JPH02210274A - 集積回路装置テスタ用ハンドラ及びそのハンドリング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体製造過程における集積回路装置（ＩＣ
）、特にチップオンボード（ＣＯＢ）の電気的特性検査
に関するものである。

（従来の技術） 従来、このような分野の技術としては、次に示すような
ものがあった。

第９図はかかる従来のチップオンボード試験装置の斜視
図である。

この図に示すように、ワークヘッドａ上に、時計等に実
装されるチップオンボード（樹脂性の回路配線板上に半
導体集積回路素子が実装されたもの）　ｂをセットし、
ヘッドスライドレバーＣにてこれを対物へラドｄの真下
に移動させる。そこで、ヘッド昇降レバーｅにてヘッド
昇降カムｆを回転させ、予めＩＣテスタ（図示なし）と
電気的に接続された対物ヘッドｄにワークへラドａを密
着させる。この時、ヘッド昇降レバーｅに連動したテス
トスタートスイッチｇにより特性検査を開始し、テスト
が終了すると、前記した工程を順次繰り返すようにして
いた。

（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記の作業では、人にたよることが多い
ために生産性が低く、作業工数が増加する。また、ワー
ク１枚毎に人がそれに触れるため、塵埃の付着や静電気
の発生などによって製品の品質に問題を生じる恐れがあ
った。

本発明は、上記問題点を除去し、上記テスト工程を自動
化して、人手を要することな（、生産性を高め、作業工
数の低減を図ると共に、品質の向上を図り得る集積回路
装置テスタ用ハンドラ及びそのハンドリング方法を提供
することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明は、上記目的を達成するために、集積回路装置テ
スタ用ハンドラにおいて、（ａ）測定すべき集積回路装
置がｉｉ！ｌｆｆ１されたパレットを１枚ずつ順次送り
出すパレットローダと、該送り出されたパレットを所定
位置に固定するローディングテーブルと、該固定される
パレットから集積回路装置を１個ずつピックアップする
ローダロボットとを有するローダ部と、（ｂ）該ピック
アップされた集積回路装置を受容するワークガイドがセ
ットさ・れる第１のヘッドと、対物ヘッドに当接可能な
第２のへラドと、該第１のヘッドと第２のヘッドとの位
置を互いに交換する手段と、前記対物ヘッドに接続され
る測定手段と、測定が終了した集積回路装置を１個ずつ
ピックアップするアンローダロボットとを有する測定部
と、（ｃ）空パレットを１枚ずつ順次送り出すパレット
ローダと、該送り出されたパレットを所定位置に固定す
るアンローディングテーブルと、該固定されるパレット
に測定が終了した集積回路装置を１個ずつ載置する手段
と、集積回路装置がｓ２にされたパレットをストックす
る手段とを有するアンローダ部を具備するようにしたも
のである。

また、測定部には集積回路装置を受容するワークガイド
がセットされる第１のヘッドと、対物へラドに当接可能
な第２のヘッドと、該第１のヘソドと第２のヘッドとの
位置を互いに交換するロータリアクチュエータと、前記
第１のヘッド及び第２のヘッドに設けられるワークセン
サと、対物ヘッドに接続される測定手段と、測定が終了
した集積回路装置を１個ずつピックアップするアンロー
ダロボットとを具備する。

更に、前記ワークガイドは複数のワークガイド片を備え
、該ワークガイド片の対向側に集積回路装置の位置決め
ガイドを行うテーパを形成するようにしたものである。

（作用） 本発明によれば、上記のように構成したので、専用パレ
ットに配列させたＩＣ１特にチップオンボードを、ロー
ダ部Ａから測定部Ｂへとワークガイドと協働させながら
的確に供給し、特性検査後、良品の１．Ｃはアンローダ
部Ｃの専用パレットへ、不良品のＩＣは各カテゴリー毎
に不良ボックスへ収納するまでの工程を一貫して自動的
に処理することができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の実施例を示すＩＣテスタ用ハンドラの
全体斜視図である。なお、この実施例においては、ＩＣ
としてチップオンボードを例に挙げて説明する。

