JPH05152406A - Ｉｃチツプ外観検査装置 - Google Patents
Ｉｃチツプ外観検査装置Info
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- JPH05152406A JPH05152406A JP34244991A JP34244991A JPH05152406A JP H05152406 A JPH05152406 A JP H05152406A JP 34244991 A JP34244991 A JP 34244991A JP 34244991 A JP34244991 A JP 34244991A JP H05152406 A JPH05152406 A JP H05152406A
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- Japan
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- chip
- chips
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 不良品チップの見落とし等の官能検査の問題
点がなく、しかも従来の外観検査装置よりも外観検査に
必要な時間を短縮する。 【構成】 チップを収納するトレイを移動させるトレイ
移動系100 と、トレイに収納されたままの状態でチップ
の外観検査を行う外観検査部200 と、良品チップと不良
品チップとを別個のトレイに分別するチップ分別部300
と、分別後のトレイを収納するトレイ収納部400 とを備
えており、外観検査部200 は、トレイを載置するＸＹθ
テーブル210 と、このＸＹθテーブル210 の上方に設け
られる画像入力部220 と、この画像入力部220 から入力
された画像を処理する画像処理部と、検査結果を記憶す
るメモリ部とを有している。
点がなく、しかも従来の外観検査装置よりも外観検査に
必要な時間を短縮する。 【構成】 チップを収納するトレイを移動させるトレイ
移動系100 と、トレイに収納されたままの状態でチップ
の外観検査を行う外観検査部200 と、良品チップと不良
品チップとを別個のトレイに分別するチップ分別部300
と、分別後のトレイを収納するトレイ収納部400 とを備
えており、外観検査部200 は、トレイを載置するＸＹθ
テーブル210 と、このＸＹθテーブル210 の上方に設け
られる画像入力部220 と、この画像入力部220 から入力
された画像を処理する画像処理部と、検査結果を記憶す
るメモリ部とを有している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイシングされたＩＣ
チップ（以下、『チップ』とする）の外観検査を行い、
チップを不良品と良品とに分別するＩＣチップ外観検査
装置に関する。
チップ（以下、『チップ』とする）の外観検査を行い、
チップを不良品と良品とに分別するＩＣチップ外観検査
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】チップの検査工程の１つに、ダイシング
後のチップの外観検査がある。かかるチップの外観検査
は、オペレータの目視による官能検査又は画像処理を用
いた検査装置によって行われている。
後のチップの外観検査がある。かかるチップの外観検査
は、オペレータの目視による官能検査又は画像処理を用
いた検査装置によって行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のチップの外観検査には以下のような問題点があ
る。すなわち、オペレータの目視による場合は、不良品
チップを見落とす可能性があるとともに、不良品と判断
するレベルの個人差は避けられない。このため、不良の
定量的な判断が困難である。また、連続して検査可能な
時間にも限りがあるので、効率的な検査を行うことがで
きない。また、従来のＩＣチップ外観検査装置では、不
良品チップの見落とし等の問題は生じないが、トレイに
碁盤目状に形成されたチップ収納部にチップを収納し、
このチップをピックアップ機構で１つずつ検査位置まで
移動させた後に外観検査を行っているので、外観検査に
は長い時間が必要となっている。
た従来のチップの外観検査には以下のような問題点があ
