CN219832603U - 一种推顶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种推顶装置，该推顶装置包括升降驱动部件和接片部件，升降驱动部件位于接片部件下方以驱动接片部件做升降运动，接片部件能够相对于升降驱动部件做旋转运动，接片部件和升降驱动部件设置有旋转解耦部件以使接片部件做旋转运动时，升降驱动部件不随接片部件运动。本实用新型的推顶装置中，接片部件通过旋转解耦部件与升降驱动部件转动连接，实现接片部件在旋转运动时与升降驱动部件解耦，使得接片部件能够实现吸附功能提高交接的安全性与可靠性，并且能够降低旋转驱动部件的驱动质量，提高旋转精度。另外，接片部件与吸盘同步旋转，降低交接运动的垂向行程，提高交接效率。

Description

一种推顶装置

技术领域

本实用新型属于集成电路制造领域，涉及一种推顶装置。

背景技术

具有高精度和快速响应的微动工作台在现代制造技术中具有极其重要的地位，尤其运用在大规模集成电路装置器件中。而装备的工件台通常需要具备晶圆的旋转和交接功能，在多维度运动中，各维度运动之间相互不干涉和不约束就成了需要解决的问题。

现有技术中晶圆交接装置通常采用电机或气缸来对交接爪进行垂向运动，在整个运动过程中，通常有两种方式，一种是交接爪能跟随吸盘作旋转运动，但在旋转时交接爪的升降驱动部件会一同旋转，由此必然带来交接装置的线缆、气管的缠绕问题，使得交接爪不具备吸附功能，降低交接过程中的安全性与可靠性；另一种是交接爪只具有升降功能，交接爪不跟随吸盘旋转运动，这种方式交接爪的升降运动行程大，交接效率偏低。

因此，如何提供一种推顶装置，使其交接部分能跟随吸盘旋转而升降驱动部分不跟随吸盘旋转，并将这两个维度的运动做到互不干涉互不影响，以提高交接安全性与可靠性，提高交接效率，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种推顶装置，用于解决现有技术中的交接装置的交接部分不能够实现既能做升降运动，又能相对升降驱动部做旋转运动的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种推顶装置，包括：

升降驱动部件，包括定子结构与动子结构，所述动子结构安装于所述定子结构上且可相对于所述定子结构做升降运动；

接片部件，位于所述升降驱动部件上方与所述动子结构连接以随所述动子结构做升降运动，所述接片部件的上端设有多个接片爪；

其中，所述接片部件能够相对于所述升降驱动部件做旋转运动，所述接片部件和所述升降驱动部件之间设置有旋转解耦部件，所述接片部件和所述升降驱动部件之间通过所述旋转解耦部件转动连接，当所述接片部件做旋转运动时，所述升降驱动部件不随所述接片部件运动。

可选地，所述动子结构的顶端设有沿水平方向的延伸部，所述旋转解耦部件包括上球头柱塞、连接部件和下球头柱塞，所述上球头柱塞位于所述接片部件中且与所述动子结构的上表面滚动连接，所述连接部件与所述接片部件固定连接，所述下球头柱塞位于所述连接部件中且与所述动子结构的延伸部的下表面滚动连接。

可选地，所述旋转解耦部件包括连接块、第一滚珠和第二滚珠，所述连接块的上端与所述接片部件固定连接，所述连接块的下端与所述动子结构之间通过所述第一滚珠转动连接，所述连接块和所述动子结构平行于旋转轴的相对面各设有与所述第一滚珠相配适的凹槽，其中至少一个凹槽为环形凹槽；多个所述第二滚珠位于所述接片部件的下表面与所述动子结构的上表面之间以使所述接片部件和所述动子结构转动连接，所述接片部件的下表面与所述动子结构的上表面分别设有与所述第二滚珠相配适的凹槽，其中至少一个凹槽为环形凹槽。

可选地，所述旋转解耦部件包括双圈轴承，所述双圈轴承包括轴承内圈与轴承外圈且所述轴承内圈与所述轴承外圈能够做相对旋转运动，所述轴承内圈与所述动子结构固定连接，所述轴承外圈与所述接片部件固定连接；或所述轴承外圈与所述动子结构固定连接，所述轴承内圈与所述接片部件固定连接。

