JP5736328B2 - Ｌｅｄウェハーの供給装置及びその方法 - Google Patents

Description

本発明は、ＬＥＤウェハーの供給装置及びその方法に関し、より詳しくは、カセットに搭載されたＭＯＣＶＤ（Metal Organic Chemical Vapor Deposition）設備用ＬＥＤウェハーをキャリアに搬送して供給するためのＬＥＤウェハーの供給装置及びその方法に関する。

一般に、発光ダイオード（ＬＥＤ：Light Emitting Diode）等の製造のためにサファイアウェハーが用いられる。このようなＬＥＤウェハーは、キャリア（Carrier）に複数がロード（Loading）された状態で蒸着などの次の工程のためにチャンバーに供給される。

従来では、ＬＥＤウェハーをカセットからキャリアに搬送するために作業者がキャリアを供給し、前記キャリアにＬＥＤウェハーを載置した後に整列して再びＬＥＤウェハーが載置されたキャリアを回収する作業が行われた。

しかし、従来のように作業者が手動で作業を行う場合、作業時間が遅れて生産性が大きく低下し、人力の消耗が多く精度が低下するという問題点があった。

これらを解決するために、従来は一連の自動化されたＬＥＤウェハーの供給装置を用いることもあったが、作業性に優れないという問題点があった。そのため、より効率的な駆動メカニズムを有するＬＥＤウェハーの供給装置に対する開発が要求されている。

このような従来の問題点を解決するために、本発明では、ＬＥＤウェハーが載置されるキャリアの供給作業からＬＥＤウェハーが載置されたキャリアの回収作業まで一連の工程が効率的な駆動メカニズムで作動するＬＥＤウェハーの供給装置及びその方法を提供する。

また、本発明では、ＬＥＤウェハーが載置されるキャリアのポケットに対する位置情報を取得して、精密で迅速なＬＥＤウェハーの搬送作業を行うことができるＬＥＤウェハーの供給装置及びその方法を提供する。

本発明に係るＬＥＤウェハー供給装置は、キャリアを供給するための供給部と、前記キャリアにＬＥＤウェハーを載置するための載置部と、前記キャリアを回収するための回収部と、前記キャリアが前記供給部から前記載置部及び前記回収部まで搬送されるように往復移動するＹ軸キャリア搬送ロボットと、前記ＬＥＤウェハーの整列を行う整列部と、カセットに搭載された前記ＬＥＤウェハーを前記整列部まで搬送する搬送ロボットと、前記載置部内に前記Ｙ軸キャリア搬送ロボットと直交するように配置されて前記整列部に搬送された前記ＬＥＤウェハーをピックアップして前記キャリアまで搬送するように往復移動するＬＥＤウェハー搭載ロボットとを含む。

この場合、ＬＥＤウェハー供給装置は、前記キャリアに複数のＬＥＤウェハーを載置するために前記キャリアを真空吸着して３６０°回転させるキャリア整列部をさらに備える。

また、ＬＥＤウェハー供給方法は、供給部にキャリアを供給するステップと、前記キャリアを載置部に搬送するステップと、搬送ロボットがカセットに搭載されたＬＥＤウェハーを整列部に搬送するステップと、前記整列部に搬送されたＬＥＤウェハーを前記キャリアに載置するステップと、前記キャリアを回転するステップと、前記キャリアにＬＥＤウェハーが全て載置された場合に、前記キャリアを回収部に搬送するステップと、前記ＬＥＤウェハーが載置された前記キャリアを回収するステップと含む。

本発明の他の態様に係るＬＥＤウェハー供給装置は、複数のＬＥＤウェハーが搭載されるカセットと、前記ＬＥＤウェハーが載置されるための複数のポケットが形成されたキャリアと、前記キャリアに載置する前記ＬＥＤウェハーを整列する整列部と、前記カセットから前記整列部で前記ＬＥＤウェハーを搬送する搬送ロボットと、前記整列部に搬送された前記ＬＥＤウェハーを吸着及び吸着解除するピッカーと、前記ピッカーを固定させて前記ポケットの位置情報を取得する撮像部と、前記ピッカー及び前記撮像部を前記整列部から前記キャリアまで搬送させるＬＥＤウェハー搭載ロボットとを含むことを特徴とする。

