JP3050764B2 - Ｉｃチップ外観検査装置 - Google Patents
Ｉｃチップ外観検査装置Info
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- JP3050764B2 JP3050764B2 JP6293007A JP29300794A JP3050764B2 JP 3050764 B2 JP3050764 B2 JP 3050764B2 JP 6293007 A JP6293007 A JP 6293007A JP 29300794 A JP29300794 A JP 29300794A JP 3050764 B2 JP3050764 B2 JP 3050764B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ダイシングされたＩＣ
チップの外観検査を行い、ＩＣチップを不良品と良品と
に分別するＩＣチップ外観検査装置に関するものであ
る。
チップの外観検査を行い、ＩＣチップを不良品と良品と
に分別するＩＣチップ外観検査装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来技術】従来のＩＣチップ外観検査装置は、図６に
示すようにトレイ３０に収納されたＩＣチップ１を上方
からコレット３１で真空吸着して、ＸＹθテーブル３２
の上に設けられた検査ステージ３３に移動させ、検査ス
テージ３３で真空吸着によりＩＣチップ１を固定し、そ
の上方に設けられた顕微鏡カメラ３４による画像入力部
に画像を入力し、入力された画像を画像処理部（図示せ
ず。）によって処理し、検査を行っていた。また、別の
方法として、特開平５−１５２４０６号公報に記載のよ
うに、ＩＣチップをトレイに収納したままの状態で、外
観検査を行う方法もある。
示すようにトレイ３０に収納されたＩＣチップ１を上方
からコレット３１で真空吸着して、ＸＹθテーブル３２
の上に設けられた検査ステージ３３に移動させ、検査ス
テージ３３で真空吸着によりＩＣチップ１を固定し、そ
の上方に設けられた顕微鏡カメラ３４による画像入力部
に画像を入力し、入力された画像を画像処理部（図示せ
ず。）によって処理し、検査を行っていた。また、別の
方法として、特開平５−１５２４０６号公報に記載のよ
うに、ＩＣチップをトレイに収納したままの状態で、外
観検査を行う方法もある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の外観検査装置には、以下の問題点がある。
た従来の外観検査装置には、以下の問題点がある。
【０００４】まず、トレイに収納されたＩＣチップをピ
ックアップ機構で一のチップづつ検査位置まで移動させ
た後に外観検査を行った場合、検査に長い時間を要し、
ＩＣチップを移動させる際に、ＩＣチップを傷つけて歩
留まりが低下する。
ックアップ機構で一のチップづつ検査位置まで移動させ
た後に外観検査を行った場合、検査に長い時間を要し、
ＩＣチップを移動させる際に、ＩＣチップを傷つけて歩
留まりが低下する。
【０００５】また、トレイに収納されたままの状態で、
ＩＣチップに形成された微細パターンを撮像することを
目的として、トレイ内のＩＣチップにその上方から拡散
照明する環状照明を照射して撮像した場合、トレイ凹部
の影響でチップのエッジ付近が影になりエッジ付近の正
確な検査が行えない。
ＩＣチップに形成された微細パターンを撮像することを
目的として、トレイ内のＩＣチップにその上方から拡散
照明する環状照明を照射して撮像した場合、トレイ凹部
の影響でチップのエッジ付近が影になりエッジ付近の正
確な検査が行えない。
【０００６】更に、トレイに収納されたままの状態で、
ＩＣチップを上方から撮像し検査し、同一ＩＣチップを
