JP2828989B2 - 半導体ウェハプローバ - Google Patents
半導体ウェハプローバInfo
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- JP2828989B2 JP2828989B2 JP63086994A JP8699488A JP2828989B2 JP 2828989 B2 JP2828989 B2 JP 2828989B2 JP 63086994 A JP63086994 A JP 63086994A JP 8699488 A JP8699488 A JP 8699488A JP 2828989 B2 JP2828989 B2 JP 2828989B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe card
- probe
- semiconductor wafer
- mounting table
- card
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体ウェハプローバに関する。
［従来の技術及び発明が解決しようとする課題］ プローバによるICの集合体であるウェハ状態での測定
は、多数のプローブ針を植設されたプローブカードをプ
ローバ本体にセットして電気的に接続させ、ウェハとプ
ローブ針とを接触させることにより電気的特性を順次測
定して行っている。ウェハのサイズ、ICチップのボンデ
ィングパッド位置及びサイズ等測定品種が異なる毎に対
応したプローブ針を有するプローブカードと交換して測
定を行っている。プローバの測定部に付随した収納部に
収納されているプローブカードはコンピュータからの指
令により搬送手段で収納部より取り出され、プローバに
自動的にセットされる。この時、オペレータがプローブ
カードを目視して針先のよごれ等の点検を行いたい場合
等があってもプローブカードは自動的に搬送されてしま
い、オペレータが手に取る事もできなかった。また、プ
ローバの測定が行われ、プローブ針とウェハの接触が一
定回数行われた後、接触不良による誤測定を防止するた
めの針先の研摩等を行うためにオペレータがプローブカ
ードを手に取る事もできないという欠点があった。
は、多数のプローブ針を植設されたプローブカードをプ
ローバ本体にセットして電気的に接続させ、ウェハとプ
ローブ針とを接触させることにより電気的特性を順次測
定して行っている。ウェハのサイズ、ICチップのボンデ
ィングパッド位置及びサイズ等測定品種が異なる毎に対
応したプローブ針を有するプローブカードと交換して測
定を行っている。プローバの測定部に付随した収納部に
収納されているプローブカードはコンピュータからの指
令により搬送手段で収納部より取り出され、プローバに
自動的にセットされる。この時、オペレータがプローブ
カードを目視して針先のよごれ等の点検を行いたい場合
等があってもプローブカードは自動的に搬送されてしま
い、オペレータが手に取る事もできなかった。また、プ
ローバの測定が行われ、プローブ針とウェハの接触が一
定回数行われた後、接触不良による誤測定を防止するた
めの針先の研摩等を行うためにオペレータがプローブカ
ードを手に取る事もできないという欠点があった。
本発明の目的は以上のような欠点を解消し、オペレー
タがプローブカードの点検及び研摩等の操作ができるよ
うなプローバを提供することにある。
タがプローブカードの点検及び研摩等の操作ができるよ
うなプローバを提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明は以上のような目的を達成するためになされ、
本発明の半導体ウェハプローバは、プローブカードに取
着されたプローブ針を半導体ウェハの測定部に接触させ
て検査し、プローブカードに取着されたプローブ針を半
導体ウェハの測定部に接触させて検査をする半導体ウェ
ハプローバにおいて、プローブカードを収納する収納手
段と、プローブカードを搬送する搬送手段と、プローブ
カードを一時載置可能なプローブカード載置台と、プロ
ーブカードをテストヘッドの下部の所定位置に取付ける
係止手段とを備え、収納手段に収納されたプローブカー
ドを搬送手段によりテストヘッドの下部へ搬送し、係止
手段により所定位置に係止可能に構成し、所望のタイミ
ングあるいはプローブカードを交換する際に、プローブ
カードを自動的に係止手段から取外し、プローブカード
を搬送手段により搬送し、プローブカード載置台に一時
載置してチェックできるようにしたものであり、搬送手
段は、上下方向及び水平方向に移動可能な駆動装置に接
続されたアームから成ることが好ましく、また、プロー
ブカード載置台はガイドピンを有し、プローブカードに
形成された穴に固定可能であることが好ましい。
本発明の半導体ウェハプローバは、プローブカードに取
着されたプローブ針を半導体ウェハの測定部に接触させ
て検査し、プローブカードに取着されたプローブ針を半
導体ウェハの測定部に接触させて検査をする半導体ウェ
ハプローバにおいて、プローブカードを収納する収納手
段と、プローブカードを搬送する搬送手段と、プローブ
カードを一時載置可能なプローブカード載置台と、プロ
ーブカードをテストヘッドの下部の所定位置に取付ける
係止手段とを備え、収納手段に収納されたプローブカー
ドを搬送手段によりテストヘッドの下部へ搬送し、係止
手段により所定位置に係止可能に構成し、所望のタイミ
ングあるいはプローブカードを交換する際に、プローブ
カードを自動的に係止手段から取外し、プローブカード
を搬送手段により搬送し、プローブカード載置台に一時
載置してチェックできるようにしたものであり、搬送手
段は、上下方向及び水平方向に移動可能な駆動装置に接
続されたアームから成ることが好ましく、また、プロー
ブカード載置台はガイドピンを有し、プローブカードに
形成された穴に固定可能であることが好ましい。
