CN102950114B - 分选机以及部件检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及分选机以及部件检查装置，该部件检查装置具备：基台，该基台具有被按压了电子部件的检查用插座；输送单元，该输送单元安装于基台上，并将电子部件输送到检查用插座；以及垂直移动臂，该垂直移动臂设置于输送单元上，并在检查用插座按压电子部件。具备连结在基台上的受压臂机构，该受压臂机构与按压电子部件的按压气缸卡合，卡止按压气缸相对于基台的移位。

Description

分选机以及部件检查装置

技术领域

本发明涉及对输送对象进行输送的分选机（Handler），特别是涉及将输送对象输送到按压区域，并在该按压区域进行按压的分选机，以及具备该分选机的部件检查装置。

背景技术

以往，如专利文献1所述，已知有检查电子部件的电特性的部件检查装置。在该类部件检查装置中使用分选机，用于将输送对象的电子部件输送到按压区域的检查用插座，并将电子部件嵌入到该检查用插座中。

上述分选机安装有：用以吸附电子部件的吸附部以及按压用电机，该按压用电机用以将被该吸附部吸附的电子部件嵌入到检查用插座中。而且，在用检查用插座对检查前的电子部件进行检查时，在吸附部吸附有电子部件的状态下，驱动上述电机，电子部件的端子被嵌入到检查用插座的端子中。此时，由于电子部件的端子与检查用插座的端子为电连接，因此需要对电子部件施加规定的按压力，通过上述电机施加该按压力。

另一方面，近年来，在检查用插座中嵌入的电子部件的个数存在增加的趋势，因此用上述电机的输出，无法对多个电子部件中的每个电子部件施加足以实现上述端子间的连接的按压力。为此，在上述分选机中安装按压用的气压缸，且该气压缸对电子部件施加大于上述电机施加的按压力。采用此类气压缸按压电子部件，能够将上述端子间可靠地连接，从而能够高精度地检查电子部件。

专利文献1：日本专利特开2010－101776号公报

然而，如上所述，因为连接形成于电子部件上的各端子需要施加规定的按压力，因此若电子部件的端子数或电子部件的个数增加，则要求于上述气压缸的按压力也会增大。另一方面，若该气压缸的按压力增大，则来自检查用插座的反作用力也会自然增大。而且，支承上述气压缸的部件以及用以移动气压缸的导轨，需要具有不会因上述反作用力而变形的刚性。然而，要增强此类部件以及导轨的刚性，就很难避免具有该部件及导轨的输送部的大型化和重量化。

此外，此类问题如上所述，不仅限于使用电机与气压缸按压电子部件的分选机，也是用输送部上设置的一个以上的按压部按压输送对象的分选机的共同的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述实际情况而做出的，其目的在于提供一种在通过对输送对象进行输送的输送部按压输送对象的分选机中，能够抑制输送部的大型化与重量化的分选机，以及具备该分选机的部件检查装置。

本发明的技术方案一，分选机具备：基台；输送部，该输送部对输送对象进行输送；以及受压部，该受压部连结在上述基台上，上述输送部上设置有按压部，该按压部将上述输送对象向上述基台按压，在上述受压部上设置有卡合部，该卡合部与上述按压部的一部分卡合。

由按压部产生的按压力作用于输送对象时，抵抗该按压力的反作用力作用于输送部。采用上述方式，按压力的反作用力中的一部分作用于输送部，而剩余部分经由设置在受压部上的卡合部作用于基台上。换言之，按压力的全部反作用力不会都作用于输送部，该反作用力的部分会分散到基台上。由此，虽然以所希望的按压力按压输送对象，而输送部所需要的刚性只需能够承受按压力的部分反作用力就足够了。因此，能够抑制输送部的大型化和重量化。

本发明的另一种方式为，上述按压部具备：第1按压部，该第1按压部将上述输送对象向上述基台按压；以及第2按压部，该第2按压部将上述第1按压部向上述基台按压，上述受压部的上述卡合部可动，用以与设置于上述第2按压部的一部分上的突出部卡合。

根据上述构成，在构成按压部的第1按压部与第2按压部中，受压部的卡合部可动，用以与设置在第2按压部的一部分上的突出部卡合。因此，上述卡合能够抑制第2按压部被第1按压部的按压力压回。并且，施加在输送对象上的按压力由受压部与第2按压部的机械式卡合决定，所以能够抑制该按压力变动。

本发明的另一种方式，优选，上述按压部具备第1按压部，该第1按压部将上述输送对象向上述基台按压；以及第2按压部，该第2按压部将第1按压部向上述基台按压，上述受压部的上述卡合部可动，用以解除与设置于上述第2按压部的一部分的突出部的卡合。

根据上述构成，在构成按压部的第1按压部与第2按压部中，受压部的卡合部可动，用以解除与设置于第2按压部的一部分的突出部的卡合。因此，上述卡合能够抑制第2按压部被第1按压部的按压力压回，另外，解除该卡合，按压部的移动就不易受到突出部的影响。并且，施加在输送对象上的按压力由受压部与第2按压部机械式卡合决定，能够抑制该按压力变动。

本发明的另一种方式，优选，上述第1按压部为按压气缸，上述第2按压部包含使上述按压气缸上升及下降的电机，上述第1按压部的按压力大于上述第2按压部的按压力。

由按压气缸施加的按压力通常会增大按压气缸的动作压力，例如会因升高由按压气缸供给的压缩空气的压力而增大。上述方式中，需要相对较大的按压力的第1按压部由这种按压气缸构成。因此，与由电机驱动施加相对较大的按压力的构造相比，能够简化输送部的构造，进而简化分选机的构造。另外，与第1按压部由电机构成的情况相比，更容易增大施加在输送对象上的按压力。

本发明的另一种方式，优选，具备控制上述电机驱动的电机控制部，上述电机控制部在上述按压气缸按压上述输送对象的状态下，通过转矩控制驱动上述电机。

使用电机对输送对象进行按压，可以通过对电机的位置控制以及转矩控制中的至少一项加以实施。此外，位置控制是指控制电机的旋转位置以使按压气缸处于规定位置。而转矩控制是指控制电机产生转矩，以便对输送对象施加规定的按压力。

这里，上述按压气缸的按压力越大，对该按压气缸支承侧的反作用力，即对上述电机施加的负荷也越大。此时，如果通过上述位置控制驱动电机，则只要电机的输出不超过上述反作用力，电机的旋转位置就不会到达目标旋转位置。而且，电机的驱动电流继续增大，会对电机内部施加过度负荷。

针对该点，上述方式是在按压气缸的按压力施加到输送对象上的状态下，通过转矩控制驱动电机。因此，即使按压气缸伸长将该按压气缸的支承侧压回，只要电机输出规定转矩，就不会对该电机施加过度负荷。

本发明的另一种方式，优选，具备控制上述电机驱动的电机控制部，上述电机控制部在上述按压气缸按压上述输送对象之前，通过转矩控制驱动上述电机。

根据上述方式，按压气缸对输送对象施加按压力时，电机由转矩控制驱动。因此，不会对电机带来过度负荷，而且施加在输送对象上的按压力稳定。

本发明的另一种方式，优选，上述卡合部是相互对置的一对可动臂，上述一对可动臂在与上述突出部卡合的位置以及从上述突出部分离的位置之间移位。

采用上述方式，相互对置的一对可动臂与设置于按压部的突出部卡合，来自按压部的按压力的反作用力分别作用于相互对置的一对可动臂。与来自按压部的按压力的反作用力作用于一处的方式相比，能够扩大该反作用力的分散范围，进而能够抑制受压部和基台所需的刚性。

