TW201512065A - 處置器、及零件檢查裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之零件檢查裝置包含：基台，其包含按壓電子零件之檢查用插座；搬送單元，其搭載於基台且將電子零件搬送至檢查用插座；及垂直移動臂，其設置於搬送單元且將電子零件按壓在檢查用插座。上述零件檢查裝置包含連結於基台之受壓臂機構，該受壓臂機構係與按壓電子零件之按壓缸卡合，並阻止按壓缸相對於基台之變位。

Description

處置器、及零件檢查裝置

本發明係關於一種對搬送對象進行搬送之處置器(handler)，尤其係關於一種將搬送對象搬送至按壓區域並於該按壓區域進行按壓之處置器及包含該處置器之零件檢查裝置。

自先前以來，已知有例如專利文獻1中記載般之檢查電子零件之電特性之零件檢查裝置。於此種零件檢查裝置中使用有如下之處置器，該處置器將作為搬送對象之電子零件搬送至成為按壓區域之檢查用插座(socket)為止，並將電子零件嵌入該檢查用插座。

於上述處置器中，搭載有用以吸附電子零件之吸附部、及用以將吸附於該吸附部之電子零件嵌入檢查用插座之按壓用之馬達。而且，於將檢查前之電子零件利用檢查用插座進行檢查時，於電子零件吸附於吸附部之狀態下驅動上述馬達，將電子零件之端子嵌入檢查用插座之端子。此時，為了將電子零件之端子與檢查用插座之端子電性連接，需要對電子零件施加特定之按壓力，上述之按壓力係由上述馬達施加。

另一方面，近年來，有嵌入於檢查用插座之電子零件之個數增加之傾向，因此將無法利用上述馬達之輸出，對複數個電子零件之各者施加足以連接上述端子間之按壓力。因此，於上述之處置器中搭載有按壓用之氣壓缸(pneumatic cylinder)，並且大於上述馬達之按壓力係自該氣壓缸施加至電子零件。根據利用如上所述之氣壓缸之電子零件 之按壓，由於將上述端子間確實連接，故可高精度地進行電子零件之檢查。

[先前技術文獻]

[特許文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2010-101776號公報

然而，如上所述，為了形成於電子零件之各端子之連接而需要特定之按壓力，因此若電子零件之端子數或電子零件之個數增加，則上述氣壓缸所期望之按壓力亦變大。另一方面，若如此氣壓缸之按壓力變大，則來自檢查用插座之反作用力亦自動變大。而且，對於支撐上述氣壓缸之構件或用以使氣壓缸移動之軌道，需要具有不因上述反作用力而變形之程度之剛性。然而，為了提高上述構件及軌道之剛性，無法避免包含該構件及軌道之搬送部之大型化或重量化。

再者，上述問題並不限定於如上述般使用馬達與氣壓缸按壓電子零件之處置器，而為使用設置於搬送部之1個以上之按壓部來按壓搬送對象之處置器所共通之問題。

本發明係鑒於上述實際情況而完成者，其目的在於提供一種於藉由對搬送對象進行搬送之搬送部按壓搬送對象之處置器中，可抑制搬送部之大型化或重量化之處置器、及包含該處置器之零件檢查裝置。

本發明之態樣之一為，處置器包含基台、對搬送對象進行搬送之搬送部、及連結於上述基台之受壓部，於上述搬送部設有將上述搬送對象朝向上述基台按壓之按壓部，於上述受壓部設有與上述按壓部之一部分卡合之卡合部。

於按壓部之按壓力作用於搬送對象時，抵抗該按壓力之反作用力 將作用於搬送部。根據上述態樣，按壓力之反作用力中之一部分作用於搬送部，而其剩餘部分經由設置於受壓部之卡合部而作用於基台。即，並非按壓力之反作用力之全部作用於搬送部，而該反作用力之一部分將向基台分散。藉此，以所期望之按壓力而搬送對象被按壓，而搬送部所要求之剛性為可耐受按壓力之反作用力之一部分者即可。因此，可抑制搬送部之大型化或重量化。

本發明之態樣之一較佳為，上述按壓部包含將上述搬送對象朝向上述基台按壓之第1按壓部、及將上述第1按壓部朝向上述基台按壓之第2按壓部，上述受壓部之上述卡合部以與設置於上述第2按壓部之一部分之突出部卡合之方式可動。

根據上述構成，構成按壓部之第1按壓部與第2按壓部中受壓部之卡合部係以與設置於第2按壓部之一部分之突出部卡合之方式可動。因此，藉由上述卡合可抑制第2按壓部因第1按壓部之按壓力而退回。而且，施加至搬送對象之按壓力因受壓部與第2按壓部之機械性之卡合而固定，故亦可抑制該按壓力發生變動。

本發明之態樣之一較佳為，上述按壓部包含將上述搬送對象朝向上述基台按壓之第1按壓部、及將上述第1按壓部朝向上述基台按壓之第2按壓部，上述受壓部之上述卡合部以解除與設置於上述第2按壓部之一部分之突出部之卡合之方式可動。

根據上述構成，構成按壓部之第1按壓部與第2按壓部中受壓部之卡合部係以解除與設置於第2按壓部之一部分之突出部之卡合之方式可動。因此，藉由上述卡合可抑制第2按壓部因第1按壓部之按壓力而退回，又，藉由該卡合之解除，按壓部之移動將不易受突出部影響。而且，施加至搬送對象之按壓力因受壓部與第2按壓部之機械性之卡合而固定，故亦可抑制該按壓力發生變動。

本發明之態樣之一較佳為，上述第1按壓部為按壓缸，上述第2按 壓部包含使上述按壓缸上升及下降之馬達，上述第1按壓部之按壓力大於上述第2按壓部之按壓力。

由按壓缸施加之按壓力通常藉由使按壓缸之作動壓增大，例如提高供給至按壓缸之壓縮空氣之壓力而變大。於上述態樣中，需要相對較大之按壓力之第1按壓部包含此種按壓缸。因此，與藉由馬達之驅動而施加相對較大之按壓力之構成相比，可簡化搬送部之構成，進而可簡化處置器之構成。又，與第1按壓部包含馬達之情形相比，亦更容易使施加至搬送對象之按壓力增大。

本發明之態樣之一較佳為，包含控制上述馬達之驅動之馬達控制部，上述馬達控制部於上述按壓缸按壓上述搬送對象之狀態下，藉由轉矩控制驅動上述馬達。

使用馬達之搬送對象之按壓可藉由馬達之位置控制及轉矩控制之至少一個而進行。再者，所謂位置控制，係指以按壓缸之位置成為特定之位置之方式，控制馬達之旋轉位置。另一方面，所謂轉矩控制，係指以對搬送對象施加特定之按壓力之方式，控制馬達之產生轉矩。

此處，上述按壓缸之按壓力越大，則對於該按壓缸之支撐側之反作用力、即對於上述馬達之負載越大。此時，若藉由上述之位置控制而驅動馬達，則只要馬達之輸出不超過上述反作用力，則馬達之旋轉位置不會到達目標之旋轉位置。而且，馬達之驅動電流會持續增大，對馬達之內部施加過量之負載。

就該方面而言，於上述態樣中，於按壓缸之按壓力施加至搬送對象之狀態下，藉由轉矩控制而驅動馬達。因此，即便因按壓缸之伸長而該按壓缸之支撐側退回，馬達亦輸出特定之轉矩，既然如此便不會對該馬達施加過量之負載。

本發明之態樣之一較佳為，包含控制上述馬達之驅動之馬達控制部，上述馬達控制部於上述按壓缸按壓上述搬送對象之前，藉由轉矩 控制而驅動上述馬達。

根據上述態樣，於按壓缸對搬送對象施加按壓力時，藉由轉矩控制而驅動馬達。因此，不會對馬達施加過量之負載，而且施加至搬送對象之按壓力亦變得穩定。

本發明之態樣之一較佳為，上述卡合部為相互對向之一對可動臂，上述一對可動臂變位至與上述突出部卡合之位置、及自上述突出部離開之位置。

根據上述態樣，相互對向之一對可動臂與設置於按壓部之突出部卡合，來自按壓部之按壓力之反作用力作用於相互對向之一對可動臂之各者。因此，與來自按壓部之按壓力之反作用力作用於一個部位之態樣相比，可擴大該反作用力分散之範圍，進而可抑制受壓部或基台所要求之剛性。

