KR20230081630A - 산업용 로봇 및 산업용 로봇의 교시 방법 - Google Patents

산업용 로봇 및 산업용 로봇의 교시 방법 Download PDF

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KR20230081630A
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다모츠 구리바야시
데츠야 이노마타
와타루 무라타
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니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤
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Abstract

자동 교시된 위치를 보정하기 위한 교정을 행하는 경우에도, 교정을 행하기 위한 오퍼레이터의 부담을 경감시키는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다.
산업용 로봇(1)에서는, 적재부(3)의 소정 위치(PP)에 배치되는 반송 대상물을 탑재할 때의 핸드(4, 5)의 위치인 핸드 위치를 기억시키기 위한 교시 스텝과, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치를 보정하기 위한 교정 스텝을 연속적이고 자동으로 실행하고 있다. 교정 스텝에서는, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치에 핸드(5)를 이동시켜서 소정 위치(PP)에 배치된 교시용 반송 대상물(32)을 핸드(5)에 탑재해서 취출한 후, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치에 핸드(5)를 다시 이동시켜서 적재부(3)에 교시용 반송 대상물(32)을 놓고 나서, 핸드(4)에 설치된 제2 센서(28)로 교시용 반송 대상물(32)의 위치를 검지하고, 제2 센서(28)의 검지 결과에 기초하여 핸드 위치를 보정하고 있다.

Description

산업용 로봇 및 산업용 로봇의 교시 방법{INDUSTRIAL ROBOT AND INDUSTRIAL ROBOT TEACHING METHOD}
본 발명은 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇 교시 방법에 관한 것이다.
종래, 워크를 반송하는 수평 다관절형 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇은, 스테이지에의 워크의 반입 및 스테이지로부터의 워크의 반출을 행한다. 이 산업용 로봇에 대해서는, 스테이지에 수용되어 있는 워크의 상하 방향 및 수평 방향의 위치를 산업용 로봇에 기억시키는 산업용 로봇의 자동 교시가 행해진다. 자동 교시를 행할 때에는, 교시용 지그가 산업용 로봇의 핸드에 설치된다. 교시용 지그는, 워크의 상하 방향의 위치를 검지하기 위한 제1 센서와, 워크의 수평 방향의 위치를 검지하기 위한 제2 센서를 구비하고 있다.
특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에 있어서 자동 교시가 행해지기 전에는, 교정(캘리브레이션)이 행해진다. 교정을 행할 때에는, 먼저 오퍼레이터가, 핸드의 이상적이라고 여겨지는 위치에 워크를 탑재한다. 그 후, 산업용 로봇을 조작하여, 핸드에 탑재된 워크를 스테이지에 반입해서 놓는다. 그 후, 상술한 교시용 지그를 핸드에 설치하고 나서, 자동 교시와 동일한 동작을 산업용 로봇에 행하게 하여, 제2 센서에 의해 워크의 수평 방향의 위치를 검지한다. 또한, 제2 센서의 검지 결과에 기초하여 보정값을 산출한다. 산업용 로봇의 자동 교시가 끝나면, 자동 교시된 위치가, 교정시에 산출된 보정값에 기초해서 보정된다.
일본특허공개 제2019-102695호 공보
특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇의 경우, 자동 교시를 행할 때의 작업 및 조작과 교정을 행할 때의 작업 및 조작이 별도로 되어 있어, 오퍼레이터는, 자동 교시를 행할 때의 작업이나 조작에 더하여, 교정을 행할 때의 작업이나 조작을 행할 필요가 있다. 또한, 이 산업용 로봇의 경우, 교정을 행할 때의 작업에 오퍼레이터의 수작업이 포함되어 있어, 교정을 행할 때의 오퍼레이터 작업은 번잡해진다. 그 때문에, 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇의 경우, 교정을 행하기 위한 오퍼레이터의 부담이 커진다.
그래서, 본 발명의 과제는, 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇에 있어서, 자동 교시된 위치를 보정하기 위한 교정을 행하는 경우에도, 교정을 행하기 위한 오퍼레이터의 부담을 경감시키는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다. 또한, 본 발명의 과제는, 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇에 있어서, 자동 교시된 위치를 보정하기 위한 교정을 행하는 경우에도, 교정을 행하기 위한 오퍼레이터의 부담을 경감시키는 것이 가능하게 되는 산업용 로봇의 교시 방법을 제공하는 데 있다.
상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇은, 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇이며, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 핸드가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 암과, 산업용 로봇을 제어하는 제어부를 구비하고, 제어부는, 반송 대상물이 적재되는 적재부의 소정 위치에 배치되는 반송 대상물을 핸드에 탑재할 때, 및 핸드에 탑재된 반송 대상물을 소정 위치에 놓을 때의 핸드의 상하 방향 및 수평 방향의 위치인 핸드 위치를 산업용 로봇에 기억시키기 위한 교시 스텝과, 교시 스텝 후에, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치를 보정하기 위한 교정 스텝을 연속적이고 자동으로 실행하고, 교시 스텝이 실행될 때에는, 반송 대상물과 동일 형상으로 형성되는 더미 반송 대상물, 또는 반송 대상물이 소정 위치에 배치되어 있고, 소정 위치에 배치되는 반송 대상물 또는 더미 반송 대상물을 교시용 반송 대상물로 하면, 교시 스텝에서는, 핸드에 설치된 제1 센서에 의해, 소정 위치에 배치된 교시용 반송 대상물의 상하 방향의 위치를 검지하고, 또한 핸드에 설치된 제2 센서에 의해, 소정 위치에 배치된 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 제어부는, 제1 센서 및 제2 센서의 검지 결과에 기초하여 핸드 위치를 특정해서 기억하고, 교정 스텝에서는, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치에 핸드를 이동시켜서 소정 위치에 배치된 교시용 반송 대상물을 핸드에 탑재해서 취출한 후, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치에 핸드를 다시 이동시켜서 적재부에 교시용 반송 대상물을 놓고, 그 후, 핸드에 설치된 제2 센서에 의해, 적재부에 놓인 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 제어부는, 제2 센서의 검지 결과에 