収側可動ガイド４２が、第１シャトル３２上から回収用コンベアーＣ３，Ｃ４上にまで移動する。次いで、回収用ハンドユニット４３が回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａの直上にまで移動し、検査後の電子部品Ｔが、検査結果毎に分類された状態で、回収用コンベアートレイＣ３ａ，Ｃ４ａに移載される。

なお、供給ロボット２０と第２シャトル３５との間でも、上述した供給ロボット２０と第１シャトル３２との間と同様に、検査前の電子部品Ｔが移載される。また、第２シャトル３５と第２搬送ユニット３６との間でも、上述した第１シャトル３２と第１搬送ユニット３４との間と同様に、検査前の電子部品Ｔ及び検査後の電子部品Ｔが移載される。さらにまた、第２シャトル３５と回収ロボット４０との間でも、上述した第１シャトル３２と回収ロボット４０との間と同様に、検査後の電子部品Ｔが移載される。
［ハンドラーの詳細構成］
次に、ハンドラー１０の備える第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の構成について図２を参照して詳細に説明する。なお、第１搬送ユニット３４と第２搬送ユニット３６とは、搬送ガイド３１との連結位置や移動先となるシャトルが互いに異なるものの、電子部品Ｔを押圧するための構成が同様であるため、以下では、第１搬送ユニット３４について説明し、第２搬送ユニット３６についての説明は割愛する。また、図２は、第１搬送ユニット３４の周辺構造を供給ロボット２０側からみた端面図であり、第１シャトル３２の直上に第１搬送ユニット３４が配置された状態を示している。

上述した搬送ガイド３１には、検査前の電子部品Ｔを搬送するための第１搬送ユニット３４が連結されている。第１搬送ユニット３４を構成する水平移動アーム５１は、搬送ガイド３１に沿って往動及び復動可能に連結されている。水平移動アーム５１の下端部には、垂直移動アーム５２が、水平移動アーム５１に対し上昇及び下降可能に連結されている。垂直移動アーム５２は、水平移動アーム５１内に搭載された押圧モーター５１Ｍが回転することによって、水平移動アーム５１に対して上昇及び下降する。また、垂直移動アーム５２の下端部には、空圧によって動作する押圧シリンダー５３が、垂直移動アーム５２に対しＺ方向に伸長及び収縮可能に連結されている。さらに、押圧シリンダー５３の下端部には、例えば真空吸着によって電子部品Ｔを吸着することの可能なエンドエフェクターである複数の吸着部５４が連結されている。吸着部５４は、例えば吸着用のノズルと、該ノズルに接続された真空ポンプ等によって構成されている。

押圧シリンダー５３には、該押圧シリンダー５３に圧縮空気を供給するための圧縮空気供給管ＧＬが接続されている。圧縮空気供給管ＧＬの途中には、押圧シリンダー５３側から順に、切り替え部としての高圧バルブＶ１、低圧バルブＶ２、及び大気圧バルブＶ３が直列に連結されている。なお、本実施形態では、これらバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３を有する切り替え部が、搬送部である第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の駆動を制御する制御部を構成している。

高圧バルブＶ１は、３つのポートを有した電磁式の三方弁であり、３つのポートには、押圧シリンダー５３、低圧バルブＶ２、及び高圧供給系Ｐ１が接続されている。高圧供給系Ｐ１は、部品検査装置の設置された施設が備えるガス供給系の一つであって、大気圧を基準圧力としたときの相対圧力が、例えば０．５ＭＰａとなる圧縮空気を供給する。そして、高圧バルブＶ１は、バルブの開閉信号に応じて、低圧バルブＶ２及び高圧供給系Ｐ１のいずれか一方と押圧シリンダー５３とを連通し、他方との連通を遮断する。

低圧バルブＶ２は、これもまた３つのポートを有した電磁式の三方弁であり、３つのポートには、高圧バルブＶ１、大気圧バルブＶ３、及び低圧供給系Ｐ２が接続されている。低圧供給系Ｐ２は、これもまた部品検査装置の設置された施設が備えるガス供給系の一つであって、大気圧を基準圧力としたときの相対圧力が、例えば０．０５ＭＰａとなる圧縮空気を供給する。そして、低圧バルブＶ２は、バルブの開閉信号に応じて、大気圧バルブＶ３及び低圧供給系Ｐ２のいずれか一方と高圧バルブＶ１と連通し、他方との連通を遮断する。

大気圧バルブＶ３は、２つのポートを有した電磁式の二方弁であり、２つのポートには、低圧バルブＶ２と大気圧供給系Ｐ３とが接続されている。大気圧供給系Ｐ３は、部品検査装置の設置された施設内に開放されたポートである。そして、大気圧バルブＶ３は、バルブの開閉信号に応じて、大気圧供給系Ｐ３と低圧バルブＶ２との間において、連通と非連通とを切り替える。

このように、押圧シリンダー５３には、圧縮空気供給管ＧＬ上に連結された３つのバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３を介し、互いに異なる３つの圧力供給系が接続されている。そのため、高圧供給系Ｐ１、低圧供給系Ｐ２、及び大気圧供給系Ｐ３のいずれか一つが接続されたポートのみが開弁し、他方、その他が接続されたポートが閉弁することで、押圧シリンダー５３に対し、上記高圧、低圧、及び大気圧のいずれかが、作動圧として加えられることになる。
［ハンドラーの電気的構成］
上記ハンドラー１０の電気的構成について図３を参照して説明する。上記ハンドラー１０に備えられた制御装置６０は、中央処理装置（ＣＰＵ）、不揮発性メモリ（ＲＯＭ）、及び揮発性メモリ（ＲＡＭ）を有するマイクロコンピューターを中心に構成されている。制御装置６０は、上記ＲＯＭ及びＲＡＭに格納された各種データ及びプログラムに基づいて、ハンドラー１０の動作にかかわる各種制御を行う。制御装置６０は、搬送部の駆動を制御する制御部を構成している。