可选地，所述接片爪的顶端设有吸附头，所述接片部件内设有第一气路，所述第一气路的一端延伸至所述吸附头，所述第一气路的另一端延伸至所述旋转解耦部件区域；所述动子结构内部设有第二气路，所述第二气路的一端延伸至所述旋转解耦部件区域与所述第一气路连通，所述第二气路的另一端从所述动子结构的侧边顶部引出与抽气装置连接。

可选地，所述旋转解耦部件区域设置有避空区域，所述接片部件具有向下的延伸部，所述接片部件的延伸部延伸入所述避空区域并靠近所述动子结构，所述接片部件的延伸部内设置有所述第一气路，所述第一气路与所述第二气路连通。

可选地，所述升降驱动部件内设置有O型密封圈，所述密封圈设置在所述第一气路和所述第二气路的连通处，对所述第一气路和所述第二气路密封；或

所述动子结构具有连通槽，所述接片部件的延伸部延伸入所述连通槽中，所述连通槽内周侧壁上设置有环形槽，所述环形槽中设置有所述密封圈，所述密封圈与所述接片部件的延伸部的外周侧壁密封连接。

可选地，所述第一气路与所述第二气路的连接点在所述接片部件的旋转轴上；或

所述接片部件还包括设置在所述接片部件的延伸部内的环形气槽，所述环形气槽与所述接片部件的旋转轴同轴，所述第一气路与所述第二气路分别与所述环形气槽连通。

可选地，所述旋转解耦部件区域设有第三气路，所述第三气路在垂直方向上贯穿所述旋转解耦部件区域，所述第三气路的一端与所述第一气路连通且通过密封圈密封，所述第三气路的另一端与所述第二气路连通且通过所述密封圈密封，所述第三气路与所述接片部件的旋转轴重合；或所述第三气路为与所述接片部件旋转轴同轴的环形气槽。

可选地，还包括外部的旋转驱动部件，所述旋转驱动部件与所述接片部件连接以驱动所述接片部件做旋转运动。

如上所述，本实用新型的推顶装置中，接片部件通过旋转解耦部件与升降驱动部件转动连接，实现接片部件在旋转运动时与升降驱动部件解耦，使得接片部件能够实现吸附功能提高交接的安全性与可靠性，并且能够降低旋转驱动部件的驱动质量，提高旋转精度。另外，接片部件与吸盘同步旋转，降低交接运动的垂向行程，提高交接效率。

附图说明

图1显示为本实用新型提供的推顶装置的结构示意图。

图2显示为本实用新型中的升降驱动部件的结构示意图。

图3显示为本实用新型中的第一种旋转解耦部件及其周围部分部件的结构示意图。

图4显示为本实用新型中的第二种旋转解耦部件及其周围部分部件的结构示意图。

图5显示为本实用新型中的第三种旋转解耦部件及其周围部分部件的结构示意图。

图6显示为本实用新型中第一气路和第二气路在避空区域连通的结构示意图。

图7显示为本实用新型中第一气路和第二气路通过第三气路连通的结构示意图。

图8显示为本实用新型中第一气路和第二气路通过连通槽连通的结构示意图。

图9显示为本实用新型中的第一种第一垂向导向部件的结构示意图。

图10显示为本实用新型中的第二种第一垂向导向部件及其周围部分部件的结构示意图。

图11显示为本实用新型提供的推顶装置设置在具有外部旋转驱动装置时的剖面结构示意图。

元件标号说明

1 升降驱动部件

101 定子结构

102 动子结构

111 磁钢

112 线圈

113 磁块

114 背铁

2 接片部件

201 接片爪

202 吸附头

203 第一气路

204 第二气路

205 密封圈

206 第三气路

3 旋转解耦部件

301 上球头柱塞

302 连接部件

303 下球头柱塞

311 连接块

312 第一滚珠

313 第二滚珠

321 双圈轴承

322 轴承内安装座

323 轴承外安装座

324 轴承内压环

325 轴承外压环

4 第一垂向导向部件

41 导轨

411 导轨固定部

412 导轨垂向移动部

42 滚珠花键

421 轴套

422 轴杆

5 垂向检测部件

6 弹性部件

7 底座

8 旋转驱动部件

9 旋转底座

10 吸盘

11 第二垂向导向部件

具体实施方式

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。

请参阅图1至图11。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

本实施例提供一种推顶装置，请参阅图1，该推顶装置包括升降驱动部件1和接片部件2，升降驱动部件1包括定子结构101与动子结构102，动子结构102安装于定子结构101上且可相对于定子结构101做升降运动，接片部件2位于升降驱动部件1上方与动子结构102连接以随动子结构102做升降运动，接片部件2的上端设有多个接片爪201；其中，接片部件2能够相对于升降驱动部件1做旋转运动，接片部件2和升降驱动部件1之间设有旋转解耦部件3，接片部件2和升降驱动部件1之间通过旋转解耦部件3转动连接，当接片部件2做旋转运动时，升降驱动部件1不随接片部件2运动。

