KR0135152B1 - 트레이 상면 종이 덮음장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼에서 절단되어 테스트완료된 양품의 칩(chip)을 트레이내에 넣은 다음 트레이를 차례로 적층시 트레이에 담겨진 칩을 보호하기 위해 트레이 상면으로 종이를 덮어주는 트레이 상면 종이 덮음장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 칩이 넣어진 트레이의 상면으로 종이를 자동으로 공급하여 공정의 자동화 실현이 가능해질 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 본 발명은 칩(1)이 담겨진 트레이(2)가 얹혀지는 베이스(3)와, 상기 베이스의 일측으로 설치되어 트레이의 상면으로 덮어지는 종이(4)가 적재되는 종이적재부(5)와, 상기 종이적재부에 적재된 종이를 트레이의 상면으로 이송시키는 종이이송수단(6)으로 구성된 것이다.

Description

트레이 상면 종이 덮음장치

제 1도는 본 발명을 나타낸 평면도

제 2도는 본 발명을 설명하기 위한 제1도의 A-A선 단면도

＊도면의 주요부분에 대한 부호의 설명＊

2 : 트레이,3 : 베이스,

4 : 종이,5 : 종이적재부,

6 : 종이이송수단,8 : 적재편,

10 : 승강판, 15 : 아암,

18 : 버큠패드,20 : 가이드 마운트,

21 : 베어링

본 발명은 웨이퍼에서 절단되어 테스트 완료된 양품의 칩(CHIP)을 트레이내에 넣은 다음 트레이를 차례로 적층시 트레이에 담겨진 칩을 보호하기 위해 트레이의 상면으로 종이를 덮어주는 트레이 상면 종이 덮음장치에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로 칩이 넣어진 트레이의 상면으로 종이를 자동으로 공급하여 공정의 자동차 실현이 가능해질 수 있도록 한 것이다.

일반적으로 제조공정을 거쳐 제조완료된 웨이퍼는 개개의 칩에 대한 성능 검사를 실시한 다음 절단하여 양품으로 판정된 칩만이 선별되어 트레이내에 담겨지게 된다.

상기 트레이내에 칩이 담겨짐에 따라 트레이를 차례로 복수개(약 25개 정도)적층하여 다음공정으로 운반하거나, 또는 보관하게 되는데, 이때 트레이의 상면으로는 칩의 표면에 스크래치(SCRETCH) 및 크랙(CRACK)의 발생을 최소화하기 위해 종이를 덮게 된다.

종래에는 적층되는 트레이의 상면에 작업자가 수동으로 종이르 덮었기 때문에 작업능률이 저하되었음은 물론 공정의 자동화실현이 불가능하였으므로 생산성의 저하를 초래하는 문제점이 있었다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로 트레이내에 칩이 가득채워짐에 따라 트레이의 상면에 자동으로 종이가 덮어지도록 하므로서 생산능률을 향상시킴과 동시에 공정의 자동화가 실현될 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 칩이 담겨진 트레이가 얹혀지는 베이스와, 상기 베이스의 일측에 설치되어 트레이의 상면으로 덮어지는 다수매의 종이가 차례로 적재되는 종이적재부와, 상기 종이적재부에 적재된 최상부의 종이를 트레이의 상면으로 이송시켜 덮어주는 종이 이송수단으로 구성된 트레이 상면 종이 덮음장치가 제공된다.

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 첨부된 도면 제1도 및 제2도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제1도는 본 발명을 나타낸 평면도이고 제2도는 본 발명을 설명하기 위한 제1도의 A-A 선 단면도로서, 본 발명은 칩(1)이 담겨진 트레이(2)가 얹혀지는 베이스(3)와, 트레이의 상면으로 덮어지는 다수매의 종이(4)가 차례로 적재된 종이적재부(5)와, 종이적재부에 적재되어 최상부에 위치된 1매의 종이이송수단(6)등으로 구성되어 있다.