制御装置６０には、コンベアーモーターＭＣを回転駆動させるコンベアー駆動部６１が接続されている。コンベアー駆動部６１には、コンベアーモーターＭＣの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＣが接続されている。コンベアー駆動部６１は、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＣから入力されたコンベアーモーターＭＣの回転位置とに基づいて、コンベアーモーターＭＣの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をコンベアーモーターＭＣに出力する。コンベアーモーターＭＣは、上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記コンベアーＣ１〜Ｃ４を駆動する。なお、上記コンベアー駆動部６１及びコンベアーモーターＭＣは、コンベアーＣ１〜Ｃ４毎に設けられ、また、エンコーダーＥＭＣは各コンベアーモーターＭＣに対して設けられている。

制御装置６０には、ガイドモーターＭＸを回転駆動させる可動ガイド駆動部６２が接続されている。可動ガイド駆動部６２には、ガイドモーターＭＸの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＸが接続されている。可動ガイド駆動部６２は、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＸから入力された回転位置とに基づいて、ガイドモーターＭＸの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をガイドモーターＭＸに出力する。ガイドモーターＭＸは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記可動ガイド２２，４２を固定ガイド２１，４１に沿って往動及び復動させる。なお、上記可動ガイド駆動部６２及びガイドモーターＭＸは、供給側可動ガイド２２及び回収側可動ガイド４２の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＸは、各ガイドモーターＭＸに対して設けられている。

制御装置６０には、シャトルモーターＭＳを回転駆動させるシャトル駆動部６３が接続されている。シャトル駆動部６３には、シャトルモーターＭＳの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＳが接続されている。シャトル駆動部６３は、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＳから入力された回転位置とに基づいて、シャトルモーターＭＳの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をシャトルモーターＭＳに出力する。シャトルモーターＭＳは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記ガイド３２ｃ，３５ｃに沿ってシャトル３２，３５をスライドさせる。なお、上記シャトル駆動部６３及びシャトルモーターＭＳは、第１シャトル３２及び第２シャトル３５の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＳは、各シャトルモーターＭＳに対して設けられている。

制御装置６０には、ハンドモーター駆動部６４ａと吸引バルブ駆動部６４ｂとを有するハンドユニット駆動部６４が接続されている。このうち、ハンドモーター駆動部６４ａには、ハンドモーターＭＺの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＺが接続されている。ハンドモーター駆動部６４ａは、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＺから入力された回転位置とに基づいて、ハンドモーターＭＺの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流をハンドモーターＭＺに出力する。ハンドモーターＭＺは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記ハンドユニット２３，４３を上昇及び下降させる。

吸引バルブ駆動部６４ｂには、ハンドユニット２３，４３の先端に設けられた吸引バルブＳＶ１の開放量を検出する吸引センサーＥＳＶ１が接続されている。吸引バルブ駆動部６４ｂは、制御装置６０から入力された開度指令と、吸引センサーＥＳＶ１から入力された開放量とに基づいて、吸引バルブＳＶ１の駆動信号を生成するとともに、該駆動信号を吸引バルブＳＶ１に出力する。吸引バルブＳＶ１は、入力された上記駆動信号に応じた開閉を行うことで、その開放量に応じた吸引力にて上記電子部品Ｔを吸引する。なお、上記ハンドユニット駆動部６４、ハンドモーターＭＺ、及び吸引バルブＳＶ１は、供給用ハンドユニット２３及び回収用ハンドユニット４３の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＺ，吸引センサーＥＳＶ１は、ハンドモーターＭＺ及び吸引バルブＳＶ１の各々に対して設けられている。

制御装置６０には、搬送モーター駆動部６５ａ、押圧モーター駆動部６５ｂ、シリンダー圧切り替え部６５ｃ、及び吸引バルブ駆動部６５ｄを有した搬送ユニット駆動部６５が接続されている。

搬送モーター駆動部６５ａには、搬送モーターＭＹの回転位置を検出するエンコーダーＥＭＹが接続されている。搬送モーター駆動部６５ａは、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥＭＹから入力された回転位置とに基づいて、搬送モーターＭＹの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力する。搬送モーターＭＹは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、上記搬送ユニット３４，３６を上記搬送ガイド３１に沿って往動及び復動させる。なお、上記搬送モーター駆動部６５ａは、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられ、また、エンコーダーＥＭＹも、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられている。

押圧モーター駆動部６５ｂには、押圧モーター５１Ｍの回転位置を検出するエンコーダーＥ５１Ｍが接続されている。押圧モーター駆動部６５ｂは、制御装置６０から入力された位置指令と、エンコーダーＥ５１Ｍから入力された回転位置とに基づいて、押圧モーター５１Ｍの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。押圧モーター５１Ｍは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、垂直移動アーム５２を上昇及び下降させる。

また、押圧モーター駆動部６５ｂには、押圧モーター５１Ｍにおける駆動電流の実値を計測する電流計測部Ｉ５１Ｍが接続されている。押圧モーター駆動部６５ｂは、制御装置６０から入力されたトルク指令と、電流計測部Ｉ５１Ｍから入力された計測値とに基づいて、押圧モーター５１Ｍの駆動電流を生成するとともに、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。押圧モーター５１Ｍは、入力された上記駆動電流に応じた回転を行うことで、垂直移動アーム５２を上昇及び下降させる。

ちなみに、制御装置６０は、押圧モーター５１Ｍの駆動制御の方法として、位置制御モードとトルク制御モードとを選択する。このうち、位置制御モードとは、上記搬送ユニット３４，３６の端部に連結された吸着部５４が所定の位置となるように、上記位置指令に基づいて押圧モーター５１Ｍの駆動を制御する方法である。他方、トルク制御モードとは、押圧モーター５１Ｍの回転によって生じるトルクが所定の大きさに維持されるように、上記トルク指令に基づいて押圧モーター５１Ｍの駆動を制御する方法である。なお、上記押圧モーター駆動部６５ｂは、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられ、また、電流計測部Ｉ５１Ｍも、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられている。

