JP2000193716A - Ｉｃテストハンドラ - Google Patents
ＩｃテストハンドラInfo
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- JP2000193716A JP2000193716A JP10370321A JP37032198A JP2000193716A JP 2000193716 A JP2000193716 A JP 2000193716A JP 10370321 A JP10370321 A JP 10370321A JP 37032198 A JP37032198 A JP 37032198A JP 2000193716 A JP2000193716 A JP 2000193716A
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- test handler
- thrust
- air pressure
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Abstract
(57)【要約】
【課題】複数のＩＣを吸着保持して対応のソケットに一
挙に押圧する際、各ＩＣの推力を均一化できるＩＣ押圧
機構を備えたＩＣテストハンドラの提供。 【解決手段】ＩＣテストハンドラのコンタクトアーム５
ｃ，５ｃの下端に吊り下げ固定した共用アタッチメント
５０は、下方に開口する４つの圧空シリンダ収容空部５
１ａ〜５１ｄを有する主ブロック５１と、コンタクター
２５−１〜２５−４が装着可能なドッキングブロック５
２ａ〜５２ｄを吊り下げ支持する抜け止め板５２から成
る。収容空部５１ａ〜５１ｄに収納される圧空シリンダ
６１−１〜６１−４は、シリンダ室Ａ内で気密的に下方
向へ進退可能に摺動して出没間隙Ｘ内で出没するピスト
ンＤを有し、ピストンＤはシリンダ室Ａ内で空圧を受圧
する受圧面Ｆと空隙ｄを以て抜け止め板５２に吊り下げ
たブロック５２の上面に当接する当接部位Ｇを有する。
ＩＣ３０ｂの端子がソケット８に整合当接すると、各ピ
ストンＤがそれぞれ独立の空圧ダンパーとして出没間隙
Ｘ内で固有の膨出量で平衡し、各ＩＣ３０ｂを空圧によ
る一定の推力で押圧する。
挙に押圧する際、各ＩＣの推力を均一化できるＩＣ押圧
機構を備えたＩＣテストハンドラの提供。 【解決手段】ＩＣテストハンドラのコンタクトアーム５
ｃ，５ｃの下端に吊り下げ固定した共用アタッチメント
５０は、下方に開口する４つの圧空シリンダ収容空部５
１ａ〜５１ｄを有する主ブロック５１と、コンタクター
２５−１〜２５−４が装着可能なドッキングブロック５
２ａ〜５２ｄを吊り下げ支持する抜け止め板５２から成
る。収容空部５１ａ〜５１ｄに収納される圧空シリンダ
６１−１〜６１−４は、シリンダ室Ａ内で気密的に下方
向へ進退可能に摺動して出没間隙Ｘ内で出没するピスト
ンＤを有し、ピストンＤはシリンダ室Ａ内で空圧を受圧
する受圧面Ｆと空隙ｄを以て抜け止め板５２に吊り下げ
たブロック５２の上面に当接する当接部位Ｇを有する。
ＩＣ３０ｂの端子がソケット８に整合当接すると、各ピ
ストンＤがそれぞれ独立の空圧ダンパーとして出没間隙
Ｘ内で固有の膨出量で平衡し、各ＩＣ３０ｂを空圧によ
る一定の推力で押圧する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣテストハンド
ラに関し、特に、ＩＣテストハンドラにおけるコンタク
トトランスファのＩＣ押圧機構の改良に関する。
ラに関し、特に、ＩＣテストハンドラにおけるコンタク
トトランスファのＩＣ押圧機構の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】製造されたパッケージ済みＩＣ（半導体
集積回路装置）はその回路信頼性及び電気的特性を判定
するために複数種の電気的試験にかけられる。図５はト
ップカバーを取り外した状態のＩＣテストハンドラの一
例を示す外観斜視図、図６はその機構部分の構造を示す
概略平面図である。なお、図６中の実線矢印はＩＣの移
動過程を示し、点線矢印はトランスファ又はシャトルの
タクト過程を示す。
集積回路装置）はその回路信頼性及び電気的特性を判定
するために複数種の電気的試験にかけられる。図５はト
ップカバーを取り外した状態のＩＣテストハンドラの一
例を示す外観斜視図、図６はその機構部分の構造を示す
概略平面図である。なお、図６中の実線矢印はＩＣの移
動過程を示し、点線矢印はトランスファ又はシャトルの
タクト過程を示す。
【０００３】このＩＣテストハンドラにおいて、多数の
試験予定に係るＩＣ３０ａを２次元配列で載置したトレ
イ１ａが搬入用トレイエレベータ１で上昇されて停止す
ると、搬入用トランスファ２によってトレイ１ａ上の２
次元配列位置のＩＣ３０ａが１個ずつ取り上げられてＩ
Ｃ恒温室７の入口にまで移載された後、搬入用シャトル
３によってＩＣ恒温室７内のＩＣホルダ環状列機構４の
真下のＩＣ着脱位置に差し出されてＩＣホルダ環状列機
構４の空きＩＣ保持部にて保持される。このＩＣ恒温室
７はＩＣ３０ａの温度特性試験を行うため所定時間だけ
ＩＣを冷却又は加温するものであり、ＩＣホルダ環状列
機構４がＩＣ３０ａを保持しながら間歇回転し、所定時
間だけそのＩＣをプリヒートするようになっている。な
お、８は温風ブローユニットである。
試験予定に係るＩＣ３０ａを２次元配列で載置したトレ
イ１ａが搬入用トレイエレベータ１で上昇されて停止す
ると、搬入用トランスファ２によってトレイ１ａ上の２
次元配列位置のＩＣ３０ａが１個ずつ取り上げられてＩ
Ｃ恒温室７の入口にまで移載された後、搬入用シャトル
３によってＩＣ恒温室７内のＩＣホルダ環状列機構４の
真下のＩＣ着脱位置に差し出されてＩＣホルダ環状列機
構４の空きＩＣ保持部にて保持される。このＩＣ恒温室
７はＩＣ３０ａの温度特性試験を行うため所定時間だけ
ＩＣを冷却又は加温するものであり、ＩＣホルダ環状列
機構４がＩＣ３０ａを保持しながら間歇回転し、所定時
間だけそのＩＣをプリヒートするようになっている。な
お、８は温風ブローユニットである。
【０００４】ＩＣ恒温室７内でＩＣホルダ環状列機構４
から取り外されたプリヒート済みＩＣ３０ｂは搬入位置
Ｐ1 で一方のコンタクトトランスファ５によって取り上
げられてテスト位置Ｐ2 に差し置かれた後、降下されて
ＩＣソケット８に押し付けられ、所定時間、ＩＣテスタ
による所要の電気的試験が行われ、しかる後、ＩＣソケ
ット８から試験済みＩＣ３０ｃが取り上げられて搬出位
置Ｐ3 に差し置かれる。この後、試験済みＩＣ３０ｃは
搬出用シャトル９によってＩＣ恒温室７の出口にまで移
動され、その出口から更にＩＣ恒温室７の外部待機位置
へクーリングトランスファ１０によって移動される。そ
の後、クーリングシャトル１１によって移載された後、
搬出用トランスファ１２によって搬出用トレイ１ｂ〜１
ｄ上に仕分け載置される。なお、１３は空きトレイエレ
ベータ、１４〜１６は搬出用トレイエレベータ、１７は
搬入用トレイエレベータ１の空きトレイ１ａを搬出用ト
