KR101776360B1 - 핸들러 및 부품 검사 장치 - Google Patents

Abstract

부품 검사 장치는, 전자 부품이 가압되는 검사용 소켓을 갖는 베이스와, 베이스에 탑재되어 전자 부품을 검사용 소켓으로 반송하는 반송 유닛과, 반송 유닛에 설치되어 검사용 소켓으로 전자 부품을 가압하는 수직 이동 아암을 구비하고 있다. 베이스에 연결된 수압 아암 기구를 구비하고, 그 수압 아암 기구는 전자 부품을 가압하는 가압 실린더와 결합하여, 베이스에 대한 가압 실린더의 변위를 건다.

Description

핸들러 및 부품 검사 장치{HANDLER, AND DEVICE FOR TESTING COMPONENT}

본 발명은 반송 대상을 반송하는 핸들러에 관한 것으로, 특히 반송 대상을 가압 영역으로 반송하고 그 가압 영역에서 가압하는 핸들러 및 그 핸들러를 구비하는 부품 검사 장치에 관한 것이다.

종래부터, 예를 들면 특허문헌 1에 기재된 바와 같이, 전자 부품의 전기적 특성을 검사하는 부품 검사 장치가 알려져 있다. 이러한 종류의 부품 검사 장치에는, 반송 대상인 전자 부품을 가압 영역이 되는 검사용 소켓에까지 반송하고, 그 검사용 소켓에 전자 부품을 끼워 넣는 핸들러가 사용되고 있다.

전술한 핸들러에는, 전자 부품을 흡착하기 위한 흡착부와, 그 흡착부에 흡착된 전자 부품을 검사용 소켓에 끼워 넣기 위한 가압용 모터가 탑재되어 있다. 그리고, 검사 전의 전자 부품이 검사용 소켓으로 검사될 때에는, 전자 부품이 흡착부에 흡착된 상태에서 상기 모터가 구동되고, 전자 부품의 단자가 검사용 소켓의 단자에 끼워 넣어진다. 이때, 전자 부품의 단자와 검사용 소켓의 단자가 전기적으로 접속되기 위해서는, 전자 부품에 대하여 소정의 가압력이 필요하며, 이러한 가압력이, 상기 모터에 의해 가해지게 된다.

한편, 최근에는, 검사용 소켓에 끼워 넣어지는 전자 부품의 개수가 증가하는 경향에 있기 때문에, 상기 모터의 출력에서는, 복수의 전자 부품의 각각에 대하여 상기 단자 간의 접속에 충분한 가압력이 가해지지 않게 된다. 따라서, 전술한 핸들러에는, 가압용 공압 실린더가 탑재됨과 함께, 상기 모터보다도 큰 가압력이 그 공압 실린더로부터 전자 부품에 가해지고 있다. 이러한 공압 실린더에 의한 전자 부품의 가압에 의하면, 전술한 단자 간이 확실하게 접속되기 때문에, 전자 부품의 검사가 높은 정밀도로 행해지게 된다.

일본 특허 공개 제2010-101776호 공보

그런데, 전술한 바와 같이, 전자 부품에 형성된 각 단자의 접속에는 소정의 가압력이 필요하기 때문에, 전자 부품의 단자수나 전자 부품의 개수가 증가하면, 상기 공압 실린더에 필요해지는 가압력도 커진다. 한편, 이와 같이 하여 공압 실린더의 가압력이 커지면, 검사용 소켓으로부터의 반력도 저절로 커진다. 그리고, 상기 공압 실린더를 지지하는 부재나 공압 실린더를 이동시키기 위한 레일에는, 상기 반력에 의해 변형되지 않을 정도의 강성이 필요해진다. 그러나, 이러한 부재 및 레일의 강성을 높이기 위해서는, 그 부재 및 레일을 갖는 반송부의 대형화나 중량화를 피할 수 없다.

또한, 이러한 문제는, 전술한 바와 같이, 모터와 공압 실린더를 사용하여 전자 부품을 가압하는 핸들러에 한하지 않고, 반송부에 설치된 1개 이상의 가압부를 사용하여 반송 대상을 가압하는 핸들러에 공통된 문제이다.

본 발명은 상기 실정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은 반송 대상을 반송하는 반송부에 의해 반송 대상을 가압하는 핸들러에 있어서, 반송부의 대형화나 중량화를 억제하는 것이 가능한 핸들러 및 그 핸들러를 구비하는 부품 검사 장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 형태 중 하나는, 핸들러가, 베이스와, 반송 대상을 반송하는 반송부와, 상기 베이스에 연결된 수압부를 구비하고, 상기 반송부에는 상기 반송 대상을 상기 베이스를 향하여 가압하는 가압부가 설치되고, 상기 수압부에는 상기 가압부의 일부와 결합하는 결합부가 설치되어 있다.

가압부에 의한 가압력이 반송 대상에 작용할 때에는, 그 가압력에 저항한 반력이 반송부에 작용하게 된다. 상기 형태에 따르면, 가압력의 반력 중, 그 일부는 반송부에 작용하지만, 그 잔부는 수압부에 설치된 결합부를 거쳐서 베이스에 작용하게 된다. 즉, 가압력의 반력 모두가 반송부에 작용하지 않고, 그 반력의 일부는 베이스로 분산하게 된다. 이에 의해, 원하는 가압력으로 반송 대상이 가압되지만, 반송부에 요구되는 강성은, 가압력의 반력의 일부에 견딜 수 있는 것으로 족하다. 그 때문에, 반송부의 대형화나 중량화를 억제할 수 있다.

본 발명의 형태 중 하나는, 상기 가압부는 상기 반송 대상을 상기 베이스를 향하여 가압하는 제1 가압부와, 상기 제1 가압부를 상기 베이스를 향하여 가압하는 제2 가압부를 구비하고, 상기 수압부의 상기 결합부는, 상기 제2 가압부의 일부에 설치된 돌출부와 결합하도록 가동하는 것이 바람직하다.

상기의 구성에 따르면, 가압부를 구성하는 제1 가압부와 제2 가압부 중, 수압부의 결합부는, 제2 가압부의 일부에 설치된 돌출부와 결합하도록 가동한다. 그 때문에, 상기 결합에 의해 제1 가압부의 가압력에 의해 제2 가압부가 되밀리는 것을 억제하는 것이 가능하다. 게다가, 반송 대상에 가해지는 가압력이, 수압부와 제2 가압부와의 기계적인 결합으로 정해지는 것이기 때문에, 그 가압력이 변동하는 것을 억제하는 것도 가능해진다.

본 발명의 형태 중 하나는, 상기 가압부는, 상기 반송 대상을 상기 베이스를 향하여 가압하는 제1 가압부와, 상기 제1 가압부를 상기 베이스를 향하여 가압하는 제2 가압부를 구비하고, 상기 수압부의 상기 결합부는, 상기 제2 가압부의 일부에 설치된 돌출부와의 결합을 해제하도록 가동하는 것이 바람직하다.

상기의 구성에 따르면, 가압부를 구성하는 제1 가압부와 제2 가압부 중, 수압부의 결합부는, 제2 가압부의 일부에 설치된 돌출부의 결합을 해제하도록 가동한다. 그 때문에, 상기 결합에 의해 제1 가압부의 가압력에 의해 제2 가압부가 되밀리는 것을 억제하는 것이 가능하고, 또한 상기 결합의 해제에 의해, 가압부의 이동이 돌출부에 의해 영향받기 어려워진다. 게다가, 반송 대상에 가해지는 가압력이, 수압부와 제2 가압부와의 기계적인 결합으로 정해지는 것이기 때문에, 그 가압력이 변동하는 것을 억제하는 것도 가능해진다.

본 발명의 형태 중 하나는, 상기 제1 가압부는, 가압 실린더이며, 상기 제2 가압부는, 상기 가압 실린더를 상승 및 하강시키는 모터를 포함하여 이루어지고, 상기 제1 가압부의 가압력은, 상기 제2 가압부의 가압력보다도 큰 것이 바람직하다.

가압 실린더로부터 가해지는 가압력은, 통상 가압 실린더의 작동압을 크게 하는 것, 예를 들면 가압 실린더에 공급되는 압축 공기의 압력을 높임으로써 커진다. 전술한 형태에서는, 상대적으로 큰 가압력이 필요해지는 제1 가압부가, 이러한 가압 실린더에 의해 구성된다. 그 때문에, 상대적으로 큰 가압력이 모터의 구동에 의해 가해지는 구성과 비교하여, 반송부의 구성을 간단하게 하는 것, 나아가서는 핸들러의 구성을 간단하게 하는 것이 가능해진다. 또한, 제1 가압부가 모터로 구성되는 경우와 비교하여, 반송 대상에 가해지는 가압력을 크게 하는 것도 용이해진다.

본 발명의 형태 중 하나는, 상기 모터의 구동을 제어하는 모터 제어부를 구비하고, 상기 모터 제어부는, 상기 가압 실린더가 상기 반송 대상을 가압하는 상태에서, 상기 모터를 토크 제어에 의해 구동하는 것이 바람직하다.

모터를 사용한 반송 대상의 가압은, 모터의 위치 제어 및 토크 제어 중 적어도 하나에 의해 행하는 것이 가능하다. 또한, 위치 제어란, 가압 실린더의 위치가 소정의 위치가 되도록, 모터의 회전 위치를 제어하는 것이다. 한편, 토크 제어란, 반송 대상에 소정의 가압력이 가해지도록, 모터의 발생 토크를 제어하는 것이다.

여기서, 상기 가압 실린더의 가압력이 커질수록, 그 가압 실린더의 지지측에 대한 반력, 즉 상기 모터에 대한 부하도 커진다. 이때, 전술한 위치 제어에 의해 모터가 구동되어 있으면, 모터의 출력이 상기 반력을 상회하지 않는 한, 모터의 회전 위치는 목적으로 하는 회전 위치에 도달하지 못하게 된다. 그리고, 모터의 구동 전류가 계속 증대하게 되어, 모터의 내부에 과잉의 부하가 가해지게 된다.

이러한 점에서, 상기 형태에서는, 가압 실린더의 가압력이 반송 대상에 가해지는 상태에서, 모터가 토크 제어에 의해 구동된다. 그 때문에, 가압 실린더의 신장에 의해 그 가압 실린더의 지지측이 되밀린다고 하여도, 모터가 소정의 토크를 출력하는 이상은, 그 모터에 과잉의 부하가 가해질 일은 없다.

본 발명의 형태 중 하나는, 상기 모터의 구동을 제어하는 모터 제어부를 구비하고, 상기 모터 제어부는, 상기 가압 실린더가 상기 반송 대상을 가압하기 전에, 상기 모터를 토크 제어에 의해 구동하는 것이 바람직하다.

상기 형태에 따르면, 가압 실린더가 반송 대상에 가압력을 가할 때에는, 모터가 토크 제어에 의해 구동되어 있다. 그 때문에, 모터에 과잉의 부하가 가해지지 않는 데다가, 반송 대상에 가해지는 가압력도 안정되게 된다.

본 발명의 형태 중 하나는, 상기 결합부는, 서로 마주보는 한 쌍의 가동 아암이며, 상기 한 쌍의 가동 아암은, 상기 돌출부와 결합하는 위치와, 상기 돌출부로부터 이격하는 위치로 변위하는 것이 바람직하다.

상기 형태에 따르면, 서로 마주보는 한 쌍의 가동 아암과 가압부에 설치된 돌출부가 결합하고, 가압부로부터의 가압력의 반력이, 서로 대향하는 한 쌍의 가동 아암의 각각에 작용하게 된다. 그러므로, 가압부로부터의 가압력의 반력이, 1군데에 작용하는 형태와 비교하여, 그 반력이 분산하는 범위를 넓게 하는 것이 가능하며, 나아가서는 수압부나 베이스에 요구되는 강성을 억제하는 것이 가능해진다.