シリンダー圧切り替え部６５ｃは、制御装置６０から入力された高圧切り替え指令に基づいて、高圧供給系Ｐ１と押圧シリンダー５３とが連通するための各バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３の駆動信号を生成するとともに、該各駆動信号を駆動対象となるバルブに出力する。また、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、制御装置６０から入力された低圧切り替え指令に基づいて、低圧供給系Ｐ２と押圧シリンダー５３とが連通するための各バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３の駆動信号を生成するとともに、該各駆動信号を駆動対象となるバルブに出力する。また、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、制御装置６０から入力された大気圧切り替え指令に基づいて、大気圧供給系Ｐ３と押圧シリンダー５３とが連通するための各バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３の駆動信号を生成するとともに、該各駆動信号を駆動対象となるバルブに出力する。このような駆動信号がバルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３に入力されることで、作動圧の供給系に応じた伸長量で押圧シリンダー５３が伸長し、また、作動圧の供給系に応じた収縮量で押圧シリンダー５３が収縮する。なお、上記シリンダー圧切り替え部６５ｃは、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられている。

吸引バルブ駆動部６５ｄには、吸引バルブＳＶ２の開放量を検出する吸引センサーＥＳＶ２が接続されている。吸引バルブ駆動部６５ｄは、制御装置６０から入力された開度指令と、吸引センサーＥＳＶ２から入力された開放量とに基づいて、吸引バルブＳＶ２の駆動信号を生成するとともに、該駆動信号を吸引バルブＳＶ２に出力する。そして、吸引バルブＳＶ２は、その開放量に応じた吸引力にて上記電子部品Ｔを吸引する。なお、吸引バルブ駆動部６５ｄは、第１搬送ユニット３４及び第２搬送ユニット３６の各々に対して設けられている。また、吸引センサーＥＳＶ２は、吸引バルブＳＶ２の各々に対して設けられている。
［ハンドラーの作用］
次に、シャトルトレイに収容された電子部品Ｔが、検査用ソケット３３に嵌め込まれる際の、各種モーターの駆動の態様と各種バルブの駆動の態様とを、上述した構成に基づき、図４〜図１２を参照して説明する。なお、第１搬送ユニット３４による搬送の態様と第２搬送ユニット３６による搬送の態様とは、電子部品Ｔの供給元や電子部品Ｔの搬送方向が互いに異なるものの、それ以外では互いに同様の態様であるため、以下では、第１搬送ユニット３４における上記態様についてのみ例示する。

なお、図４には、搬送モーターＭＹに対する位置指令が、第１搬送ユニット３４の動作とともに便宜的に示され、また、押圧モーター５１Ｍに対する位置指令やトルク指令が、垂直移動アーム５２の動作及び制御モードとともに便宜的に示されている。また、図５〜図１２には、図４に示される各タイミングＴ０〜Ｔ９での搬送ユニット３４の駆動態様と空圧供給系の駆動態様とが互いに対応付けられた状態で示されている。
［搬送ユニットセット期間：Ｔ０−Ｔ１］
まず、図４に示されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。この際、制御装置６０が出力する位置指令は、第１搬送ユニット３４の吸着部５４を供給用シャトルトレイ３２ａの直上に配置するためのものである。そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力する。これにより、搬送モーターＭＹがタイミングＴ０から所定方向への回転を開始し、第１シャトル３２の吸着部５４が電子部品Ｔの直上に到達するまで、第１搬送ユニット３４が第１シャトル３２に向けて往動する（図５（ａ）参照）。

なお、上述した搬送ユニットセット期間では、垂直移動アーム５２の下端部が最上位置を維持するように、制御装置６０は、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。これにより、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転を抑える。

また、上述した搬送ユニットセット期間では、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系が大気圧供給系Ｐ３になるように、制御装置６０は、シリンダー圧切り替え部６５ｃに対し大気圧切り替え指令を出力する。そして、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、大気圧切り替え指令に基づく駆動信号を生成し、該駆動信号を各バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３に出力する。これにより、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系を大気圧供給系Ｐ３にするとともに、押圧シリンダー５３の伸長量を最小値に維持する（図５（ｂ）参照）。

そして、上述したように、垂直移動アーム５２の下端部が最上位置に維持され、且つ押圧シリンダー５３の伸長量が最小値に維持されることにより、吸着部５４がそれの最上位置に配置される。なお、吸着部５４の最上位置とは、水平移動アーム５１が搬送ガイド３１に沿って移動するときに、吸着部５４と他の部材とが衝突しない位置である。
［下降・吸着期間：Ｔ１−Ｔ３］
吸着部５４が電子部品Ｔの直上に到達すると、吸着部５４が電子部品Ｔの上面と当接するように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ１にて、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。この際、制御装置６０は、上述した位置制御モードでの位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。これにより、押圧モーター５１Ｍが、タイミングＴ１から所定方向への回転を開始し、吸着部５４が電子部品Ｔの上面に当接するまで、垂直移動アーム５２が下降する。

また、押圧シリンダー５３の作動圧が低圧供給系Ｐ２になるように、制御装置６０は、タイミングＴ１にて、シリンダー圧切り替え部６５ｃに対し低圧切り替え指令を出力する。そして、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、低圧切り替え指令に基づく駆動信号を生成し、該駆動信号を各バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３に出力する。これにより、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系が、大気圧供給系Ｐ３から低圧供給系Ｐ２に切り替えられるとともに、押圧シリンダー５３が、低圧供給系Ｐ２の供給圧に応じて伸長して電子部品Ｔを押圧する。