分割して、カメラ視野移動を高速で行った場合、ＩＣチ
ップの位置決め固定を行っていないため、ＩＣチップの
位置ずれが発生し、高速移動による正確な検査が行え
ず、検査に時間を要していた。
ＩＣチップを上方から撮像し検査し、同一ＩＣチップを
分割して、カメラ視野移動を高速で行った場合、ＩＣチ
ップの位置決め固定を行っていないため、ＩＣチップの
位置ずれが発生し、高速移動による正確な検査が行え
ず、検査に時間を要していた。
【０００７】本発明は、トレイにＩＣチップを収納した
ままの状態で、ＩＣチップ全体に照明をあてることがで
き、しかもＩＣチップに傷つけることなく、従来の外観
検査装置よりも検査に必要な時間を短縮することができ
るＩＣチップ外観検査装置を提供することを目的とす
る。
ままの状態で、ＩＣチップ全体に照明をあてることがで
き、しかもＩＣチップに傷つけることなく、従来の外観
検査装置よりも検査に必要な時間を短縮することができ
るＩＣチップ外観検査装置を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の本発明
のＩＣチップ外観検査装置は、トレイに収納されたダイ
シング済みのＩＣチップの表面の画像を、該ＩＣチップ
上方から顕微鏡及びカメラによって取り込んで、該ＩＣ
チップの外観を検査するＩＣチップ外観検査装置におい
て、上記ＩＣチップを収納する収納部の底面に穴を有す
るトレイと、上記トレイに搭載された上記ＩＣチップを
上記トレイに設けられた穴を通して下方から真空吸着
し、且つ上下駆動可能な、上記トレイに収納されるＩＣ
チップの数と同数のコレットと、上記トレイ及び上記コ
レットを移動させるＸＹθテーブルとを有することを特
徴とするものである。
のＩＣチップ外観検査装置は、トレイに収納されたダイ
シング済みのＩＣチップの表面の画像を、該ＩＣチップ
上方から顕微鏡及びカメラによって取り込んで、該ＩＣ
チップの外観を検査するＩＣチップ外観検査装置におい
て、上記ＩＣチップを収納する収納部の底面に穴を有す
るトレイと、上記トレイに搭載された上記ＩＣチップを
上記トレイに設けられた穴を通して下方から真空吸着
し、且つ上下駆動可能な、上記トレイに収納されるＩＣ
チップの数と同数のコレットと、上記トレイ及び上記コ
レットを移動させるＸＹθテーブルとを有することを特
徴とするものである。
【０００９】また、請求項２に記載の本発明のＩＣチッ
プ外観検査装置は、トレイに収納されたダイシング済み
のＩＣチップの表面の画像を該ＩＣチップ上方から顕微
鏡及びカメラによって取り込んで、該ＩＣチップの外観
を検査するＩＣチップ外観検査装置において、上記ＩＣ
チップを収納する収納部の底面に穴を有するトレイと、
該トレイを移動させるＸＹテーブルと、上記トレイに搭
載された上記ＩＣチップを上記トレイに設けられた穴を
通して下方から真空吸着し、且つ上下駆動可能な、一の
コレットと、該コレットを移動させるＸＹθテーブルと
を有することを特徴とするものである。
プ外観検査装置は、トレイに収納されたダイシング済み
のＩＣチップの表面の画像を該ＩＣチップ上方から顕微
鏡及びカメラによって取り込んで、該ＩＣチップの外観
を検査するＩＣチップ外観検査装置において、上記ＩＣ
チップを収納する収納部の底面に穴を有するトレイと、
該トレイを移動させるＸＹテーブルと、上記トレイに搭
載された上記ＩＣチップを上記トレイに設けられた穴を
通して下方から真空吸着し、且つ上下駆動可能な、一の
コレットと、該コレットを移動させるＸＹθテーブルと
を有することを特徴とするものである。
【００１０】更に、請求項３に記載の本発明のＩＣチッ
プ外観検査装置は、上記ＸＹθテーブルの代わりに、θ
テーブルを有することを特徴とする、請求項２記載のＩ
Ｃチップ外観検査装置である。