本發明之態樣之一較佳為，上述搬送部具有吸附複數個上述搬送對象之狀態，上述按壓部具有按壓複數個上述搬送對象之狀態。

於具有按壓複數個搬送對象之狀態之態樣中，具有隨著搬送對象之個數變大，施加至複數個搬送對象之整體之按壓力亦自動變大之狀態。此時，具有相應於施加至連接對象之整體之按壓力，而該按壓力之反作用力亦自動變大之狀態。就該點而言，根據上述態樣，如上述般變大之反作用力之一部分將向基台分散。因此，抑制搬送部之大型化或重量化之效果變得更加顯著。

本發明之態樣之一為，零件檢查裝置包含基台、搬送電子零件之搬送部、連結於上述基台之受壓部、及設置於上述基台之檢查用插座，於上述搬送部設置有將上述電子零件朝向上述檢查用插座按壓之按壓部，於上述受壓部設置有與上述按壓部之一部分卡合之卡合部。

於按壓部之按壓力作用於電子零件時，抵抗該按壓力之反作用力作用於搬送部。根據上述態樣，按壓力之反作用力中之一部分作用於 搬送部，而其剩餘部分經由設置於受壓部之卡合部而作用於基台。即，並非按壓力之反作用力之全部作用於搬送部，而該反作用力之一部分將向基台分散。藉此，以所期望之按壓力而搬送對象被按壓，然而搬送部所要求之剛性為可耐受按壓力之反作用力之一部分者即可。因此，可抑制搬送部之大型化或重量化。

10‧‧‧處置器

11‧‧‧基台

11a‧‧‧搭載面

12‧‧‧蓋構件

20‧‧‧供給機械手

21‧‧‧供給側固定導件

22‧‧‧供給側可動導件

23‧‧‧供給用手單元

31‧‧‧搬送導件

32‧‧‧第1梭子

32a‧‧‧供給用梭盤

37a‧‧‧供給用梭盤

32b‧‧‧回收用梭盤

37b‧‧‧回收用梭盤

32c‧‧‧第1導梭板

33‧‧‧檢查用插座

33a‧‧‧檢查用凹穴

34‧‧‧第1搬送單元

35‧‧‧受壓臂機構

36‧‧‧受壓臂機構

35a‧‧‧支撐體

36a‧‧‧支撐體

35b‧‧‧受壓臂

36b‧‧‧受壓臂

35s‧‧‧臂缸

36s‧‧‧臂缸

37‧‧‧第2梭子

37c‧‧‧第1導梭板

38‧‧‧第2搬送單元

40‧‧‧回收機械手

41‧‧‧回收側固定導件

42‧‧‧回收側可動導件

43‧‧‧回收用手單元

51‧‧‧水平移動臂

51M‧‧‧按壓馬達

52‧‧‧垂直移動臂

52a‧‧‧被受壓片

53‧‧‧按壓缸

54‧‧‧吸附部

60‧‧‧控制裝置

61‧‧‧輸送機驅動部

62‧‧‧導件驅動部

63‧‧‧梭子驅動部

64‧‧‧手單元驅動部

64a‧‧‧手馬達驅動部

64b‧‧‧抽吸閥驅動部

65‧‧‧搬送單元驅動部

65a‧‧‧搬送馬達驅動部

65b‧‧‧按壓馬達驅動部

65c‧‧‧按壓缸驅動部

65d‧‧‧抽吸閥驅動部

66‧‧‧受壓臂驅動部

C1‧‧‧輸送機

C2‧‧‧輸送機

C3‧‧‧輸送機

C4‧‧‧輸送機

C1a‧‧‧輸送機托盤

C2a‧‧‧輸送機托盤

C3a‧‧‧輸送機托盤

C4a‧‧‧輸送機托盤

E51M‧‧‧編碼器

EMC‧‧‧編碼器

EMS‧‧‧編碼器

EMX‧‧‧編碼器

EMY‧‧‧編碼器

EMZ‧‧‧編碼器

ESV1‧‧‧抽吸感測器

ESV2‧‧‧抽吸感測器

MC‧‧‧輸送機馬達

MS‧‧‧梭子馬達

MX‧‧‧導件馬達

MY‧‧‧搬送馬達

MZ‧‧‧手馬達

SV1‧‧‧抽吸閥

SV2‧‧‧抽吸閥

T‧‧‧電子零件

圖1係表示本發明中之零件檢查裝置之一實施形態之整體構成之概略俯視圖。

圖2係該零件檢查裝置所包含之處置器中之第1搬送單元及受壓臂機構之側面構造之側視圖。

圖3係表示該處置器之電性構成之方塊圖。

圖4係表示該處置器所包含之各種馬達之驅動態樣之時序圖。

圖5係表示第1搬送單元與受壓臂機構之作動態樣之圖，且係使(a)第1搬送單元及受壓臂機構之平面構造與(b)端面構造相對應而表示之圖。

圖6係表示第1搬送單元與受壓臂機構之作動態樣之圖，且係使(a)第1搬送單元及受壓臂機構之平面構造與(b)端面構造相對應而表示之圖。

圖7係表示第1搬送單元與受壓臂機構之作動態樣之圖，且係使(a)第1搬送單元及受壓臂機構之平面構造與(b)端面構造相對應而表示之圖。

圖8係表示第1搬送單元與受壓臂機構之作動態樣之圖，且係使(a)第1搬送單元及受壓臂機構之平面構造與(b)端面構造相對應而表示之圖。

圖9係表示第1搬送單元與受壓臂機構之作動態樣之圖，且係使(a)第1搬送單元及受壓臂機構之平面構造與(b)端面構造相對應而表示 之圖。

圖10係表示第1搬送單元與受壓臂機構之作動態樣之圖，且係使(a)第1搬送單元及受壓臂機構之平面構造與(b)端面構造相對應而表示之圖。

圖11係表示第1搬送單元與受壓臂機構之作動態樣之圖，且係使(a)第1搬送單元及受壓臂機構之平面構造與(b)端面構造相對應而表示之圖。

圖12係表示第1搬送單元與受壓臂機構之作動態樣之圖，且係使(a)第1搬送單元及受壓臂機構之平面構造與(b)端面構造相對應而表示之圖。

以下，參照圖1~圖12對使本發明之處置器及零件檢查裝置具體化之一實施形態進行說明。首先，參照圖1對零件檢查裝置之構成進行說明。

[零件檢查裝置之構成]

如圖1所示，於零件檢查裝置所包含之處置器10之基台11，搭載有各種機械手之搭載面11a係作為上表面而設置，該搭載面11a之大部分由蓋構件12覆蓋。由該等蓋構件12與搭載面11a所包圍之空間即搬送空間藉由自零件檢查裝置之外部供給之乾空氣而將濕度與溫度維持為特定值。

於基台11之搭載面11a，沿一個方向延伸之4個輸送機排列於與該輸送機之搬送方向正交之方向上。4個輸送機中，於作為輸送機之排列方向之X方向之一側，敷設有2個供給用輸送機C1、C2，另一方面，於X方向之另一側，敷設有2個回收用輸送機C3、C4。而且，於供給用輸送機C1、C2中，供給用輸送機托盤C1a、C2a自蓋構件12之外側朝向內側搬運。又，於回收用輸送機C3、C4中，回收用輸送機 托盤C3a、C4a自蓋構件12之內側朝向外側搬運。再者，於供給用輸送機托盤C1a、C2a，收容有作為搬送對象之檢查前之複數個電子零件T，又，於回收用輸送機托盤C3a、C4a，收容有檢查後之複數個電子零件T。

於上述基台11之搭載面11a上，搭載有於X方向上相互對向之供給機械手20與回收機械手40。供給機械手20配置於供給用輸送機C1、C2之Y方向上，又，回收機械手40配置於回收用輸送機C3、C4之Y方向上。

供給機械手20包含作為沿Y方向延伸之固定軸之供給側固定導件21、作為連結於供給側固定導件21之可動軸之供給側可動導件22、及連結於供給側可動導件22且沿著供給側可動導件22移動之供給用手單元23。

供給側可動導件22為自供給側固定導件21向回收機械手40側延伸之可動軸，其相對於供給側固定導件21，可沿Y方向進行往返移動地連結。供給用手單元23為配置於供給側可動導件22之搭載面11a側之末端效應器，其相對於供給側可動導件22，可沿X方向進行往返移動地連結。又，供給用手單元23可自供給側可動導件22朝向搭載面11a之下降且可自搭載面11a側朝向供給側可動導件22之上升地連結於供給側可動導件22。