そして、上述したように、押圧モーター５１Ｍの位置制御により吸着部５４の位置が所定の位置に維持されるため、電子部品Ｔには、押圧モーター５１Ｍからの押圧力Ｆｂａｓｅと押圧シリンダー５３からの押圧力Ｆｌｏｗとが加えられることとなる。なお、押圧シリンダー５３からは、低圧供給系Ｐ２の供給圧に応じた押圧力Ｆｌｏｗが加えられる。こうした押圧力Ｆｌｏｗとは、試験等によって予め設定されたものであり、押圧力Ｆｂａｓｅと押圧力Ｆｌｏｗとの合力が電子部品Ｔの吸着に足りる力であって、且つ該合力により電子部品Ｔや供給用シャトルトレイ３２ａが変形しない程度のものである（図６（ａ）（ｂ）参照）。

この間、吸着部５４が電子部品Ｔを真空吸着できるように、制御装置６０は、タイミングＴ２にて、吸引バルブ駆動部６５ｄに対し吸引バルブＳＶ２の開度指令を出力する。そして、吸引バルブ駆動部６５ｄは、吸引バルブＳＶ２の現在の開度と上記開度指令とに基づく駆動信号を生成し、該駆動信号を吸引バルブＳＶ２に出力する。これにより、吸着部５４による電子部品Ｔの吸着が開始される。

なお、上述した下降・吸着期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力して該搬送モーターＭＹの回転を抑える。
［上昇期間：Ｔ３−Ｔ４］
電子部品Ｔが吸着部５４に吸着されると、垂直移動アーム５２の下端部が最上位置にまで戻るように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ３にて、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。また、制御装置６０は、同タイミングＴ３にて、シリンダー圧切り替え部６５ｃに対し大気圧切り替え指令を出力する。

そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。これにより、押圧モーター５１Ｍは、タイミングＴ３以前までとは逆の方向へ回転して垂直移動アーム５２を最上位置にまで戻す。

また、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、大気圧切り替え指令に基づく駆動信号を生成し、該駆動信号を各バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３に出力する。そして、大気圧供給系Ｐ３と押圧シリンダー５３とが連通するように各バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３が駆動されて、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系が、低圧供給系Ｐ２から大気圧供給系Ｐ３に切り替えられる。これにより、押圧シリンダー５３は、その伸長量を最小値にまで戻す。

そして、電子部品Ｔに対する押圧力Ｆｂａｓｅ及び押圧力Ｆｌｏｗが解除されるとともに、水平移動アーム５１の移動時に他の部材等と電子部品Ｔとが衝突しない位置である最上位置まで、電子部品Ｔが持ち上げられる（図７（ａ）（ｂ）参照）。

なお、上述した上昇期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力して搬送モーターＭＹの回転を抑える。

また、上述した上昇期間では、吸着部５４が電子部品Ｔを真空吸着し続けるように、制御装置６０は、吸引バルブ駆動部６５ｄに対し吸引バルブＳＶ２の開度指令を出力する。そして、吸引バルブ駆動部６５ｄは、吸引バルブＳＶ２の現在の開度と上記開度指令とに基づく駆動信号を生成し、該駆動信号を吸引バルブＳＶ２に出力して吸着部５４による電子部品Ｔの吸着を維持する。
［搬送期間：Ｔ４−Ｔ５］
電子部品Ｔが吸着部５４により持ち上げられると、吸着部５４が検査用ソケット３３の直上に位置するように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ４にて、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力する。これにより、搬送モーターＭＹが所定方向への回転を開始し、第１搬送ユニット３４の吸着部５４が検査用ソケット３３の直上に到達するまで、第１搬送ユニット３４が検査用ソケット３３に向けて復動する（図８（ａ）（ｂ）参照）。

なお、上述した搬送期間では、垂直移動アーム５２の下端部が最上位置を維持するように、制御装置６０は、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。また、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系が大気圧供給系Ｐ３で維持されるように、制御装置６０は、シリンダー圧切り替え部６５ｃに対し大気圧切り替え指令を出力する。さらにまた、吸着部５４が電子部品Ｔを吸着し続けるように、制御装置６０は、吸引バルブ駆動部６５ｄに対し吸引バルブＳＶ２の開度指令を出力する。

そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、垂直移動アーム５２の下端部を最上位置に維持するとともに、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、押圧シリンダー５３の伸長量を最小値に維持する。この状態で、吸引バルブ駆動部６５ｄは、吸着部５４で電子部品Ｔを保持し続ける。
［モーター押圧期間：Ｔ５-Ｔ６］
吸着部５４が検査用ソケット３３の直上に到達すると、吸着部５４に吸着された電子部品Ｔが検査用ソケット３３に収容されるように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ５にて、押圧モーター駆動部６５ｂに対しトルク制御モードでのトルク指令を出力する。この際、上述した押圧力Ｆｂａｓｅと押圧力Ｆｌｏｗとの合力よりも大きい押圧力Ｆｃｏｎが電子部品Ｔに対し加えられるように、制御装置６０はトルク指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、電流計測部Ｉ５１Ｍとトルク指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。

これにより、押圧モーター５１Ｍは、タイミングＴ５から所定方向への回転を開始し、検査用ソケット３３に電子部品Ｔが収容されるまで、垂直移動アーム５２が下降する。その後、検査用ソケット３３に電子部品Ｔが収容されると、押圧モーター５１Ｍは、さらに所定のトルクを出力して電子部品Ｔに対し上述した押圧力Ｆｃｏｎを加え、検査用ソケット３３に対し電子部品Ｔを位置決めする（図９（ａ）参照）。

なお、上述したモーター押圧期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。また、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系が大気圧供給系Ｐ３で維持されるように、制御装置６０は、シリンダー圧切り替え部６５ｃに対し大気圧切り替え指令を出力する。さらにまた、吸着部５４が電子部品Ｔを真空吸着できるように、制御装置６０は、吸引バルブ駆動部６５ｄに対して吸引バルブＳＶ２の開度指令を出力する。

そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転を抑えるとともに、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、押圧シリンダー５３の伸長量を最小値に維持する。この状態で、吸引バルブ駆動部６５ｄは、吸着部５４で電子部品Ｔを吸引し続ける。
［シリンダー押圧期間：Ｔ６−Ｔ７］
電子部品Ｔが検査用ソケット３３に収容されると、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系が高圧供給系Ｐ１になるように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ６にて、シリンダー圧切り替え部６５ｃに対し高圧切り替え指令を出力する。そして、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、高圧切り替え指令に基づく駆動信号を生成し、該駆動信号を各バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３に出力する。これにより、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系を高圧供給系Ｐ１にするとともに、電子部品Ｔに対し、さらに押圧力Ｆｈｉｇｈを加える（図１０（ａ）（ｂ）参照）。そして、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系が高圧供給系Ｐ１に切り替えられると、制御装置６０は、検査を開始するための検査開始信号を検査ユニットに対して出力する。

なお、上述したシリンダー押圧期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。また、押圧モーター５１Ｍからの押圧力Ｆｃｏｎが維持されるように、制御装置６０は、押圧モーター駆動部６５ｂに対しトルク制御モードでのトルク指令を出力する。さらにまた、吸着部５４が電子部品Ｔを真空吸着できるように、制御装置６０は、吸引バルブ駆動部６５ｄに対して吸引バルブＳＶ２の開度指令を出力する。

そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転を抑えるとともに、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの出力トルクを所定の値に維持する。この状態で、吸引バルブ駆動部６５ｄは、吸着部５４で電子部品Ｔを吸引し続ける。

この際、押圧シリンダー５３からは、高圧供給系Ｐ１の供給圧に応じた押圧力Ｆｈｉｇｈが加えられる。こうした押圧力Ｆｈｉｇｈとは、試験等によって予め設定されたものであって、電子部品Ｔの端子と検査用ソケット３３の端子との嵌合に足りる力である。また、押圧力Ｆｈｉｇｈとは、上述した押圧力Ｆｂａｓｅと押圧力Ｆｌｏｗとの合力よりも大きい力であって、且つ、該押圧力Ｆｈｉｇｈでの押圧により、電子部品Ｔや検査用ソケット３３が変形しない程度のものである。そして、このような押圧力Ｆｈｉｇｈが電子部品Ｔに加えられることによって、電子部品Ｔの端子と検査用ソケット３３の端子との電気的な接続が確実に行われることとなる。また、押圧シリンダー５３の押圧力が作動圧の切り替えにより行われるため、押圧力Ｆｈｉｇｈへの切り替え、すなわち電子部品Ｔの端子と検査用ソケット３３の端子との接続が、短時間で行われることとなる。

ちなみに、押圧モーター５１Ｍを用いた電子部品Ｔの押圧は、押圧モーター５１Ｍの位置制御及びトルク制御の少なくとも一つにより行うことができる。ここで、押圧シリンダー５３の押圧力が大きくなるほど、該押圧シリンダー５３の支持側に対する反力、すなわち押圧モーター５１Ｍに対する負荷も大きくなる。このとき、上述した位置制御モードにより押圧モーター５１Ｍが駆動されていると、押圧モーター５１Ｍの出力が上記反力を上回らない限り、押圧モーター５１Ｍの回転位置は目的とする回転位置に到達しないことになる。そして、押圧モーター５１Ｍの駆動電流が増大し続けることとなり、押圧モーター５１Ｍの内部に過剰な負荷が加わることとなる。

この点、上述したシリンダー押圧期間では、押圧シリンダー５３の押圧力が電子部品Ｔに加わる状態で、押圧モーター５１Ｍがトルク制御モードにより駆動される。そのため、押圧シリンダー５３の伸長によって垂直移動アーム５２が押し戻されたとしても、押圧モーター５１Ｍが所定のトルクを出力する以上は、該押圧モーター５１Ｍに過剰な負荷が加わることはない。
［シリンダー押圧解除期間：Ｔ７−Ｔ８］
検査ユニットにおいて電子部品Ｔの検査が終了すると、電子部品Ｔの回収を開始するための検査終了信号が検査ユニットから制御装置６０に出力される。次いで、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系が大気圧供給系Ｐ３になるように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ７にて、シリンダー圧切り替え部６５ｃに対し大気圧切り替え指令を出力する。そして、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、大気圧切り替え指令に基づく駆動信号を生成し、該駆動信号を各バルブＶ１，Ｖ２，Ｖ３に出力する。これにより、シリンダー圧切り替え部６５ｃは、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系を大気圧供給系Ｐ３にするとともに、該押圧シリンダー５３の伸長による押圧力を解除する（図１１（ａ）（ｂ）参照）。

なお、上述したシリンダー押圧解除期間では、第１搬送ユニット３４におけるＹ方向の位置が維持されるように、制御装置６０は、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。また、押圧モーター５１Ｍからの押圧力Ｆｃｏｎが維持されるように、制御装置６０は、押圧モーター駆動部６５ｂに対しトルク制御モードでのトルク指令を出力する。さらにまた、吸着部５４が電子部品Ｔを真空吸着できるように、制御装置６０は、吸引バルブ駆動部６５ｄに対して吸引バルブＳＶ２の開度指令を出力する。

そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転を抑えるとともに、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの出力トルクを所定の値に維持する。この状態で、吸引バルブ駆動部６５ｄは、吸着部５４で電子部品Ｔを吸引し続ける。
［上昇期間：Ｔ８−Ｔ９］
押圧シリンダー５３による押圧が解除されると、垂直移動アーム５２の下端部が最上位置にまで戻るように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ８にて、押圧モーター駆動部６５ｂに対し位置指令を出力する。そして、押圧モーター駆動部６５ｂは、押圧モーター５１Ｍの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を押圧モーター５１Ｍに出力する。これにより、押圧モーター５１Ｍは、タイミングＴ８以前までとは逆の方向へ回転して垂直移動アーム５２を最上位置にまで戻す。

