KR101314860B1 - 테이프 이송장치와, 테이프 검사장치 및 테이프 검사방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에 관한 테이프 검사장치는, 공기 구멍들이 형성된 송풍판과, 송풍판의 표면을 따라 테이프를 이송시키는 테이프 이송부와, 공기 구멍에 공기를 공급하거나 공기 구멍을 통해 공기를 흡입하는 공기 제어장치와, 테이프의 영상을 취득하는 영상 취득부와, 취득된 영상으로부터 테이프의 불량 여부를 판단하는 제어부를 구비한다.

본 발명에 관한 테이프 검사방법은, 송풍판의 공기 구멍들을 통해 공기를 배출하는 단계와, 송풍판의 표면으로 테이프를 이송하는 단계와, 공기 구멍을 통해 공기를 흡입하는 단계와, 테이프에 광을 조사하는 단계와, 테이프의 영상을 취득하는 단계와, 취득된 영상으로부터 테이프의 상태를 판단하는 단계를 포함한다.

Description

테이프 이송장치와, 테이프 검사장치 및 테이프 검사방법{Tape transferring apparatus, tape inspecting apparatus, and method of inspecting tape}

본 발명은 전자부품이 실장되는 테이프의 배선 불량 등의 유무를 검사하기 위한 테이프 검사장치 및 테이프 검사방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 손상 없이 테이프를 이송하는 테이프 이송장치와, 테이프의 검사가 정확하게 이루어지도록 테이프가 평탄도가 정밀하게 유지하며 지지되는 테이프 검사 장치와 테이프 검사방법에 관한 것이다.

휴대용 전자기기나 디스플레이 장치에 사용되는 드라이버 집적회로와, 메모리 등의 각종 반도체 디바이스들을 제조할 때 널리 사용되는 유연성 인쇄회로기판(flexible printed circuit board)은, 필름(film)이나 테이프(tape) 형태의 제품의 표면에 미세 회로 패턴을 형성함으로써 제조된다. 미세 회로 패턴을 갖는 유연성 인쇄회로기판에는 고집적 반도체 칩이 실장될 수 있으므로, 완성된 유연성 인쇄회로기판은 회로 사이의 배선이나 구동 회로보드 등의 기능을 수행할 수 있다.

유연성 인쇄회로기판을 제조하는 과정 중에는 노광, 현상, 에칭 등의 여러 가지 공정을 통해 필름이나 테이프(이하, 테이프로 통칭함)에 도금 영역이나, 솔더 레지스트(solder resist) 영역이나, 반도체 칩 등이 실장되는 영역(이너 리드; inner lead) 등을 포함하는 회로 패턴이 형성된다. 그런데 전자제품이 소형화, 경량화, 미세화되는 최근의 추세에 따라 인쇄회로기판에도 대단히 정밀한 회로 패턴이 구현되며, 인쇄회로기판의 제조에 사용되는 필름이나 테이프의 두께도 매우 얇아지고 있다. 이로 인해 테이프의 표면에 형성된 회로 패턴을 검사할 때에 대단히 높은 수준의 기계적 정밀도가 요구된다.

일반적으로 테이프에 형성된 회로 패턴의 검사는 테이프 검사장치에 의해 자동적으로 이루어진다. 유연성 인쇄회로기판의 제조에 이용되는 테이프는 유연성을 가지므로, 릴이나 롤러에 권취된 상태에서 장력을 유지한 상태로 풀리며 반도체 제조 장비 내에서 이송된다. 테이프의 정밀한 검사를 위해서는 검사되는 테이프가 정확한 위치에 유지되어야 하는데, 이를 위해 이송되는 테이프가 검사되는 위치에서 휨이나 늘어짐이 없는 평평한 상태로 유지되어야 한다.

테이프 검사장치에 구비되는 고해상도 광학 시스템의 심도는 수 마이크론 단위이기 때문에, 광학 시스템이 테이프의 표면을 스캔할 때에는 광학 시스템에 대하여 테이프의 폭 방향 또는 길이 방향의 평탄도가 정확하게 유지되어야 한다. 그러나 종래의 테이프 검사장치들에서는 CCD 카메라들이 테이프에 대하여 직렬이나 병렬로 배열되므로, CCD 카메라들의 폭에 해당하는 거리에 대해 테이프의 평탄도가 맞추어져야 하는 어려움이 있었다. 따라서 CCD 카메라들의 폭이 커질수록 CCD 카메라의 초점을 맞추기가 어렵고, 초점이 맞지 않는 경우에는 불량이 아닌 현상을 불량으로 검출하는 과검출의 문제점도 발생하였다.

이와 같이 CCD 카메라들 테이프에 대하여 직렬이나 병렬로 배치될 때의 문제점을 해결하기 위해, 테이프가 검사되는 위치에 배치되는 원통 회전체의 표면을 따라 테이프가 감긴 상태로 이송되도록 하고 원통 회전체의 주변에 CCD 카메라를 배치하여 검사하는 기술이 사용되기도 한다. 그러나 이와 같은 기술에 의하면 테이프의 평탄도를 보다 양호하게 유지할 수 있지만 원통 회전체와 테이프의 사이에 발생하는 마찰로 인해 테이프가 손상되는 문제점이 존재하였다.

본 발명의 목적은 전자부품이 실장되는 테이프의 배선 불량 등을 검사하는 테이프 검사장치 및 테이프 검사방법을 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 손상 없이 테이프를 이송할 수 있으며, 정밀한 평탄도를 유지하며 테이프를 지지할 수 있는 테이프 이송장치를 제공하는 데 있다.

