JPH0333062Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0333062Y2 JPH0333062Y2 JP1986116095U JP11609586U JPH0333062Y2 JP H0333062 Y2 JPH0333062 Y2 JP H0333062Y2 JP 1986116095 U JP1986116095 U JP 1986116095U JP 11609586 U JP11609586 U JP 11609586U JP H0333062 Y2 JPH0333062 Y2 JP H0333062Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafers
- tray
- cassette
- inspected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 48
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
- Pile Receivers (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〈利用分野〉
本考案は半導体の製造工程において、ウエハ上
に形成された半導体を検査し、かつその結果によ
りマーキングされたウエハの取扱装置に関するも
ので、検査済のウエハは自動的に全部カセツトに
収納されるのであるが、この中から１枚のインス
ペクシヨンのために選択的に取り出そうとする装
置に係る。ここでウエハのインスペクシヨンとは
検査の際測定用接触針が正確に接触しているか、
不合格チツプに正しくマーキングされているかを
チエツクする作業であつて、プローバーの取り扱
い上不可欠の作業である。本考案はこのウエハの
サンプリングを簡単に行なうための装置である。
に形成された半導体を検査し、かつその結果によ
りマーキングされたウエハの取扱装置に関するも
ので、検査済のウエハは自動的に全部カセツトに
収納されるのであるが、この中から１枚のインス
ペクシヨンのために選択的に取り出そうとする装
置に係る。ここでウエハのインスペクシヨンとは
検査の際測定用接触針が正確に接触しているか、
不合格チツプに正しくマーキングされているかを
チエツクする作業であつて、プローバーの取り扱
い上不可欠の作業である。本考案はこのウエハの
サンプリングを簡単に行なうための装置である。
〈従来技術〉
従来自動収納形のプロービングマシンにおいて
は、第２図に示すように、検査済のウエハ１は搬
送ベルト２に載せられて図の右方向に搬送され
て、送込機構３に載せられる。ついでウエハの送
込機構３はその右側に位置するカセツト４の所定
の高さの棚まで上下動して、その上に載せられた
ウエハをその棚に押し込む。以上の動作を繰り返
し、ウエハ収納カセツトに検査済ウエハを収納し
てゆく。そこで検査済ウエハを１枚抜き取つてプ
ロービングマシンが正常に動作しているか否かを
インスペクトする時は、以下プロービングマシン
の行う通常の自動のテストを「検査」とし、検査
済みのウエハを取出して改めて肉眼により調べる
ことを「インスペクト」とする。収納カセツトに
送られてくるウエハを抜き出してインスペクト
し、カセツトが満杯になつた時点で空いている棚
に戻す。しかしこれでは抜き取つたウエハをカセ
ツトが満杯になるまで、どこかに置いて待つ必要
があり、作業者に無駄な待ち時間を必要とさせ、
かつカセツトに正確に戻すための繁雑な作業が要
求され、作業の合理化に反する。本考案はこの点
を改善したものである。
は、第２図に示すように、検査済のウエハ１は搬
送ベルト２に載せられて図の右方向に搬送され
て、送込機構３に載せられる。ついでウエハの送
込機構３はその右側に位置するカセツト４の所定
の高さの棚まで上下動して、その上に載せられた
ウエハをその棚に押し込む。以上の動作を繰り返
し、ウエハ収納カセツトに検査済ウエハを収納し
てゆく。そこで検査済ウエハを１枚抜き取つてプ
ロービングマシンが正常に動作しているか否かを
インスペクトする時は、以下プロービングマシン
の行う通常の自動のテストを「検査」とし、検査
済みのウエハを取出して改めて肉眼により調べる
ことを「インスペクト」とする。収納カセツトに
送られてくるウエハを抜き出してインスペクト
し、カセツトが満杯になつた時点で空いている棚
に戻す。しかしこれでは抜き取つたウエハをカセ
ツトが満杯になるまで、どこかに置いて待つ必要
があり、作業者に無駄な待ち時間を必要とさせ、
かつカセツトに正確に戻すための繁雑な作業が要
求され、作業の合理化に反する。本考案はこの点
を改善したものである。
〈本考案の実施例〉
第１図において、カセツト４の上にチエツクす
べきウエハを１枚受け取るためのインスペクシヨ
ントレー５を別枠に設ける。そして検査済でカセ
ツトに送り込まれるウエハ１に対して、インスペ
クシヨン指令を発することにより、ウエハ送り込
み機構３は受け取つたウエハを保持してインスペ
クシヨントレー５の高さに上下動して、ウエハを
トレー５の中に送り込む。そして収容完了を表示
する。そこでトレー５の上のカバー６を開いて、
トレー上のウエハを取り出してインスペクシヨン
（顕微鏡によつて）を行なう。このときピンセツ
トでウエハをつまんで出しても良いが、滑り落ち
ることを防止するため、トレーを取り出し可能と
して取り扱うこともできる。そしてインスペクシ
ヨンが終わつた所で再びトレー５に納めて、イン
スペクシヨン終了の信号を入れる。そこでウエハ
送り込み機構３はトレー５からウエハを受け取つ
て、そのウエハが入るために空にして置いたカセ
ツトの棚にウエハを押し込む。
べきウエハを１枚受け取るためのインスペクシヨ
ントレー５を別枠に設ける。そして検査済でカセ
ツトに送り込まれるウエハ１に対して、インスペ
クシヨン指令を発することにより、ウエハ送り込
み機構３は受け取つたウエハを保持してインスペ
クシヨントレー５の高さに上下動して、ウエハを
トレー５の中に送り込む。そして収容完了を表示
する。そこでトレー５の上のカバー６を開いて、
トレー上のウエハを取り出してインスペクシヨン
（顕微鏡によつて）を行なう。このときピンセツ
トでウエハをつまんで出しても良いが、滑り落ち
ることを防止するため、トレーを取り出し可能と
して取り扱うこともできる。そしてインスペクシ
