JPH07239365A - 半導体試験装置における自動再検査方法 - Google Patents
半導体試験装置における自動再検査方法Info
- Publication number
- JPH07239365A JPH07239365A JP6052721A JP5272194A JPH07239365A JP H07239365 A JPH07239365 A JP H07239365A JP 6052721 A JP6052721 A JP 6052721A JP 5272194 A JP5272194 A JP 5272194A JP H07239365 A JPH07239365 A JP H07239365A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体試験装置を用いた半導体デバイスの検
査において、初回検査に引き続き同一ロットの再検査を
したいというユーザのニーズに対応でき、かつ被検査対
象デバイスのハンドリングの完全な自動化を実現する。 【構成】 被検査対象デバイス10をアンローダストッカ
部24からローダストッカ部23にハンドリングするトラン
アーム11を使用する際に、半導体試験装置が持つ制御部
のディスプレー画面８で、自動再検査の設定１をする。
初回検査のため、ハンドラがスタート２し、その初回検
査ロットが終了３した時点で自動再検査を行う４ことを
確認し、再検査がスタート５したらトランアーム11が再
検査と指定したアンローダストッカ部24からローダスト
ッカ部23に搬送し、以下、初回検査と同じシーケンスで
動作させて再検査する方法。
査において、初回検査に引き続き同一ロットの再検査を
したいというユーザのニーズに対応でき、かつ被検査対
象デバイスのハンドリングの完全な自動化を実現する。 【構成】 被検査対象デバイス10をアンローダストッカ
部24からローダストッカ部23にハンドリングするトラン
アーム11を使用する際に、半導体試験装置が持つ制御部
のディスプレー画面８で、自動再検査の設定１をする。
初回検査のため、ハンドラがスタート２し、その初回検
査ロットが終了３した時点で自動再検査を行う４ことを
確認し、再検査がスタート５したらトランアーム11が再
検査と指定したアンローダストッカ部24からローダスト
ッカ部23に搬送し、以下、初回検査と同じシーケンスで
動作させて再検査する方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体試験装置におい
て、半導体ICデバイスの同一検査ロットについての再検
査を、自動的に行う方法に関する。
て、半導体ICデバイスの同一検査ロットについての再検
査を、自動的に行う方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ICデバイスの特性検査において
は、被検査対象ロットの初回の検査が一通り終了して
も、検査結果によってはある特性のカテゴリについて、
同一検査ロットとして直ちに再検査を行いたい場合が生
ずる。従来技術の主流である半導体試験装置では、被検
査対象デバイスを当該装置の検査ヘッド部への搬入、搬
出をするハンドラは、検査終了後のデバイスを検査ヘッ
ド部から所定の位置まで搬出すると、自重落下方式で傾
斜樋等を滑落させて、検査終了デバイスをアンローダ部
に収納する方式である。従って、これから検査しようと
するデバイスを収納しておくローダ部へ、アンローダ部
から再度搬出できる機構はなく、同一ロットの再検査を
行いたい場合には、人手でローダ部に再度供給するしか
なかった。
は、被検査対象ロットの初回の検査が一通り終了して
も、検査結果によってはある特性のカテゴリについて、
同一検査ロットとして直ちに再検査を行いたい場合が生
ずる。従来技術の主流である半導体試験装置では、被検
査対象デバイスを当該装置の検査ヘッド部への搬入、搬
出をするハンドラは、検査終了後のデバイスを検査ヘッ
ド部から所定の位置まで搬出すると、自重落下方式で傾
斜樋等を滑落させて、検査終了デバイスをアンローダ部
に収納する方式である。従って、これから検査しようと
するデバイスを収納しておくローダ部へ、アンローダ部
から再度搬出できる機構はなく、同一ロットの再検査を
行いたい場合には、人手でローダ部に再度供給するしか
なかった。
【０００３】近時、当該装置のハンドラは、強制水平搬
送方式が自重落下方式にとって代わり、主流の方式にな
りつつある。図５、６、７に示すように、当該方式のハ
ンドラでは、ローダストッカ部23へもアンローダストッ
カ部24へも、ローダヘッド14及びアンローダヘッド17に
よってトレー上のデバイスをピックアップしてテストヘ
