KR20020049333A - 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및언로딩장치 - Google Patents

수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및언로딩장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20020049333A
KR20020049333A KR1020000078481A KR20000078481A KR20020049333A KR 20020049333 A KR20020049333 A KR 20020049333A KR 1020000078481 A KR1020000078481 A KR 1020000078481A KR 20000078481 A KR20000078481 A KR 20000078481A KR 20020049333 A KR20020049333 A KR 20020049333A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
picker
loading
test
unloading
driving
Prior art date
Application number
KR1020000078481A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100404740B1 (ko
Inventor
설대환
Original Assignee
백영근
내일시스템주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 백영근, 내일시스템주식회사 filed Critical 백영근
Priority to KR10-2000-0078481A priority Critical patent/KR100404740B1/ko
Publication of KR20020049333A publication Critical patent/KR20020049333A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100404740B1 publication Critical patent/KR100404740B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/91Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers
    • B65G47/918Devices for picking-up and depositing articles or materials incorporating pneumatic, e.g. suction, grippers with at least two picking-up heads
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68742Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

본 발명은 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치에 관한 것으로, 테스트 싸이트에서 디바이스를 테스트하기 위해 이송시키고 테스트 싸이트(Test site)에서 테스트 완료된 디바이스를 언로딩 버퍼측으로 이송시키는 동작을 동시에 수행할 수 있도록 한 것이다.
이를 위해, 테스트포지션(T)의 직상부에 위치된 상판(3)에 설치되어 구동모터(4)의 구동에 따라 회전하는 축(5)과, 상기 축의 회전량을 검출하여 구동모터의 구동을 제어하는 축회전 제어수단과, 상기 축의 하단에 고정된 회전체(13)상에 대칭되게 고정되어 축과 함께 회전하는 가이드레일(14a)(14b)과, 상기 각 가이드레일에 결합되어 승강 운동하는 승강블럭(15a)(15b)과, 상기 승강블럭에 설치되어 디바이스를 흡착하는 적어도 1개 이상의 픽커(17a)(17b)와, 상기 가이드레일의 외측에 위치되게 상판에 고정되고 외주면에는 각 승강블럭의 일단이 끼워지는 캠홈(21a)이 형성된 원통형상의 캠판(21)과, 상기 테스트 포지션(T) 및 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 일치되게 캠판으로부터 분할 형성된 가동캠판(24a)(24b)과, 상기 각 가동캠판에 일단이 고정되어 픽커가 테스트 포지션 및 디바이스 로딩/언로딩포지션에 위치되었을 때 픽커를 승강시키는 픽커 승강수단과, 상기 픽커의 상사점과 하사점을 검출하여 픽커 승강수단의 구동을 제어하는 픽커 제어수단으로 구성된 것이다.

