JPH11353456A - 半導体製品の画像処理機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 安定かつクリアな画像入力によるワークの認
識精度の向上と再確認のための工数の削減による生産効
率の向上と出荷製品性能の信頼性の向上とを図れる半導
体製品の画像処理機構を提供する。 【解決手段】 エンボステープ３内のワーク４は永久磁
石１に近づくにつれて搬送方向側に整列され、永久磁石
１上を通過する際にワーク４のエンボステープ３内での
位置が固定される。ワーク４がＣＣＤカメラ５の下方位
置に搬送されてくると、吸着ノズル２はエンボステープ
３底面の穴から挿入されてワーク４を吸着し、ＣＣＤカ
メラ５側に押上げる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製品の画像処
理機構に関し、特に半導体製品を搬送する際に画像処理
を考慮して位置決めを行う位置決め方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製品の搬送機構としては、
実開昭６２−１２７９０９号公報に開示されたテーピン
グ装置の搬送機構がある。この搬送機構は、図５に示す
ように、ワーク（半導体製品）１８を搬送するための吸
着ノズル１１と、回転ドラム１２と、その中にワーク１
８が挿入される出荷用のエンボステープ１３と、送りガ
イド１４と、そのワーク１８の位置を固定するマグネッ
ト１５と、マグネットキャリア１６と、飛散防止カバー
１７とから構成されている。

【０００３】この搬送機構ではワーク１８を吸着した吸
着ノズル１１が矢印Ｃ，Ｄの方向に順次移動し、回転ド
ラム１２上のエンボステープ１３にワーク１８を挿入す
る。回転ドラム１２が矢印Ｅの方向に回転することでエ
ンボステープ１３が搬送されるが、その搬送方向にはマ
グネットキャリア１６上にマグネット１５を搭載して構
成される位置出し部がエンボステープ１３の下部に配設
されている。

【０００４】ここで、マグネットキャリア１６はエンボ
ステープ１３の搬送方向に対して垂直な方向（矢印Ｆの
方向）に移動するよう構成されており、マグネットキャ
リア１６を矢印Ｆの方向に動作させることで、ワーク１
８がマグネット１５に引きつけられてエンボステープ１
３内で正常に位置出しされるようになっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の搬送機
構では、エンボステープ内で上からの平面に対してワー
クが必ずしも一定方向にあるとは限らず、マグネットキ
ャリアを動作させる方向（ワークの搬送方向に対して垂
直な方向）に準ずる形となる。

【０００６】上記のように搬送されるワークに対する画
像処理精度は画像処理補正に限界があることから、ワー
クの位置決め精度によるところが大きく、一定した範囲
内のワーク位置決め精度が必要となる。

【０００７】従来の搬送機構においては上記のようにマ
グネットキャリアを動作させる方向に準ずる形となるた
め、画像認識が困難であり、またワークとエンボステー
プ外径とに差が生じた場合、その差の分だけ位置ズレが
大きくなり、安定した位置決めが不可能である。

【０００８】さらに、ワークとエンボステープの外径と
の差をなくしてしまうと、吸着ノズルによってワークを
挿入する際に、エンボステープの縁にワークのリード
（図５において符号１９で示す）が当たってしまい、リ
ード浮きや曲がりといった挿入不良発生の原因となる。

【０００９】そこで、本発明の目的は上記の問題点を解
消し、安定かつクリアな画像入力によるワークの認識精
度の向上と再確認のための工数の削減による生産効率の
向上と出荷製品性能の信頼性の向上とを図ることができ
る半導体製品の画像処理機構を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による半導体製品
の画像処理機構は、エンボステープ内に挿入されて搬送
される半導体製品を撮像素子で撮影して前記半導体製品
の静止画像を得る半導体製品の画像処理機構であって、
前記エンボステープによって搬送される途中の前記半導
体製品を前記エンボステープ内の所定位置に整列させる
整列手段と、前記整列手段で整列された半導体製品を前
記撮像素子直下で前記エンボステープの下面側から前記
撮像素子側に押上げる押上げ手段とを備えている。

