JPS59133113A - 基板位置決め装置 - Google Patents
基板位置決め装置Info
- Publication number
- JPS59133113A JPS59133113A JP58006478A JP647883A JPS59133113A JP S59133113 A JPS59133113 A JP S59133113A JP 58006478 A JP58006478 A JP 58006478A JP 647883 A JP647883 A JP 647883A JP S59133113 A JPS59133113 A JP S59133113A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- positioning
- substrate
- signal
- position signal
- positioning table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
- B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明は、フ”リント配線基板や混成集積回路基板等
の基板加工機または組立実装機等の設備に適用される基
板位置決め装置に関する本のである。
の基板加工機または組立実装機等の設備に適用される基
板位置決め装置に関する本のである。
従来例の構成とその問題点
従来例を！Ｊ１図に示す。基板１け搬送ベルト２によっ
て仮位置決め部３に搬入される。ここで仮位置決めされ
た基板１け、真空チャ・ｌり４によって、吸着され位Ｉ
ｔ決めテープ／Ｉ１５に移載され、シリンダ７によって
駆動される可動片６により、基準面８に押しつけられる
ことによって位置決めされる。加工後の基板ＩＶｉ真空
チャック４により搬出され、搬送べ／ｌ／）９により次
工程へ搬送される。
て仮位置決め部３に搬入される。ここで仮位置決めされ
た基板１け、真空チャ・ｌり４によって、吸着され位Ｉ
ｔ決めテープ／Ｉ１５に移載され、シリンダ７によって
駆動される可動片６により、基準面８に押しつけられる
ことによって位置決めされる。加工後の基板ＩＶｉ真空
チャック４により搬出され、搬送べ／ｌ／）９により次
工程へ搬送される。
この位置決め！！置であると、基板１が正確な畳方
−形または正方形である場合は、正確に位置が出るが、
実際の基板１は直角および平行が深漬されておらず、特
式基板１がセワミ・ツク板である場合には誤差が大であ
る。これらの基板１をこの位置決め装置で位置決めする
と、基準面のどちら側に辺が密着するかにより、位置決
め誤差が発生する。
−形または正方形である場合は、正確に位置が出るが、
実際の基板１は直角および平行が深漬されておらず、特
式基板１がセワミ・ツク板である場合には誤差が大であ
る。これらの基板１をこの位置決め装置で位置決めする
と、基準面のどちら側に辺が密着するかにより、位置決
め誤差が発生する。
また、基板１の動きが不連動であり、位置決めに時間が
かかる。またλ空チャ・ツク４による持換えがあＶ、搬
送の信頼性が低い。
かかる。またλ空チャ・ツク４による持換えがあＶ、搬
送の信頼性が低い。
発明の目的
この発明は、正確かつ迅速に位置決めできる高信頼性の
基板位置決め装置を提供することを目的とする。
基板位置決め装置を提供することを目的とする。
発明の構成
この発明の裁板位置決め装置は、相対して設置された立
上り面の基準面と押し片を持ち前記基準面と平行な水平
方向に進退可能な位置決めテーブルと、この位置決めテ
ーブルを外部移動信号により補正移動させる位置決めテ
ーブル駆動装置と、前記位置決めテーブルの上方に設置
され基板上の位置合せマークを光学系を通して位置信号
に変換するイメージセンサと、スタート信号により前記
位置信号をラッチしクロワク信号によりシフトするシフ
トレジスタと、前記スタート信号によりリセットされ前
記クロ９り信号を計数して前記シフトレジスタより出力
される位置信号により計数を停止しその位置量を前記外
部移動信号として前記位置決めテーブル駆動装置に与え
るカウンタとを備えたものである。
上り面の基準面と押し片を持ち前記基準面と平行な水平
方向に進退可能な位置決めテーブルと、この位置決めテ
ーブルを外部移動信号により補正移動させる位置決めテ