本发明的另一种方式，优选，上述输送部具有吸附多个上述输送对象的状态，上述按压部具有按压多个上述输送对象的状态。

在具有按压多个输送对象的状态的方式中，具有随着输送对象的个数增多，施加在多个输送对象全部上的按压力也自然增大的状态。此时，具有对应于施加在全部连接对象上的按压力，该按压力的反作用力也自然增大的状态。针对该点，采用上述方式，如上述所述，增大的反作用力的一部分分散到基台上。由此，能够更加明显地抑制输送部的大型化和重量化。

本发明的技术方案二，部件检查装置具备基台；输送部，该输送部输送电子部件；受压部，该受压部连结在上述基台上；以及检查用插座，该检查用插座设置在上述基台上，在上述输送部上设置有按压部，该按压部将上述电子部件向上述基台的上述检查用插座按压，在上述受压部上设置有卡合部，该卡合部与上述按压部的一部分卡合。

由按压部产生的按压力作用于电子部件时，抵抗该按压力的反作用力作用于输送部。根据上述方式，按压力的反作用力中的一部分作用于输送部，而剩余部分经由设置在受压部上的卡合部作用于基台上。换言之，按压力的全部反作用力不会都作用于输送部，部分该反作用力会分散到基台上。由此，以所希望的按压力按压输送对象，而输送部所需要的刚性只需能够承受按压力的部分反作用力就足够了。因此，能够抑制输送部的大型化和重量化。

附图说明

图1是表示本发明的部件检查装置的一实施方式的整体构成的示意俯视图。

图2是表示具备该部件检查装置的分选机中的第1输送单元以及受压臂机构的侧面构造的侧视图。

图3是表示该分选机的电构成的框图。

图4是表示该分选机所具备的各种电机的驱动状态的时序图。

图5是表示第1输送单元与受压臂机构的工作状态的图，是将（a）第1输送单元以及受压臂机构的平面构造与（b）端面构造对应地表示的图。

图6是表示第1输送单元与受压臂机构的工作状态的图，是将（a）第1输送单元以及受压臂机构的平面构造与（b）端面构造对应地表示的图。

图7是表示第1输送单元与受压臂机构的工作状态的图，是将（a）第1输送单元以及受压臂机构的平面构造与（b）端面构造对应地表示的图。

图8是表示第1输送单元与受压臂机构的工作状态的图，是将（a）第1输送单元以及受压臂机构的平面构造与（b）端面构造对应地表示的图。

图9是表示第1输送单元与受压臂机构的工作状态的图，是将（a）第1输送单元以及受压臂机构的平面构造与（b）端面构造对应地表示的图。

图10是表示第1输送单元与受压臂机构的工作状态的图，是将（a）第1输送单元以及受压臂机构的平面构造与（b）端面构造对应地表示的图。

图11是表示第1输送单元与受压臂机构的工作状态的图，是将（a）第1输送单元以及受压臂机构的平面构造与（b）端面构造对应地表示的图。

图12是表示第1输送单元与受压臂机构的工作状态的图，是将（a）第1输送单元以及受压臂机构的平面构造与（b）端面构造对应地表示的图。

具体实施方式

以下参照图1~图12，说明将本发明的分选机以及部件检查装置具体化的实施方式。首先参照图1说明部件检查装置的构成。

部件检查装置的构成

如图1所示，在部件检查装置所具备分选机10的基台11上，安装有各种机械手的搭载面11a作为上表面进行设置，该搭载面11a的大部分都被覆盖部件12所覆盖。由这些覆盖部件12与搭载面11a围起的空间亦即输送空间，其湿度与温度通过从部件检查装置外部供给的干空气被维持在规定值。

基台11的搭载面11a上排列有向一个方向延伸的四个传送带，该传送带的排列方向与该传送带的输送方向正交。四个传送带中，在传送带的排列方向亦即X方向的一侧设置有两个供给用传送带C1、C2，而在另一侧，在X方向的另一侧设置有两个回收用传送带C3、C4。而且，在供给用传送带C1、C2中，供给用传送带托盘C1a、C2a从覆盖部件12的外侧搬运至内侧。另外，在回收用传送带C3、C4中，回收用传送带托盘C3a、C4a从覆盖部件12的内侧搬运至外侧。其中，供给用传送带托盘C1a、C2a收纳着作为输送对象的检查前的多个电子部件T，回收用传送带托盘C3a、C4a收纳着检查后的多个电子部件T。

上述基台11的搭载面11a上，安装有在X方向对置的供给机械手20与回收机械手40。供给机械手20设置在供给用传送带C1、C2的Y方向，回收机械手40设置在回收用传送带C3、C4的Y方向。

供给机械手20具有沿Y方向延伸的固定轴亦即供给侧固定导轨21；与供给侧固定导轨21连结的可动轴亦即供给侧可动导轨22；以及与供给侧可动导轨22连结，且沿供给侧可动导轨22移动的供给用机械手单元23。

供给侧可动导轨22是从供给侧固定导轨21向回收机械手40侧延伸的可动轴，在Y方向相对于供给侧固定导轨21可以前进及返回地连结在供给侧固定导轨21上。供给用机械手单元23是配置在供给侧可动导轨22的搭载面11a侧的末端执行器，在X方向相对于供给侧可动导轨22可以前进以及返回地连结在供给侧可动导轨22上。另外，供给用机械手单元23连结在供给侧可动导轨22上，可以从供给侧可动导轨22向搭载面11a下降，也可从搭载面11a侧向供给侧可动导轨22上升。

而且，供给侧可动导轨22沿供给侧固定导轨21，向供给用传送带C1、C2侧移动，并且供给用机械手单元23沿供给侧可动导轨22移动到供给用传送带托盘C1a、C2a的上方。由此，载置在供给用传送带托盘C1a、C2a上的电子部件T被供给用机械手单元23吸附，之后被从供给用传送带托盘C1a、C2a上拿起。而且，供给侧可动导轨22从该状态沿供给侧固定导轨21离开供给用传送带C1、C2，被供给用机械手单元23吸附的电子部件T被供给到上述输送空间内的规定位置。

回收机械手40与供给机械手20相同，具有在Y方向上延伸的固定轴亦即回收侧固定导轨41；与回收侧固定导轨41连结的可动轴亦即回收侧可动导轨42；以及与回收侧可动导轨42连结，且沿回收侧可动导轨42在X方向上移动的回收用机械手单元43。

回收侧可动导轨42是从回收侧固定导轨41向供给机械手20侧延伸的可动轴，在Y方向相对于回收侧固定导轨41可以前进及返回地连结在回收侧固定导轨41上。回收用机械手单元43是配置在回收侧可动导轨42的搭载面11a侧的末端执行器，在X方向相对于回收侧可动导轨42可以前进以及返回地连结在回收侧可动导轨42上。另外，回收用机械手单元43连结在回收侧可动导轨42上，可以从回收侧可动导轨42向搭载面11a下降，也可从搭载面11a侧向回收侧可动导轨42上升。

回收侧可动导轨42沿回收侧固定导轨41向回收用传送带C3、C4侧移动，并且回收用机械手单元43沿回收侧可动导轨42移动到回收用传送带托盘C3a、C4a的上方。由此，被回收用机械手单元43吸附的电子部件T被载置于回收用传送带托盘C3a、C4a上。

在覆盖部件12的内侧面沿Y方向延伸的输送导轨31被固定在该内侧面的X方向的大致中央处。该输送导轨31的两端部的下方设置有沿X方向延伸的第1往返机构（shuttle）32和同样沿X方向延伸的第2往返机构37。

第1往返机构32连结在第1往返机构导轨32c上，该第1往返机构导轨32c固定设置在搭载面11a上，并沿X方向延伸，第1往返机构32沿X方向滑动，而在X方向与供给侧可动导轨22以及回收侧可动导轨42中的任意一方重合。供给用往返机构托盘32a被固定在第1往返机构32上的上述供给机械手20侧，回收用往返机构托盘32b被固定在第1往返机构32上的上述回收机械手40侧。供给用往返机构托盘32a上收纳着输送对象的检查前的多个电子部件T，回收用往返机构托盘32b上收纳着检查后的多个电子部件T。