レイエレベータ１４〜１６に受け渡すためのトレイトラ
ンスファ、１８はＩＣのリードの曲がり度合いを画像処
理で検査するための外観検査部である。
から取り外されたプリヒート済みＩＣ３０ｂは搬入位置
Ｐ1 で一方のコンタクトトランスファ５によって取り上
げられてテスト位置Ｐ2 に差し置かれた後、降下されて
ＩＣソケット８に押し付けられ、所定時間、ＩＣテスタ
による所要の電気的試験が行われ、しかる後、ＩＣソケ
ット８から試験済みＩＣ３０ｃが取り上げられて搬出位
置Ｐ3 に差し置かれる。この後、試験済みＩＣ３０ｃは
搬出用シャトル９によってＩＣ恒温室７の出口にまで移
動され、その出口から更にＩＣ恒温室７の外部待機位置
へクーリングトランスファ１０によって移動される。そ
の後、クーリングシャトル１１によって移載された後、
搬出用トランスファ１２によって搬出用トレイ１ｂ〜１
ｄ上に仕分け載置される。なお、１３は空きトレイエレ
ベータ、１４〜１６は搬出用トレイエレベータ、１７は
搬入用トレイエレベータ１の空きトレイ１ａを搬出用ト
レイエレベータ１４〜１６に受け渡すためのトレイトラ
ンスファ、１８はＩＣのリードの曲がり度合いを画像処
理で検査するための外観検査部である。
【０００５】通常、テスト位置Ｐ2 に供される後続のＩ
Ｃ３０ｂが早くテストにあずかり、高速処理を実現する
ため、コンタクトトランスファ５の外、それと同様のコ
ンタクトトランスファ６が対として設けられている。一
対のコンタクトトランスファ５，６は、図７に示す如
く、Ｙ軸駆動用ボールねじ５ａ，６ａによりリニアガイ
ド（図示せず）に沿ってＹ軸方向に往復動する直動主体
５ｂ，６ｂと、Ｚ軸駆動用のピニオン及びラック（図示
せず）により直動主体５ｂ，６ｂの真下でそれに対して
昇降するコンタクトアーム（昇降アーム）５ｃ，６ｃと
を有している。
Ｃ３０ｂが早くテストにあずかり、高速処理を実現する
ため、コンタクトトランスファ５の外、それと同様のコ
ンタクトトランスファ６が対として設けられている。一
対のコンタクトトランスファ５，６は、図７に示す如
く、Ｙ軸駆動用ボールねじ５ａ，６ａによりリニアガイ
ド（図示せず）に沿ってＹ軸方向に往復動する直動主体
５ｂ，６ｂと、Ｚ軸駆動用のピニオン及びラック（図示
せず）により直動主体５ｂ，６ｂの真下でそれに対して
昇降するコンタクトアーム（昇降アーム）５ｃ，６ｃと
を有している。
【０００６】図７（ａ）に示す如く、一方のコンタクト
アーム６ｃがテスト位置Ｐ2 でＩＣ３０ｂをＩＣソケッ
ト８に押圧し続けているテスト期間内においては、他方
のコンタクトアーム５ｃは後続のＩＣ３０ｂを取り上げ
て搬入位置Ｐ1 又はテスト位置Ｐ2 の直前位置で待機し
ている。そのアーム６ｃが押圧するＩＣ３０ｂのテスト
が終了すると、図７（ｂ）に示す如く、コンタクトアー
ム６ｃが上昇して試験済のＩＣ３０ｃをＩＣソケット８
から取り上げ、搬出位置Ｐ3 まで移動させて差し置く。
この一方のコンタクトアーム６ｃが運動する間、他方の
コンタクトアーム５ｃは後続のＩＣ３０ｂをテスト位置
Ｐ2 まで移動させた後、ＩＣソケット８に押し付ける。
そして、後続のＩＣ３０ｂのテスト中に、一方のコンタ
クトアーム６ｃは搬入位置Ｐ1 にまで戻り、次のＩＣ３
０ｂを取り上げて待機する。
アーム６ｃがテスト位置Ｐ2 でＩＣ３０ｂをＩＣソケッ
ト８に押圧し続けているテスト期間内においては、他方
のコンタクトアーム５ｃは後続のＩＣ３０ｂを取り上げ
て搬入位置Ｐ1 又はテスト位置Ｐ2 の直前位置で待機し
ている。そのアーム６ｃが押圧するＩＣ３０ｂのテスト
が終了すると、図７（ｂ）に示す如く、コンタクトアー
ム６ｃが上昇して試験済のＩＣ３０ｃをＩＣソケット８
から取り上げ、搬出位置Ｐ3 まで移動させて差し置く。
この一方のコンタクトアーム６ｃが運動する間、他方の
コンタクトアーム５ｃは後続のＩＣ３０ｂをテスト位置
Ｐ2 まで移動させた後、ＩＣソケット８に押し付ける。
そして、後続のＩＣ３０ｂのテスト中に、一方のコンタ
クトアーム６ｃは搬入位置Ｐ1 にまで戻り、次のＩＣ３
０ｂを取り上げて待機する。
【０００７】このようなコンクトトランスファ５（６）
は、種類の異なるＩＣでも取り扱う必要があることか
ら、ＩＣテストハンドラには、特定範疇のＩＣを吸着保
持し、コンタクトアーム５ｃ（６ｃ）の下端部に交換装
着可能なコンタクター（又はプッシャー）が複数種を準
備されている。
は、種類の異なるＩＣでも取り扱う必要があることか
ら、ＩＣテストハンドラには、特定範疇のＩＣを吸着保
持し、コンタクトアーム５ｃ（６ｃ）の下端部に交換装
着可能なコンタクター（又はプッシャー）が複数種を準
備されている。
【０００８】図８は、１つのコンタクトアーム５ｃに２
個の同型コンタクター２５，２５を横並びで取り付けた
状態を示す斜視図であり、図９はその分解斜視図であ
る。このコンタクター２５は、下面に露出しＩＣを吸着
保持するためのＩＣ吸着パッド（図示せず）と、側面か
ら下方に突出しＩＣソケット８にＩＣの端子を整合する
ための位置決めスタッド２５ａを有しており、その上面
には、ＩＣ吸着パッドに連通する吸気口（真空引き口）
２５ｂと、２本の装着ロックピン２５ｃと、装着位置決
めピン２５ｄとが突設されている。
個の同型コンタクター２５，２５を横並びで取り付けた
状態を示す斜視図であり、図９はその分解斜視図であ
る。このコンタクター２５は、下面に露出しＩＣを吸着
保持するためのＩＣ吸着パッド（図示せず）と、側面か
ら下方に突出しＩＣソケット８にＩＣの端子を整合する
ための位置決めスタッド２５ａを有しており、その上面
には、ＩＣ吸着パッドに連通する吸気口（真空引き口）
２５ｂと、２本の装着ロックピン２５ｃと、装着位置決
めピン２５ｄとが突設されている。
【０００９】このような２個のコンタクター２５，２５
は、１枚の共用取付板２２と２個のコンタクトアタッチ
メント（アダプター）２３を用いてコンタクトアーム５
ｃの下端部に取り付けられる。各アタッチメント２３
は、位置決めブロック２３ａと、この位置決めブロック
２３ａに装着されたコンタクター２５を係止ロックする
ためのフック板２３ｂと、コンタクトアーム５ｃ側から
引き込んだ負圧管２１ａと装着されたコンタクター２５
の吸気取り出し口２５ｂに接続した中継管２１ｂとを相
互に連通するための気路ブロック２３ｃとを有してい
る。１つのコンタクトアーム５ｃに横並びで装着される
２個の同型コンタクター２５，２５の中心距離はテスト
位置での２個のソケットの中心距離に合致しており、通
常、その中心距離は40mm，60mm，80mm，100mm ，120mm
である。コンタクトアーム５ｃに２個の同型コンタクタ
ー２５，２５が装着されている場合でも、意図的に一方
のコンタクター２５にＩＣを吸着させない運転方法もあ
り、またＩＣの搬入欠けによる吸着不能も発生する。か
かる場合でも、他方のコンタクター２５ではＩＣを確実
に吸着しなければならないので、各コンタクター２５に
は相互独立の負圧管２１ａ，２１ａが引き込み接続され
ている。１つのコンタクトアーム５ｃに２つのコンタク