次いで、垂直移動アーム５２の下端部が最上位置に到達すると、第１搬送ユニット３４の吸着部５４が回収用シャトルトレイ３２ｂの直上に配置するように、制御装置６０は、図４に示されるように、タイミングＴ９にて、搬送モーター駆動部６５ａに対し位置指令を出力する。そして、搬送モーター駆動部６５ａは、搬送モーターＭＹの回転位置と上記位置指令とに基づく駆動電流を生成し、該駆動電流を搬送モーターＭＹに出力する。これにより、搬送モーターＭＹがタイミングＴ９から所定方向への回転を開始し、吸着部５４に吸着された電子部品Ｔが回収用シャトルトレイ３２ｂの直上に到達するまで、第１搬送ユニット３４が第１シャトル３２に向けて往動する。

以上説明したように、本実施形態によれば、以下に列挙する効果が得られるようになる。
（１）供給用シャトルトレイ３２ａや該供給用シャトルトレイ３２ａに収容された電子部品Ｔに加わる押圧力が、接続先である検査用ソケット３３に加えられる押圧力よりも低くなる。そのため、ハンドラー１０の動作の一つである電子部品Ｔの搬送動作によって、電子部品Ｔや供給用シャトルトレイ３２ａが変形することを抑えることが可能である。

（２）押圧シリンダー５３の押圧力が電子部品Ｔに加わる状態で、押圧モーター５１Ｍがトルク制御モードにより駆動される。そのため、押圧シリンダー５３の伸長によって押圧シリンダー５３の支持側である垂直移動アーム５２が押し戻されたとしても、押圧モーター５１Ｍが所定のトルクを出力する以上は、押圧モーター５１Ｍに過剰な負荷が加わることはない。

（３）押圧シリンダー５３が電子部品Ｔに押圧力を加えるときには、押圧モーター５１Ｍがトルク制御モードによって駆動されている。そのため、押圧モーター５１Ｍに過剰な負荷が加わることがないうえ、電子部品Ｔに加えられる押圧力が安定することにもなる。

（４）供給用シャトルトレイ３２ａに収容された電子部品Ｔを搬出する際に、すなわち電子部品Ｔからの反力が相対的に小さい状態で、押圧モーター５１Ｍが位置制御モードにより駆動される。そのため、押圧モーター５１Ｍに過剰な負荷が加わることを抑え、且つ押圧モーター５１Ｍの可動する範囲、ひいては垂直移動アーム５２の可動する範囲を、供給用シャトルトレイ３２ａ上では、予め設定された範囲内に留めることが可能となる。

（５）押圧シリンダー５３の駆動に先駆けて押圧シリンダー５３の作動圧が下げられる。それゆえに、押圧シリンダー５３の作動の開始圧が低くなる分、作動圧の時間的な変化が大きくなることになる。すなわち、押圧力の切り替えにかかる時間が押圧シリンダー５３で短くなるため、供給用シャトルトレイ３２ａでの押圧力と検査用ソケット３３での押圧力とが切り替えられるようにしても、こうした動作に必要となる時間が、ハンドラー１０の処理時間に影響を及ぼし難くなる。

（６）しかも、押圧シリンダー５３の作動の開始圧が、圧縮空気に対して十分に低い大気圧となる。これにより、押圧力の切り替えにかかる時間が短くなることは当然のことながら、このような作動の開始圧を生成するための圧縮空気を別途準備する必要もない。

（７）複数の電子部品Ｔが同時に押圧される上記態様であれば、検査用ソケット３３の全体に加えられる押圧力が自ずと大きくなるため、電子部品Ｔ及び供給用シャトルトレイ３２ａが変形することを抑えられるという上記効果が、より顕著なものとなる。

なお、上記実施形態は、以下のように適宜変更して実施することもできる。
・搬送対象は、上述した電子部品Ｔの他、光学部品や精密機械部品等の各種部品であってもよく、要は、接続先に接続されるとともに、トレイで押圧され、且つ接続先で押圧されるものであればよい。このような搬送対象であっても、上記（１）〜（７）に準じた効果を得ることは可能である。

・保持部が搬送対象を保持する態様は、上述のように搬送対象を吸着する態様に限らず、例えば、搬送対象を把持する態様であってもよく、要は、トレイに載置された搬送対象を保持するとともに、保持された搬送対象をトレイで押圧し、且つ接続先で押圧することの可能な態様であればよい。このような保持の態様であっても、上記（１）〜（７）に準じた効果を得ることは可能である。

・一つの搬送ユニットの搬送する搬送対象の個数は、一つであってもよい。このような構成であっても、上記（１）〜（６）に準じた効果を得ることは可能である。
・押圧シリンダー５３の押圧動作における作動の開始圧は、大気圧より高い圧力であってもよく、該押圧動作の作動圧よりも低い圧力であればよい。このような構成であっても、上記（１）〜（５）、（７）に準じた効果を得ることは可能である。

・押圧シリンダー５３の押圧動作における作動の開始圧は、該押圧シリンダー５３にて先行して行われた動作の作動圧よりも高い圧力であってもよく、該押圧動作の作動圧よりも低い圧力であればよい。このような構成であっても、上記（１）〜（５）、（７）に準じた効果を得ることは可能である。

・押圧シリンダー５３の押圧動作における作動の開始圧は、該押圧シリンダー５３にて先行して行われた動作の作動圧であってもよく、該押圧動作の作動圧よりも低い圧力であればよい。このような構成であれば、上記（１）〜（４）、（７）に準じた効果を得ることが可能であるとともに、押圧動作における作動の開始圧が別途所定の圧力に変更される必要がないため、押圧シリンダー５３の作動圧の供給系に関わる構成を簡素なものとすることが可能にもなる。