第2往返机构37也连结在第2往返机构导轨37c上，该第2往返机构导轨37c固定设置在搭载面11a上，并沿X方向延伸，第2往返机构37沿X方向滑动，而在X方向上与供给侧可动导轨22以及回收侧可动导轨42中的任意一方重合。供给用往返机构托盘37a固定在第2往返机构37上的上述供给机械手20侧，另外，回收用往返机构托盘37b固定在第2往返机构37上的上述回收机械手40侧。供给用往返机构托盘37a上收纳着输送对象的检查前的多个电子部件T，另外，回收用往返机构托盘37b上收纳着检查后的多个电子部件T。

搭载面11a中，在输送空间的大致中央设置有贯通搭载面11a的矩形开口，并且在该矩形开口中埋设有作为同时检查多个电子部件T时的连接对象的检查用插座（Socket）33。检查用插座33是用以嵌入电子部件T的插座，连结在用以检查该电子部件T的未图示的检查单元上。检查单元是与收纳在基台11内部的分选机相互独立的装置，与分选机共同构成部件检查装置。

检查用插座33的上表面上凹设有检查用凹部（pocket）33a，该检查用凹部33a能够同时收纳多个电子部件T，另外，在检查用凹部33a的底面上凹设有可与电子部件T的雄端子嵌合的多个雌端子。电子部件T所具有的雄端子嵌入到检查用凹部33a的雌端子，从而能够检查该电子部件T的电特性。其中，检查用凹部33a所具有的端子与检查单元连接，该检查单元独立地安装在基台11内，电子部件T所具有的端子通过检查用凹部33a所具有的端子与检查单元内的检查电路连接。通过检查用插座33得到的检查的结果从该检查单元输出到分选机10。

构成输送部的第1输送单元34与第2输送单元38在Y方向并排连结在上述输送导轨31上。

第1输送单元34在第1往返机构32和检查用插座33之间，沿Y方向前进以及返回。第1输送单元34的下端部在输送导轨31和搭载面11a之间沿Z方向下降以及上升。继而，第1输送单元34将收纳在供给用往返机构托盘32a中的电子部件T用第1输送单元34的下端部保持，将保持的电子部件T输送到检查用插座33，将该电子部件T嵌入到检查用插座33中。另外，第1输送单元34用该第1输送单元34的下端部将嵌入到检查用插座33中的电子部件T取出，将取出的电子部件T载置于回收用往返机构托盘32b中。

第2输送单元38在第2往返机构37和检查用插座33之间，沿Y方向前进以及返回。第2输送单元38的下端部在输送导轨31和搭载面11a之间，沿Z方向下降以及上升。而且，第2输送单元38将载置在供给用往返机构托盘37a上的电子部件T用该第2输送单元38的下端部保持，将保持的电子部件T输送到检查用插座33中，将该电子部件T嵌入到检查用插座33中。另外，第2输送单元38用该第2输送单元38的下端部取出嵌入检查用插座33中的电子部件T，将取出的电子部件T载置于回收用往返机构托盘37b中。

此外，在搭载面11a中，在检查用插座33的在X方向的两侧，固定设置有构成受压部的一对受压臂机构35、36。

部件检查装置的作用

上述分选机10中，首先，将检查前的电子部件T从外部装置移载至供给用传送带托盘C1a、C2a中。继而，驱动供给用传送带C1、C2，令检查前的电子部件T被搬运到输送空间内。若将检查前的电子部件T搬运到输送空间内，则供给侧可动导轨22会沿供给侧固定导轨21移动到供给用传送带C1、C2上方。继而供给用机械手单元23移动到供给用传送带托盘C1a、C2a的正上方，保持电子部件T，则供给侧可动导轨22沿供给侧固定导轨21移动至第1往返机构32上方。

继而，若供给侧可动导轨22到达第1往返机构32上方，则供给用机械手单元23移动到第1往返机构32上方，并且第1往返机构32滑动，使机械手单元23位于供给用往返机构托盘32a的正上方。从而，供给用机械手单元23所保持的检查前的电子部件T从供给用机械手单元23移载到供给用往返机构托盘32a上。

若检查前的电子部件T被移载到供给用往返机构托盘32a上，则第1输送单元34移动到第1往返机构32上方，并且第1往返机构32滑动，使第1输送单元34的下端部位于供给用往返机构托盘32a的正上方。继而，第1输送单元34的下端部向供给用往返机构托盘32a下降，移载于供给用往返机构托盘32a上的检查前的电子部件T被保持于第1输送单元34的下端部。继而，第1输送单元34移动到检查用插座33上方，检查前的电子部件T被输送到检查用插座33的正上方。进而，检查前的电子部件T与第1输送单元34的下端部共同下降，从而电子部件T的雄端子嵌入到检查用凹部33a的雌端子。

若这样检查前的电子部件T被嵌入检查用插座33中，则用于开始检查电子部件T的检查开始信号从分选机10输出到检查单元，由此，由检查单元开始检查电子部件T。

其后，若表示电子部件T检查结束的检查结束信号从检查单元输出到分选机10，则检查后的电子部件T在被保持于第1输送单元34的状态下，第1输送单元34的下端部上升，由此检查后的电子部件T被从检查用插座33中取出。继而，第1输送单元34从检查用插座33上方移动到第1往返机构32上方，并且第1往返机构32滑动，使第1输送单元34位于回收用往返机构托盘32b的上方。进而，若第1输送单元34的下端部下降，解除对电子部件T的保持，则检查后的电子部件T被从第1输送单元34移载至回收用往返机构托盘32b上。

若检查后的电子部件T被移载到回收用往返机构托盘32b上，则回收侧可动导轨42沿回收侧固定导轨41移动到第1往返机构32上方。进而，若回收侧可动导轨42移动到第1往返机构32上方，则回收用机械手单元43移动到第1往返机构32上方，并且第1往返机构32滑动，使回收用机械手单元43位于回收用往返机构托盘32b的正上方。继而，被移载到回收用往返机构托盘32b中的检查后的电子部件T被保持于回收用机械手单元43。

若检查后的电子部件T被保持于回收用机械手单元43中，则回收侧可动导轨42从第1往返机构32上方移动到回收用传送带C3、C4上方。继而回收用机械手单元43移动到回收用传送带托盘C3a、C4a的正上方，检查后的电子部件T在被按检查结果分类的状态下，被移载至回收用传送带托盘C3a、C4a上。

此外，在供给机械手20与第2往返机构37之间，也与在上述供给机械手20与第1往返机构32之间相同，移载检查前的电子部件T。另外，在第2往返机构37与第2输送单元38之间，也与在上述第1往返机构32与第1输送单元34之间相同，移载检查前的电子部件T以及检查后的电子部件T。进而，在第2往返机构37与回收机械手40之间，也与在上述第1往返机构32与回收机械手40之间相同，移载检查后的电子部件T。

分选机的详细构成

下面参照图2，对分选机10所具备的第1输送单元34以及第2输送单元38的构成进行详细说明。其中，虽然第1输送单元34与第2输送单元38，与输送导轨31的连结位置和作为移动目标的往返机构相互不同，但是用于按压电子部件T的构成相同，因此以下说明第1输送单元34，省略对第2输送单元38的说明。另外，图2是从传送带侧观察第1输送单元34的周边构造的端面图，表示第1输送单元34配置于检查用插座33正上方的状态。