기초하여, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치 중 수평 방향의 위치를 보정하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기의 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 산업용 로봇 교시 방법은, 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 핸드가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 암을 구비하는 산업용 로봇의 교시 방법이며, 반송 대상물이 적재되는 적재부의 소정 위치에 배치되는 반송 대상물을 핸드에 탑재할 때, 및 핸드에 탑재된 반송 대상물을 소정 위치에 놓을 때의 핸드의 상하 방향 및 수평 방향의 위치인 핸드 위치를 산업용 로봇에 기억시키기 위한 교시 스텝과, 교시 스텝 후에, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치를 보정하기 위한 교정 스텝을 연속적이고 자동으로 실행하고, 교시 스텝이 실행될 때에는, 반송 대상물과 동일 형상으로 형성되는 더미 반송 대상물, 또는 반송 대상물이 소정 위치에 배치되어 있고, 소정 위치에 배치되는 반송 대상물 또는 더미 반송 대상물을 교시용 반송 대상물로 하면, 교시 스텝에서는, 핸드에 설치된 제1 센서에 의해, 소정 위치에 배치된 교시용 반송 대상물의 상하 방향의 위치를 검지하고, 또한 핸드에 설치된 제2 센서에 의해, 소정 위치에 배치된 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 제1 센서 및 제2 센서의 검지 결과에 기초하여 핸드 위치를 특정해서 기억하고, 교정 스텝에서는, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치에 핸드를 이동시켜서 소정 위치에 배치된 교시용 반송 대상물을 핸드에 탑재해서 취출한 후, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치에 핸드를 다시 이동시켜서 적재부에 교시용 반송 대상물을 놓고, 그 후, 핸드에 설치된 제2 센서에 의해, 적재부에 놓인 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 제2 센서의 검지 결과에 기초하여, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치 중 수평 방향의 위치를 보정하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 반송 대상물이 적재되는 적재부의 소정 위치에 배치되는 반송 대상물을 핸드에 탑재할 때, 및 핸드에 탑재된 반송 대상물을 소정 위치에 놓을 때의 핸드의 상하 방향 및 수평 방향의 위치인 핸드 위치를 산업용 로봇에 기억시키기 위한 교시 스텝과, 교시 스텝 후에, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치를 보정하기 위한 교정 스텝을 연속적이고 자동으로 실행하고 있다.
또한, 본 발명에서는, 교정 스텝에 있어서, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치에 핸드를 이동시켜서 소정 위치에 배치된 교시용 반송 대상물을 핸드에 탑재해서 취출한 후, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치에 핸드를 다시 이동시켜서 적재부에 교시용 반송 대상물을 놓고, 그 후, 핸드에 설치된 제2 센서에 의해, 적재부에 놓인 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 제2 센서의 검지 결과에 기초하여, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치 중 수평 방향의 위치를 보정하고 있다.
그 때문에, 본 발명에서는, 오퍼레이터가, 교시 스텝을 실행하기 위한 작업 및 조작을 행하면, 교정 스텝을 행하기 위한 작업이나 조작을 행하지 않아도, 교정 스텝까지 자동으로 실행시키는 것이 가능해진다. 따라서, 본 발명에서는, 교시 스텝에 있어서 자동 교시된 위치를 보정하기 위한 교정을 행하는 경우에도, 교정을 행하기 위한 오퍼레이터의 부담을 경감시키는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 산업용 로봇은, 핸드로서, 제1 핸드 및 제2 핸드를 구비하고, 제1 핸드 및 제2 핸드의 어느 한쪽은, 제1 핸드 및 제2 핸드의 어느 다른 한쪽보다 상측에 배치되고, 상하 방향으로부터 보았을 때에, 암에 대한 제1 핸드의 회동 중심과 암에 대한 제2 핸드의 회동 중심이 일치하고 있음과 함께, 암에 대한 제1 핸드의 회동 각도와 암에 대한 제2 핸드의 회동 각도가 동등할 때에, 제1 핸드에 탑재되는 반송 대상물과 제2 핸드에 탑재되는 반송 대상물이 상하 방향으로 겹쳐 있고, 교시 스텝에서는, 제1 핸드에 설치된 제1 센서에 의해, 소정 위치에 배치된 교시용 반송 대상물의 상하 방향의 위치를 검지함과 함께, 제1 핸드에 설치된 제2 센서에 의해, 소정 위치에 배치된 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지하고, 교정 스텝에서는, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치에 제2 핸드를 이동시켜서 소정 위치에 배치된 교시용 반송 대상물을 제2 핸드에 탑재해서 취출한 후, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치에 제2 핸드를 다시 이동시켜서 적재부에 교시용 반송 대상물을 놓고, 그 후, 제1 핸드에 설치된 제2 센서에 의해, 적재부에 놓인 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지하는 것이 바람직하다.
이와 같이 구성하면, 교정 스텝에 있어서, 제1 센서 및 제2 센서가 설치되어 있지 않은 제2 핸드에 의해 교시용 반송 대상물을 반송하는 것이 가능해지기 때문에, 예를 들어 핸드에 의한 교시용 반송 대상물의 반송에 지장이 발생할 우려가 있는 위치에 제1 센서나 제2 센서가 배치되어 있었다 하더라도, 교정 스텝에 있어서, 제1 센서 및 제2 센서를 제1 핸드에 설치한 그대로의 상태에서, 제2 핸드에 의해 교시용 반송 대상물을 반송하는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 교시 스텝 및 교정 스텝이 실행될 때에는, 제1 센서 및 제2 센서를 갖는 교시용 지그가 제1 핸드에 설치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제1 핸드에 설치되는 교시용 지그가 제1 센서 및 제2 센서를 구비하고 있기 때문에, 예를 들어 제1 핸드에 의한 반송 대상물의 반송에 지장이 발생할 우려가 있는 위치에 제1 센서나 제2 센서가 배치되어 있는 경우에도, 산업용 로봇의 교시 후에, 제1 센서 및 제2 센서를 제1 핸드로부터 용이하게 분리하는 것이 가능해진다. 또한, 산업용 로봇의 교시를 행할 때에는, 제1 센서 및 제2 센서를 제1 핸드에 용이하게 설치하는 것이 가능해진다.
본 발명에 있어서, 제1 핸드는, 제2 핸드보다 상측에 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제1 핸드가 제2 핸드보다 하측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 교시용 지그를 설치하기 쉬워진다.