ッド16に搬入し、検査終了後のデバイス10もまた、ピッ
クアップされてテストトレー15上に強制的に搬出され
る。そして、カストマトレイ12に移されローダ部、アン
ローダ部のストッカ21に格納される方式であり、ことに
アンローダ部のストッカでは、デバイスの検査終了後の
検査結果によって、カテゴリ別に分類されたトレイの単
位で、ストッカ21に格納される。
送方式が自重落下方式にとって代わり、主流の方式にな
りつつある。図５、６、７に示すように、当該方式のハ
ンドラでは、ローダストッカ部23へもアンローダストッ
カ部24へも、ローダヘッド14及びアンローダヘッド17に
よってトレー上のデバイスをピックアップしてテストヘ
ッド16に搬入し、検査終了後のデバイス10もまた、ピッ
クアップされてテストトレー15上に強制的に搬出され
る。そして、カストマトレイ12に移されローダ部、アン
ローダ部のストッカ21に格納される方式であり、ことに
アンローダ部のストッカでは、デバイスの検査終了後の
検査結果によって、カテゴリ別に分類されたトレイの単
位で、ストッカ21に格納される。
【０００４】しかし、近時、主流となりつつある強制水
平搬送方式の当該装置にあっても、被検査対象のデバイ
スをローダ部のトレイ上からテストヘッド部へ搬入し、
かつ、検査終了後は特性のカテゴリ別に分類して、アン
ローダ部のトレイ上に搬出し、それぞれのストッカに格
納するだけという単方向のものでしかなかった。つま
り、初回の検査が一通り終了しても、検査結果によって
は、直ちに自動的に再検査をしたい、というユーザのニ
ーズに応えられる機能は持っていなかった。
平搬送方式の当該装置にあっても、被検査対象のデバイ
スをローダ部のトレイ上からテストヘッド部へ搬入し、
かつ、検査終了後は特性のカテゴリ別に分類して、アン
ローダ部のトレイ上に搬出し、それぞれのストッカに格
納するだけという単方向のものでしかなかった。つま
り、初回の検査が一通り終了しても、検査結果によって
は、直ちに自動的に再検査をしたい、というユーザのニ
ーズに応えられる機能は持っていなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記記載のように、半
導体ICデバイスの特性検査において、被検査対象ロット
の初回の検査が一通り終了しても、その検査結果によっ
ては、アンローダ部に、特性によるカテゴリ別に分類さ
れ、ストッカに格納された同一検査ロットのデバイス
を、再検査したい場合に、人手によるハンドリングを全
く必要とせずに、自動的に再検査することはできなかっ
た。
導体ICデバイスの特性検査において、被検査対象ロット
の初回の検査が一通り終了しても、その検査結果によっ
ては、アンローダ部に、特性によるカテゴリ別に分類さ
れ、ストッカに格納された同一検査ロットのデバイス
を、再検査したい場合に、人手によるハンドリングを全
く必要とせずに、自動的に再検査することはできなかっ
た。
【０００６】ユーザの再検査のニーズとしては、初回
の特性検査規格による分類結果を元に、それよりも特性
規格区分を更に細分化して検査したい。初回には、あ
る特性についての検査規格で検査して分類したものの中
から、二回目には、それらを別の特性での検査規格で検
査して分類したい。単に、検査規格の設定を誤って検
査、分類を行ってしまったり、検査結果に疑義があり、
納得がいかないので再検査したいなどがあげられる。
の特性検査規格による分類結果を元に、それよりも特性
規格区分を更に細分化して検査したい。初回には、あ
る特性についての検査規格で検査して分類したものの中
から、二回目には、それらを別の特性での検査規格で検
査して分類したい。単に、検査規格の設定を誤って検
査、分類を行ってしまったり、検査結果に疑義があり、
納得がいかないので再検査したいなどがあげられる。
【０００７】そこで、本発明においては、上記のよう
な、ユーザの再検査に対するニーズに対応でき、かつ、
その再検査時の被検査対象デバイスのハンドリングを自
動化することで、再検査の完全な自動無人運転が可能な
方法で実現することを目的とした。
な、ユーザの再検査に対するニーズに対応でき、かつ、
その再検査時の被検査対象デバイスのハンドリングを自
動化することで、再検査の完全な自動無人運転が可能な
方法で実現することを目的とした。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、 （1） 先ず、ハンドラの制御シーケンスを設定する制御
部のディスプレー画面８による自動再検査設定画面９
で、自動再検査モードについて「自動再検査する」を
「有効」と設定する。 （2） なお、被測定対象デバイス10に対する初回の検査
では、結果により所定のカテゴリ別に分類され、カスト