この場合、前記撮像部は、前記ポケットの位置を低倍率で撮像する低倍率カメラ、及び前記ポケットの位置を高倍率で撮像する高倍率カメラを含むことを特徴とする。

一方、本発明の他の態様に係るＬＥＤウェハー供給方法は、ＬＥＤウェハーのフラット面が一方向に向くように前記ＬＥＤウェハーを回転するステップと、前記ＬＥＤウェハーをピッカーが吸着するステップと、ＬＥＤウェハー搭載ロボットを用いて前記ＬＥＤウェハーをキャリアに搬送するステップと、低倍率カメラで前記キャリアに形成されたポケットの位置を撮像するステップと、高倍率カメラで前記キャリアに形成されたポケットの位置を撮像するステップと、前記ＬＥＤウェハーを前記ポケットに載置するステップとを含む。

この場合、前記低倍率カメラは前記ポケットの全体を一地点から撮像し、前記高倍率カメラは前記ポケットの縁の一部分を複数の地点で撮像することを特徴とする。

本発明に係るＬＥＤウェハー供給装置及びその方法は、ＬＥＤウェハーの供給からＬＥＤウェハーのキャリアロード作業、キャリアの供給及び回収に関連する一連の工程を全て自動で行うことができる。

さらに、本発明に係るＬＥＤウェハー供給装置及びその方法は、１つのフレーム内でコンパクトな設置構造を有するため、使用スペースの制約をあまり受けず、製造費用の節減を期待することができる。

また、本発明に係るＬＥＤウェハー供給装置及びその方法は、迅速で正確にＬＥＤウェハーをキャリアにロードすることにより全体的な工程タイムを減らすことができ、不良率を顕著に低くすることができる非常に有用な発明である。

本発明の一実施形態に係るＬＥＤウェハー供給装置の平面図である。 本発明の一実施形態に係る低倍率カメラの側面図である。 本発明の一実施形態に係る高倍率カメラの側面図である。 本発明の一実施形態に係る撮像部の正面図である。 本発明の一実施形態に係るキャリアの平面図である。 本発明の一実施形態に係るキャリアの側断面図である。 本発明の一実施形態に係るＬＥＤウェハー供給方法を示すフローチャートである。 本発明の他の実施形態に係るＬＥＤウェハー供給装置の平面図である。 本発明の他の実施形態に係るＬＥＤウェハー供給装置の正面図である。 本発明の他の実施形態に係る撮像部を示す図である。 本発明の他の実施形態に係るキャリアの平面図である。 本発明の他の実施形態に係るキャリアの側断面図である。 本発明の他の実施形態に係るＬＥＤウェハー供給方法のフローチャートである。 本発明の他の実施形態に係るＬＥＤウェハー供給方法のフローチャートである。

以下、添付する図面を参照しながら、ＬＥＤウェハー供給装置の技術的構成を詳細に説明する。

図１〜図６に示すように、本発明の一実施形態に係るＬＥＤウェハー供給装置は、カセット１０と、キャリア３０と、整列部９３と、搬送ロボット４０と、ピッカー２０と、撮像部８０と、ＬＥＤウェハー搭載ロボット９５とを含む。

カセット１０は、複数のＬＥＤウェハー９９が搭載されるものであって、複数が設けられる。

キャリア３０は、前記ＬＥＤウェハー９９を載置するための複数のポケット３１を備える。キャリア３０は円板状に形成される。ポケット３１は、円板状のキャリア３０の中心を基準に円周方向に所定間隔離隔するように放射状に複数形成される。

整列部９３は、前記キャリア３０に載置される前記ＬＥＤウェハー９９を整列する。この場合、ＬＥＤウェハー９９の整列は、光センサなどを用いてＬＥＤウェハーのフラット面９８を確認してＯＣＲ ＣＡＭ検査を行う。

搬送ロボット４０は、前記カセット１０から前記整列部９３に前記ＬＥＤウェハー９９を搬送する。

ピッカー２０は、前記整列部９３に搬送された前記ＬＥＤウェハー９９を吸着及び吸着解除する。ピッカー２０は、ベルヌーイの定理を用いて上部に高圧の圧縮空気を供給し、下部に圧縮空気が吐出される側に流線型の吐出面を形成して、前記吐出面に沿って排出される圧縮空気によって吐出面の中央部に真空を形成することによってＬＥＤウェハー９９を非接触式で吸着する。