본 발명의 형태 중 하나는, 상기 반송부는, 복수의 상기 반송 대상을 흡착하는 상태를 갖고, 상기 가압부는 복수의 상기 반송 대상을 가압하는 상태를 갖는 것이 바람직하다.

복수의 반송 대상을 가압하는 상태를 갖는 형태에서는, 반송 대상의 개수가 커짐에 따라, 복수의 반송 대상의 전체에 가해지는 가압력도 저절로 커지는 상태를 갖게 된다. 이때, 접속 대상의 전체에 가해지는 가압력에 맞추어서, 그 가압력의 반력도 저절로 커지는 상태를 갖게 된다. 이러한 점에서, 상기 형태에 따르면, 전술한 바와 같이 하여 커지는 반력의 일부가, 베이스로 분산하게 된다. 그러므로, 반송부의 대형화나 중량화를 억제할 수 있다는 효과가, 보다 현저하게 된다.

본 발명의 형태 중 하나는, 부품 검사 장치가, 베이스와, 전자 부품을 반송하는 반송부와, 상기 베이스에 연결된 수압부와, 상기 베이스에 설치된 검사용 소켓을 구비하고, 상기 반송부에는 상기 전자 부품을 상기 검사용 소켓을 향하여 가압하는 가압부가 설치되고, 상기 수압부에는 상기 가압부의 일부와 결합하는 결합부가 설치되어 있다.

가압부에 의한 가압력이 전자 부품에 작용할 때에는, 그 가압력에 저항한 반력이 반송부에 작용하게 된다. 상기 형태에 따르면, 가압력의 반력 중, 그 일부는 반송부에 작용하지만, 그 잔부는 수압부에 설치된 결합부를 거쳐서 베이스에 작용하게 된다. 즉, 가압력의 반력 모두가, 반송부에 작용하지 않고, 그 반력의 일부는, 베이스로 분산하게 된다. 이에 의해, 원하는 가압력으로 반송 대상이 가압되지만, 반송부에 요구되는 강성은 가압력의 반력의 일부에 견딜 수 있는 것으로 족하다. 그 때문에, 반송부의 대형화나 중량화를 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명에 있어서의 부품 검사 장치의 일 실시 형태의 전체 구성을 도시하는 개략 평면도.
도 2는 동일 부품 검사 장치가 구비하는 핸들러에 있어서의 제1 반송 유닛 및 수압 아암 기구의 측면 구조를 도시하는 측면도.
도 3은 동일 핸들러의 전기적 구성을 도시하는 블록도.
도 4는 동일 핸들러가 구비하는 각종 모터의 구동 형태를 나타내는 타이밍차트.
도 5는 제1 반송 유닛과 수압 아암 기구의 작동 형태를 도시하는 도면으로, (a) 제1 반송 유닛 및 수압 아암 기구의 평면 구조와 (b) 단면 구조를 대응지어서 도시하는 도면.
도 6은 제1 반송 유닛과 수압 아암 기구의 작동 형태를 도시하는 도면으로, (a) 제1 반송 유닛 및 수압 아암 기구의 평면 구조와 (b) 단면 구조를 대응지어서 도시하는 도면.
도 7은 제1 반송 유닛과 수압 아암 기구의 작동 형태를 도시하는 도면으로, (a) 제1 반송 유닛 및 수압 아암 기구의 평면 구조와 (b) 단면 구조를 대응지어서 도시하는 도면.
도 8은 제1 반송 유닛과 수압 아암 기구의 작동 형태를 도시하는 도면으로, (a) 제1 반송 유닛 및 수압 아암 기구의 평면 구조와 (b) 단면 구조를 대응지어서 도시하는 도면.
도 9는 제1 반송 유닛과 수압 아암 기구의 작동 형태를 도시하는 도면으로, (a) 제1 반송 유닛 및 수압 아암 기구의 평면 구조와 (b) 단면 구조를 대응지어서 도시하는 도면.
도 10은 제1 반송 유닛과 수압 아암 기구의 작동 형태를 도시하는 도면으로, (a) 제1 반송 유닛 및 수압 아암 기구의 평면 구조와 (b) 단면 구조를 대응지어서 도시하는 도면.
도 11은 제1 반송 유닛과 수압 아암 기구의 작동 형태를 도시하는 도면으로, (a) 제1 반송 유닛 및 수압 아암 기구의 평면 구조와 (b) 단면 구조를 대응지어서 도시하는 도면.
도 12는 제1 반송 유닛과 수압 아암 기구의 작동 형태를 도시하는 도면으로, (a) 제1 반송 유닛 및 수압 아암 기구의 평면 구조와 (b) 단면 구조를 대응지어서 도시하는 도면.

이하, 본 발명의 핸들러 및 부품 검사 장치를 구체화한 일 실시 형태에 대해서, 도 1 내지 도 12를 참조하여 설명한다. 우선, 부품 검사 장치의 구성에 대하여 도 1을 참조하여 설명한다.

[부품 검사 장치의 구성]

도 1에 도시되는 바와 같이, 부품 검사 장치가 구비하는 핸들러(10)의 베이스(11)에는, 각종 로봇이 탑재되는 탑재면(11a)이 상면으로서 설치되고, 상기 탑재면(11a)의 대부분이, 커버 부재(12)에 의해 덮여져 있다. 이들 커버 부재(12)와 탑재면(11a)에 의해 둘러싸인 공간인 반송 공간은, 부품 검사 장치의 외부로부터 공급되는 드라이에어에 의해 습도와 온도가 소정의 값으로 유지되고 있다.

베이스(11)의 탑재면(11a)에는, 하나의 방향으로 연장되는 4개의 컨베이어가, 그 컨베이어의 반송 방향과 직교하는 방향으로 배열되어 있다. 4개의 컨베이어 중, 컨베이어의 배열 방향인 X 방향의 한 쪽측에는, 2개의 공급용 컨베이어 C1, C2가 부설되고, 한편 X 방향의 다른 쪽측에는, 2개의 회수용 컨베이어 C3, C4가 부설되어 있다. 그리고, 공급용 컨베이어 C1, C2에서는, 공급용 컨베이어 트레이 C1a, C2a가, 커버 부재(12)의 외측으로부터 내측을 향하여 운반된다. 또한, 회수용 컨베이어 C3, C4에서는, 회수용 컨베이어 트레이 C3a, C4a가, 커버 부재(12)의 내측으로부터 외측을 향하여 운반된다. 또한, 공급용 컨베이어 트레이 C1a, C2a에는, 반송 대상인 검사 전의 복수의 전자 부품 T가 수용되고, 또한 회수용 컨베이어 트레이 C3a, C4a에는, 검사 후의 복수의 전자 부품 T가 수용되어 있다.

상기 베이스(11)의 탑재면(11a) 위에는, X 방향에 있어서 서로 마주보는 공급 로봇(20)과 회수 로봇(40)이 탑재되어 있다. 공급 로봇(20)은, 공급용 컨베이어 C1, C2의 Y 방향으로 배치되고, 또한 회수 로봇(40)은, 회수용 컨베이어 C3, C4의 Y 방향으로 배치되어 있다.

공급 로봇(20)은 Y 방향으로 연장되는 고정축인 공급측 고정 가이드(21)와, 공급측 고정 가이드(21)에 연결된 가동축인 공급측 가동 가이드(22)와, 공급측 가동 가이드(22)에 연결되고, 또한 공급측 가동 가이드(22)를 따라 이동하는 공급용 핸드 유닛(23)을 갖고 있다.

공급측 가동 가이드(22)는, 공급측 고정 가이드(21)로부터 회수 로봇(40)측으로 연장되는 가동축으로서, 공급측 고정 가이드(21)에 대하여 Y 방향으로 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급측 가동 가이드(22)의 탑재면(11a)측에 배치된 엔드 이펙터로서, 공급측 가동 가이드(22)에 대하여 X 방향으로 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 공급용 핸드 유닛(23)은, 공급측 가동 가이드(22)로부터 탑재면(11a)을 향한 하강과, 탑재면(11a)측으로부터 공급측 가동 가이드(22)를 향한 상승이 가능하게, 공급측 가동 가이드(22)에 연결되어 있다.

그리고, 공급측 가동 가이드(22)가 공급측 고정 가이드(21)를 따라 공급용 컨베이어 C1, C2측으로 이동함과 함께, 공급용 핸드 유닛(23)이 공급측 가동 가이드(22)를 따라 공급용 컨베이어 트레이 C1a, C2a의 바로 위에까지 이동한다. 이에 의해, 공급용 컨베이어 트레이 C1a, C2a에 적재된 전자 부품 T가, 공급용 핸드 유닛(23)에 흡착되고, 그 후 공급용 컨베이어 트레이 C1a, C2a로부터 들어 올려진다. 또한, 이 상태에서 공급측 가동 가이드(22)가, 공급측 고정 가이드(21)를 따라 공급용 컨베이어 C1, C2 위에서부터 떨어짐으로써, 공급용 핸드 유닛(23)에 흡착된 전자 부품 T가 전술한 반송 공간 내의 소정의 위치로 공급된다.

회수 로봇(40)은 공급 로봇(20)과 마찬가지로, Y 방향으로 연장되는 고정축인 회수측 고정 가이드(41)와, 회수측 고정 가이드(41)에 연결된 가동축인 회수측 가동 가이드(42)와, 회수측 가동 가이드(42)에 연결되고, 또한 회수측 가동 가이드(42)를 따라 X 방향으로 이동하는 회수용 핸드 유닛(43)을 갖고 있다.

회수측 가동 가이드(42)는, 회수측 고정 가이드(41)로부터 공급 로봇(20)측으로 연장하는 가동축으로서, 회수측 고정 가이드(41)에 대하여 Y 방향으로 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수측 가동 가이드(42)의 탑재면(11a)측에 배치된 엔드 이펙터로서, 회수측 가동 가이드(42)에 대하여 X 방향으로 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 회수용 핸드 유닛(43)은, 회수측 가동 가이드(42)로부터 탑재면(11a)을 향한 하강과 탑재면(11a)측으로부터 회수측 가동 가이드(42)를 향한 상승이 가능하게, 회수측 가동 가이드(42)에 연결되어 있다.

그리고, 회수측 가동 가이드(42)가, 회수측 고정 가이드(41)를 따라 회수용 컨베이어 C3, C4측으로 이동함과 함께, 회수용 핸드 유닛(43)이, 회수측 가동 가이드(42)를 따라, 회수용 컨베이어 트레이 C3a, C4a의 바로 위에까지 이동한다. 이에 의해, 회수용 핸드 유닛(43)에 흡착된 전자 부품 T가, 회수용 컨베이어 트레이 C3a, C4a에 적재된다.

커버 부재(12)의 내측면에는, Y 방향으로 연장되는 반송 가이드(31)가, 상기 내측면에 있어서의 X 방향의 대략 중앙에 고정되어 있다. 이 반송 가이드(31)에 있어서의 양단부의 하방에는, X 방향으로 연장되는 제1 셔틀(32)과, 마찬가지로 X 방향으로 연장되는 제2 셔틀(37)이 배치되어 있다.

제1 셔틀(32)은, 탑재면(11a)에 고정 설치된 X 방향으로 연장되는 제1 셔틀 가이드(32c)에 연결되어, X 방향에 있어서, 공급측 가동 가이드(22) 및 회수측 가동 가이드(42) 중 어느 한 쪽과 겹치도록, X 방향으로 슬라이드한다. 제1 셔틀(32)에 있어서의 상기 공급 로봇(20)측에는, 공급용 셔틀 트레이(32a)가 고정되고, 또한 제1 셔틀(32)에 있어서의 상기 회수 로봇(40)측에는, 회수용 셔틀 트레이(32b)가 고정되어 있다. 공급용 셔틀 트레이(32a)에는, 반송 대상인 검사 전의 복수의 전자 부품 T가 수용되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(32b)에는, 검사 후의 복수의 전자 부품 T가 수용되어 있다.