この図において、このチップオンボードテスタ用ハンド
ラは概観すると、ローダ部Ａ、測定部Ｂ、アンローダ部
Ｃから構成される。そして、具体的部分を見ると、この
チップオンボードテスタ用ハンドラを操作するための操
作盤１が配置され、ローダ部Ａは、ローダロボット２、
パレットローダ３、ローディングテーブル４、空パレツ
トストッカー５などを有する。また、測定部Ｂは、ター
ンテーブル３０、ワークガイド３２、測定ヘッド３４な
どを有する。更に、アンローダ部Ｃはパレットローダ６
０、アンローダロボット６１、アンローディングテーブ
ル６３、パレットキックアウトコンベア６５、良品パレ
ットストックレール６７などを具備する。

以下、本発明のチップオンボードテスタ用ハンドラの各
部の詳細な説明を行う。

まず、第２図乃至第４図を用いてローダ部の構成につい
て説明する。

第２図に示すように、ローダ部Ａには、チップオンボー
ドを配列させた専用パレットがセットされるパレットロ
ーダ３、そのパレットを搬送するローディングテーブル
４、そのパレット内のチップオンボードを搬送し、空に
なったパレットを収容する空パレツトストッカー５、搬
送されてきたパレットを移載するためにそのパレットを
一旦固定する位置決めブツシャ２４（第４図参照）を駆
動するシリンダ６、コンベアを駆動するモータ７などが
配置される。　また、パレットローダ３は、第３図に示
すように、チップオンボード２７（第４図参照）が載置
されたパレットｌＯ１枠１１、上部爪１２、上部爪１３
、上部爪昇降用エアシリンダ１４、下部昇降用エアシリ
ンダ１５、上部爪開閉用エアシリンダ１６、下部爪開閉
用エアシリンダ１７、パレット１０を移載のために載置
するレール１８、そのパレットｌＯを丸ベルトコンベア
２０（第４図参照）へ移載するためのパレットブツシャ
１９などを有する。

以下、このパレットローダの動作について説明する。

まず、上部爪１２は下降して下降限にて爪を開き、上部
爪１３ヘパレット１０を預ける。その後、上部爪１２は
上昇して上昇限にて爪を閉じる。上部爪１２よリパレッ
）１０を預けられた上部爪１３は下降して下降限にて爪
を開き、レール１８ヘパレツト１０を預ける。その後、
上部爪１３は上昇して爪を閉じる。レール１Ｂへ載置さ
れたパレット１０ば、パレットブツシャ１９により押さ
れてパレット１０を丸ベルトコンベア２０へ移載される
。

次に、ローディングテーブル４は、第４図に示すように
、無端状の３本の丸ベルトコンベア２０、パレット１０
０通過確認用光電センサ２１、パレットＩＯの位置決め
ストッパ２２、パレット１０の到着検出用光電センサ２
３、シリンダ６によって駆動されるパレット位置決めブ
ツシャ２４、丸ベルトコンベア２０が掛けられ、モータ
７によって駆動される駆動プーリ２５、パレットローダ
側に位置し、丸ベルトコンベア２０が掛けられる従動プ
ーリ２６などを有している。また、パレット１０には、
ワーク（テスト供試品）としてのチップオンボード２７
が！！置されている。

以下、このローディングテーブルの動作について説明す
る。

まず、前記したパレットローダよりパレット１０が送り
出されると、モータ７の駆動により３本の丸ベルトコン
ベア２０が回転して、パレット１０はそのコンベア２０
上を通過Ｔｉｆ１認用光重用光電センサ経て、位置決め
ストッパ２２に当接するまで前進する。そこで、到着検
出用光電センサ２３でパレッ目Ｏが検出されれば、位置
決めブツシャ２４が前進して、パレット１０を固定する
。パレット１０が固定されると、パレットｌＯ上のワー
クとしてのチップオンボード２７はローダロボット２　
（マニエプレータ：Ｘ−Ｙロボット）によって１個ずつ
測定部Ｂへ移送される。全部のチップオンボード２７の
移送を終了後、位置決めストッパ２２は下降し、位置決
めブツシャ２４は後退し、丸ベルトコンベア２０が再び
動作して、空パレットは空パレツトストッカー５へ収納
される。