본 발명의 다른 목적은 테이프가 검사되는 동안 테이프를 평평하게 유지함으로써 검사의 정밀도가 향상되는 테이프 검사장치 및 테이프 검사방법을 제공하는 데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 테이프를 검사하는 동안 마찰 등으로 인해 테이프가 손상되는 등의 문제점이 잘 발생하지 않는 테이프 검사장치 및 검사방법을 제공하는 데 있다.

본 발명은 테이프가 이송되는 동안에는 테이프를 향해 공기를 분사하여 마찰 에 의한 테이프의 손상을 최소화하고, 테이프가 검사되는 동안에는 공기를 흡입하여 정밀도가 우수한 평탄도를 유지하며 테이프를 지지함으로써 테이프의 정확한 불량 검사가 이루어질 수 있게 하는 테이프 검사장치와 테이프 검사방법 및 테이프 이송장치를 제공한다.

본 발명에 관한 테이프 이송장치는, 복수 개의 공기 구멍이 형성된 송풍판과, 송풍판의 표면을 따라 테이프를 이송시키는 테이프 이송부와, 테이프와 송풍판의 마찰을 감소시키도록 공기 구멍에 공기를 공급하거나, 테이프가 송풍판의 표면에 접하도록 공기 구멍을 통해 공기를 흡입하는 공기 제어장치를 구비한다.

본 발명에 관한 테이프 검사장치는, 복수 개의 공기 구멍이 형성된 송풍판과, 송풍판의 표면을 따라 테이프를 이송시키는 테이프 이송부와, 테이프와 송풍판의 마찰을 감소시키도록 공기 구멍에 공기를 공급하거나, 테이프가 송풍판의 표면에 접하도록 공기 구멍을 통해 공기를 흡입하는, 공기 제어장치와, 테이프의 영상을 취득하는 영상 취득부와, 취득된 영상으로부터 테이프의 불량 여부를 판단하는 제어부를 구비한다.

본 발명에 있어서, 영상 취득부는, 송풍판의 표면을 따라 이송되는 테이프에 광을 조사하는 발광부와, 송풍판의 외측에 배치되어 광이 조사된 테이프의 영상을 취득하는 카메라를 구비할 수 있다.

본 발명에 있어서, 테이프 이송부는, 테이프에 형성된 이송홀에 결합되어 회전함으로써 테이프를 이송시키는 힘을 가하는 스프로켓과, 테이프를 지지하며 안내하는 복수 개의 안내 롤러들을 구비할 수 있다.

본 발명에 있어서, 송풍판은 공기 구멍들을 둘러싸 소정의 공기압이 형성되는 챔버를 구비할 수 있고, 공기 제어장치는 챔버에 연결되어 공기를 공급하거나 흡입하는 공급관을 구비할 수 있다.

본 발명에 있어서, 송풍판은 테이프가 이송되는 방향을 따라 볼록하게 만곡될 수 있다.

본 발명에 있어서, 송풍판은 테이프가 이송되는 방향을 따라 볼록하게 만곡되어 연장되는 원주면을 갖는 원형일 수 있다.

본 발명에 있어서, 발광부는 송풍판의 내측에 배치되어 테이프를 향해 광을 방출하는 제1 발광부를 구비할 수 있다.

본 발명에 있어서, 송풍판은 제1 발광부에서 방출되는 광이 투과되도록 개방되는 슬릿(slit)을 구비할 수 있다.

본 발명에 있어서, 발광부는 송풍판의 외측에 배치되어 테이프를 향해 광을 방출하는 제2 발광부를 구비할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 관한 테이프 검사장치에서는, 상술한 발광부가 송풍판의 원주 방향을 따라 복수 개가 배치되고, 서로 이격된 발광부들에 대응하여 카메라가 복수 개가 배치되며, 공기 제어장치는 발광부들에 대응하도록 복수 개가 배치될 수 있다.

본 발명의 또 다른 측면에 관한 테이프 검사장치에서는, 상술한 송풍판이 테이프가 이송되는 경로를 따라 서로 이격되며 복수 개가 배치되고, 서로 이격된 송풍판들에 공기 제어장치와 영상 취득부가 각각 배치될 수 있다.

본 발명에 관한 테이프 검사방법은, 송풍판에 형성된 복수 개의 공기 구멍을 통해 공기를 배출하는 단계와, 공기가 배출되는 송풍판의 표면으로 테이프를 이송하는 단계와, 테이프가 송풍판에 접하도록 공기 구멍을 통해 공기를 흡입하는 단계와, 테이프에 광을 조사하는 단계와, 광이 조사된 테이프의 영상을 취득하는 단계와, 취득된 영상으로부터 테이프의 상태를 판단하는 단계를 포함한다.

상술한 바와 같은 본 발명의 테이프 이송장치와, 테이프 검사장치 및 테이프 검사장치는, 테이프가 송풍판의 표면을 따라 이송되는 동안 공기 구멍을 통해 공기를 송풍하여 테이프와 송풍판의 마찰을 감소시키므로 테이프의 손상을 최소화할 수 있다.

또한 송풍판의 공기 구멍을 통해 송풍판 측의 외부 공기를 흡임함으로써 테이프가 검사되는 동안 테이프가 송풍판에 접하므로, 검사를 실시하기 위해 요구되는 테이프의 평탄도가 최적으로 유지될 수 있다.

또한 본 발명의 테이프 검사장치 및 테이프 검사방법은, 송풍판의 내측에 투과광을 조사하는 발광부를 배치하고 송풍판에 투과광의 경로를 형성하는 슬릿을 구비하고, 송풍판의 외측에는 반사광을 조사하는 발광부를 배치함으로써, 투과조명을 이용한 테이프 검사와, 반사조명을 이용한 테이프 검사를 선택적으로 실시할 수 있다.