プ外観検査装置は、上記ＸＹθテーブルの代わりに、θ
テーブルを有することを特徴とする、請求項２記載のＩ
Ｃチップ外観検査装置である。
【００１１】
【作用】上記構成によると、穴あきトレイに収納された
ＩＣチップを上記穴より下方から上下駆動可能な、１本
又はトレイに収納されるＩＣチップの数と同数のコレッ
トによって真空吸着しながら突き上げて、トレイの影が
ＩＣチップ上面にくることを無くすことにより、トレイ
からＩＣチップを取り出さずにＩＣチップ間の移動と、
同一ＩＣチップを分割拡大して、ＩＣチップ全体の撮像
と正確な検査とを行うことができ、さらに、ＩＣチップ
に傷をつけることなく従来の外観検査装置より短時間で
検査が可能となる。
ＩＣチップを上記穴より下方から上下駆動可能な、１本
又はトレイに収納されるＩＣチップの数と同数のコレッ
トによって真空吸着しながら突き上げて、トレイの影が
ＩＣチップ上面にくることを無くすことにより、トレイ
からＩＣチップを取り出さずにＩＣチップ間の移動と、
同一ＩＣチップを分割拡大して、ＩＣチップ全体の撮像
と正確な検査とを行うことができ、さらに、ＩＣチップ
に傷をつけることなく従来の外観検査装置より短時間で
検査が可能となる。
【００１２】
【実施例】以下、実施例に基づいて本発明について詳細
に説明する。
に説明する。
【００１３】図１は本発明の第１の実施例のＩＣ外観検
査装置の構成図であり、図２は本発明の第２の実施例の
ＩＣ外観検査装置の構成図であり、図３は本発明を用い
た場合のＩＣチップを視野分割して画像を取り込む工程
の説明に供する図であり、図４はＩＣチップを収納する
穴あきトレイの斜視図である。図１乃至図４において、
１はダイシング済みのＩＣチップ、２はＩＣチップ１を
収納する穴あきトレイ、３は穴あきトレイを固定するレ
ール、４は穴あきトレイ２及びコレット５又はコレット
１０のみを移動させることが可能なＸＹθテーブル、５
はトレイ２に収納されるＩＣチップ１の数と同数のパイ
プ状コレット、６はパイプ状コレットを駆動する上下駆
動部、７はＩＣチップ表面全体に照明を照射する環状照
明、８は上方よりＩＣチップを撮像する顕微鏡カメラ、
９はＩＣチップ１を収納する穴あきトレイ２を移動させ
るＸＹテーブル、１０は１本の真空吸着機能を有するパ
イプ状コレットを示す。
査装置の構成図であり、図２は本発明の第２の実施例の
ＩＣ外観検査装置の構成図であり、図３は本発明を用い
た場合のＩＣチップを視野分割して画像を取り込む工程
の説明に供する図であり、図４はＩＣチップを収納する
穴あきトレイの斜視図である。図１乃至図４において、
１はダイシング済みのＩＣチップ、２はＩＣチップ１を
収納する穴あきトレイ、３は穴あきトレイを固定するレ
ール、４は穴あきトレイ２及びコレット５又はコレット
１０のみを移動させることが可能なＸＹθテーブル、５
はトレイ２に収納されるＩＣチップ１の数と同数のパイ
プ状コレット、６はパイプ状コレットを駆動する上下駆
動部、７はＩＣチップ表面全体に照明を照射する環状照
明、８は上方よりＩＣチップを撮像する顕微鏡カメラ、
９はＩＣチップ１を収納する穴あきトレイ２を移動させ
るＸＹテーブル、１０は１本の真空吸着機能を有するパ
イプ状コレットを示す。
【００１４】本発明は、ＩＣチップ１の下方からパイプ
状コレット５、１０によって真空吸着しながら上下駆動
部６で突き上げて位置決めする。
状コレット５、１０によって真空吸着しながら上下駆動
部６で突き上げて位置決めする。
【００１５】図３においては、穴あきトレイ２とパイプ
状コレット１０が視野分割した視野毎に画像を取り込み
時に独立して同距離づつ移動することを示す。図１にお
いては、穴あきトレイ２とパイプ状コレット５が同一Ｘ
Ｙθテーブル４上にあるために同一機能を有することは
明らかである。
状コレット１０が視野分割した視野毎に画像を取り込み
