JP4331165B2 - 電子部品試験装置 - Google Patents
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Description
上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に押し付けて試験を行う電子部品試験装置であって、前記被試験電子部品を保持するための実質的に平滑な保持面が形成された保持部を有し、前記保持部が前記コンタクト部の配列に対応するように微動可能に設けられたテストプレートと、前記被試験電子部品を移動させて、前記保持部の保持面に前記被試験電子部品を載置する移動手段と、前記被試験電子部品を保持した複数の前記テストプレートを、相互に独立して前記テストヘッドに移動させることが可能なプレート移動手段と、前記プレート移動手段を覆い、被試験電子部品に熱ストレスを印加するケーシングと、を備え、前記テストプレートは、前記プレート移動手段によって前記ケーシングの内部のみを移動し、前記保持部が前記被試験電子部品を保持した状態で前記被試験電子部品の試験が行われる電子部品試験装置が提供される。
[図2]図2は、図1のII−II線に沿う概略断面図である。
[図3]図3は、図1に示す電子部品試験装置内におけるICチップの搬送経路を示す概念図である。
[図4]図4は、図1のIV−IV線に沿うアライメント部の要部断面図である。
[図5]図5は、本発明の第1実施形態に係る電子部品試験装置のICチップの位置決めのための画像処理装置及びその周辺のブロック図である。
[図6]図6は、図1に示す電子部品試験装置における位置決めプレートの全体平面図及び開口部の拡大図である。
[図7]図7は、本発明の第2実施形態に係るアライメント部の要部断面図である。
[図8A]図8Aは、図1のII−II線に沿うチャンバ部の要部断面図である。
[図8B]図8Bは、図8Aに対して直交する方向のチャンバ部の要部断面図である。
[図9]図9は、複数のコンタクト部が配列された、図1に示す電子部品試験装置におけるテストヘッドの全体平面図及びコンタクト部の拡大図である。
[図10]図10は、図1に示す電子部品試験装置におけるテストプレートの全体平面図及び保持部の拡大図である。
[図11]図11は、図9に示すテストヘッドのコンタクト部に、図10に示すテストプレートの保持部に保持されたICチップを押し付ける前の状態を示す図である。
[図12]図12は、図6に示す位置決めプレートの開口部に、図10に示すテストプレートの保持部を挿入した状態を示す平面図である。
[図13]図13は、図12のXIII−XIII線に沿う断面図であり、位置決めプレートの開口部にテストプレートの保持部を挿入する前の状態を示す図である。
[図14]図14は、画像処理装置及びIC移動装置によるICチップの位置決めの手順を示すフローチャートである。
[図15]図15は、第1のカメラがICチップの前面を撮像している状態を示す図である。
[図16]図16は、図15において第1のカメラにより撮像された画像を示す図である。
[図17]図17は、IC移動装置がICチップを把持した状態を示す図である。
[図18]図18は、移動手段に把持されたICチップの背面を第2のカメラが撮像している状態を示す図である。
[図19]図19は、図18において第2のカメラにより撮像された画像を示す図である。
[図20]図20は、第1のカメラがテストプレートの保持部を撮像している状態を示す図である。
[図21]図21は、図20において第1のカメラにより撮像された画像を示す図である。
[図22]図22は、IC移動装置がICチップを位置決めしている状態を示す図である。
[図23]図23は、移動手段がICチップをテストプレートの保持部に載置している状態を示す図である。
[図24]図24は、ICチップを保持した状態のテストプレートの保持部の平面図である。
[図25]図25は、IC移動装置がICチップをテストプレートの各保持部に順次載置している状態を示す図である。
[図26]図26は、テストプレートに保持された各ICチップを、テストヘッドのコンタクト部に同時に押し付けている状態を示す図である。
[図27]図27は、本発明の第3実施形態に係る電子部品試験装置における第2のIC搬送装置及びIC移動装置を示す断面図である。
[図28A]図28Aは、本発明の第3実施形態に係る電子部品試験装置におけるIC移動装置の吸着パッド及び第2のIC装置の凹部の拡大断面図である。
[図28B]図28Bは、図28Aの上部平面図である。
この電子部品試験装置1のIC収容部200は、図2及び図3に示すように、試験前のICチップを収容したカスタマトレイを格納した試験前ICトレイ供給用ストッカ201と、試験済のICチップを収容するための空のカスタマトレイを格納した空トレイ供給用ストッカ202と、試験済のICチップを満載に収容したカスタマトレイを格納する試験済ICトレイ格納用ストッカ203と、各ストッカ201〜203の間でカスタマトレイを搬送するトレイ搬送装置210と、を備えている。
この電子部品試験装置1のローダ/アンローダ部300は、図1、図2及び図3に示すように、各窓部301、302に位置するカスタマトレイとローダ/アンローダ部300の領域内に位置する第2のIC搬送装置320との間で試験前/試験済のICチップを順次搬送する第1のIC搬送装置310と、ローダ/アンローダ部300の領域とアライメント部400の領域との間で試験前/試験済のICチップを搬送する2組の第2のIC搬送装置320と、を備えている。
この電子部品試験装置1のアライメント部400は、図1、図2及び図4に示すように、アライメント部400の領域内に位置する第2のIC搬送装置320からチャンバ部100内のテストプレート110との間で試験前/試験済のICチップを移動させるIC移動装置410(移動手段)と、IC移動装置410に把持された状態の試験前のICチップを撮像する2つの第2のカメラ420(第2の撮像手段)と、IC移動装置410により試験前のICチップが載置されるテストプレート110の保持部113を位置決めする位置決めプレート430と、を備えている。