본 발명에 있어서, 예를 들어 산업용 로봇은, 암에 대하여 제1 핸드를 회동시키는 제1 핸드 구동 기구와, 암에 대하여 제2 핸드를 회동시키는 제2 핸드 구동 기구와, 다관절 암인 암을 신축시키는 암 구동 기구와, 암을 승강시키는 승강 기구를 구비하고, 반송 대상물은, 원판상으로 형성되고, 핸드는, 핸드에 탑재되는 반송 대상물의 단부면에 적어도 세 방향으로부터 접촉해서 반송 대상물을 수평 방향에 있어서 일정 위치에서 보유 지지하는 그립 기구를 구비하고, 암에 대한 제1 핸드의 회동 각도와 암에 대한 제2 핸드의 회동 각도가 동등할 때에, 상하 방향으로 보면, 그립 기구에 의해 보유 지지되는 제1 핸드 상의 반송 대상물의 중심과 그립 기구에 의해 보유 지지되는 제2 핸드 상의 반송 대상물의 중심이 일치하고 있다.
이상과 같이, 본 발명에서는, 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇에 있어서, 자동 교시된 위치를 보정하기 위한 교정을 행하는 경우에도, 교정을 행하기 위한 오퍼레이터의 부담을 경감시키는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇의 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시한 산업용 로봇의 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시한 산업용 로봇의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
도 4는 도 1에 도시한 산업용 로봇의 교시를 행할 때에 사용되는 지그의 구성을 설명하기 위한 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시한 산업용 로봇의, 교시 스텝에 있어서의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 6은 도 1에 도시한 산업용 로봇의, 교시 스텝에 있어서의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 7은 도 1에 도시한 산업용 로봇의, 교정 스텝에 있어서의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 8은 도 1에 도시한 산업용 로봇의, 교정 스텝에 있어서의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.
(산업용 로봇의 구성)
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 측면도이다. 도 2는 도 1에 도시한 산업용 로봇(1)의 평면도이다. 도 3은 도 1에 도시한 산업용 로봇(1)의 구성을 설명하기 위한 블록도이다.
본 형태의 산업용 로봇(1)(이하, 「로봇(1)」이라 한다.)은, 반송 대상물인 반도체 웨이퍼(2)(이하, 「웨이퍼(2)」라 한다.)를 반송하기 위한 수평 다관절 로봇이다. 웨이퍼(2)는 원판상으로 형성되어 있다. 로봇(1)은 반도체 제조 시스템에 내장되어 사용된다. 로봇(1)은 웨이퍼(2)가 적재되는 적재부로서의 웨이퍼 적재부(3)(도 5 등 참조)에 대하여 웨이퍼(2)를 반송한다. 즉, 로봇(1)은 웨이퍼 적재부(3)에의 웨이퍼(2)의 반입과, 웨이퍼 적재부(3)로부터의 웨이퍼(2)의 반출을 행한다. 웨이퍼 적재부(3)는, 예를 들어 웨이퍼(2)에 대하여 소정의 처리가 행해질 때에 웨이퍼(2)가 적재되는 스테이지이다. 또한, 웨이퍼 적재부(3)는, 예를 들어 복수매의 웨이퍼(2)가 수용되는 FOUP(Front-Opening Unified Pod)의 내부에 형성되어 있다.
로봇(1)은, 웨이퍼(2)가 탑재되는 핸드(4, 5)와, 핸드(4, 5)가 선단측으로 회동 가능하게 연결됨과 함께 수평 방향으로 동작하는 암(6)과, 암(6)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 본체부(7)를 구비하고 있다. 또한, 로봇(1)은, 로봇(1)을 제어하는 제어부(8)를 구비하고 있다. 본 형태의 로봇(1)은, 2개의 핸드(4, 5)를 구비하고 있다. 본 형태의 핸드(4)는 제1 핸드이고, 핸드(5)는 제2 핸드이다.
암(6)은 서로 회동 가능하게 연결되는 3개의 암부(10 내지 12)에 의해 구성되어 있다. 즉, 암(6)은 다관절 암이다. 암부(10)의 기단측은, 본체부(7)에 회동 가능하게 연결되어 있다. 암부(11)의 기단측은, 암부(10)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 암부(12)의 기단측은, 암부(11)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 암부(10 내지 12)는, 상하 방향(연직 방향)을 회동의 축 방향으로 하여 회동한다. 본체부(7)는 하우징(13)과, 암부(10)의 기단측이 회동 가능하게 연결되는 주상 부재(도시 생략)를 구비하고 있다. 암부(10)의 기단측은, 주상 부재의 상단부에 회동 가능하게 연결되어 있다. 본체부(7)와 암부(10)와 암부(11)와 암부(12)는, 상하 방향에 있어서, 하측으로부터 이 순번으로 배치되어 있다.
핸드(4, 5)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 Y형상이 되도록 형성되어 있다. 핸드(4)와 핸드(5)는, 동일 형상으로 형성되어 있다. 핸드(4, 5)의 기단부는, 암부(12)의 선단측으로 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드(4, 5)는, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 회동한다. 핸드(4, 5)는, 암부(12)에 대하여 개별로 회동 가능하게 되어 있다. 핸드(4, 5)는, 핸드(4, 5)에 탑재되는 웨이퍼(2)의 단부면(외주면)에 세 방향으로부터 접촉해서 핸드(4, 5)에 탑재되는 웨이퍼(2)를 수평 방향에 있어서 일정 위치에서 보유 지지하는 그립 기구(14)를 구비하고 있다. 그립 기구(14)는, 웨이퍼(2)의 단부면이 맞닿는 맞닿음면을 갖는 단부면 맞닿음 부재(15)와, 웨이퍼(2)의 단부면이 단부면 맞닿음 부재(15)의 맞닿음면에 압박되게 웨이퍼(2)를 누르는 웨이퍼 압박 기구(16)를 구비하고 있다.