제2 셔틀(37)은, 이 또한 탑재면(11a)에 고정 설치된 X 방향으로 연장되는 제2 셔틀 가이드(37c)에 연결되고, X 방향에 있어서, 공급측 가동 가이드(22) 및 회수측 가동 가이드(42) 중 어느 한 쪽과 겹치도록, X 방향으로 슬라이드한다. 제2 셔틀(37)에 있어서의 상기 공급 로봇(20)측에는, 공급용 셔틀 트레이(37a)가 고정되고, 또한 제2 셔틀(37)에 있어서의 상기 회수 로봇(40)측에는, 회수용 셔틀 트레이(37b)가 고정되어 있다. 공급용 셔틀 트레이(37a)에는, 반송 대상인 검사 전의 복수의 전자 부품 T가 수용되고, 또한 회수용 셔틀 트레이(37b)에는, 검사 후의 복수의 전자 부품 T가 수용되어 있다.

탑재면(11a) 중, 반송 공간의 대략 중앙에는, 탑재면(11a)을 관통하는 직사각형 개구가 형성됨과 함께, 복수의 전자 부품 T의 검사를 동시에 행하는 접속 대상으로서의 검사용 소켓(33)이 그 직사각형 개구에 매설되어 있다. 검사용 소켓(33)은, 전자 부품 T가 끼워 넣어지는 소켓으로서, 그 전자 부품 T를 검사하기 위한 도시하지 않은 검사 유닛에 연결되어 있다. 검사 유닛은, 베이스(11)의 내부에 수용된 핸들러와는 별체의 장치로서, 핸들러와 함께 부품 검사 장치를 구성하고 있다.

검사용 소켓(33)의 상면에는, 복수의 전자 부품 T를 동시에 수용하는 것이 가능한 검사용 포켓(33a)이 오목 형성되고, 또한 검사용 포켓(33a)의 저면에는, 전자 부품 T의 수 단자와 끼워 맞춤 가능한 복수의 암 단자가 오목 형성되어 있다. 그리고, 전자 부품 T가 갖는 수 단자가 검사용 포켓(33a)의 암 단자에 끼워 넣어짐으로써, 그 전자 부품 T의 전기적 특성이 검사 가능해진다. 또한, 검사용 포켓(33a)이 갖는 단자는, 베이스(11) 내에 탑재된 별체인 검사 유닛에 접속되고, 전자 부품 T가 갖는 단자는, 검사용 포켓(33a)이 갖는 단자를 개재하여, 검사 유닛 내의 검사 회로에 접속된다. 그리고, 검사용 소켓(33)에 의한 검사의 결과는, 상기 검사 유닛으로부터 핸들러(10)에 출력된다.

상기 반송 가이드(31)에는, 반송부를 구성하는 제1 반송 유닛(34)과 제2 반송 유닛(38)이 Y 방향으로 나란히 연결되어 있다.

제1 반송 유닛(34)은, 제1 셔틀(32)과 검사용 소켓(33) 사이를, Y 방향을 따라 진행 이동 및 복귀 이동한다. 제1 반송 유닛(34)의 하단부는, 반송 가이드(31)와 탑재면(11a) 사이를, Z 방향을 따라 하강 및 상승한다. 그리고, 제1 반송 유닛(34)은 공급용 셔틀 트레이(32a)에 수용된 전자 부품 T를 그 제1 반송 유닛(34)의 하단부에서 보유 지지하거나, 보유 지지한 전자 부품 T를 검사용 소켓(33)에까지 반송하거나, 그 전자 부품 T를 검사용 소켓(33)에 끼워 넣거나 한다. 또한, 제1 반송 유닛(34)은, 검사용 소켓(33)에 끼워 넣어진 전자 부품 T를 그 제1 반송 유닛(34)의 하단부에서 꺼내거나, 꺼낸 전자 부품 T를 회수용 셔틀 트레이(32b)에 적재하거나 한다.

제2 반송 유닛(38)은, 제2 셔틀(37)과 검사용 소켓(33) 사이를, Y 방향을 따라 진행 이동 및 복귀 이동한다. 제2 반송 유닛(38)의 하단부는, 반송 가이드(31)와 탑재면(11a) 사이를, Z 방향을 따라 하강 및 상승한다. 그리고, 제2 반송 유닛(38)은, 공급용 셔틀 트레이(37a)에 적재된 전자 부품 T를 그 제2 반송 유닛(38)의 하단부에서 보유 지지하거나, 보유 지지한 전자 부품 T를 검사용 소켓(33)에까지 반송하거나, 그 전자 부품 T를 검사용 소켓(33)에 끼워 넣거나 한다. 또한, 제2 반송 유닛(38)은 검사용 소켓(33)에 끼워 넣어진 전자 부품 T를 그 제2 반송 유닛(38)의 하단부에서 꺼내거나, 꺼낸 전자 부품 T를 회수용 셔틀 트레이(37b)에 적재하거나 한다.

또한, 탑재면(11a) 중, 검사용 소켓(33)의 X 방향에 있어서의 양측에는, 수압부를 구성하는 한 쌍의 수압 아암 기구(35, 36)가 고정 설치되어 있다.

[부품 검사 장치의 작용]

상기 핸들러(10)에서는, 우선 검사 전의 전자 부품 T가, 외부 장치로부터 공급용 컨베이어 트레이 C1a, C2a로 이동 탑재된다. 계속해서, 공급용 컨베이어 C1, C2가 구동됨으로써, 검사 전의 전자 부품 T가 반송 공간 내에까지 운반된다. 그리고, 검사 전의 전자 부품 T가 반송 공간 내에까지 운반되면, 공급측 가동 가이드(22)가, 공급측 고정 가이드(21)를 따라 공급용 컨베이어 C1, C2 위에까지 이동한다. 계속해서, 공급용 핸드 유닛(23)이, 공급용 컨베이어 트레이 C1a, C2a의 바로 위에까지 이동하여 전자 부품 T를 보유 지지하면, 공급측 가동 가이드(22)가, 공급측 고정 가이드(21)를 따라 제1 셔틀(32) 위까지 이동한다.

계속해서, 공급측 가동 가이드(22)가 제1 셔틀(32) 위에 도달하면, 공급용 핸드 유닛(23)이 제1 셔틀(32) 위까지 이동함과 함께, 공급용 셔틀 트레이(32a)의 바로 위에 공급용 핸드 유닛(23)이 위치하도록, 제1 셔틀(32)도 슬라이드한다. 그리고, 공급용 핸드 유닛(23)이 보유 지지한 검사 전의 전자 부품 T가, 공급용 핸드 유닛(23)으로부터 공급용 셔틀 트레이(32a)로 이동 탑재된다.

검사 전의 전자 부품 T가 공급용 셔틀 트레이(32a)로 이동 탑재되면, 제1 반송 유닛(34)이 제1 셔틀(32) 위에까지 이동함과 함께, 공급용 셔틀 트레이(32a)의 바로 위에 제1 반송 유닛(34)의 하단부가 위치하도록, 제1 셔틀(32)도 슬라이드한다. 계속해서, 제1 반송 유닛(34)의 하단부가, 공급용 셔틀 트레이(32a)를 향해서 하강하고, 공급용 셔틀 트레이(32a)로 이동 탑재된 검사 전의 전자 부품 T가, 제1 반송 유닛(34)의 하단부에 보유 지지된다. 계속해서, 제1 반송 유닛(34)이 검사용 소켓(33) 위에까지 이동하고, 검사 전의 전자 부품 T가, 검사용 소켓(33)의 바로 위에까지 반송된다. 그리고, 검사 전의 전자 부품 T가, 제1 반송 유닛(34)의 하단부와 함께 하강함으로써, 검사용 포켓(33a) 내의 암 단자에 대하여 전자 부품 T의 수 단자가 끼워 넣어진다.

이와 같이 하여 검사용 소켓(33)에 검사 전의 전자 부품 T가 끼워 넣어지면, 전자 부품 T의 검사를 개시하기 위한 검사 개시 신호가, 핸들러(10)로부터 검사 유닛에 출력되고, 이에 의해 전자 부품 T의 검사가 검사 유닛에서 개시된다.

그 후, 전자 부품 T의 검사가 종료한 것을 나타내는 검사 종료 신호가, 검사 유닛으로부터 핸들러(10)에 출력되면, 검사 후의 전자 부품 T가 제1 반송 유닛(34)에 보유 지지된 상태에서, 제1 반송 유닛(34)의 하단부가 상승하고, 이에 의해 검사 후의 전자 부품 T가 검사용 소켓(33)으로부터 꺼내어진다. 계속해서, 제1 반송 유닛(34)이, 검사용 소켓(33) 위로부터 제1 셔틀(32) 위에까지 이동함과 함께, 회수용 셔틀 트레이(32b)의 바로 위에 제1 반송 유닛(34)이 위치하도록, 제1 셔틀(32)이 슬라이드한다. 그리고, 제1 반송 유닛(34)의 하단부가 하강하여 전자 부품 T의 보유 지지가 해제되면, 검사 후의 전자 부품 T가 제1 반송 유닛(34)으로부터 회수용 셔틀 트레이(32b)로 이동 탑재된다.

검사 후의 전자 부품 T가 회수용 셔틀 트레이(32b)로 이동 탑재되면, 회수측 가동 가이드(42)가 회수측 고정 가이드(41)를 따라 제1 셔틀(32) 위에까지 이동한다. 또한, 회수측 가동 가이드(42)가 제1 셔틀(32) 위로 이동하면, 회수용 핸드 유닛(43)이 제1 셔틀(32) 위에까지 이동함과 함께, 회수용 셔틀 트레이(32b)의 바로 위에 회수용 핸드 유닛(43)이 위치하도록, 제1 셔틀(32)도 슬라이드한다. 그리고, 회수용 셔틀 트레이(32b)로 이동 탑재된 검사 후의 전자 부품 T가, 회수용 핸드 유닛(43)에 보유 지지된다.

검사 후의 전자 부품 T가 회수용 핸드 유닛(43)에 보유 지지되면, 회수측 가동 가이드(42)가, 제1 셔틀(32) 위로부터 회수용 컨베이어 C3, C4 위에까지 이동한다. 계속해서, 회수용 핸드 유닛(43)이 회수용 컨베이어 트레이 C3a, C4a의 바로 위에까지 이동하고, 검사 후의 전자 부품 T가, 검사 결과마다 분류된 상태에서, 회수용 컨베이어 트레이 C3a, C4a로 이동 탑재된다.

또한, 공급 로봇(20)과 제2 셔틀(37) 사이에서도, 전술한 공급 로봇(20)과 제1 셔틀(32) 사이와 마찬가지로, 검사 전의 전자 부품 T가 이동 탑재된다. 또한, 제2 셔틀(37)과 제2 반송 유닛(38) 사이에도, 전술한 제1 셔틀(32)과 제1 반송 유닛(34) 사이와 마찬가지로, 검사 전의 전자 부품 T 및 검사 후의 전자 부품 T가 이동 탑재된다. 또한, 제2 셔틀(37)과 회수 로봇(40) 사이에도, 전술한 제1 셔틀(32)과 회수 로봇(40) 사이와 마찬가지로, 검사 후의 전자 부품 T가 이동 탑재된다.