具体的，本实施例中，接片部件2通过旋转解耦部件3连接动子结构102，使其能够跟随动子结构102做升降运动；同时，旋转解耦部件3具有转动结构，即当接片部件2外接旋转驱动模块时，接片部件2能独立的相对升降驱动部件1做旋转运动。在晶园交接装置中，当推顶装置跟随承载盘或吸盘旋转时，接片部件2的独立旋转可以减少转动惯量，使外部的承载盘或吸盘的旋转更加精确和稳定。另外，若接片部件2中设置有吸附气路时，还能防止气路线缆的缠绕问题。

作为示例，如图2所示，升降驱动部件1包括音圈电机，音圈电机包括磁钢111和围绕于磁钢111的线圈112，其中，磁钢111构成动子结构102，线圈112构成定子结构101，通过于线圈112通电产生与磁钢111同种磁性或异种磁性驱动磁钢111升降，进而带动接片部件2升降。较优地，音圈电机采用带重力补偿的磁浮一体式音圈电机，在线圈112中间增加磁块113实现磁浮功能，从而达到重力补偿的效果，使音圈电机的出力更加均匀，进而使接片部件2的运动更加平稳；同时减小了音圈电机的出力，也可减小音圈电机的工作电流，从而降低产生的热量，线圈112的外侧设有背铁114。在其他示例中，也可以为磁钢111构成定子结构101，线圈112构成动子结构102，不以本实施例为限制。需要说明的是，本实施例为平衡输出力和运动精度选用了音圈电机作为升降驱动部件1，在其他情况下，也可选择不同的电机作为升降驱动部件1，如平面电机、步进电机等，这里不做限制。

作为示例，旋转解耦部件3用以实现接片部件2的旋转运动与升降驱动部件1之间不干涉。请参阅图3，显示为旋转解耦部件3的第一种结构示意图，包括上球头柱塞301、连接部件302和下球头柱塞303，上球头柱塞301安装于接片部件2中与动子结构102的上表面滚动连接，连接部件302呈L型，包括相连接的纵接板与横接板，纵接板与接片部件2紧固连接，其中，动子结构102的顶端设置有沿水平方向的延伸部，下球头柱塞303安装于横接板中与动子结构102的延伸部的下表面滚动连接，从而实现接片部件2与连接部件302通过若干上球头柱塞301和若干下球头柱塞303将动子结构102夹紧，同时可实现接片部件2旋转时动子结构102不随接片部件2旋转。即动子结构102做升降运动时带动旋转解耦部件3和接片部件2做同步垂向运动，接片部件2做旋转运动时动子结构102不旋转。

作为示例，如图4所示，显示为旋转解耦部件3的第二种结构示意图，包括连接块311、第一滚珠312和第二滚珠313，连接块311的上端与接片部件2固定连接，连接块311的下端与动子结构102之间通过第一滚珠312转动连接，连接块311和动子结构102平行于旋转轴的相对面各设有与第一滚珠312相配适的凹槽，其中至少一个凹槽为环形凹槽；多个第二滚珠313位于接片部件2的下表面与动子结构102的上表面之间以使接片部件2和动子结构102转动连接，接片部件2的下表面与动子结构102的上表面分别设有与第二滚珠313相配适的凹槽，其中至少一个凹槽为环形凹槽。优选的，连接块311的内侧面和动子结构102的外侧面相对设置，即连接块311设置在动子结构102外侧，其中动子结构102上相对第一滚珠312和第二滚珠313的凹槽均为环形凹槽。

