JP5796104B1 - 電子部品測定用のコンタクトモジュール - Google Patents
電子部品測定用のコンタクトモジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP5796104B1 JP5796104B1 JP2014095972A JP2014095972A JP5796104B1 JP 5796104 B1 JP5796104 B1 JP 5796104B1 JP 2014095972 A JP2014095972 A JP 2014095972A JP 2014095972 A JP2014095972 A JP 2014095972A JP 5796104 B1 JP5796104 B1 JP 5796104B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cam follower
- cam
- contact
- electronic component
- measurement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2893—Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
- G01R1/0433—Sockets for IC's or transistors
- G01R1/0441—Details
- G01R1/0466—Details concerning contact pieces or mechanical details, e.g. hinges or cams; Shielding
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2891—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks related to sensing or controlling of force, position, temperature
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Description
本体ベースと、
この本体ベース上に固定された垂直軸支持機構と、
この垂直軸支持機構により垂直方向に移動可能に支持される少なくとも1本の垂直軸およびこの垂直軸と一体に形成されたコンタクトユニット支持部材とを含む垂直軸ユニットと、
この垂直軸ユニットを垂直方向に移動させる垂直軸駆動機構と、
前記コンタクトユニット支持部材下に垂直方向に移動可能に懸架支持される加圧プレートを含むコンタクトユニットと、
前記加圧プレート上に固定され少なくとも1個のカムを有するカムブロックと、
前記カムに係合するカムフォロアおよびこのカムフォロアを前記カム内で水平方向に移動させるカムフォロア駆動機構とを有し、前記本体ベース上に固定された測定加圧機構とを具備し、
前記加圧プレートが電子部品測定装置の測定ソケット内に置かれた電子部品の上方に位置した状態で前記カムフォロア駆動機構を水平方向に駆動して前記加圧プレートを下方に移動させ、加圧プレートにより電子部品を測定ソケットに押し付けるように構成された、
電子部品測定用のコンタクトモジュールである。
Claims (9)
- 本体ベースと、
この本体ベース上に固定された垂直軸支持機構と、
この垂直軸支持機構により垂直方向に移動可能に支持される少なくとも1本の垂直軸およびこの垂直軸と一体に形成されたコンタクトユニット支持部材とを含む垂直軸ユニットと、
この垂直軸ユニットを垂直方向に移動させる垂直軸駆動機構と、
前記コンタクトユニット支持部材下に垂直方向に移動可能に懸架支持される加圧プレートを含むコンタクトユニットと、
前記加圧プレート上に固定され少なくとも1個のカムを有するカムブロックと、
前記カムに係合するカムフォロアおよびこのカムフォロアを前記カム内で水平方向に移動させるカムフォロア駆動機構を含み前記本体ベース上に固定された測定加圧機構とを具備し、
前記加圧プレートが電子部品測定装置の測定ソケット内に置かれた電子部品の上方に位置した状態で前記カムフォロア駆動機構を水平方向に駆動して前記加圧プレートを下方に移動させ、加圧プレートにより電子部品を測定ソケットに押し付けるように構成された、
電子部品測定用のコンタクトモジュール。 - 前記カムフォロア駆動機構は、前記加圧プレートにより電子部品が測定ソケットに所定圧力で押し付けられたときに前記カムフォロア駆動機構の前進を停止させるストッパを有する、請求項1のコンタクトモジュール。
- 前記コンタクトユニット支持部材は前記コンタクトユニットを吊り下げる懸架装置を含み、この懸架装置は、コンタクトユニット吊り下げ板と、前記コンタクトユニットを前記コンタクトユニット吊り下げ板に圧縮ばねを介して吊り下げるばね機構と、を含む請求項1のコンタクトモジュール。
- 前記測定加圧機構のカムフォロア駆動機構は、エアシリンダと、このエアシリンダに結合されたエアピストンと、このエアピストンに連結されたカムフォロア駆動軸と、このカムフォロア駆動軸を水平方向に案内する直動ガイド機構と、前記カムフォロア駆動軸の先端に設けられたカムフォロアと、
を具備し、
前記測定加圧機構が駆動されて前記カムブロックを介して前記コンタクトユニットが押し下げられたときに、前記測定加圧機構は前記ばね機構の張力に抗して前記コンタクトユニットを押し下げる請求項3のコンタクトモジュール。 - 前記測定加圧機構のカムフォロア駆動機構は、サーボドライバと、このサーボドライバにより駆動されるサーボモータと、このサーボモータにより駆動されるボールネジに連結されたカムフォロア駆動軸と、このカムフォロア駆動軸を水平方向に案内する直動ガイド機構と、前記カムフォロア駆動軸の先端に設けられたカムフォロアと、
を具備し、
前記測定加圧機構が駆動されて前記カムブロックを介して前記コンタクトユニットが押し下げられたときに、前記測定加圧機構は前記ばね機構の張力に抗して前記コンタクトユニットを押し下げる請求項3のコンタクトモジュール。 - 前記垂直軸支持機構は、前記コンタクトユニットが下降されて所定位置に来たときに前記垂直軸ユニットの下降位置を検知するセンサを含む、請求項1のコンタクトモジュール。
- 前記垂直軸の延長線は前記加圧プレートの略中央部を通るように配置され、前記加圧プレートはこの中央部を挟んで対称の二つの懸架位置で前記垂直軸ユニットに懸架され、この二つの懸架位置の近傍で前記加圧プレート上にカムブロックが固定され、このカムブロックに第一、第二のカムフォロア駆動機構のカムフォロアがそれぞれ係合し、前記加圧プレートにより複数の電子部品が対応する複数の測定ソケット内で同時に加圧される、請求項1のコンタクトモジュール。
- 電子部品の測定位置の上方で電子部品を測定時に電子部品測定装置の測定ソケットに押し付けるためのコンタクトプレートを前記電子部品に向けて垂直に下降させ、
前記コンタクトプレートが前記電子部品の直上の所定位置に来たときにコンタクトプレートの下降を停止させ、
前記コンタクトプレート上に設けられたカムブロックのカム斜面にカムフォロアが係合するようにカムフォロア駆動軸を水平方向に駆動してカムブロックを下方に押し付け、
前記カムブロックにより前記コンタクトプレートが前記電子部品を所定圧力で前記測定ソケットに押し付けたときに前記カムフォロア駆動軸の水平方向への前進を停止させる、
コンタクトモジュールの駆動方法。 - コンピュータに、
電子部品の測定位置の上方で電子部品を測定時に電子部品測定装置の測定ソケットに押し付けるためのコンタクトプレートを前記電子部品に向けて垂直に下降させ、
前記コンタクトプレートが前記電子部品の直上の所定位置に来たときにコンタクトプレートの下降を停止させ、
前記コンタクトプレート上に設けられたカムブロックのカム斜面にカムフォロアが係合するようにカムフォロア駆動軸を水平方向に駆動してカムブロックを下方に押し付け、
前記カムブロックにより前記コンタクトプレートが前記電子部品を所定圧力で前記測定ソケットに押し付けたときに前記カムフォロア駆動軸の水平方向への前進を停止させる、
コンタクトモジュールの駆動のためのプログラムが記録されたコンピュータ読み取り可能な記憶媒体。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014095972A JP5796104B1 (ja) | 2014-05-07 | 2014-05-07 | 電子部品測定用のコンタクトモジュール |
TW104113737A TWI553322B (zh) | 2014-05-07 | 2015-04-29 | 電子組件測量接觸模組 |
US14/705,233 US10041996B2 (en) | 2014-05-07 | 2015-05-06 | Contact module for electronic components measurement |
SG10201503577VA SG10201503577VA (en) | 2014-05-07 | 2015-05-07 | Contact Module For Electronic Components Measurement |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014095972A JP5796104B1 (ja) | 2014-05-07 | 2014-05-07 | 電子部品測定用のコンタクトモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5796104B1 true JP5796104B1 (ja) | 2015-10-21 |
JP2015212676A JP2015212676A (ja) | 2015-11-26 |
Family
ID=54348565
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014095972A Active JP5796104B1 (ja) | 2014-05-07 | 2014-05-07 | 電子部品測定用のコンタクトモジュール |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10041996B2 (ja) |
JP (1) | JP5796104B1 (ja) |
SG (1) | SG10201503577VA (ja) |
TW (1) | TWI553322B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6777458B2 (ja) * | 2016-08-19 | 2020-10-28 | 株式会社エンプラス | 電気部品用ソケット |
KR20230021177A (ko) * | 2017-03-03 | 2023-02-13 | 에어 테스트 시스템즈 | 일렉트로닉스 테스터 |
JP6719784B2 (ja) * | 2018-12-21 | 2020-07-08 | 株式会社 Synax | ハンドラ |
TWI737199B (zh) * | 2020-02-27 | 2021-08-21 | 黃文斌 | 電子元件測試夾具 |
CN116359033B (zh) * | 2023-06-01 | 2023-08-04 | 成都光创联科技有限公司 | 一种压力快速测试装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6076394A (en) * | 1996-09-02 | 2000-06-20 | Fuji Machine Mfg. Co., Ltd. | Electric component transferring apparatus having function of testing negative-pressure suction, and apparatus and method for testing negative-pressure suction |