이하, 첨부 도면의 실시예들을 통하여, 본 발명에 관한 테이프 검사장치의 구성과 작용을 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 테이프 검사장치의 측면 단면도이고, 도 2는 도 1에 나타난 테이프 검사장치의 정면도이며, 도 3은 도 2의 테이프 검사장치의 일부를 확대하여 도시한 정면도이고, 도 4는 도 1에 나타난 테이프 검사장치에 구비되는 송풍판의 사시도이다. 도 5는 도 1에 나타난 테이프 검사장치의 구성을 나타내는 블록도이다.

도 2 내지 도 5에 나타난 실시예에 관한 테이프 검사장치는, 전자부품이 실장되는 테이프의 배선 불량 등의 유무를 검사하기 위한 테이프 검사장치에 관한 것이다.

테이프 검사장치가 검사하는 테이프는, 휴대용 전자기기나 디스플레이 장치에 사용되는 드라이버 집적회로와, 메모리 등의 각종 반도체 디바이스들을 제조할 때 널리 사용되는 유연성 인쇄회로기판(flexible printed circuit board)의 제조에 사용되는 필름(film)이나 테이프(tape) 형태의 제품(이하, 테이프라 칭함)을 말한다. 최근 다양한 분야에서 널리 이용되는 유연성 인쇄회로기판으로는 TAB(tape automated bonding) 및 COF(chip on film) 등이 있다.

본 발명의 일 실시예에 관한 테이프 검사장치는 유연성 인쇄회로기판을 제조하는 과정 중에 노광, 현상, 에칭 등의 여러 가지 공정을 통해 테이프에 형성되는 도금 영역이나, 솔더 레지스트(solder resist) 영역이나, 반도체 칩 등이 실장되는 영역(이너 리드; inner lead) 등을 포함하는 회로 패턴의 불량 유무를 검출할 수 있다.

테이프 검사장치는, 테이프를 이송하는 기능을 수행하는 테이프 이송장치(40)와, 테이프의 영상을 취득하는 영상 취득부(50)와, 테이프 이송장치(40)와 영상 취득부(50) 등을 제어함과 아울러 테이프의 불량 여부를 판단하는 제어부(60)를 구비한다.

테이프 이송장치(40)는 복수 개의 공기 구멍들(11)이 형성되는 송풍판(10)과, 송풍판(10)의 표면을 따라 테이프(2)를 이송시키는 테이프 이송부(20)와, 송풍판(10)의 공기 구멍(11)에 공기를 공급하거나 공기 구멍(11)을 통해 공기를 흡입하는 공기 제어장치(30)를 구비한다.

송풍판(10)은 테이프 이송부(20)에 의해 이송되는 테이프(2)가 검사 지점에서 평탄도가 정밀하게 유지되도록 테이프(2)를 지지하는 기능을 수행한다. 송풍판(10)은 또한 테이프(2)가 원활히 이송되게 안내함으로써 테이프(2)가 이송되는 동안 마찰에 의해 손상되지 않도록 하는 기능을 수행할 수 있다.

송풍판(10)은 복수 개의 공기 구멍들(11)을 둘러싸 소정의 공기압이 형성되는 챔버(12)를 구비한다. 송풍판(10)은 공기 구멍들(11)을 구비하는 상판(11a)과 챔버(12)를 별도로 제작한 후 밀폐를 위한 실링(14)을 개재하여 결합함으로써 완성된다. 본 발명은 송풍판(10)의 형상에 의해 한정되지 않으며, 상판(11a)과 챔버(12)가 별도로 제작되지 않고 처음부터 일체로 성형될 수도 있다.

송풍판(10)은 발포 수지 계열의 소재나 알루미늄 등의 금속 소재로 제작될 수 있다. 발포 수지 계열의 수지를 사용하면, 소재의 크기를 대형화하기가 용이하고, 면적에 비해 무게가 가볍고. 제작 단가가 저렴한 장점이 있다. 또한 얇은 두께 로 제작할 수 있어 협소한 공간에도 적용할 수 있으며, 공기 구멍을 미세하게 형성하기가 용이한 장점도 있다.

알루미늄 등의 금속 소재를 사용할 때에는 소재에 소정의 패턴의 공기 구멍을 가공하고, 테이프와 접촉하는 표면을 테프론 등의 내마모성 소재로 코팅한다. 금속 소재를 이용하면 조립성이 훌륭하고 표면의 평탄도가 우수하여 테이프에 검사장치에 요구되는 정밀도를 충족시킬 수 있다.

공기 제어장치(30)는 송풍판(10)의 챔버(12)에 연결되는 공급관(31)과, 에어 펌프(33; 도 5 참조)를 구비한다. 공급관(31)은 피팅(32; fitting)을 개재하여 챔버(12)에 연결된다. 공급관(31)은 밸브(미도시)를 개재하여 에어 펌프(33)에 연결될 수 있다. 에어 펌프(33)는 제어부(60)로부터 전기 신호를 인가 받아 작동되므로, 챔버(12)에 공기를 공급하거나 챔버(12)의 공기를 흡입할 수 있다.