マトレイ12上に搬出されて、更に、そのトレイ単位毎に
アンローダ部24のストッカ群の各ストッカに格納されて
いる。 （3） そして、初回の同一検査ロットが終了すると、自
動再検査モードとなり再検査がスタートし、アンローダ
部各ストッカ24の中の、「再検査する」と指定されたス
トッカ24の被検査対象デバイス10は、アンローダストッ
カエレベータ18上に積み上げられていた各カストマトレ
イ12ごとトランアーム11でピックアップし、ローダスト
ッカエレベータ13上に搬送する。
に、本発明では、 （1） 先ず、ハンドラの制御シーケンスを設定する制御
部のディスプレー画面８による自動再検査設定画面９
で、自動再検査モードについて「自動再検査する」を
「有効」と設定する。 （2） なお、被測定対象デバイス10に対する初回の検査
では、結果により所定のカテゴリ別に分類され、カスト
マトレイ12上に搬出されて、更に、そのトレイ単位毎に
アンローダ部24のストッカ群の各ストッカに格納されて
いる。 （3） そして、初回の同一検査ロットが終了すると、自
動再検査モードとなり再検査がスタートし、アンローダ
部各ストッカ24の中の、「再検査する」と指定されたス
トッカ24の被検査対象デバイス10は、アンローダストッ
カエレベータ18上に積み上げられていた各カストマトレ
イ12ごとトランアーム11でピックアップし、ローダスト
ッカエレベータ13上に搬送する。
【０００９】（4）また、（3）でローダストッカエレベ
ータ13に搬送されたカストマトレイ12上のデバイス10
を、同じくトランアーム11によって、カストマトレイご
とにローダセットプレート19上に搬送するが、そこから
は、ローダヘッド14が動作し始めるので、以下、通常の
制御シーケンスによって、再検査が行われる。
ータ13に搬送されたカストマトレイ12上のデバイス10
を、同じくトランアーム11によって、カストマトレイご
とにローダセットプレート19上に搬送するが、そこから
は、ローダヘッド14が動作し始めるので、以下、通常の
制御シーケンスによって、再検査が行われる。
【００１０】
【作用】（1） なお、ローダヘッド14が動作中に、アン
ローダストッカエレベータ18上のカストマトレイ12に載
ったデバイス10は、カストマトレイ12ごとトランアーム
11によってローダストッカエレベータ13上に搬送される
シーケンスとなっている。 （2） 再検査したデバイス10で満杯となったカストマト
レイ12を、アンローダストッカ部24の各ストッカ21に格
納しようとした時、まだ、再検査していないデバイス10
がトレイと共に残っていた場合には、アラームを発生さ
せて、オペレータにアラームの発生しているストッカの
カストマトレイ12を取り除かせる。アラーム発生の頻度
は、再検査を行う際のカテゴリの分類区分数や当該装置
が持つストッカ群の構成数により異なる。
ローダストッカエレベータ18上のカストマトレイ12に載
ったデバイス10は、カストマトレイ12ごとトランアーム
11によってローダストッカエレベータ13上に搬送される
シーケンスとなっている。 （2） 再検査したデバイス10で満杯となったカストマト
レイ12を、アンローダストッカ部24の各ストッカ21に格
納しようとした時、まだ、再検査していないデバイス10
がトレイと共に残っていた場合には、アラームを発生さ
せて、オペレータにアラームの発生しているストッカの
カストマトレイ12を取り除かせる。アラーム発生の頻度
は、再検査を行う際のカテゴリの分類区分数や当該装置
が持つストッカ群の構成数により異なる。
【００１１】
【実施例】図１に、本発明による実施例のフローチャー
トを示す。また、図２は、当該装置が持つ制御部のディ
スプレー画面を示し、図４は、ハンドラの動作シーケン
スを示し、図３には、アンローダストッカエレベータ上
の被検査対象デバイスをローダストッカエレベータ上
に、搬送することを可能にしたトランアームの動作概念
図を示す。また、図５〜７には、ハンドラの概要を示
す。
トを示す。また、図２は、当該装置が持つ制御部のディ
スプレー画面を示し、図４は、ハンドラの動作シーケン
スを示し、図３には、アンローダストッカエレベータ上
の被検査対象デバイスをローダストッカエレベータ上
に、搬送することを可能にしたトランアームの動作概念
図を示す。また、図５〜７には、ハンドラの概要を示
す。
【００１２】（1） 制御部のディスプレー画面８上に、
自動再検査設定（ステップ１）を行うためのプログラム
を呼び出して設定して、ハンドラをスタート（ステップ
２）させる。 （2） 被検査対象デバイス10の検査ロットの初回検査終
了（ステップ３）したら、ハンドラは一旦停止アラーム
を発し、事前に自動再検査設定（ステップ１）を行った