次に、測定部について第５図及び第６図を用いて説明す
る。

これらの図において、測定部Ｂは、ターンテーブル３０
、そのターンテーブル３０の両側に設けられるワークへ
ノド３１、ワークガイド３２、測定へノド３４、配線へ
ノド３５、対物ヘッド３６、ワークセンサ３７、そのワ
ークセンサ３７のワーク検出用吸気孔３８、ワークガイ
ド昇降用アーム４０、ワークガイド昇降用シリンダ４１
、旋回用ロータリアクチュエータ４３、ワークへ・ノド
昇降用シリンダ４４、対物ヘッド調整台４５、対物ヘッ
ド微調整用マイクロメータ４６などを具備する。

以下、測定部における測定手順について説明する。

まず、ワークガイド３２を下降させ、前記したローディ
ングテーブルからローダロボットにより移送されてきた
チップオンボードを、ワークガイド３２中心に落下させ
る０次に、ワークセンサ３７を作動じてワーク検出用吸
気孔３８によりチップオンボードを吸着し、チップオン
ボードが検出されれば、つまり、チップオンボードが吸
着され、リークしていなければ、ワークガイド３２を上
昇して、ターンテーブル３０を反転する。そこで、ワー
クガイド３２側のワークヘッド３１にチップオンボード
がない場合には、上記動作を繰り返す。ワークガイド３
２例のワークへノド３１にチップオンボードがある場合
には、アンローダロボット６７（第８図参照）にてチッ
プオンボードをアンローダ部Ｃへ移送する。

続いて、対物ヘッド３６側のワークヘッド３１に載置さ
れたチップオンボードを、ワークヘッド昇降用シリンダ
４４によって上昇させ、対物ヘッド３６に接触させてテ
スタによる測定を行う、測定が終了すると、ワークヘッ
ド３１は下降し、ターンテーブル３０が回転し、前記ワ
ークガイド３２例のワークヘッド３１の動作と平行して
連続動作を行う。

ここで、ワークガイドの構成とその作用についてより詳
細に説明する。

第７図はワークガイドの拡大平面図である。

この図に示すように、ワークガイド片３２ａとワークガ
イド片３２ｂとの対向する縁にはそれぞれテーパ３３ａ
と３３ｂとが形成され、前記したローダロボットから落
下されるチップオンボード２７は、これらのテーパ３３
ａと３３ｂにガイドされて、滑り落ち、テーパ３３ａと
３３ｂが形成される縁の間の平ｉ旦面に位置決めされる
。なお、チップオンボード２７が平坦面に正常に位置決
めされていない場合には、バキュームスイッチ（図示な
し）の作動によりワークセンサ３７めワーク検出用吸気
孔３８により吸着が行われる際にリークして、チップオ
ンボード２７が正常な状態にないことが検出され、装置
が停止すると共に警告表示が行われる。

また、ワークガイドの取り替えによって、各種形状の集
積回路装置に対応させることができる。

次に、アンローダ部について第８図を用いて説明する。

この図において、アンローダ部Ｃは、パレットローダ６
０、アンローディングテーブル６３、位置決めブツシャ
６４、パレットキックアウトコンベア６５、良品パレッ
トストックレール６７、不良品収納ボックス６８などを
具備する。

ここで、パレットローダ６０は第３図で示したローディ
ング側のものと、アンローディングテーブル６３は第４
図で示したローディング側のものと基本的に同様の構成
であり、以下のような動作を行う。