第1输送单元34与上述输送导轨31连结，该第1输送单元34用以输送检查前的电子部件T。构成第1输送单元34的水平移动臂51以能够沿输送导轨31前进以及返回的方式连结。垂直移动臂52相对于水平移动臂51，以能够上升及下降的方式连结在水平移动臂51的下端部。通过安装在水平移动臂51内的按压电机51M旋转，使垂直移动臂52相对于水平移动臂51上升及下降。另外，承压片52a在Y方向、遍及整个宽度固定设置在垂直移动臂52的下端部，该承压片52a是向X方向突出的突出部，另外，通过气压工作的按压气缸53朝向搭载面11a与垂直移动臂52的下端部连结。这里，按压气缸53构成第1按压部，按压电机51M、垂直移动臂52以及承压片52a构成第2按压部。而且，第1按压部与第2按压部构成按压部。

未图示的压缩空气供给部与按压气缸53连接。压缩空气供给部例如具有，设置有部件检查装置的设施所具备的供气系统以及控制该供气系统的压缩空气的供给的阀门等。供气系统供给以大气压为基准压力时的相对压力例如为0.5MPa的压缩空气。按压气缸53因压缩空气供给部供给压缩空气而在Z方向上延长，因该供给的压缩空气被排气而在Z方向上收缩。

多个吸附部54连结在按压气缸53的下端部，该多个吸附部54例如是通过真空吸附能够吸附电子部件T的末端执行器。吸附部54例如由吸附用喷嘴以及与该喷嘴连接的真空泵等构成。

在上述搭载面11a的检查用插座33的X方向两侧，隔着检查用插座33，配设有相互对置的受压臂机构35、36。受压臂机构35、36具有固定设置在搭载面11a上的支承体35a、36a、以可沿X方向前进以及返回的方式连结于该支承体35a、36a的上表面的受压臂35b、36b。受压臂35b、36b是与承压片52a卡合的卡合部，该承压片52a是按压部的一部分。

连接在未图示的压缩空气供给部的臂气缸（arm cylinder）连结在受压臂35b、36b上。压缩空气供给部例如与连接在上述按压气缸53的压缩空气供给部是相同构成。继而，若第1输送单元34配置在检查用插座33的正上方，且向受压臂35b、36b的臂气缸供给压缩空气，则受压臂35b、36b在X方向上相互靠近，该受压臂35b、36b移位到能卡合在承压片52a的卡合位置上。另外，若从该状态，臂气缸内的压缩空气被排气，则受压臂35b、36b在X方向上相互分离，该受压臂35b、36b移位到与承压片52a分离的分离位置上。这样，利用受压臂35b、36b可动的构造，能够使受压臂35b、36b与承压片52a卡合，或者解除该卡合。

分选机的电构成

参照图3，对上述分选机10的电气构成进行说明。上述分选机10所具备的控制装置60以具有中央处理装置（CPU），非易失性存储器（ROM）以及易失性存储器（RAM）的微型计算机为中心而构成。控制装置60基于存储在上述ROM及RAM中的各种数据与程序，实施与分选机10的动作相关的各种控制。

使传送带电机MC旋转驱动的传送带驱动部61连接在控制装置60。检测传送带电机MC的旋转位置的编码器EMC连接在传送带驱动部61。传送带驱动部61基于从控制装置60输入的位置指令与从编码器EMC输入的传送带电机MC的旋转位置，生成传送带电机MC的驱动电流，并且，将该驱动电流输出到传送带电机MC。传送带电机MC通过进行对应于上述驱动电流的旋转，驱动上述传送带C1～C4。其中，上述传送带驱动部61以及传送带电机MC按每个传送带C1～C4进行设置，而且，编码器EMC对各传送带电机MC进行设置。

使导轨电机MX旋转驱动的可动导轨驱动部62连接在控制装置60。检测导轨电机MX的旋转位置的编码器EMX连接在可动导轨驱动部62。可动导轨驱动部62基于从控制装置60输入的位置指令与从编码器EMX输入的旋转位置，生成导轨电机MX的驱动电流，并且，将该驱动电流输出到导轨电机MX。导轨电机MX进行对应于所输入的上述驱动电流的旋转，从而令上述可动导轨22、42沿固定导轨21、41前进以及返回。其中，上述可动导轨驱动部62以及导轨电机MX对于每个供给侧可动导轨22以及回收侧可动导轨42而设置，另外，编码器EMX对于各导轨电机MX进行设置。

使往返机构电机MS旋转驱动的往返机构驱动部63连接在控制装置60。检测往返机构电机MS的旋转位置的编码器EMS连接在往返机构驱动部63。往返机构驱动部63基于从控制装置60输入的位置指令与从编码器EMS输入的旋转位置，生成往返机构电机MS的驱动电流，并且将该驱动电流输出到往返机构电机MS。往返机构电机MS进行对应于所输入的上述驱动电流的旋转，从而令往返机构32、37沿上述导轨32c、37c滑动。其中，上述往返机构驱动部63以及往返机构电机MS对于每个第1往返机构32以及第2往返机构37进行设置，编码器EMS对于各往返机构电机MS进行设置。

控制装置60与具有机械手电机驱动部64a和吸引阀驱动部64b的机械手单元驱动部64连接。其中，检测机械手电机MZ的旋转位置的编码器EMZ连接在机械手电机驱动部64a。机械手电机驱动部64a基于从控制装置60输入的位置指令与从编码器EMZ输入的旋转位置，生成机械手电机MZ的驱动电流，并且将该驱动电流输出到机械手电机MZ。机械手电机MZ进行对应于所输入的上述驱动电流的旋转，从而令上述机械手单元23、43上升及下降。

吸引阀驱动部64b上连接有检测设置于机械手单元23、43的前端的吸引阀SV1的释放量的吸引传感器ESV1。吸引阀驱动部64b基于从控制装置60输入的开度指令与从吸引传感器ESV1输入的释放量，生成吸引阀SV1的驱动信号，并且将该驱动信号输出到吸引阀SV1。吸引阀SV1进行对应于输入的上述驱动信号的开关，从而通过与其释放量相对应的吸引力吸引上述电子部件T。其中，上述机械手单元驱动部64、机械手电机MZ以及吸引阀SV1对于供给用机械手单元23以及回收用机械手单元43的各个进行设置，另外，编码器EMZ、吸引传感器ESV1对于机械手电机MZ以及吸引阀SV1的各个进行设置。

输送单元驱动部65连接在控制装置60，该输送单元驱动部65具有输送电机驱动部65a、构成电机控制部的按压电机驱动部65b、构成气缸控制部的按压气缸驱动部65c以及吸引阀驱动部65d。

在输送电机驱动部65a上连接有检测输送电机MY的旋转位置的编码器EMY。输送电机驱动部65a基于从控制装置60输入的位置指令与从编码器EMY输入的旋转位置，生成输送电机MY的驱动电流，并且，将该驱动电流输出到输送电机MY。输送电机MY进行对应于所输入的上述驱动电流的旋转，从而令上述输送单元34、38沿上述输送导轨31前进以及返回。其中，上述输送电机驱动部65a对于第1输送单元34以及第2输送单元38的各个进行设置，另外，编码器EMY也对第1输送单元34以及第2输送单元38每一个进行设置。

在按压电机驱动部65b连接有检测按压电机51M的旋转位置的编码器E51M。按压电机驱动部65b基于从控制装置60输入的位置指令与从编码器E51M输入的旋转位置，生成按压电机51M的驱动电流，并且将该驱动电流输出到按压电机51M。按压电机51M进行对应于所输入的上述驱动电流的旋转，从而使垂直移动臂52上升及下降。