ター２５，２５を装着する理由はテスト処理の短時間化
を図るためである。
は、１枚の共用取付板２２と２個のコンタクトアタッチ
メント（アダプター）２３を用いてコンタクトアーム５
ｃの下端部に取り付けられる。各アタッチメント２３
は、位置決めブロック２３ａと、この位置決めブロック
２３ａに装着されたコンタクター２５を係止ロックする
ためのフック板２３ｂと、コンタクトアーム５ｃ側から
引き込んだ負圧管２１ａと装着されたコンタクター２５
の吸気取り出し口２５ｂに接続した中継管２１ｂとを相
互に連通するための気路ブロック２３ｃとを有してい
る。１つのコンタクトアーム５ｃに横並びで装着される
２個の同型コンタクター２５，２５の中心距離はテスト
位置での２個のソケットの中心距離に合致しており、通
常、その中心距離は40mm，60mm，80mm，100mm ，120mm
である。コンタクトアーム５ｃに２個の同型コンタクタ
ー２５，２５が装着されている場合でも、意図的に一方
のコンタクター２５にＩＣを吸着させない運転方法もあ
り、またＩＣの搬入欠けによる吸着不能も発生する。か
かる場合でも、他方のコンタクター２５ではＩＣを確実
に吸着しなければならないので、各コンタクター２５に
は相互独立の負圧管２１ａ，２１ａが引き込み接続され
ている。１つのコンタクトアーム５ｃに２つのコンタク
ター２５，２５を装着する理由はテスト処理の短時間化
を図るためである。
【００１０】そこで、このテスト処理の短時間化を更に
促進するため、本件出願人は図１０に示すＩＣ押圧機構
を備えるＩＣテストハンドラを案出した。図１０は１つ
のコンタクトトランスファの一対のコンタクトアーム５
ｃ，５ｃの下端にインライン配置（横並び直線配置）で
４つの同型コンタクター２５−１〜２５−４を装着した
状態を示す断面図である。コンタクトアーム５ｃ，５ｃ
の下端には横長状の共用アタッチメント３０が吊り下げ
固定されており、この共用アタッチメント３０は、下方
に開口する４つのばね収容空部３１ａ〜３１ｄを有する
主ブロック３１と、コンタクター２５−１〜２５−４が
装着可能なドッキングブロック２３−１〜２３−４を吊
り下げ支持するための抜け止め板３２とから成り、各ば
ね収容空部３１ａ〜３１ｂ内にはコイルスプリング３３
ａ〜３３ｄが装填されており、ドッキングブロック２３
−１〜２３−４の上面に当接して弾力的に下方向へ押圧
している。各ドッキングブロック２３−１〜２３−４の
下面には装着ロックピン２５ｃによってコンタクター２
５−１〜２５−４が装着されており、コンタクター２５
−１〜２５−４の上面には吸気接手２５ｅが突出し、そ
れぞれ図示しない負圧管に接続されている。コンタクタ
ー２５−１〜２５−４の下面には、ソケット８側のスタ
ッド穴８ａに整合して挿抜する位置決めスタッド２５ａ
と、吸気接手２５ｅに連通してＩＣ３０ｂを吸着保持す
るためのＩＣ吸着パッド２５ｆと、このＩＣ吸着パッド
２５ｆの吸着域を限定し端子を押す仕切片２５ｇとが設
けられている。
促進するため、本件出願人は図１０に示すＩＣ押圧機構
を備えるＩＣテストハンドラを案出した。図１０は１つ
のコンタクトトランスファの一対のコンタクトアーム５
ｃ，５ｃの下端にインライン配置（横並び直線配置）で
４つの同型コンタクター２５−１〜２５−４を装着した
状態を示す断面図である。コンタクトアーム５ｃ，５ｃ
の下端には横長状の共用アタッチメント３０が吊り下げ
固定されており、この共用アタッチメント３０は、下方
に開口する４つのばね収容空部３１ａ〜３１ｄを有する
主ブロック３１と、コンタクター２５−１〜２５−４が
装着可能なドッキングブロック２３−１〜２３−４を吊
り下げ支持するための抜け止め板３２とから成り、各ば
ね収容空部３１ａ〜３１ｂ内にはコイルスプリング３３
ａ〜３３ｄが装填されており、ドッキングブロック２３
−１〜２３−４の上面に当接して弾力的に下方向へ押圧
している。各ドッキングブロック２３−１〜２３−４の
下面には装着ロックピン２５ｃによってコンタクター２
５−１〜２５−４が装着されており、コンタクター２５
−１〜２５−４の上面には吸気接手２５ｅが突出し、そ
れぞれ図示しない負圧管に接続されている。コンタクタ
ー２５−１〜２５−４の下面には、ソケット８側のスタ
ッド穴８ａに整合して挿抜する位置決めスタッド２５ａ
と、吸気接手２５ｅに連通してＩＣ３０ｂを吸着保持す
るためのＩＣ吸着パッド２５ｆと、このＩＣ吸着パッド
２５ｆの吸着域を限定し端子を押す仕切片２５ｇとが設
けられている。
【００１１】コンタクトアーム５ｃが降下すると、各位
置決めスタッド２５ａが対応のソケット８側のスタッド
穴８ａに挿入して位置決めすると共に、４つのコンタク
ター２５−１〜２５−４のＩＣ吸着バッド２５ｆに吸着
保持された各ＩＣ３０ｂの端子が各ソケット８に整合当
接し、更にこの当接からコンタクトアーム５ｃの降下量
が進むと、コイルスプリング３３ａ〜３３ｄが圧縮し、
その弾性反力により各ＩＣ３０ｂの端子が各ソケット８
に押圧される。
置決めスタッド２５ａが対応のソケット８側のスタッド
穴８ａに挿入して位置決めすると共に、４つのコンタク
ター２５−１〜２５−４のＩＣ吸着バッド２５ｆに吸着
保持された各ＩＣ３０ｂの端子が各ソケット８に整合当
接し、更にこの当接からコンタクトアーム５ｃの降下量
が進むと、コイルスプリング３３ａ〜３３ｄが圧縮し、
その弾性反力により各ＩＣ３０ｂの端子が各ソケット８
に押圧される。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ＩＣテストハンドラのＩＣ押圧機構にあっては、次のよ
うな問題点があった。
ＩＣテストハンドラのＩＣ押圧機構にあっては、次のよ
うな問題点があった。
【００１３】 コイルスプリング３３ａ〜３３ｄの圧
縮量は抜け止め板３２とアタッチメント２３との押し込
み間隙ｄ内に見掛け上は限定されているものの、コンタ
クトアーム５ｃが複数のコンタクター２５−１〜２５−
４を装備するものであるため、各コイルスプリング３３
ａ〜３３ｄのばね定数を初めとして各部品精度のバラツ
キ及びソケット８側の基体表面等の平坦精度（例えば0.
05mm）や、ＩＣ押圧時の基体表面自体の反りなどによ
り、各ＩＣ３０ｂの端子とソケット８との推力の加減が
必然的に不揃いになり易く、特定のソケットの端子全体
や部分的にある端子に推力不足又は推力過剰が生じ、接
触不良や端子損傷を招く虞れがある。特に問題な事は、
推力がばね定数と圧縮量の積で決まるものであることか
ら、基体表面の反りなどによる圧縮量の僅少差でも推力
の不均一を招く。従って、同型コンタクターの装着個数
を増や程にソケットでの接触不良や端子損傷の危険性が
高まり、同型コンタクターの多数個装着の実用化が困難
である。
縮量は抜け止め板３２とアタッチメント２３との押し込
み間隙ｄ内に見掛け上は限定されているものの、コンタ
クトアーム５ｃが複数のコンタクター２５−１〜２５−
４を装備するものであるため、各コイルスプリング３３
ａ〜３３ｄのばね定数を初めとして各部品精度のバラツ
キ及びソケット８側の基体表面等の平坦精度（例えば0.