공급관(31)에 의해 챔버(12)에 공기가 공급되면, 챔버(12)의 내부가 대기압보다 큰 소정의 압력을 형성하므로 공기 구멍들(11)로부터 테이프(2)를 향해 공기가 배출된다. 공기 구멍들(11)에서 테이프(2)를 향해 공기가 배출될 때에는, 배출되는 공기압의 작용으로 인해 도 3에 도시된 것과 같이 테이프(2)와 송풍판(10)의 표면의 사이에 공간이 발생하므로 테이프(2)와 송풍판(10)의 표면의 사이에 존재하는 마찰이 감소될 수 있다.

공급관(31)에 의해 챔버(12)의 공기가 흡입되면, 챔버(12)의 내부가 대기압보다 작은 소정의 압력을 형성하므로 테이프(2) 측에 존재하는 외부의 공기가 공기 구멍들(11)을 통해 챔버(12)로 유입된다. 이때에는 챔버(12)로 흡입되는 공기의 압 력에 의해 테이프(2)가 송풍판(10)의 표면에 접한다. 후술하는 영상 취득부(50)는 이와 같이 테이프(2)가 송풍판(10)의 표면에 접할 때에 테이프(2)의 영상을 취득한다.

테이프 이송부(20)는, 테이프(2)에 형성된 이송홀(3)에 결합되어 회전함으로써 테이프(2)를 이송시키는 힘을 가하는 스프로켓(21)과, 테이프(2)를 지지하며 회전함으로써 테이프(2)의 이송을 안내하는 복수 개의 안내 롤러들(22, 27)을 구비하여 송풍판(10)의 표면을 따라 테이프(2)를 이송시킬 수 있다. 안내 롤러들(22, 27)은 테이프(2)에 대해 소정의 장력을 부여할 수 있도록 그 위치들이 조정될 수 있다.

그러나 본 발명은 이와 같은 테이프 이송부(20)의 구성에 의해 제한되지 않는다. 테이프(2)를 이송시킬 수 있다면, 스프로켓(21) 이외의 여러 가지 구성 요소를 채택하도록 테이프 이송부(20)의 구성이 변형될 수 있다. 즉 테이프 이송부(20)는 구동 모터에 의해 회전하여 테이프(2)를 감는 권취 롤러를 이용하여 구현되거나, 안내 롤러들(22, 27)의 각각이 소형 구동모터에 의해 구동되어 테이프(2)와 접하는 마찰력에 의해 테이프를 이송시킬 수도 있을 것이다.

테이프 이송부(20)의 스프로켓(21)은 회전축(24)과 벨트(23)에 의해 모터(25)에 연결되므로, 모터(25)의 구동력이 스프로켓(21)에 전달된다. 테이프(2)의 양측 가장자리에는 이송홀(3)이 형성되며 스프로켓(21)이 이송홀(3)에 결합되어 회전하면 스프로켓(21)의 회전력에 의해 테이프(2)가 송풍판(10)의 표면을 따라 이동한다. 모터(25)는 정회전과 역회전을 할 수 있으므로, 검사 위치에 정확하게 위치 하도록 테이프(2)를 정방향 또는 역방향으로 이동시킬 수 있다.

도 1 내지 도 3에 도시된 실시예에서 송풍판(10)은 테이프(2)가 이송되는 방향을 따라 볼록하게 만곡되어 연장되는 원주면을 갖는 원형으로 제작된다. 그러나 본 발명은 이와 같은 송풍판(10)의 형상에 의해 한정되지 않으며, 송풍판(10)은 다양한 형태로 변형될 수 있다. 예를 들어 송풍판(10)은 원형으로 제작되지 아니하고, 테이프(2)와 접하는 일부분이 테이프(2)가 이송되는 방향을 따라 볼록하게 만곡될 수 있다. 이를 변형하여 송풍판(10)은 만곡되지 않고 평판으로 제작될 수도 있다.

테이프(2)의 영상을 취득하는 기능을 하는 영상 취득부(50)는 송풍판(10)의 표면을 따라 이송되는 테이프(2)를 향해 광을 조사하는 발광부(51)와, 송풍판(10)의 외측에 배치되어 광이 조사된 테이프(2)의 영상을 취득하는 카메라(52)를 구비할 수 있다. 카메라(52)는 발광부(51)의 투과광을 사용하거나, 반사광을 사용하여 테이프(2)의 영상을 취득할 수 있다.

발광부(51)는 송풍판(10)의 내측에 배치되어 테이프(2)를 향해 광을 방출하는 제1 발광부(51a)와, 송풍판(10)의 외측에 배치되어 테이프(2)를 향해 광을 방출하는 제2 발광부(51b)를 구비할 수 있다. 제1 발광부(51a)는 테이프(2)에 투과광을 조사하는 투과형 조명으로서 설치되고, 제2 발광부(51b)는 테이프(2)에 반사광을 조사하는 반사형 조명으로서 설치된다.

송풍판(10)에는 제1 발광부(51a)에 의해 발광되는 투과광이 테이프(2)를 향하여 통과할 수 있도록 안내 하는 슬릿(17)이 구비된다.

카메라(52)는 렌즈 유닛을 포함하는 경통(52a)과 촬상소자(52b)를 구비한다. 촬상소자(52b)는 렌즈 유닛을 통과하여 입사된 테이프(2)의 영상광을 전기적인 신호로 변환하는 장치이다.

도 5를 참조하면, 제어부(60)는 카메라(52)의 전기적인 신호를 처리하는 영상 처리부(61)를 구비한다. 영상 처리부(61)는 카메라(52)의 전기적인 신호를 디지털 데이터인 화상 데이터로 변환하는 기능을 한다. 불량 판단부(63)는 화상 데이터로부터 테이프(2)의 표면에 형성된 배선 패턴의 불량 여부를 판단할 수 있다.

제어부(60)에는 메모리 제어부(66)가 구비되는데, 메모리 제어부(66)는 메모리(72)를 제어하여 데이터를 저장하거나 독출할 수 있다. 따라서 영상 처리부(61)의 화상 데이터는 메모리 제어부(66)에 의해 메모리(72)에 저장될 수 있다. 메모리(72)에는 영상 처리부(61)의 화상 데이터 이외에도, 회로 패턴의 불량 여부를 판단하기 위한 기준 데이터들이 저장될 수도 있다. 불량 판단부(63)는 메모리(72)의 기준 데이터들을 영상 처리부(61)의 화상 데이터와 비교함으로써, 테이프(2)의 불량 여부를 판단할 수 있다.

모터 제어부(64)는 스프로켓(21)을 구동하는 모터(25)를 제어한다. 모터(25)가 구동되면 스프로켓(21)이 회전함으로써 테이프(2)의 이송이 이루어진다. 테이프(2)를 검사할 때에는 모터 제어부(64)가 정지 신호를 모터(25)에 인가하여 테이프(2)의 이송을 정지시킬 수 있다.

압력 제어부(65)는 에어 펌프(33)를 제어함으로써 챔버(12)에 공급되는 공기의 흐름을 제어할 수 있다.

테이프(2)의 이송이 이루어질 때에는 에어 펌프(33)가 챔버(12)로 공기를 공급하도록 압력 제어부(65)가 신호를 인가한다. 이를 통해 챔버(12)의 내부에 대기압보다 높은 소정의 압력이 형성되므로, 공기 구멍(11)을 통해 테이프(2)를 향한 공기의 배출이 이루어져 테이프(2)의 송풍판(10)의 사이에 발생하는 마찰이 감소될 수 있다. 그러므로 테이프(2)가 이송되는 동안 송풍판(10)과의 마찰로 인한 테이프(2)의 손상이 최소화된다.

테이프(2)의 검사가 이루어지기 위해서는, 압력 제어부(65)가 신호를 인가하여 에어 펌프(33)가 챔버(12)의 공기를 흡입하도록 한다. 이를 통해 챔버(12)의 내부에 대기압보다 낮은 소정의 압력이 형성되므로, 공기 구멍(11)을 통해 테이프(2) 측의 외부 공기가 챔버(12)의 내부로 유입된다. 따라서 테이프(2)의 검사가 이루어지는 동안 공기의 압력의 작용으로 인해 테이프(2)가 송풍판(10)에 접함으로써 영상 취득부(50)가 영상 취득에 필요한 테이프(2)의 평탄도가 정밀하게 유지될 수 있다.

발광 제어부(62)는 제1 발광부(51a)와 제2 발광부(51b)의 발광을 제어함으로써, 제1 발광부(51a)나 제2 발광부(51b)가 선택적으로 작동하여 투과광이나 반사광이 발광되도록 하는 기능을 수행한다.

테이프 검사장치가 TAB 제품의 이너 리드(inner lead)의 휨 현상이나, 솔더 레지스터 영역의 위치 틀어짐 등을 검출하고자 할 때에는, 발광 제어부(62)가 제1 발광부(51a)를 작동시켜 투과광이 발광되도록 한다.

테이프 검사장치가 COF 제품의 이너 리드의 불량이나, 패턴 도금 영역의 변 색이나 스크래치(scratch)나 이물질 등의 불량을 검출하고자 할 때에는, 발광 제어부(62)가 제2 발광부(51b)를 작동시켜 반사광이 발광되도록 한다.

제어부(60)에 구비되는 표시 제어부(67)는 표시부(71)에 대한 정보의 표시를 제어할 수 있다. 표시 제어부(67)는 테이프(2)의 회로 패턴의 불량이 검출되었을 때에 알람이나, 검출된 불량의 종류와, 위치 등의 정보를 표시할 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 관한 테이프 검사방법을 나타낸 순서도이다.

도 6에 나타난 테이프 검사방법은, 송풍판에 형성된 복수 개의 공기 구멍을 통해 공기를 배출하는 단계(S100)와, 공기가 배출되는 송풍판의 표면으로 테이프를 이송하는 단계(S110)와, 송풍판의 공기 구멍을 통해 공기를 흡입하는 단계(S120)와, 테이프에 광을 조사하는 단계(S130)와, 광이 조사된 테이프의 영상을 취득하는 단계(S140)와, 취득된 영상으로부터 테이프의 상태를 판단하는 단계(S140)를 포함한다.

공기를 배출하는 단계(S100)는 송풍판에 형성된 복수 개의 공기 구멍을 통해 테이프를 향하여 공기를 배출함으로써, 송풍판과 테이프의 사이의 마찰을 감소시키는 단계이다.

테이프를 이송하는 단계(S110)는 송풍판의 표면을 따라 테이프가 이동하도록 테이프를 이송한다. 테이프의 이송은 검사가 이루어지는 영역에 맞추어 소정 길이의 테이프를 이송하고, 정지한 후 테이프의 불량 여부를 검사한 후 다시 이송하는 방식으로 이루어진다.

공기를 흡입하는 단계(S130)는 송풍판의 공기 구멍을 통해 테이프 측의 외부 공기를 흡입함으로써 공기의 압력의 작용으로 테이프가 송풍판에 접하도록 하는 단계이다. 이 단계에서는 테이프의 이송이 정지된 상태에 놓이며, 테이프가 송풍판에 접함으로써 영상을 취득하기에 적합하도록 테이프의 평탄도가 정밀하게 유지될 수 있다.