この場合、下部に排出されて吐出面に沿って移動する圧縮空気は、再び上部に抜けるようにする。その理由は、圧縮空気が下部のＬＥＤウェハー９９側に降りていくと、周辺の異物が飛散して異物がＬＥＤウェハー９９に付着して不良を発生させる可能性があるためである。

しかし、ピッカー２０は、その他の方法によってＬＥＤウェハー９９を吸着することも可能である。

撮像部８０は、前記ポケット３１の位置情報を取得する。このように撮像部８０によって取得されたポケット３１の位置情報は、制御部に送信され、前記制御部はＬＥＤウェハー９９をポケット３１の適所に載置できるようにする。さらに、撮像部８０は、図４に示すように前記ピッカー２０を下部中央に固定する。

ＬＥＤウェハー搭載ロボット９５は、前記ピッカー２０及び前記撮像部８０を前記整列部９３から前記キャリア３０まで搬送するようにＸ軸方向に往復移動する。

この場合、前記撮像部８０は、低倍率カメラ５０、及び高倍率カメラ６０を含む。

低倍率カメラ５０は、前記ポケット３１の位置を低倍率で撮像する。この場合、低倍率カメラ５０は、前記ポケット３１の全体を一地点から撮像する。即ち、低倍率カメラ５０は、ポケット３１の上部から所定距離離れた状態でポケット３１の全体的な形状を取得することによって、比較的速い速度でポケット３１の位置を見つける機能を実行する。

高倍率カメラ６０は、前記ポケット３１の位置を高倍率で撮像する。この場合、高倍率カメラ６０は、前記ポケット３１の一部分を複数の地点（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）で撮像する。即ち、高倍率カメラ６０は、ポケットの上部から所定距離離れた状態でポケット３１の縁の位置を複数の地点（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）で取得して、これに基づいてポケット３１の正確な位置を見つける。

整理すると、撮像部８０が低倍率カメラ５０及び高倍率カメラ６０で構成されることによって、キャリア３０に形成されたポケット３１の位置を迅速ながらも正確に見つけることが可能になる。

図７は、本発明の一実施形態に係るＬＥＤウェハー供給方法を示すフローチャートであり、

図７に示すように、ＬＥＤウェハー供給方法は、ＬＥＤウェハー９９のフラット面９８が一方向に向くように前記ＬＥＤウェハー９９を回転するステップと、前記ＬＥＤウェハー９９をピッカー２０が吸着するステップと、ＬＥＤウェハー搭載ロボット９５を用いて前記ＬＥＤウェハー９９をキャリア３０に搬送するステップと、低倍率カメラ５０で前記キャリア３０に形成されたポケット３１の位置を撮像するステップと、高倍率カメラ６０で前記キャリア３０に形成されたポケット３１の位置を撮像するステップと、前記ＬＥＤウェハー９９を前記ポケット３１に載置するステップとを含む。

この場合、前記低倍率カメラ５０は前記ポケット３１の全体を一地点から撮像し、前記高倍率カメラ６０は前記ポケット３１の縁の一部分を複数の地点（Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）で撮像する。

即ち、まずカセット１０に複数のＬＥＤウェハー９９が供給される。その後、搬送ロボット４０がカセット１０に搭載されたＬＥＤウェハー９９を整列部９３に搬送する。このように供給されたＬＥＤウェハー９９は、整列部９３でフラット面９８が一方向に向くように回転整列される。これは、フラット面９８がキャリア３０の中心を向く状態にＬＥＤウェハー９９をキャリア３０に載置するためである。その後、このように回転整列されたＬＥＤウェハー９９にＯＣＲ ＣＡＭ検査などを行ってもよい。

次に、ピッカー２０は、整列部９３に置かれたＬＥＤウェハー９９を吸着する。そして、ピッカー２０を固定している撮像部８０がＬＥＤウェハー搭載ロボット９５によってキャリア３０側に移動することによって、ＬＥＤウェハー９９がキャリア３０側に搬送されることになる。

一方、低倍率カメラ５０は、キャリア３０に形成されたポケット３１の位置を迅速に把握し、高倍率カメラ６０はポケット３１の正確な位置を取得する。このように、ポケット３１の位置が把握されれば、その位置情報を土台としてＬＥＤウェハー９９をポケット３１の正確な位置に搬送し、ピッカー２０のＬＥＤウェハー９９の吸着を解除してＬＥＤウェハー９９をキャリア３０に載置することによってロード作業が完了する。