時に独立して同距離づつ移動することを示す。図１にお
いては、穴あきトレイ２とパイプ状コレット５が同一Ｘ
Ｙθテーブル４上にあるために同一機能を有することは
明らかである。
【００１６】図４においては、ダイシング済みのＩＣチ
ップ１は、ＩＣチップ１より若干大きめに設定された複
数の収納部２ａに収納されており、この収納部２ａは碁
盤目状に凹設されている。
ップ１は、ＩＣチップ１より若干大きめに設定された複
数の収納部２ａに収納されており、この収納部２ａは碁
盤目状に凹設されている。
【００１７】次に、請求項１に記載の本発明のＩＣチッ
プ１の画像取り込み工程を図１を用いて説明する。
プ１の画像取り込み工程を図１を用いて説明する。
【００１８】まず、ＩＣチップ１を収納した穴あきトレ
イ２をトレイ固定レール３に挿入し固定する。穴あきト
レイ２に整列されたＩＣチップ１の下方よりトレイ２と
同数のパイプ状コレット５によって真空吸着しながら、
上下駆動部６で一度に突き上げて位置決めをする。位置
決めをしたＩＣチップ１の表面全体に環状照明７にて照
明し、その上方より顕微鏡カメラ８により撮像しながら
ＸＹθテーブル４を駆動し、同一ＩＣチップ１を分割し
て、カメラ視野移動し、ＩＣチップ１の全体の検査を行
う。また、一のＩＣチップ１の検査終了後は、ＸＹθテ
ーブル４を移動させることによって、次のＩＣチップ１
に移動して、上述の検査を行う。
イ２をトレイ固定レール３に挿入し固定する。穴あきト
レイ２に整列されたＩＣチップ１の下方よりトレイ２と
同数のパイプ状コレット５によって真空吸着しながら、
上下駆動部６で一度に突き上げて位置決めをする。位置
決めをしたＩＣチップ１の表面全体に環状照明７にて照
明し、その上方より顕微鏡カメラ８により撮像しながら
ＸＹθテーブル４を駆動し、同一ＩＣチップ１を分割し
て、カメラ視野移動し、ＩＣチップ１の全体の検査を行
う。また、一のＩＣチップ１の検査終了後は、ＸＹθテ
ーブル４を移動させることによって、次のＩＣチップ１
に移動して、上述の検査を行う。
【００１９】次に、請求項２に記載の本発明のＩＣチッ
プの画像取り込み工程を図２及び図３を用いて説明す
る。
プの画像取り込み工程を図２及び図３を用いて説明す
る。
【００２０】まず、ＩＣチップ１を収納した穴あきトレ
イ２をトレイ固定レール３に挿入し固定し、ＸＹテーブ
ル９で穴あきトレイ２を所定の位置に移動し、穴あきト
レイ２に整列されたＩＣチップ１の下方より１本のパイ
プ状コレット１０によって、真空吸着しながら上下駆動
部６で突き上げて位置決めをする。位置決めをしたＩＣ
チップ１の表面全体に環状照明７を用いて照射し、その
上方より顕微鏡カメラ８より撮像しながら、同一ＩＣチ
ップ１内で視野分割した視野毎の画像取り込み時に、Ｘ
Ｙθテーブル４とＸＹテーブル９とを、独立して同距離
づつ移動することによって、ＩＣチップ１全体の検査を
行う。
イ２をトレイ固定レール３に挿入し固定し、ＸＹテーブ
ル９で穴あきトレイ２を所定の位置に移動し、穴あきト
レイ２に整列されたＩＣチップ１の下方より１本のパイ
プ状コレット１０によって、真空吸着しながら上下駆動
部６で突き上げて位置決めをする。位置決めをしたＩＣ
チップ１の表面全体に環状照明７を用いて照射し、その
上方より顕微鏡カメラ８より撮像しながら、同一ＩＣチ
ップ１内で視野分割した視野毎の画像取り込み時に、Ｘ
Ｙθテーブル４とＸＹテーブル９とを、独立して同距離
づつ移動することによって、ＩＣチップ１全体の検査を
行う。
【００２１】また、一のＩＣチップ１の検査終了後は、
パイプ状コレット１０を上下駆動部６により下げて、穴
あきトレイ２に検査済みＩＣチップ１を収納後、ＸＹテ
ーブル９にて次のＩＣチップ１に移動し、突き上げて検
査する。但し、ＩＣチップ１の取り込み画像の拡大率が
