JP6802081B2 - ウエーハ型チップトレイおよび外観検査装置 - Google Patents
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Description
従来より半導体デバイスやICチップ、LEDチップなどのチップ部品の搬送のために、チップトレイと呼ばれる、複数に区画されたれたポケットを有するワッフル形状のトレイが用いられており(例えば、特許文献1)、トレイに収納されたICチップの外観検査を行う装置(つまり、チップ外観検査装置)がある(例えば、特許文献2)。
複数のチップ部品をそれぞれ並べて収納する本体部を有するチップトレイであって、
外周側面が円弧状および位置決め基準部を有するウエーハ形状をしており、
本体部には、
位置決め基準部と所定の位置関係を有する、チップ部品を個別に収納するために区画された凹み部からなるチップ搭載部と、
チップ搭載部に収納されたチップ部品に設定された検査領域よりも外側の非検査領域に当接させるチップ押さえ板と、
チップ押さえ板を当該本体部側に引き寄せるように磁力で保持するマグネット部を備えたことを特徴とする、ウエーハ型チップトレイである。
上記一態様のウエーハ型チップトレイを載置する検査ステージと、
ウエーハ型チップトレイに収納されたチップ部品の外観を検査する検査部とを備え、
ウエーハ型チップトレイの厚みに応じて、検査ステージと検査部との相対距離を調整する相対距離調節機構を備えた、外観検査装置である。
マグネット部5は、チップ押さえ板4を本体部2側に引き寄せるように磁力で保持するものである。具体的には、マグネット部5は、本体部2のチップ押さえ板4が配置される部位に埋設されている。より具体的には、マグネット部5は、ネオジム磁石やフェライト磁石などで構成されている。
なお上述では特筆していなかったが、ウエーハ型チップトレイ1は、一般的なウエーハと同じ厚みにしておくことが好ましい。そうすることで、一般的なウエーハと同様にハンドリングが可能である。しかし、ウエーハ型チップトレイ1は、一般的なウエーハと同じ厚みにできない場合であっても、一般的なウエーハ収納カセットに収納可能な程度の厚みにしておくことが好ましい。一方、搬送工程や外観検査装置などでハンドリングが可能であれば、ウエーハ型チップトレイ1は、適宜所望の厚みに設定しても良い。
図3は、本発明を具現化する第2の一態様の一例の全体構成を示す概略図である。図3には、本発明に係る外観検査装置10の概略図が示されている。
なお上述では、チップ押さえ板4としてフェライト系のステンレス材:SUS430を例示したが、下記のような材料で構成されていても良い。
(1)他のフェライト系(SUS405など)、マルテンサイト系(SUS410など)、オーステナイト・フェライト系(二相系)(SUS329J4Lなど)などの磁性のあるステンレス材
(2)非磁性のオーステナイト系(SUS304など)のステンレス材に、磁性化処理を施したもの
(3)鉄、ニッケル、コバルトやそれを含む合金で磁性のあるもの
(4)アルミ、真鍮、チタンなどの非磁性金属や、プラスチックなどの樹脂にてチップ押さえ板の本体部を構成し、マグネット部5と対向する部分ないし周囲に磁石または磁性のある材料を埋め込んだもの
なお凹み部Pの上面は、本体部を構成する材料(プラスチックなどの樹脂やアルミ等)が露出していても良いし、錆止め加工などが施されていても良い。あるいは、シリコンやゴムなどの樹脂を薄くコーティングし、チップ部品Cが移動中に位置ずれしない様な滑り止め加工を施しても良い。なお、この滑り止め加工は、凹み部Pの上面全体であっても良いし、所定の間隔で点在するような配置であっても良い。
2 本体部
3 チップ搭載部
4 チップ押さえ板
5 マグネット部
10 外観検査装置
11 検査ステージ
12 検査部
13 相対距離調節機構
E 外周側面
F 位置決め基準部(オリフラ、ノッチ)
C チップ部品
P 凹み部
R 検査領域
T 非検査領域
W ワーク(ウエーハ、ウエーハ型チップトレイ)
Claims (2)
- 複数のチップ部品をそれぞれ並べて収納する本体部を有するチップトレイであって、
外周側面が円弧状および位置決め基準部を有するウエーハ形状をしており、
前記本体部には、
前記位置決め基準部と所定の位置関係を有する、前記チップ部品を個別に収納するために区画された凹み部からなるチップ搭載部と、
前記チップ搭載部に収納された前記チップ部品に設定された検査領域よりも外側の非検査領域に当接させるチップ押さえ板と、
前記チップ押さえ板を当該本体部側に引き寄せるように磁力で保持するマグネット部を備えたことを特徴とする、ウエーハ型チップトレイ。 - 請求項1に記載のウエーハ型チップトレイを載置する検査ステージと、
前記ウエーハ型チップトレイに収納されたチップ部品の外観を検査する検査部とを備え、
前記ウエーハ型チップトレイの厚みに応じて、前記検査ステージと前記検査部との相対距離を調整する相対距離調節機構を備えた、外観検査装置。
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