る。すなわち、オペレータの目視による場合は、不良品
チップを見落とす可能性があるとともに、不良品と判断
するレベルの個人差は避けられない。このため、不良の
定量的な判断が困難である。また、連続して検査可能な
時間にも限りがあるので、効率的な検査を行うことがで
きない。また、従来のＩＣチップ外観検査装置では、不
良品チップの見落とし等の問題は生じないが、トレイに
碁盤目状に形成されたチップ収納部にチップを収納し、
このチップをピックアップ機構で１つずつ検査位置まで
移動させた後に外観検査を行っているので、外観検査に
は長い時間が必要となっている。
【０００４】本発明は上記事情に鑑みて創案されたもの
で、不良品チップの見落とし等の官能検査の問題点がな
く、しかも従来の外観検査装置よりも外観検査に必要な
時間を短縮することができるＩＣチップ外観検査装置を
提供することを目的としている。
で、不良品チップの見落とし等の官能検査の問題点がな
く、しかも従来の外観検査装置よりも外観検査に必要な
時間を短縮することができるＩＣチップ外観検査装置を
提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るＩＣチップ
外観検査装置は、ＩＣチップを収納するトレイを移動さ
せるトレイ移動系と、トレイに収納されたままの状態で
ＩＣチップの外観検査を行う外観検査部と、外観検査結
果に応じて良品チップと不良品チップとを別個のトレイ
に分別するチップ分別部と、分別後のトレイを収納する
トレイ収納部とを有している。
外観検査装置は、ＩＣチップを収納するトレイを移動さ
せるトレイ移動系と、トレイに収納されたままの状態で
ＩＣチップの外観検査を行う外観検査部と、外観検査結
果に応じて良品チップと不良品チップとを別個のトレイ
に分別するチップ分別部と、分別後のトレイを収納する
トレイ収納部とを有している。
【０００６】
【実施例】図１は本発明の一実施例に係るＩＣチップ外
観検査装置の概略的平面図、図２はこのＩＣチップ外観
検査装置の外観斜視図、図３はこのＩＣチップ外観検査
装置の動作順序を示すフローチャート、図４はチップを
収納するトレイの外観斜視図である。
観検査装置の概略的平面図、図２はこのＩＣチップ外観
検査装置の外観斜視図、図３はこのＩＣチップ外観検査
装置の動作順序を示すフローチャート、図４はチップを
収納するトレイの外観斜視図である。
【０００７】本実施例に係るＩＣチップ外観検査装置
は、チップ700 を収納するトレイ600を移動させるトレ
イ移動系100 と、トレイ600 に収納されたままの状態で
チップ700 の外観検査を行う外観検査部200 と、良品チ
ップと不良品チップとを別個のトレイ500 に分別するチ
ップ分別部300 と、分別後のトレイを収納するトレイ収
納部400 とを有している。
は、チップ700 を収納するトレイ600を移動させるトレ
イ移動系100 と、トレイ600 に収納されたままの状態で
チップ700 の外観検査を行う外観検査部200 と、良品チ
ップと不良品チップとを別個のトレイ500 に分別するチ
ップ分別部300 と、分別後のトレイを収納するトレイ収
納部400 とを有している。
【０００８】本実施例に係るＩＣチップ外観検査装置で
の外観検査に用いられるトレイ600は、図４に示すよう
に、収納されるべきチップ700 より若干大きめに設定さ
れた複数の収納部610 が碁盤目状に凹設されている。
の外観検査に用いられるトレイ600は、図４に示すよう
に、収納されるべきチップ700 より若干大きめに設定さ
れた複数の収納部610 が碁盤目状に凹設されている。
【０００９】本実施例に係るＩＣチップ外観検査装置
は、基台500 と、この基台500 の上面に設けられた部
分、例えば外観検査部200 の画像入力部220 等とに大別
される。基台500 には、このＩＣチップ外観検査装置の
全体を制御する制御部や、外観検査部200 の制御部等が
収められている。
は、基台500 と、この基台500 の上面に設けられた部
分、例えば外観検査部200 の画像入力部220 等とに大別
される。基台500 には、このＩＣチップ外観検査装置の
全体を制御する制御部や、外観検査部200 の制御部等が
収められている。
【００１０】前記トレイ移動系100 は、トレイを移動さ
せるものであって、検査前のチップが収納されたトレイ