・電子部品Ｔが検査用ソケット３３にある状態、ひいては搬送対象が接続先にある状態で、押圧モーターが位置制御モードで駆動される態様であってもよい。このような構成であっても、上記（１）、（２）、（４）〜（７）に準じた効果を得ることが可能であるとともに、押圧モーターの駆動電流を計測するための電流計測部Ｉ５１Ｍを省略することが可能でもある。

・電子部品Ｔが供給用シャトルトレイ３２ａにある状態、ひいては搬送対象がトレイにある状態で、押圧モーターがトルク制御モードで駆動される態様であってもよい。このような構成であっても、上記（１）〜（３）、（５）〜（７）に準じた効果を得ることが可能である。

・押圧シリンダー５３が電子部品Ｔに対し押圧力を加える際、該押圧力の印加と同時に、押圧モーター５１Ｍがトルク制御モードにて駆動される構成であってもよい。このような構成であっても、上記（１）、（２）、（４）〜（７）に準じた効果を得ることは可能であって、しかも押圧シリンダー５３が駆動されるタイミングと押圧モーター５１Ｍがトルク制御モードで駆動されるタイミングとを共通する制御信号によって同期させることが可能にもなる。それゆえに、押圧シリンダー５３が駆動されるタイミングと押圧モーター５１Ｍがトルク制御モードで駆動されるタイミングとの整合が容易なものにもなる。

・押圧モーター５１Ｍの押圧力が、押圧シリンダー５３の押圧力よりも大きい構成、あるいは、押圧モーター５１Ｍの押圧力と押圧シリンダー５３の押圧力とが等しい構成であってもよい。

・押圧シリンダー５３の押圧力が加えられるトレイ、すなわち、基台１１における開口部以外の任意の位置は、供給用シャトルトレイ３２ａの他、例えば回収用シャトルトレイ３２ｂやコンベアートレイＣ１ａ〜Ｃ４ａであってもよい。要は、空圧シリンダーからの押圧力が搬送対象を介して加えられるトレイであればよい。

・固定された供給側固定ガイド２１に対して供給側可動ガイド２２が相対移動するとともに、固定された回収側固定ガイド４１に対して回収側可動ガイド４２が相対移動するようにしたが、固定された単一の固定ガイドに対して相対移動可能な可動ガイドが２つ設けられる構成であってもよい。この場合、固定ガイドは、上記カバー部材１２内であって、基台１１の上面におけるＸ方向に延びる一辺と平行に、且つ基台１１のＸ方向の略全幅にわたって形成されることが好ましい。また、２つの可動ガイドは、カバー部材１２内、且つ、上記搬送ガイド３１を挟んで反対側に設けられることが好ましい。

・ハンドラーが有する搬送ユニットの台数は、１台あるいは３台以上であってもよい。
・供給用シャトルトレイ３２ａに収容された電子部品Ｔが第１搬送ユニット３４によって検査用ソケット３３にまで搬送され、且つ検査用ソケット３３に収容された電子部品Ｔが第２搬送ユニット３６によって押圧される態様であってもよい。すなわち、搬送対象をトレイと接続先とで押圧する押圧シリンダーが互いに異なる態様であってもよい。要は、切り替え部による作動圧の切り替えにより、トレイでの押圧力が接続先での押圧力より小さくなる態様であればよい。

・押圧シリンダー５３に供給される圧縮空気の空気圧は、上記高圧、低圧、及び大気圧の３段階に切り替えられることとしたが、供給用シャトルトレイ３２ａでの押圧力が、検査用ソケット３３での押圧力よりも小さくなるように、少なくとも２段階に切り替えることが可能であればよい。また、押圧シリンダー５３の押圧力は、４段階以上に切り替えられるものであってもよい。

・ハンドラー１０は、搬送対象を基台１１に向けて押圧することが可能であれば、押圧シリンダー５３を基台に向けて移動させる押圧モーター５１Ｍを有しない構成であってもよい。

・押圧シリンダー５３は、バルブを介して供給される圧縮空気の空気圧によって動作する空圧シリンダーに限らず、例えば、油圧によって動作する油圧シリンダーであってもよい。また、空圧シリンダーである場合、圧縮空気の空気圧の切り替えが、電空レギュレーターにより行われる構成であってもよい。

・ハンドラーは、押圧シリンダー５３を有しない構成であってもよく、要は、搬送対象を少なくとも２段階の押圧力にて基台に向けて押圧することのできる押圧部を有するようにすればよい。

・ハンドラーは、搬送対象を検査する部品検査装置に限らず、該ハンドラーの有する基台に設けられた開口部と、基台における開口部以外の任意の位置との間で搬送対象を搬送する装置に用いられるものであればよい。ハンドラーとは、通常、搬送以外の機能を有する外部装置が取り付けられる開口部を基台に備えるものである。開口部には、上述したような検査装置の他、例えば組み立て処理用の装置等、搬送対象に対して所定の処理を行う外部装置が取り付けられる。

そして、ハンドラーは、こうした外部装置に対して、すなわち開口部の位置に対して、各処理に応じた押圧力にて搬送対象を押圧する。これにより、外部装置による搬送対象に対する所定の処理が行われる。また、ハンドラーは、上記トレイやコンベアー等の開口部以外の任意の位置において、搬送対象の吸引や載置のために該搬送対象の押圧を行う。しかも、上記所定の処理を行う際に必要とされる押圧力と、吸引や載置を行う際に必要とされる押圧力よりも大きいことが通常である。