테이프에 광을 조사하는 단계(S130)는 영상을 취득할 수 있도록 테이프에 반사광이나 투과광을 조사하는 단계이다. 테이프에 형성된 회로 패턴의 불량 여부를 검사할 때에, 검사하기 원하는 영역의 종류에 따라 반사광이나 투과광이 선택적으로 테이프에 조사될 수 있다.

영상을 취득하는 단계(S140)는 광이 조사된 테이프의 영상을 취득하는 단계로서, 디지털 카메라와 같은 촬상 수단을 이용하여 테이프의 영상을 전기적인 신호로 변환하는 단계이다. 전기적인 신호로 변환된 이후에는 이를 디지털 데이터인 화상 데이터로 변환하고, 화상 데이터를 검사의 기준이 되는 기준 데이터들과 비교함으로써 테이프의 회로 패턴의 불량 유무를 판단할 수 있다.

테이프의 상태를 판단하는 단계(S150)는 영상을 취득하는 단계(S140)에서 취득된 영상으로부터 테이프에 형성된 회로 패턴에 불량이 존재하는지를 판단하는 단계이다.

테이프 검사 방법은 불량이 존재하는 경우, 에러를 저장하고 표시부에 불량 발생에 관한 정보를 표시하는 단계(S170)를 더 포함할 수 있다. 불량이 존재하지 않는 경우(S160)에는 공기를 배출하는 단계(S100)로 이동하여 테이프를 이송하고 불량 여부를 검사하는 일련의 단계들(S110~S150)을 반복할 수 있다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 관한 테이프 검사장치의 정면도이다.

도 7에 나타난 실시예에 관한 테이프 검사장치는, 테이프(2)의 이송 방향을 따라 만곡되는 원형으로 형성된 송풍판(110)의 원주면을 따라 이격되며 배치되는 복수 개의 발광부들(151a, 151b, 151c, 153)을 구비한다. 또한 테이프 검사장치는 복수 개의 발광부들(151a, 151b, 151c, 153)에 대응하여 배치되는 복수 개의 카메라들(152a, 152b, 152c)과, 서로 이격되며 복수 개의 발광부들(151a, 151b, 151c, 153)에 대응하여 배치되는 공기 제어장치들(130)을 구비한다.

도 1 내지 도 5에 나타난 실시예에서는, 송풍판의 표면의 한 지점에서만 테이프의 검사가 이루어졌지만, 도 7에 나타난 실시예에서는 송풍판(110)의 표면의 복수 개의 지점에서 테이프의 검사가 이루어질 수 있다.

이를 위해 송풍판(110)에는 복수 개의 공기 구멍들(111)이 넓은 범위에 걸쳐 형성된다. 송풍판(110)은 공기 구멍들(111)을 둘러싸도록 원주면을 따라 내측에 배치되는 챔버들(112)을 구비한다.

챔버들(112)에는 공급관(131)이 피팅(132)을 개재하여 연결되어, 에어 펌프의 공기가 챔버들(112)에 공급되거나, 챔버들(112)의 공기가 에어 펌프에 의해 흡입될 수 있다. 챔버들(112)의 내부에 높은 압력이 형성되면 공기 구멍들(111)을 통해 테이프(2)를 향해 공기가 배출되고, 챔버들(112)의 내부에 낮은 압력이 형성되면 공기 구멍들(111)을 통해 테이프(2) 측의 외부 공기가 챔버들(112)로 유입된다.

송풍판(110)의 내측에 배치되는 제1 발광부들(153)은 송풍판(110)의 원주 방향을 따라 복수 개가 배치된다. 제1 발광부들(153)에서 방출되는 투과광은 챔버 들(112)에 형성된 슬릿(117)을 통해 테이프(2)에 조사된다.

송풍판(110)의 외측에 배치되는 제2 발광부들(151a, 151b, 151c)도 송풍판(110)의 원주 방향을 따라 복수 개가 서로 이격되며 배치된다. 제2 발광부들(151a, 151b, 151c)에서 방출되는 반사광은 테이프(2)의 표면에 직접 조사된다.

복수 개의 카메라들(152a, 152b, 152c)도 제2 발광부들(151a, 151b, 151c)의 각각에 대응하도록 송풍판(110)의 원주 방향을 따라 서로 이격되며 배치된다.

송풍판(110)의 둘레에 배치되는 안내 롤러들(122, 127)은 테이프(2)를 지지하여 소정의 장력을 부여하며, 테이프(2)가 송풍판(110)의 원주면을 따라 이동되도록 테이프(2)를 안내하는 기능을 수행한다.

도 7에 나타난 실시예에 관한 테이프 검사장치는 테이프(2)의 표면에서 검사하기 원하는 회로 패턴이나 불량의 유형에 따라 시야(field of view)가 서로 다른 복수 개의 카메라를 설치할 때에 적합하다. 이는 하나의 송풍판(110)의 원주면을 따라 발광부들(151a, 151b, 151c, 153)과 카메라들(152a, 152b, 152c)이 배치되므로, 공간 활용이 효율적으로 이루어지기 때문이다.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 테이프 검사장치의 정면도이다.

도 8에 나타난 실시예에 관한 테이프 검사장치는, 테이프(2)의 이송 방향을 따라 이격되며 배치되는 복수 개의 송풍판들(210a, 210b, 210c)을 구비한다. 테이프(2)는 각각의 송풍판들(210a, 210b, 210c)의 둘레에 배치된 안내 롤러들(222, 227)에 의해 지지되며 송풍판들(210a, 210b, 210c)의 적어도 일부의 원주면을 따라 이송된다.