05mm）や、ＩＣ押圧時の基体表面自体の反りなどによ
り、各ＩＣ３０ｂの端子とソケット８との推力の加減が
必然的に不揃いになり易く、特定のソケットの端子全体
や部分的にある端子に推力不足又は推力過剰が生じ、接
触不良や端子損傷を招く虞れがある。特に問題な事は、
推力がばね定数と圧縮量の積で決まるものであることか
ら、基体表面の反りなどによる圧縮量の僅少差でも推力
の不均一を招く。従って、同型コンタクターの装着個数
を増や程にソケットでの接触不良や端子損傷の危険性が
高まり、同型コンタクターの多数個装着の実用化が困難
である。
【００１４】 また、テストすべきＩＣの種類として
は端子数の異なるものがあり、端子数の多いＩＣほど、
押圧時の推力を増強せねばならないが、その都度、ばね
定数の異なるコイルスプリング３３ａ〜３３ｄと交換せ
ざるを得ず、段取り作業に手間取るという不都合があ
り、その分だけ、テスト時間の短縮化は望めない。
は端子数の異なるものがあり、端子数の多いＩＣほど、
押圧時の推力を増強せねばならないが、その都度、ばね
定数の異なるコイルスプリング３３ａ〜３３ｄと交換せ
ざるを得ず、段取り作業に手間取るという不都合があ
り、その分だけ、テスト時間の短縮化は望めない。
【００１５】そこで、上記問題点に鑑み、本発明の第１
の課題は、複数のＩＣを吸着保持して対応のソケットに
一挙に押圧するコンタクトトランスファにおいて、部品
の精度などを過度に高めずとも、各ＩＣの推力を均一化
できるＩＣ押圧機構を備えたＩＣテストハンドラを提供
することにある。
の課題は、複数のＩＣを吸着保持して対応のソケットに
一挙に押圧するコンタクトトランスファにおいて、部品
の精度などを過度に高めずとも、各ＩＣの推力を均一化
できるＩＣ押圧機構を備えたＩＣテストハンドラを提供
することにある。
【００１６】また、本発明の第２の課題は、端子数の異
なるＩＣをテストする際の段取り作業を軽減できるＩＣ
押圧機構を備えたＩＣテストハンドラを提供することに
ある。
なるＩＣをテストする際の段取り作業を軽減できるＩＣ
押圧機構を備えたＩＣテストハンドラを提供することに
ある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記第１の課題を解決す
るため、本発明の講じた第１の手段は、各コンタクター
毎のＩＣ押圧機構として密閉室内に正圧静止流体を封止
した印圧機の受圧受動体としたところにある。印圧機と
しては水圧機や油圧機も可能であるが、空圧機が望まし
い。
るため、本発明の講じた第１の手段は、各コンタクター
毎のＩＣ押圧機構として密閉室内に正圧静止流体を封止
した印圧機の受圧受動体としたところにある。印圧機と
しては水圧機や油圧機も可能であるが、空圧機が望まし
い。
【００１８】即ち、本発明は、搬入位置のＩＣを吸着保
持してテスト位置まで移動した後、下降させてＩＣソケ
ットに上記ＩＣの端子を所定時間押圧し続け、しかる
後、上記ＩＣを上昇させて搬出位置に差し置くコンタク
トトランスファを備え、上記コンタクトトランスファ
は、少なくとも、上記ＩＣを吸着保持するためのＩＣ吸
着パッドを持つコンタクターと、複数個の上記コンタク
ターが着脱可能のアタッチメントと、上記アタッチメン
トを下端部に取り付けた昇降アームとを有し、上記アタ
ッチメントに対してそれぞれ上記コンタクターを下方向
へ押圧付勢するためのＩＣ押圧機構を備えて成るＩＣテ
ストハンドラであって、上記コンタクター毎のＩＣ押圧
機構は、上記アタッチメント側から上記コンタクター側
に当接する当接部位を持ち、密閉室内の正圧静止流体を
受圧面にて受圧して上記下方向のの出没間隙内で出没可
能な受圧受動体を有することを特徴とする。
持してテスト位置まで移動した後、下降させてＩＣソケ
ットに上記ＩＣの端子を所定時間押圧し続け、しかる
後、上記ＩＣを上昇させて搬出位置に差し置くコンタク
トトランスファを備え、上記コンタクトトランスファ
は、少なくとも、上記ＩＣを吸着保持するためのＩＣ吸
着パッドを持つコンタクターと、複数個の上記コンタク
ターが着脱可能のアタッチメントと、上記アタッチメン
トを下端部に取り付けた昇降アームとを有し、上記アタ
ッチメントに対してそれぞれ上記コンタクターを下方向
へ押圧付勢するためのＩＣ押圧機構を備えて成るＩＣテ
ストハンドラであって、上記コンタクター毎のＩＣ押圧
機構は、上記アタッチメント側から上記コンタクター側
に当接する当接部位を持ち、密閉室内の正圧静止流体を
受圧面にて受圧して上記下方向のの出没間隙内で出没可
能な受圧受動体を有することを特徴とする。
【００１９】コンタクトアームが上昇位置にある場合、
コンタクター毎の受圧受動体は密閉室内の正圧静止流体
の受圧によって出没間隙の限界位置まで膨出しているも
のの、コンタクトアームが降下してコンタクターのＩＣ
吸着パッドに吸着保持されたＩＣの端子がソケットに整
合当接し、更にこの当接からコンタクトアームの降下が
一定量進むと、各受圧受動体がそれぞれ上方向へ押し戻
され、密閉室内の正圧による受圧力と平衡する位置で位
置決めされる。コンクタクター毎の各部品精度のバラツ
キやＩＣ押圧時のソケット側基体表面の反りなどによっ
て、各受圧受動体の出没間隙内の平衡位置ではそれぞれ
異なる固有の膨出量にて当接部位がコンクタクター側に
圧接する。つまり、各受圧受動体がそれぞれ独立の流体
圧ダンパーとして出没間隙内に介在する。従って、密閉
室内の静止流体の正圧を設定することにより受圧受動体
の受圧力即ちコンンタクターの推力が膨出量とは無関係
に一義的に決定されることになり、静止流体の正圧制御
だけでコンンタクターの推力同士の均一化が可能とな
る。
コンタクター毎の受圧受動体は密閉室内の正圧静止流体
の受圧によって出没間隙の限界位置まで膨出しているも
のの、コンタクトアームが降下してコンタクターのＩＣ
吸着パッドに吸着保持されたＩＣの端子がソケットに整
合当接し、更にこの当接からコンタクトアームの降下が
一定量進むと、各受圧受動体がそれぞれ上方向へ押し戻
され、密閉室内の正圧による受圧力と平衡する位置で位
置決めされる。コンクタクター毎の各部品精度のバラツ
キやＩＣ押圧時のソケット側基体表面の反りなどによっ
て、各受圧受動体の出没間隙内の平衡位置ではそれぞれ
異なる固有の膨出量にて当接部位がコンクタクター側に
圧接する。つまり、各受圧受動体がそれぞれ独立の流体
圧ダンパーとして出没間隙内に介在する。従って、密閉
室内の静止流体の正圧を設定することにより受圧受動体
の受圧力即ちコンンタクターの推力が膨出量とは無関係
に一義的に決定されることになり、静止流体の正圧制御
だけでコンンタクターの推力同士の均一化が可能とな
る。
【００２０】特に、各受圧受動体の密閉室がコンタクト
アタッチメント側の唯一の基幹気路に連通して成る構成
においては、各密閉室が並列関係にあるため、パスカル
の原理により各密閉室内の正圧を基幹気路の気圧だけで
一挙に同値設定できるので、各コンンタクターの推力同
士を均一化できる。
アタッチメント側の唯一の基幹気路に連通して成る構成
においては、各密閉室が並列関係にあるため、パスカル
の原理により各密閉室内の正圧を基幹気路の気圧だけで
一挙に同値設定できるので、各コンンタクターの推力同
士を均一化できる。
【００２１】この受圧受動体は、通常、圧空シリンダの
ピストン（ラム）とすることができる。即ち、この圧空
シリンダは、コンタクトアタッチメントに形成された密
閉室（シリンダ室）と、このシリンダ室内で気密的に進
退可能に摺動し、上記当接部位を持つピストンから成
る。受圧受動体の膨出量はコンクタクー毎で微妙な差異
を持たせる必要上から、受圧受動体の出没精度には比較
的高精度を要求されるが、受圧受動体として圧空シリン
ダのピストンを用いると、受圧面の面積が出没度合いに
依存せず、常に一定であるので、推力均一化を高精度に
実現できる。
ピストン（ラム）とすることができる。即ち、この圧空
シリンダは、コンタクトアタッチメントに形成された密
閉室（シリンダ室）と、このシリンダ室内で気密的に進
退可能に摺動し、上記当接部位を持つピストンから成
る。受圧受動体の膨出量はコンクタクー毎で微妙な差異
を持たせる必要上から、受圧受動体の出没精度には比較
的高精度を要求されるが、受圧受動体として圧空シリン
ダのピストンを用いると、受圧面の面積が出没度合いに
依存せず、常に一定であるので、推力均一化を高精度に
実現できる。
【００２２】なお、圧空シリンダを用いずに、例えば蛇
腹壁状の出没膨縮体やダイヤフラムを用いることもでき
る。
腹壁状の出没膨縮体やダイヤフラムを用いることもでき
る。
【００２３】上記第２の課題を解決するため、本発明が
講じた第２の手段は、上記各受圧受動体が受圧する正圧
の気圧生成手段として、圧空源から供給される入力空圧
を上記基幹気路の気圧を所定の正圧に変換出力する電気
制御式空圧変換手段を用いて成ることを特徴とする。こ
のような電気制御式空圧変換手段は既に電空レギュレー
タとして実用化されており、制御電圧値又は制御電流値
（制御入力）に応じて出力空圧を設定できる。このた
め、端子数の異なるＩＣをテストする際、制御電圧入力
を設定し直すだけで、コンクタクターの推力を簡単に変
更でき、内蔵スプリングの交換などを行わずとも良く、
段取り作業を大幅軽減できる。
講じた第２の手段は、上記各受圧受動体が受圧する正圧
の気圧生成手段として、圧空源から供給される入力空圧
を上記基幹気路の気圧を所定の正圧に変換出力する電気
制御式空圧変換手段を用いて成ることを特徴とする。こ
のような電気制御式空圧変換手段は既に電空レギュレー
タとして実用化されており、制御電圧値又は制御電流値
（制御入力）に応じて出力空圧を設定できる。このた
め、端子数の異なるＩＣをテストする際、制御電圧入力
を設定し直すだけで、コンクタクターの推力を簡単に変
更でき、内蔵スプリングの交換などを行わずとも良く、
段取り作業を大幅軽減できる。
【００２４】また、ＩＣ吸着パッドが保持すべきＩＣの
端子数情報を入力可能な推力設定操作手段と、この推力
設定操作手段からの上記端子数情報に基づいて上記電気
制御式空圧変換手段の制御入力を設定する推力設定手段
とを有する構成においては、端子数の異なるＩＣをテス
トする際には端子数情報を推力設定操作手段に入力操作
するだけで、所望の推力を設定でき、より一層、段取り
作業を軽減できる。
端子数情報を入力可能な推力設定操作手段と、この推力
設定操作手段からの上記端子数情報に基づいて上記電気
制御式空圧変換手段の制御入力を設定する推力設定手段
とを有する構成においては、端子数の異なるＩＣをテス
トする際には端子数情報を推力設定操作手段に入力操作
するだけで、所望の推力を設定でき、より一層、段取り
作業を軽減できる。
【００２５】更に、上記電気制御式空圧変換手段の出力
空圧を計測する圧力計と、上記圧力計の計測値を監視可
能なモニターとを備えて成ることが望ましい。推力の推
移をリアルタイムで監視できることは勿論、同一端子数
のＩＣでも端子の剛性等が異なる場合など、最適な推力
を見出すことができる。
空圧を計測する圧力計と、上記圧力計の計測値を監視可
能なモニターとを備えて成ることが望ましい。推力の推
移をリアルタイムで監視できることは勿論、同一端子数
のＩＣでも端子の剛性等が異なる場合など、最適な推力
を見出すことができる。
【００２６】そして、制御系として、上記電気制御式空
圧変換手段の出力空圧を計測する圧力計を備え、上記推
力設定手段が上記圧力計の計測値を帰還入力し上記出力
空圧を自動制御する負帰還制御手段であることが望まし
い。電気制御式空圧変換手段自体の個体差を吸収して高
精度の空圧設定が可能になるため、推力設定の高精度化
を実現できる。
圧変換手段の出力空圧を計測する圧力計を備え、上記推
力設定手段が上記圧力計の計測値を帰還入力し上記出力
空圧を自動制御する負帰還制御手段であることが望まし
い。電気制御式空圧変換手段自体の個体差を吸収して高
精度の空圧設定が可能になるため、推力設定の高精度化
を実現できる。
【００２７】なお、上記モニター又は上記負帰還制御手
段にはパーソナルコンピュータを用いることができる。
段にはパーソナルコンピュータを用いることができる。
【００２８】
【発明の実施の形態】図１は本発明の実施形態に係るＩ
ＣテストハンドラにおけるＩＣ押圧機構を示す縦断正面
図、図２はその一部の拡大して示す部分縦断面図、図３
は同ＩＣ押圧機構の押圧時の状態を示す縦断正面図、図
４は同ＩＣ押圧機構の駆動制御系を示すブロック図であ
る。なお、図１乃至図３において図１０に示す部分と同
一部分には同一参照符号を付し、その説明は省略する。
ＣテストハンドラにおけるＩＣ押圧機構を示す縦断正面
図、図２はその一部の拡大して示す部分縦断面図、図３
は同ＩＣ押圧機構の押圧時の状態を示す縦断正面図、図
４は同ＩＣ押圧機構の駆動制御系を示すブロック図であ
る。なお、図１乃至図３において図１０に示す部分と同
一部分には同一参照符号を付し、その説明は省略する。
【００２９】本例のＩＣテストハンドラの概略構成は図
５乃至図７に示す構成と略同等な構成であるが、一方の
コンタクトトランスファは一対のコンタクトアーム５
ｃ，５ｃを有しており、それらの下端にはインライン配
置（横並び直線配置）で４つの同型コンタクター２５−
１〜２５−４が装着されている。コンタクトアーム５
ｃ，５ｃの下端には横長状の共用アタッチメント５０が
吊り下げ固定されており、この共用アタッチメント５０
は、下方に開口する４つの圧空シリンダ収容空部５１ａ
〜５１ｄを有する主ブロック５１と、コンタクター２５
−１〜２５−４が装着可能なドッキングブロック５２ａ
〜５２ｄを吊り下げ支持するための抜け止め板５２とか
ら成る。各圧空シリンダ収容空部５１ａ〜５１ｄに収納
される圧空シリンダ６１−１〜６１−４は、シリンダ室
Ａを画成するシリンダＢと、このシリンダＢの上部に設
けた給気接手Ｃと、シリンダ室Ａ内で気密的に下方向へ
進退可能に摺動して出没間隙Ｘ内で出没するピストン
（ラム）Ｄと、ピストンＤの摺接部に介装したＯリング
Ｅとから成る。ピストンＤはシリンダ室Ａ内で空圧を受
圧する受圧面Ｆと空隙ｄを以て抜け止め板５２に吊り下
げたドッキングブロック５２ａ〜５２ｄの上面に当接す
る当接部位Ｇとを有する。
５乃至図７に示す構成と略同等な構成であるが、一方の
コンタクトトランスファは一対のコンタクトアーム５
ｃ，５ｃを有しており、それらの下端にはインライン配
置（横並び直線配置）で４つの同型コンタクター２５−
１〜２５−４が装着されている。コンタクトアーム５
ｃ，５ｃの下端には横長状の共用アタッチメント５０が
吊り下げ固定されており、この共用アタッチメント５０
は、下方に開口する４つの圧空シリンダ収容空部５１ａ
〜５１ｄを有する主ブロック５１と、コンタクター２５
−１〜２５−４が装着可能なドッキングブロック５２ａ
〜５２ｄを吊り下げ支持するための抜け止め板５２とか
ら成る。各圧空シリンダ収容空部５１ａ〜５１ｄに収納
される圧空シリンダ６１−１〜６１−４は、シリンダ室
Ａを画成するシリンダＢと、このシリンダＢの上部に設
けた給気接手Ｃと、シリンダ室Ａ内で気密的に下方向へ
進退可能に摺動して出没間隙Ｘ内で出没するピストン
（ラム）Ｄと、ピストンＤの摺接部に介装したＯリング
Ｅとから成る。ピストンＤはシリンダ室Ａ内で空圧を受
圧する受圧面Ｆと空隙ｄを以て抜け止め板５２に吊り下
げたドッキングブロック５２ａ〜５２ｄの上面に当接す
る当接部位Ｇとを有する。
【００３０】各ドッキングブロック５２ａ〜５２ｄの下
面には装着ロックピン２５ｃによってコンタクター２５
−１〜２５−４が装着されており、コンタクター２５−
１〜２５−４の上面には吸気接手２５ｅが突出し、それ
ぞれ図示しない負圧管に接続されている。コンタクター
２５−１〜２５−４の下面には、ソケット８側のスタッ
ド穴８ａに整合して挿抜する位置決めスタッド２５ａ
と、吸気接手２５ｅに連通してＩＣ３０ｂを吸着保持す
るためのＩＣ吸着パッド２５ｆと、このＩＣ吸着パッド
２５ｆの吸着域を限定し端子を押さえる仕切片２５ｇと
が設けられている。
面には装着ロックピン２５ｃによってコンタクター２５
−１〜２５−４が装着されており、コンタクター２５−
１〜２５−４の上面には吸気接手２５ｅが突出し、それ
ぞれ図示しない負圧管に接続されている。コンタクター
２５−１〜２５−４の下面には、ソケット８側のスタッ
ド穴８ａに整合して挿抜する位置決めスタッド２５ａ
と、吸気接手２５ｅに連通してＩＣ３０ｂを吸着保持す
るためのＩＣ吸着パッド２５ｆと、このＩＣ吸着パッド
２５ｆの吸着域を限定し端子を押さえる仕切片２５ｇと
が設けられている。
【００３１】圧空シリンダ６１−１〜６１−４の各給気
接手Ｃは、図４に示す如く、唯一の基幹気路Ｈに連通し
ている。本例では、この基幹気路Ｈに対して所定の正圧
Ｐを生成する正圧生成手段として、圧空源Ｐ0 から供給
される入力空圧を上記所定の正圧Ｐに変換出力する電気
制御式空圧変換器（電空レギュレータ）６７が用いられ
ている。この電気制御式空圧変換器６７は制御電圧値又
は制御電流値（制御入力）ＩＮに応じて出力空圧を設定
可能である。なお、圧空源Ｐ0 の圧力は出力空圧よりも
高圧である。この制御入力ＩＮを設定するめに、駆動制
御系は、ＩＣ吸着パッド２５ｆが保持すべきＩＣの端子
数情報を入力可能なモニター兼推力設定キー操作部６２
と、その端子数情報に基づいてデジタル制御信号を生成
する推力設定部６３と、その制御信号をデジタル・アナ
グロ変換してアナグロ制御信号の制御入力ＩＮを生成す
るＤ／Ａコンバータ６４とを有している。また、基幹気
路Ｈの空圧を測定する圧力計６５が設けられており、そ
の計測出力をＡ／Ｄコンバータ６６でデジタル化した圧
力データが推力設定部６３に帰還入力されている。
接手Ｃは、図４に示す如く、唯一の基幹気路Ｈに連通し
ている。本例では、この基幹気路Ｈに対して所定の正圧
Ｐを生成する正圧生成手段として、圧空源Ｐ0 から供給
される入力空圧を上記所定の正圧Ｐに変換出力する電気
制御式空圧変換器（電空レギュレータ）６７が用いられ
ている。この電気制御式空圧変換器６７は制御電圧値又
は制御電流値（制御入力）ＩＮに応じて出力空圧を設定
可能である。なお、圧空源Ｐ0 の圧力は出力空圧よりも
高圧である。この制御入力ＩＮを設定するめに、駆動制
御系は、ＩＣ吸着パッド２５ｆが保持すべきＩＣの端子
数情報を入力可能なモニター兼推力設定キー操作部６２
と、その端子数情報に基づいてデジタル制御信号を生成
する推力設定部６３と、その制御信号をデジタル・アナ
グロ変換してアナグロ制御信号の制御入力ＩＮを生成す
るＤ／Ａコンバータ６４とを有している。また、基幹気
路Ｈの空圧を測定する圧力計６５が設けられており、そ
の計測出力をＡ／Ｄコンバータ６６でデジタル化した圧
力データが推力設定部６３に帰還入力されている。
【００３２】モニター兼推力設定キー操作部６２及び推
力設定部６３としてはパーソナルコンピュータが用いら
れている。
力設定部６３としてはパーソナルコンピュータが用いら
れている。
【００３３】図１はコンタクトアーム５ｃが上昇位置に
ある場合（非押圧時）を示す。コンタクター２５毎のピ
ストンＤはシリンダ室Ａ内の正圧を受圧面Ｆで受圧し、
ソケット８からの押圧反力を受けていないため、ピスト
ンＤは出没間隙Ｘの限界位置まで膨出している。ここ
で、コンタクトアーム５ｃが降下してコンタクター２５
のＩＣ吸着パッド２５ｆに吸着保持されたＩＣ３０ｂの
端子がソケット８に整合当接し、更にこの当接からコン
タクトアーム５ｃの降下が一定量進むと、図３に示す如
く、各ピストンＤがそれぞれ上方向へ押し戻され、シリ
ンダ室Ａ内の正圧による受圧力ｆと平衡する位置で位置
決めされる。つまり、各ピストンＤがそれぞれ独立の空
圧ダンパーとして出没間隙Ｘ内で固有の膨出量で平衡す
る。例えば、左端のピストンＤの膨出量はＸ−ｄ＋ｄ′
となる。コンクタクター２５毎の各部品精度のバラツキ
やＩＣ押圧時のソケット８側基体表面の反りなどによっ
て各ピストンＤの膨出量はそれぞれ異なるものの、各ピ
ストンＤによる推力ｆは正圧Ｐと受圧面Ｆの面積の積で
決まる。各ピストンＤの受圧面Ｆの面積は相等しくして
あるので、正圧Ｐで推力ｆが膨出量とは無関係に一義的
に決まる。従って、各コンタクター２５の推力同士の均
一化を実現できる。
ある場合（非押圧時）を示す。コンタクター２５毎のピ
ストンＤはシリンダ室Ａ内の正圧を受圧面Ｆで受圧し、
ソケット８からの押圧反力を受けていないため、ピスト
ンＤは出没間隙Ｘの限界位置まで膨出している。ここ
で、コンタクトアーム５ｃが降下してコンタクター２５
のＩＣ吸着パッド２５ｆに吸着保持されたＩＣ３０ｂの
端子がソケット８に整合当接し、更にこの当接からコン
タクトアーム５ｃの降下が一定量進むと、図３に示す如
く、各ピストンＤがそれぞれ上方向へ押し戻され、シリ
ンダ室Ａ内の正圧による受圧力ｆと平衡する位置で位置
決めされる。つまり、各ピストンＤがそれぞれ独立の空
圧ダンパーとして出没間隙Ｘ内で固有の膨出量で平衡す
る。例えば、左端のピストンＤの膨出量はＸ−ｄ＋ｄ′
となる。コンクタクター２５毎の各部品精度のバラツキ
やＩＣ押圧時のソケット８側基体表面の反りなどによっ
て各ピストンＤの膨出量はそれぞれ異なるものの、各ピ
ストンＤによる推力ｆは正圧Ｐと受圧面Ｆの面積の積で
決まる。各ピストンＤの受圧面Ｆの面積は相等しくして
あるので、正圧Ｐで推力ｆが膨出量とは無関係に一義的
に決まる。従って、各コンタクター２５の推力同士の均
一化を実現できる。
【００３４】本例では、空圧Ｐを設定する手段として電
気制御式空圧変換器６７を用いているので、空圧Ｐの変
更が極めて容易となっている。端子数の異なるＩＣをテ
ストする際、モニター兼推力設定キー操作部６２にその
端子数を入力するだけで、それに見合う空圧Ｐの設定が
でき、コンクタクター２５の推力を簡単に変更できる。