Description

수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치{Device loading and unloading apparatus in the test site of handler}
본 발명은 테스트 싸이트에서 디바이스를 테스트하기 위해 이송시키고, 테스트 싸이트(Test site)에서 테스트 완료된 디바이스를 언로딩 버퍼측으로 이송시키는 동작을 동시에 수행할 수 있기에 적합하도록 된 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치에 관한 것이다.
일반적으로 현재까지 알려진 수평식 핸들러의 디바이스 로딩 및 언로딩장치에 대하여 간략하게 설명하면 다음과 같다.
본체의 상측에 설치된 X-Y축에 로딩픽커가 설치되어 있어 상기 로딩픽커가 로딩포지션에 얹혀진 고객트레이로부터 복수개의 디바이스를 흡착한 다음 이를 로딩버퍼내에 안착시키고 나면 디바이스의 위치가 결정된다.
상기 로딩픽커는 로딩포지션과 로딩버퍼사이를 반복적으로 왕복 운동하면서 고객트레이내에 담겨져 있던 디바이스의 위치를 테스트하기 전에 재결정시키게 된다.
이렇게 위치 결정된 디바이스는 X-Y축을 따라 이동하는 테스트픽커가 흡착하여 테스트 싸이트의 직상부로 이송한 다음 수직 하강하게 되므로 테스트픽커에 매달려 있던 디바이스의 리드가 테스트 싸이트에 설치되어 있던 소켓의 단자와 전기적으로 접속되고, 이에 따라 설정된 시간동안 디바이스의 성능 검사가 이루어지게 된다.
이와 같은 동작에 의해 디바이스의 테스트가 이루어지고 나면 테스트픽커는 X-Y축을 따라 이동하여 테스트 완료된 디바이스를 언로딩버퍼내에 안착시키게 되므로 언로딩픽커가 이를 흡착하여 테스트 결과에 따라 언로딩포지션에 위치된 빈 고객트레이내에 언로딩하게 된다.
상기한 바와 같이 언로딩픽커가 언로딩버퍼내에 있던 디바이스를 흡착하여 분류시, 테스트픽커는 X-Y축을 따라 다시 로딩버퍼측으로 이송되어 와 새로운 디바이스를 흡착하여 테스트 싸이트측으로 이동하게 되므로 계속적인 디바이스의 테스트작업이 가능해지게 된다.
그러나 이러한 종래의 장치는 테스트픽커가 로딩버퍼내에 있던 디바이스를 흡착하여 테스트 싸이트에서 설정된 시간동안 테스트를 실시한 다음 이를 언로딩버퍼내에 언로딩할 때까지 테스트 싸이트에서 테스트를 실시할 수 없게 되므로 디바이스의 이송에 따른 싸이클 타임이 길어져 고가 장비의 가동률이 저하되었음은 물론 공정간에 작업량을 일치시키기가 곤란하여 공정간의 작업량의 발란스를 맞추기 위해서는 부득이 고가 장비를 추가로 구입하여야 되는 문제점이 발생되었다.
또한, 테스트픽커가 로딩버퍼-테스트 싸이트-언로딩버퍼측으로 이동하기 위한 별도의 X-Y축을 설치하여야 되었음은 물론 X-Y축의 이동에 따른 가이드레일을 설치하여야 되었으므로 장비가 필요 이상으로 커져 장비의 설치에 따른 점유면적을 넓게 차지하게 되는 문제점도 있었다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 한 쌍의 테스트픽커를 로타리타입으로 구성하여 일측의 테스트픽커가 로딩버퍼내의 디바이스를 흡착하여 설정된 시간동안 테스트하기 위해 테스트 싸이트측으로 이송시킬 때, 다른 일측의 테스트픽커가 테스트 완료된 디바이스를 언로딩버퍼측으로 이송시킬 수 있도록 하여 고가 장비의 가동률을 극대화시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 테스트포지션의 직상부에 위치된 상판에 설치되어 구동모터의 구동에 따라 회전하는 축과, 상기 축의 회전량을 검출하여 구동모터의 구동을 제어하는 축회전 제어수단과, 상기 축의 하단에 고정된 회전체상에 대칭되게 고정되어 축과 함께 회전하는 가이드레일과, 상기 각 가이드레일에 결합되어 승강운동하는 승강블럭과, 상기 승강블럭에 설치되어 디바이스를 흡착하는 적어도 1개 이상의 픽커와, 상기 가이드레일의 외측에 위치되게 상판에 고정되고 외주면에는 각 승강블럭의 일단이 끼워지는 캠홈이 형성된 원통형상의 캠판과, 상기 테스트 포지션 및 디바이스 로딩/언로딩포지션에 일치되게캠판으로부터 분할 형성된 가동캠판과, 상기 각 가동캠판에 일단이 고정되어 픽커가 테스트 포지션 및 디바이스 로딩/언로딩포지션에 위치되었을 때 픽커를 승강시키는 픽커 승강수단과, 상기 픽커의 상사점과 하사점을 검출하여 픽커 승강수단의 구동을 제어하는 픽커 제어수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치가 제공된다.