[핸들러의 상세 구성]

다음으로, 핸들러(10)가 구비하는 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(38)의 구성에 대하여 도 2를 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 제1 반송 유닛(34)과 제2 반송 유닛(38)은, 반송 가이드(31)와의 연결 위치나 이동처가 되는 셔틀이 서로 다르지만, 전자 부품 T를 가압하기 위한 구성이 마찬가지이기 때문에, 이하에서는, 제1 반송 유닛(34)에 대하여 설명하고, 제2 반송 유닛(38)에 대한 설명은 생략한다. 또한, 도 2는 제1 반송 유닛(34)의 주변 구조를 컨베이어측에서 본 단면도이며, 검사용 소켓(33)의 바로 위에 제1 반송 유닛(34)이 배치된 상태를 도시하고 있다.

전술한 반송 가이드(31)에는, 검사 전의 전자 부품 T를 반송하기 위한 제1 반송 유닛(34)이 연결되어 있다. 제1 반송 유닛(34)을 구성하는 수평 이동 아암(51)은, 반송 가이드(31)를 따라 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결되어 있다. 수평 이동 아암(51)의 하단부에는, 수직 이동 아암(52)이, 수평 이동 아암(51)에 대하여 상승 및 하강 가능하게 연결되어 있다. 수직 이동 아암(52)은, 수평 이동 아암(51) 내에 탑재된 가압 모터(51M)가 회전함으로써, 수평 이동 아암(51)에 대하여 상승 및 하강한다. 또한, 수직 이동 아암(52)의 하단부에는, X 방향으로 돌출하는 돌출부인 피수압편(52a)이 Y 방향의 전체 폭에 걸쳐 고정 설치되고, 또한 수직 이동 아암(52)의 하단부에는, 공압에 의해 작동하는 가압 실린더(53)가, 탑재면(11a)을 향하여 연결되어 있다. 여기서, 가압 실린더(53)는 제1 가압부를 구성하고, 가압 모터(51M), 수직 이동 아암(52), 및 피수압편(52a)은 제2 가압부를 구성하고 있다. 그리고, 제1 가압부와 제2 가압부가 가압부를 구성하고 있다.

가압 실린더(53)에는, 도시하지 않은 압축 공기 공급부가 접속되어 있다. 압축 공기 공급부는, 예를 들면 부품 검사 장치가 설치된 시설이 구비하는 가스 공급계와, 그 가스 공급계의 압축 공기의 공급을 제어하는 밸브 등을 갖는 것이다. 가스 공급계는, 대기압을 기준 압력으로 했을 때의 상대 압력이, 예를 들면 0.5㎫인 압축 공기를 공급한다. 그리고, 가압 실린더(53)는, 압축 공기 공급부로부터 압축 공기가 공급됨으로써 Z 방향으로 신장하고, 그 공급된 압축 공기가 배기됨으로써 Z 방향으로 수축한다.

가압 실린더(53)의 하단부에는, 예를 들면 진공 흡착에 의해 전자 부품 T를 흡착하는 것이 가능한 엔드 이펙터인 복수의 흡착부(54)가 연결되어 있다. 흡착부(54)는, 예를 들면 흡착용 노즐과, 상기 노즐에 접속된 진공 펌프 등에 의해 구성되어 있다.

상기 탑재면(11a)에 있어서의 검사용 소켓(33)의 X 방향 양측에는, 서로 마주보는 수압 아암 기구(35, 36)가, 검사용 소켓(33)을 사이에 두도록 배치되어 있다. 수압 아암 기구(35, 36)는, 탑재면(11a)에 고정 설치된 지지체(35a, 36a)와, 그 지지체(35a, 36a)의 상면에서 X 방향으로 진행 이동 및 복귀 이동 가능하게 연결된 수압 아암(35b, 36b)을 갖고 있다. 수압 아암(35b, 36b)은, 가압부의 일부인 피수압편(52a)과 결합하는 결합부이다.

수압 아암(35b, 36b)에는, 도시하지 않은 압축 공기 공급부에 접속된 아암 실린더가 연결되어 있다. 압축 공기 공급부는, 예를 들면 상기 가압 실린더(53)에 접속된 압축 공기 공급부와 마찬가지의 구성이다. 그리고, 검사용 소켓(33)의 바로 위에 제1 반송 유닛(34)이 배치되고, 또한 수압 아암(35b, 36b)의 아암 실린더에 압축 공기가 공급되면, 수압 아암(35b, 36b)이 X 방향으로 서로 가까워지고, 그 수압 아암(35b, 35b)이 피수압편(52a)에 결합 가능한 결합 위치로 변위한다. 또한, 이 상태에서 아암 실린더 내의 압축 공기가 배기되면, 수압 아암(35b, 36b)이 X 방향으로 서로 떨어지고, 그 수압 아암(35b, 36b)이 피수압편(52a)으로부터 이격하는 이격 위치로 변위한다. 이와 같이, 수압 아암(35b, 36b)이 가동하는 구조에 의해, 수압 아암(35b, 36b)과 피수압편(52a)과의 결합, 또는 상기 결합의 해제가 가능하다.

[핸들러의 전기적 구성]

상기 핸들러(10)의 전기적 구성에 대하여 도 3을 참조하여 설명한다. 상기 핸들러(10)에 구비된 제어 장치(60)는, 중앙처리장치(CPU), 불휘발성 메모리(ROM), 및 휘발성 메모리(RAM)를 갖는 마이크로 컴퓨터를 중심으로 구성되어 있다. 제어 장치(60)는, 상기 ROM 및 RAM에 저장된 각종 데이터 및 프로그램에 기초하여, 핸들러(10)의 동작에 따른 각종 제어를 행한다.

제어 장치(60)에는, 컨베이어 모터 MC를 회전 구동시키는 컨베이어 구동부(61)가 접속되어 있다. 컨베이어 구동부(61)에는, 컨베이어 모터 MC의 회전 위치를 검출하는 인코더 EMC가 접속되어 있다. 컨베이어 구동부(61)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더 EMC로부터 입력된 컨베이어 모터 MC의 회전 위치에 기초하여, 컨베이어 모터 MC의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 컨베이어 모터 MC에 출력한다. 컨베이어 모터 MC는, 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 컨베이어 C1 ~ C4를 구동한다. 또한, 상기 컨베이어 구동부(61) 및 컨베이어 모터 MC는, 컨베이어 C1 ~ C4마다 설치되고, 또한 인코더 EMC는 각 컨베이어 모터 MC에 대하여 설치되어 있다.

제어 장치(60)에는 가이드 모터 MX를 회전 구동시키는 가동 가이드 구동부(62)가 접속되어 있다. 가동 가이드 구동부(62)에는, 가이드 모터 MX의 회전 위치를 검출하는 인코더 EMX가 접속되어 있다. 가동 가이드 구동부(62)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더 EMX로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 가이드 모터 MX의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 가이드 모터 MX에 출력한다. 가이드 모터 MX는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 가동 가이드(22, 42)를 고정 가이드(21, 41)를 따라 진행 이동 및 복귀 이동시킨다. 또한, 상기 가동 가이드 구동부(62) 및 가이드 모터 MX는, 공급측 가동 가이드(22) 및 회수측 가동 가이드(42) 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더 EMX는 각 가이드 모터 MX에 대하여 설치되어 있다.

제어 장치(60)에는, 셔틀 모터 MS를 회전 구동시키는 셔틀 구동부(63)가 접속되어 있다. 셔틀 구동부(63)에는, 셔틀 모터 MS의 회전 위치를 검출하는 인코더 EMS가 접속되어 있다. 셔틀 구동부(63)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더 EMS로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 셔틀 모터 MS의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 셔틀 모터 MS에 출력한다. 셔틀 모터 MS는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 가이드(32c, 37c)를 따라 셔틀(32, 37)을 슬라이드시킨다. 또한, 상기 셔틀 구동부(63) 및 셔틀 모터 MS는, 제1 셔틀(32) 및 제2 셔틀(37) 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더 EMS는, 각 셔틀 모터 MS에 대하여 설치되어 있다.

제어 장치(60)에는, 핸드 모터 구동부(64a)와 흡인 밸브 구동부(64b)를 갖는 핸드 유닛 구동부(64)가 접속되어 있다. 이 중, 핸드 모터 구동부(64a)에는, 핸드 모터 MZ의 회전 위치를 검출하는 인코더 EMZ가 접속되어 있다. 핸드 모터 구동부(64a)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더 EMZ로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 핸드 모터 MZ의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 핸드 모터 MZ에 출력한다. 핸드 모터 MZ는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 핸드 유닛(23, 43)을 상승 및 하강시킨다.

흡인 밸브 구동부(64b)에는, 핸드 유닛(23, 43)의 선단에 설치된 흡인 밸브 SV1의 개방량을 검출하는 흡인 센서 ESV1이 접속되어 있다. 흡인 밸브 구동부(64b)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 개방도 명령과, 흡인 센서 ESV1로부터 입력된 개방량에 기초하여, 흡인 밸브 SV1의 구동 신호를 생성함과 함께, 그 구동 신호를 흡인 밸브 SV1에 출력한다. 흡인 밸브 SV1은, 입력된 상기 구동 신호에 따른 개폐를 행함으로써, 그 개방량에 따른 흡인력으로 상기 전자 부품 T를 흡인한다. 또한, 상기 핸드 유닛 구동부(64), 핸드 모터 MZ, 및 흡인 밸브 SV1은, 공급용 핸드 유닛(23) 및 회수용 핸드 유닛(43) 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더 EMZ, 흡인 센서 ESV1은, 핸드 모터 MZ 및 흡인 밸브 SV1의 각각에 대하여 설치되어 있다.

제어 장치(60)에는 반송 모터 구동부(65a), 모터 제어부를 구성하는 가압 모터 구동부(65b), 실린더 제어부를 구성하는 가압 실린더 구동부(65c), 및 흡인 밸브 구동부(65d)를 갖는 반송 유닛 구동부(65)가 접속되어 있다.

반송 모터 구동부(65a)에는, 반송 모터 MY의 회전 위치를 검출하는 인코더 EMY가 접속되어 있다. 반송 모터 구동부(65a)는 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더 EMY로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 반송 모터 MY의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 반송 모터 MY에 출력한다. 반송 모터 MY는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 상기 반송 유닛(34, 38)을 상기 반송 가이드(31)를 따라 진행 이동 및 복귀 이동시킨다. 또한, 상기 반송 모터 구동부(65a)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(38) 각각에 대하여 설치되고, 또한 인코더 EMY도, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(38) 각각에 대하여 설치되어 있다.

가압 모터 구동부(65b)에는, 가압 모터(51M)의 회전 위치를 검출하는 인코더 E51M이 접속되어 있다. 가압 모터 구동부(65b)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 위치 명령과, 인코더 E51M으로부터 입력된 회전 위치에 기초하여, 가압 모터(51M)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 가압 모터(51M)에 출력한다. 가압 모터(51M)는, 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 수직 이동 아암(52)을 상승 및 하강시킨다.

또한, 가압 모터 구동부(65b)에는, 가압 모터(51M)에 있어서의 구동 전류의 실제값을 계측하는 전류 계측부 I51M이 접속되어 있다. 가압 모터 구동부(65b)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 토크 명령과, 전류 계측부 I51M으로부터 입력된 계측값에 기초하여, 가압 모터(51M)의 구동 전류를 생성함과 함께, 그 구동 전류를 가압 모터(51M)에 출력한다. 가압 모터(51M)는 입력된 상기 구동 전류에 따른 회전을 행함으로써, 수직 이동 아암(52)을 상승 및 하강시킨다.