従って、従来のような内蔵スプリングの交換などを行わ
ずとも良く、段取り作業を大幅軽減できる。
気制御式空圧変換器６７を用いているので、空圧Ｐの変
更が極めて容易となっている。端子数の異なるＩＣをテ
ストする際、モニター兼推力設定キー操作部６２にその
端子数を入力するだけで、それに見合う空圧Ｐの設定が
でき、コンクタクター２５の推力を簡単に変更できる。
従って、従来のような内蔵スプリングの交換などを行わ
ずとも良く、段取り作業を大幅軽減できる。
【００３５】また、圧力計６５により空圧Ｐの測定とモ
ニター兼推力設定キー操作部６２による圧力監視が可能
となっているため、推力の推移をリアルタイムで監視で
きることは勿論、同一端子数のＩＣでも端子の剛性等が
異なる場合など、最適な推力を見出すことができる。
ニター兼推力設定キー操作部６２による圧力監視が可能
となっているため、推力の推移をリアルタイムで監視で
きることは勿論、同一端子数のＩＣでも端子の剛性等が
異なる場合など、最適な推力を見出すことができる。
【００３６】特に、圧力データが推力設定部６３に帰還
入力しているため、空圧変動を抑制できる。また、電気
制御式空圧変換器６７の個体差を吸収できる。
入力しているため、空圧変動を抑制できる。また、電気
制御式空圧変換器６７の個体差を吸収できる。
【００３７】なお、上記実施形態では、圧力計６５を設
けて圧力データを帰還情報をして用い、空圧Ｐを自動制
御するように構成してあるが、帰還制御を行わなくても
構わない。また空圧Ｐを監視しなくても良い。
けて圧力データを帰還情報をして用い、空圧Ｐを自動制
御するように構成してあるが、帰還制御を行わなくても
構わない。また空圧Ｐを監視しなくても良い。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るＩＣ
テストハンドラは、各コンタクター毎のＩＣ押圧機構と
して密閉室内に正圧静止流体を封止した印圧機の受圧受
動体としたことを特徴とするものであるから、次のよう
な効果を奏する。
テストハンドラは、各コンタクター毎のＩＣ押圧機構と
して密閉室内に正圧静止流体を封止した印圧機の受圧受
動体としたことを特徴とするものであるから、次のよう
な効果を奏する。
【００３９】 押圧時には、各受圧受動体がそれぞれ
密閉室内の正圧による受圧力と平衡する位置に位置決め
されて、当接部位がコンクタクター側に圧接する。この
ため、コンクタクター毎の各部品精度のバラツキやＩＣ
押圧時のソケット側基体表面の反りなどが受圧受動体の
出没間隙内で吸収できる。また、密閉室内の静止流体の
正圧を設定することによりコンタクターの推力が平衡位
置とは無関係に一義的に決定できるため、静止流体の正
圧制御だけでコンタクターの推力同士の均一化が可能と
なる。
密閉室内の正圧による受圧力と平衡する位置に位置決め
されて、当接部位がコンクタクター側に圧接する。この
ため、コンクタクター毎の各部品精度のバラツキやＩＣ
押圧時のソケット側基体表面の反りなどが受圧受動体の
出没間隙内で吸収できる。また、密閉室内の静止流体の
正圧を設定することによりコンタクターの推力が平衡位
置とは無関係に一義的に決定できるため、静止流体の正
圧制御だけでコンタクターの推力同士の均一化が可能と
なる。
【００４０】 特に、各受圧受動体の密閉室がコンタ
クトアタッチメント側の唯一の基幹気路に連通して成る
構成においては、各密閉室内の正圧を基幹気路の気圧だ
けで一挙に同値設定できるので、各コンンタクターの推
力同士を均一化できる。
クトアタッチメント側の唯一の基幹気路に連通して成る
構成においては、各密閉室内の正圧を基幹気路の気圧だ
けで一挙に同値設定できるので、各コンンタクターの推
力同士を均一化できる。
【００４１】 各受圧受動体が受圧する正圧の気圧生
成手段として、圧空源から供給される入力空圧を上記基
幹気路の気圧を所定の正圧に変換出力する電気制御式空
圧変換手段を用いて成る場合、端子数の異なるＩＣをテ
ストする際、制御電圧入力を設定し直すだけで、コンク
タクターの推力を簡単に変更でき、内蔵スプリングの交
換などを行わずとも良く、段取り作業を大幅軽減でき
る。
成手段として、圧空源から供給される入力空圧を上記基
幹気路の気圧を所定の正圧に変換出力する電気制御式空
圧変換手段を用いて成る場合、端子数の異なるＩＣをテ
ストする際、制御電圧入力を設定し直すだけで、コンク
タクターの推力を簡単に変更でき、内蔵スプリングの交
換などを行わずとも良く、段取り作業を大幅軽減でき
る。
【００４２】 ＩＣ吸着パッドが保持すべきＩＣの端
子数情報を入力可能な推力設定操作手段と、この推力設
定操作手段からの端子数情報に基づいて電気制御式空圧
変換手段の制御入力を設定する推力設定手段とを有する
構成においては、端子数の異なるＩＣをテストする際に
は端子数情報を推力設定操作手段に入力操作するだけ
で、所望の推力を設定でき、より一層、段取り作業を軽
減できる。
子数情報を入力可能な推力設定操作手段と、この推力設
定操作手段からの端子数情報に基づいて電気制御式空圧
変換手段の制御入力を設定する推力設定手段とを有する
構成においては、端子数の異なるＩＣをテストする際に
は端子数情報を推力設定操作手段に入力操作するだけ
で、所望の推力を設定でき、より一層、段取り作業を軽
減できる。
【００４３】 電気制御式空圧変換手段の出力空圧を
計測する圧力計と、圧力計の計測値を監視可能なモニタ
ーとを備えて成る場合、推力の推移をリアルタイムで監
視できることは勿論、同一端子数のＩＣでも端子の剛性
等が異なる場合など、最適な推力を見出すことができ
る。
計測する圧力計と、圧力計の計測値を監視可能なモニタ
ーとを備えて成る場合、推力の推移をリアルタイムで監
視できることは勿論、同一端子数のＩＣでも端子の剛性
等が異なる場合など、最適な推力を見出すことができ
る。
【００４４】 制御系として、電気制御式空圧変換手
段の出力空圧を計測する圧力計を備え、推力設定手段が
圧力計の計測値を帰還入力し出力空圧を自動制御する負
帰還制御手段である場合、電気制御式空圧変換手段自体
の個体差を吸収して高精度の空圧設定が可能になるた
め、推力設定の高精度化を実現できる。
段の出力空圧を計測する圧力計を備え、推力設定手段が
圧力計の計測値を帰還入力し出力空圧を自動制御する負
帰還制御手段である場合、電気制御式空圧変換手段自体
の個体差を吸収して高精度の空圧設定が可能になるた
め、推力設定の高精度化を実現できる。
【図１】本発明の実施形態に係るＩＣテストハンドラに
おけるＩＣ押圧機構を示す縦断正面図である。
おけるＩＣ押圧機構を示す縦断正面図である。
【図２】図１の一部を拡大して示す部分縦断面図であ
る。
る。
【図３】同ＩＣ押圧機構の押圧時の状態を示す縦断正面
図である。
図である。
【図４】同ＩＣ押圧機構の駆動制御系を示すブロック図
である。
である。
【図５】ＩＣテストハンドラのトップカバーを取り外し
た状態を示す外観斜視図である。
た状態を示す外観斜視図である。
【図６】ＩＣテストハンドラの機構部分の構造を示す概
略平面図である。
略平面図である。
【図７】（ａ），（ｂ）は、ＩＣテストハンドラのコン
タクトトランスファのタクト動作を説明するめの概略図
である。
タクトトランスファのタクト動作を説明するめの概略図