단부면 맞닿음 부재(15)는, 대략 Y 형상을 이루는 핸드(4, 5)의 선단부의 2군데에 배치되어 있다. 웨이퍼 압박 기구(16)는 핸드(4, 5)의 선단측을 향해서 웨이퍼(2)의 단부면을 누르는 압박부와, 압박부를 구동하는 에어 실린더를 구비하고 있다. 압박부는, 웨이퍼(2)의 단부면에 접촉하는 롤러를 구비하고 있다. 웨이퍼 압박 기구(16)는, 제어부(8)에 전기적으로 접속되어 있다. 구체적으로는, 에어 실린더의 배관 경로에 배치되는 전자 밸브가 제어부(8)에 전기적으로 접속되어 있다. 핸드(4, 5)의 상면에는, 웨이퍼(2)가 적재되는 2개의 웨이퍼 적재 부재(17)가 고정되어 있고, 웨이퍼(2)는, 단부면 맞닿음 부재(15)와 웨이퍼 적재 부재(17)에 탑재된다. 또한, 핸드(4, 5)에 탑재되는 웨이퍼(2)의 단부면에 네 방향 이상으로부터 접촉해서 웨이퍼(2)를 보유 지지하도록 그립 기구(14)가 구성되어 있어도 된다.
핸드(4)의 기단부와 핸드(5)의 기단부는 상하 방향으로 겹쳐 있다. 본 형태에서는, 핸드(4)가 상측에 배치되고, 핸드(5)가 하측에 배치되어 있다. 즉, 핸드(4)는, 핸드(5)보다 상측에 배치되어 있다. 또한, 핸드(4, 5)는, 암부(12)보다 상측에 배치되어 있다. 상하 방향으로부터 보았을 때에, 암(6)에 대한 핸드(4)의 회동 중심(즉, 암부(12)에 대한 핸드(4)의 회동 중심)과 암(6)에 대한 핸드(5)의 회동 중심(즉, 암부(12)에 대한 핸드(5)의 회동 중심)은 일치하고 있다.
암(6)에 대한 핸드(4)의 회동 각도와 암(6)에 대한 핸드(5)의 회동 각도가 동등할 때에는, 핸드(4)와 핸드(5)가 상하 방향으로 겹쳐 있다. 즉, 암(6)에 대한 핸드(4)의 회동 각도와 암(6)에 대한 핸드(5)의 회동 각도가 동등할 때에는, 핸드(4)에 탑재되는 웨이퍼(2)와 핸드(5)에 탑재되는 웨이퍼(2)가 상하 방향으로 겹쳐 있다. 보다 구체적으로는, 암(6)에 대한 핸드(4)의 회동 각도와 암(6)에 대한 핸드(5)의 회동 각도가 동등할 때에, 상하 방향으로 보면, 그립 기구(14)에 의해 보유 지지되는 핸드(4) 상의 웨이퍼(2)의 중심과, 그립 기구(14)에 의해 보유 지지되는 핸드(5) 상의 웨이퍼(2)의 중심이 일치하고 있다.
로봇(1)은 암(6)에 대하여 핸드(4)를 회동시키는 제1 핸드 구동 기구(19)와, 암(6)에 대하여 핸드(5)를 회동시키는 제2 핸드 구동 기구(20)와, 다관절 암인 암(6)을 신축시키는 암 구동 기구(21)와, 암(6)을 승강시키는 승강 기구(22)를 구비하고 있다. 제1 핸드 구동 기구(19), 제2 핸드 구동 기구(20), 암 구동 기구(21) 및 승강 기구(22)는, 제어부(8)에 전기적으로 접속되어 있다. 구체적으로는, 제1 핸드 구동 기구(19), 제2 핸드 구동 기구(20), 암 구동 기구(21) 및 승강 기구(22)의 구동원이 되는 모터 등이 제어부(8)에 전기적으로 접속되어 있다.
암 구동 기구(21)는 암부(10, 11)를 회동시켜서 암부(10)와 암부(11)로 이루어지는 암(6)의 일부분을 신축시키는 제1 구동 기구와, 암부(11)에 대하여 암부(12)를 회동시키는 제2 구동 기구로 구성되어 있다. 승강 기구(22)는 본체부(7)의 주상 부재를 승강시킨다. 승강 기구(22)는 하우징(13)의 내부에 수납되어 있다. 승강 기구(22)는 주상 부재와 함께 핸드(4, 5) 및 암(6)을 승강시킨다.
(산업용 로봇의 교시 방법)
도 4는 도 1에 도시한 로봇(1)의 교시를 행할 때에 사용되는 지그(25)의 구성을 설명하기 위한 평면도이다. 도 5, 도 6은 도 1에 도시한 로봇(1)의, 교시 스텝에 있어서의 동작을 설명하기 위한 평면도이다. 도 7, 도 8은 도 1에 도시한 로봇(1)의, 교정 스텝에 있어서의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
로봇(1)에 대해서는, 웨이퍼 적재부(3)에 대한 웨이퍼(2)가 적절한 반송을 행하기 위한 교시가 행해진다. 로봇(1)의 교시를 행할 때에는, 제어부(8)는, 웨이퍼 적재부(3)의 소정 위치(PP)에 배치된 웨이퍼(2)를 핸드(4, 5)에 탑재할 때, 및 핸드(4, 5)에 탑재된 웨이퍼(2)를 웨이퍼 적재부(3)의 소정 위치(PP)에 놓을 때의 핸드(4, 5)의 상하 방향 및 수평 방향의 위치인 핸드 위치(HP)를 로봇(1)에 기억시키기 위한 교시 스텝과, 교시 스텝 후에, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치(HP)를 보정(교정)하기 위한 교정 스텝을 연속적이고 자동으로 실행한다.
교시 스텝 및 교정 스텝에서는, 제어부(8)는, 웨이퍼 압박 기구(16), 제1 핸드 구동 기구(19), 제2 핸드 구동 기구(20), 암 구동 기구(21) 및 승강 기구(22)를 제어하여, 로봇(1)을 동작시킨다. 즉, 교시 스텝 및 교정 스텝에서는, 로봇(1)은 자동으로 동작하며, 교시 스텝 및 교정 스텝에 있어서, 로봇(1)의 교시를 행하는 오퍼레이터에 의해 행해지는 수작업은 없다.
로봇(1)의 교시를 행할 때에는, 웨이퍼(2)와 동일 형상으로 형성되는 더미 반송 대상물로서의 더미 웨이퍼(32)가 사용된다. 또한, 로봇(1)의 교시를 행할 때에는, 교시용 지그(25)가 사용된다. 지그(25)는 핸드(4)의 상면에 설치된다. 즉, 교시 스텝 및 교정 스텝이 실행될 때에는, 지그(25)가 핸드(4)에 설치되어 있다. 도 4에 도시한 바와 같이, 지그(25)는 얇은 평판상으로 형성되는 지그 본체(26)와, 상하 방향에 있어서의 더미 웨이퍼(32)의 위치를 검지하기 위한 제1 센서(27)와, 수평 방향에 있어서의 더미 웨이퍼(32)의 위치를 검지하기 위한 2개의 제2 센서(28)를 구비하고 있다. 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)는, 로봇(1)의 교시를 행할 때에는 사용되지만, 로봇(1)이 웨이퍼(2)를 반송할 때에는 사용되지 않는다.