まず、上部爪が開いて空パレットを落下させ、その空パ
レットを下部爪へ預けて、その上部爪を閉じる。空パレ
ットを預けられた下部爪はその爪を開き、そのパレット
を落下させてレールへ預け、下部爪を閉じる。レールへ
預けられた空パレットは、ブツシャでコンベアへ移載さ
れる。コンベアへ移載された空パレットは、パレット位
置決めブツシャ６４によってアンローディングテーブル
６３の所定位置に固定され、この空パレツト上に、測定
が終了した良品のチップオンボードがアンローダロボッ
ト６１により順次配列される。そして、チップオンボー
ドが詰められた良品パレットは、アンローディングテー
ブル６３、パレットキックアウトコンベア６５を介して
、良品パレットストックレール６７へ搬送される。

測定の結果、不良品のチップオンボードは、例えば５種
類に分類されて不良品収納ボックス６８に収容される。

上記実施例においては、ワークとしてチップオンボード
を示したが、本発明がその他の薄型の集積回路装置に適
用できることけ言うまでもない。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、次のよ
うな効果を奏することができる。

（１）専用パレットに配列させた集積回路装置、特にチ
ップオンボードを、ローダ部Ａから測定部Ｂのベンドへ
ワークガイドと協（肋させながら的確に供給し、特性検
査後、良品の集積回路装置はアンローダ部Ｃの専用パレ
ットに、不良品の集積回路装置は各カテゴリー毎に不良
ボックスに収納するまでの工程を一貫して自動的に処理
することができる。

（２）ローダ部Ａ及びアンローダ部Ｃにおいては、パレ
ットをテーブル上に確実に固定して、正確にして安定な
搬送を行うことができる。

（３）測定部Ｂには、集積回路装置を受容するワークガ
イドがセットされる第１のヘッドと、対物ヘッドに当接
可能な第２のヘッドと、該第１のヘッドと第２のヘッド
との位置を互いに交換するロータリアクチュエータと、
前記第１のヘッド及び第２のヘッドに設けられるワーク
センサと、対物ヘッドに接続される測定手段と、測定が
終了した集積回路装置を１個ずつピックアップするアン
ローダロボットとを設けているので、集積回路装置は迅
速、かつ的確に搬送され、しかも効率的な測定を行うこ
とができる。

（４）前記ワークガイドは複数のワークガイド片を備え
、該ワークガイド片の対向側に集積回路装置の位置決め
案内を行うテーパを形成したので、ローダロボットによ
って供給され、落下してくる集積回路装置は、ワークガ
イド片のテーパに案内されながら、ヘッド上に傾くこと
なく自然に接触した状態にセットされ、その状態で移動
して測定が行われる。従って、集積回路装置の測定を精
確に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示すＩＣテスタ用、ハンドラ
の全体斜視図、第２図は本発明のＩＣテスク用ハンドラ
のローダ部の平面図、第３図は本発明のＩＣテスタ用ハ
ンドラのパレットローダの斜視図、第４図は本発明のＩ
Ｃテスタ用ハンドラのローディングテーブルの斜視図、
第５図は本発明のＩＣテスタ用ハンドラの測定部の側面
図、第６図は本発明のＩＣテスタ用ハンドラの測定用テ
ーブルの斜視図、第７図は本発明のＩＣテスタ用ハンド
ラのワークガイドの拡大平面図、第８図は本発明のＩＣ
テスタ用ハンドラのアンローダ部の平面図、第９図は従
来のチップオンボード試験装置の斜視図である。 Ａ・・・ローダ部、Ｂ・・・測定部、Ｃ・・・アンロー
ダ部、１・・・操作盤、２・・・ローダロボット、３・
・・パレットローダ、４・・・ローディングテーブル、
５・・・空パレツトストッカー、１０・・・パレット、
１１・・・枠、１２・・・ｂ部爪、１３・・・上部爪、
】４・・・上部爪昇降用エアシリンダ、１５・・・下部
昇降用エアシリンダ、１６・・・上部爪開閉用エアシリ
ンダ、１７・・・下部爪開閉用エアシリンダ、１８・・
・レール、１９・・・パレットブツシャ、２０・・・九
′ベルトコンベア、２１・・・通過確認用光電センサ、
２２・・・位置決めストツパ、２３・・・到着検出用光
電センサ、２４、６４・・・位置決めブツシャ、２５・
・・駆動プーリ、２６・・・従動プーリ、２７・・・チ
ンプオンボード、３０・・・ターンテーブル、３１・・
・ワークヘッド、３２・・・ワークガイド、３２ａ、３
２ｂ・＝ワークガイド片、３３ａ、３３ｂ−・・テーパ
、３４・・・測定ヘッド、３５・・・配線ヘッド、３６
・・・対物へラド、３７・・・ワークセンサ、３８・・
・ワーク検出用吸気孔、４０・・・ワークガイド昇降用
アーム、４１・・・ワークガイド昇降用シリンダ、４３
・・・旋回用ロータリアクチュエータ、４４・・・ワー
クヘッド昇降用シリンダ、４５・・・対物ヘッド調整台
、４６・・・対物ヘッド徽調整用マイクロメータ、６０
・・・パレットローダ、６１・・・アンローダロボット
、６３・・・アンローディングテーブル、６５・・・パ
レットキックアウトコンベア、６７・・・良品パレット
ストックレール、６８・・・不良品収納ボックス。 特許出願人　沖電気工業株式会社 （外３名）