도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 구성을 나타낸 종단면도로서,
도 1a는 테스트포지션 및 로딩/언로딩포지션에 위치된 픽커가 상사점에 위치된 상태도
도 1b는 테스트포지션 및 로딩/언로딩포지션에 위치된 픽커가 하사점에 위치된 상태도
도 1c는 로딩/언로딩포지션에 위치된 픽커가 상사점과 하사점의 중간에 위치된 상태도
도 2는 고정판을 분리시킨 상태의 평면도
도 3은 도 1b의 측면도
도 4는 도 1a의 "A"부 사시도
도 5는 캠판의 외주면에 형성된 캠홈의 캠선도
도면중 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 베이스3 : 상판
4 : 구동모터5 : 축
14a, 14b : 가이드레일15a, 15b : 승강블럭
17a, 17b : 픽커21 : 캠판
21a : 캠홈24a, 24b : 가동캠판
26a, 26b : 회전나사30a, 30b : 리드스크류
32a, 32b : 승강편
이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 도 1 내지 도 5를 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 구성을 나타낸 종단면도이고 도 2는 고정판을 분리시킨 상태의 평면도로서, 본 발명은 테스트포지션(T)의 직상부에 위치하는 베이스(1)상에 통공(1a)이 형성되어 있고 상기 통공의 양측에는 측판(2)이 고정되어 있으며 상기 측판의 상면에는 상판(3)이 고정되어 있다.
또한, 테스트 싸이트의 직상부에 위치하는 상판(3)에는 구동모터(4)의 구동에 따라 회전하는 축(5)이 설치되어 있고 구동모터(4)의 축에는 구동풀리(6)가 고정되어 있으며 축에는 종동풀리(7)가 고정되어 있고 구동풀리와 종동풀리에는 타이밍벨트(8)가 감겨져 있어 구동모터(4)의 구동에 따라 축(5)이 시계 또는 반 시계방향으로 회전하게 된다.
상기 구동모터(4)의 구동에 따라 회전하는 축(5)은 상판(3)에 고정된 슬리브(9)내의 베어링(10)에 의해 원활한 회전운동을 하게 된다.
상기 상판(3)에 지지된 축(5)의 회전량은 구동모터(4)의 구동을 제어하는 축회전 제어수단에 의해 제어되는데, 축회전 제어수단은 축(5)에 고정되어 축과 함께 회전하는 검출편(11)과, 상기 축의 상단을 지지하는 고정판(35)상의 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)과 테스트포지션(T)에 위치되게 각각 설치되어 검출편(11)이 검출됨에 따라 구동모터(4)의 구동을 제어하는 한 쌍의 센서(12a)(12b)로 구성되어 있다.
또한, 축(5)의 하단에 회전체(13)가 고정되어 있고 상기 회전체상에 대칭되게 가이드레일(14a)(14b)이 고정되어 축과 함께 회전하도록 되어 있으며 상기 각 가이드레일에는 승강 운동하는 승강블럭(15a)(15b)이 결합되어 있다.
상기 가이드레일(14a)(14b)을 따라 승강하는 승강블럭(15a)(15b)에는 디바이스 로딩/언로딩포지션(L) 및 테스트포지션(T)에서 디바이스(16)를 홀딩하고 있는 적어도 1개 이상의 픽커(17a)(17b)가 설치되어 있는데, 상기 픽커(17a)(17b)는 연질의 패드(18)이고 푸셔(19)사이에 스프링(20)이 탄력 설치되어 공압에 의해 디바이스(16)를 흡착하는 진공패드로 되어 있다.
한편. 상판(3)의 저면에는 외주면에 캠홈(21a)이 형성된 원통형상의 캠판(21)이 고정되어 상기 캠판(21)의 내부에 가이드레일(14a)(14b) 및 승강블럭(15a)(15b)이 위치되도록 구성되어 있는데, 상기 캠판(21)의 외주면에 형성된 캠홈(21a)에는 승강블럭(15a)(15b)의 일단이 끼워져 있다.