ーブル駆動装置と、前記位置決めテーブルの上方に設置
され基板上の位置合せマークを光学系を通して位置信号
に変換するイメージセンサと、スタート信号により前記
位置信号をラッチしクロワク信号によりシフトするシフ
トレジスタと、前記スタート信号によりリセットされ前
記クロ９り信号を計数して前記シフトレジスタより出力
される位置信号により計数を停止しその位置量を前記外
部移動信号として前記位置決めテーブル駆動装置に与え
るカウンタとを備えたものである。
実施例の説明
この発明の一実施例を第°２図ないし＠４図に示す。図
において、１０．１１は位置決めテーブル１２を挾ん、
で連設された搬入部ガイド溝および搬出部ガイド溝であ
る。位置決めテープ／Ｉ／１２は相対して設置された立
上り面の基準面１３と押片１４を持ち、基準面１３と平
行な水平方向、すなわち搬入部ガイド溝１０および一搬
出部ガイド溝１１に沿う方向（矢印入方向）に進退可能
であり、位置決めテープ／Ｌ’１２を外部移動信号によ
り補正移動させる位置決めテーブル駆動装置（図示せず
）が設けられている。押片１４は押はね１５によって、
位置面１３側に付勢されている。搬入部ガイド溝１０か
ら搬出部ガイド１ｕｌｌの上方にわたって送Ｖ棒１６が
設けられている。送９棒１６は矢印ａ −ｄで示すよう
に矩形軌動の周期運動を行なうものであり、互いに送り
方向に離れた２個の搬送フヴク１６ａ 、 １６ｂを有
している。位置決めテーブル１２の上方には位置ずれ測
定手段１７が設置されている。位置ずれ測定手段１７は
、基板１８上の位置合せマーク１８ａをレンズ２１を通
して位置信号に変換する一次元イメージセンサｚ２と、
スタート信号により前記位置信号を７・ｒチしクロー「
り信号によりシフトするシフトレジスタ２３と、前記ス
タート信号によりリセーＪ卜され前記クロック信号を計
数してシフトレジスタ２３より出力される位置信号によ
り計数を停止しその位置量を前記外Ｗ６移動信号として
位置決めテーブル駆動装置に与えるカウンタ２４とを備
えたものであるうつぎに、この基板位置決め装置の動作
を説明する。＠２図において、基板１８は搬入部ガイド
溝１０に入った状部にあり、搬送ツーＪり１６ａが矢印
ａのように動くことによって位置決めテーブル１２に搬
入される。この時、基板１８は押片１４と押ばね１５に
よって基準面１３に押し付けられ、搬送方向と直角な方
向および回転方向の位置決めがなされる。
において、１０．１１は位置決めテーブル１２を挾ん、
で連設された搬入部ガイド溝および搬出部ガイド溝であ
る。位置決めテープ／Ｉ／１２は相対して設置された立
上り面の基準面１３と押片１４を持ち、基準面１３と平
行な水平方向、すなわち搬入部ガイド溝１０および一搬
出部ガイド溝１１に沿う方向（矢印入方向）に進退可能
であり、位置決めテープ／Ｌ’１２を外部移動信号によ
り補正移動させる位置決めテーブル駆動装置（図示せず
）が設けられている。押片１４は押はね１５によって、
位置面１３側に付勢されている。搬入部ガイド溝１０か
ら搬出部ガイド１ｕｌｌの上方にわたって送Ｖ棒１６が
設けられている。送９棒１６は矢印ａ −ｄで示すよう
に矩形軌動の周期運動を行なうものであり、互いに送り
方向に離れた２個の搬送フヴク１６ａ 、 １６ｂを有
している。位置決めテーブル１２の上方には位置ずれ測
定手段１７が設置されている。位置ずれ測定手段１７は
、基板１８上の位置合せマーク１８ａをレンズ２１を通
して位置信号に変換する一次元イメージセンサｚ２と、
スタート信号により前記位置信号を７・ｒチしクロー「
り信号によりシフトするシフトレジスタ２３と、前記ス
タート信号によりリセーＪ卜され前記クロック信号を計
数してシフトレジスタ２３より出力される位置信号によ
り計数を停止しその位置量を前記外Ｗ６移動信号として
位置決めテーブル駆動装置に与えるカウンタ２４とを備
えたものであるうつぎに、この基板位置決め装置の動作
を説明する。＠２図において、基板１８は搬入部ガイド
溝１０に入った状部にあり、搬送ツーＪり１６ａが矢印
ａのように動くことによって位置決めテーブル１２に搬
入される。この時、基板１８は押片１４と押ばね１５に
よって基準面１３に押し付けられ、搬送方向と直角な方
向および回転方向の位置決めがなされる。
次に位置合せマーク１８＠を位置決めテープＡ／１２上