지그 본체(26)는, 지그 본체(26)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 핸드(4)의 상면에 설치된다. 지그 본체(26)는, 상하 방향으로부터 보았을 때의 형상이 대략 Y 형상이 되도록 형성되어 있다. 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)는, 지그 본체(26)에 설치되어 있다. 제1 센서(27)는 발광부(27a)와 수광부(27b)를 갖는 투과형 광학식 센서이다. 제1 센서(27)와 마찬가지로, 제2 센서(28)는, 발광부와 수광부를 갖는 투과형 광학식 센서이다. 핸드(4)에 지그(25)를 설치할 때에는, 제1 센서(27)의 배선 및 제2 센서(28)의 배선을 핸드(4)측의 배선에 접속한다. 지그(25)가 핸드(4)의 상면에 설치되면, 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)는, 제어부(8)에 전기적으로 접속된다.
제1 센서(27)의 발광부(27a)와 수광부(27b)는, 수평 방향에 있어서 소정의 간극을 사이에 두고 대향 배치되어 있다. 지그(25)가 핸드(4)의 상면에 설치되면, 발광부(27a)는, 2개의 단부면 맞닿음 부재(15) 중 한쪽의 단부면 맞닿음 부재(15)의 근방에 배치되고, 수광부(27b)는, 다른 쪽의 단부면 맞닿음 부재(15)의 근방에 배치된다. 제2 센서(28)의 발광부와 수광부는, 상하 방향에 있어서 소정의 간극을 사이에 두고 대향 배치되어 있다. 제2 센서(28)는, 지그 본체(26)의 상면측에 설치되어 있다. 지그(25)가 핸드(4)의 상면에 설치되면, 2개의 제2 센서(28) 중 한쪽의 제2 센서(28)는, 2개의 웨이퍼 적재 부재(17) 중 한쪽의 웨이퍼 적재 부재(17)의 근방에 배치되고, 다른 쪽의 제2 센서(28)는, 다른 쪽의 웨이퍼 적재 부재(17)의 근방에 배치된다.
교시 스텝이 실행되기 전에는, 지그(25)가 핸드(4)에 설치된다. 또한, 교시 스텝이 실행되기 전에는, 웨이퍼 적재부(3)의 소정 위치(PP)에 더미 웨이퍼(32)가 배치된다. 즉, 교시 스텝이 실행될 때에는, 소정 위치(PP)에 더미 웨이퍼(32)가 배치되어 있다. 지그(25)는, 로봇(1)의 교시를 행하는 오퍼레이터가 핸드(4)에 설치한다. 더미 웨이퍼(32)는, 오퍼레이터가 소정 위치(PP)에 놓는다. 본 형태의 더미 웨이퍼(32)는, 소정 위치(PP)에 배치되는 교시용 반송 대상물이다. 또한, 교시 스텝이 실행되기 전에는, 지그(25)가 설치된 핸드(4)가 웨이퍼 적재부(3)의 정면에 배치된다(도 5 참조).
그 후, 제어부(8)는 로봇(1)의 교시 개시 지령 신호를 수신한다. 교시 개시 지령 신호를 수신한 제어부(8)는, 교시 스텝을 실행한다. 교시 스텝에서는, 제1 센서(27)에 의해, 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 상하 방향의 위치를 검지하고, 또한 제2 센서(28)에 의해, 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 제어부(8)는, 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)의 검지 결과에 기초하여 상술한 핸드 위치(HP)를 특정한다.
교시 스텝에서는, 먼저 핸드(4)에 설치된 제1 센서(27)에 의해, 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 상하 방향의 위치를 검지하고, 그 후, 핸드(4)에 설치된 제2 센서(28)에 의해, 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치를 검지한다. 또한, 본 형태의 교시 스텝에서 로봇(1)이 행하는 동작은, 상술한 특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇에 대하여 자동 교시를 행할 때에 이 산업용 로봇이 행하는 동작과 동일하다.
소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 상하 방향의 위치를 제1 센서(27)에 의해 검지할 때에는, 웨이퍼 적재부(3)의 정면에 배치된 핸드(4)를 더미 웨이퍼(32)를 향해서 이동시킨다. 이때에는, 핸드(4)를 일정 진폭으로 상하 방향으로 왕복 이동시킨다. 예를 들어, 핸드(4)가 구형파상으로 이동하도록 핸드(4)를 상하 방향으로 왕복 이동시킨다. 핸드(4)가 상하 방향으로 왕복 이동하면서 더미 웨이퍼(32)를 향해서 이동하면, 머지않아 제1 센서(27)의 발광부(27a)로부터 수광부(27b)를 향하는 광이 더미 웨이퍼(32)에 의해 차단되기 때문에(도 6의 (A) 참조), 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 상하 방향의 위치가 검지된다.
소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 상하 방향의 위치가 검지되면, 핸드(4)를 웨이퍼 적재부(3)의 정면까지 일단, 후퇴시킨다. 그 후, 더미 웨이퍼(32)의 상하 방향의 위치의 검지 결과에 기초하여 핸드(4)의 높이를 설정하고 나서, 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치를 제2 센서(28)에 의해 검지하기 위해서, 핸드(4)를 더미 웨이퍼(32)를 향해서 직선적으로 이동시킨다.
핸드(4)가 더미 웨이퍼(32)를 향해서 이동하면, 머지않아 제2 센서(28)의 발광부로부터 수광부를 향하는 광이 더미 웨이퍼(32)에 의해 차단된다. 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치를 검지할 때에는, 2개의 제2 센서(28)의 발광부로부터 수광부를 향하는 광이 더미 웨이퍼(32)에 의해 동시에 차단되도록(도 6의 (B) 참조), 핸드(4)의 이동 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드(4)의 위치가 조정된다.