而且，供給側可動導件22沿著供給側固定導件21向供給用輸送機C1、C2側移動，並且供給用手單元23沿著供給側可動導件22移動至供給用輸送機托盤C1a、C2a之正上方為止。藉此，載置於供給用輸送機托盤C1a、C2a之電子零件T吸附於供給用手單元23，然後自供給用輸送機托盤C1a、C2a提昇。又，自該狀態起，供給側可動導件22沿著供給側固定導件21自供給用輸送機C1、C2上離開，藉此將吸附於供給用手單元23之電子零件T向上述搬送空間內之特定之位置供 給。

回收機械手40係與供給機械手20同樣地，包含作為沿Y方向延伸之固定軸之回收側固定導件41、作為連結於回收側固定導件41之可動軸之回收側可動導件42、及連結於回收側可動導件42且沿著回收側可動導件42於X方向上移動之回收用手單元43。

回收側可動導件42為自回收側固定導件41向供給機械手20側延伸之可動軸，其相對於回收側固定導件41，可沿Y方向進行往返移動地連結。回收用手單元43為配置於回收側可動導件42之搭載面11a側之末端效應器，其相對於回收側可動導件42，可沿X方向進行往返移動地連結。又，回收用手單元43可自回收側可動導件42朝向搭載面11a之下降且可自搭載面11a側朝向回收側可動導件42之上升地連結於回收側可動導件42。

而且，回收側可動導件42沿著回收側固定導件41向回收用輸送機C3、C4側移動，並且回收用手單元43沿著回收側可動導件42，移動至回收用輸送機托盤C3a、C4a之正上方為止。藉此，將吸附於回收用手單元43之電子零件T載置於回收用輸送機托盤C3a、C4a。

於蓋構件12之內側面，沿Y方向延伸之搬送導件31固定於該內側面中之X方向之大致中央。於該搬送導件31中之兩端部之下方，配設有沿X方向延伸之第1梭子32與同樣地沿X方向延伸之第2梭子37。

第1梭子32連結於固定設置於搭載面11a之沿X方向延伸之第1導梭板32c，以於X方向上，與供給側可動導件22及回收側可動導件42之任一者重疊之方式，沿X方向滑動。於第1梭子32中之上述供給機械手20側，固定有供給用梭盤32a，又，於第1梭子32中之上述回收機械手40側，固定有回收用梭盤32b。於供給用梭盤32a，收容有作為搬送對象之檢查前之複數個電子零件T，又，於回收用梭盤32b，收容有檢查後之複數個電子零件T。

第2梭子37亦連結於固定設置於搭載面11a之沿X方向延伸之第2導梭板37c，以於X方向上，與供給側可動導件22及回收側可動導件42之任一者重疊之方式，沿X方向滑動。於第2梭子37中之上述供給機械手20側，固定有供給用梭盤37a，又，於第2梭子37中之上述回收機械手40側，固定有回收用梭盤37b。於供給用梭盤37a，收容有作為搬送對象之檢查前之複數個電子零件T，又，於回收用梭盤37b，收容有檢查後之複數個電子零件T。

搭載面11a中，於搬送空間之大致中央，設置有貫通搭載面11a之矩形開口，並且，作為同時進行複數個電子零件T之檢查之連接對象之檢查用插座33係埋設於該矩形開口中。檢查用插座33為嵌入電子零件T之插座，其連結於用以檢查該電子零件T之未圖示之檢查單元。檢查單元係與收容於基台11之內部之處置器不同之裝置，與處置器一併構成零件檢查裝置。

於檢查用插座33之上表面，凹設有可同時收容複數個電子零件T之檢查用凹穴33a，又，於檢查用凹穴33a之底面，凹設有可與電子零件T之凸端子嵌合之複數個凹端子。而且，藉由將電子零件T所包含之凸端子嵌入檢查用凹穴33a之凹端子，可檢查該電子零件T之電特性。再者，檢查用凹穴33a包含之端子係連接於作為搭載於基台11內之不同體之檢查單元，電子零件T包含之端子係經由檢查用凹穴33a包含之端子而連接於檢查單元內之檢查電路。而且，利用檢查用插座33進行之檢查之結果自該檢查單元輸出至處置器10。

於上述搬送導件31，構成搬送部之第1搬送單元34與第2搬送單元38於Y方向上並排連結。

第1搬送單元34於第1梭子32與檢查用插座33之間，沿著Y方向進行往返移動。第1搬送單元34之下端部於搬送導件31與搭載面11a之間，沿著Z方向下降及上升。而且，第1搬送單元34利用該第1搬送單 元34之下端部保持收容於供給用梭盤32a之電子零件T，將所保持之電子零件T搬送至檢查用插座33為止，將該電子零件T嵌入檢查用插座33。又，第1搬送單元34利用該第1搬送單元34之下端部取出嵌入於檢查用插座33之電子零件T，將所取出之電子零件T載置於回收用梭盤32b。

第2搬送單元38於第2梭子37與檢查用插座33之間，沿著Y方向進行往返移動。第2搬送單元38之下端部於搬送導件31與搭載面11a之間，沿著Z方向下降及上升。而且，第2搬送單元38利用該第2搬送單元38之下端部保持載置於供給用梭盤37a之電子零件T，將所保持之電子零件T搬送至檢查用插座33為止，將該電子零件T嵌入檢查用插座33。又，第2搬送單元38利用該第2搬送單元38之下端部取出嵌入於檢查用插座33之電子零件T，將所取出之電子零件T載置於回收用梭盤37b。

又，搭載面11a中，於檢查用插座33之X方向上之兩側，固定設置有構成受壓部之一對受壓臂機構35、36。

[零件檢查裝置之作用]

於上述處置器10中，首先，檢查前之電子零件T自外部裝置移載至供給用輸送機托盤C1a、C2a。繼而，藉由驅動供給用輸送機C1、C2，將檢查前之電子零件T搬運至搬送空間內為止。繼而，當檢查前之電子零件T搬運至搬送空間內為止時，則供給側可動導件22沿著供給側固定導件21移動至供給用輸送機C1、C2上為止。繼而，當供給用手單元23移動至供給用輸送機托盤C1a、C2a之正上方為止而保持電子零件T時，供給側可動導件22沿著供給側固定導件21移動至第1梭子32上為止。

繼而，當供給側可動導件22到達第1梭子32上時，供給用手單元23移動至第1梭子32上為止，並且第1梭子32亦以供給用手單元23位於 供給用梭盤32a之正上方之方式滑動。繼而，將供給用手單元23保持之檢查前之電子零件T自供給用手單元23移載至供給用梭盤32a。

當將檢查前之電子零件T移載至供給用梭盤32a時，則第1搬送單元34移動至第1梭子32上為止，並且第1梭子32亦以第1搬送單元34之下端部位於供給用梭盤32a之正上方之方式滑動。繼而，第1搬送單元34之下端部朝向供給用梭盤32a下降，將移載至供給用梭盤32a之檢查前之電子零件T保持於第1搬送單元34之下端部。繼而，第1搬送單元34移動至檢查用插座33上為止，將檢查前之電子零件T搬送至檢查用插座33之正上方為止。繼而，藉由檢查前之電子零件T與第1搬送單元34之下端部一併下降，對檢查用凹穴33a內之凹端子，嵌入電子零件T之凸端子。

若如此般將檢查前之電子零件T嵌入檢查用插座33，則用以開始電子零件T之檢查之檢查開始信號自處置器10輸出至檢查單元，藉此，利用檢查單元開始電子零件T之檢查。

然後，當表示電子零件T之檢查結束之檢查結束信號自檢查單元輸出至處置器10時，於檢查後之電子零件T由第1搬送單元34保持之狀態下，第1搬送單元34之下端部上升，藉此自檢查用插座33取出檢查後之電子零件T。繼而，第1搬送單元34自檢查用插座33上移動至第1梭子32上為止，並且第1梭子32以第1搬送單元34位於回收用梭盤32b之正上方之方式滑動。繼而，當第1搬送單元34之下端部下降而解除電子零件T之保持時，自第1搬送單元34將檢查後之電子零件T移載至回收用梭盤32b。

當將檢查後之電子零件T移載至回收用梭盤32b時，回收側可動導件42沿著回收側固定導件41移動至第1梭子32上為止。進而，當回收側可動導件42移動至第1梭子32上時，回收用手單元43移動至第1梭子32上為止，並且第1梭子32亦以回收用手單元43位於回收用梭盤32b之 正上方之方式滑動。繼而，將移載至回收用梭盤32b之檢查後之電子零件T保持於回收用手單元43。