方に設置した位置ずれ測定手段１７で測定することによ
り、搬送方向の位置ずれを測定し、位置ずれ量を位置決
めテーブル１２を矢印Ａのように補正することにより、
と下圧力および回転方向を正確にかつ高速に位置決めす
る。
方に設置した位置ずれ測定手段１７で測定することによ
り、搬送方向の位置ずれを測定し、位置ずれ量を位置決
めテーブル１２を矢印Ａのように補正することにより、
と下圧力および回転方向を正確にかつ高速に位置決めす
る。
位置ずれ測定手段１７による位置ずれ測定につき説明す
る。基板１Ｂ上の位置合せマーク１８ａをレンズ２１を
通して一次元イメージセンサ２２の上に投影し、これを
電気信号に変換する。この位置信号をスタート信号のタ
イミングによりシフトレジスタ２３がラッチし、次にク
ローｌり信号によって位置信号を右ヘシフトする。同時
にカウンタ２４けスタート信号によりリセットされた後
、クロック信号をカウントしていく。これは位置信号が
シフトレジスタから出力され４力つンタを停止するまで
続けられる。この停止した時のカウンタの内容を位置決
めテープ３／１ｚの補正量として出力する。これにより
位置決めテーブル１２ｔｊ：位置ずれ量だけ移動し、基
板１８は所定の位置に固定される。位置決めの後、所定
の加工を終了した基板１８は、搬送フウク１６ａ 、
１６ｂが矢印ａ −ｄの一周期の運動をすることによっ
て、搬出部ガイド溝１１にはらい出される。
る。基板１Ｂ上の位置合せマーク１８ａをレンズ２１を
通して一次元イメージセンサ２２の上に投影し、これを
電気信号に変換する。この位置信号をスタート信号のタ
イミングによりシフトレジスタ２３がラッチし、次にク
ローｌり信号によって位置信号を右ヘシフトする。同時
にカウンタ２４けスタート信号によりリセットされた後
、クロック信号をカウントしていく。これは位置信号が
シフトレジスタから出力され４力つンタを停止するまで
続けられる。この停止した時のカウンタの内容を位置決
めテープ３／１ｚの補正量として出力する。これにより
位置決めテーブル１２ｔｊ：位置ずれ量だけ移動し、基
板１８は所定の位置に固定される。位置決めの後、所定
の加工を終了した基板１８は、搬送フウク１６ａ 、
１６ｂが矢印ａ −ｄの一周期の運動をすることによっ
て、搬出部ガイド溝１１にはらい出される。
このようにして、基板１８を高速に搬入搬出して位置決
めでき、かつ信頼性の旨い位置決めを実現することがで
きる。また、押片１４と基準面１３により上下方向と回
転方向をあらかじめ位置決めするため、イメージセンサ
２２による、位置ずれ測定を一方向に限定することがで
き、測定の高速化と設備全体のコスト低減が実現される
。
めでき、かつ信頼性の旨い位置決めを実現することがで
きる。また、押片１４と基準面１３により上下方向と回
転方向をあらかじめ位置決めするため、イメージセンサ
２２による、位置ずれ測定を一方向に限定することがで
き、測定の高速化と設備全体のコスト低減が実現される
。
発明の効果
この発明の基板位置決め装置は、基板を高速に搬入出し
て正確に位置決めができ、高信頼性が得られるという効
果がある。
て正確に位置決めができ、高信頼性が得られるという効
果がある。
第１図は従来例の斜視図、第２図はこの発明の一実施例
の斜視図、第３図はその部分説明図、第４図は同じくそ
の位置ずれ測定手段の構成説明図である。 １０・・・搬入部ガイド溝、１１・・・搬出部ガイド溝
、１２・・・位置決めテープμ、１３・・・基準面、１
４・・。 押片、１５・・・押ばね、１６・・・送り棒、１７・・
・位置ずれ測定手段、１８・・・基板、１８ａ・・・位
置合せマーク、２１・・・レンズ、２２・・・イメージ
センサ、２３・・・シフトレジスタ、２４・・・カウン
タ第２図 ９９− 第４図
の斜視図、第３図はその部分説明図、第４図は同じくそ
の位置ずれ測定手段の構成説明図である。 １０・・・搬入部ガイド溝、１１・・・搬出部ガイド溝
、１２・・・位置決めテープμ、１３・・・基準面、１
４・・。 押片、１５・・・押ばね、１６・・・送り棒、１７・・
・位置ずれ測定手段、１８・・・基板、１８ａ・・・位
置合せマーク、２１・・・レンズ、２２・・・イメージ
センサ、２３・・・シフトレジスタ、２４・・・カウン
タ第２図 ９９− 第４図
Claims (1)
- 相対して設置された立上り面の基準面と押し片を持ち前