このような１つのＬＥＤウェハー９９に対するロード作業が完了すれば、キャリア３０は空いている次のポケット３１にＬＥＤウェハー９９を載置できるように所定角度回転する。ＬＥＤウェハー搭載ロボット９５は、再び整列部９３側に移動して、前述した搬送作業を繰り返してキャリア３０に形成された複数のポケット３１に全てＬＥＤウェハー９９をロードしてもよい。

一方、図８〜図１２に示すように、本発明の他の実施形態に係るＬＥＤウェハー供給装置は、供給部３６０と、載置部３７０と、回収部３８０と、Ｙ軸キャリア搬送ロボット３９０と、整列部３９３と、搬送ロボット３４０と、ＬＥＤウェハー搭載ロボット３９５とを含む。

供給部３６０はキャリア３３０を供給するためのものであり、載置部３７０は前記キャリア３３０にＬＥＤウェハー３９９を載置するためのものであり、回収部３８０はＬＥＤウェハー３９９が載置された前記キャリア３３０を回収するためのものである。

供給部３６０、載置部３７０、及び回収部３８０は、順番に一列に配置されることによって、全てが１つのフレーム内の空間に配置される。しかし、それぞれを隔壁で仕切ることによって独立的な空間を形成することも可能であり、または、供給部３６０、載置部３７０、及び回収部３８０は、それぞれ別々に製作して連結することも可能である。

Ｙ軸キャリア搬送ロボット３９０は、前記キャリア３３０が前記供給部３６０から前記載置部３７０及び前記回収部３８０まで搬送されるように往復移動する。即ち、Ｙ軸キャリア搬送ロボット３９０は、供給部３６０から載置部３７０を過ぎて回収部３８０まで連結されるコンベヤー及び前記コンベヤーに連結されて直線移動するステージ、及び前記ステージを駆動させるモータなどで構成してもよい。

この場合、コンベヤーは、ステージが直線移動するようにガイドする機能を行い、ステージはキャリア３３０を固定するための部材である。

整列部３９３は、前記キャリア３３０に載置される前記ＬＥＤウェハー３９９を整列する。この場合、ＬＥＤウェハー３９９の整列は、光センサなどを用いてＬＥＤウェハーのフラット面３９８を確認してＯＣＲ ＣＡＭ検査を行う。

搬送ロボット３４０は、カセット３１０から前記整列部３９３で前記ＬＥＤウェハー３９９を搬送する。

ＬＥＤウェハー搭載ロボット３９５は、前記載置部３７０内に前記Ｙ軸キャリア搬送ロボット３９０と直交するように配置され、前記整列部３９３に搬送された前記ＬＥＤウェハー３９９をピックアップして前記キャリア３３０まで搬送するように往復移動する。

この場合、前記整列部３９３に搬送されたＬＥＤウェハー３９９のピックアップのためにピッカー３２０を用いてもよい。ピッカー３２０は、前記整列部３９３に搬送された前記ＬＥＤウェハー３９９を吸着及び吸着解除する。ピッカー３２０は、ベルヌーイの定理を用いて上部に高圧の圧縮空気を供給し、下部に圧縮空気が吐出される側に流線型の吐出面を形成して、前記吐出面に沿って排出される圧縮空気によって吐出面の中央部に真空を形成することによってＬＥＤウェハー３９９を非接触式で吸着する。

この場合、下部に排出されて吐出面に沿って移動する圧縮空気は、再び上部に抜けるようにする。その理由は、圧縮空気が下部のＬＥＤウェハー３９９側に降りていくと、周辺の異物が飛散して異物がＬＥＤウェハー３９９に付着して不良を発生させる可能性があるためである。

しかし、ピッカー３２０は、その他の方法によってＬＥＤウェハー３９９を吸着することも可能である。

また、ＬＥＤウェハー供給装置は、キャリア整列部をさらに備える。

キャリア整列部は、前記キャリア３３０に複数のＬＥＤウェハー３９９が載置されるために前記キャリア３３０を真空吸着して３６０°回転させる。

このような構造によって、本発明の一実施形態に係るＬＥＤウェハー供給装置は、ＬＥＤウェハー３９９の供給からＬＥＤウェハー３９９のキャリアロード作業、キャリア３３０の供給及び回収に関連する一連の工程を全て自動で行えるようになる。