상기 종이적재부(5)는 제1도 및 제2도에 도시한 바와 같이 베이스(3)의 일측으로 위치된 설치판(7)에 종이(4)가 적재되는 한쌍의 적재편(8)이 대향되게 보울트와 같은 고정부재(9)에 의해 고정되어 있다.

상기 종이적재부에 적재되어 최상부에 위치된 1매의 종이를 흡착하여 트레이의 상면에 차례로 이송시키는 종이이송수단(6)의 구성은 다음과 같다.

상기 설치판(7)에 수직으로 승강가능하게 승강판(10)이 설치되어 실린더(11)의 구동에 따라 승강운동하도록 되어 있고 상기 승강판에는 설치판에 고정된 가이드봉(12)이 끼워져 승강판의 승강운동시 이를 가이드하도록 되어 있다.

이때, 상기 승강판(10)에는 가이드봉(12)의 외주면에 접속되는 리니어 베어링(13)이 고정되어 있어 승강판의 승강운동이 더욱 원활해지게 됨은 물론 승강동작이 안정적으로 수행된다.

그리고 상기 승강판(10)의 상면에는 축(14)에 고정된 아암(15)을 종이적재부(5)측으로 90℃ 회동시키는 구동원(16)이 설치되어 있는데, 이때 상기 아암의 회동은 구동원에 설치된 공지의 센서(도시는 생략함)가 축의 회전각도를 감지함에 따라 제어된다.

또한, 상기 아암의 선단에는 버큠라인(17)을 통해 공급된 압축공기에 의해 종이적재부(5)의 최상부에 위치된 1매의 종이를 흡착하는 버큠패드(18)가 탄성부재(19)로 탄력 설치되어 있다.

한편, 버큠패드(17)가 종이적재부(5)의 직상부에 위치되게 아암(15)이 회동된 상태에서 승강판(10)을 승, 하강시키는 실린더(11)는 실린더내에 설치된 공지의 센서(도시는 생략함)가 실린더로드의 승, 하강을 감지함에 따라 구동이 제어되도록 구성되어 있다.

상기 구동원에서 아암(15)을 신속하게 회전시키면서도 회전각도를 정확히 제어하는 스탭모터 등을 설치할 수 있지만, 본 발명의 일실시예에서는 기기를 콤팩트화시키기 위해 회전실린더를 사용하였으며, 탄성부재는 코일스프링을 사용하였다.

또한, 승강판(10)의 상부에 원통형의 가이드 마운트(20)가 일체로 형성되어 있고 축(14)에는 양단에 베어링(21)이 결합된 안내봉(22)이 고정되어 상기 베어링이 가이드 마운트의 상면과 접속되도록 구성되어 있다.

이는, 구동원(16)에 의해 아암(15)이 보다 안정되게 회동운동할 수 있도록 하기 위함이다.

상기 종이적재부(5)에 적재된 1매의 종이(4)를 흡착하는 버큠패드(18)의 상부에 핀(23)이 고정되어 있고 상기 핀이 끼워지는 아암(15)에는 부쉬(24)가 고정되어 있다.

이는, 실린더(11)의 구동으로 아암(15)이 하강되어 버큠패드(18)가 적재편(8)사이에 적재된 최상부의 종이(4)와 안정되게 접속되도록 하기 위함이다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 베이스(3)에 얹혀진 트레이(2)내에 단위칩으로 절단됨과 동시에 테스트완료되어 양품으로 선별된 칩(1)이 별도의 이송수단(도시는 생략함)에 의해 담겨질 때 아암(15)의 선단에 설치된 버큠패드(18)는 적재편(8)에 적재된 종이(4)의 직상부에 위치되어 있다.

이러한 상태에서 트레이(2)내에 테스트완료된 칩(1)이 차례로 이송되어 전부담겨지고 나면 설치판(7)에 고정된 실린더(11)가 동작하여 승강판(10)을 하강시키게 되므로 아암(15)의 선단에 설치된 버큠패드(18)가 적재편(8)에 적재된 최상면의 종이(4)가 접속된다.