通りに「再検査を行うか否か？」（ステップ４）と確認
をする。その時点の判断で否（NO）であれば、ハンドラ
の動作は停止する。 （3）再検査する（YES）となれば、再検査スタート（ス
テップ５）となり、再検査せよと指定された対象ストッ
カ上のデバイス10が、トランアーム11により、アンロー
ダストッカエレベータ18上からローダストッカエレベー
タ13に搬送される。そこからは、初回検査時と同じシー
ケンスにより再検査が行われ、再検査が終了（ステップ
６）し、ハンドラは停止（ステップ７）する。 （4） 本発明の実施例では、ストッカ21に格納される形
態をカストマトレイ12としたが、トレイ方式ではなく、
マガジン方式による場合でも可能である。
自動再検査設定（ステップ１）を行うためのプログラム
を呼び出して設定して、ハンドラをスタート（ステップ
２）させる。 （2） 被検査対象デバイス10の検査ロットの初回検査終
了（ステップ３）したら、ハンドラは一旦停止アラーム
を発し、事前に自動再検査設定（ステップ１）を行った
通りに「再検査を行うか否か？」（ステップ４）と確認
をする。その時点の判断で否（NO）であれば、ハンドラ
の動作は停止する。 （3）再検査する（YES）となれば、再検査スタート（ス
テップ５）となり、再検査せよと指定された対象ストッ
カ上のデバイス10が、トランアーム11により、アンロー
ダストッカエレベータ18上からローダストッカエレベー
タ13に搬送される。そこからは、初回検査時と同じシー
ケンスにより再検査が行われ、再検査が終了（ステップ
６）し、ハンドラは停止（ステップ７）する。 （4） 本発明の実施例では、ストッカ21に格納される形
態をカストマトレイ12としたが、トレイ方式ではなく、
マガジン方式による場合でも可能である。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 （1） 従来技術による自重落下方式のハンドラでは困難
であった再検査の自動化が、近時、主流となった強制水
平搬送方式の機能に更に機構、ソフト上の機能を付加す
ることにより、初回の検査が終了した同一検査ロットの
デバイスを、アンローダ部からローダ部へ人手で移し変
えることなく自動的に搬送できたので、再検査工程が自
動化し省力化でき、生産性が向上した。 （2） 初回の検査結果によっては、再検査を行いたいカ
テゴリについて自動的に再検査ができるようになったの
で、よりきめ細かな特性の検査結果の区分が可能とな
り、品質改善のための情報のフィードバックが得られる
ようになった。
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。 （1） 従来技術による自重落下方式のハンドラでは困難
であった再検査の自動化が、近時、主流となった強制水
平搬送方式の機能に更に機構、ソフト上の機能を付加す
ることにより、初回の検査が終了した同一検査ロットの
デバイスを、アンローダ部からローダ部へ人手で移し変
えることなく自動的に搬送できたので、再検査工程が自
動化し省力化でき、生産性が向上した。 （2） 初回の検査結果によっては、再検査を行いたいカ
テゴリについて自動的に再検査ができるようになったの
で、よりきめ細かな特性の検査結果の区分が可能とな
り、品質改善のための情報のフィードバックが得られる
ようになった。
【図１】本発明の実施例のフローチャートを示す。
【図２】本発明の実施例のハンドラ制御部のディスプレ
ー画面を示す。
ー画面を示す。
【図３】本発明の実施例のトランアームの再検査時の動
作概念を示す。
作概念を示す。
【図４】本発明の実施例のハンドラの動作シーケンスの
概念を示す。
概念を示す。
【図５】本発明の実施例のハンドラの概要を示す斜視図
である。
である。
【図６】本発明の実施例のハンドラの概要を示す正面図
である。
である。
【図７】本発明の実施例のハンドラの概要を示す平面図
である。
である。
１ 自動再検査設定 ２ ハンドラ・スタート ３ 初回検査ロット終了 ４ 再検査を行うか否か？ ５ 再検査スタート ６ 再検査終了 ７ ハンドラ停止 ８ 制御部ディスプレー画面 ９ 自動再検査設定画面 10 被検査対象デバイス 11 トランアーム 12 カストマトレイ 13 ローダストッカエレベータ 14 ローダヘッド 15 テストトレイ 16 テストヘッド 17 アンローダヘッド 18 アンローダストッカエレベータ 19 ローダセットプレート 21 ストッカ 22 エレベータ 23 ローダストッカ部 24 アンローダストッカ部
Claims (1)
- 【請求項１】 強制水平搬送方式による半導体試験装置
のハンドラにおける被検査対象デバイス（10）をアンロ