덧붙이면, 제어 장치(60)는 가압 모터(51M)의 구동 제어의 방법으로서, 위치 제어 모드와 토크 제어 모드를 선택한다. 이 중, 위치 제어 모드란, 상기 반송 유닛(34, 38)의 단부에 연결된 흡착부(54)가 소정의 위치가 되도록, 상기 위치 명령에 기초하여 가압 모터(51M)의 구동을 제어하는 방법이다. 한편, 토크 제어 모드란, 가압 모터(51M)의 회전에 의해 발생하는 토크가 소정의 크기로 유지되도록, 상기 토크 명령에 기초하여 가압 모터(51M)의 구동을 제어하는 방법이다. 또한, 상기 가압 모터 구동부(65b)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(38) 각각에 대하여 설치되고, 또한 전류 계측부 I51M도, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(38) 각각에 대하여 설치되어 있다.

가압 실린더 구동부(65c)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 구동 명령에 기초하여, 가압 실린더(53)에 작동압을 공급하기 위한 구동 신호를 생성함과 함께, 그 각 구동 신호를 가압 실린더(53)에 출력한다. 그리고, 가압 실린더(53)는, 그것이 신장하기 위한 구동 신호에 따라서 신장함으로써 전자 부품 T에 가압력을 가함과 함께, 그것이 수축하기 위한 구동 신호에 따라서 수축함으로써 전자 부품 T에 대한 가압력을 해제한다. 또한, 상기 가압 실린더 구동부(65c)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(38) 각각에 대하여 설치되어 있다.

흡인 밸브 구동부(65d)에는, 흡인 밸브 SV2의 개방량을 검출하는 흡인 센서 ESV2가 접속되어 있다. 흡인 밸브 구동부(65d)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 개방도 명령과, 흡인 센서 ESV2로부터 입력된 개방량에 기초하여, 흡인 밸브 SV2의 구동 신호를 생성함과 함께, 그 구동 신호를 흡인 밸브 SV2에 출력한다. 그리고, 흡인 밸브 SV2는, 그 개방량에 따른 흡인력으로 상기 전자 부품 T를 흡인한다. 또한, 흡인 밸브 구동부(65d)는, 제1 반송 유닛(34) 및 제2 반송 유닛(38) 각각에 대하여 설치되어 있다. 또한, 흡인 센서 ESV2는, 흡인 밸브 SV2의 각각에 대하여 설치되어 있다.

제어 장치(60)에는, 상기 수압 아암(35b, 36b)을 변위시키는 수압 아암 구동부(66)가 접속되어 있다. 수압 아암 구동부(66)는, 제어 장치(60)로부터 입력된 구동 명령에 기초하여, 수압 아암(35b, 36b)의 아암 실린더(35s, 36s)에 작동압을 공급하기 위한 구동 신호를 생성함과 함께, 그 구동 신호를 아암 실린더(35s, 36s)에 출력한다. 그리고, 아암 실린더(35s, 36s)는, 수압 아암(35b, 36b)을 변위시키기 위한 구동 신호에 따라서 신장함으로써 수압 아암(35b, 36b)을 상기 결합 위치로 변위시킨다. 한편, 아암 실린더(35s, 36s)는, 그것이 수축하기 위한 구동 신호에 따라서 수축함으로써, 수압 아암(35b, 36b)을 상기 이격 위치로 변위시킨다.

[핸들러의 작용]

다음으로, 반송 유닛에 의해 보유 지지된 전자 부품 T가, 검사용 소켓(33)에 끼워 넣어질 때의, 각종 모터의 구동의 형태와 각종 실린더의 구동의 형태를, 전술한 구성에 기초하여, 도 4 내지 도 12를 참조하여 설명한다. 또한, 제1 반송 유닛(34)에 의한 끼워 넣기 형태와 제2 반송 유닛(38)에 의한 끼워 넣기 형태란, 전자 부품 T의 공급원이나 전자 부품 T의 반송 방향이 서로 다르지만, 그 이외에는 서로 마찬가지의 형태이기 때문에, 이하에서는 제1 반송 유닛(34)에 있어서의 상기 형태에 대해서만 예시한다.

또한, 도 4에는, 반송 모터 MY에 대한 위치 명령이, 제1 반송 유닛(34)의 동작과 함께 편의적으로 도시하고, 또한 가압 모터(51M)에 대한 위치 명령이나 토크 명령이, 수직 이동 아암(52)의 동작 및 제어 모드와 함께 편의적으로 도시하고 있다. 또한, 도 5 내지 도 12에는, 도 4에 도시되는 각 타이밍 T0 ~ T10에서의 제1 반송 유닛(34)의 구동 형태 및 수압 아암 기구(35, 36)의 구동 형태가, 이들 평면 구조와 단면 구조가 서로 대응지어진 상태에서 도시되고 있다.

[반송 유닛 세트 기간 : T0-T1]

우선, 도 4에 도시된 바와 같이, 제어 장치(60)는 반송 모터 구동부(65a)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 이때, 제어 장치(60)가 출력하는 위치 명령은, 제1 반송 유닛(34)의 흡착부(54)를 공급용 셔틀 트레이(32a)의 바로 위로부터, 검사용 소켓(33)의 바로 위까지 이동시키기 위한 것이다. 그리고, 반송 모터 구동부(65a)는, 반송 모터 MY의 회전 위치와 상기 위치 명령에 기초하는 구동 전류를 생성하고, 그 구동 전류를 반송 모터 MY에 출력한다. 이에 의해, 반송 모터 MY가 타이밍 T0로부터 소정의 방향으로의 회전을 개시하고, 제1 반송 유닛(34)의 흡착부(54)가, 전자 부품 T를 보유 지지한 채 검사용 소켓(33)의 바로 위에 도달할 때까지, 제1 반송 유닛(34)이 검사용 소켓(33)을 향하여 진행 이동한다(도 5의 (a) 참조).

또한, 전술한 반송 유닛 세트 기간에서는, 수직 이동 아암(52)의 하단부가 최상 위치를 유지하도록, 제어 장치(60)는 가압 모터 구동부(65b)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 그리고, 가압 모터 구동부(65b)는 가압 모터(51M)의 회전 위치와 상기 위치 명령에 기초하는 구동 전류를 생성하고, 그 구동 전류를 가압 모터(51M)에 출력한다. 이에 의해, 가압 모터 구동부(65b)는 가압 모터(51M)의 회전을 억제한다.

또한, 전술한 반송 유닛 세트 기간에서는, 가압 실린더(53)에 작동압이 공급되지 않도록, 제어 장치(60)는 가압 실린더 구동부(65c)에 가압 해제 명령을 출력한다. 이에 의해, 가압 실린더 구동부(65c)는, 가압 해제 명령에 기초하는 구동 신호를 생성하고, 이에 의해 가압 실린더(53)에 작동압을 공급하지 않음으로써, 가압 실린더(53)의 신장량을 최소값으로 유지한다(도 5의 (b) 참조).

그리고, 전술한 바와 같이, 수직 이동 아암(52)의 하단부가 최상 위치에 유지되고, 또한 가압 실린더(53)의 신장량이 최소값으로 유지됨으로써, 흡착부(54)가 그 최상 위치에 배치된다. 또한, 흡착부(54)의 최상 위치란, 수평 이동 아암(51)이 반송 가이드(31)를 따라 이동할 때에, 흡착부(54)와 다른 부재가 충돌하지 않는 위치이다.

[하강·가압 기간 : T1-T3]

흡착부(54)가 검사용 소켓(33)의 바로 위에 도달하면, 흡착부(54)에 흡착된 전자 부품 T가 검사용 소켓(33)에 수용되도록, 제어 장치(60)는 도 4에 도시된 바와 같이, 타이밍 T1에서, 가압 모터 구동부(65b)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 이때, 제어 장치(60)는 전술한 위치 제어 모드에서의 위치 명령을 출력한다. 그리고, 가압 모터 구동부(65b)는 가압 모터(51M)의 회전 위치와 상기 위치 명령에 기초하는 구동 전류를 생성하고, 그 구동 전류를 가압 모터(51M)에 출력한다. 이에 의해, 가압 모터(51M)가 타이밍 T1로부터 소정 방향으로의 회전을 개시하고, 검사용 소켓(33)에 전자 부품 T가 수용될 때까지, 수직 이동 아암(52)이 하강한다.

그리고, 타이밍 T2에서, 검사용 소켓(33)에 전자 부품 T가 수용되면, 가압 모터(51M)의 위치 제어가 계속되어, 흡착부(54)의 위치가 소정의 위치가 되도록, 흡착부(54)가 더 하강한다. 이에 의해, 전자 부품 T에는, 가압 모터(51M)로부터의 가압력이 가해지게 된다(도 6의 (a), (b) 참조).

또한, 전술한 하강·가압 기간에서는, 제1 반송 유닛(34)에 있어서의 Y 방향의 위치가 유지되도록, 제어 장치(60)는 반송 모터 구동부(65a)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 그리고, 반송 모터 구동부(65a)는, 반송 모터 MY의 회전 위치와 상기 위치 명령에 기초하는 구동 전류를 생성하고, 그 구동 전류를 반송 모터 MY에 출력하여 상기 반송 모터 MY의 회전을 억제한다.

[수압 아암 구동 기간 : T3-T4]

전자 부품 T가 검사용 소켓(33)에 위치 결정되면, 수압 아암 기구(35, 36)의 수압 아암(35b, 36b)이 상기 결합 위치로 변위하도록, 제어 장치(60)는 도 4에 도시된 바와 같이, 타이밍 T3에서, 수압 아암 구동부(66)에 대하여 결합 명령을 출력한다.

그리고, 수압 아암 구동부(66)는, 상기 결합 명령에 기초하는 구동 신호를 생성하고, 그 구동 신호를 아암 실린더(35s, 36s)에 출력한다. 이에 의해, 아암 실린더(35s, 36s)가 신장하여 수압 아암(35b, 36b)이 결합 위치로 변위한다(도 7의 (a), (b) 참조).

또한, 이러한 수압 아암 구동 기간에서는, 제1 반송 유닛(34)에 있어서의 Y 방향의 위치가 유지되도록, 제어 장치(60)는 반송 모터 구동부(65a)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 그리고, 반송 모터 구동부(65a)는, 반송 모터 MY의 회전 위치와 상기 위치 명령에 기초하는 구동 전류를 생성하고, 그 구동 전류를 반송 모터 MY에 출력하여 반송 모터 MY의 회전을 억제한다.

또한, 이러한 수압 아암 구동 기간에서는, 전자 부품 T에 대하여 가압 모터(51M)로부터의 가압력 Fbase가 가해지도록, 제어 장치(60)는 가압 모터 구동부(65b)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 그리고, 가압 모터 구동부(65b)는 가압 모터(51M)의 회전 위치와 상기 위치 명령에 기초하는 구동 전류를 생성하고, 그 구동 전류를 가압 모터(51M)에 출력하여 흡착부(54)의 위치를 소정의 위치까지 하강시킨다. 또한, 이러한 가압력 Fbase란, 시험 등에 의해 미리 설정된 것이며, 가압력 Fbase가 전자 부품 T를 검사용 포켓(33a)에 위치 결정하는 데 충분하는 힘이며, 또한 그 가압력 Fbase에 의해 전자 부품 T나 검사용 소켓(33)이 변형되지 않는 정도의 것이다.

[토크 제어 기간 : T4-T5]

수압 아암(35b, 35b)이 결합 위치로 변위하면, 제어 장치(60)는 도 4에 도시된 바와 같이, 타이밍 T4에서, 가압 모터 구동부(65b)에 대하여 토크 제어 모드에서의 토크 명령을 출력한다. 이때, 전술한 가압력 Fbase보다도 큰 가압력 Fcon이 전자 부품 T에 대하여 가해지도록, 제어 장치(60)는 토크 명령을 출력한다. 그리고, 가압 모터 구동부(65b)는 전류 계측부 I51M의 계측값과 토크 명령에 기초하는 구동 전류를 생성하고, 그 구동 전류를 가압 모터(51M)에 출력한다.

