JPS6387738A - プローバの制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明はウェハの搬送から測定までを自動的に行なう全
自動プローバの制御方法に係わり、特に搬送系と測定系
を機能的に分離可能にした全自動プローバの制御方法に
関する。

［発明の技術的背景コ 近年のＬＳＩ生産技術の路進に伴ないウェハの測定装置
であるプローバもマニュアルから全自動へと変化しつつ
ある。

全自動プローバにおいてはウェハの搬送から測定までを
コンピュータ制御によって自動化し、その制御方法は第
１図の概略構成図及び第２図にフローチャートで示すよ
うに搬送系りにおいて、カセット１から取り出されたウ
ェハ２は、プリアラインメントの後、ロードポジション
において測定系の測定ステージ３に搬送され、測定系Ｐ
においてファインアラインメント及びプロービング等が
実行される。この間、搬送系りではカセットから次のウ
ェハを取り出し、プリアラインメントをした後、待機状
態になる。そして測定系Ｐでのウェハ２の測定が終了し
、測定ステージ３がアンロードポジションに移動してく
ると、搬送系りは測定ステージ３上の測定済ウェハ２′
を取り上げると共に、待機中のウェハを測定ステージ３
上にのせ、測定済のウェハ２′は元のカセット１へ収納
する。

測定ステージ３に搭載されたウェハは前述のように測定
系において測定が開始する。カセットｌ内に未測定のウ
ェハがある間は以上の５ｔｅｐが繰り返される。

カセット１内に未測定のウェハ２がなくなると、測定ス
テージ３上の最後の測定法ウェハをカセット１に収納し
、−カセット分の測定が終了する。

［従来技術の問題点コ ところで、上記の全自動制御システムにおいては、搬送
系が故障した場合でもプローバ全体として機能しなくな
り、正常である測定系が使えないということがある。又
、測定中、例えばテスターの測定プログラムが違って入
力されていたり、プローブ針で正常にチップのパッド（
電極）に接触していないなど何らかの原因で良品チップ
が出ない場合があるが、このような時にウェハを取り出
して金属顕微鏡等でパッドに針が正常に当っているかを
確認しようとしても測定ステージ上のウェハを直ちに検
査することはできないので、オペレータはウェハが搬送
系を通過し、カセットに収納されるまで待たねばならな
い、測定終了後の目視検査（不良測定を防ぐ目的で正常
にマーキングされたか、正常にプローブ針がパッドに当
たっているかなどを金属顕微鏡等で検査する）を行う場
合も同様で、測定法ウェハがカセットに収納する経路途
中のアンロードストップテーブル（−時ウェハ載置場所
）まで搬送されるまで、目視検査を行うことができない
。更に、全自動ブローμにおいては最初に搬送されたウ
ェハについて、プローブ針とパッドの位置、プローブ針
のパッドへのくい込み量、測定エリアの調整マーキング
装置の検査などを実施するため、最初のウェハ上のチッ
プはマーキング装置の検査等によって必然的に不良品扱
いとなるものがあり、全体として歩留りの低下を招いて
いる。このため、同品種のチェック用ウェハをまず測定
ステージ上に搬送して上記の条件設定、マーキング装置
の検査を行う方法がとられているが、この場合も従来の
全自動ブローμでは、カセット内の一枚のウェハをチェ
ック用ウェハと入れかえるか、又は測定用ウェハの入っ
たカセットをセットする前にチェック用ウェハが一枚入
ったカセットをセットするため、操作性が悪く、効率が
低がるという問題点があった。

［発明の目的］ 本発明は上記従来の問題点を解決するためになされたも
ので、全自動ブローμの測定系と搬送系を機能的に切り
離すことにより、搬送系故障時や、測定終了直後の目視
検査等の多様な要請に対応しうる全自動ブローμの制御
方法を提供せんとするものである。

［Ｒ１明の概要］ このような目的を達成するために本発明の全自動ブロー
μの制御方法はカセット内に収納されたウェハを１枚ず
つ測定ステージ上に搬送し、該搬送された測定ステージ
上のウェハを測定し、該測定後のウェハを前記カセット
内°に収納する過程をコンピュータ制御によって全自動
で行なう全自動ブローμにおいて、前記カセットと前記
測定ステージとの間のウェハの搬送を行う搬送系の機能
を選択的に駆動、非駆動可能にしたことを特徴とする。