이때 상기 승강판(10)은 실린더로드의 하강으로 하사점에 설치된 공지의 센서가 동작될 때까지 하강하게 된다.

상기 동작시 버큠패트(18)에 고정된 핀(23)이 아암의 선단에 끼워진 상태로 탄성부재(19)에 의해 탄력설치되어 있어 탄성부재를 압축시키면서 상승하게 되므로 버큠패드가 복원력을 갖게 되고, 이에 따라 버큠패드의 저면이 종이의 상면과 탄력적으로 접속된다.

이와 같이 버큠패드(18)의 저면이 최상면에 위치된 종이(4)와 접속된 상태에서 버큠라인(17)을 통해 진공압이 걸리면 버큠패트(18)의 하면에 흡착력이 발생되므로 1매의 종이가 버큠패드(18)에 흡착된다.

상기 동작으로 1매의 종이(4)가 버큠패드에 흡착되고 나면 실린더(11)가 다시 동작하여 승강판(10)을 상사점까지 상승시키게 되므로 종이적재부에 적재되었던 1매의 종이가 분리된다. 상기한 바와 같이 승강판(10)의 상승시에도 하강시와 마찬가지로 실린더로드의 상사점에 설치된 공지의 센서가 실린더로드의 상승을 감지하게 되므로 상사점까지의 상승이 제어된다.

이때, 승강판(10)은 가이드봉(12)에 끼워져 있어 안정된 동작이 이루어지며, 종이가 흡착된 버큠패드(18)는 탄성부재(19)의 복원력에 의해 최초의 상태로 환원된다.

그 후, 구동원(16)인 회전실린더가 동작하여 축(14)을 공지의 센서(도시는 생략함)가 감지하는 지점인 90℃ 회전시키면 고정된 아암(15)로 베이스(3)에 얹혀져 칩이 가득 담겨진 트레이(2)측으로 90℃ 회전한 다음 동작을 중단한다.

즉, 버큠패드(18)에 흡착된 종이(4)가 트레이(2)의 상면에 위치되었을 때 아암의 회전동작을 중단한다.

상기 동작시 축(14)에 고정된 안내봉(22)의 양단에는 베어링(21)이 고정되어 가이드 마운트(20)의 상면과 접속되어 있으므로 아암의 회전동작이 원활하게 이루어진다.

이와 같이 구동원(16)인 회전실린더의 구동중간으로 아암(15)의 회전이 중단되고 나면 다시 실린더(11)가 동작하여 상사점에 위치되어 있던 승강판(10)을 실린더내의 센서가 감지하는 하사점까지 하강시키고 실린더의 구동을 중단한다.

이에 따라 버큠패드(18)에 흡착되었던 종이(4)가 트레이(2)의 상면과 접속되면 버큠라인(17)으로 공급되던 진공압을 해제시키므로서 버큠패드에 흡착되어 있던 종이가 트레이(2)의 상면에 위치된다.

상기한 바와 같이 종이적재부(5)에 있던 1매의 종이(4)를 트레이(2)의 상면에 위치시키고 나면 실린더(11)의 재구동으로 승강판(10)을 상사점까지 상승시킴과 동시에 구동원(16)인 회전실린더의 작으로 아암(15)에 설치된 버큠패드(18)를 초기상태인 종이적재부의 상부까지 회동시키므로서 계속적인 작업이 가능해지게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 발명은 칩이 담겨진 트레이가 얹혀지는 베이스의 일측으로 종이적재부를 설치하고 종이적재부의 일측으로는 종이적재부에 적재된 1매의 종이를 트레이의 상면으로 이송시키는 종이이송수단을 설치하여 칩이 담겨진 트레이의 상면으로 종이를 자동으로 얹어 놓게 되므로 생산능력을 행상시키게 됨은 물론 기기의 자동화 실현이 가능해지게 되는 효과를 얻게 된다.