當將檢查後之電子零件T保持於回收用手單元43時，回收側可動導件42係自第1梭子32上移動至回收用輸送機C3、C4上為止。繼而，回收用手單元43移動至回收用輸送機托盤C3a、C4a之正上方為止，檢查後之電子零件T係於針對每一檢查結果而分類之狀態下，移載至回收用輸送機托盤C3a、C4a。

再者，與上述供給機械手20與第1梭子32之間同樣地，亦於供給機械手20與第2梭子37之間移載檢查前之電子零件T。又，與上述第1梭子32與第1搬送單元34之間同樣地，亦於第2梭子37與第2搬送單元38之間，移載檢查前之電子零件T及檢查後之電子零件T。進而，與上述第1梭子32與回收機械手40之間同樣地，亦於第2梭子37與回收機械手40之間，移載檢查後之電子零件T。

[處置器之詳細構成]

繼而，參照圖2對處置器10所包含之第1搬送單元34及第2搬送單元38之構成進行詳細說明。再者，關於第1搬送單元34與第2搬送單元38，雖然與搬送導件31之連結位置或成為移動目標之梭子互不相同，但用以按壓電子零件T之構成相同，因此以下，對第1搬送單元34進行說明，而省略關於第2搬送單元38之說明。又，圖2係自輸送機側觀察第1搬送單元34之周邊構造所得之端視圖，表示第1搬送單元34配置於檢查用插座33之正上方之狀態。

於上述搬送導件31，連結有用以搬送檢查前之電子零件T之第1搬送單元34。構成第1搬送單元34之水平移動臂51係以可沿著搬送導件31進行往返移動之方式連結。於水平移動臂51之下端部，垂直移動臂52以可相對於水平移動臂51上升及下降之方式連結。垂直移動臂52藉由搭載於水平移動臂51內之按壓馬達51M進行旋轉，而相對於水平移 動臂51上升及下降。又，於垂直移動臂52之下端部，遍及Y方向之整個寬度而固定設置有作為於X方向上突出之突出部之被受壓片52a，又，於垂直移動臂52之下端部，朝向搭載面11a而連結有藉由氣壓而作動之按壓缸53。此處，按壓缸53構成第1按壓部，按壓馬達51M、垂直移動臂52及被受壓片52a構成第2按壓部。而且，第1按壓部與第2按壓部構成按壓部。

於按壓缸53連接有未圖示之壓縮空氣供給部。壓縮空氣供給部包含例如設置有零件檢查裝置之設施所包含之氣體供給系統、及控制該氣體供給系統之壓縮空氣之供給之閥等者。氣體供給系統供給以大氣壓為基準壓力時之相對壓力為例如0.5MPa之壓縮空氣。而且，按壓缸53係藉由自壓縮空氣供給部供給壓縮空氣而於Z方向上伸長，藉由將該供給之壓縮空氣排出而於Z方向上收縮。

於按壓缸53之下端部，連結有可藉由例如真空吸附而吸附電子零件T之末端效應器即複數個吸附部54。吸附部54包含例如吸附用之噴嘴與連接於該噴嘴之真空泵等。

於上述搭載面11a中之檢查用插座33之X方向兩側，以夾住檢查用插座33之方式配設有相互對向之受壓臂機構35、36。受壓臂機構35、36包含：支撐體35a、36a，其固定設置於搭載面11a；及受壓臂35b、36b，其以於該支撐體35a、36a之上表面可沿X方向進行往返移動之方式連結。受壓臂35b、36b係與按壓部之一部分即被受壓片52a卡合之卡合部。

於受壓臂35b、36b上，連結有連接於未圖示之壓縮空氣供給部之臂缸。壓縮空氣供給部例如為與連接於上述按壓缸53之壓縮空氣供給部相同之構成。而且，於檢查用插座33之正上方配置有第1搬送單元34，且當將壓縮空氣供給至受壓臂35b、36b之臂缸時，受壓臂35b、36b於X方向上相互靠近，該受壓臂35b、35b變位至可卡合於被受壓 片52a之卡合位置。又，若自該狀態起，將臂缸內之壓縮空氣排出，則受壓臂35b、36b於X方向上相互分離，該受壓臂35b、36b變位至自被受壓片52a離開之離開位置。如此般，藉由受壓臂35b、36b可動之構造，可進行受壓臂35b、36b與被受壓片52a之卡合或可將該卡合解除。

[處置器之電性構成]

參照圖3對上述處置器10之電性構成進行說明。上述處置器10所具備之控制裝置60係以包含中央處理裝置(CPU，Central Processing Unit，中央處理單元)、非揮發性記憶體(ROM，Read Only Memory，唯讀記憶體)及揮發性記憶體(RAM，Random Access Memory，隨機存取記憶體)之微電腦為中心而構成。控制裝置60根據儲存於上述ROM及RAM中之各種資料及程式，進行與處置器10之動作相關之各種控制。

於控制裝置60，連接有使輸送機馬達MC旋轉驅動之輸送機驅動部61。於輸送機驅動部61，連接有檢測輸送機馬達MC之旋轉位置之編碼器EMC。輸送機驅動部61根據自控制裝置60輸入之位置指令與自編碼器EMC輸入之輸送機馬達MC之旋轉位置，生成輸送機馬達MC之驅動電流，並且將該驅動電流輸出至輸送機馬達MC。輸送機馬達MC藉由進行與上述驅動電流相對應之旋轉，而驅動上述輸送機C1~C4。再者，上述輸送機驅動部61及輸送機馬達MC係針對每一輸送機C1~C4而設置，又，編碼器EMC係相對於各輸送機馬達MC而設置。

於控制裝置60連接有使導件馬達MX旋轉驅動之可動導件驅動部62。於可動導件驅動部62，連接有檢測導件馬達MX之旋轉位置之編碼器EMX。可動導件驅動部62根據自控制裝置60輸入之位置指令與自編碼器EMX輸入之旋轉位置，生成導件馬達MX之驅動電流，並且將該驅動電流輸出至導件馬達MX。導件馬達MX藉由進行與所輸入之 上述驅動電流相對應之旋轉，使上述可動導件22、42沿著固定導件21、41進行往返移動。再者，上述可動導件驅動部62及導件馬達MX相對於供給側可動導件22及回收側可動導件42之各者而設置，又，編碼器EMX相對於各導件馬達MX而設置。

於控制裝置60，連接有使梭子馬達MS旋轉驅動之梭子驅動部63。於梭子驅動部63，連接有檢測梭子馬達MS之旋轉位置之編碼器EMS。梭子驅動部63根據自控制裝置60輸入之位置指令與自編碼器EMS輸入之旋轉位置，生成梭子馬達MS之驅動電流，並且將該驅動電流輸出至梭子馬達MS。梭子馬達MS藉由進行與所輸入之上述驅動電流相對應之旋轉，而使梭子32、37沿著上述導件32c、37c滑動。再者，上述梭子驅動部63及梭子馬達MS相對於第1梭子32及第2梭子37之各者而設置，又，編碼器EMS相對於各梭子馬達MS而設置。

於控制裝置60，連接有包含手馬達驅動部64a與抽吸閥驅動部64b之手單元驅動部64。其中，於手馬達驅動部64a，連接有檢測手馬達MZ之旋轉位置之編碼器EMZ。手馬達驅動部64a根據自控制裝置60輸入之位置指令與自編碼器EMZ輸入之旋轉位置，生成手馬達MZ之驅動電流，並且將該驅動電流輸出至手馬達MZ。手馬達MZ係藉由進行與所輸入之上述驅動電流相對應之旋轉，使上述手單元23、43上升及下降。

於抽吸閥驅動部64b，連接有檢測設置於手單元23、43之前端之抽吸閥SV1之開放量之抽吸感測器ESV1。抽吸閥驅動部64b根據自控制裝置60輸入之閥行程指令與自抽吸感測器ESV1輸入之開放量，生成抽吸閥SV1之驅動信號，並且將該驅動信號輸出至抽吸閥SV]。抽吸閥SV1藉由進行與所輸入之上述驅動信號相對應之開閉，利用與上述開放量相對應之抽吸力抽吸上述電子零件T。再者，上述手單元驅動部64、手馬達MZ及抽吸閥SV1相對於供給用手單元23及回收用手 單元43之各者而設置，又，編碼器EMZ、抽吸感測器ESV1相對於手馬達MZ及抽吸閥SV1之各者而設置。

