JPH067568B2 - プローバの制御方法 - Google Patents
プローバの制御方法Info
- Publication number
- JPH067568B2 JPH067568B2 JP61233481A JP23348186A JPH067568B2 JP H067568 B2 JPH067568 B2 JP H067568B2 JP 61233481 A JP61233481 A JP 61233481A JP 23348186 A JP23348186 A JP 23348186A JP H067568 B2 JPH067568 B2 JP H067568B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- prober
- measurement
- cassette
- measurement stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明はウェハの搬送から測定までを自動的に行なうプ
ローバの制御方法に係わり、特に搬送系と測定系を機能
的に分離可能にしたプローバの制御方法に関する。
ローバの制御方法に係わり、特に搬送系と測定系を機能
的に分離可能にしたプローバの制御方法に関する。
［発明の技術的背景］ 近年のＬＳＩ生産技術の躍進に伴ないウェハの測定装置
であるプローバもマニュアルから全自動へと変化しつつ
ある。
であるプローバもマニュアルから全自動へと変化しつつ
ある。
このようなプローバにおいてはウェハの搬送から測定ま
でをコンピュータ制御によって自動化し、その制御方法
は第１図の概略構成図及び第２図にフローチャートで示
すように搬送系Ｌにおいて、カセット１から取り出され
たウェハ２は、プリアラインメントの後、ロードポジシ
ョンにおいて測定系の測定ステージ３に搬送され、測定
系Ｐにおいてファインアラインメント及びプロービング
等が実行される。この間、搬送系Ｌではカセットから次
のウェハを取り出し、プリアラインメントをした後、待
機状態になる。そして測定系Ｐでのウェハ２の測定が終
了し、測定ステージ３がアンロードポジションに移動し
てくると、搬送系Ｌは測定ステージ３上の測定済ウェハ
２'を取り上げると共に、待機中のウェハを測定ステー
ジ３上にのせ、測定済のウェハ２'は元のカセット１へ
収納する。測定ステージ３に搭載されたウェハは前述の
ように測定系において測定が開始する。カセット１内に
未測定のウェハがある間は以上のStepが繰り返される。
でをコンピュータ制御によって自動化し、その制御方法
は第１図の概略構成図及び第２図にフローチャートで示
すように搬送系Ｌにおいて、カセット１から取り出され
たウェハ２は、プリアラインメントの後、ロードポジシ
ョンにおいて測定系の測定ステージ３に搬送され、測定
系Ｐにおいてファインアラインメント及びプロービング
等が実行される。この間、搬送系Ｌではカセットから次
のウェハを取り出し、プリアラインメントをした後、待
機状態になる。そして測定系Ｐでのウェハ２の測定が終
了し、測定ステージ３がアンロードポジションに移動し
てくると、搬送系Ｌは測定ステージ３上の測定済ウェハ
２'を取り上げると共に、待機中のウェハを測定ステー
ジ３上にのせ、測定済のウェハ２'は元のカセット１へ
収納する。測定ステージ３に搭載されたウェハは前述の
ように測定系において測定が開始する。カセット１内に
未測定のウェハがある間は以上のStepが繰り返される。
カセット１内に未測定のウエハ２がなくなると、測定ス
テージ３上の最後の測定済ウェハをカセット１に収納
し、一カセット分の測定が終了する。
テージ３上の最後の測定済ウェハをカセット１に収納
し、一カセット分の測定が終了する。
［従来技術の問題点］ ところで、上記の全自動制御システムにおいては、搬送
系が故障した場合でもプローバ全体として機能しなくな
り、正常である測定系が使えないということがある。
又、測定中、例えばテスターの測定プログラムが違って
入力されていたり、プローブ針で正常にチップのパッド
（電極）に接触していないなど何らかの原因で良品チッ
プが出ない場合があるが、このような時にウェハを取り
出して金属顕微鏡等でパッドに針が正常に当っているか
を確認しようとしても測定ステージ上のウェハを直ちに
検査することはできないので、オペレータはウェハが搬
送系を通過し、カセットに収納されるまで待たねばなら
ない。測定終了後の目視検査（不良測定を防ぐ目的で正
常にマーキングされたか、正常にプローブ針がパッドに
当たっているかなどを金属顕微鏡等で検査する）を行う
場合も同様で、測定済ウェハがカセットに収納する経路
途中のアンロードストップテーブル（一時ウェハ載置場
所）まで搬送されるまで、目視検査を行うことができな
い。更に、このようなプローバにおいては最初に搬送さ
れたウェハについて、プローブ針とパッドの位置、プロ
ーブ針のパッドへのくい込み量、測定エリアの調整マー
キング装置の検査などを実施するため、最初のウェハ上
のチップはマーキング装置の検査等によって必然的に不
良品扱いとなるものがあり、全体として歩留りの低下を
招いている。このため、同品種のチェック用ウェハをま