另外，在按压电机驱动部65b连接有测量按压电机51M的驱动电流实际值的电流测量部I51M。按压电机驱动部65b基于从控制装置60输入的转矩指令与从电流测量部I51M输入的测量值，生成按压电机51M的驱动电流，并且，将该驱动电流输出到按压电机51M。按压电机51M进行对应于所输入的上述驱动电流的旋转，从而令垂直移动臂52上升及下降。

即，控制装置60选择位置控制模式与转矩控制模式作为按压电机51M的驱动控制的方法。其中，位置控制模式是根据上述位置指令控制按压电机51M的驱动，以使连接在上述输送单元34、38的端部的吸附部54位于规定位置的方法。另一方面，转矩控制模式是根据上述转矩指令控制按压电机51M的驱动以使通过按压电机51M的旋转产生的转矩维持在规定大小的方法。其中，上述按压电机驱动部65b对于第1输送单元34以及第2输送单元38每一个进行设置，另外，电流测量部I51M也对于第1输送单元34以及第2输送单元38每一个进行设置。

按压气缸驱动部65c基于从控制装置60输入的驱动指令，生成用以将动作压力供给到按压气缸53的驱动信号，并且，将该各驱动信号输出到按压气缸53。进而，按压气缸53根据用于令其伸长的驱动信号而伸长，从而在电子部件T上施加按压力，并且，根据用于令其收缩的驱动信号而收缩，从而解除对电子部件T的按压力。其中，上述按压气缸驱动部65c对第1输送单元34以及第2输送单元38每一个进行设置。

在吸引阀驱动部65d连接有检测吸引阀SV2的释放量的吸引传感器ESV2。吸引阀驱动部65d基于从控制装置60输入的开度指令与从吸引传感器ESV2输入的释放量，生成吸引阀SV2的驱动信号，并且，将该驱动信号输出到吸引阀SV2。进而，吸引阀SV2以对应于其释放量的吸引力，吸引上述电子部件T。其中，吸引阀驱动部65d对第1输送单元34以及第2输送单元38每一个进行设置。另外，吸引传感器ESV2对每个吸引阀SV2进行设置。

在控制装置60连接有令上述受压臂35b、36b移位的受压臂驱动部66。受压臂驱动部66基于从控制装置60输入的驱动指令，生成用以将动作压力供给到受压臂35b、36b的臂气缸35s、36s的驱动信号，并且，将该驱动信号输出到臂气缸35s、36s。进而，臂气缸35s、36s根据用以使受压臂35b、36b发生位移的驱动信号而伸长，从而令受压臂35b、36b移位到上述卡合位置。另一方面，臂气缸35s、36s根据用以使其收缩的驱动信号而收缩，从而令受压臂35b、36b位移至上述分离位置上。

分选机的作用

接下来，根据上述构成，参照图4～图12说明被输送单元保持的电子部件T在被嵌入到检查用插座33时的各种电机的驱动方式与各种气缸的驱动方式。借助第1输送单元34的嵌入方式与借助第2输送单元38的嵌合方式，电子部件T的供给源与电子部件T的输送方向互不相同，但除此之外都彼此相同，因此以下仅举例说明第1输送单元34的上述方式。

图4简单地表示了针对输送电机MY的位置指令以及第1输送单元34的动作，并简单地表示了针对按压电机51M的位置指令、转矩指令与垂直移动臂52的动作以及控制模式。而且，在图5～图12中，在图4所示的各时刻T0～T10的第1输送单元34的驱动方式以及受压臂机构35、36的驱动方式，以这些平面构造与端面构造相对应的方式表示。

输送单元设置期间：T0－T1

首先，如图4所示，控制装置60对输送电机驱动部65a输出位置指令。此时，控制装置60输出的位置指令用于将第1输送单元34的吸附部54从供给用往返机构托盘32a的正上方移动到检查用插座33的上方。进而，输送电机驱动部65a产生基于输送电机MY的旋转位置与上述位置指令的驱动电流，将该驱动电流输出到输送电机MY。由此，输送电机MY从时刻T0开始向规定方向旋转，第1输送单元34向检查用插座33前进，直至第1输送单元34的吸附部54保持着电子部件T到达检查用插座33的正上方（参见图5（a））。

此外，在上述输送单元设置期间，控制装置60向按压电机驱动部65b输出位置指令，以使垂直移动臂52的下端部维持在最上面位置。进而，按压电机驱动部65b基于按压电机51M的旋转位置与上述位置指令生成驱动电流，将该驱动电流输出到按压电机51M。由此，按压电机驱动部65b抑制按压电机51M的旋转。

而且，在上述输送单元设置期间，控制装置60将按压解除指令输出到按压气缸驱动部65c，以使动作压力不被供给到按压气缸53。由此，按压气缸驱动部65c基于按压解除指令生成驱动信号，由此，不将动作压力供给到按压气缸53，从而将按压气缸53的伸长量维持在最小值（参见图5（b））。

进而，如上所述，垂直移动臂52的下端部维持在最上面位置，且按压气缸53的伸长量维持在最小值，以此将吸附部54配置在其最上面位置上。其中，所谓吸附部54的最上面位置是水平移动臂51沿输送导轨31移动时，吸附部54与其他部件不会碰撞的位置。

下降、按压期间：T1－T3

若吸附部54到达检查用插座33的正上方，则如图4所示，控制装置60在时刻T1向按压电机驱动部65b输出位置指令，以使被吸附部54吸附的电子部件T被收纳于检查用插座33。此时，控制装置60输出上述位置控制模式下的位置指令。进而，按压电机驱动部65b基于按压电机51M的旋转位置与上述位置指令生成驱动电流，将该驱动电流输出到按压电机51M。由此，按压电机51M从时刻T1开始向规定方向旋转，垂直移动臂52下降直至电子部件T被收纳于检查用插座33。

进而，在时刻T2，电子部件T被收纳到检查用插座33中，则持续进行按压电机51M的位置控制，吸附部54进一步下降，以使吸附部54的位置位于规定位置。由此，来自按压电机51M的按压力被施加在电子部件T上（参见图6（a）（b））。

其中，在上述下降、按压期间，控制装置60向输送电机驱动部65a输出位置指令，以使第1输送单元34维持Y方向的位置。而且，输送电机驱动部65a基于输送电机MY的旋转位置与上述位置指令生成驱动电流，将该驱动电流输出到输送电机MY，抑制该输送电机MY的旋转。

受压臂驱动期间：T3－T4

若电子部件T被定位于检查用插座33，则如图4所示，控制装置60在时刻T3，向受压臂驱动部66输出卡合指令，以使受压臂机构35、36的受压臂35b、36b移位到上述卡合位置。

进而，受压臂驱动部66生成基于上述卡合指令的驱动信号，将该驱动信号输出到臂气缸35s、36s。由此，臂气缸35s、36s伸长，受压臂35b、36b移位到卡合位置（参见图7（a）（b））。

在受压臂驱动期间，控制装置60向输送电机驱动部65a输出位置指令，以使第1输送单元34维持Y方向的位置。进而，输送电机驱动部65a基于输送电机MY的旋转位置与上述位置指令生成驱动电流，将该驱动电流输出到输送电机MY，抑制输送电机MY的旋转。

而且，在该受压臂驱动期间，控制装置60向按压电机驱动部65b输出位置指令，以使来自按压电机51M的按压力Fbase施加在电子部件T上。进而，按压电机驱动部65b基于按压电机51M的旋转位置与上述位置指令生成驱动电流，将该驱动电流输出到按压电机51M，使吸附部54的位置下降到规定位置。其中，这种按压力Fbase是通过试验等预先设定的，是通过按压力Fbase足够将电子部件T定位于检查用凹部33a处的力量，且不会因该按压力Fbase导致电子部件T与检查用插座33变形。