Claims (13)

1. 칩(1)이 담겨진 트레이(2)가 얹혀지는 베이스(3)와, 상기 베이스의 일측으로 설치되어 트레이의 상면으로 덮어지는 다수매의 종이(4)가 차례로 적재되는 종이적재부(5)와, 상기 종이적재부에 적재된 최상부의 종이를 트레이의 상면으로 이송시켜 덮어주는 종이이송수단(6)으로 구성된 트레이 상면 종이 덮음장치.
2. 제1항에 있어서, 종이적재부가 양측으로 대향되게 설치판(7)에 고정된 한쌍의 적재편(8)과, 상기 적재편을 설치판에 고정시키는 고정부재(9)로 구성된 트레이 상면 종이 덮음장치.
3. 제2항에 있어서, 고정부재(9)가 보울트임을 특징으로 하는 트레이 상면 종이 덮음장치.
4. 제1항에 있어서, 종이이송수단이 설치판(7)에 수직으로 승강 가능하게 설치된 승강판(10)과, 상기 승강판의 상면에 고정설치되어 공지의 센서의 감지에 따라 구동이 제어되는 구동원(16)과, 상기 구동원의 축(14)에 고정되어 축의 회전에 따라 함께 회전되는 아암(15)과, 상기 아암의 선단에 설치되어 버큠라인(17)으로 공급된 압축공기에 의해 종이적재부(5)의 최상부에 위치된 1매의 종이(4)를 흡착하는 버큠패트(18)로 구성된 트레이 상면 종이 덮음장치.
5. 제4항에 있어서, 설치판(7)에 실린더(11)를 설치하고 상기 실린더의 로드는 승강판(10)에 고정하여 실린더로드의 승, 하강을 공지의 센서가 감지함에 따라 실린더의 구동이 제어되도록 구성된 트레이 상면 종이 덮음장치.
6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 설치판(7)에 승강판(10)이 결합되는 가이드봉(12)을 고정하여 실린더(11)의 동작으로 승강판(10)이 승강 운동할 때 가이드봉(12)에 안내되어 승강하도록 구성된 트레이 상면 종이 덮음장치.
7. 제6항에 있어서, 승강판(10)에 리니어 베어링(13)을 고정하여 상기 리니어 베어링이 가이드봉(12)과 접속되도록 구성된 트레이 상면 종이 덮음장치.
8. 제4항에 있어서, 승강판(10)의 상부로 가이드 마운트(20)를 일체로 형성하고 구동원의 축(14)에는 양단에 베어링(21)이 결합된 안내봉(22)을 고정하여 상기 구동원에 의해 축이 회동될 때 베어링(21)이 가이드 마운트(20)의 상면에 접속되도록 구성된 트레이 상면 종이 덮음장치.
9. 제4항 또는 제8항에 있어서, 구동원(16)이 회전실린더임을 특징으로 하는 트레이 상면 종이 덮음장치.
10. 제4항에 있어서, 아암(15)에 버큠패드(18)를 탄성부재(19)에 의해 탄력 설치하여서 된 트레이 상면 종이 덮음장치.
11. 제10항에 있어서, 탄성부재(19)가 코일스프링임을 특징으로 하는 트레이 상면 종이 덮음장치.
12. 제4행 또는 제10항에 있어서, 버큠패드(18)에는 아암(15)에 끼워지는 핀(23)을 고정하여 실린더(11)의 하강운동으로 버큠패드(18)가 종이적재부(5)의 종이와 접속될 때 버큠패드의 저면이 종이(4)의 상면과 안정되게 접속되도록 구성된 트레이 상면 종이 덮음장치.
13. 제12항에 있어서, 핀(23)이 끼워지는 아암(15)에 핀의 외주면과 접속되는 부쉬(24)를 고정하여서 된 트레이 상면 종이 덮음장치.