ず測定ステージ上に搬送して上記の条件設定、マーキン
グ装置の検査を行う方法がとられているが、この場合も
従来のプローバでは、カセット内の一枚のウェハをチェ
ック用ウェハと入れかえるか、又は測定用ウェハの入っ
たカセットをセットする前にチェック用ウェハが一枚入
ったカセットをセットするため、操作性が悪く、効率が
低がるという問題点があった。
系が故障した場合でもプローバ全体として機能しなくな
り、正常である測定系が使えないということがある。
又、測定中、例えばテスターの測定プログラムが違って
入力されていたり、プローブ針で正常にチップのパッド
（電極）に接触していないなど何らかの原因で良品チッ
プが出ない場合があるが、このような時にウェハを取り
出して金属顕微鏡等でパッドに針が正常に当っているか
を確認しようとしても測定ステージ上のウェハを直ちに
検査することはできないので、オペレータはウェハが搬
送系を通過し、カセットに収納されるまで待たねばなら
ない。測定終了後の目視検査（不良測定を防ぐ目的で正
常にマーキングされたか、正常にプローブ針がパッドに
当たっているかなどを金属顕微鏡等で検査する）を行う
場合も同様で、測定済ウェハがカセットに収納する経路
途中のアンロードストップテーブル（一時ウェハ載置場
所）まで搬送されるまで、目視検査を行うことができな
い。更に、このようなプローバにおいては最初に搬送さ
れたウェハについて、プローブ針とパッドの位置、プロ
ーブ針のパッドへのくい込み量、測定エリアの調整マー
キング装置の検査などを実施するため、最初のウェハ上
のチップはマーキング装置の検査等によって必然的に不
良品扱いとなるものがあり、全体として歩留りの低下を
招いている。このため、同品種のチェック用ウェハをま
ず測定ステージ上に搬送して上記の条件設定、マーキン
グ装置の検査を行う方法がとられているが、この場合も
従来のプローバでは、カセット内の一枚のウェハをチェ
ック用ウェハと入れかえるか、又は測定用ウェハの入っ
たカセットをセットする前にチェック用ウェハが一枚入
ったカセットをセットするため、操作性が悪く、効率が
低がるという問題点があった。
［発明の目的］ 本発明は上記従来の問題点を解決するためになされたも
ので、プローバの測定系と搬送系を機能的に切り離すこ
とにより、搬送系故障時や、測定終了直後の目視検査等
の多様な要請に対応しうるプローバの制御方法を提供せ
んとするものである。
ので、プローバの測定系と搬送系を機能的に切り離すこ
とにより、搬送系故障時や、測定終了直後の目視検査等
の多様な要請に対応しうるプローバの制御方法を提供せ
んとするものである。
［発明の概要］ このような目的を達成するために本発明のカセット内に
収納されたウェハを１枚ずつ測定ステージ上に搬送し、
搬送された測定ステージ上のウェハを測定し、測定後の
ウェハをカセット内に収納する過程をコンピュータ制御
によって全自動で行うプローバにおいて、カセットと測
定ステージとの間におけるウェハの搬送を停止する選択
を行う第１の工程と、プローバのフロント部に設けられ
た窓より測定ステージ上にウェハを搬送し載置する第２
の工程と、ウェハをプロービングして測定する第３の工
程と、この測定したウェハを窓より搬出して取り出す第
４の工程と、この取り出したウェハを検査する第５の工
程とからなるものである。
収納されたウェハを１枚ずつ測定ステージ上に搬送し、
搬送された測定ステージ上のウェハを測定し、測定後の
ウェハをカセット内に収納する過程をコンピュータ制御
によって全自動で行うプローバにおいて、カセットと測
定ステージとの間におけるウェハの搬送を停止する選択
を行う第１の工程と、プローバのフロント部に設けられ
た窓より測定ステージ上にウェハを搬送し載置する第２
の工程と、ウェハをプロービングして測定する第３の工
程と、この測定したウェハを窓より搬出して取り出す第
４の工程と、この取り出したウェハを検査する第５の工
程とからなるものである。
［発明の実施例］ 以下、本発明の好ましい実施例を図面に基き説明する。
本発明の制御方法を実現するために、プローバには測定
系と搬送系とを機能的に切り離すためのスイッチ、例え
ばLoader ON/OFFスイッチを設け、且つ測定系のフロン
ト部に直接測定ステージ上にウェハを着脱するための窓
を設ける。このようなプローバにおいて、まず測定開始
時に測定条件の設定、検査等を行う場合について述べ
る。この場合は、Loader ON/OFFスイッチをOFFにしてお
き、フロント部からチェック用ウェハを測定ステージ上
にのせ、装置をSTARTさせる。そしてプローピング動作
をさせながら条件設定、マーキング装置の検査等を行
う。プロービング動作が終了するとフロント部からチェ
ック用ウェハを測定ステージ上から取り出し、Loader O
N/OFFスイッチをONにして、通常の全自動制御(第２図の
フローチャート)を実行する（第３図）。
本発明の制御方法を実現するために、プローバには測定
系と搬送系とを機能的に切り離すためのスイッチ、例え
ばLoader ON/OFFスイッチを設け、且つ測定系のフロン
ト部に直接測定ステージ上にウェハを着脱するための窓
を設ける。このようなプローバにおいて、まず測定開始