低く、一の視野で一のＩＣチップ１全体の画像が取り込
める場合は、パイプ状コレット１０は移動する必要がな
く、従って、ＸＹθテーブル４に代えて、アライメント
用のθテーブルでよい。
パイプ状コレット１０を上下駆動部６により下げて、穴
あきトレイ２に検査済みＩＣチップ１を収納後、ＸＹテ
ーブル９にて次のＩＣチップ１に移動し、突き上げて検
査する。但し、ＩＣチップ１の取り込み画像の拡大率が
低く、一の視野で一のＩＣチップ１全体の画像が取り込
める場合は、パイプ状コレット１０は移動する必要がな
く、従って、ＸＹθテーブル４に代えて、アライメント
用のθテーブルでよい。
【００２２】尚、図３において、（ａ）はＩＣチップの
左側コーナー部を撮像する場合の本発明のＩＣ外観検査
装置の構造図であり、（ｂ）は（ａ）に示す構造のＩＣ
外観検査装置の場合のＩＣチップの外観画像を示す図で
あり、（ｃ）はＩＣチップの一辺を撮像する場合の本発
明のＩＣ外観検査装置の構造図であり、（ｄ）は（ｃ）
に示す構造のＩＣ外観検査装置の場合のＩＣチップの外
観画像を示す図であり、（ｅ）はＩＣチップの左側コー
ナー部を撮像する場合の本発明のＩＣ外観検査装置の構
造図であり、（ｆ）は（ｅ）に示す構造のＩＣ外観検査
装置の場合のＩＣチップの外観画像を示す図である。
左側コーナー部を撮像する場合の本発明のＩＣ外観検査
装置の構造図であり、（ｂ）は（ａ）に示す構造のＩＣ
外観検査装置の場合のＩＣチップの外観画像を示す図で
あり、（ｃ）はＩＣチップの一辺を撮像する場合の本発
明のＩＣ外観検査装置の構造図であり、（ｄ）は（ｃ）
に示す構造のＩＣ外観検査装置の場合のＩＣチップの外
観画像を示す図であり、（ｅ）はＩＣチップの左側コー
ナー部を撮像する場合の本発明のＩＣ外観検査装置の構
造図であり、（ｆ）は（ｅ）に示す構造のＩＣ外観検査
装置の場合のＩＣチップの外観画像を示す図である。
【００２３】次に、図５を用いてＩＣ外観検査工程につ
いて説明する。尚、以下のＩＣ外観検査工程は従来と同
様である。まず、検査前トレイ収納部２０は、検査前の
ＩＣチップ１を収納したトレイを複数枚上下方向に重ね
て収納でき、トレイを上下方向に移動させる上下移動機
能（図示せず。）と、重ねて収納されたトレイの内最下
部にある一のトレイを水平方向に引き出し外観検査位置
Ｐ１にまで移動させる水平移動機構（図示せず。）とを
有し、水平移動機構にて、外観検査部２１に検査前のＩ
Ｃチップ１が搭載したトレイを供給される。
いて説明する。尚、以下のＩＣ外観検査工程は従来と同
様である。まず、検査前トレイ収納部２０は、検査前の
ＩＣチップ１を収納したトレイを複数枚上下方向に重ね
て収納でき、トレイを上下方向に移動させる上下移動機
能（図示せず。）と、重ねて収納されたトレイの内最下
部にある一のトレイを水平方向に引き出し外観検査位置
Ｐ１にまで移動させる水平移動機構（図示せず。）とを
有し、水平移動機構にて、外観検査部２１に検査前のＩ
Ｃチップ１が搭載したトレイを供給される。
【００２４】そして、外観検査部２１では、上述したＩ
Ｃチップ１の画像取り込み工程により、ＩＣチップ１が
突き上げられる上方に設けられた顕微鏡カメラ８による
画像入力部から画像を入力し、画像処理部２２にて入力
された画像を予め記憶した画像データと比較及び計測
し、外観不良の有無を判別し、その検査結果をメモリ部
２３に記憶する。
Ｃチップ１の画像取り込み工程により、ＩＣチップ１が
突き上げられる上方に設けられた顕微鏡カメラ８による
画像入力部から画像を入力し、画像処理部２２にて入力
された画像を予め記憶した画像データと比較及び計測
し、外観不良の有無を判別し、その検査結果をメモリ部
２３に記憶する。
【００２５】次に、トレイに収納されたＩＣチップ全て
の検査を終了した後、外観検査ユニット２１を外観検査