예를 들어, 2개의 제2 센서(28) 중 한쪽의 제2 센서(28)의 발광부로부터 수광부를 향하는 광만이 더미 웨이퍼(32)에 의해 차단되면, 더미 웨이퍼(32)를 향하는 핸드(4)의 이동을 정지하고, 다른 쪽의 제2 센서(28)의 발광부로부터 수광부를 향하는 광이 더미 웨이퍼(32)에 의해 차단되는 위치까지, 핸드(4)의 이동 방향에 직교하는 방향으로 핸드(4)를 이동시킨다. 그 후, 핸드(4)를 웨이퍼 적재부(3)의 정면까지 후퇴시키고 나서, 다시, 더미 웨이퍼(32)를 향해서 이동시킨다.
2개의 제2 센서(28)의 발광부로부터 수광부를 향하는 광이 더미 웨이퍼(32)에 의해 동시에 차단되면(도 6의 (B) 참조), 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치가 검지된다. 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)의 상하 방향 및 수평 방향의 위치가 검지되면, 제어부(8)는, 상술한 바와 같이, 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)의 검지 결과에 기초하여 핸드 위치(HP)를 특정한다.
그 후, 제어부(8)는, 교정 스텝을 실행한다. 교정 스텝은, 교시 스텝에 이어서 실행되기 때문에, 교정 스텝의 개시 시에는, 웨이퍼 적재부(3)의 소정 위치(PP)에 더미 웨이퍼(32)가 배치되어 있다. 교정 스텝에서는, 먼저 도 7에 도시한 바와 같이, 핸드(5)를 웨이퍼 적재부(3)의 정면에 자동으로 배치한다. 그 후, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치(HP)에 핸드(5)를 이동시키고(도 8의 (A) 참조), 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)를 핸드(5)에 탑재해서 취출한다(도 8의 (B) 참조). 예를 들어, 도 8의 (B)에 나타내는 바와 같이, 핸드(5)에 탑재된 웨이퍼(2)를 웨이퍼 적재부(3)의 정면까지 취출한다. 핸드(5)에 탑재된 더미 웨이퍼(32)는, 그립 기구(14)에 의해 일정 위치에서 보유 지지되어 있다.
그 후, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치(HP)에 핸드(5)를 다시 이동시켜서(도 8의 (A) 참조), 웨이퍼 적재부(3)에 더미 웨이퍼(32)를 놓는다. 이때, 더미 웨이퍼(32)가 소정 위치(PP)에 놓이는 것이 이상적이기는 하지만, 실제로는, 더미 웨이퍼(32)는, 웨이퍼 적재부(3)의, 소정 위치(PP)로부터 약간 어긋난 위치에 놓인다. 즉, 소정 위치(PP)의 근방에 더미 웨이퍼(32)가 놓인다.
그 후, 교시 스텝에 있어서 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치를 검지할 때에 행해진 동작과 동일한 동작을 로봇(1)에 행하게 하고, 제2 센서(28)에 의해, 웨이퍼 적재부(3)에 적재된 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치를 검지한다. 이때에도, 2개의 제2 센서(28)의 발광부로부터 수광부를 향하는 광이 더미 웨이퍼(32)에 의해 동시에 차단되면, 웨이퍼 적재부(3)에 적재된 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치가 검지된다. 그 후, 제어부(8)는, 제2 센서(28)의 검지 결과에 기초하여, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치(HP) 중 수평 방향의 위치를 보정한다.
(본 형태의 주요 효과)
이상 설명한 바와 같이, 본 형태에서는, 제어부(8)는, 핸드 위치(HP)를 로봇(1)에 기억시키기 위한 교시 스텝과, 교시 스텝 후에, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치(HP)를 보정하기 위한 교정 스텝을 연속적이고 자동으로 실행하고 있다. 또한, 본 형태에서는, 교정 스텝에 있어서, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치(HP)에 핸드(5)를 이동시켜서 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)를 핸드(5)에 탑재해서 취출한 후, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치(HP)에 핸드(5)를 다시 이동시켜서 웨이퍼 적재부(3)에 더미 웨이퍼(32)를 놓고, 그 후, 제2 센서(28)에 의해, 웨이퍼 적재부(3)에 놓인 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 제2 센서(28)의 검지 결과에 기초하여, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치(HP) 중 수평 방향의 위치를 보정하고 있다.
그 때문에, 본 형태에서는, 오퍼레이터가, 교시 스텝을 실행하기 위한 작업 및 조작을 행하면, 교정 스텝을 행하기 위한 작업이나 조작을 행하지 않아도, 교정 스텝까지 자동으로 실행시키는 것이 가능해진다. 따라서, 본 형태에서는, 교시 스텝에 있어서 자동 교시된 위치를 보정하기 위한 교정을 행하는 경우에도, 교정을 행하기 위한 오퍼레이터의 부담을 경감시키는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 교정 스텝에 있어서, 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)가 설치되어 있지 않은 핸드(5)에 의해 더미 웨이퍼(32)를 반송하고 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 예를 들어 핸드(4)에 의한 더미 웨이퍼(32)의 반송에 지장이 발생할 우려가 있는 위치에 제1 센서(27)나 제2 센서(28)가 배치되어 있는 경우에도, 교정 스텝에 있어서, 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)를 핸드(4)에 설치한 그대로의 상태에서, 핸드(5)에 의해 더미 웨이퍼(32)를 반송하는 것이 가능해진다.
본 형태에서는, 지그(25)가 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)를 구비하고 있다. 그 때문에, 본 형태에서는, 예를 들어 핸드(4)에 의한 웨이퍼(2)의 반송에 지장이 발생할 우려가 있는 위치에 제1 센서(27)나 제2 센서(28)가 배치되어 있는 경우에도, 로봇(1)의 교시 후에, 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)를 핸드(4)로부터 용이하게 분리하는 것이 가능해진다. 또한, 로봇(1)의 교시를 행할 때에는, 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)를 핸드(4)에 용이하게 설치하는 것이 가능해진다. 또한, 본 형태에서는, 지그(25)가 설치되는 핸드(4)가 핸드(5)보다 상측에 배치되어 있기 때문에, 핸드(5)에 지그(25)가 설치되어 있는 경우와 비교하여, 지그(25)를 설치하기 쉬워진다.
(다른 실시 형태)
상술한 형태는, 본 발명의 적합한 형태의 일례이기는 하지만, 이것에 한정되는 것이 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러가지 변형 실시가 가능하다.