を外観検査位置Ｐ1 に移動させるトレイ供給部110 と、
チップの検査が終了した後のトレイを外観検査位置Ｐ1
からチップ分別位置Ｐ2 を介してトレイ収納部400 にま
で移動させるトレイ移動部120 とを有している。
せるものであって、検査前のチップが収納されたトレイ
を外観検査位置Ｐ1 に移動させるトレイ供給部110 と、
チップの検査が終了した後のトレイを外観検査位置Ｐ1
からチップ分別位置Ｐ2 を介してトレイ収納部400 にま
で移動させるトレイ移動部120 とを有している。
【００１１】トレイ供給部110 は、複数のトレイが収納
された搬送マガジン (図示省略) を上下方向に移動させ
る上下動機構 (図示省略) と、搬送マガジンに収納され
たトレイのうち最上部にあるトレイを水平方向に引き出
して、外観検査位置Ｐ1 にまで移動させる水平動機構
(図示省略) とを有している。
された搬送マガジン (図示省略) を上下方向に移動させ
る上下動機構 (図示省略) と、搬送マガジンに収納され
たトレイのうち最上部にあるトレイを水平方向に引き出
して、外観検査位置Ｐ1 にまで移動させる水平動機構
(図示省略) とを有している。
【００１２】また、トレイ移動部120 は、図１に示す矢
印Ａ方向に往復移動可能になったスライダ121 と、この
スライダ121 のガイド122 と、前記スライダ121 の下面
側に設けられたトレイ把持用爪 (図示省略) と、このト
レイ把持爪を図１に示す矢印Ｂ方向及び上下方向に移動
させる爪移動機構 (図示省略) とを有している。
印Ａ方向に往復移動可能になったスライダ121 と、この
スライダ121 のガイド122 と、前記スライダ121 の下面
側に設けられたトレイ把持用爪 (図示省略) と、このト
レイ把持爪を図１に示す矢印Ｂ方向及び上下方向に移動
させる爪移動機構 (図示省略) とを有している。
【００１３】また、前記外観検査部200 は、外観検査位
置Ｐ1に設けられたＸＹθテーブル210 と、このＸＹθ
テーブル210の上方に設けられた画像入力部220 と、こ
の画像入力部220 から入力された画像を予め記憶した画
像データと比較し、外観不良の有無を判別する画像処理
部 (図示省略) と、その検査結果を記憶するメモリ部
(図示省略) とを有している。
置Ｐ1に設けられたＸＹθテーブル210 と、このＸＹθ
テーブル210の上方に設けられた画像入力部220 と、こ
の画像入力部220 から入力された画像を予め記憶した画
像データと比較し、外観不良の有無を判別する画像処理
部 (図示省略) と、その検査結果を記憶するメモリ部
(図示省略) とを有している。
【００１４】前記ＸＹθテーブル210 には、トレイＰ2
のＸＹθテーブル210 における位置、すなわち外観検査
位置Ｐ1 での位置決めのための機構、例えばトレイを４
方向から挟み込んで固定する機構 (図示省略) が設けら
れている。このＸＹθテーブル210 は、載置されたトレ
イをチップに相当するピッチずつ移動させるようになっ
ている。
のＸＹθテーブル210 における位置、すなわち外観検査
位置Ｐ1 での位置決めのための機構、例えばトレイを４
方向から挟み込んで固定する機構 (図示省略) が設けら
れている。このＸＹθテーブル210 は、載置されたトレ
イをチップに相当するピッチずつ移動させるようになっ
ている。
【００１５】金属顕微鏡やＣＣＤカメラ等からなる画像
入力部220 は、外観検査位置Ｐ1 にあるトレイに収納さ
れたすべてのチップの画像を前記画像処理部に順番に入
力する。画像処理部では、画像処理でもって入力された
画像のチップが良品であるか不良品であるかを判断す
る。
入力部220 は、外観検査位置Ｐ1 にあるトレイに収納さ
れたすべてのチップの画像を前記画像処理部に順番に入
力する。画像処理部では、画像処理でもって入力された
画像のチップが良品であるか不良品であるかを判断す
る。
【００１６】前記メモリ部は、前記画像処理部での判断
結果たるすべてのチップの良不良の別と、その位置座標
とを併せて記憶している。
結果たるすべてのチップの良不良の別と、その位置座標
とを併せて記憶している。
【００１７】チップ分別部300 は、チップ分別位置Ｐ2
にあるトレイに収納されたチップをピックアップするピ
ックアップ部310 と、このピックアップ部310 を駆動す
る駆動部 (図示省略) とを有している。
にあるトレイに収納されたチップをピックアップするピ
ックアップ部310 と、このピックアップ部310 を駆動す
る駆動部 (図示省略) とを有している。
【００１８】前記ピックアップ部310 は、先端部に角錐
型の吸着コレット (図示省略) が設けられたアーム311
を有しており、トレイに収納されたチップを吸着する。
このようなピックアップ部310 は、駆動部によってアー
ム311 の基端部311Aを中心として旋回可能になるととも
に、先端部の吸着コレットが上下動可能になっている。
型の吸着コレット (図示省略) が設けられたアーム311
を有しており、トレイに収納されたチップを吸着する。
このようなピックアップ部310 は、駆動部によってアー
ム311 の基端部311Aを中心として旋回可能になるととも
に、先端部の吸着コレットが上下動可能になっている。
【００１９】トレイ収納部400 には、良品用トレイ収納
部410 と、不良品用トレイ収納部420 とがあり、良品用
トレイ収納部410は良品チップのみが収納される良品用
トレイを、不良品用トレイ収納部420 は不良品チップの
みが収納される不良品用トレイをそれぞれ積層状態で収
納する。良品用トレイ収納部410 と不良品用トレイ収納
部420 とへの各トレイの出し入れは、トレイ移動部120
によって行われる。
部410 と、不良品用トレイ収納部420 とがあり、良品用
トレイ収納部410は良品チップのみが収納される良品用
トレイを、不良品用トレイ収納部420 は不良品チップの
みが収納される不良品用トレイをそれぞれ積層状態で収
納する。良品用トレイ収納部410 と不良品用トレイ収納
部420 とへの各トレイの出し入れは、トレイ移動部120
によって行われる。
【００２０】次に、本実施例に係るＩＣチップ外観検査
装置の動作について、図３を参照しつつ詳細に説明す
る。まず、複数のトレイが収められた搬送マガジンをト
レイ供給部110 にセットする（Ｓ1 ）。なお、このトレ
イの収納部510 には、チップ700 選別機によってチップ
700 が予め収納されている。まず、最上部にあるトレイ
が水平動機構によって外観検査位置Ｐ1 にまで引き出さ
れる。これと同時に、上下動機構が搬送マガジンをトレ
イ１枚分だけ上方向に移動させる。
装置の動作について、図３を参照しつつ詳細に説明す
る。まず、複数のトレイが収められた搬送マガジンをト
レイ供給部110 にセットする（Ｓ1 ）。なお、このトレ
イの収納部510 には、チップ700 選別機によってチップ
700 が予め収納されている。まず、最上部にあるトレイ
が水平動機構によって外観検査位置Ｐ1 にまで引き出さ
れる。これと同時に、上下動機構が搬送マガジンをトレ
イ１枚分だけ上方向に移動させる。
【００２１】ＸＹθテーブル210 の上、すなわち外観検
査位置Ｐ1に載置されたトレイ600は、ＸＹθテーブル21
0 の上において固定される（Ｓ2 ）。そして、１番目の
チップ700 の外観検査を行うために、１番目のチップ70
0 が画像入力部220 の視野内に収まるようにＸＹθテー
ブル210 が駆動される（Ｓ3 ）。
査位置Ｐ1に載置されたトレイ600は、ＸＹθテーブル21
0 の上において固定される（Ｓ2 ）。そして、１番目の
チップ700 の外観検査を行うために、１番目のチップ70
0 が画像入力部220 の視野内に収まるようにＸＹθテー
ブル210 が駆動される（Ｓ3 ）。
【００２２】ＸＹθテーブル210 がチップ700 に相当す
るピッチずつ移動し、画像入力部220 から１番目のチッ
プから最後のチップまで順番に画像の入力を行う（Ｓ4
〜Ｓ5 ）。これと同時に、画像処理部は、入力された画
像と、予め記憶された画像データとが一致するか否かの
判断を画像処理で行い、両者が一致すれば良品チップ、
一致しなければ不良品チップと判断し、その旨を各チッ
プの位置座標とともにメモリ部に送出する。
るピッチずつ移動し、画像入力部220 から１番目のチッ
プから最後のチップまで順番に画像の入力を行う（Ｓ4
〜Ｓ5 ）。これと同時に、画像処理部は、入力された画
像と、予め記憶された画像データとが一致するか否かの
判断を画像処理で行い、両者が一致すれば良品チップ、
一致しなければ不良品チップと判断し、その旨を各チッ
プの位置座標とともにメモリ部に送出する。
【００２３】すべてのチップ700 の外観検査が完了した
（Ｓ5 ）１番目のトレイは、外観検査位置Ｐ1 からチッ
プ分別位置Ｐ2 に移動させられる（Ｓ6 ）。この移動
は、トレイ移動部120 によって行われる。すなわち、ト
レイは、スライダ121 に設けられたトレイ把持用爪によ
って把持されてチップ分別位置Ｐ2 にまで移動させられ
るのである。
（Ｓ5 ）１番目のトレイは、外観検査位置Ｐ1 からチッ
プ分別位置Ｐ2 に移動させられる（Ｓ6 ）。この移動
は、トレイ移動部120 によって行われる。すなわち、ト
レイは、スライダ121 に設けられたトレイ把持用爪によ
って把持されてチップ分別位置Ｐ2 にまで移動させられ
るのである。
【００２４】チップ分別位置Ｐ2 において、トレイに収
納されたチップのうち、前記メモリ部に記憶された位置
座標に従って不良品チップのみがチップ分別部200 によ
ってピックアップされ、不良品チップは不良品収容位置
Ｐ4 にある不良品用トレイに収納される（Ｓ7 ）。すな
わち、不良品チップは不良品用トレイに移し変えられる
のである。そして、すべての不良品チップがピックアッ
プされたトレイは、補充用トレイとして補充位置Ｐ3 に
移動させられる（Ｓ16) 。なお、既に補充位置Ｐ3 に補
充用トレイがある場合には (Ｓ10）、そのトレイはその
ままチップ分別位置Ｐ2 にある。
納されたチップのうち、前記メモリ部に記憶された位置
座標に従って不良品チップのみがチップ分別部200 によ
ってピックアップされ、不良品チップは不良品収容位置
Ｐ4 にある不良品用トレイに収納される（Ｓ7 ）。すな
わち、不良品チップは不良品用トレイに移し変えられる
のである。そして、すべての不良品チップがピックアッ
プされたトレイは、補充用トレイとして補充位置Ｐ3 に
移動させられる（Ｓ16) 。なお、既に補充位置Ｐ3 に補
充用トレイがある場合には (Ｓ10）、そのトレイはその
ままチップ分別位置Ｐ2 にある。
【００２５】搬送マガジンに収められたトレイのうち上
から２番目のトレイ、すなわち現在では最上部にあるト
レイが外観検査位置Ｐ1 に移動される（Ｓ17) 。そし
て、１番目のトレイと同様にして外観検査が行われ (Ｓ
3 〜Ｓ5 ) 、チップ分別位置Ｐ2 において前記と同様の
不良品チップのピックアップが行われる（Ｓ7 ）。
から２番目のトレイ、すなわち現在では最上部にあるト
レイが外観検査位置Ｐ1 に移動される（Ｓ17) 。そし
て、１番目のトレイと同様にして外観検査が行われ (Ｓ
3 〜Ｓ5 ) 、チップ分別位置Ｐ2 において前記と同様の
不良品チップのピックアップが行われる（Ｓ7 ）。
【００２６】２番目のトレイのすべての不良品チップの
ピックアップが終了したならば、不良品チップをピック
アップして空いた箇所に補充用トレイから良品チップが
補充される (Ｓ11) 。この良品チップの補充は、チップ
分別部200 によって行われる。
ピックアップが終了したならば、不良品チップをピック
アップして空いた箇所に補充用トレイから良品チップが
補充される (Ｓ11) 。この良品チップの補充は、チップ
分別部200 によって行われる。
【００２７】このようにして、２番目のトレイに収納さ
れたチップがすべて良品チップとなったならば (Ｓ13)
、トレイ移動部120 によって、良品トレイ収納部410
に移動させられる (Ｓ14) 。同様に、不良品用トレイが
一杯になったならば、トレイ移動部120 によって不良品
用トレイ収納部420 に移動させられる。
れたチップがすべて良品チップとなったならば (Ｓ13)
、トレイ移動部120 によって、良品トレイ収納部410
に移動させられる (Ｓ14) 。同様に、不良品用トレイが
一杯になったならば、トレイ移動部120 によって不良品
用トレイ収納部420 に移動させられる。
【００２８】上述した動作を繰り返して行うことによ
り、良品チップは良品用トレイに、不良品チップは不良
品用トレイに分けて収納することができる。
り、良品チップは良品用トレイに、不良品チップは不良
品用トレイに分けて収納することができる。
【００２９】なお、良品チップを補充している最中に補
充用トレイの良品チップが無くなったならば (Ｓ12) 、
良品チップの補充を受けていたトレイが新たな補充用ト
レイとして補充位置Ｐ3 に移動させられる (Ｓ18〜
Ｓ19) 。
充用トレイの良品チップが無くなったならば (Ｓ12) 、
良品チップの補充を受けていたトレイが新たな補充用ト
レイとして補充位置Ｐ3 に移動させられる (Ｓ18〜
Ｓ19) 。
【００３０】また、チップ分別位置Ｐ2 にあるトレイか
ら不良品チップをピックアップしている最中に不良品用
トレイが一杯になった場合には (Ｓ8)、不良品用トレイ
は不良品用トレイ収納部420 に収納されると同時に、新
たな不良品用トレイが供給される (Ｓ15) 。
ら不良品チップをピックアップしている最中に不良品用
トレイが一杯になった場合には (Ｓ8)、不良品用トレイ
は不良品用トレイ収納部420 に収納されると同時に、新
たな不良品用トレイが供給される (Ｓ15) 。
【００３１】
【発明の効果】本発明に係るＩＣチップ外観検査装置
は、ＩＣチップを収納するトレイを移動させるトレイ移
動系と、トレイに収納されたままの状態でＩＣチップの
外観検査を行う外観検査部と、外観検査結果に応じて良
品チップと不良品チップとを別個のトレイに分別するチ
ップ分別部と、分別後のトレイを収納するトレイ収納部
とを備えており、前記外観検査部は、トレイを載置する
ＸＹθテーブルと、このＸＹθテーブルの上方に設けら
れる画像入力部と、この画像入力部から入力された画像
を処理する画像処理部と、検査結果を記憶するメモリ部
とを有している。このため、チップの外観検査を画像処
理で行うことができるため、オペレータの目視による官
能検査にある問題点、すなわち不良品チップの見落とし
等が生じない。
は、ＩＣチップを収納するトレイを移動させるトレイ移
動系と、トレイに収納されたままの状態でＩＣチップの
外観検査を行う外観検査部と、外観検査結果に応じて良
品チップと不良品チップとを別個のトレイに分別するチ
ップ分別部と、分別後のトレイを収納するトレイ収納部
とを備えており、前記外観検査部は、トレイを載置する
ＸＹθテーブルと、このＸＹθテーブルの上方に設けら
れる画像入力部と、この画像入力部から入力された画像
を処理する画像処理部と、検査結果を記憶するメモリ部
とを有している。このため、チップの外観検査を画像処
理で行うことができるため、オペレータの目視による官
能検査にある問題点、すなわち不良品チップの見落とし
等が生じない。
【００３２】また、チップの外観検査をトレイに収納し
た状態で行うため、従来のようにすべてのチップを外観
検査位置に移動させる必要がないので従来の検査装置よ
り検査スピードを向上させることができる。
た状態で行うため、従来のようにすべてのチップを外観
検査位置に移動させる必要がないので従来の検査装置よ
り検査スピードを向上させることができる。
【図１】本発明の一実施例に係るＩＣチップ外観検査装
置の概略的平面図である。
置の概略的平面図である。
【図２】このＩＣチップ外観検査装置の外観斜視図であ
る。
る。
【図３】このＩＣチップ外観検査装置の動作順序を示す
フローチャートである。
フローチャートである。
【図４】チップを収納するトレイの外観斜視図である。
100 トレイ搬送系 200 外観検査部 300 チップ分別部 400 トレイ収納部 600 トレイ 700 チップ
Claims (4)
- 【請求項１】 ＩＣチップを収納するトレイを移動させ
るトレイ移動系と、トレイに収納されたままの状態でＩ
Ｃチップの外観検査を行う外観検査部と、外観検査結果
に応じて良品チップと不良品チップとを別個のトレイに
分別するチップ分別部と、分別後のトレイを収納するト
レイ収納部とを具備したことを特徴とするＩＣチップ外
観検査装置。 - 【請求項２】 前記外観検査部は、トレイを載置するＸ
Ｙθテーブルと、このＸＹθテーブルの上方に設けられ
る画像入力部と、この画像入力部から入力された画像を
処理する画像処理部と、検査結果を記憶するメモリ部と
を具備したことを特徴とする請求項１記載のＩＣチップ
外観検査装置。 - 【請求項３】 前記チップ分別部は不良品チップをトレ
イから他のトレイに移し変えるとともに、不良品チップ
を移し変えた後の空の箇所に他のトレイから良品チップ
を移し変えることを特徴とする請求項１又は２記載のＩ
Ｃチップ外観検査装置。 - 【請求項４】 前記トレイ収納部は、良品チップのみが
収納された良品用トレイを収納する良品用トレイ収納部
と、不良品チップのみが収納された不良品用トレイを収
納する不良品用トレイ収納部とを有していることを特徴
とする請求項１、２又は３記載のＩＣチップ外観検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34244991A JPH05152406A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | Ｉｃチツプ外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34244991A JPH05152406A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | Ｉｃチツプ外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05152406A true JPH05152406A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18353830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34244991A Pending JPH05152406A (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | Ｉｃチツプ外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05152406A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005017168A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 外観検査装置、外観検査方法、及び半導体チップの製造方法 |
| KR100500008B1 (ko) * | 1999-01-25 | 2005-07-14 | 삼성전자주식회사 | 다이 본딩 설비 및 이를 이용한 다이 본딩 방법 |
| CN100373574C (zh) * | 2005-05-30 | 2008-03-05 | 京元电子股份有限公司 | 晶粒拾取分类装置 |
| JP5158282B1 (ja) * | 2012-08-23 | 2013-03-06 | 富士ゼロックス株式会社 | 搬送装置、半導体素子の搬送方法、半導体素子の製造方法 |
| CN103424682A (zh) * | 2012-05-16 | 2013-12-04 | 欣岩企业有限公司 | 芯片测试装置及检测方法 |
| KR20150045239A (ko) * | 2013-10-18 | 2015-04-28 | 삼성테크윈 주식회사 | 모로섬 검출장치 |
-
1991
- 1991-11-29 JP JP34244991A patent/JPH05152406A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100500008B1 (ko) * | 1999-01-25 | 2005-07-14 | 삼성전자주식회사 | 다이 본딩 설비 및 이를 이용한 다이 본딩 방법 |
| JP2005017168A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Hitachi High-Tech Electronics Engineering Co Ltd | 外観検査装置、外観検査方法、及び半導体チップの製造方法 |
| CN100373574C (zh) * | 2005-05-30 | 2008-03-05 | 京元电子股份有限公司 | 晶粒拾取分类装置 |
| CN103424682A (zh) * | 2012-05-16 | 2013-12-04 | 欣岩企业有限公司 | 芯片测试装置及检测方法 |
| JP5158282B1 (ja) * | 2012-08-23 | 2013-03-06 | 富士ゼロックス株式会社 | 搬送装置、半導体素子の搬送方法、半導体素子の製造方法 |
| KR20150045239A (ko) * | 2013-10-18 | 2015-04-28 | 삼성테크윈 주식회사 | 모로섬 검출장치 |
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