转矩控制期间：T4－T5

若受压臂35b，35b移位到卡合位置，则如图4所示控制装置60在时刻T4，向按压电机驱动部65b输出转矩控制模式下的转矩指令。此时，控制装置60输出转矩指令，以使大于上述按压力Fbase的按压力Fcon被施加在电子部件T上。进而，按压电机驱动部65b基于电流测量部I51M的测量值与转矩指令生成驱动电流，将该驱动电流输出到按压电机51M。

由此，按压电机51M继续从时刻T4起向规定方向旋转，按压电机51M输出规定转矩，向电子部件T施加上述按压力Fcon，对检查用插座33进行电子部件T的定位（参见图8（a））。

在上述转矩控制期间，控制装置60向输送电机驱动部65a输出位置指令，以使第1输送单元34维持在Y方向的位置。进而，控制装置60向受压臂驱动部66输出卡合指令，以维持臂气缸35s、36s的伸长。

进而，输送电机驱动部65a抑制输送电机MY的旋转，并且，受压臂驱动部66维持臂气缸35s、36s的伸长。继而，按压电机驱动部65b以按压力Fcon，继续按压电子部件T（参见图8（b））。

气缸按压期间：T5－T6

若电子部件T以按压力Fcon被按压后，则如图4所示，控制装置60在时刻T5向按压气缸驱动部65c输出按压指令，以使向按压气缸53供给动作压力。继而，按压气缸驱动部65c基于按压指令生成驱动信号，将该驱动信号输出到压缩空气供给系统。由此，按压气缸驱动部65c向按压气缸53供给动作压力，并且，向电子部件T进一步施加按压力Fhigh。

该按压力Fhigh是比上述按压力Fbase大的力，且是通过该按压力Fhigh的按压，不会使电子部件T和检查用插座33变形的力。进而通过将这样的按压力Fhigh施加在电子部件T上，令电子部件T的雄端子与检查用插座33的雌端子可靠地电连接。

继而，若将动作压力供给到按压气缸53，则控制装置60向检查单元输出用以开始检查的检查开始信号。

此时，向第1输送单元34的支承侧的垂直移动臂52施加抵抗按压力Fhigh的反作用力。由此，垂直移动臂52被压回输送导轨31侧，从而使该承压片52a与受压臂35b、36b卡合（参照图9（a）（b））。

因此，由按压气缸53产生的按压力的反作用力，其一部分作用于第1输送单元34，其剩余部分经由受压臂机构35、36作用于基台11。换言之，垂直移动臂52因按压气缸53的伸长而被压回，按压气缸53的伸长被受压臂机构35、36所抑制的大小，至少被抑制了垂直移动臂52被压回的程度。因此，虽然大于垂直移动臂52产生的按压力Fcon的按压力被施加在电子部件T上，但是电子部件T受到的按压力的全部反作用力不会都作用于第1输送单元34，该反作用力的一部分分散到基台11上。由此，虽然以所希望的按压力按压电子部件T，但是第1输送单元34所需要的刚性能够承受该按压力的反作用力的一部分就足够了。因此，能够抑制第1输送单元34的大型化与重量化。

顺便说一下，在按压气缸53的伸长量不被受压臂机构35、36强制规定的方式中，根据按压电机51M的驱动方式，按压气缸53的伸长量也会改变。而且，虽然按压电机51M的驱动是转矩控制模式，但与通过承压片52a与受压臂35b、36b的机械式卡合来规定按压力的方式相比，其对电子部件T的按压力也会改变。针对该点，上述方式中，按压气缸53的伸长量因承压片52a与受压臂35b、36b的卡合而被设定为规定的值，因此对电子部件T的按压力也很稳定。

在上述气缸按压期间，与之前的转矩控制期间相同，控制装置60向输送电机驱动部65a输出位置指令，以维持第1输送单元34在Y方向的位置。而且，控制装置60向受压臂驱动部66输出卡合指令，以维持臂气缸35s、36s的伸长。进而，如上所述，控制装置60向按压电机驱动部65b输出转矩指令，以使按压电机51M能够以按压力Fcon按压按压气缸53。

继而，输送电机驱动部65a抑制输送电机MY的旋转，并且，受压臂驱动部66维持臂气缸35s、36s的伸长。进而，按压电机驱动部65b继续以按压力Fcon按压按压气缸53。

顺便说一下，使用按压电机51M按压电子部件T能够通过按压电机51M的位置控制以及转矩控制中的至少一种方式实施。这里，按压气缸53的按压力越大，对该按压气缸53的支承侧的反作用力，即对按压电机51M等的负荷也越大。此时，若通过上述位置控制模式驱动按压电机51M，则按压电机51M的输出不超过上述反作用力，按压电机51M的旋转位置就不会达到目的旋转位置。进而，按压电机51M的驱动电流继续增大，会给按压电机51M的内部施加过度的负荷。

针对该点，在上述气缸按压期间，在按压气缸53的按压力施加在电子部件T上的状态下，按压电机51M被转矩控制模式驱动。因此，即使按压气缸53的伸长将垂直移动臂52压回，只要按压电机51M输出规定的转矩，就不会在该按压电机51M上施加过度的负荷。

气缸按压解除期间：T6－T7

若在检查单元对电子部件T的检查结束，则从检查单元向控制装置60输出用以开始回收电子部件T的检查结束信号。继而，控制装置60如图4所示在时刻T6向按压气缸驱动部65c输出按压解除指令，以使按压气缸53收缩。由此，按压气缸驱动部65c基于按压解除指令生成驱动信号，解除因按压气缸53的伸长而产生的按压力。由此，针对第1输送单元34的反作用力变小，从而垂直移动臂52的承压片52a与受压臂35b、36b的卡合也被解除（参考图10（a）（b））。

此外，在上述气缸按压解除期间，控制装置60向输送电机驱动部65a输出位置指令，以维持第1输送单元34在Y方向的位置。另外，控制装置60向受压臂驱动部66输出卡合指令，以维持臂气缸35s、36s的伸长。进而，如上所述，控制装置60向按压电机驱动部65b输出转矩指令，以使按压电机51M能够以按压力Fcon按压电子部件T。

继而，输送电机驱动部65a抑制输送电机MY的旋转，并且，受压臂驱动部66维持臂气缸35s、36s的伸长。进而，按压电机驱动部65b以按压力Fcon继续按压电子部件T。

位置控制期间：T7－T8

若由按压气缸53实施的按压被解除，则控制装置60如图4所示，在时刻T7，向按压电机驱动部65b输出位置指令。继而，按压电机驱动部65b基于按压电机51M的旋转位置与上述位置指令生成驱动电流，将该驱动电流输出到按压电机51M。由此，按压电机51M开始向规定方向旋转，从而开始以按压力Fbase按压电子部件T（参见图11（a）（b））。

在上述位置控制期间，控制装置60向输送电机驱动部65a输出位置指令，以维持第1输送单元34在Y方向的位置。而且，控制装置60向受压臂驱动部66输出卡合指令，以维持臂气缸35s、36s的伸长。

进而，输送电机驱动部65a抑制输送电机MY的旋转，并且，受压臂驱动部66维持臂气缸35s、36s的伸长。

受压臂解除期间：T8－T9

若按压电机51M通过位置控制进行驱动，则如图4所示，控制装置60在时刻T8，向受压臂驱动部66输出卡合解除指令，以使受压臂35b、36b返回到分离位置上。继而，受压臂驱动部66生成基于卡合解除指令的驱动信号并输出，臂气缸35s、36s收缩，受压臂35b、36b返回到分离位置（参见图12（a）（b））。

另外，在上述受压臂机构解除期间，控制装置60向输送电机驱动部65a输出位置指令，以维持第1输送单元34在Y方向的位置。而且，控制装置60向按压电机驱动部65b输出位置指令，以使电子部件T被按压力Fbase按压。