於控制裝置60，連接有包含搬送馬達驅動部65a、構成馬達控制部之按壓馬達驅動部65b、構成缸控制部之按壓缸驅動部65c及抽吸閥驅動部65d之搬送單元驅動部65。

於搬送馬達驅動部65a，連接有檢測搬送馬達MY之旋轉位置之編碼器EMY。搬送馬達驅動部65a根據自控制裝置60輸入之位置指令與自編碼器EMY輸入之旋轉位置，生成搬送馬達MY之驅動電流，並且將該驅動電流輸出至搬送馬達MY。搬送馬達MY藉由進行與所輸入之上述驅動電流相對應之旋轉，而使上述搬送單元34、38沿著上述搬送導件31進行往返移動。再者，上述搬送馬達驅動部65a相對於第1搬送單元34及第2搬送單元38之各者而設置，又，編碼器EMY亦相對於第1搬送單元34及第2搬送單元38之各者而設置。

於按壓馬達驅動部65b，連接有檢測按壓馬達51M之旋轉位置之編碼器E51M。按壓馬達驅動部65b根據自控制裝置60輸入之位置指令與自編碼器E51M輸入之旋轉位置，生成按壓馬達51M之驅動電流，並且將該驅動電流輸出至按壓馬達51M。按壓馬達51M藉由進行與所輸入之上述驅動電流相對應之旋轉，使垂直移動臂52上升及下降。

又，於按壓馬達驅動部65b，連接有計測按壓馬達51M中之驅動電流之實際值之電流計測部I51M。按壓馬達驅動部65b根據自控制裝置60輸入之轉矩指令與自電流計測部I51M輸入之計測值，生成按壓馬達51M之驅動電流，並且將該驅動電流輸出至按壓馬達51M。按壓馬達51M藉由進行與所輸入之上述驅動電流相對應之旋轉，而使垂直移動臂52上升及下降。

附帶說，控制裝置60選擇位置控制模式與轉矩控制模式作為按壓馬達51M之驅動控制之方法。其中，所謂位置控制模式，係指以連結 於上述搬送單元34、38之端部之吸附部54成為特定之位置之方式，根據上述位置指令控制按壓馬達51M之驅動之方法。另一方面，所謂轉矩控制模式，係指以將藉由按壓馬達51M之旋轉而產生之轉矩維持於特定之大小之方式，根據上述轉矩指令控制按壓馬達51M之驅動之方法。再者，上述按壓馬達驅動部65b相對於第1搬送單元34及第2搬送單元38之各者而設置，又，電流計測部I51M亦相對於第1搬送單元34及第2搬送單元38之各者而設置。

按壓缸驅動部65c根據自控制裝置60輸入之驅動指令，生成用以將作動壓供給至按壓缸53之驅動信號，並且將該各驅動信號輸出至按壓缸53。而且，按壓缸53係根據用以使其伸長之驅動信號而伸長，藉此對電子零件T施加按壓力，並且根據用以使其收縮之驅動信號而收縮，藉此解除對電子零件T之按壓力。再者，上述按壓缸驅動部65c相對於第1搬送單元34及第2搬送單元38之各者而設置。

於抽吸閥驅動部65d，連接有檢測抽吸閥SV2之開放量之抽吸感測器ESV2。抽吸閥驅動部65d根據自控制裝置60輸入之閥行程指令與自抽吸感測器ESV2輸入之開放量，生成抽吸閥SV2之驅動信號，並且將該驅動信號輸出至抽吸閥SV2。而且，抽吸閥SV2利用與上述開放量相對應之抽吸力抽吸上述電子零件T。再者，抽吸閥驅動部65d相對於第1搬送單元34及第2搬送單元38之各者而設置。又，抽吸感測器ESV2相對於抽吸閥SV2之各者而設置。

於控制裝置60，連接有使上述受壓臂35b、36b變位之受壓臂驅動部66。受壓臂驅動部66根據自控制裝置60輸入之驅動指令，生成用以將作動壓供給至受壓臂35b、36b之臂缸35s、36s之驅動信號，並且將該驅動信號輸出至臂缸35s、36s。而且，臂缸35s、36s根據用以使受壓臂35b、36b變位之驅動信號而伸長，藉此使受壓臂35b、36b變位至上述卡合位置。另一方面，臂缸35s、36s根據用以使其收縮之驅動信 號而收縮，藉此使受壓臂35b、36b變位至上述離開位置。

[處置器之作用]

繼而，根據上述構成，參照圖4~圖12對將由搬送單元保持之電子零件T嵌入檢查用插座33時之各種馬達之驅動態樣與各種缸之驅動態樣進行說明。再者，關於利用第1搬送單元34之嵌入態樣與利用第2搬送單元38之嵌入態樣，雖然電子零件T之供給源或電子零件T之搬送方向互不相同，但除此以外為相互相同之態樣，因此以下，僅例示第1搬送單元34中之上述態樣。

再者，於圖4中，方便地表示對於搬送馬達MY之位置指令與第1搬送單元34之動作，又，方便地表示對於按壓馬達51M之位置指令或轉矩指令與垂直移動臂52之動作及控制模式。又，於圖5~圖12中，圖4所示之各時序T0~T10時之第1搬送單元34之驅動態樣及受壓臂機構35、36之驅動態樣係於使其等之平面構造與端面構造相互對應之狀態下而表示。

[搬送單元設置期間：T0-T1]

首先，如圖4所示，控制裝置60對搬送馬達驅動部65a輸出位置指令。此時，控制裝置60輸出之位置指令係用以使第1搬送單元34之吸附部54自供給用梭盤32a之正上方移動至檢查用插座33之正上方為止者。繼而，搬送馬達驅動部65a根據搬送馬達MY之旋轉位置與上述位置指令生成驅動電流，並將該驅動電流輸出至搬送馬達MY。藉此，搬送馬達MY自時序T0起開始朝向特定方向之旋轉，第1搬送單元34朝向檢查用插座33進行去向移動直至第1搬送單元34之吸附部54在保持電子零件T之狀態下到達檢查用插座33之正上方為止(參照圖5(a))。

再者，於上述搬送單元設置期間，為了使垂直移動臂52之下端部維持最高位置，而控制裝置60對按壓馬達驅動部65b輸出位置指令。繼而，按壓馬達驅動部65b根據按壓馬達51M之旋轉位置與上述位置 指令生成驅動電流，並將該驅動電流輸出至按壓馬達51M。藉此，按壓馬達驅動部65b抑制按壓馬達51M之旋轉。

又，於上述搬送單元設置期間，為了不對按壓缸53供給作動壓，而控制裝置60對按壓缸驅動部65c輸出按壓解除指令。藉此，按壓缸驅動部65c根據按壓解除指令生成驅動信號，藉此，藉由不對按壓缸53供給作動壓，而將按壓缸53之伸長量維持於最小值(參照圖5(b))。

繼而，如上所述，將垂直移動臂52之下端部維持於最高位置，且將按壓缸53之伸長量維持於最小值，藉此將吸附部54配置於其之最高位置。再者，所謂吸附部54之最高位置，係指當水平移動臂51沿著搬送導件31移動時，吸附部54與其他構件不發生碰撞之位置。

[下降、按壓期間：T1-T3]

當吸附部54到達檢查用插座33之正上方時，為了將吸附於吸附部54之電子零件T收容於檢查用插座33，而控制裝置60如圖4所示，於時序T1對按壓馬達驅動部65b輸出位置指令。此時，控制裝置60輸出上述位置控制模式中之位置指令。繼而，按壓馬達驅動部65b根據按壓馬達51M之旋轉位置與上述位置指令生成驅動電流，並將該驅動電流輸出至按壓馬達51M。藉此，按壓馬達51M自時序T1起開始朝向特定方向之旋轉，垂直移動臂52進行下降直至將電子零件T收容於檢查用插座33為止。

繼而，當於時序T2，將電子零件T收容於檢查用插座33時，繼續進行按壓馬達51M之位置控制，吸附部54以吸附部54之位置成為特定位置之方式進一步下降。藉此，將來自按壓馬達51M之按壓力施加至電子零件T(參照圖6(a)(b))。

再者，於上述下降、按壓期間，為了維持第1搬送單元34中之Y方向之位置，而控制裝置60對搬送馬達驅動部65a輸出位置指令。繼而，搬送馬達驅動部65a根據搬送馬達MY之旋轉位置與上述位置指令 生成驅動電流，並將該驅動電流輸出至搬送馬達MY而抑制該搬送馬達MY之旋轉。

[受壓臂驅動期間：T3-T4]

當電子零件T定位於檢查用插座33時，為了受壓臂機構35、36之受壓臂35b、36b變位至上述卡合位置，而控制裝置60如圖4所示，於時序T3，對受壓臂驅動部66輸出卡合指令。