位置Ｐ１から位置Ｐ２に移動させる。その後、良品用ト
レイ収納部２４が有する水平移動機構にて検査済みの上
記トレイを位置Ｐ３に移動し、位置Ｐ３にて移載ロボッ
ト２７ａに取り付けたステージ２９に移載後、位置Ｐ４
に移動する。
の検査を終了した後、外観検査ユニット２１を外観検査
位置Ｐ１から位置Ｐ２に移動させる。その後、良品用ト
レイ収納部２４が有する水平移動機構にて検査済みの上
記トレイを位置Ｐ３に移動し、位置Ｐ３にて移載ロボッ
ト２７ａに取り付けたステージ２９に移載後、位置Ｐ４
に移動する。
【００２６】次に、空トレイ収納部２５から上下に重ね
て収納された最下部の空の一のトレイを移動ロボット２
７ｂのピックアンドプレース動作により、位置Ｐ５に移
載させる。その後、チップ分別部２６にて不良チップの
みを位置Ｐ４の検査済みトレイから位置Ｐ５の上記空の
トレイに移載する。
て収納された最下部の空の一のトレイを移動ロボット２
７ｂのピックアンドプレース動作により、位置Ｐ５に移
載させる。その後、チップ分別部２６にて不良チップの
みを位置Ｐ４の検査済みトレイから位置Ｐ５の上記空の
トレイに移載する。
【００２７】不良チップ移載後、良品チップだけを収納
した上記検査済みトレイを移載ロボット２７ａによって
位置Ｐ３に移動し、良品用トレイ収納部２４が有する上
下機構によって上下方向に重ねて収納する。また、位置
Ｐ５のトレイが、上記不良チップが満杯になり次第、該
トレイを移載ロボット２７ａにより位置Ｐ７に移動し、
不良品用トレイ収納部２８が有する上下機構によって上
下方向に重ねて収納する。
した上記検査済みトレイを移載ロボット２７ａによって
位置Ｐ３に移動し、良品用トレイ収納部２４が有する上
下機構によって上下方向に重ねて収納する。また、位置
Ｐ５のトレイが、上記不良チップが満杯になり次第、該
トレイを移載ロボット２７ａにより位置Ｐ７に移動し、
不良品用トレイ収納部２８が有する上下機構によって上
下方向に重ねて収納する。
【００２８】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明を
用いることによって、従来はトレイに収納されたＩＣチ
ップをピックアップ機構で１チップづつ検査位置まで移
動させていたため、検査に長時間要していたが、トレイ
にＩＣチップを収納したままの状態でチップ全体に照明
を当てながらＩＣチップに傷を付けることなく短時間で
ＩＣチップ外観検査を行うことができる。
用いることによって、従来はトレイに収納されたＩＣチ
ップをピックアップ機構で１チップづつ検査位置まで移
動させていたため、検査に長時間要していたが、トレイ
にＩＣチップを収納したままの状態でチップ全体に照明
を当てながらＩＣチップに傷を付けることなく短時間で
ＩＣチップ外観検査を行うことができる。
【００２９】また、請求項１に記載の本発明は、全ＩＣ
チップを一度に突き上げることにより、１チップづつ突
き上げる場合に比べて、検査時間を短縮することができ
る。即ち、１つのＩＣチップの検査が完了した後に、他
のＩＣチップの検査を行う場合に、検査の完了したＩＣ
チップを下げてトレイに戻し、他のＩＣチップを突き上
げる時間を短縮することができる。
チップを一度に突き上げることにより、１チップづつ突
き上げる場合に比べて、検査時間を短縮することができ
る。即ち、１つのＩＣチップの検査が完了した後に、他
のＩＣチップの検査を行う場合に、検査の完了したＩＣ
チップを下げてトレイに戻し、他のＩＣチップを突き上
げる時間を短縮することができる。
【００３０】更に、請求項２及び請求項３に記載の本発
明は、トレイにＩＣチップが満たされず、ＩＣチップが
吸着されていないコレットが生じることにより、真空吸
着が十分に行うことができない場合に効果を奏するもの
である。