本発明の第1実施形態に係る電子部品試験装置1のチャンバ部100は、図1、図2、図8A及び図8Bに示すように、テストプレート110に保持されたICチップの試験を行うテストヘッド150と、アライメント部400の下方の載置位置101から、熱ストレスが印加される印加位置102を経由して、テストヘッド150の下方に位置するテスト位置103にテストプレート110を移動させるプレート移動装置120(プレート移動手段)と、プレート移動装置120を覆うように密閉し、ICチップに熱ストレスを印加するケーシング130と、を備えている。
Claims (18)
- 被試験電子部品の入出力端子をテストヘッドのコンタクト部に押し付けて試験を行う電子部品試験装置であって、
前記被試験電子部品を保持するための実質的に平滑な保持面が形成された保持部を有し、前記保持部が前記コンタクト部の配列に対応するように微動可能に設けられたテストプレートと、
前記被試験電子部品を移動させて、前記保持部の保持面に前記被試験電子部品を載置する移動手段と、
前記被試験電子部品を保持した複数の前記テストプレートを、相互に独立して前記テストヘッドに移動させることが可能なプレート移動手段と、
前記プレート移動手段を覆い、被試験電子部品に熱ストレスを印加するケーシングと、を備え、
前記テストプレートは、前記プレート移動手段によって前記ケーシングの内部のみを移動し、
前記保持部が前記被試験電子部品を保持した状態で前記被試験電子部品の試験が行われる電子部品試験装置。 - 前記テストプレートの保持面は、前記被試験電子部品を吸着する吸着手段を有する請求項1記載の電子部品試験装置。
- 前記テストプレートの保持部を位置決めする位置決めプレートをさらに備え、
前記位置決めプレートが前記テストプレートの保持部を位置決めした状態で、前記移動手段が、前記テストプレートの保持部に前記被試験電子部品を載置する請求項1又は2の何れかに記載の電子部品試験装置。 - 前記プレート移動手段は、前記移動手段によって前記被試験電子部品が前記保持部に載置される載置位置と、前記被試験電子部品を前記コンタクト部に押し付けるテスト位置と、の間で前記テストプレートを移動させ、
前記位置決めプレートは、前記載置位置に設けられている請求項3記載の電子部品試験装置。 - 前記位置決めプレートは、前記テストプレートの保持部を挿入可能な開口部が、前記テストヘッドのコンタクト部の配列に相対的に対応するように形成されており、
前記テストプレートの保持部の側面が前記位置決めプレートの開口部の内壁面に当接した状態で、前記移動手段が、前記テストプレートの保持部に前記被試験電子部品を載置する請求項3又は4記載の電子部品試験装置。 - 前記保持部を前記保持面の平面方向に沿って押圧する押圧手段を備え、
前記テストプレートの保持部の側面が前記位置決めプレートの開口部の内壁面に当接するように、前記押圧手段は、前記テストプレートの保持部を押圧する請求項5記載の電子部品試験装置。 - 前記コンタクト部の周囲にガイド部が設けられており、
前記被試験電子部品を前記コンタクト部に押し付ける際に、前記押圧手段が前記ガイド部に向かって前記保持部を押圧することで、前記保持部が前記ガイド部によって案内される請求項6記載の電子部品試験装置。 - 前記ガイド部は、相互に非平行な方向に広がっている少なくとも2つのガイド面を有する請求項7記載の電子部品試験装置。
- 前記ガイド面に当接する前記保持部の側面から前記被試験電子部品までの距離が、前記コンタクト部の周囲のガイド面から前記コンタクト部までの距離と実質的に同一となるように、前記移動手段が、前記テストプレートの保持部に前記被試験電子部品を載置する請求項8記載の電子部品試験装置。
- 前記押圧手段は、前記保持部の側面が前記ガイド面に当接するように、前記テストプレートの保持部を押圧する請求項8又は9記載の電子部品試験装置。
- 前記押圧手段は、弾性部材を有しており、前記テストプレートに設けられている請求項6〜10の何れかに記載の電子部品試験装置。
- 前記移動手段による前記被試験電子部品の前記テストプレートの保持面への載置に際して、撮像手段及び画像処理手段を用いて、前記移動手段が前記被試験電子部品を位置決めする請求項1〜11の何れかに記載の電子部品試験装置。
- 前記被試験電子部品の平面運動を拘束可能な拘束手段をさらに備え、
前記移動手段は、前記拘束手段から前記テストプレートの保持面に前記被試験電子部品を移動させる請求項1〜12の何れかに記載の電子部品試験装置。 - 前記拘束手段は、前記被試験電子部品を収容可能な凹部である請求項13記載の電子部品試験装置。
- 前記凹部の開口周縁は、テーパ状に広がって開口している請求項14記載の電子部品試験装置。
- 前記移動手段は、前記被試験電子部品から導出する全ての前記入出力端子を包含する大きさを持つ吸着パッドを有する請求項13〜15の何れかに記載の電子部品試験装置。
- 前記凹部の底面には、当該凹部に収容された前記被試験電子部品を吸着可能な吸着ノズルが設けられており、
前記凹部に収容された前記被試験電子部品を前記吸着ノズルが吸着を維持した状態で、当該被試験電子部品に前記移動手段の前記吸着パッドが当接して吸着し、その後に、前記吸着ノズルの吸着を解除する請求項14記載の電子部品試験装置。 - 前記拘束手段は、前記テストヘッドのコンタクト部の配列に対応するように配置されていると共に、
前記移動手段の吸着パッドも、前記テストヘッドのコンタクト部の配列に対応するように配置されている請求項16又は17記載の電子部品試験装置。
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