도 8의 테이프 검사장치는 도 1 내지 도 4에 나타난 실시예의 테이프 검사장치와 유사한 형태의 구성으로 이루어진다. 따라서 각각의 송풍판들(210a, 210b, 210c)에는 복수 개의 공기 구멍들(211)과 챔버들(212)과 슬릿들(217)이 각각 구비된다.

송풍판들(210a, 210b, 210c)의 각각의 내부에는 제1 발광부들(253a, 253b, 253c)이 배치되고, 외부에는 제2 발광부들(251a, 251b, 251c)이 배치된다. 또한 각각의 제2 발광부들(251a, 251b, 251c)에 대응하여 카메라들(252a, 252b, 252c)이 배치된다. 또한 송풍판들(210a, 210b, 210c)의 각각의 내부에는 챔버들(212)에 연결되어 공기를 공급하거나 흡입하는 공기 제어장치들(230a)이 배치된다.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 테이프 검사장치의 정면도이다.

도 9에 나타난 실시예에 관한 테이프 검사장치에서는, 송풍판(310)의 형태가 변형되었다. 즉 송풍판(310)은 평판 형태로 제작되며, 테이프(2)는 안내 롤러들(322)에 의해 안내되어 송풍판(310)의 평평한 표면을 따라 이송된다.

송풍판(310)은 복수 개의 공기 구멍들(311)과, 공기 구멍들(311)을 둘러싸며 내부에 소정의 공기압을 형성하는 챔버(312)를 구비한다. 송풍판(310)은 알루미늄 등의 금속 소재를 가공하여 제작될 수 있으며, 상부에 대전 방지용 코팅을 처리함으로써 테이프(2)와의 마찰을 최소화할 수 있다.

테이프를 이송시키는 테이프 이송부는 도 1 내지 도 4에 도시된 것과 같이 테이프(2)의 이송홀에 결합되어 회전함으로써 테이프(2)를 이송시키는 힘을 가하는 스프로켓(미도시)을 구비할 수 있다.

공기 구멍(311)에 공기를 공급하거나, 공기 구멍(311)을 통해 외부의 공기를 흡입하는 공기 제어장치(330)는 피팅(332)을 개재하여 챔버(312)에 연결되는 공급관들(331)을 구비한다. 공급관들(331)에는 에어 펌프(미도시)로부터의 공기 공급을 제어하는 솔레노이드 밸브(338)이 연결된다.

테이프(2)의 영상을 취득하는 영상 취득부(350)는, 송풍판(310)의 내측에서 송풍판(310)의 표면을 따라 이격되며 배치되어 테이프(2)에 투과광을 조사하는 제1 발광부들(353a, 353b, 353c)과, 송풍판(310)의 외부에서 송풍판(310)의 표면을 따라 이격되며 배치되어 테이프(2)에 반사광을 조사하는 제2 발광부들(351a, 351b, 351c)과, 각각의 제2 발광부들(351a, 351b, 351c)에 대응하도록 배치되는 복수 개의 카메라들(352a, 352b, 352c)을 구비한다.

송풍판(310)에는 제1 발광부들(353a, 353b, 353c)의 대응하는 위치에 투과광이 테이프(2)를 향해 안내하는 슬릿들(317)이 형성된다. 슬릿들(317)은 투과광의 광경로를 확보하기 위해 사다리꼴 모양의 단면을 갖도록 형성될 수 있다.

테이프(2)의 이송과 공기 구멍들(311)을 통한 공기의 공급과, 테이프(2)가 정지한 상태에서의 공기 구멍들(311)을 통한 외부 공기의 흡입과 테이프(2)의 불량 여부 검사 등을 포함하는, 테이프 검사 장치의 작동은 도 1 내지 도 4에 나타난 실시예에서의 테이프 검사 장치의 작동과 유사하므로 상세한 설명은 생략한다.

본 발명은 상술한 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술 적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 관한 테이프 검사장치의 측면 단면도이다.

도 2는 도 1에 나타난 테이프 검사장치의 정면도이다.

도 3은 도 2의 테이프 검사장치의 일부를 확대하여 도시한 정면도이다.

도 4는 도 1에 나타난 테이프 검사장치에 구비되는 송풍판의 사시도이다.

도 5는 도 1에 나타난 테이프 검사장치의 구성을 나타내는 블록도이다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 관한 테이프 검사방법을 나타낸 순서도이다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 관한 테이프 검사장치의 정면도이다.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 테이프 검사장치의 정면도이다.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 관한 테이프 검사장치의 정면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2: 테이프 62: 발광 제어부

3: 이송홀 63: 불량 판단부

11a: 상판 64: 모터 제어부

14: 실링 65: 압력 제어부

20: 테이프 이송부 66: 메모리 제어부

21: 스프로켓 67: 표시 제어부

23: 벨트 71: 표시부

24: 회전축 72: 메모리

25: 모터 338: 솔레노이드 밸브

33: 에어 펌프 50, 350: 영상 취득부

40: 테이프 이송장치 31, 131, 331: 공급관

51: 발광부 32, 132, 332: 피팅

52a: 경통 11, 111, 211, 311: 공기 구멍

52b: 촬상소자 12, 112, 212, 312: 챔버

60: 제어부 17, 117, 217, 317: 슬릿

30, 130, 230a, 330: 공기 제어장치 61: 영상 처리부

22, 27, 122, 127, 222, 227, 322: 안내 롤러들

10, 110, 210a, 210b, 210c, 310: 송풍판

51a, 153, 253a, 253b, 253c, 353a, 353b, 353c: 제1 발광부

51b, 151a, 151b, 151c, 251a, 251b, 251c, 351a, 351b, 351c: 제2 발광부

52, 152a, 152b, 152c, 252a, 252b, 252c, 352a, 352b, 352c: 카메라

Claims (13)