時に測定条件の設定、検査等を行う場合について述べ
る。この場合は、Loader ON/OFFスイッチをOFFにしてお
き、フロント部からチェック用ウェハを測定ステージ上
にのせ、装置をSTARTさせる。そしてプローピング動作
をさせながら条件設定、マーキング装置の検査等を行
う。プロービング動作が終了するとフロント部からチェ
ック用ウェハを測定ステージ上から取り出し、Loader O
N/OFFスイッチをONにして、通常の全自動制御(第２図の
フローチャート)を実行する（第３図）。
搬送部が故障した場合は、Loader ON/OFFスイッチをOFF
にし、フロント部の窓から直接測定ステージ上にウェハ
をのせ、操作パネルのSTARTボタンを押す。すると、測
定系はウェハのファインアラインメントを行った後、プ
ロービングを行い、プロービング終了後測定ステージを
アンロードポジションへ移動し、停止する。これにより
オペレータはフロントからウェハを取り出す（第４
図）。
にし、フロント部の窓から直接測定ステージ上にウェハ
をのせ、操作パネルのSTARTボタンを押す。すると、測
定系はウェハのファインアラインメントを行った後、プ
ロービングを行い、プロービング終了後測定ステージを
アンロードポジションへ移動し、停止する。これにより
オペレータはフロントからウェハを取り出す（第４
図）。
次に、測定中良品チップがでない時にウェハを取り出し
てその原因を調べる場合について述べる。その時には測
定中であってもLoader ON/OFFスイッチをOFFにする。す
るとＣＰＵはその時測定中のウェハの測定が終了すると
同時にLoader ON/OFFスイッチを読み込み、搬送系の機
能を停止する。この時、次のウェハは待機位置で待機し
た状態でストップする。そこでオペレータは測定済ウェ
ハをフロントから取り出し、金属顕微鏡等でプローブ針
が正しくチップのパッドに当っているかを確認し、プロ
ーブ針とパッドが正しく当っていない場合にはフロント
からウェハをのせてLoader ON/OFFスイッチをONにし
て、プロービングを実施しながらプローブ針の位置を調
整し、そのまま全自動制御を実行する。
てその原因を調べる場合について述べる。その時には測
定中であってもLoader ON/OFFスイッチをOFFにする。す
るとＣＰＵはその時測定中のウェハの測定が終了すると
同時にLoader ON/OFFスイッチを読み込み、搬送系の機
能を停止する。この時、次のウェハは待機位置で待機し
た状態でストップする。そこでオペレータは測定済ウェ
ハをフロントから取り出し、金属顕微鏡等でプローブ針
が正しくチップのパッドに当っているかを確認し、プロ
ーブ針とパッドが正しく当っていない場合にはフロント
からウェハをのせてLoader ON/OFFスイッチをONにし
て、プロービングを実施しながらプローブ針の位置を調
整し、そのまま全自動制御を実行する。
プローブ針とパッドが正しく当っている場合はテスター
プログラムのミスなど他の原因を探りチェックし、目視
検査後のウェハをフロント部から測定ステージに戻すか
あるいはカセットに手で収納した後Loader ON/OFFスイ
ッチをONにして全自動制御を再開する。（第５図）。
プログラムのミスなど他の原因を探りチェックし、目視
検査後のウェハをフロント部から測定ステージに戻すか
あるいはカセットに手で収納した後Loader ON/OFFスイ
ッチをONにして全自動制御を再開する。（第５図）。
測定終了後の目視検査も同様に行うことができる。以上
の実施例では、Loader ON/OFFスイッチのＣＰＵへの読
み込みタイミングをウェハ測定の終了時に設定している
が、随時読み込み可能でも又、プローブ装置がマニアル
状態の時に読み込み可能であってもよい。
の実施例では、Loader ON/OFFスイッチのＣＰＵへの読
み込みタイミングをウェハ測定の終了時に設定している
が、随時読み込み可能でも又、プローブ装置がマニアル
状態の時に読み込み可能であってもよい。
［発明の効果］ 以上の説明からも明らかなように、本発明のプローバの
制御方法によれば、プローバの搬送系と測定系とを機能
的に切り離すとともにプローバのフロント部に設けられ
た窓を介してこの窓と測定ステージとの間でウェハを搬
送することができるので、プローブ内のカセットと測定
ステージとの間の搬送系に依存しないで随時所望のウェ
ハを測定ステージに送り込んで測定したり、或いは測定
終了した測定ステージ上のウェハを、カセットを経由し
ないで直接窓から取り出して検査できるという多様な機
能を既存して量産検査機能と独立して提供することがで
きる。
制御方法によれば、プローバの搬送系と測定系とを機能
的に切り離すとともにプローバのフロント部に設けられ
た窓を介してこの窓と測定ステージとの間でウェハを搬
送することができるので、プローブ内のカセットと測定
ステージとの間の搬送系に依存しないで随時所望のウェ
ハを測定ステージに送り込んで測定したり、或いは測定
終了した測定ステージ上のウェハを、カセットを経由し
ないで直接窓から取り出して検査できるという多様な機
能を既存して量産検査機能と独立して提供することがで
きる。
第１図はプローバの概略構成図、第２図は全自動の制御