상술한 형태에서는, 교정 스텝에 있어서, 더미 웨이퍼(32)의 반출 및 반입을 행한 후에, 웨이퍼 적재부(3)에 놓인 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치를 제2 센서(28)에 의해 검지함과 함께, 제2 센서(28)의 검지 결과에 기초하여, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치(HP) 중 수평 방향의 위치를 보정하고 있지만, 교정 스텝에 있어서, 더미 웨이퍼(32)의 반출 및 반입을 행한 후에, 웨이퍼 적재부(3)에 놓인 더미 웨이퍼(32)의 상하 방향의 위치를 제1 센서(27)에 의해 검지하고, 또한 웨이퍼 적재부(3)에 놓인 더미 웨이퍼(32)의 수평 방향의 위치를 제2 센서(28)에 의해 검지함과 함께, 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)의 검지 결과에 기초하여, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치(HP)를 보정해도 된다. 즉, 교정 스텝에 있어서, 교시 스텝에서 기억된 핸드 위치(HP)의 상하 방향 및 수평 방향의 위치를 보정해도 된다.
상술한 형태에 있어서, 지그(25)는 핸드(5)에 설치되어도 된다. 이 경우에는, 교시 스텝에 있어서 핸드(5)가 사용된다. 이 경우의 핸드(5)는 제1 핸드이고, 핸드(4)는 제2 핸드이다. 즉, 제2 핸드가 제1 핸드보다 상측에 배치되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)의 교시를 행할 때에, 더미 웨이퍼(32)을 대신하여, 웨이퍼(2)가 사용되어도 된다. 이 경우에는, 웨이퍼(2)가 교시용 반송 대상물이 된다.
상술한 형태에 있어서, 제1 센서(27)는 핸드(4)에 직접 설치되어 있어도 된다. 또한, 제2 센서(28)는 핸드(4)에 직접 설치되어 있어도 된다. 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)가 핸드(4)에 직접 설치되어 있는 경우에는, 지그(25)가 불필요해진다. 또한, 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)가 핸드(4)에 직접 설치되어 있는 경우이며, 핸드(4)에 의한 웨이퍼(2)의 반송에 지장이 발생할 우려가 있는 위치에 제1 센서(27)나 제2 센서(28)가 배치되어 있는 경우에는, 로봇(1)의 교시가 시작되기 전에, 제1 센서(27)나 제2 센서(28)가 핸드(4)에 설치되고, 로봇(1)의 교시가 끝나면, 제1 센서(27)나 제2 센서(28)가 핸드(4)로부터 분리된다.
또한, 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)가 핸드(4)에 직접 설치되어 있는 경우이며, 핸드(4)에 의한 더미 웨이퍼(32)의 반송에 지장이 발생하지 않는 위치에 제1 센서(27) 및 제2 센서(28)가 배치되어 있는 경우에는, 로봇(1)은 핸드(5)를 구비하고 있지 않아도 된다. 이 경우에는, 교정 스텝에 있어서, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치(HP)에 핸드(4)를 이동시켜서 소정 위치(PP)에 배치된 더미 웨이퍼(32)를 핸드(4)에 탑재해서 취출한 후, 교시 스텝에서 특정된 핸드 위치(HP)에 핸드(4)를 다시 이동시켜서 웨이퍼 적재부(3)에 더미 웨이퍼(32)를 놓는다. 이 경우에도, 오퍼레이터가, 교시 스텝을 실행하기 위한 작업 및 조작을 행하면, 교정 스텝을 행하기 위한 작업이나 조작을 행하지 않아도, 교정 스텝까지 자동으로 실행시키는 것이 가능하게 되기 때문에, 교시 스텝에 있어서 자동 교시된 위치를 보정하기 위한 교정을 행하는 경우에도, 교정을 행하기 위한 오퍼레이터의 부담을 경감시키는 것이 가능해진다.
상술한 형태에 있어서, 암(6)은 2개의 암부에 의해 구성되어도 되고, 4개 이상의 암부에 의해 구성되어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은 웨이퍼(2) 이외의 반송 대상물을 반송하기 위한 로봇이어도 된다.
1: 로봇(산업용 로봇)
2: 웨이퍼(반도체 웨이퍼, 반송 대상물)
3: 웨이퍼 적재부(적재부)
4: 핸드(제1 핸드)
5: 핸드(제2 핸드)
6: 암
8: 제어부
14: 그립 기구
19: 제1 핸드 구동 기구
20: 제2 핸드 구동 기구
21: 암 구동 기구
22: 승강 기구
25: 지그
27: 제1 센서
28: 제2 센서
32: 더미 웨이퍼(더미 반송 대상물, 교시용 반송 대상물)
PP: 소정 위치

Claims (6)

  1. 반송 대상물을 반송하기 위한 산업용 로봇이며,
    상기 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 핸드가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 암과, 상기 산업용 로봇을 제어하는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는, 상기 반송 대상물이 적재되는 적재부의 소정 위치에 배치되는 상기 반송 대상물을 상기 핸드에 탑재할 때, 및 상기 핸드에 탑재된 상기 반송 대상물을 상기 소정 위치에 놓을 때의 상기 핸드의 상하 방향 및 수평 방향의 위치인 핸드 위치를 상기 산업용 로봇에 기억시키기 위한 교시 스텝과, 상기 교시 스텝 후에, 상기 교시 스텝에서 기억된 상기 핸드 위치를 보정하기 위한 교정 스텝을 연속적이고 자동으로 실행하고,
    상기 교시 스텝이 실행될 때에는, 상기 반송 대상물과 동일 형상으로 형성되는 더미 반송 대상물, 또는 상기 반송 대상물이 상기 소정 위치에 배치되어 있고,
    상기 소정 위치에 배치되는 상기 반송 대상물 또는 상기 더미 반송 대상물을 교시용 반송 대상물로 하면,
    상기 교시 스텝에서는, 상기 핸드에 설치된 제1 센서에 의해, 상기 소정 위치에 배치된 상기 교시용 반송 대상물의 상하 방향의 위치를 검지하고, 또한 상기 핸드에 설치된 제2 센서에 의해, 상기 소정 위치에 배치된 상기 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 상기 제어부는, 상기 제1 센서 및 상기 제2 센서의 검지 결과에 기초하여 상기 핸드 위치를 특정해서 기억하고,