ヨンが終わつた所で再びトレー５に納めて、イン
スペクシヨン終了の信号を入れる。そこでウエハ
送り込み機構３はトレー５からウエハを受け取つ
て、そのウエハが入るために空にして置いたカセ
ツトの棚にウエハを押し込む。
なお第３図、第４図に取り出し可能のトレーの
一例を示す。ここでは径の相違するウエハを取り
扱うことができるように段が付けられ、固定部と
の間に磁石７をもつて一定の状態にセツトされる
ようにする。トレーには中心に向かつて切り欠け
９を有し、ここからピンセツトをもつてウエハを
挾むことができる。そしてハンドル１０によつて
トレーを引き出しインスペクシヨンを行なう。
一例を示す。ここでは径の相違するウエハを取り
扱うことができるように段が付けられ、固定部と
の間に磁石７をもつて一定の状態にセツトされる
ようにする。トレーには中心に向かつて切り欠け
９を有し、ここからピンセツトをもつてウエハを
挾むことができる。そしてハンドル１０によつて
トレーを引き出しインスペクシヨンを行なう。
なお本装置の制御は電気装置によつて行なわ
れ、トレーが所定の位置にセツトされており、か
つトレー上にウエハが存在していないことを電気
的に確認したときインスペクシヨン指令がウエハ
のトレーへの送り込みを作動指令する。またイン
スペクシヨンが終了して、トレーにウエハが載つ
た状態でインスペクシヨン終了の指令がウエハの
棚入れ作動の指令を行なう。
れ、トレーが所定の位置にセツトされており、か
つトレー上にウエハが存在していないことを電気
的に確認したときインスペクシヨン指令がウエハ
のトレーへの送り込みを作動指令する。またイン
スペクシヨンが終了して、トレーにウエハが載つ
た状態でインスペクシヨン終了の指令がウエハの
棚入れ作動の指令を行なう。
なお、上記の説明においてはカセツトを固定し
て、送り込み機構３が上下動する場合について述
べたカセツトを上下動し、送り込み機構が固定状
態にある場合もまつたく同じである。
て、送り込み機構３が上下動する場合について述
べたカセツトを上下動し、送り込み機構が固定状
態にある場合もまつたく同じである。
〈効果〉
この考案により、ウエハのサンプル取り出しが
簡単に可能で、インスペクシヨンの終わつたウエ
ハは直ちに定位置に戻され、自動的に決められた
棚に押し込まれる。そのため従来のように待ち時
間の浪費がなく、ウエハの収容順序も間違いがな
く、以後の工程に関する管理が連続して可能とな
る。
簡単に可能で、インスペクシヨンの終わつたウエ
ハは直ちに定位置に戻され、自動的に決められた
棚に押し込まれる。そのため従来のように待ち時
間の浪費がなく、ウエハの収容順序も間違いがな
く、以後の工程に関する管理が連続して可能とな
る。
第１図は本考案の収容部の構成を示す説明図、
第２図は従来技術の説明図、第３図はインスペク
シヨントレーの断面図、第４図はその平面図。 １：ウエハ、２：搬送ベルト、３：ウエハ送り
込み機構、４：カセツト、５：インスペクシヨン
トレー、６：カバー。
第２図は従来技術の説明図、第３図はインスペク
シヨントレーの断面図、第４図はその平面図。 １：ウエハ、２：搬送ベルト、３：ウエハ送り
込み機構、４：カセツト、５：インスペクシヨン
トレー、６：カバー。
Claims (1)
- ウエハ上の半導体チツプを検査するプロービン
グマシンのウエハをカセツトに収容する装置にお
いて、カセツトの上部の別枠に設けられるインス
ペクシヨン用のウエハを受取り、かつ径の相違す
るウエハを安定して取出し可能のトレーと、カセ
ツトの棚及びトレーの位置を選択的に移動可能で
ウエハを送り込むウエハ送込機構と、指令により
搬送されてくる検査済ウエハを上記のトレーに選
択的に送り込み、かつインスペクシヨン済のウエ
ハをトレーからそのウエハの収容されるべきカセ
ツトの棚に送り込むように作動制御を行なう電気
装置とにより構成されるウエハの抜取装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986116095U JPH0333062Y2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986116095U JPH0333062Y2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6322738U JPS6322738U (ja) | 1988-02-15 |
| JPH0333062Y2 true JPH0333062Y2 (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=31000365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986116095U Expired JPH0333062Y2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0333062Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63280434A (ja) * | 1987-05-12 | 1988-11-17 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプロ−バ |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59175740A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | Telmec Co Ltd | ウエハ検出装置 |
-
1986
- 1986-07-28 JP JP1986116095U patent/JPH0333062Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59175740A (ja) * | 1983-03-25 | 1984-10-04 | Telmec Co Ltd | ウエハ検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6322738U (ja) | 1988-02-15 |
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