进而，输送电机驱动部65a抑制输送电机MY的旋转，并且，按压电机驱动部65b抑制按压电机51M的旋转。

上升期间：T9－T10

若受压臂35b、36b返回到分离位置，则如图4所示，控制装置60在时刻T9，向按压电机驱动部65b输出位置指令，以使垂直移动臂52的下端部返回到最上面位置。继而，按压电机驱动部65b基于按压电机51M的旋转位置与上述位置指令生成驱动电流，将该驱动电流输出到按压电机51M。由此，按压电机51M向与时刻T9之前相反的方向旋转，令垂直移动臂52返回到最上面位置。

继而，若垂直移动臂52的下端部到达最上面位置，则如图4所示，控制装置60在时刻T10向输送电机驱动部65a输出位置指令，以使第1输送单元34的吸附部54配置于回收用往返机构托盘32b的正上方。继而，输送电机驱动部65a基于输送电机MY的旋转位置与上述位置指令生成驱动电流，将该驱动电流输出到输送电机MY。由此，输送电机MY从时刻T10开始向规定方向旋转，第1输送单元34向第1往返机构返回，直至被吸附部54吸附的电子部件T到达回收用往返机构托盘32b的正上方为止。

如上所述，采用上述实施方式，能够获得如下列举的效果。

（1）由按压气缸53产生的按压力的反作用力，其一部分作用于输送单元34、38和输送导轨31，其剩余部分经由受压臂机构35、36作用于基台11上。换言之，按压力的全部反作用力不是都作用于输送单元34、38，该反作用力的一部分分散到基台11上。由此，虽然以所希望的按压力按压电子部件T，而输送单元34、38所需要的刚性只需能够承受按压力的部分反作用力就足够了。因此，能够抑制输送单元34、38的大型化和重量化。

（2）在按压电子部件T的垂直移动臂52与按压气缸53中，受压臂机构35、36仅与设置在垂直移动臂52上的承压片52a卡合。因此，能够抑制因按压气缸53的按压力使得垂直移动臂52被压回。并且，能够抑制施加在电子部件T上的按压力变动。

（3）输送单元34、38具有以相对较大的按压力按压电子部件T的按压气缸53，因此与通过电机驱动施加相对较大的按压力的构成相比，能够简化输送单元34、38的构成，进而简化分选机10的构成。另外，与以电机代替按压气缸53的构成相比，能够容易地增大施加在电子部件T上的按压力。

（4）在按压气缸53的按压力施加在电子部件T上的状态下，按压电机51M被转矩控制驱动。因此，即使按压气缸53的伸长将垂直移动臂52压回，只要按压电机51M输出规定的转矩，就不会对该电机施加过度的负荷。

（5）按压气缸53在电子部件T上施加按压力时，按压电机51M通过转矩控制进行驱动。因此，不会对按压电机51M施加过度的负荷，而且对电子部件T施加的按压力也较稳定。

（6）来自按压气缸53的按压力的反作用力作用于相互对置的一对的受压臂35b、36b。因此，与抵抗来自按压气缸53的按压力的反作用力作用于搭载面11a的一处的方式相比，能够扩大该反作用力的分散范围，进而抑制受压臂机构35、36和基台11所需的刚性。

（7）若为同时按压多个电子部件T的上述方式，则施加在检查用插座33整体上的按压力会自然增大，从而该按压力的反作用力也会随之自然增大。因此，抑制输送单元34、38的大型化和重量化的效果更加明显。

此外，上述实施方式能够如下适当变更而实施。

输送对象除了上述电子部件T以外，还可以是光学部件、精密机器部件等各种部件，只要是被输送并按压的物品即可。这样的输送对象也能够获得与上述（1）～（7）相同的效果。

保持部保持输送对象的方式并不局限于上述吸附输送对象的方式，例如，也可以是把持输送对象的方式，只要是能够保持被载置于上述各种托盘的输送对象并且将被保持的输送对象按压在检查插座33的方式即可。这样的保持的方式也能够获得与上述（1）～（7）相同的效果。

分选机10也可以不是同时输送且按压多个电子部件T的构造。只要至少具有同时输送多个电子部件T的状态，以及同时按压多个电子部件T的状态即可。采用该构成，具有在整个检查用插座33上施加的按压力增大的状态，因此具有该按压力的反作用力也随之增大的状态。因此，抑制输送单元34、38的大型化与重量化的效果将更加明显。

一个输送单元输送的输送对象的个数也可以是一个。这样的构成也能够获得与上述（1）～（6）相同的效果。

也可以是承压片52a与一个受压臂机构卡合的构成，这样的构成也能获得与上述（1）～（5），（7）相同的效果，另外，受压臂机构的数量少，能够简化分选机10的构成。

也可以采用作为第1按压部的按压气缸53在对电子部件T施加按压力时，施加该按压力的同时，构成第2按压部的按压电机51M以转矩控制模式被驱动的构成。这样的构成也能够获得与上述（1）～（4），（6），（7）相同的效果，且能够以共用控制信号令按压气缸53被驱动的时刻与按压电机51M以转矩控制模式被驱动的时刻同步。从而，能够容易地整合按压气缸53被驱动的时刻与按压电机51M以转矩控制模式被驱动的时刻。

也可以采用按压气缸53向电子部件T施加按压力时，通过位置控制驱动按压电机51M的方式。这样的构成也能获得与上述（1）～（3），（5）～（7）相同的效果，并且，能省略用以测量按压电机51M的驱动电流的电流测量部I51M。

按压气缸并不局限于经由阀供给规定压力的压缩空气的构成，还可以是通过电－气调压阀供给以规定压力压缩的空气的构成。另外，按压气缸并不局限于通过压缩空气给予动作压力的气缸，也可以是通过油压给予动作压力的液压缸。

输送单元34、38的构成也可以是具有与按压电机51M不同的按压用电机来取代按压气缸53，这样的构成也能够获得与上述（1）、（2）、（6）、（7）相同的效果。

输送单元34、38的构成也可以是仅通过按压气缸53按压输送对象。这样的构成也能够获得与上述（1）、（2）、（6）、（7）相同的效果。

输送单元34、38也可以不具有按压气缸53，仅通过按压电机51M实施对输送对象的按压。这样的构成也能够获得与上述（1）、（2）、（6）、（7）相同的效果，而且，能简化输送单元的构成。

与受压臂35b、36b卡合的承压片52a并不局限于设置于垂直移动臂52的下端，还可以设置于比垂直移动臂52的下端更靠近水平移动臂51侧。

还可以采用将承压片设置在垂直移动臂与按压气缸上，并且受压臂机构35、36与这双方承压片卡合的构成。这样的构成也可以获得与上述（1）、（3）～（7）相同的效果，因为按压电机51M与按压气缸53所产生的按压力的反作用力可以更可靠地被受压臂机构35、36承受该承压片的数量的大小。

也可以采用按压气缸具备连结在气缸主体与吸附部上的柱塞，承压片设置在气缸主体上的构成。这样的构成也能获得与上述（1）、（3）～（7）相同的效果。

受压臂35b、36b还可以由臂气缸35s、36s以外的机构，例如以电机驱动的机构等其他机构驱动。

也可以采用受压臂35b、36b在其卡合位置被固定在支承体35a、36a上，在受压臂35b、36b与检查用插座33之间，设置能使承压片52a沿Y方向移动的缝隙的构成。采用这样的构成，在被固定的受压臂35b、36b的下方，进行对检查用插座33的电子部件T的搬入以及搬出，并且，被按压力的反作用力压回的承压片52a与受压臂35b、36b卡合。另外，因为能够省略受压臂35b、36b可动所需要的机构，因此能简化受压臂35b、36b的构成。

受压臂35b、36b与承压片52a也可以是进行如下动作的构成。即，承压片52a从Y方向向位于卡合位置上的受压臂35b、36b与检查用插座33之间的缝隙移动。继而，承压片52a与受压臂35b、36b卡合后，受压臂35b、36b移位到分离位置上。进而，承压片52a沿Z方向移动。

采用这样的动作，由第1输送单元34按压电子部件T时，可以省掉令位于分离位置上的受压臂35b、36b移动到卡合位置上的期间，即，从上述时刻T3到时刻T4的期间。此外，移位到分离位置上的受压臂35b、36b可以在任意时刻移位到卡合位置。

受压臂35b、36b与承压片52a也可以是进行如下动作的构成。即，承压片52a从Z方向向位于分离位置上的受压臂35b、36b间移动，受压臂35b、36b移动到卡合位置。继而，承压片52a与受压臂35b、36b卡合后，承压片52a从受压臂35b、36b与检查用插座33间的缝隙向Y方向移动，从而解除与受压臂35b、36b的卡合。

根据这样的动作，在由第1输送单元34按压电子部件T时，可以省掉令移位到卡合位置上的受压臂35b、36b移动到分离位置上的期间，即，省掉上述时刻T8到时刻T9的期间。另外，移位到卡合位置的受压臂35b、36b可以在承压片52a解除后的任意时刻移位到分离位置上。

按压部的一部分也可以为可动构成，以便与被固定的受压部的卡合部卡合，另外，也可以是可动构成以便解除与卡合部的卡合。

受压部还可以具体化为通过与按压部的接触产生的摩擦抑制按压部向与按压方向相反的一侧移动的构成。进而，受压部与按压部的接触部位也可在按压部的下端。此时，还可以是在按压部上设置凹部，并且在受压部上设置凸部的构造，或者是在按压部上设置凸部，并且在受压部上设置凹部的构造。这些凹部与凸部之间产生的摩擦能够很大程度地抑制按压部的移动。受压部只要能够卡止按压部被按压输送对象时所产生的反作用力压回即可。

上述采用的是按压气缸53的按压力大于按压电机51M的按压力的构成，也可以是按压电机51M的按压力大于按压气缸53的按压力的构成或者按压电机51M的按压力与按压气缸53的按压力相等的构成。

分选机10具有承受第1输送单元34将电子部件T嵌入检查用插座33中时的反作用力的受压臂机构35、36。但并不局限于该情况，分选机10也可以具有承受第1输送单元34在供给用往返机构托盘32a、回收用往返机构托盘37b、或者传送带托盘C1a、C2a、C3a、C4a等处按压电子部件T时的反作用力的受压臂机构。

还可以是按压电机51M的按压力大于按压气缸53的按压力的构成或者按压电机51M的按压力与按压气缸53的按压力相等的构成。

前面阐述了供给侧可动导轨22相对于被固定的供给侧固定导轨21移动，并且，回收侧可动导轨42相对于被固定的回收侧固定导轨41移动的方式，但也可以采用设置两个都能相对于被固定的单一固定导轨移动的可动导轨的构成。此时，优选固定导轨在上述覆盖部件12内，与基台11的上表面上沿X方向延伸的一边平行地、遍及基台11的X方向的大致全宽度而形成。另外，优选2个可动导轨在覆盖部件12内、隔着上述输送导轨31设置在相反侧。

分选机10所具有的输送单元的台数不局限于2台，1台或3台也可以。

也可以采用收纳在供给用往返机构托盘32a中的电子部件T被第1输送单元34输送到检查用插座33，且收纳在检查用插座33中的电子部件T被第2输送单元38按压的方式。只要是输送输送对象，并按压该输送对象的方式即可。

分选机并不局限于检查输送对象的部件检查装置，只要是被用于实施输送对象的输送与按压的装置即可。

附图标记说明：

10…分选机，11…基台，11a…搭载面，12…覆盖部件，20…供给机械手，21…供给侧固定导轨，22…供给侧可动导轨，23…供给用机械手单元，31…输送导轨，32…第1往返机构，32a、37a…供给用往返机构托盘，32b、37b…回收用往返机构托盘，32c…第1往返机构导轨，33…检查用插座，33a…检查用凹部，34…第1输送单元，35、36…受压臂机构，35a、36a…支承体，35b、36b…受压臂，35s、36s…臂气缸，37…第2往返机构，37c…第1往返机构导轨，38…第2输送单元，40…回收机械手，41…回收侧固定导轨，42…回收侧可动导轨，43…回收用机械手单元，51…水平移动臂，51M…按压电机，52…垂直移动臂，52a…承压片，53…按压气缸，54…吸附部，60…控制装置，61…传送带驱动部，62…导轨驱动部，63…往返机构驱动部，64…机械手单元驱动部，64a…机械手电机驱动部，64b…吸引阀驱动部，65…输送单元驱动部，65a…输送电机驱动部，65b…按压电机驱动部，65c…按压气缸驱动部，65d…吸引阀驱动部，66…受压臂驱动部，C1、C2、C3、C4…传送带，C1a、C2a、C3a、C4a…传送带托盘，E51M、EMC、EMS、EMX、EMY、EMZ…编码器，ESV1、ESV2…吸引传感器，MC…传送带电机，MS…往返机构电机，MX…导轨电机，MY…输送电机，MZ…机械手电机，SV1、SV2…吸引阀，T…电子部件。

Claims (9)

1.一种分选机，其特征在于，具备：

基台；

输送部，该输送部对输送对象进行输送；以及

受压部，该受压部连结在上述基台上，

上述输送部上设置有第1按压部以及第2按压部，该第1按压部将上述输送对象向上述基台按压，该第2按压部设置有突出部，且将上述第1按压部向上述基台按压，该突出部在与向上述基台按压的方向不同的方向突出，

在上述受压部上设置有卡合部，该卡合部与上述突出部卡合，

上述卡合部是受压臂。

2.根据权利要求1所述的分选机，其特征在于，

上述受压部的上述卡合部可动，用以与设置于上述第2按压部的一部分上的突出部卡合。

3.根据权利要求2所述的分选机，其特征在于，

上述受压部的上述卡合部可动，用以解除与设置于上述第2按压部的一部分上的突出部的卡合。

4.根据权利要求3所述的分选机，其特征在于，

上述第1按压部为按压气缸，

上述第2按压部包含使上述按压气缸上升及下降的电机，

上述第1按压部的按压力大于上述第2按压部的按压力。

5.根据权利要求4所述的分选机，其特征在于，

具备控制上述电机的驱动的电机控制部，

上述电机控制部在上述按压气缸按压上述输送对象的状态下，通过转矩控制驱动上述电机。

6.根据权利要求4或者5所述的分选机，其特征在于，

具备控制上述电机的驱动的电机控制部，

上述电机控制部在上述按压气缸按压上述输送对象之前，通过转矩控制驱动上述电机。

7.根据权利要求2至5中任意一项所述的分选机，其特征在于，

上述卡合部为相互对置的一对可动臂，

上述一对可动臂在与上述突出部卡合的位置和与上述突出部分离的位置之间移位。

8.根据权利要求1至5中任意一项所述的分选机，其特征在于，

上述输送部具有吸附多个上述输送对象的状态，

上述按压部具有按压多个上述输送对象的状态。

9.一种部件检查装置，其特征在于，具备：

基台；

输送部，该输送部输送电子部件；

受压部，该受压部连结在上述基台上；以及

检查用插座，该检查用插座设置在上述基台上，

在上述输送部上设置有第1按压部以及第2按压部，该第1按压部将上述电子部件向上述基台的上述检查用插座按压，该第2按压部设置有突出部，且将上述第1按压部向上述基台按压，该突出部在与向上述基台按压的方向不同的方向突出，

在上述受压部上设置有卡合部，该卡合部与上述突出部卡合，

上述卡合部是受压臂。