［発明の実施例コ 以下、本発明の好ましい実施例を図面に基き説明する。

本発明の制御方法を実現するために、全自動ブローμに
は測定系と搬送系とを機能的に切り離すためのスイッチ
、例えばＬｏａｄｅｒ　０Ｎ１０ＦＦスイツチを設け、
且つ測定系のフロント部に直接測定ステージ上にウェハ
を着脱するための窓を設ける。このような全自動ブロー
μにおいて、まず測定開始時に測定条件の設定、検査等
を行う場合について述べるにの場合は、　Ｌｏａｄｅｒ
　０Ｎ１０ＦＦスイツチをＯＦＦにしておき、フロント
部からチェック用ウェハを測定ステージ上にのせ、装置
を５ＴＡＲＴさせる。そしてプロービング動作をさせな
がら条件設定、マーキング装置の検査等を行う。ブロー
ビング動作が終了するとフロント部からチェック用ウェ
ハを測定ステージ上から取り出し、ＬｏａｄｅｒＯＮ１
０ＦＦスイッチをＯＮにして１通常の全自動制御（第２
図のフローチャート）を実行する（第３図）。

搬送部が故障した場合は、Ｌｏａｄｅｒ　０Ｎ１０ＦＦ
スイツチをＯＦＦにし、フロント部の窓から直接測定ス
テ−ジ上にウェハをのせ、Ｅ−Ａ作パネルの５ＴＡＲＴ
ボタンを押す、すると、測定系はウェハのファインアラ
インメントを行った後、ブロービングを行い、ブロービ
ング終了後測定ステージをアンロードポジションへ移動
し、停止する。これによりオペレータはフロントからウ
ェハを取り出す（第４図）。

次に、測定中良品チップがでない時にウェハを取り出し
てその原因を調べる場合について述べる。

その時には測定中であってもＬｏａｄｅｒ　０Ｎ１０Ｆ
ＦスイツチをＯＦＦにする。するとＣＰＵはその時測定
中のウェハの測定が終了すると同時にＬｏｇｄｅｒ　０
Ｎ１０ＦＦスイツチを読み込み、搬送系の機能を停止す
る。

この時１次のウェハは待機位置で待機した状態でストッ
プする。そこでオペレータは測定済ウェハをフロントか
ら取り出し、金属顕微鏡等でプローブ針が正しくチップ
のパッドに当っているかを確認し、プローブ針とパッド
が正しく当っていない場合にはフロントからウェハをの
せてＬｏａｄｅｒ　０Ｎ１０ＦＦスイツチをＯＮにして
、ブロービングを実施しながらプローブ針の位置を調整
し、そのまま全自動制御を実行する。

プローブ針とパッドが正しく当っている場合はテスター
プログラムのミスなど他の原因を探りチェックし、目視
検査後のウェハをフロント部から測定ステージに戻すか
あるいはカセットに手で収納した後Ｌｏａｄｅｒ　０Ｎ
１０ＦＦスイツチをＯＮにして全自動制御を再開する。

（第５図）。

測定終了後の目視検査も同様に行うことができる０以上
の実施例では、Ｌｏａｄｅｒ　０Ｎ１０ＦＦスイツチの
ＣＰＵへの読み込みタイミングをウェハ測定の終了時に
設定しているが、随時読み込み可能でも又、プローブ装
置がマニアル状態の時に読み込み可能であってもよい。

［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように１本発明においては搬
送から測定までをコンピュータ制御によっ　　。

て全自動で行うプローバの搬送系と測定系とを機能的に
切り離したので、搬送部故障時や測定直後のウェハ目視
検査がある時など多様な状況に対応してプローバを駆動
制御することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は全自動プローバの概略構成図、第２図は全自動
の制御を示すフローチャート、第３図、第４図及び第５
図はそれぞれ本発明の制御方法の実施例を示すフローチ
ャートである。 １・・・・・・・・カセット ２１１１１・ウェハ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. カセット内に収納されたウェハを１枚ずつ測定ステージ
   上に搬送し、該搬送された測定ステージ上のウェハを測
   定し、該測定後のウェハを前記カセット内に収納する過
   程をコンピュータ制御によって全自動で行なう全自動プ
   ローバにおいて、前記カセットと前記測定ステージとの
   間のウェハの搬送を行う搬送系の機能を選択的に駆動、
   非駆動可能にしたことを特徴とする全自動プローバの制
   御方法。