【００１１】すなわち、本発明の半導体製品の画像処理
機構は、エンボステープに挿入可能な製品の内、リード
等のどこか一部分に磁性体でありかつ磁気化によって製
品本来の特性を失わない半導体製品に対して、従来、エ
ンボステープ内で安定しない位置にあったものを所定位
置にするために、搬送されるエンボステープの下に永久
磁石を設置し、エンボステープを一定方向に送ることで
エンボステープ内で一定方向にワークを固定している。

【００１２】また、画像処理で問題となるエンボステー
プ側面へのワークの写り込み（エンボステープ内に収納
されたワークの影）を防止するために、吸着ノズルをエ
ンボステープ底面の穴から挿入し、吸着ノズルによって
ワークを吸着してＣＣＤカメラ側に押し上げるようにし
ている。これによって、ワークとエンボステープとの接
触面に空間を生じさせることができるので、エンボステ
ープ側面へのワークの写り込みと実際のワークとの違い
を明確にすることが可能となる。

【００１３】上記のように安定した位置決めや良好な画
像処理環境を作ることによって、検査エリアの絞込みを
行うことができるため、画像処理精度（分解能）を向上
させることが可能となる。

【００１４】

【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施例について
図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施例によ
る画像処理機構の搬送部を示す斜視図である。図におい
て、エンボステープ３の下方には永久磁石１が配置さ
れ、ワーク４が挿入されたエンボステープ３がその永久
磁石１の上面を通るように、一定方向（矢印Ａの方向）
に搬送する。

【００１５】このとき、エンボステープ３内のワーク４
は永久磁石１に近づくにつれてエンボステープ３内の搬
送方向側に整列され、永久磁石１上を通過する際にはワ
ーク４のエンボステープ３内での位置が固定されるよう
になっている。

【００１６】この場合、ワーク４の位置がエンボステー
プ３内で固定されるようにするには、永久磁石１の磁力
とエンボステープ３の搬送速度とを調整する必要があ
る。尚、エンボステープ３はワーク４を挿入する位置及
びＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃ
ｅ）カメラ５がワーク４の静止画を得る位置等で夫々一
旦停止するように、ピッチ送りで搬送されている。

【００１７】上記のようにしてピッチ送りで搬送される
エンボステープ３内のワーク４がＣＣＤカメラ５の下方
位置に搬送されてきたところで、吸着ノズル２がエンボ
ステープ３底面の穴から挿入されてワーク４を吸着し、
矢印Ｂの方向に移動することでワーク４をＣＣＤカメラ
５側に押上げる。この時点で、ＣＣＤカメラ５はワーク
４の静止画を得る。

【００１８】これによって、エンボステープ３の内側側
面へのワーク４の写り込み６を回避することができるの
で、ＣＣＤカメラ５は安定したワーク４の画像入力を行
うことができる。このＣＣＤカメラ５によるワーク４の
画像入力の終了後、吸着ノズル２をエンボステープ３側
に下げ、ワーク４に対する吸着を停止させることで、ワ
ーク４をエンボステープ３内に戻し、再びエンボステー
プ３のピッチ送りによる搬送が行われる。

【００１９】図２は図１の永久磁石１によるワーク４の
整列動作を示す図であり、図３は図１の吸着ノズル２に
よるワーク４の押上げ動作を示す図であり、図４は図１
のエンボステープ３の内側側面へのワーク４の写り込み
６を示す図である。これら図１〜図４を参照して本発明
の一実施例による画像処理機構の動作について説明す
る。

【００２０】エンボステープ３の下方には永久磁石１が
配置され、本発明の一実施例による搬送機構はワーク４
が挿入されたエンボステープ３がその永久磁石１の上面
を通るように、エンボステープ３を一定方向（矢印Ａの
方向）に搬送する。その際、エンボステープ３内に挿入
されたワーク４はエンボステープ３の中央に位置したり
［図２（ａ）参照］、またはエンボステープ３内で斜め
に位置したり［図２（ｂ）参照］、あるいはエンボステ
ープ３の一端側に位置したりすることがある［図２
（ｃ）参照］。

【００２１】上記のように、エンボステープ３内で様々
に位置するワーク４は永久磁石１に近づくにつれてエン
ボステープ３内の搬送方向側に整列され［図２（ｄ）参
照］、永久磁石１上を通過する際にはワーク４がエンボ
ステープ３内の搬送方向側に寄った位置（所定位置）で
固定される。