ーダストッカ部（24）からローダストッカ部（23）にハ
ンドリングするトランアーム（11）を使用する際に、 半導体試験装置が持つ制御部のディスプレー画面（８）
で、自動再検査の設定（１）をし、 初回検査でハンドラがスタート（２）し、 初回検査ロットが終了（３）した時点で自動再検査を行
うかを確認（４）し、 再検査がスタート（５）したら、トランアーム（11）が
再検査と指定したアンローダストッカ部（24）からロー
ダストッカ部（23）に被検査対象デバイス（10）を搬送
し、 その後のシーケンスは、初回検査と同一シーケンスで動
作させることを特徴とする、半導体試験装置における自
動再検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6052721A JPH07239365A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 半導体試験装置における自動再検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6052721A JPH07239365A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 半導体試験装置における自動再検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07239365A true JPH07239365A (ja) | 1995-09-12 |
Family
ID=12922788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6052721A Pending JPH07239365A (ja) | 1994-02-25 | 1994-02-25 | 半導体試験装置における自動再検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07239365A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2329028A (en) * | 1997-07-07 | 1999-03-10 | Nec Corp | Semiconductor device test system |
| KR100401932B1 (ko) * | 2001-12-20 | 2003-10-17 | 주식회사 테스트이엔지 | 테스트 핸들러를 통한 반도체 장치의 테스트 방법 |
| KR100835999B1 (ko) * | 2006-10-10 | 2008-06-09 | 미래산업 주식회사 | Ｉｃ 소팅 핸들러 및 그 제어방법 |
| KR20200122860A (ko) * | 2019-04-19 | 2020-10-28 | 세메스 주식회사 | 반도체 소자 테스트 방법 |
-
1994
- 1994-02-25 JP JP6052721A patent/JPH07239365A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2329028A (en) * | 1997-07-07 | 1999-03-10 | Nec Corp | Semiconductor device test system |
| GB2329028B (en) * | 1997-07-07 | 2001-06-20 | Nec Corp | Semiconductor device test system with operation loss reduced |
| US6314332B1 (en) | 1997-07-07 | 2001-11-06 | Nec Corporation | Multiple semiconductor test system for testing a plurality of different semiconductor types |
| KR100401932B1 (ko) * | 2001-12-20 | 2003-10-17 | 주식회사 테스트이엔지 | 테스트 핸들러를 통한 반도체 장치의 테스트 방법 |
| KR100835999B1 (ko) * | 2006-10-10 | 2008-06-09 | 미래산업 주식회사 | Ｉｃ 소팅 핸들러 및 그 제어방법 |
| KR20200122860A (ko) * | 2019-04-19 | 2020-10-28 | 세메스 주식회사 | 반도체 소자 테스트 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021210 |