明は、トレイにＩＣチップが満たされず、ＩＣチップが
吸着されていないコレットが生じることにより、真空吸
着が十分に行うことができない場合に効果を奏するもの
である。
【図１】請求項１記載の本発明の一実施例のＩＣ外観検
査装置の構成側面図である。
査装置の構成側面図である。
【図２】請求項２記載の本発明の一実施例のＩＣ外観検
査装置の構成側面図である。
査装置の構成側面図である。
【図３】ＩＣチップを視野分割により画像を取り込む工
程の説明に供する図である。
程の説明に供する図である。
【図４】ＩＣチップを収納する穴あきトレイの斜視図で
ある。
ある。
【図５】ＩＣチップ外観検査装置の構成平面図である。
【図６】従来のＩＣチップ外観検査装置の構成図であ
る。
る。
１ ＩＣチップ ２ 穴あきトレイ ３ トレイ固定レール ４ ＸＹθテーブル ５、１０ パイプ状コレット ６ 上下駆動部 ７ 環状照明 ８ 顕微鏡カメラ ９ ＸＹテーブル ２１ 外観検査部 ２２ 画像処理部 ２３ メモリ部 ２４ 良品用トレイ収納部 ２５ 空トレイ収納部 ２６ チップ分別部 ２７ａ、２７ｂ 移載ロボット ２８ 不良品用トレイ収納部 ２９ ステージ
Claims (3)
- 【請求項１】 トレイに収納されたダイシング済みのＩ
Ｃチップの表面の画像を、該ＩＣチップ上方から顕微鏡
及びカメラによって取り込んで、該ＩＣチップの外観を
検査するＩＣチップ外観検査装置において、 上記ＩＣチップを収納する収納部の底面に穴を有するト
レイと、 上記トレイに搭載された上記ＩＣチップを上記トレイに
設けられた穴を通して下方から真空吸着し、且つ上下駆
動可能な、上記トレイに収納されるＩＣチップの数と同
数のコレットと、 上記トレイ及び上記コレットを移動させるＸＹθテーブ
ルとを有することを特徴とするＩＣチップ外観検査装
置。 - 【請求項２】 トレイに収納されたダイシング済みのＩ
Ｃチップの表面の画像を、該ＩＣチップ上方から顕微鏡
及びカメラによって取り込んで、該ＩＣチップの外観を
検査するＩＣチップ外観検査装置において、 上記ＩＣチップを収納する収納部の底面に穴を有するト
レイと、 該トレイを移動させるＸＹテーブルと、 上記トレイに搭載された上記ＩＣチップを上記トレイに
設けられた穴を通して下方から真空吸着し、且つ上下駆
動可能な、一のコレットと、 該コレットを移動させるＸＹθテーブルとを有すること
を特徴とするＩＣチップ外観検査装置。 - 【請求項３】 上記ＸＹθテーブルの代わりに、θテー
ブルを有することを特徴とする、請求項２記載のＩＣチ
ップ外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6293007A JP3050764B2 (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | Ｉｃチップ外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6293007A JP3050764B2 (ja) | 1994-11-28 | 1994-11-28 | Ｉｃチップ外観検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08145895A JPH08145895A (ja) | 1996-06-07 |
| JP3050764B2 true JP3050764B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=17789275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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