【００２２】この場合、永久磁石１の磁力とエンボステ
ープ３の搬送速度とを調整することで、ワーク４の位置
がエンボステープ３内の搬送方向側に寄った位置で固定
されるようになる。また、エンボステープ３はワーク４
を挿入する位置（図示せず）及びＣＣＤカメラ５がワー
ク４の静止画を得る位置等で夫々一旦停止するように、
ピッチ送りで搬送されている。

【００２３】上記のようにしてピッチ送りで搬送される
エンボステープ３内のワーク４がＣＣＤカメラ５直下の
位置まで搬送されてくると、吸着ノズル２がエンボステ
ープ３底面の穴から挿入されてワーク４を吸着し、矢印
Ｂの方向に移動する。これによって、ワーク４は吸着ノ
ズル２によってＣＣＤカメラ５側に押上げられる。

【００２４】したがって、吸着ノズル２がワーク４をエ
ンボステープ３内の内側側面へのワーク４の写り込み６
が生じない高さまで押し上げることで、ワーク４の写り
込み６を生ずることなく、ＣＣＤカメラ５がワーク４の
鮮明な静止画を得ることができる。

【００２５】このように、エンボステープ３内に収納さ
れてピッチ送りで搬送されるワーク４を永久磁石１を用
いてエンボステープ３内の所定位置に整列させるととも
に、ＣＣＤカメラ５の直下で吸着ノズル２に吸着させて
押上げることで、エンボステープ３内でワーク４の一定
した位置決めを行うことができ、エンボステープ３の内
側側面への写り込み６をなくすことができる。

【００２６】よって、ＣＣＤカメラ５による安定かつク
リアなワーク４の静止画が得られるので、ワーク４の捺
印文子やリード曲がり、あるいは製品欠け等の画像処理
を安定して行うことができ、それらの認識精度を向上さ
せることができる。

【００２７】また、認識精度を向上させることができる
ので、ワーク４の捺印文子やリード曲がり、あるいは製
品欠け等を再確認するための工数を削減することがで
き、生産効率を向上させることができるとともに、出荷
されるワーク４の性能の信頼性を向上させることができ
る。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、エ
ンボステープ内に挿入されて搬送される半導体製品を撮
像素子で撮影して半導体製品の静止画像を得る半導体製
品の画像処理機構において、エンボステープによって搬
送される途中の半導体製品をエンボステープ内の所定位
置に整列させ、整列された半導体製品を撮像素子直下で
エンボステープの下面側から撮像素子側に押上げること
によって、安定かつクリアな画像入力によるワークの認
識精度の向上と再確認のための工数の削減による生産効
率の向上と出荷製品性能の信頼性の向上とを図ることが
できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例による画像処理機構の搬送部
を示す斜視図である。

【図２】（ａ）〜（ｄ）は図１の永久磁石によるワーク
の整列動作を示す図である。

【図３】図１の吸着ノズルによるワークの押上げ動作を
示す図である。

【図４】図１のエンボステープの内側側面へのワークの
写り込みを示す図である。

【図５】従来例による搬送機構を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 永久磁石 ２ 吸着ノズル ３ エンボステープ ４ ワーク ５ ＣＣＤカメラ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 エンボステープ内に挿入されて搬送され
   る半導体製品を撮像素子で撮影して前記半導体製品の静
   止画像を得る半導体製品の画像処理機構であって、前記
   エンボステープによって搬送される途中の前記半導体製
   品を前記エンボステープ内の所定位置に整列させる整列
   手段と、前期整列手段で整列された半導体製品を前記撮
   像素子直下で前記エンボステープの下面側から前記撮像
   素子側に押上げる押上げ手段とを有することを特徴とす
   る画像処理機構。
2. 【請求項２】 前記半導体製品は、その一部分に磁性体
   が用いられかつ磁気化によってその特性を失わない製品
   であることを特徴とする請求項１記載の画像処理機構。
3. 【請求項３】 前記整列手段は、前記半導体製品を磁力
   によって前記エンボステープ内の所定位置の方向に吸引
   しかつ前記エンボステープの下側に設置された永久磁石
   を含むことを特徴とする請求項２記載の画像処理機構。
4. 【請求項４】 前記押上げ手段は、前記半導体製品を吸
   着してから前記撮像素子側に押上げるよう構成したこと
   を特徴とする請求項１から請求項３記載の画像処理機
   構。