［実施例］ 本発明の一実施例を第１図に図示の半導体プローバの
斜視図を参照して説明する。
斜視図を参照して説明する。
第１図に図示のプローバは、プロービングが行われる
測定部P1と測定部P1にウェハを搬送する搬送部P2及びプ
ローブカードを収納するプローブカード収納部P3とから
成っている。プローブカード収納部P3はプローブカード
Ｃを収納する収納段を有する収納手段であるストッカー
２とプローブカードＣを搬送するために上下方向及び水
平方向に移動可能な駆動装置（図示せず）に接続された
例えばハンドリングアーム、ロボットアームあるいは舵
腹アーム等の搬送手段５とプローブカードを載置するプ
ローブカード載置台３とを備えている。プローブカード
載置台３はガイドピン４を有し、第２図に示すプローブ
カードＣに穿孔された穴６に簡単に固定できるようにな
っていてもよい。
測定部P1と測定部P1にウェハを搬送する搬送部P2及びプ
ローブカードを収納するプローブカード収納部P3とから
成っている。プローブカード収納部P3はプローブカード
Ｃを収納する収納段を有する収納手段であるストッカー
２とプローブカードＣを搬送するために上下方向及び水
平方向に移動可能な駆動装置（図示せず）に接続された
例えばハンドリングアーム、ロボットアームあるいは舵
腹アーム等の搬送手段５とプローブカードを載置するプ
ローブカード載置台３とを備えている。プローブカード
載置台３はガイドピン４を有し、第２図に示すプローブ
カードＣに穿孔された穴６に簡単に固定できるようにな
っていてもよい。
以上のような構成な半導体ウェハプローバにおいてプ
ローブカードの搬送方法について説明する。
ローブカードの搬送方法について説明する。
オペレータがプローブカードC3をプローバにセットす
る前に点検を行いたい場合、コンピュータ制御により搬
送手段５を上下方向にプローブカードC3の位置まで移動
させ、次に搬送手段落５を水平方向に移動してプローブ
カードC3を挾持し、さらに水平駆動、上下駆動及び水平
駆動を操作し、プローブカードC3をプローブカード載置
台３上の位置に移動させ、挾持を解除することにより、
プローブカードC3をプローカード載置台３に載置するこ
とができる。そして、オペレータがプローブカードC3の
点検及びよごれ等を綿棒でクリーニングしたり、細いや
すりで研摩する等の手作業後、再び自動操作に切替える
ことができる。そして、搬送手段５によりプローブカー
ドC3は挾持され、測定部P1に搬送され、測定を行うテス
タに接続されるテストヘッド（図示せず）の下部の予め
定められた取付部に電気的に接続されたインサートリン
グ（図示せず）にポゴピン等の係止手段（図示せず）に
よりセットされ、当業者において周知のウェハプローバ
による測定が行われる。
る前に点検を行いたい場合、コンピュータ制御により搬
送手段５を上下方向にプローブカードC3の位置まで移動
させ、次に搬送手段落５を水平方向に移動してプローブ
カードC3を挾持し、さらに水平駆動、上下駆動及び水平
駆動を操作し、プローブカードC3をプローブカード載置
台３上の位置に移動させ、挾持を解除することにより、
プローブカードC3をプローカード載置台３に載置するこ
とができる。そして、オペレータがプローブカードC3の
点検及びよごれ等を綿棒でクリーニングしたり、細いや
すりで研摩する等の手作業後、再び自動操作に切替える
ことができる。そして、搬送手段５によりプローブカー
ドC3は挾持され、測定部P1に搬送され、測定を行うテス
タに接続されるテストヘッド（図示せず）の下部の予め
定められた取付部に電気的に接続されたインサートリン
グ（図示せず）にポゴピン等の係止手段（図示せず）に
よりセットされ、当業者において周知のウェハプローバ
による測定が行われる。
（自動操作） プローブ針７をウェハの各チップに設けられる電極パ
ッドに接触させプロービングが行われ、経験から例えば
5000回の接触の後点検が必要であるとすると、プローブ
針の針先のよごれによる接触不良のため誤測定がなされ
ないよう点検及び研摩を行うためコンピュータ制御によ
り上記説明した操作と逆の操作によりインサートリング
にセットされたプローブカードを取り外し、搬送手段５
によりプローブカード載置台３に載置する。この状態で
オペレータが手作業で点検を行うこともできる。以上の
操作のフローチャートを第３図に示す。
ッドに接触させプロービングが行われ、経験から例えば
5000回の接触の後点検が必要であるとすると、プローブ
針の針先のよごれによる接触不良のため誤測定がなされ
ないよう点検及び研摩を行うためコンピュータ制御によ
り上記説明した操作と逆の操作によりインサートリング
にセットされたプローブカードを取り外し、搬送手段５
によりプローブカード載置台３に載置する。この状態で
オペレータが手作業で点検を行うこともできる。以上の
操作のフローチャートを第３図に示す。
（マニュアル操作） テストの途中、即ち5000回にならない状態で確認した
い場合にはマニュアル操作は切換え点検プログラムを指
示すると、当該ウェハの測定終了又は即時測定を中止し
て、プロービングカードを取り外し、上記搬送手段５に
よりプローブカードを載置台３上に移送し、点検などが
可能になる。
い場合にはマニュアル操作は切換え点検プログラムを指
示すると、当該ウェハの測定終了又は即時測定を中止し
て、プロービングカードを取り外し、上記搬送手段５に
よりプローブカードを載置台３上に移送し、点検などが
可能になる。
本発明は以上説明した実施例に限らず、プローブカー
ド収納部及びプローブカード載置台の位置も他の位置で
あってもよく、又、プローブカード載置台の形状も上記
実施例の限りではない。
ド収納部及びプローブカード載置台の位置も他の位置で
あってもよく、又、プローブカード載置台の形状も上記
実施例の限りではない。
［発明の効果］ 以上説明したように本発明の半導体ウェハプローバ