JP3060164B2 (ja) * | 1997-02-28 | 2000-07-10 | 株式会社エスアール藤研 | Ic試験用ソケットの検査プローブ装置 |
JP4349743B2 (ja) * | 2000-12-20 | 2009-10-21 | 東北精機工業株式会社 | Icハンドラー |
CN100403043C (zh) * | 2002-12-04 | 2008-07-16 | 株式会社爱德万测试 | 按压部件和电子部件处理装置 |
WO2005008726A2 (en) | 2003-07-09 | 2005-01-27 | Newport Corporation | Flip chip device assembly machine |
JP2006029943A (ja) * | 2004-07-15 | 2006-02-02 | Unitechno Inc | 押圧機構を備えた半導体検査用ソケット |
JP4598781B2 (ja) * | 2007-02-01 | 2010-12-15 | アキム株式会社 | 電子部品検査用容器 |
JP5316964B2 (ja) * | 2010-11-15 | 2013-10-16 | ワイアイケー株式会社 | 半導体試験装置のベースユニット |
JP2013044684A (ja) * | 2011-08-25 | 2013-03-04 | Seiko Epson Corp | ハンドラー、及び部品検査装置 |
JP6040530B2 (ja) * | 2012-01-17 | 2016-12-07 | セイコーエプソン株式会社 | ハンドラーおよび検査装置 |
-
2014
- 2014-05-07 JP JP2014095972A patent/JP5796104B1/ja active Active
-
2015
- 2015-04-29 TW TW104113737A patent/TWI553322B/zh active
- 2015-05-06 US US14/705,233 patent/US10041996B2/en active Active
- 2015-05-07 SG SG10201503577VA patent/SG10201503577VA/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SG10201503577VA (en) | 2015-12-30 |
JP2015212676A (ja) | 2015-11-26 |
TW201543052A (zh) | 2015-11-16 |
US20150323565A1 (en) | 2015-11-12 |
TWI553322B (zh) | 2016-10-11 |
US10041996B2 (en) | 2018-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5796104B1 (ja) | 電子部品測定用のコンタクトモジュール | |
CN102901450B (zh) | 一种测量装置以及轴体检测设备 | |
KR100750868B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 접속장치 | |
CN109414793A (zh) | 自动螺纹检测装置及其自平衡机构 | |
CN101504440B (zh) | 检查装置 | |
KR100802436B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 소자 접속장치 | |
CN107907208A (zh) | 轴承测振机构及轴承检测设备 | |
KR101671712B1 (ko) | 평판 유리용 다중 위치 강성 시험장치 | |
CN105650414A (zh) | 一种具有缓冲功能的医用承载装置 | |
CN109917273A (zh) | 一种用于芯片的具有固定功能的便捷型检测设备 | |
KR100901996B1 (ko) | 테스트 소켓 내구성 시험 장치 | |
CN205729318U (zh) | 一种具有锁定功能的医用承载装置 | |
CN209911105U (zh) | 一种保持侧向和轴向垂直的结构试验加载装置 | |
CN115507794B (zh) | 一种汽车冲压模具铸件检测装置 | |
CN109506818B (zh) | 一种用于杨氏模量测量的砝码加载装置 | |
KR20150089491A (ko) | 스테이지 유닛 및 이를 갖는 다이 본딩 장치 | |
JP6455349B2 (ja) | 材料試験機 | |
CN103776494A (zh) | 一种测量仪器 | |
WO2009123143A1 (ja) | 眼鏡レンズのヤゲン周長測定装置およびヤゲン周長測定方法 | |
CN112556999A (zh) | 一种多角度光点同轴测试机构 | |
CN105645307A (zh) | 一种可升降且防超程的医用承载装置 | |
CN105496367A (zh) | 一种具有锁定功能的医用承载装置 | |
KR20210099157A (ko) | 검사 장치용 지그, 검사 장치, 검사 세트 및 이를 이용하는 대상물 검사 방법 | |
CN205785261U (zh) | 一种测试治具 | |
TW201538950A (zh) | 線性滑軌壽命檢測方法及其檢測裝置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150721 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150817 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5796104 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |