JPH04133438U - ウエハの抜取方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 インスペクションウエハのサンプル取出しが
容易になる。 【構成】 ウエハ送込機構３はウエハ１をカセット４の
所定の棚に収納する。インスペクション指令が発せられ
ると、ウエハ送込機構３はインスペクション用ウエハを
トレー５に収納する。インスペクション後、ウエハは再
びトレー５に入れられ、ウエハ送込機構３はトレー５か
らウエハを受け取り、カセット４の所定の棚に収納す
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ウエハの抜取方法に係り、特にプロービングマシンによる検査済ウ エハをインスペクション用の為に選択的に抜取るウエハの抜取方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体の製造工程においては、プロービングマシンによりウエハ上に形成され た半導体は検査され、かつその結果によりウエハ上にマーキングされる。 その後、プロービングマシンによる検査済のウエハは自動的に全部カセットに 収納されるのであるが、この中から一枚のウエハがインスペクション用のために 選択的に取り出される。ここでウエハのインスペクションとはプロービングマシ ンによる検査の際測定用接触触針が正確に接触されているか、不合格チップに正 しくマーキングされているかをチェックする作業であって、プロービングマシン の取り扱い上不可欠の作業である。

【０００３】 従来自動収納形のプロービングマシンにおいては、第２図に示すように、プロ ービングマシンによる検査済のウエハ１は搬送ベルト２に載せられて図の右方向 に搬送されて、送込機構３に載せられる。ついでウエハの送込機構３はその右側 に位置するカセット４の所定の高さの棚まで上下動して、その上に載せられたウ エハをその棚に押し込む。以上の動作を繰り返し、ウエハ収納カセットに検査済 ウエハを収納してゆく。

【０００４】 この作業中、検査済ウエハを１枚抜き取ってプロービングマシンが正常に動作 しているか否かをインスペクションする時は、収納カセットに送られているウエ ハを抜き出してインスペクションし、検査終了後カセットの空いている棚に戻す 。

【０００５】

【考案が解決しようとする課題】 しかし従来の抜取方法はウエハがカセット内に所定の順序で自動的に収納され る為、検査終了して空の棚が分るまで抜き取ったウエハをどこかに置いて待つ必 要があり、作業者に無駄な待ち時間を必要とさせ、かつカセットに正確に戻すた めの繁雑な作業が要求され、作業の合理化に反する。本考案はこの点を改善した ものである。

【０００６】

【実施例】

第１図において、カセット４の上にチェックすべきウエハを１枚受け取るため のインスペクション用トレー５を後述する磁石７を介して着脱自在に別枠に設け る。 そしてプロービングマシンによる検査済でカセットに送り込まれるウエハ１に 対して、インスペクション指令を発することにより、ウエハ送り込み機構３は受 け取ったウエハを保持してインスペクショントレー５の高さに上下動して、ウエ ハをトレー５の中に送り込む。そして収容完了を表示する。そこでトレー５の上 のカバー６を開いて、トレー上のウエハを取り出して顕微鏡によってインスペク ションを行なう。このときピンセットでウエハをつまんで出しても良いが、滑り 落ちることを防止するため、トレー５をカバー６から取り出して取り扱う。

【０００７】 そしてインスペクションが終わった所で再びトレー５に納めて、インスペクシ ョン終了の信号を入れる。そこでウエハ送り込み機構３はトレー５からウエハを 受け取って、そのウエハが入るために空にして置いたカセットの棚にウエハを押 し込む。 なお第３図、第４図に取り出し可能のトレーの一例を示す。ここでは径の相違 するウエハを滑り落とすことなく安定して保持取り扱うことができるように径に 対応した段が付けられ、固定部との間に磁石７をもって着脱自在にセットされる ようにする。トレーには中心に向かって切り欠け９を有し、ここからピンセット をもってウエハを挟むこともできる。ハンドル１０はカバー６内からトレーを引 き出してインスペクションを行なう時に用いる。

【０００８】 なお本装置の制御は電機装置によって行なわれ、トレーが所定の位置にセット されており、かつトレー上にウエハが存在していないことを電気的に確認したと きインスペクション指令がウエハのトレーへの送り込みを作動指令する。またイ ンスペクションが終了して、トレーにウエハが載った状態でインスペクション終 了の指令がインスペクション済ウエハの棚入れ作動の指令を行なう。

【０００９】 なお、上記の説明においてはカセットを固定して、送り込み機構３が上下動す る場合について述べたカセットを上下動し、送り込み機構が固定状態にある場合 もまったく同じである。

【００１０】

【考案の効果】

この考案により、ウエハのサンプル取り出しが簡単になり、インスペクション の終わったウエハは直ちに定位置に戻され、自動的に決められた棚に押し込まれ る。そのため従来のように待ち時間の浪費がなく、ウエハの収容順序も間違いが なく、以後の工程に関する管理が連続して可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は本考案の収容部の構成をなす説明図

【図２】図２は従来技術の説明図

【図３】図３はインスペクショントレーの断面図

【図４】図４はその平面図

【符号の説明】

１…ウエハ ２…搬送ベルト ３…ウエハ送り込み機構 ４…カセット ５…インスペクショントレー ６…カバー

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハ上の半導体チップを検査するプロ
   ービングマシンのウエハをカセットに収容する方法にお
   いて、プロービングマシンでウエハ上の半導体を検査す
   る工程と、検査済のウエハをカセットに向けて搬送し、
   カセットに収納する工程と、インスペクション指令に基
   づいて検査済のウエハをカセットに併設されたトレーに
   収納する工程と、トレー内のウエハを取り出してインス
   ペクションを行なう工程と、インスペクション済のウエ
   ハをトレーに戻す工程と、トレーのウエハをカセットに
   搬送する工程、とにより構成されるウエハの抜取方法。