이에 의해, 가압 모터(51M)는, 타이밍 T4로부터 소정 방향으로의 회전을 계속해서 행하고, 가압 모터(51M)는, 소정의 토크를 출력하여 전자 부품 T에 대하여 전술한 가압력 Fcon을 가하여, 검사용 소켓(33)에 대하여 전자 부품 T를 위치 결정한다(도 8의 (a) 참조).

또한, 전술한 토크 제어 기간에서는, 제1 반송 유닛(34)에 있어서의 Y 방향의 위치가 유지되도록, 제어 장치(60)는 반송 모터 구동부(65a)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 또한, 아암 실린더(35s, 36s)의 신장이 유지되도록, 제어 장치(60)는 수압 아암 구동부(66)에 대하여 결합 명령을 출력한다.

그리고, 반송 모터 구동부(65a)는, 반송 모터 MY의 회전을 억제함과 함께, 수압 아암 구동부(66)는, 아암 실린더(35s, 36s)의 신장을 유지한다. 그리고, 가압 모터 구동부(65b)는 전자 부품 T를 가압력 Fcon으로 계속해서 가압한다(도 8의 (b) 참조).

[실린더 가압 기간 : T5-T6]

전자 부품 T가 가압력 Fcon으로 가압되면, 가압 실린더(53)에 작동압을 공급하도록, 제어 장치(60)는 도 4에 도시된 바와 같이, 타이밍 T5에서, 가압 실린더 구동부(65c)에 대하여 가압 명령을 출력한다. 그리고, 가압 실린더 구동부(65c)는, 가압 명령에 기초하는 구동 신호를 생성하고, 그 구동 신호를 압축 공기 공급계에 출력한다. 이에 의해, 가압 실린더 구동부(65c)는, 가압 실린더(53)에 작동압을 공급함과 함께, 전자 부품 T에 대하여 가압력 Fhigh를 더 가한다.

이 가압력 Fhigh란, 전술한 가압력 Fbase보다도 큰 힘이며, 또한 상기 가압력 Fhigh에서의 가압에 의해, 전자 부품 T나 검사용 소켓(33)이 변형되지 않는 정도의 것이다. 그리고, 이러한 가압력 Fhigh가 전자 부품 T에 가해짐으로써, 전자 부품 T의 수 단자와 검사용 소켓(33)의 암 단자와의 전기적인 접속이 확실하게 행해지게 된다.

그리고, 가압 실린더(53)에 작동압이 공급되면, 제어 장치(60)는 검사를 개시하기 위한 검사 개시 신호를 검사 유닛에 대하여 출력한다.

이때, 가압력 Fhigh에 저항하는 반력이, 제1 반송 유닛(34)에 있어서의 지지측인 수직 이동 아암(52)에 대하여 인가된다. 이에 의해, 수직 이동 아암(52)이 반송 가이드(31)측으로 되밀림으로써, 상기 피수압편(52a)과 수압 아암(35b, 36b)이 결합한다(도 9의 (a), (b) 참조).

그 때문에, 가압 실린더(53)에 의한 가압력의 반력은, 그 일부가 제1 반송 유닛(34)에 작용하지만, 그 잔부가, 수압 아암 기구(35, 36)를 거쳐서 베이스(11)에 작용하게 된다. 즉, 수직 이동 아암(52)이 가압 실린더(53)의 신장으로 되밀리지만, 가압 실린더(53)의 신장이 수압 아암 기구(35, 36)에 의해 억제되는 만큼, 수직 이동 아암(52)이 되밀리는 정도는, 적잖게 억제되게 된다. 그러므로, 수직 이동 아암(52)에 의한 가압력 Fcon보다도 큰 가압력이 전자 부품 T에 가해지지만, 전자 부품 T가 받는 가압력의 반력 모두가, 제1 반송 유닛(34)에 작용하지 않고, 그 반력의 일부는, 베이스(11)로 분산하게 된다. 이에 의해, 원하는 가압력으로 전자 부품 T가 가압되지만, 제1 반송 유닛(34)에 요구되는 강성은, 그 가압력의 반력의 일부에 견딜 수 있는 것으로 족하다. 따라서, 제1 반송 유닛(34)의 대형화나 중량화를 억제할 수 있다.

덧붙이면, 가압 실린더(53)의 신장량이, 수압 아암 기구(35, 36)에 의해 강제적으로 정해지지 않는 형태에서는, 가압 모터(51M)의 구동의 형태에 따라, 가압 실린더(53)의 신장량도 바뀌게 된다. 그리고, 가압 모터(51M)의 구동이 토크 제어 모드라고는 해도, 피수압편(52a)과 수압 아암(35b, 36b)의 기계적인 결합으로 가압력이 정해지는 형태와 비교하면, 전자 부품 T에 대한 가압력도 변동하게 된다. 이러한 점에서, 전술한 형태이면, 가압 실린더(53)의 신장량이, 피수압편(52a)과 수압 아암(35b, 36b)의 결합으로 소정의 값으로 정해지기 때문에, 전자 부품 T에 대한 가압력도 안정되게 된다.

또한, 전술한 실린더 가압 기간에서는, 앞의 토크 제어 기간과 마찬가지로, 제1 반송 유닛(34)에 있어서의 Y 방향의 위치가 유지되도록, 제어 장치(60)는 반송 모터 구동부(65a)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 또한, 아암 실린더(35s, 36s)의 신장이 유지되도록, 제어 장치(60)는 수압 아암 구동부(66)에 대하여 결합 명령을 출력한다. 또한, 전술한 바와 같이, 가압 모터(51M)가 가압 실린더(53)를 가압력 Fcon으로 가압할 수 있도록, 제어 장치(60)는 가압 모터 구동부(65b)에 대하여 토크 명령을 출력한다.

그리고, 반송 모터 구동부(65a)는, 반송 모터 MY의 회전을 억제함과 함께, 수압 아암 구동부(66)는, 아암 실린더(35s, 36s)의 신장을 유지한다. 그리고, 가압 모터 구동부(65b)는 가압 실린더(53)를 가압력 Fcon으로 계속해서 가압한다.

덧붙이면, 가압 모터(51M)를 사용한 전자 부품 T의 가압은, 가압 모터(51M)의 위치 제어 및 토크 제어 중 적어도 하나에 의해 행할 수 있다. 여기서, 가압 실린더(53)의 가압력이 커질수록, 그 가압 실린더(53)의 지지측에 대한 반력, 즉 가압 모터(51M)에 대한 부하도 커진다. 이때, 전술한 위치 제어 모드에 의해 가압 모터(51M)가 구동되어 있으면, 가압 모터(51M)의 출력이 상기 반력을 상회하지 않는 한, 가압 모터(51M)의 회전 위치는 목적으로 하는 회전 위치에 도달하지 못하게 된다. 그리고, 가압 모터(51M)의 구동 전류가 계속 증대하게 되고, 가압 모터(51M)의 내부에 과잉의 부하가 가해지게 된다.

이러한 점에서, 전술한 실린더 가압 기간에서는, 가압 실린더(53)의 가압력이 전자 부품 T에 가해지는 상태에서, 가압 모터(51M)가 토크 제어 모드에 의해 구동된다. 그 때문에, 가압 실린더(53)의 신장에 의해 수직 이동 아암(52)이 되밀린다고 하여도, 가압 모터(51M)가 소정의 토크를 출력하는 이상은, 상기 가압 모터(51M)에 과잉의 부하가 가해질 일은 없다.

[실린더 가압 해제 기간 : T6-T7]

검사 유닛에 있어서 전자 부품 T의 검사가 종료하면, 전자 부품 T의 회수를 개시하기 위한 검사 종료 신호가 검사 유닛으로부터 제어 장치(60)에 출력된다. 계속해서, 가압 실린더(53)가 수축하도록, 제어 장치(60)는 도 4에 도시된 바와 같이, 타이밍 T6에서 가압 실린더 구동부(65c)에 대하여 가압 해제 명령을 출력한다. 이에 의해, 가압 실린더 구동부(65c)는 가압 해제 명령에 기초하는 구동 신호를 생성함으로써, 가압 실린더(53)의 신장에 의한 가압력을 해제한다. 이에 의해, 제1 반송 유닛(34)에 대한 반력이 작아지기 때문에, 수직 이동 아암(52)의 피수압편(52a)과 수압 아암(35b, 36b)의 결합도 해제된다(도 10의 (a), (b) 참조).

또한, 전술한 실린더 가압 해제 기간에서는, 제1 반송 유닛(34)에 있어서의 Y 방향의 위치가 유지되도록, 제어 장치(60)는 반송 모터 구동부(65a)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 또한, 아암 실린더(35s, 36s)의 신장이 유지되도록, 제어 장치(60)는 수압 아암 구동부(66)에 대하여 결합 명령을 출력한다. 또한, 전술한 바와 같이, 가압 모터(51M)가 전자 부품 T를 가압력 Fcon으로 가압할 수 있도록, 제어 장치(60)는 가압 모터 구동부(65b)에 대하여 토크 명령을 출력한다.

그리고, 반송 모터 구동부(65a)는 반송 모터 MY의 회전을 억제함과 함께, 수압 아암 구동부(66)는 아암 실린더(35s, 36s)의 신장을 유지한다. 그리고, 가압 모터 구동부(65b)는 전자 부품 T를 가압력 Fcon으로 계속해서 가압한다.

[위치 제어 기간 : T7-T8]

가압 실린더(53)에 의한 가압이 해제되면, 제어 장치(60)는 도 4에 도시된 바와 같이, 타이밍 T7에서 가압 모터 구동부(65b)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 그리고, 가압 모터 구동부(65b)는 가압 모터(51M)의 회전 위치와 상기 위치 명령에 기초하는 구동 전류를 생성하고, 그 구동 전류를 가압 모터(51M)에 출력한다. 이에 의해, 가압 모터(51M)는 소정 방향으로의 회전을 개시함으로써 전자 부품 T를 가압력 Fbase로 가압하기 시작한다(도 11의 (a), (b) 참조).

또한, 전술한 위치 제어 기간에서는 제1 반송 유닛(34)에 있어서의 Y 방향의 위치가 유지되도록, 제어 장치(60)는 반송 모터 구동부(65a)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 또한, 아암 실린더(35s, 36s)의 신장이 유지되도록, 제어 장치(60)는 수압 아암 구동부(66)에 대하여 결합 명령을 출력한다.

그리고, 반송 모터 구동부(65a)는 반송 모터 MY의 회전을 억제함과 함께, 수압 아암 구동부(66)는 아암 실린더(35s, 36s)의 신장을 유지한다.

[수압 아암 해제 기간 : T8-T9]

가압 모터(51M)가 위치 제어에 의해 구동되면, 수압 아암(35b, 36b)이 이격 위치로까지 되돌아가도록, 제어 장치(60)는 도 4에 도시된 바와 같이, 타이밍 T8에서 수압 아암 구동부(66)에 대한 결합 해제 명령을 출력한다. 그리고, 수압 아암 구동부(66)가 결합 해제 명령에 기초하는 구동 신호를 생성하여 출력하고, 아암 실린더(35s, 36s)가 수축하고, 수압 아암(35b, 36b)이 이격 위치로 되돌아간다(도 12의 (a), (b) 참조).

또한, 전술한 수압 아암 기구 해제 기간에서는 제1 반송 유닛(34)에 있어서의 Y 방향의 위치가 유지되도록, 제어 장치(60)는 반송 모터 구동부(65a)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 또한, 전자 부품 T가 가압력 Fbase로 가압되도록, 제어 장치(60)는 가압 모터 구동부(65b)에 대하여 위치 명령을 출력한다.