を示すフローチャート、第３図、第４図及び第５図はそ
れぞれ本発明の制御方法の実施例を示すフローチャート
である。 １‥‥‥‥カセット ２‥‥‥‥ウェハ ３‥‥‥‥測定ステージ
を示すフローチャート、第３図、第４図及び第５図はそ
れぞれ本発明の制御方法の実施例を示すフローチャート
である。 １‥‥‥‥カセット ２‥‥‥‥ウェハ ３‥‥‥‥測定ステージ
Claims (4)
- 【請求項１】カセット内に収納されたウェハを１枚ずつ
測定ステージ上に搬送し、搬送された測定ステージ上の
ウェハを測定し、測定後のウェハを前記カセット内に収
納する過程をコンピュータ制御によって全自動で行うプ
ローバにおいて、前記カセットと前記測定ステージとの
間におけるウェハの搬送を停止する選択を行う第１の工
程と、前記プローバのフロント部に設けられた窓より前
記測定ステージ上にウェハを搬送し載置する第２の工程
と、前記ウェハをプロービングして測定する第３の工程
と、この測定したウェハを前記窓より搬出して取り出す
第４の工程と、この取り出したウェハを検査する第５の
工程とからなることを特徴とするプローバの制御方法。 - 【請求項２】前記第５の工程におけるウェハの検査は、
ウエハのチップのパッドにプローブ針が正しく当ってい
るか否かを顕微鏡又は目視で検査することを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載のプローバの制御方法。 - 【請求項３】前記第５の工程の後に、前記検査の終った
ウェハを前記窓を介して前記測定ステージへ搬送し測定
する第６の工程を行うことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のプローバの制御方法。 - 【請求項４】前記第５の工程の後に、前記検査の終った
ウェハを前記カセット内に収納する第６の工程を含むこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のプローバの
制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61233481A JPH067568B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | プローバの制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61233481A JPH067568B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | プローバの制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6387738A JPS6387738A (ja) | 1988-04-19 |
| JPH067568B2 true JPH067568B2 (ja) | 1994-01-26 |
Family
ID=16955682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61233481A Expired - Fee Related JPH067568B2 (ja) | 1986-09-30 | 1986-09-30 | プローバの制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067568B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0372246A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-03-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | 生化学分析装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59128125A (ja) * | 1983-01-12 | 1984-07-24 | Nec Home Electronics Ltd | ロ−ダ・アンロ−ダ |
| JPS61123150A (ja) * | 1985-10-23 | 1986-06-11 | Hitachi Ltd | 製造装置 |
-
1986
- 1986-09-30 JP JP61233481A patent/JPH067568B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59128125A (ja) * | 1983-01-12 | 1984-07-24 | Nec Home Electronics Ltd | ロ−ダ・アンロ−ダ |
| JPS61123150A (ja) * | 1985-10-23 | 1986-06-11 | Hitachi Ltd | 製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6387738A (ja) | 1988-04-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |