JPH05297064A - 半導体素子検査装置 - Google Patents
半導体素子検査装置Info
- Publication number
- JPH05297064A JPH05297064A JP4096827A JP9682792A JPH05297064A JP H05297064 A JPH05297064 A JP H05297064A JP 4096827 A JP4096827 A JP 4096827A JP 9682792 A JP9682792 A JP 9682792A JP H05297064 A JPH05297064 A JP H05297064A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- probe card
- wafer
- semiconductor element
- identification number
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06705—Apparatus for holding or moving single probes
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体素子検査装置に装着されたプローブカ
ードが検査対象のウエハに対応したものか否かを検査前
に判定することができる半導体素子検査装置を提供す
る。 【構成】 プローブカード２６Ａの下面２７に、前記ウ
エハ１４の品種に対応した識別番号２８Ａを形成し、こ
の識別番号２８Ａを撮像するＴＶカメラ２０を３次元方
向に移動可能なテーブル１８に取り付ける。そして、前
記識別番号に対応するウエハ１４の品種を示す複数のデ
ータが予めメモリされた判定手段２９を設け、この判定
手段２９が、前記ＴＶカメラ２０からの識別番号を示す
情報に基づいて該情報が前記データ内で指定されている
検査対象のウエハ１４の品種を示すデータと合致するか
否かをウエハ１４の検査前に判定する。
ードが検査対象のウエハに対応したものか否かを検査前
に判定することができる半導体素子検査装置を提供す
る。 【構成】 プローブカード２６Ａの下面２７に、前記ウ
エハ１４の品種に対応した識別番号２８Ａを形成し、こ
の識別番号２８Ａを撮像するＴＶカメラ２０を３次元方
向に移動可能なテーブル１８に取り付ける。そして、前
記識別番号に対応するウエハ１４の品種を示す複数のデ
ータが予めメモリされた判定手段２９を設け、この判定
手段２９が、前記ＴＶカメラ２０からの識別番号を示す
情報に基づいて該情報が前記データ内で指定されている
検査対象のウエハ１４の品種を示すデータと合致するか
否かをウエハ１４の検査前に判定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体素子検査装置に係
り、特に半導体ウエハ上に多数形成された半導体素子回
路の電気特性を検査する半導体素子検査装置に関する。
り、特に半導体ウエハ上に多数形成された半導体素子回
路の電気特性を検査する半導体素子検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子は、ウエハと称される所定大
の略円盤形の薄板上を縦横に整列区画して、それぞれの
区画に所要の同一電気素子回路を多数形成することによ
り製造されている。このように製造されたウエハは、前
記電気素子回路を各チップとして分断する前に各電気素
子回路の形成品質を検査すべく、ウエハプローバと称さ
れる半導体素子検査装置で電気素子回路個々毎にその良
・不良が判定選別される。
の略円盤形の薄板上を縦横に整列区画して、それぞれの
区画に所要の同一電気素子回路を多数形成することによ
り製造されている。このように製造されたウエハは、前
記電気素子回路を各チップとして分断する前に各電気素
子回路の形成品質を検査すべく、ウエハプローバと称さ
れる半導体素子検査装置で電気素子回路個々毎にその良
・不良が判定選別される。
【０００３】前記半導体素子検査装置はテーブル及び装
置制御部判定部等から成り、テーブルはウエハを吸着し
て所要時にその素子配列に従ったＸ−Ｙ方向の水平移動
と、Ｚ方向の上下移動を行う。前記装置制御部判定部
は、検査対象の電気素子回路の各電極パッドに対応する
位置に設けられた接触針としてのプローブニードルを固
定保持する測子カード、即ちプローブカードを介して各
電気素子回路を順次検査判定する。
置制御部判定部等から成り、テーブルはウエハを吸着し
て所要時にその素子配列に従ったＸ−Ｙ方向の水平移動
と、Ｚ方向の上下移動を行う。前記装置制御部判定部
は、検査対象の電気素子回路の各電極パッドに対応する
位置に設けられた接触針としてのプローブニードルを固
定保持する測子カード、即ちプローブカードを介して各
電気素子回路を順次検査判定する。
【０００４】ところで、前記プローブカードは、ウエハ
の品種に対応した専用のカードが数種類用意されてい
る。即ち、検査前のウエハを収納したカセット内に同一
品種のウエハが収納されている場合には、１つのプロー
ブカードで検査し、カセットが変わりウエハの品種が変
わると、このウエハに対応したプローブカードに交換す
る必要がある。また、同一カセット内にも異なる品種の
ウエハが収納されている場合があり、このような場合に
は、ウエハが変わる毎にそのウエハに対応したプローブ
カードを選択する必要がある。
の品種に対応した専用のカードが数種類用意されてい
る。即ち、検査前のウエハを収納したカセット内に同一
品種のウエハが収納されている場合には、１つのプロー
ブカードで検査し、カセットが変わりウエハの品種が変
わると、このウエハに対応したプローブカードに交換す
る必要がある。また、同一カセット内にも異なる品種の
ウエハが収納されている場合があり、このような場合に
は、ウエハが変わる毎にそのウエハに対応したプローブ
カードを選択する必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
半導体素子検査装置は、選択したプローブカードが検査
対象のウエハに合致したものか否かを検査前に確認する
ことができない。従って、検査開始後に、プローブカー
ドを間違って選択したことに気づくと、検査をやり直さ
なければならないので、検査作業の能率が著しく低下す
るという欠点がある。
半導体素子検査装置は、選択したプローブカードが検査
対象のウエハに合致したものか否かを検査前に確認する
ことができない。従って、検査開始後に、プローブカー
ドを間違って選択したことに気づくと、検査をやり直さ
なければならないので、検査作業の能率が著しく低下す
るという欠点がある。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、選択した測子カードが検査対象の半導体素子に
合致したものか否かを検査前に判定することができる半
導体素子検査装置を提供することを目的とする。
もので、選択した測子カードが検査対象の半導体素子に
合致したものか否かを検査前に判定することができる半
導体素子検査装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、テーブルの吸着面に半導体素子を吸着すると
共に、測子カードに設けられた複数のプローブニードル
を前記半導体素子に形成された各電気素子回路の電極パ
ッドに当接して各電気素子回路の電気特性を検査する半
導体素子検査装置に於いて、前記測子カードの表面に、
前記半導体素子の品種に対応した識別番号若しくは記号
を測子カード毎に形成し、前記識別番号若しくは記号を
前記半導体素子の検査前に撮像する撮像手段を前記テー
ブルに設け、前記識別番号若しくは記号に対応する半導
体素子の品種を示す複数のデータが予めメモリされ、前
記撮像手段からの識別番号若しくは記号を示す情報に基
づいて該情報が前記データ内で指定されている検査対象
の半導体素子の品種を示すデータと合致するか否かを半
導体素子の検査前に判定する判定手段を設け、前記判定
手段の判定に基づいて、検査対象の半導体素子に測子カ
ードが合致していない場合にアラームを発する警告手段
を設けたことを特徴とする。
する為に、テーブルの吸着面に半導体素子を吸着すると
共に、測子カードに設けられた複数のプローブニードル
を前記半導体素子に形成された各電気素子回路の電極パ
ッドに当接して各電気素子回路の電気特性を検査する半
導体素子検査装置に於いて、前記測子カードの表面に、
前記半導体素子の品種に対応した識別番号若しくは記号
を測子カード毎に形成し、前記識別番号若しくは記号を
前記半導体素子の検査前に撮像する撮像手段を前記テー
ブルに設け、前記識別番号若しくは記号に対応する半導
体素子の品種を示す複数のデータが予めメモリされ、前
記撮像手段からの識別番号若しくは記号を示す情報に基
づいて該情報が前記データ内で指定されている検査対象
の半導体素子の品種を示すデータと合致するか否かを半
導体素子の検査前に判定する判定手段を設け、前記判定
手段の判定に基づいて、検査対象の半導体素子に測子カ
ードが合致していない場合にアラームを発する警告手段
を設けたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、選択して所定の部所に装着さ
れた測子カードの判別番号若しくは記号を、テーブルに
取り付けられた撮像手段で検査前に撮像し、この情報を
判定手段に出力する。判定手段は、前記情報に基づいて
該情報が、判定手段に予めメモリされているデータ内で
指定されている検査対象の半導体素子の品種を示すデー
タと合致するか否かを検査前に判定する。そして、合致
しない場合には、アラーム等で外部に知らせ、また、合
致した場合には検査を開始する。これにより、装着され
た測子カードを検査対象の半導体素子に合致したものか
否かを検査前に確認することができ、検査のやり直し作
業を無くすことができるので、検査作業を効率良く行う
ことができる。
れた測子カードの判別番号若しくは記号を、テーブルに
取り付けられた撮像手段で検査前に撮像し、この情報を
判定手段に出力する。判定手段は、前記情報に基づいて
該情報が、判定手段に予めメモリされているデータ内で
指定されている検査対象の半導体素子の品種を示すデー
タと合致するか否かを検査前に判定する。そして、合致
しない場合には、アラーム等で外部に知らせ、また、合
致した場合には検査を開始する。これにより、装着され
た測子カードを検査対象の半導体素子に合致したものか
否かを検査前に確認することができ、検査のやり直し作
業を無くすことができるので、検査作業を効率良く行う
ことができる。
【０００９】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る半導体素
子検査装置の好ましい実施例について詳説する。図１に
は本発明に係る半導体素子検査装置１０の実施例が示さ
れ、この半導体素子検査装置１０には移動ステージ１２
が設けられる。移動ステージ１２には、ウエハ１４を吸
着する吸着面１６を備えたテーブル１８が取り付けられ
ている。前記移動ステージ１２は、水平面上において互
いに直交するＸ方向及びＹ方向に移動可能で、且つＸ方
向及びＹ方向に直交するＺ方向、即ち図中上下方向に昇
降移動可能で、前記テーブル１８を一体的に３次元方向
に移動させることができる。
子検査装置の好ましい実施例について詳説する。図１に
は本発明に係る半導体素子検査装置１０の実施例が示さ
れ、この半導体素子検査装置１０には移動ステージ１２
が設けられる。移動ステージ１２には、ウエハ１４を吸
着する吸着面１６を備えたテーブル１８が取り付けられ
ている。前記移動ステージ１２は、水平面上において互
いに直交するＸ方向及びＹ方向に移動可能で、且つＸ方
向及びＹ方向に直交するＺ方向、即ち図中上下方向に昇
降移動可能で、前記テーブル１８を一体的に３次元方向
に移動させることができる。
【００１０】前記テーブル１８にはＴＶカメラ２０が設
置されている。このＴＶカメラ２０は、ヘッドステージ
２２のソケット２４に取り付けられた図２に示す測子カ
ード、即ちプローブカード２６Ａ（２６Ｂ、２６Ｃ、２
６Ｄ、２６Ｅ…）の下面２７に形成された識別番号２８
Ａ（２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…）を撮像し、そ
の識別番号２８Ａを示す情報を図３に示す判定手段２９
に出力することができる。前記識別番号２８Ａは、図１
に示したテーブル１８の吸着面１６に吸着された検査対
象のウエハ１４の品種に対応した番号であり、そのプロ
ーブカード２６Ａに設けられた図２に示す複数本のプロ
ーブニードル３０Ａ、３０Ａ…が、前記ウエハ１４の各
チップに形成された電極パッドに当接される。従って、
ウエハ１４を他の品種に変えることにより、その品種に
対応した識別番号２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…の
プローブカードを、プローブカードカセット３２に収納
されたプローブカード２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ、２６Ｅ
…から選択し、前記プローブカード２６Ａと交換され
る。尚、プローブカード２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６
Ｄ、２６Ｅ…は、図示しない既知の自動交換装置によっ
て、プローブカードカセット３２から指定されたプロー
ブカードがソケット２４に搬送され、そして検査終了時
にはソケット２４からプローブカードカセット３２の所
定の棚に収納される。
置されている。このＴＶカメラ２０は、ヘッドステージ
２２のソケット２４に取り付けられた図２に示す測子カ
ード、即ちプローブカード２６Ａ（２６Ｂ、２６Ｃ、２
６Ｄ、２６Ｅ…）の下面２７に形成された識別番号２８
Ａ（２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…）を撮像し、そ
の識別番号２８Ａを示す情報を図３に示す判定手段２９
に出力することができる。前記識別番号２８Ａは、図１
に示したテーブル１８の吸着面１６に吸着された検査対
象のウエハ１４の品種に対応した番号であり、そのプロ
ーブカード２６Ａに設けられた図２に示す複数本のプロ
ーブニードル３０Ａ、３０Ａ…が、前記ウエハ１４の各
チップに形成された電極パッドに当接される。従って、
ウエハ１４を他の品種に変えることにより、その品種に
対応した識別番号２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…の
プローブカードを、プローブカードカセット３２に収納
されたプローブカード２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ、２６Ｅ
…から選択し、前記プローブカード２６Ａと交換され
る。尚、プローブカード２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６
Ｄ、２６Ｅ…は、図示しない既知の自動交換装置によっ
て、プローブカードカセット３２から指定されたプロー
ブカードがソケット２４に搬送され、そして検査終了時
にはソケット２４からプローブカードカセット３２の所
定の棚に収納される。
【００１１】一方、前記判定手段２９は、識別番号２８
Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…に対応するウエ
ハの品種を示す複数のデータが予めメモリされており、
前記ソケット２４に取り付けられたプローブカード２６
Ａが検査対象のウエハ１４に合致したものか否かを判定
することができる。この判定方法は後述する。一方、前
記ウエハ１４、１４…はウエハカセット３４に予め収納
された同一品種のものであり、ローダステージ３６及び
ウエハハンドリングアーム３８を連動することによりウ
エハカセット３４から一枚ずつに取り出されて前記テー
ブル１８の吸着面１６に載置される。
Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…に対応するウエ
ハの品種を示す複数のデータが予めメモリされており、
前記ソケット２４に取り付けられたプローブカード２６
Ａが検査対象のウエハ１４に合致したものか否かを判定
することができる。この判定方法は後述する。一方、前
記ウエハ１４、１４…はウエハカセット３４に予め収納
された同一品種のものであり、ローダステージ３６及び
ウエハハンドリングアーム３８を連動することによりウ
エハカセット３４から一枚ずつに取り出されて前記テー
ブル１８の吸着面１６に載置される。
【００１２】尚、符号４０は顕微鏡であり、この顕微鏡
４０によってプローブニードル３０Ａ、３０Ａ…の前記
電極パッドに対する当接状況を確認することができる。
次に、前記如く構成された半導体素子検査装置１０の判
定手段２９によるプローブカード判定方法について説明
する。先ず、プローブカード２６Ａ（２６Ｂ、２６Ｃ、
２６Ｄ、２６Ｅ…）をソケット２４に取り付ける前に、
判定手段２９には図３に示す操作入力手段４２から検査
するウエハ１４の品種を指定した情報が入力される。こ
の情報は、判定手段２９に予めメモリされている前記デ
ータ内において、検査対象ウエハ１４の品種を示す情報
としてメモリされる。尚、前記操作入力手段４２は、半
導体素子検査装置１０のボディに取り付けられているも
のである。
４０によってプローブニードル３０Ａ、３０Ａ…の前記
電極パッドに対する当接状況を確認することができる。
次に、前記如く構成された半導体素子検査装置１０の判
定手段２９によるプローブカード判定方法について説明
する。先ず、プローブカード２６Ａ（２６Ｂ、２６Ｃ、
２６Ｄ、２６Ｅ…）をソケット２４に取り付ける前に、
判定手段２９には図３に示す操作入力手段４２から検査
するウエハ１４の品種を指定した情報が入力される。こ
の情報は、判定手段２９に予めメモリされている前記デ
ータ内において、検査対象ウエハ１４の品種を示す情報
としてメモリされる。尚、前記操作入力手段４２は、半
導体素子検査装置１０のボディに取り付けられているも
のである。
【００１３】次に、プローブカード２６Ａ（２６Ｂ、２
６Ｃ、２６Ｄ、２６Ｅ…）をソケット２４に取り付け
る。次いで、プローブカード２６Ａ（２６Ｂ、２６Ｃ、
２６Ｄ、２６Ｅ…）の識別番号２８Ａ（２８Ｂ、２８
Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…）をＴＶカメラ２０で撮像できる
ように、移動ステージ１２を駆動してテーブル１８を所
定の位置に移動させる。そして、ＴＶカメラ２０で前記
識別番号２８Ａ（２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…）
を撮像すると、この情報が判定手段２９に出力される。
６Ｃ、２６Ｄ、２６Ｅ…）をソケット２４に取り付け
る。次いで、プローブカード２６Ａ（２６Ｂ、２６Ｃ、
２６Ｄ、２６Ｅ…）の識別番号２８Ａ（２８Ｂ、２８
Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…）をＴＶカメラ２０で撮像できる
ように、移動ステージ１２を駆動してテーブル１８を所
定の位置に移動させる。そして、ＴＶカメラ２０で前記
識別番号２８Ａ（２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…）
を撮像すると、この情報が判定手段２９に出力される。
【００１４】そして、判定手段２９は、ＴＶカメラ２０
からの前記情報に基づいて該情報が、判定手段２９のデ
ータ内で指定されている前記検査対象のウエハ１４の品
種を示すデータと合致するか否かを判定する。そして、
合致していない場合には、アラーム４４を発して外部に
知らせ、また、合致している場合には検査を開始する。
からの前記情報に基づいて該情報が、判定手段２９のデ
ータ内で指定されている前記検査対象のウエハ１４の品
種を示すデータと合致するか否かを判定する。そして、
合致していない場合には、アラーム４４を発して外部に
知らせ、また、合致している場合には検査を開始する。
【００１５】これにより、本実施例では、装着されたプ
ローブカード２６Ａ（２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ、２６Ｅ
…）が検査対象のウエハ１４に対応するか否かを検査前
に確認することができ、検査のやり直し作業を無くすこ
とができるので、検査作業を効率良く行うことができ
る。尚、本実施例では、プローブカード２６Ａ（２６
Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ、２６Ｅ…）に識別番号２８Ａ（２
８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…）を付すようにした
が、これに限られるものではなく、例えばアルファベッ
ト、バーコード等の記号でも良い。
ローブカード２６Ａ（２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ、２６Ｅ
…）が検査対象のウエハ１４に対応するか否かを検査前
に確認することができ、検査のやり直し作業を無くすこ
とができるので、検査作業を効率良く行うことができ
る。尚、本実施例では、プローブカード２６Ａ（２６
Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ、２６Ｅ…）に識別番号２８Ａ（２
８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…）を付すようにした
が、これに限られるものではなく、例えばアルファベッ
ト、バーコード等の記号でも良い。
【００１６】また、本実施例では、識別番号２８Ａ（２
８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…）を撮像する手段とし
てＴＶカメラ２０を用いたが、これに限られるものでは
なく、ＣＣＤカメラ、顕微鏡等でも良い。また、本実施
例では、ソケット２４に取り付けた後に識別番号を撮像
したが、取り付けるために搬送してくる途中に撮像して
も良い。
８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…）を撮像する手段とし
てＴＶカメラ２０を用いたが、これに限られるものでは
なく、ＣＣＤカメラ、顕微鏡等でも良い。また、本実施
例では、ソケット２４に取り付けた後に識別番号を撮像
したが、取り付けるために搬送してくる途中に撮像して
も良い。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る半導体
素子検査装置によれば、装着された測子カードの判別番
号若しくは記号を、テーブルに取り付けられた撮像手段
で検査前に撮像し、この情報を判定手段に出力し、そし
て、判定手段で、前記情報に基づいて該情報が、判定手
段に予めメモリされているデータ内で指定されている検
査対象の半導体素子の品種を示すデータと合致するか否
かを検査前に判定するようにした。これにより、従来生
じていた検査のやり直し作業を無くすことができるの
で、検査作業を効率良く行うことができる。
素子検査装置によれば、装着された測子カードの判別番
号若しくは記号を、テーブルに取り付けられた撮像手段
で検査前に撮像し、この情報を判定手段に出力し、そし
て、判定手段で、前記情報に基づいて該情報が、判定手
段に予めメモリされているデータ内で指定されている検
査対象の半導体素子の品種を示すデータと合致するか否
かを検査前に判定するようにした。これにより、従来生
じていた検査のやり直し作業を無くすことができるの
で、検査作業を効率良く行うことができる。
【図１】本発明に係る半導体素子検査装置の実施例を示
す説明図
す説明図
【図２】本発明に係る半導体素子検査装置に適用された
プローブカードの説明図
プローブカードの説明図
【図３】本発明に係る半導体素子検査装置のプローブカ
ード判定方法のブロック図
ード判定方法のブロック図
１０…半導体素子検査装置 １２…移動ステージ １８…テーブル ２０…ＴＶカメラ ２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ、２６Ｅ…プローブカ
ード ２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…識別番号 ２９…判定手段 ３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ、３０Ｅ…プローブニ
ードル ４２…操作入力手段 ４４…アラーム
ード ２８Ａ、２８Ｂ、２８Ｃ、２８Ｄ、２８Ｅ…識別番号 ２９…判定手段 ３０Ａ、３０Ｂ、３０Ｃ、３０Ｄ、３０Ｅ…プローブニ
ードル ４２…操作入力手段 ４４…アラーム
Claims (1)
- 【請求項１】 テーブルの吸着面に半導体素子を吸着す
ると共に、測子カードに設けられた複数のプローブニー
ドルを前記半導体素子に形成された各電気素子回路の電
極パッドに当接して各電気素子回路の電気特性を検査す
る半導体素子検査装置に於いて、 前記測子カードの表面に、前記半導体素子の品種に対応
した識別番号若しくは記号を測子カード毎に形成し、 前記識別番号若しくは記号を前記半導体素子の検査前に
撮像する撮像手段を前記テーブルに設け、 前記識別番号若しくは記号に対応する半導体素子の品種
を示す複数のデータが予めメモリされ、前記撮像手段か
らの識別番号若しくは記号を示す情報に基づいて該情報
が前記データ内で指定されている検査対象の半導体素子
の品種を示すデータと合致するか否かを半導体素子の検
査前に判定する判定手段を設け、 前記判定手段の判定に基づいて、検査対象の半導体素子
に測子カードが合致していない場合にアラームを発する
警告手段を設けたことを特徴とする半導体素子検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4096827A JPH05297064A (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | 半導体素子検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4096827A JPH05297064A (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | 半導体素子検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05297064A true JPH05297064A (ja) | 1993-11-12 |
Family
ID=14175392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4096827A Pending JPH05297064A (ja) | 1992-04-16 | 1992-04-16 | 半導体素子検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05297064A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0782001A1 (en) * | 1995-12-29 | 1997-07-02 | STMicroelectronics S.A. | Probe card identification for computer aided manufacturing |
| KR100595139B1 (ko) * | 2004-12-31 | 2006-06-30 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 프루브 카드의 아이디 인식 장치 및 그 인식 방법 |
| JP2016181601A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 株式会社東京精密 | プローバ及びウエハチャック温度測定方法 |
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1992
- 1992-04-16 JP JP4096827A patent/JPH05297064A/ja active Pending
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