作为示例，如图5所示，显示为旋转解耦部件3的第三种结构示意图，包括双圈轴承321，双圈轴承321包括轴承内圈与轴承外圈，且轴承内圈与轴承外圈能够做相对旋转运动，轴承内圈与动子结构102固定连接，轴承外圈与接片部件2固定连接，旋转解耦部件3还包括轴承内安装座322、轴承外安装座323、轴承内压环324及轴承外压环325，轴承内安装座322位于双圈轴承321内侧，轴承内压环324用于将轴承内圈与轴承内安装座322压合连接，轴承外安装座323位于双圈轴承321外侧，轴承外压环325用于将轴承外圈与轴承外安装座323压合连接，其中，轴承内安装座322与动子结构102连接，轴承外安装座323与接片部件2连接。在其他示例中，也可以轴承内圈与接片部件2固定连接，轴承外圈与动子结构102固定连接，不以本实施例为限制。

作为示例，进一步地，升降驱动部件1的动子结构102可作为轴承内安装座322，以简化结构使结构紧凑，同样的，接片部件2也可同时作为轴承外安装座323。

作为示例，升降驱动部件1不随接片部件2旋转能够实现接片爪201的吸附功能，避免气路和线缆的缠绕扭曲等问题。

作为示例，如图6所示，接片爪201的顶端设有吸附头202，接片部件2内设有第一气路203，第一气路203的一端延伸至吸附头202与吸附头202连通，第一气路203的另一端延伸至旋转解耦部件3区域，动子结构102内部设有第二气路204，第二气路204的一端延伸至旋转解耦部件3区域，并与第一气路203连通。其中，旋转解耦部件3设有避空区域，接片部件2具有向下的延伸部，接片部件2的延伸部延伸入避空区域并靠近动子结构102，第一气路203延伸入接片部件2的延伸部中，在避空区域与第二气路204连通且采用密封圈205密封，两条气路的连接点在接片部件2的旋转轴上，即连接点不会因为接片部件2的旋转而改变位置，第二气路204的另一端从动子结构102的侧边顶部引出与抽气装置连接。当然，请参阅后续图10，也可在避空区域设置与接片部件2的旋转轴同轴的环形气槽，第一气路203和第二气路204分别与环形气槽连通，第二气路204与环形气槽连通且采用密封圈205密封。

作为示例，如图7所示，在另一示例中，旋转解耦部件3区域不设置避空区域，在旋转解耦部件3区域设置第三气路206，第三气路206在垂直方向上贯穿旋转解耦部件3区域，第三气路206的一端与第一气路203连通且通过密封圈205密封，第三气路206的另一端与第二气路204连通且通过密封圈205密封，第三气路206与接片部件2的旋转轴重合，或者第三气路206为与接片部件2的旋转轴同轴的环形气槽。

作为示例，如图8所示，在另一示例中，动子结构102设置有连通槽，接片部件2的延伸部延伸入连通槽中与动子结构102间隔一定距离，第一气路203与第二气路204延伸至连通槽中连通，动子结构102的连通槽的侧壁设置有环形槽，密封圈205放置于环形槽内与接片部件2的延伸部的外圈紧密接触，实现密封功能。本示例中的气路连通方案相较于上述的气路连通方案，一方面能够降低密封圈205上的压力不足带来的漏气风险，另一方面能够减小因压力导致的接片部件2的变形风险。

作为示例，如图1所示，为了提高升降驱动部件1的升降精度，于升降驱动部件1的外部设置有第一垂向导向部件4以提高垂向运动精度。如图9所示，显示为第一垂向导向部件4的结构示意图，第一垂向导向部件4包括导轨41，导轨41包括导轨固定部411及与导轨固定部411相配适的导轨垂向移动部412，导轨固定部411与定子结构101固定连接，导轨垂向移动部412与动子结构102固定连接；第一垂向导向部件4不仅能够为动子结构102提供垂向运动导向，同时能够进一步约束动子结构102旋转。较佳地，导轨41采用交叉滚珠导轨，导轨固定部411与导轨垂向移动部412之间设有交叉滚珠以降低导轨固定部411与导轨垂向移动部412之间的运动摩擦力，提高垂向运动精度。

作为示例，如图10所示，在另一示例中，第一垂向导向部件4位于升降驱动部件1内部以对动子结构102的垂向运动提供导向，第一垂向导向部件4包括滚珠花键42，滚珠花键42包括轴套421与轴杆422，轴套421与定子结构101固定连接，轴杆422与动子结构102固定连接。在一示例中，轴套421中设置有方形滑道，轴杆422为与方形滑道相配适的方形轴杆；在另一示例中，轴套421中设置有圆形滑道，轴杆422为与圆形滑道相配适的圆形轴杆，其中，圆形滑道内设置有限位槽，使得轴杆422只能在垂向上做升降运动，不能在水平方向上转动。

作为示例，如图1所示，还包括垂向检测部件5，垂向检测部件5包括尺带部分与读头部分，尺带部分与动子结构102固定连接，读头部分与定子结构101固定连接，用于检测升降位置信息。

作为示例，还包括弹性部件6，弹性部件6沿垂向设置，弹性部件6的一端与定子结构101固定连接，另一端与动子结构102固定连接，当升降驱动部件1断电时，接片部件2能够在弹性部件6的弹性作用下恢复至初始位置，用于垂向运动复位。弹性部件6包括拉簧。

作为示例，推顶装置还设置有电气限位部件及机械限位部件，分别用于接片部件2升降运动时的上下电气安全限位及上下机械安全限位。

作为示例，如图11所示，展示了推顶装置设置在晶圆交接装置中，且接片部件2连接外部驱动时的结构示意图。具体的，晶圆交接装置包括推顶装置、底座7、旋转部件；其中，推顶装置安装于底座7，旋转部件包括旋转驱动部件8、旋转底座9和吸盘10，旋转底座9环设在推顶装置外侧并与接片部件2连接，吸盘10位于旋转底座9上方与旋转底座9固定连接，旋转底座9和吸盘10上开设有多个对应的通孔，接片爪201穿设在旋转底座9和吸盘10的通孔内，旋转驱动部件8设置在底座7与旋转底座9之间，当旋转驱动部件8驱动旋转底座9旋转时，进而带动吸盘10和接片部件2做旋转运动。

作为示例，接片部件2和吸盘10同步旋转，在交接晶圆的过程中，升降驱动部件1在驱动接片部件2做升降运动的过程中，接片爪201的升降运动最低位与吸盘10的上表面齐平即可，相对于接片部件2不随吸盘10旋转的推顶装置，能够缩短一个吸盘10厚度的垂向运动行程，解决交接行程过长的问题，提高交接效率。

作为示例，优选的，为了提高接片部件2的升降运动精度，于接片部件2的外侧与旋转底座9的内侧之间设置第二垂向导向部件11，第二垂向导向部件11包括导轨滑块，滑道固定部与旋转底座9固定连接，滑块移动部与接片部件2固定连接，第二垂向导向部件11为接片部件2的垂向运动提供导向以提高接片部件2的垂向运动精度，同时第二垂向导向部件11固定了接片部件2和旋转底座9的相对位置，当旋转驱动部件8驱动旋转底座9旋转时，可更好的带动接片部件2与吸盘10同步旋转。

综上所述，本实用新型的推顶装置中，接片部件通过旋转解耦部件与升降驱动部件转动连接，实现接片部件在旋转运动时与升降驱动部件解耦，使得接片部件能够实现吸附功能提高交接的安全性与可靠性，并且能够降低旋转驱动部件的驱动质量，提高旋转精度。另外，接片部件与吸盘同步旋转，降低交接运动的垂向行程，提高交接效率。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种推顶装置，其特征在于，包括：

升降驱动部件（1），包括定子结构（101）与动子结构（102），所述动子结构（102）安装于所述定子结构（101）上且可相对于所述定子结构（101）做升降运动；

接片部件（2），位于所述升降驱动部件（1）上方与所述动子结构（102）连接以随所述动子结构（102）做升降运动，所述接片部件（2）的上端设有多个接片爪（201）；

其中，所述接片部件（2）能够相对于所述升降驱动部件（1）做旋转运动，所述接片部件（2）和所述升降驱动部件（1）之间设置有旋转解耦部件（3），所述接片部件（2）和所述升降驱动部件（1）之间通过所述旋转解耦部件（3）转动连接，当所述接片部件（2）做旋转运动时，所述升降驱动部件（1）不随所述接片部件（2）运动。

2.根据权利要求1所述的推顶装置，其特征在于：所述动子结构（102）的顶端设有沿水平方向的延伸部，所述旋转解耦部件（3）包括上球头柱塞（301）、连接部件（302）和下球头柱塞（303），所述上球头柱塞（301）位于所述接片部件（2）中且与所述动子结构（102）的上表面滚动连接，所述连接部件（302）与所述接片部件（2）固定连接，所述下球头柱塞（303）位于所述连接部件（302）中且与所述动子结构（102）的延伸部的下表面滚动连接。

3.根据权利要求1所述的推顶装置，其特征在于：所述旋转解耦部件（3）包括连接块（311）、第一滚珠（312）和第二滚珠（313），所述连接块（311）的上端与所述接片部件（2）固定连接，所述连接块（311）的下端与所述动子结构（102）之间通过所述第一滚珠（312）转动连接，所述连接块（311）和所述动子结构（102）平行于旋转轴的相对面各设有与所述第一滚珠（312）相配适的凹槽，其中至少一个凹槽为环形凹槽；多个所述第二滚珠（313）位于所述接片部件（2）的下表面与所述动子结构（102）的上表面之间以使所述接片部件（2）和所述动子结构（102）转动连接，所述接片部件（2）的下表面与所述动子结构（102）的上表面分别设有与所述第二滚珠（313）相配适的凹槽，其中至少一个凹槽为环形凹槽。

4.根据权利要求1所述的推顶装置，其特征在于：所述旋转解耦部件（3）包括双圈轴承（321），所述双圈轴承（321）包括轴承内圈与轴承外圈且所述轴承内圈与所述轴承外圈能够做相对旋转运动，所述轴承内圈与所述动子结构（102）固定连接，所述轴承外圈与所述接片部件（2）固定连接；或所述轴承外圈与所述动子结构（102）固定连接，所述轴承内圈与所述接片部件（2）固定连接。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的推顶装置，其特征在于：所述接片爪（201）的顶端设有吸附头（202），所述接片部件（2）内设有第一气路（203），所述第一气路（203）的一端延伸至所述吸附头（202），所述第一气路（203）的另一端延伸至所述旋转解耦部件（3）区域；所述动子结构（102）内部设有第二气路（204），所述第二气路（204）的一端延伸至所述旋转解耦部件（3）区域与所述第一气路（203）连通，所述第二气路（204）的另一端从所述动子结构（102）的侧边顶部引出与抽气装置连接。

6.根据权利要求5所述的推顶装置，其特征在于：所述旋转解耦部件（3）区域设置有避空区域，所述接片部件（2）具有向下的延伸部，所述接片部件（2）的延伸部延伸入所述避空区域并靠近所述动子结构（102），所述接片部件（2）的延伸部内设置有所述第一气路（203），所述第一气路（203）与所述第二气路（204）连通。

7.根据权利要求6所述的推顶装置，其特征在于：

所述升降驱动部件（1）内设置有O型密封圈（205），所述密封圈（205）设置在所述第一气路（203）和所述第二气路（204）的连通处，对所述第一气路（203）和所述第二气路（204）密封；或

所述动子结构（102）具有连通槽，所述接片部件（2）的延伸部延伸入所述连通槽中，所述连通槽内周侧壁上设置有环形槽，所述环形槽中设置有所述密封圈（205），所述密封圈（205）与所述接片部件（2）的延伸部的外周侧壁密封连接。

8.根据权利要求6所述的推顶装置，其特征在于：

所述第一气路（203）与所述第二气路（204）的连接点在所述接片部件（2）的旋转轴上；或

所述接片部件（2）还包括设置在所述接片部件（2）的延伸部内的环形气槽，所述环形气槽与所述接片部件（2）的旋转轴同轴，所述第一气路（203）与所述第二气路（204）分别与所述环形气槽连通。

9.根据权利要求5所述的推顶装置，其特征在于：所述旋转解耦部件（3）区域设有第三气路（206），所述第三气路（206）在垂直方向上贯穿所述旋转解耦部件（3）区域，所述第三气路（206）的一端与所述第一气路（203）连通且通过密封圈（205）密封，所述第三气路（206）的另一端与所述第二气路（204）连通且通过所述密封圈（205）密封，所述第三气路（206）与所述接片部件（2）的旋转轴重合；或所述第三气路（206）为与所述接片部件（2）旋转轴同轴的环形气槽。

10.根据权利要求1所述的推顶装置，其特征在于：还包括外部的旋转驱动部件（8），所述旋转驱动部件（8）与所述接片部件（2）连接以驱动所述接片部件（2）做旋转运动。