그리고, 반송 모터 구동부(65a)는 반송 모터 MY의 회전을 억제함과 함께, 가압 모터 구동부(65b)는 가압 모터(51M)의 회전을 억제한다.

[상승 기간 : T9-T10]

수압 아암(35b, 36b)이 이격 위치로까지 되돌아가면, 수직 이동 아암(52)의 하단부가 최상 위치로까지 되돌아가도록, 제어 장치(60)는 도 4에 도시된 바와 같이, 타이밍 T9에서 가압 모터 구동부(65b)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 그리고, 가압 모터 구동부(65b)는 가압 모터(51M)의 회전 위치와 상기 위치 명령에 기초하는 구동 전류를 생성하고, 그 구동 전류를 가압 모터(51M)에 출력한다. 이에 의해, 가압 모터(51M)는 타이밍 T9 이전까지와는 반대의 방향으로 회전하여 수직 이동 아암(52)을 최상 위치로까지 되돌린다.

계속해서, 수직 이동 아암(52)의 하단부가 최상 위치에 도달하면, 제1 반송 유닛(34)의 흡착부(54)가 회수용 셔틀 트레이(32b)의 바로 위에 배치하도록, 제어 장치(60)는 도 4에 도시된 바와 같이, 타이밍 T10에서 반송 모터 구동부(65a)에 대하여 위치 명령을 출력한다. 그리고, 반송 모터 구동부(65a)는 반송 모터 MY의 회전 위치와 상기 위치 명령에 기초하는 구동 전류를 생성하고, 그 구동 전류를 반송 모터 MY에 출력한다. 이에 의해, 반송 모터 MY가 타이밍 T10으로부터 소정 방향으로의 회전을 개시하고, 흡착부(54)에 흡착된 전자 부품 T가 회수용 셔틀 트레이(32b)의 바로 위에 도달할 때까지, 제1 반송 유닛(34)이 제1 셔틀을 향하여 복귀 이동한다.

이상 설명한 바와 같이, 상기 실시 형태에 따르면, 이하에 열거하는 효과가 얻어지게 된다.

(1) 가압 실린더(53)에 의한 가압력의 반력은, 그 일부가 반송 유닛(34, 38)이나 반송 가이드(31)에 작용하지만, 그 잔부가, 수압 아암 기구(35, 36)를 거쳐서 베이스(11)에 작용하게 된다. 즉, 가압력의 반력 모두가 반송 유닛(34, 38)에 작용하지 않고, 그 반력의 일부는 베이스(11)로 분산하게 된다. 이에 의해, 원하는 가압력으로 전자 부품 T가 가압되지만, 반송 유닛(34, 38)에 요구되는 강성은, 가압력의 반력의 일부에 견딜 수 있는 것으로 족하다. 그 때문에, 반송 유닛(34, 38)의 대형화나 중량화를 억제할 수 있다.

(2) 전자 부품 T를 가압하는 수직 이동 아암(52)과 가압 실린더(53) 중, 수압 아암 기구(35, 36)는 수직 이동 아암(52)에 설치된 피수압편(52a)으로만 결합한다. 그 때문에, 가압 실린더(53)의 가압력에 의해 수직 이동 아암(52)이 되밀리는 것을 억제하는 것이 가능하다. 게다가, 전자 부품 T에 가해지는 가압력이 변동하는 것을 억제하는 것도 가능해진다.

(3) 반송 유닛(34, 38)이, 상대적으로 큰 가압력으로 전자 부품 T를 가압하는 가압 실린더(53)를 갖기 때문에, 상대적으로 큰 가압력이 모터의 구동에 의해 가해지는 구성과 비교하여, 반송 유닛(34, 38)의 구성을 간단하게 하는 것, 나아가서는 핸들러(10)의 구성을 간단하게 하는 것이 가능해진다. 또한, 가압 실린더(53) 대신에 모터를 구비하는 구성과 비교하여, 전자 부품 T에 가해지는 가압력을 크게 하는 것도 용이해진다.

(4) 가압 실린더(53)의 가압력이 전자 부품 T에 가해지는 상태에서, 가압 모터(51M)가 토크 제어에 의해 구동된다. 그 때문에, 가압 실린더(53)의 신장에 의해 수직 이동 아암(52)이 되밀린다고 하여도, 가압 모터(51M)가 소정의 토크를 출력하는 이상은, 상기 모터에 과잉의 부하가 가해질 일은 없다.

(5) 가압 실린더(53)가 전자 부품 T에 가압력을 가할 때에는, 가압 모터(51M)가 토크 제어에 의해 구동되어 있다. 그 때문에, 가압 모터(51M)에 과잉의 부하가 가해질 일이 없는 데다가, 전자 부품 T에 가해지는 가압력도 안정되게 된다.

(6) 가압 실린더(53)로부터의 가압력의 반력이, 서로 마주보는 한 쌍의 수압 아암(35b, 36b) 각각에 작용하게 된다. 그 때문에, 가압 실린더(53)로부터의 가압력에 저항하는 반력이, 탑재면(11a)의 1군데에 작용하는 형태와 비교하여, 그 반력이 분산하는 범위를 넓게 하는 것이 가능하며, 나아가서는 수압 아암 기구(35, 36)나 베이스(11)에 요구되는 강성을 억제하는 것이 가능해진다.

(7) 복수의 전자 부품 T가 동시에 가압되는 상기 형태이면, 검사용 소켓(33)의 전체에 가해지는 가압력이 저절로 커지기 때문에, 이에 맞춰서 그 가압력의 반력도 저절로 커진다. 그 때문에, 반송 유닛(34, 38)의 대형화나 중량화를 억제할 수 있다는 효과가 보다 현저하게 된다.

또한, 상기 실시 형태는, 이하와 같이 적절히 변경하여 실시할 수 있다.

·반송 대상은 전술한 전자 부품 T 외에, 광학 부품이나 정밀 기기 부품 등의 각종 부품이어도 되고, 요컨대 반송 및 가압되는 것이면 된다. 이러한 반송 대상이라도, 상기 (1) ~ (7)에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·보유 지지부가 반송 대상을 보유 지지하는 형태는, 전술한 바와 같이 반송 대상을 흡착하는 형태에 한하지 않고, 예를 들면 반송 대상을 파지하는 형태여도 되고, 요컨대 상기 각종 트레이에 적재된 반송 대상을 보유 지지함과 함께, 보유 지지된 반송 대상을 검사용 소켓(33)에서 가압하는 것이 가능한 형태이면 된다. 이러한 보유 지지의 형태라도, 상기 (1) ~ (7)에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·핸들러(10)는 복수의 전자 부품 T를 반드시 동시에 반송하고, 또한 동시에 가압하는 구성이 아니어도 된다. 요컨대, 복수의 전자 부품 T를 동시에 반송하는 상태 및 복수의 전자 부품 T를 동시에 가압하는 상태를 적어도 갖고 있으면 된다. 이러한 구성에 따르면, 검사용 소켓(33)의 전체에 가해지는 가압력이 커지는 상태를 갖기 때문에, 이에 맞춰서 상기 가압력의 반력도 커지는 상태를 갖게 된다. 그 때문에, 반송 유닛(34, 38)의 대형화나 중량화를 억제할 수 있다는 효과가 보다 현저해지게 된다.

·하나의 반송 유닛의 반송하는 반송 대상의 개수는, 하나여도 된다. 이러한 구성이라도, 상기 (1) ~ (6)에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·피수압편(52a)과 하나의 수압 아암 기구가 결합하는 구성이어도 되고, 이러한 구성이라도, 상기 (1) ~ (5), (7)에 준한 효과를 얻는 것은 가능하고, 또한 수압 아암 기구의 수가 적은 분만큼, 핸들러(10)의 구성을 간소한 것으로 하는 것이 가능하다.

·제1 가압부인 가압 실린더(53)가 전자 부품 T에 대하여 가압력을 가할 때, 그 가압력의 인가와 동시에, 제2 가압부를 구성하는 가압 모터(51M)가 토크 제어 모드로 구동되는 구성이어도 된다. 이러한 구성이라도, 상기 (1) ~ (4), (6), (7)에 준한 효과를 얻는 것은 가능하며, 게다가 가압 실린더(53)가 구동되는 타이밍과, 가압 모터(51M)가 토크 제어 모드로 구동되는 타이밍을, 공통되는 제어 신호로 동기시키는 것도 가능해진다. 그러므로, 가압 실린더(53)가 구동되는 타이밍과 가압 모터(51M)가 토크 제어 모드로 구동되는 타이밍과의 정합이 용이해지게 된다.

·가압 실린더(53)가 전자 부품 T에 가압력을 가할 때에, 가압 모터(51M)를 위치 제어에 의해 구동하는 형태여도 된다. 이러한 구성이라도, 상기 (1) ~ (3), (5) ~ (7)에 준한 효과를 얻는 것은 가능함과 함께, 가압 모터(51M)의 구동 전류를 계측하기 위한 전류 계측부 I51M을 생략하는 것도 가능하다.

·가압 실린더는, 밸브를 거쳐서 소정 압력의 압축 공기가 공급되는 구성에 한하지 않고, 전공 레귤레이터에 의해 소정 압력으로 압축된 공기가 공급되는 구성이어도 된다. 또한, 가압 실린더는 압축 공기에 의해 작동압을 공급하는 실린더에 한하지 않고, 유압에 의해 작동압을 공급하는 실린더여도 된다.

·반송 유닛(34, 38)이 가압 실린더(53) 대신에 가압 모터(51M)와는 다른 가압용 모터를 갖는 구성이어도 되고, 이러한 구성이라도, 상기 (1), (2), (6), (7)에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·반송 유닛(34, 38)이 가압 실린더(53)에 의해서만 반송 대상을 가압하는 구성이어도 된다. 이러한 구성이라도, 상기 (1), (2), (6), (7)에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·반송 유닛(34, 38)이 가압 실린더(53)를 갖지 않는 구성이며, 반송 대상의 가압이 가압 모터(51M)에 의해서만 행해지는 구성이어도 된다. 이러한 구성이라도, 상기 (1), (2), (6), (7)에 준한 효과를 얻는 것은 가능하며, 게다가 반송 유닛의 구성을 간소하게 하는 것도 가능해진다.

·수압 아암(35b, 36b)과 결합하는 피수압편(52a)은, 수직 이동 아암(52)의 하단부에 한하지 않고, 수직 이동 아암(52)의 하단부보다도 수평 이동 아암(51)측에 설치되도록 해도 된다.

·피수압편을 수직 이동 아암과 가압 실린더에 설치함과 함께, 수압 아암 기구(35, 36)가, 이들 피수압편의 양쪽과 결합하는 구성이어도 된다. 이러한 구성이라도, 상기 (1), (3) ~ (7)에 준한 효과를 얻는 것은 가능하며, 피수압편의 수가 많은 분만큼, 가압 모터(51M)와 가압 실린더(53)에 의한 가압력의 반력이, 보다 확실하게 수압 아암 기구(35, 36)에 의해 수압되게 된다.

·가압 실린더가 실린더 본체와 흡착부에 연결된 플런저를 구비하고, 피수압편을 실린더 본체에 설치하는 구성이어도 된다. 이러한 구성이라도, 상기 (1), (3) ~ (7)에 준한 효과를 얻는 것은 가능하다.

·수압 아암(35b, 36b)은, 아암 실린더(35s, 36s) 이외의 기구, 예를 들면 모터에 의해 구동되는 기구 등, 다른 기구에 의해 구동되는 것이어도 된다.