さらに、本発明の一実施形態に係るＬＥＤウェハー供給装置は、１つのフレーム内でコンパクトな設置構造を有するため、使用スペースの制約をあまり受けず、製造費用の節減を期待することができる。

一方、ＬＥＤウェハー供給装置は、撮像部３７５をさらに備えてもよい。撮像部３７５は、低倍率カメラ３７６及び高倍率カメラ３７７を含んでもよい。

低倍率カメラ３７６は、前記ポケット３３１の位置を低倍率で撮像する。この場合、低倍率カメラ３７６は、前記ポケット３３１の全体を一地点から撮像する。即ち、低倍率カメラ３７６は、ポケット３３１の上部から所定距離離れた状態でポケット３３１の全体的な形状を取得することによって、比較的速い速度でポケット３３１の位置を見つける機能を行う。

高倍率カメラ３７７は、前記ポケット３３１の位置を高倍率で撮像する。この場合、高倍率カメラ３７７は前記ポケット３３１の一部分を複数の地点（Ｓ３１，Ｓ３２，Ｓ３３，Ｓ３４）で撮像する。即ち、高倍率カメラ３７７は、ポケットの上部から所定距離離れた状態でポケット３３１の縁の位置を複数の地点（Ｓ３１，Ｓ３２，Ｓ３３，Ｓ３４）で取得して、これに基づいてポケット３３１の正確な位置を見つける。

一方、図１３及び図１４を参照すれば、本発明の他の実施形態に係るＬＥＤウェハー供給方法は、供給部３６０にキャリア３３０を供給するステップと、前記キャリア３３０を載置部３７０に搬送するステップと、搬送ロボット３４０がカセット３１０に搭載されたＬＥＤウェハー３９９を整列部３９３に搬送するステップと、前記整列部３９３に搬送されたＬＥＤウェハー３９９を前記キャリア３３０に載置するステップと、前記キャリア３３０を回転するステップと、前記キャリア３３０にＬＥＤウェハー３９９が全て載置されれた場合に、前記キャリア３３０を回収部３８０に搬送するステップと、前記ＬＥＤウェハー３９９が載置された前記キャリア３３０を回収するステップとを含む。

即ち、まずカセット３１０に複数のＬＥＤウェハー３９９が供給される。その後、搬送ロボット３４０がカセット３１０に搭載されたＬＥＤウェハー３９９を整列部３９３に搬送する。このように供給されたＬＥＤウェハー３９９は、整列部３９３でフラット面３９８が一方向に向くように回転整列される。これは、フラット面３９８がキャリア３３０の中心を向く状態にＬＥＤウェハー３９９をキャリア３３０に載置するためである。その後、このように回転整列されたＬＥＤウェハー３９９にＯＣＲ ＣＡＭ検査などを行ってもよい。

次に、ピッカー３２０は、整列部３９３に置かれたＬＥＤウェハー３９９を吸着する。そして、ピッカー３２０を固定している撮像部３７５がＬＥＤウェハー搭載ロボット３９５によってキャリア３３０側に移動することによって、ＬＥＤウェハー３９９がキャリア３３０側に搬送されることになる。

一方、低倍率カメラ３７６はキャリア３３０に形成されたポケット３３１の位置を迅速に把握して、高倍率カメラ３７７はポケット３３１の正確な位置を取得する。このように、ポケット３３１の位置が把握されれば、その位置情報を土台としてＬＥＤウェハー３９９をポケット３３１の正確な位置に搬送し、ピッカー３２０のＬＥＤウェハー３９９の吸着を解除してＬＥＤウェハー３９９をキャリア３３０に載置する。

このような１つのＬＥＤウェハー３９９に対するロード作業が完了すれば、キャリア３３０は空いている次のポケット３３１にＬＥＤウェハー３９９を載置できるように所定角度回転する。ＬＥＤウェハー搭載ロボット３９５は、再び整列部３９３側に移動して、前述した搬送作業を繰り返してキャリア３３０に形成された複数のポケット３３１に全てＬＥＤウェハー３９９をロードしてもよい。

また、受動または自動で供給部３６０にキャリア３３０を供給する作業が行われる。供給されたキャリア３３０は、上昇されてＹ軸キャリア搬送ロボット３９０によって載置部３７０に搬送される。この場合、キャリア３３０の整列作業が行われて、基準マークを確認する作業が行われてもよい。