記基準面と平行な水平方向に進退可能な位置決めテープ
μと、この位置決めテーブルを外部移動信号により補正
移動させる位置決めテーブル駆動装置と、前記位置決め
テーブルの上方に設置され基板上の位置合サマークを光
学系を通して位置信号に変換するイメージセンサと、ス
タート信ｉにより前記位置信号をう・ソチしクロ・り信
号によりシフトするシストレジスタと、前記スタート信
号によりリーセウトされ前記クロ”７り信号を計数して
前記シフトレジスタより出力される位置信号により計数
を停止しその位置量を前記外部移動信号として前記位置
決めテーブル駆動装置に与えるカウンタとを備えた基板
位置決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58006478A JPS59133113A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 基板位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58006478A JPS59133113A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 基板位置決め装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59133113A true JPS59133113A (ja) | 1984-07-31 |
Family
ID=11639578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58006478A Pending JPS59133113A (ja) | 1983-01-17 | 1983-01-17 | 基板位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59133113A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6249689A (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-04 | 日本電子機器株式会社 | 電子部品搭載機における搭載位置座標デ−タ修正方法 |
| JPS62135498U (ja) * | 1986-02-20 | 1987-08-26 | ||
| JPS6359400U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-20 | ||
| JPS6427822A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Substrate position correcting method |
| US11895981B2 (en) | 2015-11-04 | 2024-02-13 | Brilliant Pet 2 LLC | Pet waste paper markings |
-
1983
- 1983-01-17 JP JP58006478A patent/JPS59133113A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6249689A (ja) * | 1985-08-29 | 1987-03-04 | 日本電子機器株式会社 | 電子部品搭載機における搭載位置座標デ−タ修正方法 |
| JPS62135498U (ja) * | 1986-02-20 | 1987-08-26 | ||
| JPS6359400U (ja) * | 1986-10-03 | 1988-04-20 | ||
| JPS6427822A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Substrate position correcting method |
| US11895981B2 (en) | 2015-11-04 | 2024-02-13 | Brilliant Pet 2 LLC | Pet waste paper markings |
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