·수압 아암(35b, 36b)이, 그 결합 위치에서 지지체(35a, 36a)에 고정되고, 수압 아암(35b, 36b)과 검사용 소켓(33) 사이에, 피수압편(52a)이 Y 방향으로 이동하는 것이 가능한 간극이 설치되는 구성이어도 된다. 이와 같은 구성이면, 고정된 수압 아암(35b, 36b)의 하방에 있어서, 검사용 소켓(33)에 대한 전자 부품 T의 반입 및 반출이 행해짐과 함께, 가압력의 반력에 의해 되밀리는 피수압편(52a)이, 수압 아암(35b, 36b)과 결합하게 된다. 또한, 수압 아암(35b, 36b)의 가동에 필요한 기구를 생략하는 것이 가능하기 때문에, 수압 아암(35b, 36b)의 구성의 간소화도 가능해진다.

·수압 아암(35b, 36b)과 피수압편(52a)은, 이하와 같이 동작하는 구성이어도 된다. 즉, 결합 위치에 있는 수압 아암(35b, 36b)과 검사용 소켓(33)과의 간극에, 피수압편(52a)이 Y 방향으로부터 이동한다. 계속해서, 피수압편(52a)과 수압 아암(35b, 36b)이 결합한 후에, 수압 아암(35b, 36b)이 이격 위치로 변위한다. 그리고, 피수압편(52a)이 Z 방향으로 이동한다.

이러한 동작에 의하면, 제1 반송 유닛(34)에 의한 전자 부품 T의 가압이 행해질 때에는, 이격 위치에 있는 수압 아암(35b, 36b)을 결합 위치로 이동시키는 기간, 즉 상기 타이밍 T3로부터 타이밍 T4까지의 기간을 생략할 수 있다. 또한, 이격 위치로 변위한 수압 아암(35b, 36b)은, 임의의 타이밍에서 결합 위치로 변위하도록 하면 된다.

·수압 아암(35b, 36b)과 피수압편(52a)은, 이하와 같이 동작하는 구성이어도 된다. 즉, 이격 위치에 있는 수압 아암(35b, 36b) 간에, 피수압편(52a)이 Z 방향으로부터 이동하고, 그리고 수압 아암(35b, 36b)이 결합 위치로 이동한다. 계속해서, 피수압편(52a)과 수압 아암(35b, 36b)이 결합한 후에, 피수압편(52a)이, 수압 아암(35b, 36b)과 검사용 소켓(33)과의 간극으로부터 Y 방향으로 이동함으로써, 수압 아암(35b, 36b)과의 결합을 해제한다.

이러한 동작에 의하면, 제1 반송 유닛(34)에 의한 전자 부품 T의 가압이 행해질 때에는, 결합 위치로 변위한 수압 아암(35b, 36b)을 이격 위치로 이동시키는 기간, 즉 상기 타이밍 T8으로부터 타이밍 T9까지의 기간을 생략할 수 있다. 또한, 결합 위치로 변위한 수압 아암(35b, 36b)은 피수압편(52a)의 해제 후에 있어서의 임의의 타이밍에서, 이격 위치로 변위하도록 하면 된다.

·가압부의 일부가 고정된 수압부의 결합부와 결합하도록 가동하는 구성이어도 되고, 또한 결합부의 결합을 해제하도록 가동하는 구성이어도 된다.

·수압부는 가압부의 접촉에 의해 발생하는 마찰에 의해, 가압부가 가압 방향과는 반대측으로 이동하는 것을 억제하는 구성으로서 구현화할 수도 있다. 그리고, 수압부와 가압부의 접촉 장소는 가압부의 하단부여도 된다. 이 경우, 가압부에 오목부가 설치됨과 함께, 수압부에 볼록부가 설치되는 구성, 또는 가압부에 볼록부가 설치됨과 함께, 수압부에 오목부가 설치되는 구성이어도 된다. 이들 오목부와 볼록부 사이에서 발생하는 마찰에 의해, 가압부의 이동을 적잖게 억제할 수 있다. 요컨대, 수압부란, 가압부가 반송 대상을 가압했을 때에 발생하는 반력에 의해 되밀리는 것을 걸 수 있는 구성이면 된다.

·가압 모터(51M)의 가압력보다도 가압 실린더(53)의 가압력 쪽이 큰 구성으로 했지만, 가압 모터(51M)의 가압력이, 가압 실린더(53)의 가압력보다도 큰 구성, 또는 가압 모터(51M)의 가압력과 가압 실린더(53)의 가압력이 똑같은 구성이어도 된다.

·핸들러(10)는 제1 반송 유닛(34)이 검사용 소켓(33)에 전자 부품 T를 끼워 넣을 때의 반력을 받는 수압 아암 기구(35, 36)를 갖도록 하였다. 이에 한정하지 않고, 제1 반송 유닛(34)이, 공급용 셔틀 트레이(32a), 회수용 셔틀 트레이(37b), 또는 컨베이어 트레이 C1a, C2a, C3a, C4a 등으로 전자 부품 T를 가압할 때의 반력을 수압하는 수압 아암 기구를 핸들러(10)가 갖도록 해도 된다.

·가압 모터(51M)의 가압력이 가압 실린더(53)의 가압력보다도 큰 구성, 또는 가압 모터(51M)의 가압력과 가압 실린더(53)의 가압력이 똑같은 구성이어도 된다.

·고정된 공급측 고정 가이드(21)에 대하여 공급측 가동 가이드(22)가 상대 이동함과 함께, 고정된 회수측 고정 가이드(41)에 대하여 회수측 가동 가이드(42)가 상대 이동하도록 했지만, 고정된 단일의 고정 가이드에 대하여 상대 이동 가능한 가동 가이드가 2개 설치되는 구성이어도 된다. 이 경우, 고정 가이드는 상기 커버 부재(12) 내이며, 베이스(11)의 상면에 있어서의 X 방향으로 연장되는 1변과 평행하게, 또한 베이스(11)의 X 방향의 대략 전체 폭에 걸쳐서 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 2개의 가동 가이드는 커버 부재(12) 내, 또한 상기 반송 가이드(31)를 사이에 두고 반대측에 설치되는 것이 바람직하다.

·핸들러(10)가 갖는 반송 유닛의 대수는, 2대에 한하지 않고, 1대 또는 3대여도 된다.

·공급용 셔틀 트레이(32a)에 수용된 전자 부품 T가 제1 반송 유닛(34)에 의해 검사용 소켓(33)에까지 반송되고, 또한 검사용 소켓(33)에 수용된 전자 부품 T가 제2 반송 유닛(38)에 의해 가압되는 형태여도 된다. 요컨대, 반송 대상을 반송하고, 또한 상기 반송 대상을 가압하는 형태이면 된다.

·핸들러는 반송 대상을 검사하는 부품 검사 장치에 한하지 않고, 반송 대상의 반송과 가압을 행하는 장치에 사용되는 것이면 된다.

10 : 핸들러
11 : 베이스
11a : 탑재면
12 : 커버 부재
20 : 공급 로봇
21 : 공급측 고정 가이드
22 : 공급측 가동 가이드
23 : 공급용 핸드 유닛
31 : 반송 가이드
32 : 제1 셔틀
32a, 37a : 공급용 셔틀 트레이
32b, 37b : 회수용 셔틀 트레이
32c : 제1 셔틀 가이드
33 : 검사용 소켓
33a : 검사용 포켓
34 : 제1 반송 유닛
35, 36 : 수압 아암 기구
35a, 36a : 지지체
35b, 36b : 수압 아암
35s, 36s : 아암 실린더
37 : 제2 셔틀
37c : 제1 셔틀 가이드
38 : 제2 반송 유닛
40 : 회수 로봇
41 : 회수측 고정 가이드
42 : 회수측 가동 가이드
43 : 회수용 핸드 유닛
51 : 수평 이동 아암
51M : 가압 모터
52 : 수직 이동 아암
52a : 피수압편
53 : 가압 실린더
54 : 흡착부
60 : 제어 장치
61 : 컨베이어 구동부
62 : 가이드 구동부
63 : 셔틀 구동부
64 : 핸드 유닛 구동부
64a : 핸드 모터 구동부
64b : 흡인 밸브 구동부
65 : 반송 유닛 구동부
65a : 반송 모터 구동부
65b : 가압 모터 구동부
65c : 가압 실린더 구동부
65d : 흡인 밸브 구동부
66 : 수압 아암 구동부
C1, C2, C3, C4 : 컨베이어
C1a, C2a, C3a, C4a : 컨베이어 트레이
E51M, EMC, EMS, EMX, EMY, EMZ : 인코더
ESV1, ESV2 : 흡인 센서
MC : 컨베이어 모터
MS : 셔틀 모터
MX : 가이드 모터
MY : 반송 모터
MZ : 핸드 모터
SV1, SV2 : 흡인 밸브
T : 전자 부품

Claims (9)

1. 베이스와,
   반송 대상을 반송하는 반송부와,
   상기 베이스에 구비된 수압부
   를 구비하고,
   상기 반송부에는 상기 반송 대상을 상기 베이스를 향하여 가압하는 가압부가 설치되고,
   상기 수압부에는 상기 가압부와 접촉하는 접촉부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 핸들러.
2. 제1항에 있어서,
   상기 가압부는,
   상기 반송 대상을 상기 베이스를 향하여 가압하는 제1 가압부와,
   상기 제1 가압부를 상기 베이스를 향하여 가압하는 제2 가압부
   를 구비하고,
   상기 수압부의 상기 접촉부는, 상기 제2 가압부에 설치된 돌출부와 접촉하는 방향으로 가동하는 핸들러.
3. 제2항에 있어서,
   상기 가압부는,
   상기 반송 대상을 상기 베이스를 향하여 가압하는 제1 가압부와,
   상기 제1 가압부를 상기 베이스를 향하여 가압하는 제2 가압부
   를 구비하고,
   상기 수압부의 상기 접촉부는, 상기 제2 가압부에 설치된 돌출부로부터 이격하는 방향으로 가동하는 핸들러.
4. 제3항에 있어서,
   상기 제1 가압부는, 가압 실린더이며,
   상기 제2 가압부는, 상기 가압 실린더를 상승 및 하강시키는 모터를 포함하여 이루어지고,
   상기 제1 가압부의 가압력은, 상기 제2 가압부의 가압력보다도 큰 핸들러.
5. 제4항에 있어서,
   상기 모터의 구동을 제어하는 모터 제어부를 구비하고,
   상기 모터 제어부는,
   상기 가압 실린더가 상기 반송 대상을 가압하는 상태에서,
   상기 모터를 토크 제어에 의해 구동하는 핸들러.
6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
   상기 모터의 구동을 제어하는 모터 제어부를 구비하고,
   상기 모터 제어부는,
   상기 가압 실린더가 상기 반송 대상을 가압하기 전에,
   상기 모터를 토크 제어에 의해 구동하는 핸들러.
7. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 접촉부는,
   서로 마주보는 한 쌍의 가동 아암이며,
   상기 한 쌍의 가동 아암은,
   상기 돌출부와 접촉하는 위치와,
   상기 돌출부로부터 이격하는 위치로 변위하는 핸들러.
8. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 반송부는, 복수의 상기 반송 대상을 흡착하는 상태를 갖고,
   상기 가압부는, 복수의 상기 반송 대상을 가압하는 상태를 갖는 핸들러.
9. 베이스와,
   전자 부품을 반송하는 반송부와,
   상기 베이스에 연결된 수압부와,
   상기 베이스에 설치된 검사용 소켓
   을 구비하고,
   상기 반송부에는 상기 전자 부품을 상기 베이스의 상기 검사용 소켓을 향하여 가압하는 가압부가 설치되고,
   상기 수압부에는 상기 가압부와 접촉하는 접촉부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 부품 검사 장치.

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