1. 복수 개의 공기 구멍이 형성된 송풍판;

   상기 송풍판의 표면을 따라 테이프를 이송시키는 테이프 이송부;

   상기 테이프와 상기 송풍판의 마찰을 감소시키도록 상기 공기 구멍에 공기를 공급하거나, 상기 테이프가 상기 송풍판의 상기 표면에 접하도록 상기 공기 구멍을 통해 공기를 흡입하는, 공기 제어장치; 및

   상기 송풍판의 내측에 배치되어 상기 테이프를 향해 광을 방출하는 발광부;를 구비하고,

   상기 송풍판은 상기 테이프가 이송되는 방향을 따라 볼록하게 만곡되어 연장되는 원주면을 갖는 원형이고, 상기 송풍판은 상기 발광부에서 방출되는 광이 투과되도록 개방되는 슬릿(slit)을 구비하는, 테이프 이송장치.
2. 청구항 2은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

   제1항에 있어서,

   상기 테이프 이송부는, 상기 테이프에 형성된 이송홀에 결합되어 회전함으로써 상기 테이프를 이송시키는 힘을 가하는 스프로켓과, 상기 테이프를 지지하며 안내하는 복수 개의 안내 롤러들을 구비하는, 테이프 이송장치.
3. 청구항 3은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

   제1항 또는 제2항에 있어서,

   상기 송풍판은 상기 공기 구멍들을 둘러싸 소정의 공기압이 형성되는 챔버를 구비하고, 상기 공기 제어장치는 상기 챔버에 연결되어 공기를 공급하거나 흡입하는 공급관을 구비하는, 테이프 이송장치.
4. 복수 개의 공기 구멍이 형성된 송풍판;

   상기 송풍판의 표면을 따라 테이프를 이송시키는 테이프 이송부;

   상기 테이프와 상기 송풍판의 마찰을 감소시키도록 상기 공기 구멍에 공기를 공급하거나, 상기 테이프가 상기 송풍판의 상기 표면에 접하도록 상기 공기 구멍을 통해 공기를 흡입하는, 공기 제어장치;

   상기 송풍판의 내측에 배치되어 상기 테이프를 향해 광을 방출하는 제1 발광부와, 상기 송풍판의 외측에 배치되어 광이 조사된 상기 테이프의 영상을 취득하는 카메라를 구비하는, 영상 취득부; 및

   취득된 상기 영상으로부터 상기 테이프의 불량 여부를 판단하는 제어부;를 구비하고,

   상기 송풍판은 상기 테이프가 이송되는 방향을 따라 볼록하게 만곡되어 연장되는 원주면을 갖는 원형이고, 상기 송풍판은 상기 제1 발광부에서 방출되는 광이 투과되도록 개방되는 슬릿(slit)을 구비하는, 테이프 검사장치.
5. 청구항 5은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

   제4항에 있어서,

   상기 테이프 이송부는, 상기 테이프에 형성된 이송홀에 결합되어 회전함으로써 상기 테이프를 이송시키는 힘을 가하는 스프로켓과, 상기 테이프를 지지하며 안내하는 복수 개의 안내 롤러들을 구비하는, 테이프 검사장치.
6. 청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

   제4항에 있어서,

   상기 송풍판은 상기 공기 구멍들을 둘러싸 소정의 공기압이 형성되는 챔버를 구비하고, 상기 공기 제어장치는 상기 챔버에 연결되어 공기를 공급하거나 흡입하는 공급관을 구비하는, 테이프 검사장치.
7. 삭제
8. 청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

   제4항에 있어서,

   상기 제1 발광부는 상기 송풍판의 원주 방향을 따라 복수 개가 배치되고, 서로 이격된 상기 제1 발광부들에 대응하여 상기 카메라가 복수 개가 배치되며, 상기 공기 제어장치는 상기 제1 발광부들에 대응하도록 복수 개가 배치되는, 테이프 검사장치.
9. 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

   제4항에 있어서,

   상기 송풍판은 상기 테이프가 이송되는 경로를 따라 서로 이격되며 복수 개가 배치되고, 서로 이격된 상기 송풍판들에 상기 공기 제어장치와 상기 영상 취득부가 각각 배치되는, 테이프 검사장치.
10. 삭제
11. 삭제
12. 청구항 12은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.

    제4항 내지 제6항, 및 제8항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 송풍판의 외측에 배치되어 상기 테이프를 향해 광을 방출하는 제2 발광부를 더 구비하는, 테이프 검사장치.
13. 송풍판에 형성된 복수 개의 공기 구멍을 통해 공기를 배출하는 단계;

    공기가 배출되는 상기 송풍판의 표면으로 테이프를 이송하는 단계;

    상기 테이프가 상기 송풍판에 접하도록 상기 공기 구멍을 통해 공기를 흡입하는 단계;

    상기 송풍판의 내측에 배치되어 광을 방출하는 발광부의 광을 상기 송풍판의 슬릿(slit)을 투과시켜 상기 테이프에 광을 조사하는 단계;

    광이 조사된 상기 테이프의 영상을 취득하는 단계; 및

    취득된 상기 영상으로부터 상기 테이프의 상태를 판단하는 단계;를 포함하고,

    상기 송풍판은 상기 테이프가 이송되는 방향을 따라 볼록하게 만곡되어 연장되는 원주면을 갖는 원형인, 테이프 검사방법.

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