つまり、上述の構成とは、搬送対象に対して異なる押圧力を加えるハンドラーであれば適用することが可能である。
なお、上述のように、開口部と外部装置とは、必ずしも一致する形状でなくともよい。例えば、外部装置が上記検査用ソケットである場合、嵌め込むことのできる電子部品の数や、電子部品の種類によって、該検査用ソケットの形状は異なるものである。そのため、ハンドラーの基台に形成された開口部とは、外部装置以上の大きさであって、外部装置を取り付けることの可能な形状であればよい。

１０…ハンドラー、１１…基台、１１ａ…搭載面、１１ｂ…矩形開口、１２…カバー部材，２０…供給ロボット、２１…供給側固定ガイド、２２…供給側可動ガイド、２３…供給用ハンドユニット、３１…搬送ガイド、３２…第１シャトル、３２ａ，３５ａ…供給用シャトルトレイ、３２ｂ，３５ｂ…回収用シャトルトレイ、３２ｃ…第１シャトルガイド、３３…検査用ソケット、３３ａ…検査用ポケット、３４…第１搬送ユニット、３５…第２シャトル、３５ｃ…第２シャトルガイド、３６…第２搬送ユニット、４０…回収ロボット、４１…回収側固定ガイド、４２…回収側可動ガイド、４３…回収用ハンドユニット、５１…水平移動アーム、５１Ｍ…押圧モーター、５２…垂直移動アーム、５３…押圧シリンダー、５４…保持部、６０…制御装置、６１…コンベアー駆動部、６２…可動ガイド駆動部、６３…シャトル駆動部、６４…ハンドユニット駆動部、６４ａ…ハンドモーター駆動部、６４ｂ…吸引バルブ駆動部、６５…搬送ユニット駆動部、６５ａ…搬送モーター駆動部、６５ｂ…押圧モーター駆動部、６５ｃ…シリンダー圧切り替え部、６５ｄ…吸引バルブ駆動部、Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４…コンベアー、Ｃ１ａ，Ｃ２ａ，Ｃ３ａ，Ｃ４ａ…コンベアートレイ、Ｅ５１Ｍ，ＥＭＣ，ＥＭＳ，ＥＭＸ，ＥＭＹ，ＥＭＺ…エンコーダー、ＥＳＶ１，ＥＳＶ２…吸引センサー、ＭＣ…コンベアーモーター、ＭＳ…シャトルモーター、ＭＸ…ガイドモーター、ＭＹ…搬送モーター、ＭＺ…ハンドモーター、Ｐ１…高圧供給系、Ｐ２…低圧供給系、Ｐ３…大気圧供給系、ＳＶ１，ＳＶ２…吸引バルブ、Ｖ１…高圧バルブ、Ｖ２…低圧バルブ、Ｖ３…大気圧バルブ、Ｔ…電子部品。

Claims (9)

1. 開口部が設けられた基台と、
   前記開口部の位置と前記基台の前記開口部以外の任意の位置とを搬送対象とともに移動する搬送部と、
   前記搬送部の駆動を制御する制御部と、を備え、
   前記搬送部には前記搬送対象を前記基台に向けて押圧する押圧部が設けられ、
   前記制御部には前記押圧部の押圧力を少なくとも２段階に切り換える切り替え部が設けられ、
   前記搬送部が前記開口部以外の任意の位置にある時の前記押圧部の押圧力は、前記搬送部が前記開口部の位置にある時の前記押圧部の押圧力よりも小さい
   ことを特徴とするハンドラー。
2. 前記押圧部は圧縮空気により動作する押圧シリンダーを有し、
   前記切り替え部はバルブを有し、前記押圧シリンダーに供給する圧縮空気の空気圧が前記バルブによって切り替えられる
   ことを特徴とする請求項１に記載のハンドラー。
3. 前記押圧シリンダーを前記基台に向けて移動させるモーターを更に備え、
   前記制御部が、前記モーターの駆動を制御し、
   前記制御部は、前記押圧シリンダーが前記搬送対象に押圧力を加える状態で、前記モーターをトルク制御により駆動する
   ことを特徴とする請求項２に記載のハンドラー。
4. 前記制御部は、
   前記押圧シリンダーが前記搬送対象に押圧力を加える前に、
   前記モーターをトルク制御により駆動する
   請求項３に記載のハンドラー。
5. 前記制御部は、
   前記搬送対象が前記開口部以外の任意の位置にある状態で、前記モーターを位置制御により駆動し、
   前記搬送対象が前記開口部の位置にある状態で、前記モーターをトルク制御により駆動する
   請求項３又は４に記載のハンドラー。
6. 前記制御部は、前記搬送対象を押圧する前に前記押圧シリンダーに供給する圧縮空気の空気圧を下げる
   請求項２〜５のいずれか一項に記載のハンドラー。
7. 前記制御部は、前記搬送対象を押圧する前に前記押圧シリンダーに供給する圧縮空気の空気圧を大気圧に戻す
   請求項２〜６のいずれか一項に記載のハンドラー。
8. 前記搬送部は、複数の前記搬送対象を前記開口部の位置と前記開口部以外の任意の位置との間で同時に搬送する状態を有し、前記開口部の位置と前記開口部以外の任意の位置とで複数の前記搬送対象を同時に押圧する状態を有する
   請求項１〜７のいずれか一項に記載のハンドラー。
9. 検査用ソケットが取り付けられた開口部を有する基台と、
   前記開口部の位置と前記基台の前記開口部以外の任意の位置とを電子部品とともに移動する搬送部と、
   前記搬送部の駆動を制御する制御部と、を備え、
   前記搬送部には前記電子部品を前記基台に向けて押圧する押圧部が設けられ、
   前記制御部には前記押圧部の押圧力を少なくとも２段階に切り換える切り替え部が設けられ、
   前記搬送部が前記開口部以外の任意の位置にある時の前記押圧部の押圧力は、前記搬送部が前記開口部の位置にある時の前記押圧部の押圧力よりも小さい
   ことを特徴とする部品検査装置。

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