このように、すべてのＬＥＤウェハー３９９のロード作業が完了すれば、ＬＥＤウェハー３９９が載置された前記キャリア３３０はＹ軸キャリア搬送ロボット３９０によって回収部３８０に搬送されるようになる。

回収部３８０に搬送されたキャリア３３０は、受動または自動で回収され、一連のＬＥＤウェハー供給工程が完了する。

上述したように、本発明に係るＬＥＤウェハーの供給装置及び供給方法を図示した実施形態を参考にしながら説明したが、これらは例示的なものに過ぎず、当業者であれば誰もがこれらから多様な変形及び均等な異なる実施形態が可能であることを理解することができる。したがって、明確な技術的保護範囲は、添付する特許請求の範囲の技術的思想によって定められなければならない。

１０：カセット
２０：ピッカー
３０：キャリア
３１：ポケット
４０：搬送ロボット
５０：低倍率カメラ
６０：高倍率カメラ
８０：撮像部
９３：整列部
９９：ＬＥＤウェハー

Claims (3)

1. 複数のＬＥＤウェハー（９９）が搭載されるカセット（１０）と、
   前記ＬＥＤウェハー（９９）を載置するための複数のポケット（３１）が形成されたキャリア（３０）と、
   前記キャリア（３０）に載置される前記ＬＥＤウェハー（９９）を整列する整列部（９３）と、
   前記カセット（１０）から前記整列部（９３）に前記ＬＥＤウェハー（９９）を搬送する搬送ロボット（４０）と、
   前記整列部（９３）で整列された前記ＬＥＤウェハー（９９）を吸着及び吸着解除するピッカー（２０）と、
   前記ポケット（３１）の位置を低倍率で撮像する低倍率カメラ（５０）と、前記ポケット（３１）の位置を高倍率で撮像する高倍率カメラ（６０）と、を含み、前記ピッカー（２０）、前記低倍率カメラ（５０）及び高倍率カメラ（６０）を一体的に固定し、前記ポケット（３１）の位置情報を取得する撮像部（８０）と、
   前記整列部（９３）で整列されたＬＥＤウェハー（９９）を吸着した前記ピッカー（２０）及び前記撮像部（８０）を移動させて、前記ＬＥＤウェハー（９９）を前記整列部（９３）から前記キャリア（３０）の位置まで搬送し、前記撮像部（８０）で取得された前記ポケット（３１）の位置情報に基づいて前記ＬＥＤウェハー（９９）を前記ポケット（３１）に載置するＬＥＤウェハー搭載ロボット（９５）と、
   前記キャリアを回収するための回収部と、
   を含むことを特徴とするＬＥＤウェハー供給装置。
2. 複数のポケット（３３１）が形成されたキャリア（３３０）を供給するための供給部（３６０）と、
   前記キャリア（３３０）にＬＥＤウェハー（３９９）を載置するための載置部（３７０）と、
   前記キャリア（３３０）を回収するための回収部（３８０）と、
   前記キャリア（３３０）が前記供給部（３６０）から前記載置部（３７０）及び前記回収部（３８０）まで搬送されるように往復移動するＹ軸キャリア搬送ロボット（３９０）と、
   前記ＬＥＤウェハー（３９９）の整列を行う整列部（３９３）と、
   カセット（３１０）に搭載された前記ＬＥＤウェハー（３９９）を前記整列部（３９３）まで搬送する搬送ロボット（３４０）と、
   前記ポケット（３３１）の位置情報を取得する撮像部（３７５）と、
   前記載置部（３７０）内に前記Ｙ軸キャリア搬送ロボット（３９０）と直交するように配置され、前記整列部（３９３）で整列された前記ＬＥＤウェハー（３９９）をピックアップして前記キャリア（３３０）まで搬送するように往復移動可能であり、前記撮像部（３７５）で取得された前記ポケット（３３１）の位置情報に基づいて前記ＬＥＤウェハー（３９９）を前記ポケット（３３１）に載置するＬＥＤウェハー搭載ロボット（３９５）と、
   を含むことを特徴とするＬＥＤウェハー供給装置。
3. 前記キャリア（３３０）に複数のＬＥＤウェハー（３９９）を載置するために前記キャリア（３３０）を真空吸着して３６０°回転させることが可能なキャリア整列部をさらに備えることを特徴とする請求項２に記載のＬＥＤウェハー供給装置。

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