は、プローブカードをプローバにセットする時、プロー
ブカード載置台に一時載置できるようにしたため、プロ
ーブ針とウェハとの接触回数が定められた回数になった
時、プローブカードをプローブカード載置台に載置し、
よごれ等を綿棒でクリーニングしたり、細いやすりで研
摩出来る。また、オペレータが点検を行いたい場合でも
任意の時にプローブカードを搬送してプローブカード載
置台に取り出すことにより簡単に手にとって点検等を行
う事ができ、プローバの接触不良による誤測定の結果を
生じることなく効率的に測定を行うことができる。
は、プローブカードをプローバにセットする時、プロー
ブカード載置台に一時載置できるようにしたため、プロ
ーブ針とウェハとの接触回数が定められた回数になった
時、プローブカードをプローブカード載置台に載置し、
よごれ等を綿棒でクリーニングしたり、細いやすりで研
摩出来る。また、オペレータが点検を行いたい場合でも
任意の時にプローブカードを搬送してプローブカード載
置台に取り出すことにより簡単に手にとって点検等を行
う事ができ、プローバの接触不良による誤測定の結果を
生じることなく効率的に測定を行うことができる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例の斜視図、第２図はプローブ
カードを示す図、第３図は本発明の一実施例のフローチ
ャートである。 P3……プローブカード収納部 ２……ストッカー ３……プローブカード載置台 ４……ガイドピン ５……搬送手段 ６……穴 ７……プローブ針 Ｃ……プローブカード
カードを示す図、第３図は本発明の一実施例のフローチ
ャートである。 P3……プローブカード収納部 ２……ストッカー ３……プローブカード載置台 ４……ガイドピン ５……搬送手段 ６……穴 ７……プローブ針 Ｃ……プローブカード
Claims (3)
- 【請求項１】プローブカードに取着されたプローブ針を
半導体ウェハの測定部に接触させて検査をする半導体ウ
ェハプローバにおいて、 前記プローブカードを収納する収納手段と、 前記プローブカードを搬送する搬送手段と、 前記プローブカードを一時載置可能なプローブカード載
置台と、 前記プローブカードをテストヘッドの下部の所定位置に
取付ける係止手段とを備え、 前記収納手段に収納された前記プローブカードを前記搬
送手段により前記テストヘッドの下部へ搬送し、前記係
止手段により前記所定位置に係止可能に構成し、 所望のタイミングで前記プローブカードを自動的に前記
係止手段から取外した後、または前記プローブカードを
前記テストヘッドの下部の所定位置に装着する際に、前
記ブローブカード載置台に一時載置してチェックできる
ようにしたことを特徴とする半導体ウェハプローバ。 - 【請求項２】前記搬送手段は、上下方向及び水平方向に
移動可能な駆動装置に接続されたアームから成ることを
特徴とする請求項１記載の半導体ウェハプローバ。 - 【請求項３】前記プローブカード載置台は、ガイドピン
を有し、前記プローブカードに形成された穴に固定可能
なことを特徴とする請求項１または２記載の半導体ウェ
ハプローバ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63086994A JP2828989B2 (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 半導体ウェハプローバ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63086994A JP2828989B2 (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 半導体ウェハプローバ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01258437A JPH01258437A (ja) | 1989-10-16 |
| JP2828989B2 true JP2828989B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=13902428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63086994A Expired - Fee Related JP2828989B2 (ja) | 1988-04-08 | 1988-04-08 | 半導体ウェハプローバ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2828989B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2919140B2 (ja) * | 1991-12-12 | 1999-07-12 | 山形日本電気株式会社 | 半導体試験方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62263647A (ja) * | 1986-05-12 | 1987-11-16 | Tokyo Electron Ltd | ウエハプロ−バ |
| JPS635542A (ja) * | 1986-06-25 | 1988-01-11 | Nippon Maikuronikusu:Kk | 半導体ウエハプロ−バ |
-
1988
- 1988-04-08 JP JP63086994A patent/JP2828989B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01258437A (ja) | 1989-10-16 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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