이 때, 상기 각 승강블럭(15a)(15b)에 베어링(22)이 설치되어 상기 베어링이 캠홈(21a)에 끼워져 있는데, 이는 축(5)의 회전으로 승강블럭(15a)(15b)이 이동하는 동안 승강블럭(15a)(15b)의 일단이 캠홈(21a)에 끼워져 있어 소음의 발생을 방지함은 물론 원활한 동작이 이루어지도록 하기 위함이다.
또한, 상기 캠판(21)의 외주면에 형성되는 캠홈(21a)은 도 5에 나타낸 바와 같이 수평구간인 디바이스 로딩/언로딩포지션구간에서 테스트포지션으로 갈수록 점진적으로 낮아지는 경사구간을 이루다가 테스트포지션에서는 다시 수평구간을 이루도록 형성되어 있다.
이는, 테스트포지션(T)에 위치되었을 경우에는 테스트 싸이트에 설치된 소켓(23)과 최근접되게 위치되도록 하여 테스트에 따른 싸이클 타임을 최대한 줄일 수 있도록 하기 위함이다.
외주면을 따라 캠홈(21a)이 형성된 캠판(21)의 테스트포지션(T) 및 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 일치된 지점에는 캠판(21)으로부터 분할 형성된 가동캠판(24a)(24b)이 승강 가능하게 설치되어 있고 상기 각 가동캠판(24a)(24b)의 일단에는 픽커(17a)(17b)가 테스트포지션(T) 및 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 위치되었을 때 픽커를 승강시키는 픽커 승강수단이 구비되어 있다.
상기 픽커 승강수단의 구성은 도 1a 및 도 2에 나타낸 바와 같이 상판(3)에 대칭되게 종동풀리(25a)(25b)를 갖는 회전나사(26a)(26b)가 공회전 가능하게 설치되어 있고 모터(27a)(27b)의 구동축에는 구동풀리(28a)(28b)가 고정되어 있으며 상기 구동풀리와 종동풀리사이에는 타이밍벨트(29a)(29b)가 감겨져 있어 모터(27a)(27b)가 구동함에 따라 종동풀리와 고정된 회전나사(26a)(26b)가 회전 운동하게 된다.
그리고 상기 각 회전나사(26a)(26b)에 리드스크류(30a)(30b)가 나사 결합되어 있고 상기 리드스크류의 일단은 회전나사(26a)(26b)의 회전에 의해 캠판(21)에 고정된 가이드레일(31a)(31b)을 따라 승강하는 승강편(32a)(32b)에 끼워져 있는데, 상기 각 승강편(32a)(32b)에 끼워지는 리드스크류(31a)(31b)에는 승강편(32a)(32b)을 상방향으로 편의하는 탄성부재(33a)(33b)가 설치되어 있다.
이는, 가동캠판(24a)(24b)이 상사점에 위치되었을 때 탄성부재(33a)(33b)에 의해 항상 상방향으로 편의되어 캠판(21)에 형성된 캠홈(21a)과 일치되도록 하기 위함이다.
디바이스를 핸들링하는 픽커(17a)(17b)의 상사점과 하사점은 픽커 제어수단에 의해 검출하여 픽커 승강수단의 구동을 제어하므로서 가능하다.
상기 픽커 제어수단은 각 리드스크류(30a)(30b)의 선단에 고정된 검출편(34a)(34b)과, 상기 고정판(35)에 고정된 지지편(36)에 설치되어 검출편(34a)(34b)이 검출됨에 따라 픽커(17a)(17b)를 승강시키는 구동원인 모터(27a)(27b)의 구동을 제어하는 한 쌍의 센서(37a)(37b)로 구성되어 있다.
본 발명에 적용되는 구동모터(4) 및 모터(27a)(27b)는 회전수의 조절이 용이한 스탭모터를 적용하였다.
이와 같이 구성된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
편의상, 도 1a와 같이 픽커(17a)(17b)가 각각 테스트포지션(T)과 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)의 상사점에 위치된 상태, 즉 1개의 픽커(17a)가 적어도 1개 이상의 디바이스(16)를 흡착하여 테스트포지션(T)인 테스트 싸이트의 직상부에 위치되고, 다른 1개의 픽커(17b)는 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 위치된 로딩버퍼(38)의 직상부에 위치된 상태에서부터 설명한다.
이 때, 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 위치된 픽커(17b)는 상사점에 위치되어 있지 않고 도 1c와 같이 상사점과 하사점의 중간위치에 대기하고 있는데, 이에 대한 구체적인 설명은 후술하기로 한다.
상기한 바와 같이 픽커(17a)(17b)가 테스트포지션(T)과 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 위치된 상태에서는 승강블럭(15a)(15b)에 결합된 베어링(22)이 가동캠판(24a)(24b)에 각각 위치되어 있다.
이러한 상태에서 테스트포지션(T)에 위치된 디바이스(16)를 테스트하기 위해 모터(27a)가 구동하면 모터의 구동력이 타이밍벨트(29a)를 통해 종동풀리(25a)에 전달되어 회전나사(26a)를 회전시키게 되므로 상기 회전나사에 나사 결합된 리드스크류(30a)가 하강하게 되고, 이에 따라 상기 리드스크류에 결합된 승강편(32a)이 가이드레일(31a)을 따라 하강하게 된다.
이와 같이 승강편(32a)이 도 3과 같이 가이드레일(31a)을 따라 하강하면 상기 승강편의 일단이 가동캠판(24a)과 고정되어 있고 가동캠판에는 승강블럭(15a)의 일단에 결합된 베어링(22)이 끼워져 있어 상기 승강블럭(15a)이 회전체(13)에 고정된 가이드레일(14a)을 따라 하강하게 된다.
상기 승강블럭(15a)이 하강하여 픽커(17a)에 설치된 푸셔(19)가 소켓(23)의 누름편을 눌러주면 상기 누름편이 외측으로 벌어지면서 소켓의 단자가 외부로 노출되므로 픽커(17a)에 흡착된 디바이스(16)의 리드가 소켓의 단자와 전기적으로 접속되고, 이에 따라 설정된 시간동안 디바이스의 성능을 테스트하게 되는 것이다.
상기 테스트 싸이트에 설치되어 디바이스의 리드가 전기적으로 접속되는 소켓의 구조는 이미 공지되어 있어 도시를 생략함과 동시에 이에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
상기한 바와 같이 회전나사(26a)를 회전시켜 픽커(17a)를 하강시키는 모터(27a)의 구동은 도 4와 같이 리드스크류(30a)의 상단에 고정된 검출편(34a)을 지지편(36)의 하부에 고정된 센서(37b)가 감지함에 따라 중단되므로 픽커(17a)가 하사점에 위치하게 된다.
상기 테스트포지션(T)에 위치된 픽커(17a)가 모터(27a)의 구동으로 하사점까지 하강하여 설정된 시간동안 디바이스의 성능을 테스트하는 동안 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 위치된 픽커(17b)는 또 다른 모터(27b)의 구동에 따라 하사점까지 하강하여 로딩버퍼(38)에 담겨져 있던 디바이스를 흡착하게 된다.
이와 같이 테스트포지션(T)과 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 위치된 픽커(17a)(17b)가 도 1b와 같이 각각 하사점까지 하강하여 설정된 시간동안 디바이스의 성능을 테스트함과 동시에 로딩버퍼(38)내에 담겨져 있던 디바이스를 흡착하고 나면 전술한 바와는 반대로 모터(27a)(27b)가 역구동하게 되므로 디바이스를 각각 흡착하고 있던 픽커(17a)(17b)가 상사점까지 상승하게 되는데, 상기 픽커(17a)(17b)가 상사점까지 상승하는 것은 리드스크류(30a)(30b)의 상단에 고정된 검출편(34a)(34b)을 지지편(36)의 상측에 고정된 센서(37a)가 검출하여 모터(27a)(27b)의 구동을 제어하므로 가능하다.
상기한 바와 같이 모터(27a)(27b)의 재구동으로 승강편(32a)(32b)이 상사점에 도달하면 리드스크류의 하단에 탄성부재(33a)(33b)가 끼워져 있어 승강편이 과잉 상승하더라도 승강편을 상방향으로 편의하게 되므로 캠판(21)의 외주면에 형성된 캠홈(21a)과 가동캠판(24a)(24b)에 형성된 캠홈이 정확히 일치하게 된다.
이와 같이 한 쌍의 픽커(17a)(17b)가 테스트 완료된 디바이스와 테스트할 디바이스를 흡착한 상태에서 상사점까지 상승하고 나면 축(5)을 회전시키는 구동모터(4)가 재구동하게 되므로 상기 구동모터의 구동력이 타이밍벨트(8)를 통해 종동풀리(7)측으로 전달되고, 이에 따라 축(5)이 회전하게 된다.
상기 구동모터(4)의 구동으로 축(5)이 회전하면 상기 축에 회전체(13)가 고정되어 있고 회전체에는 한 쌍의 승강블럭(15a)(15b)이 설치되어 있으므로 상기 승강블럭에 설치된 픽커(17a)(17b)의 위치가 180°반전된다.
상기한 바와 같은 동작시 승강블럭(17a)(17)의 일단에 결합된 베어링(22)이 캠판(21)에 형성된 캠홈(21a)내에 끼워져 있어 테스트 완료된 디바이스가 흡착된 픽커(17a)는 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 위치된 언로딩버퍼측으로 이동하는 동안 캠홈(21a)을 따라 상승하게 되고, 이와는 반대로 테스트할 디바이스가 흡착된 픽커(17b)는 테스트포지션(T)측으로 이동하는 동안 캠홈(21a)을 따라 하강하여 소켓(23)과 근접된 상태를 유지하게 된다.
상기 동작은 축(5)에 고정된 검출편(11)을 고정판(35)상에 고정된 센서(12b)가 감지하여 구동모터(4)의 구동을 제어하므로 가능하다.
따라서 전술한 바와 같은 동작을 반복적으로 실시할 수 있게 되는데, 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 위치된 픽커(17a)는 하사점까지 하강하여 테스트 완료된 디바이스를 언로딩버퍼내에 언로딩함과 동시에 모터(27b)의 재구동으로 상승시 상사점까지 상승하지 않고 도 1c에 나타낸 바와 같이 상사점과 하사점의 중간위치에서 테스트할 디바이스가 공급되기를 기다린다.
이는, 테스트할 디바이스의 흡착에 따른 시간을 최대한 단축시키기 위함이다.
이러한 상태에서 테스트 완료된 다바이스가 얹혀진 언로딩버퍼가 언로딩위치로 이동시 동일한 스트로크로 함께 이동하는 로딩버퍼가 이송되어 오면 가이드레일(31b)의 중간지점에 위치하고 있던 승강편(32b)이 모터(27b)의 재구동으로 하사점까지 하강하게 되므로 흡착패드(18)가 로딩버퍼내의 디바이스를 흡착한 다음 상사점까지 상승하게 된다.
지금까지 설명한 것은 한 쌍의 픽커(17a)(17b)가 테스트포지션(T)에서 디바이스(16)를 테스트하는 동안 로딩버퍼(38)내의 디바이스를 흡착하였다가 테스트 완료된 디바이스를 언로딩버퍼내에 언로딩하기 위해 디바이스 로딩/언로딩포지션(L)에 위치되도록 180°반전시 테스트할 디바이스를 테스트포지션에 위치시키는 과정을 설명한 것으로, 로딩버퍼를 통해 테스트할 디바이스가 공급되는 한 계속해서 동일한 동작을 반복적으로 수행하게 됨은 이해 가능하다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 종래의 장치에 비하여 다음과 같은 장점을 갖는다.
첫째, 어느 하나의 픽커가 테스트할 디바이스를 테스트포지션으로 이송시 다른 하나의 픽커가 테스트 완료된 디바이스를 디바이스 로딩/언로딩포지션으로 이송시키게 되므로 디바이스의 로딩 및 언로딩에 따른 싸이클 타임을 1/2로 줄일 수 있게 되고, 이에 따라 고가장비의 가동률을 극대화하게 되므로 생산성을 배가시키게 된다.
둘째, 한 쌍의 픽커가 축을 중심으로 회전하면서 테스트 싸이트측으로 디바이스를 로딩 및 언로딩하게 되므로 픽커의 이송에 따른 별도의 레일이 필요치 않게 되고, 이에 따라 수평식 핸들러의 콤팩트화 실현이 가능해지게 된다.
셋째, 종래에는 픽커에 흡착된 디바이스의 하강 및 상승량을 실린더의 구동에 따라 제어하므로 인해 디바이스의 승강량을 조절하는데 한계가 있었지만, 본 발명은 스탭모터의 구동에 따라 픽커의 승강량을 조절할 수 있게 되므로 테스트할 디바이스의 두께에 따라 픽커의 스트로크를 용이하게 조절할 수 있게 된다.
넷째, 전술한 바와 같은 효과에 따라 테스트 싸이트에서의 디바이스 푸싱압력을 용이하게 조절할 수 있게 되므로 과잉 푸싱에 따른 디바이스의 리드 벤트(lead vent)현상을 미연에 방지하게 된다.

Claims (8)

  1. 테스트포지션의 직상부에 위치된 상판에 설치되어 구동모터의 구동에 따라 회전하는 축과, 상기 축의 회전량을 검출하여 구동모터의 구동을 제어하는 축회전 제어수단과, 상기 축의 하단에 고정된 회전체상에 대칭되게 고정되어 축과 함께 회전하는 가이드레일과, 상기 각 가이드레일에 결합되어 승강운동하는 승강블럭과, 상기 승강블럭에 설치되어 디바이스를 흡착하는 적어도 1개 이상의 픽커와, 상기 가이드레일의 외측에 위치되게 상판에 고정되고 외주면에는 각 승강블럭의 일단이 끼워지는 캠홈이 형성된 원통형상의 캠판과, 상기 테스트 포지션 및 디바이스 로딩/언로딩포지션에 일치되게 캠판으로부터 분할 형성된 가동캠판과, 상기 각 가동캠판에 일단이 고정되어 픽커가 테스트 포지션 및 디바이스 로딩/언로딩포지션에 위치되었을 때 픽커를 승강시키는 픽커 승강수단과, 상기 픽커의 상사점과 하사점을 검출하여 픽커 승강수단의 구동을 제어하는 픽커 제어수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캠판의 외주면에 형성되는 캠홈이 수평구간인 디바이스 로딩/언로딩포지션구간에서 테스트포지션으로 갈수록 점진적으로 낮아지는 경사구간을 이루다가 테스트포지션에서는 다시 수평구간을 이루도록 형성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 축회전 제어수단은 축에 고정되어 축과 함께 회전하는 검출편과, 상기 축의 상단을 지지하는 고정판상의 디바이스 로딩/언로딩포지션과 테스트포지션에 위치되게 각각 설치되어 검출편이 검출됨에 따라 구동모터의 구동을 제어하는 한 쌍의 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 픽커는 연질의 패드이고 푸셔사이에 스프링으로 탄력 설치되어 공압에 의해 디바이스를 흡착하는 진공패드인 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 승강블럭에 베어링이 설치되어 상기 베어링이 캠홈에 끼워진 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 승강수단은 상판에 공회전 가능하게 설치된 회전나사를 회전시키는 모터와, 상기 회전나사에 나사 결합된 리드스크류와, 상기 리드스크류에 일단이 끼워져 회전나사의 회전에 의해 캠판에 고정된 가이드레일을 따라 승강하는 승강편으로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 승강편에 끼워지는 리드스크류에 승강편을 상방향으로 편의하는 탄성부재가 설치된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치.
  8. 제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 픽커 제어수단은 각 리드스크류의 선단에 고정된 검출편과, 상기 고정판에 고정된 지지편에 설치되어 검출편이 검출됨에 따라 픽커를 승강시키는 구동원인 모터의 구동을 제어하는 한쌍의 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및 언로딩장치.
KR10-2000-0078481A 2000-12-19 2000-12-19 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및언로딩장치 KR100404740B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0078481A KR100404740B1 (ko) 2000-12-19 2000-12-19 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및언로딩장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0078481A KR100404740B1 (ko) 2000-12-19 2000-12-19 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및언로딩장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020049333A true KR20020049333A (ko) 2002-06-26
KR100404740B1 KR100404740B1 (ko) 2003-11-07

Family

ID=27683306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2000-0078481A KR100404740B1 (ko) 2000-12-19 2000-12-19 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및언로딩장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100404740B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100835178B1 (ko) * 2002-02-09 2008-06-04 (주)한성정공 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치
KR100889379B1 (ko) * 2007-07-03 2009-03-19 콘티넨탈 오토모티브 일렉트로닉스 주식회사 히트싱크와 하이브리드 집적회로 기판의 접합검사장치
KR200460019Y1 (ko) * 2009-10-29 2012-04-27 (주)티에스이 픽앤플레이스 시스템
CN111824726A (zh) * 2020-07-31 2020-10-27 苏州华锟智能科技有限公司 一种X-ray检测机

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100835178B1 (ko) * 2002-02-09 2008-06-04 (주)한성정공 버티컬 핸들러의 반도체 소자 이송 장치
KR100889379B1 (ko) * 2007-07-03 2009-03-19 콘티넨탈 오토모티브 일렉트로닉스 주식회사 히트싱크와 하이브리드 집적회로 기판의 접합검사장치
KR200460019Y1 (ko) * 2009-10-29 2012-04-27 (주)티에스이 픽앤플레이스 시스템
CN111824726A (zh) * 2020-07-31 2020-10-27 苏州华锟智能科技有限公司 一种X-ray检测机
CN111824726B (zh) * 2020-07-31 2023-05-23 江苏华锟智能科技有限公司 一种X-ray检测机

Also Published As

Publication number Publication date
KR100404740B1 (ko) 2003-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101321467B1 (ko) 반도체 웨이퍼 시험장치
KR101144593B1 (ko) 반도체 검사용 웨이퍼 프로버 및 검사방법
JP4490521B2 (ja) 回転駆動機構及び被検査体の載置機構並びに検査装置
CN210743929U (zh) 承载装置
US8674712B2 (en) Apparatus for driving placing table
KR100521956B1 (ko) 집적회로 검사 방법, 집적회로 핸들러 및 집적회로 검사장치
KR100296759B1 (ko) 번인 테스터용 소팅 핸들러의 포킹 및 언포킹 픽커
KR100404740B1 (ko) 수평식 핸들러의 테스트 싸이트에서의 디바이스 로딩 및언로딩장치
KR100439523B1 (ko) 수평식 핸들러의 픽커 간격조절장치
KR100644430B1 (ko) Pcb 검사 장치
KR100354103B1 (ko) 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수평반송장치
JP4282379B2 (ja) ウエハ検査装置
KR100316805B1 (ko) 핸들러의 얼라이너 상승장치
KR100358704B1 (ko) 액정디스플레이패널 검사장치의 패널공급장치
KR102104051B1 (ko) 소자핸들러
US11662367B2 (en) Inspection apparatus and inspection method
KR100365133B1 (ko) 수평식 핸들러의 디바이스 로딩 및 언로딩용 버퍼
JP3238922B2 (ja) ハンドラーのアライナ上昇装置
KR0135152B1 (ko) 트레이 상면 종이 덮음장치
KR20100079882A (ko) 웨이퍼 이송장치 및 이를 포함하는 프로브 스테이션
JP7251721B1 (ja) 部品処理装置
KR200417731Y1 (ko) Pcb 검사 장치
KR100402947B1 (ko) 웨이퍼 프레임에 접착된 테이프제거기용 트랜스퍼
KR20000003127A (ko) 반도체 소자와 테스터 소켓간의 접촉력 제어장치
KR910007417B1 (ko) 다이본더의 웨이퍼 홀딩장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121127

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131126

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141124

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151027

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161025

Year of fee payment: 14

LAPS Lapse due to unpaid annual fee