    상기 교정 스텝에서는, 상기 교시 스텝에서 특정된 상기 핸드 위치에 상기 핸드를 이동시켜서 상기 소정 위치에 배치된 상기 교시용 반송 대상물을 상기 핸드에 탑재해서 취출한 후, 상기 교시 스텝에서 특정된 상기 핸드 위치에 상기 핸드를 다시 이동시켜서 상기 적재부에 상기 교시용 반송 대상물을 놓고, 그 후, 상기 핸드에 설치된 상기 제2 센서에 의해, 상기 적재부에 놓인 상기 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 상기 제어부는, 상기 제2 센서의 검지 결과에 기초하여, 상기 교시 스텝에서 기억된 상기 핸드 위치 중 수평 방향의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 핸드로서, 제1 핸드 및 제2 핸드를 구비하고,
    상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드의 어느 한쪽은, 상기 제1 핸드 및 상기 제2 핸드의 어느 다른 한쪽보다 상측에 배치되고,
    상하 방향으로부터 보았을 때에, 상기 암에 대한 상기 제1 핸드의 회동 중심과 상기 암에 대한 상기 제2 핸드의 회동 중심이 일치하고 있음과 함께, 상기 암에 대한 상기 제1 핸드의 회동 각도와 상기 암에 대한 상기 제2 핸드의 회동 각도가 동등할 때에, 상기 제1 핸드에 탑재되는 상기 반송 대상물과 상기 제2 핸드에 탑재되는 상기 반송 대상물이 상하 방향으로 겹쳐 있고,
    상기 교시 스텝에서는, 상기 제1 핸드에 설치된 상기 제1 센서에 의해, 상기 소정 위치에 배치된 상기 교시용 반송 대상물의 상하 방향의 위치를 검지함과 함께, 상기 제1 핸드에 설치된 상기 제2 센서에 의해, 상기 소정 위치에 배치된 상기 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지하고,
    상기 교정 스텝에서는, 상기 교시 스텝에서 특정된 상기 핸드 위치에 상기 제2 핸드를 이동시켜서 상기 소정 위치에 배치된 상기 교시용 반송 대상물을 상기 제2 핸드에 탑재해서 취출한 후, 상기 교시 스텝에서 특정된 상기 핸드 위치에 상기 제2 핸드를 다시 이동시켜서 상기 적재부에 상기 교시용 반송 대상물을 놓고, 그 후, 상기 제1 핸드에 설치된 상기 제2 센서에 의해, 상기 적재부에 놓인 상기 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 교시 스텝 및 상기 교정 스텝이 실행될 때에는, 상기 제1 센서 및 상기 제2 센서를 갖는 교시용 지그가 상기 제1 핸드에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제1 핸드는, 상기 제2 핸드보다 상측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  5. 제2항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 암에 대하여 상기 제1 핸드를 회동시키는 제1 핸드 구동 기구와, 상기 암에 대하여 상기 제2 핸드를 회동시키는 제2 핸드 구동 기구와, 다관절 암인 상기 암을 신축시키는 암 구동 기구와, 상기 암을 승강시키는 승강 기구를 구비하고,
    상기 반송 대상물은, 원판상으로 형성되고,
    상기 핸드는, 상기 핸드에 탑재되는 상기 반송 대상물의 단부면에 적어도 세 방향으로부터 접촉해서 상기 반송 대상물을 수평 방향에 있어서 일정 위치에서 보유 지지하는 그립 기구를 구비하고,
    상기 암에 대한 상기 제1 핸드의 회동 각도와 상기 암에 대한 상기 제2 핸드의 회동 각도가 동등할 때에, 상하 방향으로 보면, 상기 그립 기구에 의해 보유 지지되는 상기 제1 핸드 상의 상기 반송 대상물의 중심과 상기 그립 기구에 의해 보유 지지되는 상기 제2 핸드 상의 상기 반송 대상물의 중심이 일치하고 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇.
  6. 반송 대상물이 탑재되는 핸드와, 상하 방향을 회동의 축 방향으로 하여 상기 핸드가 선단측으로 회동 가능하게 연결되는 암을 구비하는 산업용 로봇의 교시 방법이며,
    상기 반송 대상물이 적재되는 적재부의 소정 위치에 배치되는 상기 반송 대상물을 상기 핸드에 탑재할 때, 및 상기 핸드에 탑재된 상기 반송 대상물을 상기 소정 위치에 놓을 때의 상기 핸드의 상하 방향 및 수평 방향의 위치인 핸드 위치를 상기 산업용 로봇에 기억시키기 위한 교시 스텝과, 상기 교시 스텝 후에, 상기 교시 스텝에서 기억된 상기 핸드 위치를 보정하기 위한 교정 스텝을 연속적이고 자동으로 실행하고,
    상기 교시 스텝이 실행될 때에는, 상기 반송 대상물과 동일 형상으로 형성되는 더미 반송 대상물, 또는 상기 반송 대상물이 상기 소정 위치에 배치되어 있고,
    상기 소정 위치에 배치되는 상기 반송 대상물 또는 상기 더미 반송 대상물을 교시용 반송 대상물로 하면,
    상기 교시 스텝에서는, 상기 핸드에 설치된 제1 센서에 의해, 상기 소정 위치에 배치된 상기 교시용 반송 대상물의 상하 방향의 위치를 검지하고, 또한 상기 핸드에 설치된 제2 센서에 의해, 상기 소정 위치에 배치된 상기 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 상기 제1 센서 및 상기 제2 센서의 검지 결과에 기초하여 상기 핸드 위치를 특정해서 기억하고,
    상기 교정 스텝에서는, 상기 교시 스텝에서 특정된 상기 핸드 위치에 상기 핸드를 이동시켜서 상기 소정 위치에 배치된 상기 교시용 반송 대상물을 상기 핸드에 탑재해서 취출한 후, 상기 교시 스텝에서 특정된 상기 핸드 위치에 상기 핸드를 다시 이동시켜서 상기 적재부에 상기 교시용 반송 대상물을 놓고, 그 후, 상기 핸드에 설치된 상기 제2 센서에 의해, 상기 적재부에 놓인 상기 교시용 반송 대상물의 수평 방향의 위치를 검지함과 함께, 상기 제2 센서의 검지 결과에 기초하여, 상기 교시 스텝에서 기억된 상기 핸드 위치 중 수평 방향의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 산업용 로봇의 교시 방법.
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