JP2012078310A - Icハンドラ及びic検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ICデバイスを吸着手段により吸着して、検査ステージに搬送するICハンドラにおいて、モータと、前記モータの回転に応じて、前記吸着手段を前記検査ステージに対して昇降させる昇降手段と、前記吸着手段と前記昇降手段との間に設けられ、前記吸着手段に吸着された前記ICデバイスを前記検査ステージに押圧する加圧手段と、低圧モード及び高圧モードを含む複数の圧力モードを選択的に切り換えて、前記加圧手段による前記押圧の圧力を変化させる圧力調整手段と、を有する。
【選択図】図6
Description
また、第2の形態は、第1の形態に係るICハンドラであって、前記圧力調整手段は、前記ICデバイスが前記検査ステージに押圧されているときに、前記低圧モードから前記高圧モードに切り換えることを特徴とする。
さらに、第3の形態は、第2の形態に係るICハンドラであって、前記昇降手段は、前記吸着手段及び前記加圧手段を上下方向に案内するガイド部材と、前記モータの回転に応じて自ら回転して前記吸着手段及び前記加圧手段を前記ガイド部材の案内に沿って下方に移動させ、前記ICデバイスが検査ステージに当接した状態で、回転を止めるスクリュー部材と、を有し、前記ICデバイスが前記検査ステージに押圧されているとき、前記吸着手段及び前記加圧手段を上方に移動させないように、前記スクリュー部材の回転を拘束するブレーキ手段をさらに有することを特徴とする。
さらに、第4の形態は、第3の形態に係るICハンドラであって、前記昇降手段は、前記スクリュー部材に螺合するナット部材を含み、前記ガイド部材により上下方向に案内され、前記スクリュー部材の回転により前記ナット部材と一体的に上下方向に移動し、前記昇降手段は、前記上下方向に移動する力を前記加圧手段に伝達するように当該加圧手段側に連結されていることを特徴とする。
さらに、第5の形態は、第1から第4のいずれかの形態に係るICハンドラであって、前記加圧手段は、前記高圧モードのとき複数の前記ICデバイスを前記検査ステージに対し一様に押圧する構成であることを特徴とする。
さらに、第6の形態は、第1から第5のいずれかの形態に係るICハンドラであって、前記吸着手段と当該吸着手段に吸着された複数の前記ICデバイスを前記検査ステージに押圧する前記加圧手段とをそれぞれ含む第1被移送ユニット及び第2被移送ユニットを有し、
前記検査ステージにおける前記複数のICデバイスの検査毎に、前記第1被移送ユニットと前記第2被移送ユニットとを交互に前記検査ステージの上方位置に移動及び当該上方位置から退避させるユニット駆動手段を有することを特徴とする。
さらに、第7の形態は、第1から第6のいずれかの形態に係るICハンドラと、前記ICハンドラにより前記検査ステージに搬送されたICデバイスを検査する検査手段とを有することを特徴とするIC検査装置である。
図9(a)は、ICデバイスが置かれた第1ステージS1の上方に第1被移送ユニット30aが位置している状態を示す。
第1被移送ユニット30aが検査ステージSKに案内された状態(図9(c)参照)のときでも、まだ、各シリンダ38の内圧は低圧状態に保たれたままである。
次に、コンピュータPC(図8参照)からの制御信号を受けて、サーボモータ29が始動し、スクリュー部材27を回転させて、ボールスプライン34を下方に移動させ、吸着手段39を検査ステージSKまで下降する。それにより、シリンダ38が吸着手段39を介して各ICデバイスを検査ステージSKの各ICソケットに低圧で押圧することとなる。しかし、低圧のままではICデバイスを一様に押圧することは困難である。そこで、以下の動作が行われる。
コンピュータPCからの制御信号を受けて、ブレーキ手段28が作動し、スクリュー部材27の回転を拘束する。
次に、圧力調整手段40を低圧モードから高圧モードに切り換えるコンピュータPCからの制御信号を受け、第1電磁弁45のポート及び第2電磁弁48のポートが切り換えられて、各シリンダ38に高圧(最大で0.38Mpa)の空気を供給し、シリンダ38の内圧を低圧状態から高圧状態にする。それにより、シリンダ38が吸着手段39を介してICデバイスを検査ステージに高圧で押圧する(図10(a)参照)。それにより、全てのICデバイスを一様に押圧することができ、各ICデバイスのオス端子をこれに対応するICソケットのメス端子に適切に接触させることができるので、検査の正確性を担保することが可能となる。
次に、コンピュータPCからの制御信号を受けて、IC検査装置(図示省略)がICデバイスの検査を開始する。このとき、ICデバイス側からの反力が、吸着手段39、シリンダ38、ヘッド部材37、ボールスプライン34、上端部材35、昇降部材26、ナット部材25を押し上げる力となって、スクリュー部材を逆方向に回転させようとするが、ブレーキ手段28により、スクリュー部材27の回転が拘束されるため、スクリュー部材が逆方向に回転することはない。それにより、ICデバイス側からの反力による吸着手段39の浮き上りを防止できるので、ICデバイスを高圧で押圧する状態を維持することが可能となる。
次に、IC検査装置がICデバイスの検査を終了し、検査終了の信号をコンピュータPCに送る。
圧力調整手段40を高圧モードから低圧モードに切り換えるコンピュータPCからの制御信号を受けて、第1電磁弁45のポートが切り換えられて、第1制圧レギュレータ41からの低圧(0.15Mpa)の空気が各シリンダ38に供給される。また、第2電磁弁48のポートが切り換えられて、第2制圧レギュレータ42からの低圧(0.15Mpa)の空気が各シリンダ(第1加圧手段)38に供給される。
次に、コンピュータPCからの制御信号を受けて、ブレーキ手段28が作動し、スクリュー部材27の回転に対する拘束を解除する。シリンダ38内が低圧であるため、ICデバイス側からの反力による吸着手段39を浮き上がらせる力は小さく、サーボモータ29の保持力で、スクリュー部材27が逆方向に回転しないように保持されるので、吸着手段39の浮き上がりを防止できる。
次に、コンピュータPCからの制御信号を受けて、サーボモータ29が始動し、スクリュー部材27を回転させて、ボールスプライン34を上方に移動させ、吸着手段39を上方位置に移動させる(図10(b)参照)。
次に、第2被移送ユニット30bの動作について図9及び図10を参照して説明する。
さらに、実施形態では、ICデバイスを4行2列に配した検査ステージSKを示したがこれに限らない。例えば4行1列、2行2列、0行2列等のようにICデバイスを種々の態様で配した検査ステージSKがあり、また、例えば1個のICデバイスを配した検査ステージSKもある。
PC コンピュータ
10 機枠テーブル 11 天板
20a 第1上下スライド機構 20b 第2上下スライド機構
21 第1垂直ベース 22 第2垂直ベース 23 水平ベース
24 ガイドレール 25 ナット部材 26 昇降部材 26a ガイド溝
27 スクリュー部材 28 ブレーキ手段 29 サーボモータ
29a ベルト
30a 第1被移送ユニット 30b 第2被移送ユニット
31 スライド板 32 水平レール 33 上下ガイド
34 ボールスプライン 35 上端部材 35a 係合部材 36 下端部材
37 ヘッド部材 38 シリンダ 39 吸着手段
40 圧力調整手段 41 第1制圧レギュレータ 42 第2制圧レギュレータ
43 電空レギュレータ 44 管路 45 第1電磁弁 46 管路
47 管路 48 第2電磁弁 49 管路
50 真空タンク 51 圧力センサ 52 連成計
60 ユニット駆動手段 61 水平ボールネジ 62 ナット部材
63 駆動モータ
Claims (7)
- ICデバイスを吸着手段により吸着して、検査ステージに搬送するICハンドラにおいて、
モータと、
前記モータの回転に応じて、前記吸着手段を前記検査ステージに対して昇降させる昇降手段と、
前記吸着手段と前記昇降手段との間に設けられ、前記吸着手段に吸着された前記ICデバイスを前記検査ステージに押圧する加圧手段と、
低圧モード及び高圧モードを含む複数の圧力モードを選択的に切り換えて、前記加圧手段による前記押圧の圧力を変化させる圧力調整手段と、
を有する
ことを特徴とするICハンドラ。 - 前記圧力調整手段は、前記ICデバイスが前記検査ステージに押圧されているときに、前記低圧モードから前記高圧モードに切り換えることを特徴とする請求項1に記載のICハンドラ。
- 前記昇降手段は、前記吸着手段及び前記加圧手段を上下方向に案内するガイド部材と、前記モータの回転に応じて自ら回転して前記吸着手段及び前記加圧手段を前記ガイド部材の案内に沿って下方に移動させ、前記ICデバイスが検査ステージに当接した状態で、回転を止めるスクリュー部材と、を有し、
前記ICデバイスが前記検査ステージに押圧されているとき、前記吸着手段及び前記加圧手段を上方に移動させないように、前記スクリュー部材の回転を拘束するブレーキ手段をさらに有することを特徴とする請求項2に記載のICハンドラ。 - 前記昇降手段は、前記スクリュー部材に螺合するナット部材を含み、前記ガイド部材により上下方向に案内され、前記スクリュー部材の回転により前記ナット部材と一体的に上下方向に移動し、
前記昇降手段は、前記上下方向に移動する力を前記加圧手段に伝達するように当該加圧手段側に連結されていることを特徴とする請求項3に記載のICハンドラ。 - 前記加圧手段は、前記高圧モードのとき複数の前記ICデバイスを前記検査ステージに対し一様に押圧する構成であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のICハンドラ。
- 前記吸着手段と当該吸着手段に吸着された複数の前記ICデバイスを前記検査ステージに押圧する前記加圧手段とをそれぞれ含む第1被移送ユニット及び第2被移送ユニットを有し、
前記検査ステージにおける前記複数のICデバイスの検査毎に、前記第1被移送ユニットと前記第2被移送ユニットとを交互に前記検査ステージの上方位置に移動及び当該上方位置から退避させるユニット駆動手段を有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のICハンドラ。 - 請求項1から請求項6いずれかに記載のICハンドラと、
前記ICハンドラにより前記検査ステージに搬送されたICデバイスを検査する検査手段とを有することを特徴とするIC検査装置。
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