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１） （ａ）測定すべき集積回路装置が載置されたパレットを
   １枚ずつ順次送り出すパレットローダと、該送り出され
   たパレットを所定位置に固定するローディングテーブル
   と、該固定されるパレットから集積回路装置を１個ずつ
   ピックアップするローダロボットとを有するローダ部と
   、 （ｂ）該ピックアップされた集積回路装置を受容するワ
   ークガイドがセットされる第１のヘッドと、対物ヘッド
   に当接可能な第２のヘッドと、該第１のヘッドと第２の
   ヘッドとの位置を互いに交換する手段と、前記対物ヘッ
   ドに接続される測定手段と、測定が終了した集積回路装
   置を１個ずつピックアップするアンローダロボットとを
   有する測定部と、 （ｃ）空パレットを１枚ずつ順次送り出すパレットロー
   ダと、該送り出されたパレットを所定位置に固定するア
   ンローディングテーブルと、該固定されるパレットに測
   定が終了した集積回路装置を１個ずつ載置する手段と、
   集積回路装置が載置されたパレットをストックする手段
   とを有するアンローダ部を具備する集積回路装置テスタ
   用ハンドラ。
2. （２）集積回路装置を受容するワークガイドがセットさ
   れる第１のヘッドと、対物ヘッドに当接可能な第２のヘ
   ッドと、該第１のヘッドと第２のヘッドとの位置を互い
   に交換するロータリアクチュエータと、前記第１のヘッ
   ド及び第２のヘッドに設けられるワークセンサと、対物
   ヘッドに接続される測定手段と、測定が終了した集積回
   路装置を１個ずつピックアップするアンローダロボット
   とを具備する測定部を有することを特徴とする集積回路
   装置テスタ用ハンドラ。
3. （３）前記ワークガイドは複数のワークガイド片を備え
   、該ワークガイド片の対向側に集積回路装置の位置決め
   ガイドを行うテーパを形成するようにしたことを特徴と
   する請求項１又は２記載の集積回路装置テスタ用ハンド
   ラ。
4. （４）前記第１のヘッド及び第２のヘッドに設けられる
   ワークセンサはバキューム手段を具備する請求項２記載
   の集積回路装置テスタ用ハンドラ。
5. （５） （ａ）測定すべき集積回路装置が載置されたパレットを
   １枚ずつ順次送り出し、該送り出されたパレットを所定
   位置に固定し、該固定されるパレットから集積回路装置
   を１個ずつピックアップする工程と、 （ｂ）該ピックアップされた集積回路装置をヘッド上に
   設定されるワークガイド間にセットし、該第１のヘッド
   を移動して対物ヘッドに当接し、測定を行う工程と、 （ｃ）測定が終了した集積回路装置を１個ずつ待機する
   空パレットに載置し、載置されたパレットをストックす
   る工程を施す集積回路装置のハンドリング方法。