である。
【図８】ＩＣテストハンドラの従来のコンタクトトラン
スファにおいて、コンタクトアームのコンタクトアタッ
チメントに横並びで２個のコンタクターを装着した状態
を示す斜視図である。
スファにおいて、コンタクトアームのコンタクトアタッ
チメントに横並びで２個のコンタクターを装着した状態
を示す斜視図である。
【図９】図８に示すコンタクトアタッチメントとコンタ
クターとを取り外した状態を示す斜視図である。
クターとを取り外した状態を示す斜視図である。
【図１０】従来のＩＣテストハンドラにおけるＩＣ押圧
機構を示す縦断正面図である。
機構を示す縦断正面図である。
１…搬入用トレイエレベータ ２…搬入用トランスファ ３…搬入用シャトル ４…ＩＣホルダ環状列機構 ５，６…コンタクトトランスファ ５ａ，６ａ…Ｙ軸駆動用ボールねじ ５ｂ，６ｂ…直動主体 ５ｃ，６ｃ…コンタクトアーム ７…ＩＣ恒温室 ８…ＩＣソケット ８ａ…スタッド穴 ８ｃ…温風ブローユニット ９…搬出用シャトル １０…クーリングトランスファ １１…クーリングシャトル １２…搬出用トランスファ １３…空きトレイエレベータ １４〜１６…搬出用トレイエレベータ １７…トレイトランスファ １８…外観検査部 ２３…コンタクトアタッチメント ２３ａ…位置決めブロック ２３ｂ…フック板 ２３ｃ…気路ブロック ２３−１〜２３−４，５２ａ〜５２ｄ…ドッキングブロ
ック ２５，２５−１〜２５−４…コンタクター ２５ａ…位置決めスタッド ２５ｃ…装着ロックピン ２５ｆ…ＩＣ吸着パッド ２５ｅ…吸気接手 ２５ｇ…仕切片 ３０，５０…共用アタッチメント ３０ｂ…ＩＣ ３１ａ〜３１ｄ…ばね収容空部 ３２…抜け止め板 ３３ａ〜３３ｄ…コイルスプリング ５１ａ〜５１ｄ…圧空シリンダ収容空部 ６１−１〜６１−４…圧空シリンダ ６２…モニター兼推力設定キー操作部 ６３…推力設定部 ６４…Ｄ／Ａコンバータ ６５…圧力計 ６６…Ａ／Ｄコンバータ ６７…電気制御式空圧変換器 Ａ…シリンダ室 Ｂ…シンンダ Ｃ…給気接手 Ｄ…ピストン Ｅ…Ｏリング Ｆ…受圧面 Ｇ…当接部位 Ｈ…基幹気路 Ｘ…出没間隙 Ｐ…空圧 Ｐ0 …圧空源。
ック ２５，２５−１〜２５−４…コンタクター ２５ａ…位置決めスタッド ２５ｃ…装着ロックピン ２５ｆ…ＩＣ吸着パッド ２５ｅ…吸気接手 ２５ｇ…仕切片 ３０，５０…共用アタッチメント ３０ｂ…ＩＣ ３１ａ〜３１ｄ…ばね収容空部 ３２…抜け止め板 ３３ａ〜３３ｄ…コイルスプリング ５１ａ〜５１ｄ…圧空シリンダ収容空部 ６１−１〜６１−４…圧空シリンダ ６２…モニター兼推力設定キー操作部 ６３…推力設定部 ６４…Ｄ／Ａコンバータ ６５…圧力計 ６６…Ａ／Ｄコンバータ ６７…電気制御式空圧変換器 Ａ…シリンダ室 Ｂ…シンンダ Ｃ…給気接手 Ｄ…ピストン Ｅ…Ｏリング Ｆ…受圧面 Ｇ…当接部位 Ｈ…基幹気路 Ｘ…出没間隙 Ｐ…空圧 Ｐ0 …圧空源。
Claims (8)
- 【請求項１】 搬入位置のＩＣを吸着保持してテスト位
置まで移動した後、下降させてＩＣソケットに前記ＩＣ
の端子を所定時間押圧し続け、しかる後、前記ＩＣを上
昇させて搬出位置に差し置くコンタクトトランスファを
備え、前記コンタクトトランスファは、少なくとも、前
記ＩＣを吸着保持するためのＩＣ吸着パッドを持つコン
タクターと、複数個の前記コンタクターが着脱可能のア
タッチメントと、前記アタッチメントを下端部に取り付
けた昇降アームとを有し、前記アタッチメントに対して
それぞれ前記コンタクターを下方向へ押圧付勢するため
のＩＣ押圧機構を備えて成るＩＣテストハンドラであっ
て、 前記コンタクター毎のＩＣ押圧機構は、前記アタッチメ
ント側から前記コンタクター側に当接する当接部位を持
ち、密閉室内の正圧静止流体を受圧面にて受圧して前記
下方向の出没間隙内で出没可能な受圧受動体を有するこ
とを特徴とするＩＣテストハンドラ。 - 【請求項２】 請求項１において、前記各受圧受動体の
密閉室は前記コンタクトアタッチメント側の唯一の基幹
気路に連通して成ることを特徴とするＩＣテストハンド
ラ。 - 【請求項３】 請求項１又は請求項２において、前記各
受圧受動体は圧空シリンダのピストンであることを特徴
とするＩＣテストハンドラ。 - 【請求項４】 請求項２又は請求項３において、前記各
受圧受動体が受圧する正圧の気圧生成手段として、圧空
源から供給される入力空圧を基に前記基幹気路内の気圧
を所定の正圧に設定制御する電気制御式空圧変換手段を
用いて成ることを特徴とするＩＣテストハンドラ。 - 【請求項５】 請求項４において、前記ＩＣ吸着パッド
が保持すべきＩＣの端子数情報を入力可能な推力設定操
作手段と、前記推力設定操作手段からの前記端子数情報
に基づいて前記電気制御式空圧変換手段の制御入力を設
定する推力設定手段とを有して成ることを特徴とするＩ
Ｃテストハンドラ。 - 【請求項６】 請求項４又は請求項５において、前記電
気制御式空圧変換手段の出力空圧を計測する圧力計と、
前記圧力計の計測値を監視可能なモニターとを備えて成
ることを特徴とするＩＣテストハンドラ。 - 【請求項７】 請求項５において、前記電気制御式空圧
変換手段の出力空圧を計測する圧力計を備え、前記推力
設定手段が前記圧力計の計測値を帰還入力し前記出力空
圧を自動制御する負帰還制御手段であることを特徴とす
るＩＣテストハンドラ。 - 【請求項８】 請求項６に規定するモニター又は請求項
７に規定する負帰還制御手段にパーソナルコンピュータ
を用いる成ることを特徴とするＩＣテストハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10370321A JP2000193716A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Ｉｃテストハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10370321A JP2000193716A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Ｉｃテストハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000193716A true JP2000193716A (ja) | 2000-07-14 |
Family
ID=18496615
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10370321A Pending JP2000193716A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | Ｉｃテストハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000193716A (ja) |
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-
1998
- 1998-12-25 JP JP10370321A patent/JP2000193716A/ja active Pending
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