繼而，受壓臂驅動部66根據上述卡合指令生成驅動信號，並將該驅動信號輸出至臂缸35s、36s。藉此，臂缸35s、36s伸長而受壓臂35b、36b變位至卡合位置(參照圖7(a)(b))。

再者，於上述受壓臂驅動期間，為了維持第1搬送單元34中之Y方向之位置，而控制裝置60對搬送馬達驅動部65a輸出位置指令。繼而，搬送馬達驅動部65a根據搬送馬達MY之旋轉位置與上述位置指令生成驅動電流，並將該驅動電流輸出至搬送馬達MY而抑制搬送馬達MY之旋轉。

又，於上述受壓臂驅動期間，為了對電子零件T施加來自按壓馬達51M之按壓力Fbase，而控制裝置60對按壓馬達驅動部65b輸出位置指令。繼而，按壓馬達驅動部65b根據按壓馬達51M之旋轉位置與上述位置指令生成驅動電流，並將該驅動電流輸出至按壓馬達51M而使吸附部54之位置下降至特定位置為止。再者，所謂上述之按壓力Fbase，係指藉由試驗等而預先設定者，按壓力Fbase係足夠用以將電子零件T定位於檢查用凹穴33a之力，且為電子零件T或檢查用插座33不因該按壓力Fbase而發生變形之程度者。

[轉矩控制期間：T4-T5]

當受壓臂35b、35b變位至卡合位置時，控制裝置60如圖4所示，於時序T4，對按壓馬達驅動部65b輸出轉矩控制模式中之轉矩指令。此時，為了對電子零件T施加大於上述按壓力Fbase之按壓力Fcon，而 控制裝置60輸出轉矩指令。繼而，按壓馬達驅動部65b根據電流計測部I51M之計測值與轉矩指令生成驅動電流，並將該驅動電流輸出至按壓馬達51M。

藉此，按壓馬達51M自時序T4起持續進行朝向特定方向之旋轉，按壓馬達51M輸出特定之轉矩並對電子零件T施加上述按壓力Fcon，相對於檢查用插座33而將電子零件T定位(參照圖8(a))。

再者，於上述轉矩控制期間，為了維持第1搬送單元34中之Y方向之位置，而控制裝置60對搬送馬達驅動部65a輸出位置指令。又，為了維持臂缸35s、36s之伸長，而控制裝置60對受壓臂驅動部66輸出卡合指令。

繼而，搬送馬達驅動部65a抑制搬送馬達MY之旋轉，並且受壓臂驅動部66維持臂缸35s、36s之伸長。繼而，按壓馬達驅動部65b持續以按壓力Fcon按壓電子零件T(參照圖8(b))。

[缸按壓期間：T5-T6]

當以按壓力Fcon按壓電子零件T時，為了將作動壓供給至按壓缸53，控制裝置60如圖4所示，於時序T5對按壓缸驅動部65c輸出按壓指令。繼而，按壓缸驅動部65c根據按壓指令生成驅動信號，並將該驅動信號輸出至壓縮空氣供給系統。藉此，按壓缸驅動部65c將作動壓供給至按壓缸53，並且對電子零件T進一步施加按壓力Fhigh。

所謂該按壓力Fhigh係指大於上述按壓力Fbase之力，且為電子零件T或檢查用插座33不會因該按壓力Fhigh之按壓而發生變形之程度者。而藉由將如上所述之按壓力Fhigh施加至電子零件T，可確實地進行電子零件T之凸端子與檢查用插座33之凹端子之電性連接。

繼而，當將作動壓供給至按壓缸53時，控制裝置60對檢查單元輸出用以開始檢查之檢查開始信號。

此時，對第1搬送單元34中之支撐側即垂直移動臂52施加抵抗按 壓力Fhigh之反作用力。藉此，藉由使垂直移動臂52退回至搬送導件31側，該被受壓片52a與受壓臂35b、36b卡合(參照圖9(a)(b))。

因此，按壓缸53之按壓力之反作用力之一部分作用於第1搬送單元34，而其餘部分會經由受壓臂機構35、36而作用於基台11。即，雖然垂直移動臂52因按壓缸53之伸長而被推回，但與按壓缸53之伸長被受壓臂機構35、36抑制相應地，垂直移動臂52之退回程度亦受到不小之抑制。因此，雖然將大於垂直移動臂52之按壓力Fcon之按壓力施加至電子零件T，但並非電子零件T受到之按壓力之反作用力全部作用於第1搬送單元34，該反作用力之一部分會向基台11分散。藉此，雖然以所期望之按壓力按壓電子零件T，但對於第1搬送單元34所要求之剛性為可耐受該按壓力之反作用力之一部分者即已足夠。因此，可抑制第1搬送單元34之大型化或重量化。

附帶說明，於按壓缸53之伸長量未由受壓臂機構35、36強制地規定之態樣下，根據按壓馬達51M之驅動之態樣，按壓缸53之伸長量亦有所變化。而且，雖然按壓馬達51M之驅動為轉矩控制模式，但若與在被受壓片52a與受壓臂35b、36b之機械性之卡合下使按壓力固定之態樣相比，對於電子零件T之按壓力亦會有所變動。就該點而言，若為上述態樣，由於按壓缸53之伸長量在被受壓片52a與受壓臂35b、36b之卡合下固定為特定值，故對於電子零件T之按壓力亦變得穩定。

再者，於上述缸按壓期間，與之前之轉矩控制期間同樣地，為了維持第1搬送單元34之Y方向之位置，控制裝置60對搬送馬達驅動部65a輸出位置指令。又，為了維持臂缸35s、36s之伸長，控制裝置60對受壓臂驅動部66輸出卡合指令。進而，如上所述，為了按壓馬達51M能夠以按壓力Fcon對按壓缸53進行按壓，而控制裝置60對按壓馬達驅動部65b輸出轉矩指令。

繼而，搬送馬達驅動部65a抑制搬送馬達MY之旋轉，並且受壓臂 驅動部66維持臂缸35s、36s之伸長。繼而，按壓馬達驅動部65b持續以按壓力Fcon按壓按壓缸53。

附帶說，使用按壓馬達51M之電子零件T之按壓可藉由按壓馬達51M之位置控制及轉矩控制之至少一個而進行。此處，按壓缸53之按壓力越大，則對於該按壓缸53之支撐側之反作用力即對於按壓馬達51M之負載亦越大。此時，當藉由上述位置控制模式驅動按壓馬達51M時，只要按壓馬達51M之輸出不超過上述反作用力，按壓馬達51M之旋轉位置便不會到達目標之旋轉位置。而且，按壓馬達51M之驅動電流持續增大，對按壓馬達51M之內部施加過量之負載。

就該點而言，於上述缸按壓期間，在按壓缸53之按壓力施加至電子零件T之狀態下，藉由轉矩控制模式驅動按壓馬達51M。因此，即便因按壓缸53之伸長而垂直移動臂52退回，按壓馬達51M亦輸出特定之轉矩，既然如此便不會對該按壓馬達51M施加過量在負載。

[缸按壓解除期間：T6-T7]

當於檢查單元中電子零件T之檢查結束時，將用以開始電子零件T之回收之檢查結束信號自檢查單元輸出至控制裝置60。繼而，為了按壓缸53進行收縮，控制裝置60如圖4所示，於時序T6，對按壓缸驅動部65c輸出按壓解除指令。藉此，按壓缸驅動部65c藉由根據按壓解除指令生成驅動信號，而將因按壓缸53之伸長所致之按壓力解除。藉此，對於第1搬送單元34之反作用力變小，因此亦將垂直移動臂52之被受壓片52a與受壓臂35b、36b之卡合解除(參照圖10(a)(b))。

再者，於上述缸按壓解除期間，為了維持第1搬送單元34中之Y方向之位置，而控制裝置60對搬送馬達驅動部65a輸出位置指令。又，為了維持臂缸35s、36s之伸長，控制裝置60對受壓臂驅動部66輸出卡合指令。進而，如上所述，為了按壓馬達51M能夠以按壓力Fcon按壓電子零件T，而控制裝置60對按壓馬達驅動部65b輸出轉矩指令。

繼而，搬送馬達驅動部65a抑制搬送馬達MY之旋轉，並且受壓臂驅動部66維持臂缸35s、36s之伸長。繼而，按壓馬達驅動部65b持續以按壓力Fcon按壓電子零件T。

[位置控制期間：T7-T8]

當將按壓缸53之按壓解除時，控制裝置60如圖4所示，於時序T7，對按壓馬達驅動部65b輸出位置指令。繼而，按壓馬達驅動部65b根據按壓馬達51M之旋轉位置與上述位置指令生成驅動電流，並將該驅動電流輸出至按壓馬達51M。藉此，按壓馬達51M藉由開始朝向特定方向之旋轉，而開始以按壓力Fbase按壓電子零件T(參照圖11(a)(b))。

再者，於上述位置控制期間，為了維持第1搬送單元34中之Y方向之位置，而控制裝置60對搬送馬達驅動部65a輸出位置指令。又，為了維持臂缸35s、36s之伸長，而控制裝置60對受壓臂驅動部66輸出卡合指令。

繼而，搬送馬達驅動部65a抑制搬送馬達MY之旋轉，並且受壓臂驅動部66維持臂缸35s、36s之伸長。

[受壓臂解除期間：T8-T9]

當藉由位置控制驅動按壓馬達51M時，為了使受壓臂35b、36b返回至離開位置為止，而控制裝置60如圖4所示，於時序T8，對受壓臂驅動部66輸出卡合解除指令。繼而，受壓臂驅動部66根據卡合解除指令生成驅動信號並輸出，臂缸35s、36s進行收縮，而受壓臂35b、36b返回至離開位置(參照圖12(a)(b))。

再者，於上述受壓臂機構解除期間，為了維持第1搬送單元34中之Y方向之位置，而控制裝置60對搬送馬達驅動部65a輸出位置指令。又，為了以按壓力Fbase按壓電子零件T，而控制裝置60對按壓馬達驅動部65b輸出位置指令。

繼而，搬送馬達驅動部65a抑制搬送馬達MY之旋轉，並且按壓馬達驅動部65b抑制按壓馬達51M之旋轉。

[上升期間：T9-T10]

當受壓臂35b、36b返回至離開位置為止時，為了使垂直移動臂52之下端部返回至最高位置為止，而控制裝置60如圖4所示，於時序T9，對按壓馬達驅動部65b輸出位置指令。繼而，按壓馬達驅動部65b根據按壓馬達51M之旋轉位置與上述位置指令生成驅動電流，並將該驅動電流輸出至按壓馬達51M。藉此，按壓馬達51M向與時序T9以前相反之方向旋轉而使垂直移動臂52返回至最高位置為止。

繼而，當垂直移動臂52之下端部到達最高位置時，為了使第1搬送單元34之吸附部54配置於回收用梭盤32b之正上方，而控制裝置60如圖4所示，於時序T10，對搬送馬達驅動部65a輸出位置指令。繼而，搬送馬達驅動部65a根據搬送馬達MY之旋轉位置與上述位置指令生成驅動電流，並將該驅動電流輸出至搬送馬達MY。藉此，搬送馬達MY自時序T10起開始朝向特定方向之旋轉，第1搬送單元34朝向第1梭子進行回向移動直至吸附於吸附部54之電子零件T到達回收用梭盤32b之正上方為止。

如以上說明所述，根據上述實施形態，可獲得以下列舉之效果。

(1)按壓缸53之按壓力之反作用力之一部分作用於搬送單元34、38或搬送導件31，然而其剩餘部分經由受壓臂機構35、36而作用於基台11。即，並非按壓力之反作用力之全部作用於搬送單元34、38，而該反作用力之一部分將向基台11分散。藉此，雖然以所期望之按壓力按壓電子零件T，但搬送單元34、38所要求之剛性為可耐受按壓力之反作用力之一部分者即可。因此，可抑制搬送單元34、38之大型化或重量化。

(2)按壓電子零件T之垂直移動臂52與按壓缸53中，受壓臂機構 35、36僅與設置於垂直移動臂52之被受壓片52a卡合。因此，可抑制垂直移動臂52因按壓缸53之按壓力而退回。而且，亦可抑制施加至電子零件T之按壓力發生變動。

(3)由於搬送單元34、38包含以相對較大之按壓力按壓電子零件T之按壓缸53，故而與藉由馬達之驅動施加相對較大之按壓力之構成相比，可使搬送單元34、38之構成簡單，進而可使處置器10之構成簡單。又，與代替按壓缸53而包含馬達之構成相比，增大施加至電子零件T之按壓力亦變得容易。

(4)於按壓缸53之按壓力施加至電子零件T之狀態下，藉由轉矩控制驅動按壓馬達51M。因此，即便垂直移動臂52因按壓缸53之伸長而退回，按壓馬達51M亦輸出特定之轉矩，既然如此便不會對該馬達施加過量之負載。

(5)於按壓缸53對電子零件T施加按壓力時，藉由轉矩控制驅動按壓馬達51M。因此，不會對按壓馬達51M施加過量之負載，此外施加至電子零件T之按壓力亦變得穩定。

(6)來自按壓缸53之按壓力之反作用力作用於相互對向之一對受壓臂35b、36b之各者。因此，與抵抗來自按壓缸53之按壓力之反作用力作用於搭載面11a之一個部位之態樣相比，可擴大該反作用力分散之範圍，進而可抑制受壓臂機構35、36或基台11所要求之剛性。

(7)若為同時按壓複數個電子零件T之上述態樣，則施加至檢查用插座33之整體之按壓力自動變大，因此與此相應，該按壓力之反作用力亦自動變大。因此，可抑制搬送單元34、38之大型化或重量化之效果變得更顯著。

再者，上述實施形態可以如下之方式進行適當變更而實施。

●搬送對象除上述電子零件T以外，亦可為光學零件或精密機器零件等各種零件，總之，為被搬送及按壓者即可。即便為上述之搬送 對象，亦可獲得依據上述(1)~(7)所得之效果。

●保持部保持搬送對象之態樣並不限定於如上述般吸附搬送對象之態樣，亦可為例如握持搬送對象之態樣，總之，為可保持載置於上述各種托盤之搬送對象，並且可利用檢查用插座33按壓所保持之搬送對象之態樣即可。即便為如上所述之保持之態樣，亦可獲得依據上述(1)~(7)所得之效果。

●處置器10亦可不為必定同時搬送且同時按壓複數個電子零件T之構成。總之，至少具有同時搬送複數個電子零件T之狀態及同時按壓複數個電子零件T之狀態即可。根據上述構成，由於具有施加至檢查用插座33之整體之按壓力變大之狀態，故而與此相應，具有該按壓力之反作用力亦變大之狀態。因此，可抑制搬送單元34、38之大型化或重量化之效果變得更顯著。

●一個搬送單元搬送之搬送對象之個數亦可為一個。即便為如上所述之構成，亦可獲得依據上述(1)~(6)所得之效果。

●亦可為被受壓片52a與一個受壓臂機構卡合之構成，即便為如上所述之構成，亦可獲得依據上述(1)~(5)、(7)所得之效果，又，受壓臂機構之數量較少，相應地可將處置器10之構成設為簡單者。

●亦可為如下之構成：於作為第1按壓部之按壓缸53對電子零件T施加按壓力時，與該按壓力之施加同時地，以轉矩控制模式驅動構成第2按壓部之按壓馬達51M。即便為如上所述之構成，亦可獲得依據上述(1)~(4)、(6)、(7)所得之效果，而且亦可利用共通之控制信號使驅動按壓缸53之時序與以轉矩控制模式驅動按壓馬達51M之時序同步。因此，驅動按壓缸53之時序與以轉矩控制模式驅動按壓馬達51M之時序之匹配亦變得容易。

●亦可為於按壓缸53對電子零件T施加按壓力時，藉由位置控制驅動按壓馬達51M之態樣。即便為如上所述之構成，亦可獲得依據上 述(1)~(3)、(5)~(7)所得之效果，並且亦可省略用以計測按壓馬達51M之驅動電流之電流計測部I51M。

●按壓缸並不限定於經由閥而供給特定壓力之壓縮空氣之構成，亦可為供給藉由電氣調節器而壓縮為特定壓力之空氣之構成。又，按壓缸並不限定於藉由壓縮空氣而給予作動壓之缸，亦可為藉由油壓而給予作動壓之缸。

●亦可為搬送單元34、38代替按壓缸53而包含與按壓馬達51M不同之按壓用之馬達之構成，即便為如上所述之構成，亦可獲得依據上述(1)、(2)、(6)、(7)所得之效果。

●亦可為搬送單元34、38僅藉由按壓缸53按壓搬送對象之構成。即便為如上所述之構成，亦可獲得依據上述(1)、(2)、(6)、(7)所得之效果。

●亦可為搬送單元34、38不包含按壓缸53之構成，且僅藉由按壓馬達51M進行搬送對象之按壓之構成。即便為如上所述之構成，亦可獲得依據上述(1)、(2)、(6)、(7)所得之效果，而且亦可使搬送單元之構成簡單。

●與受壓臂35b、36b卡合之被受壓片52a並不限定於垂直移動臂52之下端，亦可相較垂直移動臂52之下端而設置於水平移動臂51側。

●亦可為對垂直移動臂與按壓缸設置被受壓片，並且受壓臂機構35、36與該等被受壓片之兩者卡合之構成。即便為如上所述之構成，亦可獲得依據上述(1)、(3)~(7)所得之效果，與被受壓片之數量多相應地，按壓馬達51M與按壓缸53之按壓力之反作用力更確實地由受壓臂機構35、36所受壓。

●亦可為按壓缸包含缸本體與連結於吸附部之柱塞，且於缸本體設置被受壓片之構成。即便為上述之構成，亦可獲得依據上述(1)、(3)~(7)所得之效果。

●受壓臂35b、36b亦可為藉由臂缸35s、36s以外之機構例如由馬達驅動之機構等其他機構而驅動者。

●亦可為如下之構成：受壓臂35b、36b於其卡合位置固定於支撐體35a、36a，於受壓臂35b、36b與檢查用插座33之間，設置有被受壓片52a可沿Y方向移動之間隙。若為如上所述之構成，則於所固定之受壓臂35b、36b之下方，進行電子零件T相對於檢查用插座33之搬入及搬出，並且因按壓力之反作用力而退回之被受壓片52a與受壓臂35b、36b卡合。又，由於可省略受壓臂35b、36b之可動所需之機構，故而亦可簡化受壓臂35b、36b之構成。

●受壓臂35b、36b與被受壓片52a亦可為以如下之方式進行動作之構成。即，於位於卡合位置之受壓臂35b、36b與檢查用插座33之間隙中，被受壓片52a自Y方向移動。繼而，於被受壓片52a與受壓臂35b、36b卡合之後，受壓臂35b、36b變位至離開位置。而且，被受壓片52a沿Z方向移動。

根據上述動作，於利用第1搬送單元34進行電子零件T之按壓時，可省略使位於離開位置之受壓臂35b、36b向卡合位置移動之期間、即自上述時序T3直至時序T4為止之期間。再者，已變位至離開位置之受壓臂35b、36b於任意時序變位至卡合位置即可。

●受壓臂35b、36b與被受壓片52a亦可為以如下之方式進行動作之構成。即，於位於離開位置之受壓臂35b、36b間，被受壓片52a自Z方向移動，繼而，受壓臂35b、36b移動至卡合位置。繼而，於被受壓片52a與受壓臂35b、36b卡合之後，被受壓片52a自受壓臂35b、36b與檢查用插座33之間隙沿Y方向移動，藉此解除與受壓臂35b、36b之卡合。

根據上述動作，於利用第1搬送單元34進行電子零件T之按壓時，可省略使已變位至卡合位置之受壓臂35b、36b向離開位置移動之期 間、即自上述時序T8直至時序T9為止之期間。再者，已變位至卡合位置之受壓臂35b、36b於被受壓片52a之解除後之任意時序變位至離開位置即可。

●亦可為按壓部之一部分以與所固定之受壓部之卡合部卡合之方式可動之構成，又，亦可為按壓部之一部分以解除與卡合部之卡合之方式可動之構成。

●受壓部亦可作為藉由因與按壓部之接觸而產生之摩擦，而抑制按壓部向按壓方向之相反側移動之構成而實現。而且，受壓部與按壓部之接觸部位亦可為按壓部之下端。於此情形時，亦可為於按壓部設置有凹部，並且於受壓部設置有凸部之構成或於按壓部設置有凸部，並且於受壓部設置有凹部之構成。藉由於該等凹部與凸部之間產生之摩擦，可很大地抑制按壓部之移動。總之，受壓部為可阻止按壓部因按壓搬送對象時產生之反作用力而退回之構成即可。

●設為按壓缸53之按壓力大於按壓馬達51M之按壓力之構成，但亦可為按壓馬達51M之按壓力大於按壓缸53之按壓力之構成，或按壓馬達51M之按壓力與按壓缸53之按壓力相等之構成。

●使得處置器10包含受到第1搬送單元34將電子零件T嵌入檢查用插座33時之反作用力之受壓臂機構35、36。並不限定於此，亦可使得處置器10包含受到第1搬送單元34利用供給用梭盤32a、回收用梭盤37b或輸送機托盤C1a、C2a、C3a、C4a等按壓電子零件T時之反作用力之受壓臂機構。

●亦可為按壓馬達51M之按壓力大於按壓缸53之按壓力之構成或按壓馬達51M之按壓力與按壓缸53之按壓力相等之構成。

●使得供給側可動導件22相對於所固定之供給側固定導件21相對移動，並且回收側可動導件42相對於所固定之回收側固定導件41相對移動，但亦可為設置有2個可相對於所固定之單一之固定導件相對移 動之可動導件之構成。於此情形時，固定導件較佳為於上述蓋構件12內，與基台11之上表面中之沿X方向延伸之一邊平行，且遍及基台11之X方向之大致整個範圍而形成。又，2個可動導件較佳為於蓋構件12內且隔著上述搬送導件31而設置於相反側。

●處置器10包含之搬送單元之台數並不限定於2台，亦可為1台或3台。

●亦可為如下之態樣：收容於供給用梭盤32a之電子零件T由第1搬送單元34搬送至檢查用插座33為止，且收容於檢查用插座33之電子零件T由第2搬送單元38按壓。總之，為對搬送對象進行搬送，且按壓該搬送對象之態樣即可。

●處置器並不限定於檢查搬送對象之零件檢查裝置，為用於進行搬送對象之搬送與按壓之裝置者即可。

11‧‧‧基台

11a‧‧‧搭載面

31‧‧‧搬送導件

33‧‧‧檢查用插座

33a‧‧‧檢查用凹穴

34‧‧‧第1搬送單元

35‧‧‧受壓臂機構

35a‧‧‧支撐體

35b‧‧‧受壓臂

36‧‧‧受壓臂機構

36a‧‧‧支撐體

36b‧‧‧受壓臂

51‧‧‧水平移動臂

51M‧‧‧按壓馬達

52‧‧‧垂直移動臂

52a‧‧‧被受壓片

53‧‧‧按壓缸

54‧‧‧吸附部

T‧‧‧電子零件

X‧‧‧方向

Y‧‧‧方向

Z‧‧‧方向

Claims (9)

1. 一種處置器，其特徵在於包含：基台；搬送部，其對搬送對象進行搬送；及受壓部，其由上述基台所具備；且於上述搬送部設有將上述搬送對象朝向上述基台按壓之按壓部；於上述受壓部設有與上述按壓部抵接之抵接部。
2. 如請求項1之處置器，其中上述按壓部包含：第1按壓部，其將上述搬送對象朝向上述基台按壓；及第2按壓部，其將上述第1按壓部朝向上述基台按壓；且上述受壓部之上述抵接部係於與設置於上述第2按壓部之突出部抵接之方向上可動。
3. 如請求項2之處置器，其中：上述受壓部之上述抵接部係於自設置於上述第2按壓部之突出部離開之方向上可動。
4. 如請求項3之處置器，其中上述第1按壓部為按壓缸；上述第2按壓部包含使上述按壓缸上升及下降之馬達；上述第1按壓部之按壓力大於上述第2按壓部之按壓力。
5. 如請求項4之處置器，其中包含控制上述馬達之驅動之馬達控制部；上述馬達控制部於上述按壓缸按壓上述搬送對象之狀態下，藉由轉矩控制而驅動上述馬達。
6. 如請求項4或5之處置器，其中包含控制上述馬達之驅動之馬達控制部； 上述馬達控制部於上述按壓缸按壓上述搬送對象之前，藉由轉矩控制而驅動上述馬達。
7. 如請求項2至5中任一項之處置器，其中上述抵接部為相互對向之一對可動臂；上述一對可動臂係變位至與上述突出部抵接之位置、及自上述突出部離開之位置。
8. 如請求項1至5中任一項之處置器，其中上述搬送部具有吸附複數個上述搬送對象之狀態；上述按壓部具有按壓複數個上述搬送對象之狀態。
9. 一種零件檢查裝置，其特徵在於包含：基台；搬送部，其搬送電子零件；受壓部，其由上述基台所具備；及檢查用插座，其設置於上述基台；且於上述搬送部設置將上述電子零件朝向上述基台之上述檢查用插座按壓之按壓部；於上述受壓部設有與上述按壓部抵接之抵接部。